JPH09149663A - インパクト移動装置の駆動回路 - Google Patents

インパクト移動装置の駆動回路

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JPH09149663A
JPH09149663A JP7307437A JP30743795A JPH09149663A JP H09149663 A JPH09149663 A JP H09149663A JP 7307437 A JP7307437 A JP 7307437A JP 30743795 A JP30743795 A JP 30743795A JP H09149663 A JPH09149663 A JP H09149663A
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JP
Japan
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circuit
voltage
output
becomes
impact
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JP7307437A
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English (en)
Inventor
Taiichiro Fukuda
泰一郎 福田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 効率よくインパクト量を発生することがで
き、しかも、小形化が可能なインパクト移動装置の駆動
回路を提供する。 【解決手段】 圧電素子に非対称波形の駆動信号を印加
して駆動力を得るインパクト移動装置の駆動回路におい
て、直流の入力電圧V1を2重積分して、非対称波形の
増加側の波形を成形する第1の2重積分回路1,2と、
直流の入力電圧V2を2重積分して、非対称波形の減少
側の波形を成形する第2の2重積分回路3,4と、第1
又は第2の2重積分回路1,2又は3,4の出力を交互
に切り換える切換回路(Cmp1,Cmp2,DL,S
W)とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子等の電気
機械変換素子を用いて物体を移動させるインパクト型移
動装置の駆動回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】特開昭63−299785号や特開平4
−207982号等の公報には、例えば、圧電素子等の
電気機械変換素子を用い、その急速変形によって生じる
衝撃力により微小移動を行うインパクト型移動装置が提
案されている。図5は、インパクト型移動装置の一例を
模式的に示す正面図である。この種のインパクト型移動
装置10は、直方体状の相対運動部材11に電気機械変
換素子としての圧電素子12の一端が取り付けられ、こ
の圧電素子12の他端に慣性体13が取り付けられてい
る。
【0003】このインパクト型移動装置10は、静摩擦
係数μの固定体14上に載置される。このときに、固定
体14の表面14aには、相対運動部材11のみが接触
し、圧電素子12及び慣性体13はともに接触しない。
そして、駆動電圧装置15は、圧電素子12に接続され
ており、図5に示すように、非対称波形の駆動電圧を圧
電素子12に連続的に印加する。
【0004】すなわち、図6において、時間t0 から時
間t1 にかけて電圧増加率の大きな駆動電圧を印加する
と、圧電素子12は、その電圧値に応じて急激に伸び
る。圧電素子12が急激に伸びると、衝撃力が相対運動
部材11と慣性体13とに作用し、相対運動部材11と
固定体14とは動摩擦状態となり、相対運動部材11と
慣性体13とが固定体14の静止摩擦力に抗して逆方向
へ、すなわち、相対運動部材11は、図面上左方向へ移
動する。そして、時間t1 において、圧電素子12は、
伸びきって変位を生じなくなるために、相対運動部材1
1は、移動を停止する。
【0005】時間t1 から時間t2 にかけて電圧減少率
の小さな駆動電圧が印加され、圧電素子12は、その電
圧値に応じて緩やかに縮む。これにより、相対運動部材
11と固定体14とは、静摩擦状態となり、慣性体13
のみが一定の加速度でゆっくり引き戻される。時間t2
では、前述した加速度で引き戻されてきた慣性体13を
急激に止める。これにより、慣性体13が相対運動部材
11に衝突した状態となり、相対運動部材11は、図面
上左方向へさらに移動する。そして、相対運動部材11
は、固定体14の動摩擦力により静止し、初期状態に復
帰する。以後、図6に示した非対称波形の駆動信号は、
所定の周期によって印加され、相対運動部材11が微小
移動する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
のインパクト型移動装置は、任意波形発生回路などを駆
動回路として使用すると、装置全体が大型化するという
問題があった。また、インパクト型移動装置は、図6に
示すように、三角波形の電圧を用いた場合に、三角波形
の底点部分と頂点部分のみが、インパクト移動に寄与し
ているに過ぎないので、効率よくインパクト量を発生さ
せることができなかった。
【0007】本発明は、効率よくインパクト量を発生す
ることができ、しかも、小形化が可能なインパクト移動
装置の駆動回路を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項1の発明は、電気機械変換素子に非対称波形
の駆動信号を印加して駆動力を得るインパクト移動装置
の駆動回路において、直流の入力電圧を2重積分して、
前記非対称波形の増加側の波形を成形する第1の2重積
分回路と、直流の入力電圧を2重積分して、前記非対称
波形の減少側の波形を成形する第2の2重積分回路と、
前記第1又は第2の2重積分回路の出力を交互に切り換
える切換回路とを備えたことを特徴としている。
【0009】請求項2の発明は、請求項1に記載のイン
パクト移動装置の駆動回路において、前記切換回路は、
前記第1及び第2の2重積分回路の入力電圧及び/又は
基準電圧を切り換え、前記第1及び第2の2重積分回路
を兼用することを特徴としている。
【0010】請求項3の発明は、請求項1又は請求項2
に記載のインパクト移動装置の駆動回路において、前記
第1又は第2の2重積分回路のうちで、前記切換回路に
よって選択されていない側の2重積分回路の容量成分を
放電するリセット回路を備えたことを特徴としている。
【0011】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)以下、図面等を参照して、本発明の実
施の形態について、さらに詳しくに説明する。図1は、
本発明によるインパクト駆動装置の第1実施形態を示す
回路図、図2は、第1実施形態にかかるインパクト駆動
装置の動作を説明する線図である。積分回路1は、ペア
ンプOP1,コンデンサC1及び抵抗r1から構成され
ており、直流の入力電圧V1を積分して、電圧V1’を
出力する。積分回路2は、ペアンプOP2,コンデンサ
C2及び抵抗r2から構成されており、積分回路1の出
力電圧V1’を積分して、電圧V1”を出力する。
【0012】積分回路3は、ペアンプOP3,コンデン
サC3及び抵抗r3から構成されており、直流の入力電
圧V2を積分して、電圧V2’を出力する。積分回路4
は、ペアンプOP4,コンデンサC4及び抵抗r4から
構成されており、積分回路3の出力電圧V2’を積分し
て、電圧V2”を出力する。
【0013】コンパレータCmp1は、積分回路2の出
力が+入力端子に接続され、基準電圧Vbが−入力端子
に接続され、その出力は、インバータIn1を介して、
Dラッチ回路DLのpr端子に接続されている。コンパ
レータCmp2は、積分回路4の出力が−入力端子に接
続され、基準電圧Vaが+入力端子に接続され、その出
力は、インバータIn2を介して、Dラッチ回路DLの
clr端子に接続されている。
【0014】Dラッチ回路DLは、pr端子又はclr
端子に入力された信号を、次に、pr端子又はclr端
子に信号が入力されるまで保持して、Q端子から出力す
る回路である。Dラッチ回路DLの出力は、分岐して、
スイッチング回路SWのS端子に接続され、他方は、さ
らに2つに分岐して、一方は、積分回路1,2のコンデ
ンサC1,C2に並列に設けられたトランジスタTr
1,Tr2のスイッチング端子に接続され、他方は、イ
ンバータIn3を介して、積分回路3,4のコンデンサ
C3,C4に並列に設けられたトランジスタTr3,T
r4のスイッチング端子に接続されている。
【0015】スイッチング回路SWは、積分回路2の出
力がL端子に接続され、積分回路4の出力がH端子に接
続され、S端子にローレベルの信号が入力された場合に
は、L端子の信号を出力端子に接続し、S端子にハイレ
ベルの信号が入力された場合には、H端子の信号を出力
端子に接続する回路である。
【0016】積分回路1の出力は、次式(1)によって
表される。 V1’=−1/(C1・r1)∫(V1−Va)dt+Va …(1) また、積分回路2の出力は、次式(2)によって表され
る。 V1”=−1/(C2・r2)∫(V1’−Va)dt+Va =1/(C1・r1・C2・r2)∬(V1−Va)dt2 +Va …(2) 同様にして、積分回路4の出力は、次式(3)によって
表される。 V2”=1/(C3・r3・C4・r4)∬(V2−Vb)dt2 +Vb …(3)
【0017】ここで、Va<V1,V2<Vbとする
と、V1”及びV2”は、次式(4),(5)のように
なる。 V1”=k1t2 +Va …(4) V2”=−k2t2 +Vb …(5) ただし、k1=(V1−Va)/(C1・C2・r1・
r2),k2=(V2−Vb)/(C3・C4・r3・
r4)である。
【0018】一方、圧電素子の変位量xと、印加電圧V
との間には、次式(6)の関係が成立する。 x∝V …(6) ここで、式(4),(5)を考えると、k1及びk2
は、変位量xの2次微分係数に比例するので、インパク
ト量(加速度)に比例することになる。
【0019】そこで、C1,C2,C3,C4、r1,
r2,r3,r4及びV1,V2,Va,Vbの関係を
適当に選ぶことにより、適度のインパクト量を与えるこ
とができる。そして、V1”,V2”は、式(4),
(5)からわかるように、2次関数であるので、波形の
どの部分であっても2次微分係数を有しており、効率よ
くインパクト量を生じさせることができる。
【0020】ここで、説明を簡単にするために、C1・
C2・r1・r2=1,C3・C4・r3・r4=1,
V1−Va=α,V2−Vb=βとすると、式(2),
(3)は、次のようになる。 V1”=αt2 +Va …(7) V2”=−βt2 +Vb …(8) また、α≫β,Va<Vb,α>0,β>0とすると、
出力電圧Voutの波形は、図2に示すようになる。
【0021】次に、図2を参照しながら、本実施形態の
動作を説明する。t=t0において、トランジスタTr
1,Tr2がオフとなると、積分回路2の出力電圧V
1”は、式(7)により、t0からt1において、電圧
Vaから電圧Vbに達するまで、等加速度的に増加す
る。
【0022】電圧V1”が電圧Vbに達すると、コンパ
レータCmp1の出力がハイレベルとなり、Dラッチ回
路DLの出力をハイレベルにする。スイッチング回路S
Wは、S端子の入力がハイレベルになると、H側に切り
換わるので、出力電圧Voutは、電圧V2”となる。
また、Dラッチ回路DLの出力がハイレベルになると、
トランジスタTr1,Tr2がオンとなるので、コンデ
ンサC1,C2の電荷が放電されてリセットし、積分回
路2の出力V1”は、基準電圧Vaと等しくなる(図2
(A)参照)。
【0023】一方、Dラッチ回路DLの出力がハイレベ
ルになったときに、トランジスタTr3,Tr4がオフ
となるので、出力V2”は、式(8)により、t1から
t0において、基準電圧VbからVaまで、等加速度的
に減少する。出力V2”が基準電圧Vaに達したとき
に、コンパレータCmp2の出力は、ハイレベルになる
ので、Dラッチ回路DLの出力がローレベルになる。ス
イッチング回路SWは、S端子の入力がローレベルにな
ると、L側に切り換わるので、出力Voutは、電圧V
1”となる。また、Dラッチ回路DLの出力がローレベ
ルになると、その信号は、インバータIn3で反転され
て、ハイレベルとなり、トランジスタTr3,Tr4を
オンにするので、コンデンサC3,C4が放電されてリ
セットし、出力電圧V2”は、基準電圧Vbと等しくな
る(図2(B)参照)。したがって、スイッチング回路
SWの出力Voutは、図2(C)のように、時間t0
からt1までは、積分回路2の電圧V1”が出力され、
時間t1からt2までは、積分回路4の電圧V2”が出
力され、以後、この波形が交互に繰り返される。
【0024】(第2実施形態)図3は、本発明によるイ
ンパクト駆動装置の第2実施形態を示す回路図、図4
は、第2実施形態にかかるインパクト駆動装置の動作を
説明する線図である。第2の実施形態は、積分回路1,
2のオペアンプOP1,OP2の入力電圧V1,V2
と、基準電圧Va,Vbを切り換えるスイッチSW1,
SW2と、スイッチSW1,SW2を切り換えるスイッ
チング回路S1と、トランジスタTr1,Tr2をリセ
ットするスイッチング回路S2を設け、積分回路3,4
及び2個のコンパレータCmp1,Cmp2とDラッチ
回路DLを用いてスイッチング回路SWを省略したもの
である。図4のt0の時点において、スイッチング回路
S1がハイレベルとなると、スイッチSW1がV1側、
スイッチSW2がVa側となる。この直前に、スイッチ
ング回路S2がハイレベルとなり、コンデンサC1,C
2をリセットする。したがって、第1実施形態の積分回
路1,2と同等となるので、出力Voutは、V1”と
なり、VaからVbまで等加速度的に増加する(図4
(A)のt0〜t1参照)。
【0025】t1の時点において、スイッチング回路S
1がローレベルとなると、スイッチSW1がV2側、ス
イッチSW2がVb側となる。この直前に、スイッチン
グ回路S2がハイレベルとなり、コンデンサC1,C2
をリセットする。したがって、第1実施形態の積分回路
3,4と同等となるので、出力Voutは、V2”とな
り、VbからVaまで等加速度的に減少する(図4
(A)のt1〜t2参照)。
【0026】第2実施形態によれば、積分回路を2つ減
らすことができるので、より簡単な回路構成にすること
ができる。
【0027】(変形形態)以上説明した実施形態に限定
されるとなく、種々の変形や変更が可能であって、それ
らも本発明の均等の範囲内である。例えば、電気機械変
換素子は、圧電素子に限らず、電歪素子や磁歪素子であ
ってもよい。インパクト型移動装置は、図5のようなも
のに限らず、梁状の相対運動部材に、圧電素子を用いて
長手方向に衝撃力を与えて、その相対運動部材上に載置
された移動体を移動させるものであってもよい。第1実
施形態では、切換回路は、2個のコンパレータとDラッ
チ回路を用いてスイッチング回路を制御する例で説明し
たが、他の方法であってもよい。
【0028】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、効率よくインパクト量を生じさせることができ、
しかも、コンパクトな駆動回路を得ることができる。ま
た、2重積分回路の容量成分や抵抗、基準電圧、入力電
圧を変えるなどして、極めて簡単にインパクト量を変え
ることができるので、動摩擦と静摩擦との境界に応じ
て、インパクト量を調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるインパクト駆動装置の第1実施形
態を示す回路図である。
【図2】第1実施形態にかかるインパクト駆動装置の動
作を説明する線図である。
【図3】本発明によるインパクト駆動装置の第2実施形
態を示す回路図である。
【図4】第2実施形態にかかるインパクト駆動装置の動
作を説明する線図である。
【図5】インパクト型移動装置の一例を模式的に示す正
面図である。
【図6】従来例に係るインパクト型移動装置の駆動電圧
を示す波形図である。
【符号の説明】
1〜4 積分回路 r1〜r4 抵抗 OP1〜OP4 オペアンプ C1〜C4 コンデンサ Tr1〜Tr4 トランジスタ Cmp1,Cmp2 コンパレータ DL Dラッチ回路 SW スイッチング回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気機械変換素子に非対称波形の駆動信
    号を印加して駆動力を得るインパクト移動装置の駆動回
    路において、 直流の入力電圧を2重積分して、前記非対称波形の増加
    側の波形を成形する第1の2重積分回路と、 直流の入力電圧を2重積分して、前記非対称波形の減少
    側の波形を成形する第2の2重積分回路と、 前記第1又は第2の2重積分回路の出力を交互に切り換
    える切換回路とを備えたことを特徴とするインパクト移
    動装置の駆動回路。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のインパクト移動装置の
    駆動回路において、 前記切換回路は、前記第1及び第2の2重積分回路の入
    力電圧及び/又は基準電圧を切り換え、 前記第1及び第2の2重積分回路を兼用することを特徴
    とするインパクト移動装置の駆動回路。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載のインパク
    ト移動装置の駆動回路において、 前記第1又は第2の2重積分回路のうちで、前記切換回
    路によって選択されていない側の2重積分回路の容量成
    分を放電するリセット回路を備えたことを特徴とするイ
    ンパクト移動装置の駆動回路。
JP7307437A 1995-11-27 1995-11-27 インパクト移動装置の駆動回路 Pending JPH09149663A (ja)

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