JPH09155182A - 真空容器の脱ガス装置及び方法 - Google Patents
真空容器の脱ガス装置及び方法Info
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- JPH09155182A JPH09155182A JP32291095A JP32291095A JPH09155182A JP H09155182 A JPH09155182 A JP H09155182A JP 32291095 A JP32291095 A JP 32291095A JP 32291095 A JP32291095 A JP 32291095A JP H09155182 A JPH09155182 A JP H09155182A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空容器にヒータを取り付けることなく、真
空容器の内面に吸着した水蒸気や酸素を効率的に除去で
き、これにより高真空度の達成が可能である真空容器の
脱ガス装置及び方法を提供する。 【解決手段】 真空ポンプユニット１２と、不活性ガス
を加熱する加熱装置１４と、不活性ガスを予備冷却する
冷却装置１６と、不活性ガスを吸着ガスの液化温度以下
まで冷却して不純物を除去する不純物除去装置１８（例
えばクライオポンプ）と、加熱装置から真空容器内に加
熱された不活性ガスを供給し、真空容器を出た不活性ガ
スを冷却装置及び不純物除去装置を介して加熱装置へ供
給するガス循環装置２０と、を備え、真空容器内を真空
引きし、乾燥した不活性ガスを加熱して真空容器内に導
入し、真空容器を出た不活性ガスを予備冷却後に極低温
まで冷却して不純物を除去する。
空容器の内面に吸着した水蒸気や酸素を効率的に除去で
き、これにより高真空度の達成が可能である真空容器の
脱ガス装置及び方法を提供する。 【解決手段】 真空ポンプユニット１２と、不活性ガス
を加熱する加熱装置１４と、不活性ガスを予備冷却する
冷却装置１６と、不活性ガスを吸着ガスの液化温度以下
まで冷却して不純物を除去する不純物除去装置１８（例
えばクライオポンプ）と、加熱装置から真空容器内に加
熱された不活性ガスを供給し、真空容器を出た不活性ガ
スを冷却装置及び不純物除去装置を介して加熱装置へ供
給するガス循環装置２０と、を備え、真空容器内を真空
引きし、乾燥した不活性ガスを加熱して真空容器内に導
入し、真空容器を出た不活性ガスを予備冷却後に極低温
まで冷却して不純物を除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の脱ガス
装置及び方法に関する。
装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】サイクロトロン，シンクロトロン等の加
速器、レーザー干渉計、等では、真空容器内を高い真空
度（例えば、１０-7〜１０-8Ｐａ程度）にする必要があ
る。この場合、真空容器の内面に吸着した水蒸気や酸素
は、単に真空ポンプを長時間運転しただけでは除去でき
ず、このため高真空度の達成が困難である問題点があっ
た。
速器、レーザー干渉計、等では、真空容器内を高い真空
度（例えば、１０-7〜１０-8Ｐａ程度）にする必要があ
る。この場合、真空容器の内面に吸着した水蒸気や酸素
は、単に真空ポンプを長時間運転しただけでは除去でき
ず、このため高真空度の達成が困難である問題点があっ
た。
【０００３】このため、従来は、真空容器の脱ガスを行
うために、真空容器に直接ヒータを取り付け、真空容器
を加熱して、内面の吸着ガスを活性化させ、脱ガスを行
っていた。
うために、真空容器に直接ヒータを取り付け、真空容器
を加熱して、内面の吸着ガスを活性化させ、脱ガスを行
っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかるヒータ
による脱ガスでは、容器の外面又は内面にヒータを取り
付ける必要があり、加速器等では電磁石等の付帯装置が
真空容器に取付けられているため、この付帯装置と干渉
してヒータの取付けが困難であり、このため脱ガス作業
も困難になる問題点があった。また、仮にヒータが取付
可能であっても、ヒータの脱着作業は、大量の発熱体と
これに電力を供給する電気設備工事が必要であり、非常
に煩雑な作業であった。
による脱ガスでは、容器の外面又は内面にヒータを取り
付ける必要があり、加速器等では電磁石等の付帯装置が
真空容器に取付けられているため、この付帯装置と干渉
してヒータの取付けが困難であり、このため脱ガス作業
も困難になる問題点があった。また、仮にヒータが取付
可能であっても、ヒータの脱着作業は、大量の発熱体と
これに電力を供給する電気設備工事が必要であり、非常
に煩雑な作業であった。
【０００５】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、
真空容器にヒータを取り付けることなく、真空容器の内
面に吸着した水蒸気や酸素を効率的に除去でき、これに
より高真空度の達成が可能である真空容器の脱ガス装置
及び方法を提供することにある。
みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、
真空容器にヒータを取り付けることなく、真空容器の内
面に吸着した水蒸気や酸素を効率的に除去でき、これに
より高真空度の達成が可能である真空容器の脱ガス装置
及び方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、真空容
器内を真空引きする真空ポンプユニットと、不活性ガス
を加熱する加熱装置と、不活性ガスを予備冷却する冷却
装置と、不活性ガスを吸着ガスの液化温度以下まで冷却
して不純物を除去する不純物除去装置と、加熱装置から
真空容器内に加熱された不活性ガスを供給し、真空容器
を出た不活性ガスを冷却装置及び不純物除去装置を介し
て加熱装置へ供給するガス循環装置と、からなることを
特徴とする真空容器の脱ガス装置が提供される。不純物
除去装置は、クライオポンプである、ことが好ましい。
器内を真空引きする真空ポンプユニットと、不活性ガス
を加熱する加熱装置と、不活性ガスを予備冷却する冷却
装置と、不活性ガスを吸着ガスの液化温度以下まで冷却
して不純物を除去する不純物除去装置と、加熱装置から
真空容器内に加熱された不活性ガスを供給し、真空容器
を出た不活性ガスを冷却装置及び不純物除去装置を介し
て加熱装置へ供給するガス循環装置と、からなることを
特徴とする真空容器の脱ガス装置が提供される。不純物
除去装置は、クライオポンプである、ことが好ましい。
【０００７】本発明のこの構成によれば、加熱装置から
真空容器内に加熱された不活性ガスを供給することによ
り、真空容器の内部から比較的吸着されにくい不活性ガ
ス（例えば窒素）を用いて加熱し、吸着ガス（水蒸気や
酸素）を活性化させて脱ガス又は置換を行い、脱ガス又
は置換した不純物（水蒸気や酸素）を吸着ガスの液化温
度以下（例えば極低温）まで冷却して液化して除去する
ことができ、高い真空度を達成することができる。特
に、不純物除去装置としてクライオポンプを用いること
により、水蒸気やそれより蒸気圧の高いガスは、ポンプ
入口のバッフル等で凝縮排気でき、それより蒸気圧の低
い酸素等は内部に設けられた極低温の面（クライオパネ
ル）で凝縮させて捕獲／除去することができる。
真空容器内に加熱された不活性ガスを供給することによ
り、真空容器の内部から比較的吸着されにくい不活性ガ
ス（例えば窒素）を用いて加熱し、吸着ガス（水蒸気や
酸素）を活性化させて脱ガス又は置換を行い、脱ガス又
は置換した不純物（水蒸気や酸素）を吸着ガスの液化温
度以下（例えば極低温）まで冷却して液化して除去する
ことができ、高い真空度を達成することができる。特
に、不純物除去装置としてクライオポンプを用いること
により、水蒸気やそれより蒸気圧の高いガスは、ポンプ
入口のバッフル等で凝縮排気でき、それより蒸気圧の低
い酸素等は内部に設けられた極低温の面（クライオパネ
ル）で凝縮させて捕獲／除去することができる。
【０００８】また、本発明によれば、真空容器内を真空
引きし、乾燥した不活性ガスを加熱して真空容器内に導
入し、真空容器を出た不活性ガスを予備冷却後に極低温
まで冷却して不純物を除去する、ことを特徴とする真空
容器の脱ガス方法が提供される。この方法によれば、真
空容器内を真空引きし、乾燥した不活性ガスを加熱して
真空容器内に導入することにより、真空容器の内部から
比較的吸着しにくい不活性ガス（例えば窒素）を用いて
加熱し、吸着ガス（水蒸気や酸素）を活性化させて脱ガ
ス又は置換を行うことができる。また、真空容器を出た
不活性ガスを予備冷却後に極低温まで冷却して不純物を
除去することにより、水蒸気や酸素等の不純物を凝縮さ
せて捕獲／除去することができる。
引きし、乾燥した不活性ガスを加熱して真空容器内に導
入し、真空容器を出た不活性ガスを予備冷却後に極低温
まで冷却して不純物を除去する、ことを特徴とする真空
容器の脱ガス方法が提供される。この方法によれば、真
空容器内を真空引きし、乾燥した不活性ガスを加熱して
真空容器内に導入することにより、真空容器の内部から
比較的吸着しにくい不活性ガス（例えば窒素）を用いて
加熱し、吸着ガス（水蒸気や酸素）を活性化させて脱ガ
ス又は置換を行うことができる。また、真空容器を出た
不活性ガスを予備冷却後に極低温まで冷却して不純物を
除去することにより、水蒸気や酸素等の不純物を凝縮さ
せて捕獲／除去することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。図１は、本発明による真空
容器の脱ガス装置１０の全体構成図である。この図にお
いて、本発明の脱ガス装置１０は、真空容器１内を真空
引きする真空ポンプユニット１２と、不活性ガス（例え
ば窒素）を加熱する加熱装置１４と、不活性ガスを予備
冷却する冷却装置１６と、不活性ガスに含まれる不純物
を除去する不純物除去装置１８と、不活性ガスを循環さ
せるガス循環装置２０と、からなる。
を図面を参照して説明する。図１は、本発明による真空
容器の脱ガス装置１０の全体構成図である。この図にお
いて、本発明の脱ガス装置１０は、真空容器１内を真空
引きする真空ポンプユニット１２と、不活性ガス（例え
ば窒素）を加熱する加熱装置１４と、不活性ガスを予備
冷却する冷却装置１６と、不活性ガスに含まれる不純物
を除去する不純物除去装置１８と、不活性ガスを循環さ
せるガス循環装置２０と、からなる。
【００１０】真空ポンプユニット１２は、好ましくは１
０-1〜１０-2Ｐａまでの真空が可能な高真空ポンプであ
り、油回転真空ポンプ，軸流分子ポンプ，油拡散ポンプ
等を用いる。この真空ポンプユニット１２の上流側に
は、真空引き後にラインを閉じるために開閉弁１２ａが
設けられている。加熱装置１４は、不活性ガスを例えば
１５０〜２００℃に加熱する装置であり、内部に電気ヒ
ータを備え、このヒータに外部のヒータ電源１４ａから
電力を供給するようになっている。なお、この加熱装置
１４は、電気ヒータに限定されず、例えば間接加熱によ
る蒸気加熱であってもよい。
０-1〜１０-2Ｐａまでの真空が可能な高真空ポンプであ
り、油回転真空ポンプ，軸流分子ポンプ，油拡散ポンプ
等を用いる。この真空ポンプユニット１２の上流側に
は、真空引き後にラインを閉じるために開閉弁１２ａが
設けられている。加熱装置１４は、不活性ガスを例えば
１５０〜２００℃に加熱する装置であり、内部に電気ヒ
ータを備え、このヒータに外部のヒータ電源１４ａから
電力を供給するようになっている。なお、この加熱装置
１４は、電気ヒータに限定されず、例えば間接加熱によ
る蒸気加熱であってもよい。
【００１１】冷却装置１６は、真空容器１を出た不活性
ガスを冷却して、不純物除去装置１８の負荷を低減する
ためのものであり、冷却水による間接冷却により、不活
性ガスを１０〜３０℃程度まで冷却するようになってい
る。この冷却により、凝縮した水蒸気等は、蒸気トラッ
プより外部に排出される。
ガスを冷却して、不純物除去装置１８の負荷を低減する
ためのものであり、冷却水による間接冷却により、不活
性ガスを１０〜３０℃程度まで冷却するようになってい
る。この冷却により、凝縮した水蒸気等は、蒸気トラッ
プより外部に排出される。
【００１２】不純物除去装置１８は、不活性ガスを吸着
ガスの液化温度以下まで冷却して不純物を除去するよう
になっている。この不純物除去装置１８は、この実施例
ではクライオポンプである。クライオポンプには、液
体ヘリウム，液体窒素を用いるものと、機械式小型冷
凍機により１５ｋ，８０ｋの低温を作るものとがある
が、本発明はこのいずれのクライオポンプであってもよ
い。また、クライオポンプの極低温の面（クライオパネ
ル）は、不活性ガスとして窒素を用いる場合には、窒素
の凝縮温度（約７７ｋ）よりは高く、酸素の凝縮温度
（約９０ｋ）よりは低い温度（例えば８０ｋ）に設定す
るのがよい。
ガスの液化温度以下まで冷却して不純物を除去するよう
になっている。この不純物除去装置１８は、この実施例
ではクライオポンプである。クライオポンプには、液
体ヘリウム，液体窒素を用いるものと、機械式小型冷
凍機により１５ｋ，８０ｋの低温を作るものとがある
が、本発明はこのいずれのクライオポンプであってもよ
い。また、クライオポンプの極低温の面（クライオパネ
ル）は、不活性ガスとして窒素を用いる場合には、窒素
の凝縮温度（約７７ｋ）よりは高く、酸素の凝縮温度
（約９０ｋ）よりは低い温度（例えば８０ｋ）に設定す
るのがよい。
【００１３】この構成により、水蒸気やそれより蒸気圧
の高いガスは、冷却装置１６或いはクライオポンプ入口
のバッフル等で凝縮排気でき、それより蒸気圧の低い酸
素等は内部に設けられた極低温の面（クライオパネル）
で凝縮させて捕獲／除去することができる。また、特
に、窒素の凝縮温度（約７７ｋ）よりは高く、酸素の凝
縮温度（約９０ｋ）よりは低い温度（例えば８０ｋ）に
設定することにより、不活性ガスとしての窒素を凝縮さ
せることなく、効率的に窒素から不純物（例えば酸素）
を除去することができる。
の高いガスは、冷却装置１６或いはクライオポンプ入口
のバッフル等で凝縮排気でき、それより蒸気圧の低い酸
素等は内部に設けられた極低温の面（クライオパネル）
で凝縮させて捕獲／除去することができる。また、特
に、窒素の凝縮温度（約７７ｋ）よりは高く、酸素の凝
縮温度（約９０ｋ）よりは低い温度（例えば８０ｋ）に
設定することにより、不活性ガスとしての窒素を凝縮さ
せることなく、効率的に窒素から不純物（例えば酸素）
を除去することができる。
【００１４】ガス循環装置２０は、加熱装置１４から真
空容器１内に加熱された不活性ガスを供給し、真空容器
１を出た不活性ガスを冷却装置１６及び不純物除去装置
１８を介して加熱装置１４へ供給するようになってい
る。すなわち、ガス循環装置２０は、真空容器１から冷
却装置１６，不純物除去装置１８，加熱装置１４を介し
て真空容器１まで不活性ガスを循環させる循環ライン２
１とこの循環ライン２１に設けられた送風器２０ａとか
らなる。送風器２０ａは送風制御器２０ｂにより制御さ
れる。また、循環ライン２１は、開閉弁２１ｃを介して
乾燥窒素ボンペ２２に連結されており、循環ライン２１
内に乾燥窒素を導入できるようになっている。更に、循
環ライン２１には、安全弁２０ｄ，圧力計２０ｅ，開閉
弁２１ａ，２１ｂ，及び２１ｄが設けられている。
空容器１内に加熱された不活性ガスを供給し、真空容器
１を出た不活性ガスを冷却装置１６及び不純物除去装置
１８を介して加熱装置１４へ供給するようになってい
る。すなわち、ガス循環装置２０は、真空容器１から冷
却装置１６，不純物除去装置１８，加熱装置１４を介し
て真空容器１まで不活性ガスを循環させる循環ライン２
１とこの循環ライン２１に設けられた送風器２０ａとか
らなる。送風器２０ａは送風制御器２０ｂにより制御さ
れる。また、循環ライン２１は、開閉弁２１ｃを介して
乾燥窒素ボンペ２２に連結されており、循環ライン２１
内に乾燥窒素を導入できるようになっている。更に、循
環ライン２１には、安全弁２０ｄ，圧力計２０ｅ，開閉
弁２１ａ，２１ｂ，及び２１ｄが設けられている。
【００１５】図２は、本発明による真空容器の脱ガス方
法を示すフロー図である。以下、本発明による脱ガス方
法を説明する。 まず、真空ポンプユニット１２により真空容器内を真
空引きし、内部を１０ -1〜１０-2Ｐａまで真空にする
（ステップ３１）。この真空引きが完了した後、開閉弁
１２ａを閉じて真空容器１と循環ライン２１を１０-1〜
１０-2Ｐａの真空度に保持する。
法を示すフロー図である。以下、本発明による脱ガス方
法を説明する。 まず、真空ポンプユニット１２により真空容器内を真
空引きし、内部を１０ -1〜１０-2Ｐａまで真空にする
（ステップ３１）。この真空引きが完了した後、開閉弁
１２ａを閉じて真空容器１と循環ライン２１を１０-1〜
１０-2Ｐａの真空度に保持する。
【００１６】次いで開閉弁２１ｃを介して乾燥窒素ボ
ンベ２０ｃから乾燥窒素を導入する（ステップ３２）。
この乾燥窒素の導入は、以下の工程の間継続してもよ
く、或いは適宜止めてもよい。 次いで送風器２０ａにより循環ライン２１内の不活性
ガスを循環させる（ステップ３３）。
ンベ２０ｃから乾燥窒素を導入する（ステップ３２）。
この乾燥窒素の導入は、以下の工程の間継続してもよ
く、或いは適宜止めてもよい。 次いで送風器２０ａにより循環ライン２１内の不活性
ガスを循環させる（ステップ３３）。
【００１７】次に、加熱器１４により、不活性ガスを
脱着に適した温度（例えば１５０〜２００℃）まで加熱
する（ステップ３４）。加熱した不活性ガスは真空容器
１内に供給され、真空容器１の内部から加熱し、吸着ガ
ス（水蒸気や酸素）を活性化させて脱ガス又は置換を行
うことができる。脱ガス又は置換した吸着ガス（水蒸気
や酸素）は、不活性ガスと共に真空容器１から排出され
る。
脱着に適した温度（例えば１５０〜２００℃）まで加熱
する（ステップ３４）。加熱した不活性ガスは真空容器
１内に供給され、真空容器１の内部から加熱し、吸着ガ
ス（水蒸気や酸素）を活性化させて脱ガス又は置換を行
うことができる。脱ガス又は置換した吸着ガス（水蒸気
や酸素）は、不活性ガスと共に真空容器１から排出され
る。
【００１８】次に、冷却器１６により真空容器１を出
た不活性ガスを予備冷却し（ステップ３５）、次いで、
不純物除去装置１８で不純物を除去する（ステップ３
６）。水蒸気やそれより蒸気圧の高いガスは、冷却装置
１６或いはクライオポンプ入口のバッフル等で凝縮排気
でき、それより蒸気圧の低い酸素等は内部に設けられた
極低温の面（クライオパネル）で凝縮させて捕獲／除去
することができる。
た不活性ガスを予備冷却し（ステップ３５）、次いで、
不純物除去装置１８で不純物を除去する（ステップ３
６）。水蒸気やそれより蒸気圧の高いガスは、冷却装置
１６或いはクライオポンプ入口のバッフル等で凝縮排気
でき、それより蒸気圧の低い酸素等は内部に設けられた
極低温の面（クライオパネル）で凝縮させて捕獲／除去
することができる。
【００１９】なお、上述した各ステップは、順に行う必
要はなく、むしろ不活性ガスの循環中に同時に行った方
がよい。また、循環ライン２１内の圧力は、真空容器１
が加熱されるまでは、比較的高く保持し、脱着が進むに
つれて、開閉弁２１ｄを介して排気し、徐々に圧力を下
げることが好ましい。
要はなく、むしろ不活性ガスの循環中に同時に行った方
がよい。また、循環ライン２１内の圧力は、真空容器１
が加熱されるまでは、比較的高く保持し、脱着が進むに
つれて、開閉弁２１ｄを介して排気し、徐々に圧力を下
げることが好ましい。
【００２０】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更でき
ることは勿論である。例えば、上述した実施形態では、
不活性ガスとして窒素を用いたが、本発明はこれに限定
されず、アルゴンやヘリウムを用いてもよい。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更でき
ることは勿論である。例えば、上述した実施形態では、
不活性ガスとして窒素を用いたが、本発明はこれに限定
されず、アルゴンやヘリウムを用いてもよい。
【００２１】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、加熱
装置から真空容器内に加熱された不活性ガスを供給する
ことにより、真空容器の内部から比較的吸着しにくい不
活性ガス（例えば窒素）を用いて加熱し、吸着ガス（水
蒸気や酸素）を活性化させて脱ガス又は置換を行い、脱
ガス又は置換した不純物（水蒸気や酸素）を吸着ガスの
液化温度以下（例えば極低温）まで冷却して液化して除
去することができ、高い真空度を達成することができ
る。特に、不純物除去装置としてクライオポンプを用い
ることにより、水蒸気やそれより蒸気圧の高いガスは、
ポンプ入口のバッフル等で凝縮排気でき、それより蒸気
圧の低い酸素等は内部に設けられた極低温の面（クライ
オパネル）で凝縮させて捕獲／除去することができる。
装置から真空容器内に加熱された不活性ガスを供給する
ことにより、真空容器の内部から比較的吸着しにくい不
活性ガス（例えば窒素）を用いて加熱し、吸着ガス（水
蒸気や酸素）を活性化させて脱ガス又は置換を行い、脱
ガス又は置換した不純物（水蒸気や酸素）を吸着ガスの
液化温度以下（例えば極低温）まで冷却して液化して除
去することができ、高い真空度を達成することができ
る。特に、不純物除去装置としてクライオポンプを用い
ることにより、水蒸気やそれより蒸気圧の高いガスは、
ポンプ入口のバッフル等で凝縮排気でき、それより蒸気
圧の低い酸素等は内部に設けられた極低温の面（クライ
オパネル）で凝縮させて捕獲／除去することができる。
【００２２】従って、本発明によれば、真空容器外面へ
のヒータの取り付けが不要となり、特に容器据え付け後
など、ヒータの取り付けが困難な場合に優位性を発揮す
る。
のヒータの取り付けが不要となり、特に容器据え付け後
など、ヒータの取り付けが困難な場合に優位性を発揮す
る。
【００２３】すなわち、本発明の真空容器の脱ガス装置
及び方法は、真空容器にヒータを取り付けることなく、
真空容器の内面に吸着した水蒸気や酸素を効率的に除去
でき、これにより高真空度の達成が可能である、等の優
れた効果を有する。
及び方法は、真空容器にヒータを取り付けることなく、
真空容器の内面に吸着した水蒸気や酸素を効率的に除去
でき、これにより高真空度の達成が可能である、等の優
れた効果を有する。
【図１】本発明による真空容器の脱ガス装置の全体構成
図である。
図である。
【図２】本発明による真空容器の脱ガス方法を示すフロ
ー図である。
ー図である。
１ 真空容器 １０ 脱ガス装置 １２ 真空ポンプユニット １４ 加熱装置 １４ａ ヒータ電源 １６ 冷却装置 １８ 不純物除去装置 ２０ ガス循環装置 ２１ 循環ライン ２２ 乾燥窒素ボンベ
Claims (3)
- 【請求項１】 真空容器内を真空引きする真空ポンプユ
ニットと、不活性ガスを加熱する加熱装置と、不活性ガ
スを予備冷却する冷却装置と、不活性ガスを吸着ガスの
液化温度以下まで冷却して不純物を除去する不純物除去
装置と、加熱装置から真空容器内に加熱された不活性ガ
スを供給し、真空容器を出た不活性ガスを冷却装置及び
不純物除去装置を介して加熱装置へ供給するガス循環装
置と、からなることを特徴とする真空容器の脱ガス装
置。 - 【請求項２】 前記不純物除去装置は、クライオポンプ
である、ことを特徴とする請求項１に記載の真空容器の
脱ガス装置。 - 【請求項３】 真空容器内を真空引きし、乾燥した不活
性ガスを加熱して真空容器内に導入し、真空容器を出た
不活性ガスを予備冷却後に極低温まで冷却して不純物を
除去する、ことを特徴とする真空容器の脱ガス方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32291095A JPH09155182A (ja) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | 真空容器の脱ガス装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32291095A JPH09155182A (ja) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | 真空容器の脱ガス装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155182A true JPH09155182A (ja) | 1997-06-17 |
Family
ID=18148999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32291095A Pending JPH09155182A (ja) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | 真空容器の脱ガス装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09155182A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114887445A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-08-12 | 中国原子能科学研究院 | 用于铅铋冷却反应堆的钋去除系统和方法 |
-
1995
- 1995-12-12 JP JP32291095A patent/JPH09155182A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114887445A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-08-12 | 中国原子能科学研究院 | 用于铅铋冷却反应堆的钋去除系统和方法 |
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