JPH09146079A - 液晶表示装置の製法 - Google Patents
液晶表示装置の製法Info
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- JPH09146079A JPH09146079A JP30269295A JP30269295A JPH09146079A JP H09146079 A JPH09146079 A JP H09146079A JP 30269295 A JP30269295 A JP 30269295A JP 30269295 A JP30269295 A JP 30269295A JP H09146079 A JPH09146079 A JP H09146079A
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Abstract
洗浄などのウェット処理後にガラス基板を回転させて振
切り乾燥する際に生じる帯電を容易、かつ確実に防止す
ることができる液晶表示装置の製法を提供する。 【解決手段】 ウェット処理後のガラス基板をスピン乾
燥するばあい、ガラス基板を350rpm/sec未
満の比較的低加速度で加速しながら高速回転に移行す
る、および/または高速回転に移行する前にガラス基
板1を10〜30秒間静止させて基板上の水を雰囲気中
に暴露させる。
Description
に関する。さらに詳しくは液晶表示装置の製造工程にお
けるエッチング、洗浄などのウェット処理後にガラス基
板を回転させて振切り乾燥する際に生じる帯電を容易、
かつ確実に防止することができる液晶表示装置の製法に
関する。
るエッチング洗浄などのウェット処理後の乾燥方法とし
て、1枚づつスピンさせて乾燥させる、いわゆる枚葉方
式のスピン乾燥法が採用されている。
乾燥装置の一例を示す。スピン乾燥を行なうばあい、ウ
ェット処理の最終の水洗工程を終了したガラス基板1を
1枚づつスピン乾燥用のステージ2に搬送する。なお、
ウェット処理後の基板表面は、水をはじきやすい状態に
なっていることがあり、このばあい、表面が露出しやす
くなる。もし、露出した状態で約10秒放置すれば、部
分的に残った水滴が乾燥してシミが発生するばあいがあ
る。したがって、搬送のあいだ、基板表面が乾燥してシ
ミが発生しないように、適宜、ノズル3を用いて、水を
基板表面全体に噴射する。搬送されたのち、ノズル3か
らの水の噴射は止められる。ステージ2に搬送されたガ
ラス基板1は、円筒状突起6によって4点支持されると
ともにガラス基板1の外周縁がメカニカルチャック4に
よって固定される。ついで、このステージ2を図2に示
される回転数の変化になるように、ガラス基板1を回転
制御する。すなわち、まず、回転数50〜100rpm
で水を1〜2リットル/minの流量でガラス基板1の
表面へ噴射してリンス(洗浄)する。この状態を5〜1
0秒間継続し、ついで、立上がり時間2〜4秒で150
0〜2000rpmに移行し、そののち当該回転数を維
持しながらの高速回転による振切り乾燥状態を20〜3
0秒間継続し、ガラス基板1の乾燥を行なう。
の最終水洗工程以降は、水洗用の水の清浄度が高められ
ており、それに伴って水の比抵抗も17〜18MΩ・c
m程度まで高められているため、このような比較的急俊
な立上がり(すなわち、急加速の区間)を有する回転数
の変化により振切り乾燥を行なうばあい、絶縁体である
ガラス基板は、前記高比抵抗の水との摩擦により、静電
気が発生して帯電しやすくなる。帯電したガラス基板
は、搬送途中に導電体がガラス基板近傍に存在したばあ
い、ガラス基板表面に放電が生じ、局所的なパターンの
破壊および欠損が発生する。また、静電気の集塵効果に
より、パーティクルの付着およびそれに伴う汚染が起こ
る。
く、スピン乾燥で振り切る際の水の比抵抗を下げるた
め、あらかじめ、パーティクルまたは不純物などを除去
したCO2 ガスを水に溶解して使用することが多い。し
かし、かかるCO2ガス溶解用の設備を設ければランニ
ングコストおよびイニシャルコストがかかるなどの問題
がある。
されたものであり、液晶表示装置製造工程におけるエッ
チング、洗浄などのウェット処理後にガラス基板を回転
させて振切り乾燥する際に生じる帯電を容易、かつ確実
に防止することができる液晶表示装置の製法を提供する
ことを目的とする。
液晶表示装置の製法は、ウェット処理後のガラス基板を
スピン乾燥する工程を有する液晶表示装置の製法であっ
て、(a)前記ガラス基板を50〜100rpmで低速
回転させながらガラス基板表面に水を噴射することによ
り、ガラス基板表面を洗浄し、(b)前記ガラス基板を
350rpm/sec以下の加速度で加速しながら高速
回転に移行し、ガラス基板表面の水を振り切ることを特
徴とする。
法は、ウェット処理後のガラス基板をスピン乾燥する工
程を有する液晶表示装置の製法であって、(a)前記ガ
ラス基板を50〜100rpmで低速回転させながらガ
ラス基板表面に水を噴射することにより、ガラス基板表
面を洗浄し、(b)前記ガラス基板を10〜30秒間静
止させて前記ガラス基板表面の水を雰囲気に暴露させる
ことにより、水の比抵抗を低下させ、(c)前記ガラス
基板を高速回転させることにより、ガラス基板表面の水
を振り切ることを特徴とする。
立上がり時間2〜4秒のあいだに1500〜2000r
pmの高速回転へ移行させるのが好ましい。
法は、ウェット処理後のガラス基板をスピン乾燥する工
程を有する液晶表示装置の製法であって、(a)前記ガ
ラス基板を50〜100rpmで低速回転させながらガ
ラス基板表面に水を噴射することにより、ガラス基板表
面を洗浄し、(b)ガラス基板を10〜30秒間静止さ
せて前記ガラス基板表面の水を雰囲気に暴露させること
により、水の比抵抗を低下させ、(c)前記ガラス基板
を350rpm/sec未満の加速度で加速しながら高
速回転に移行し、ガラス基板表面の水を振り切ることを
特徴とする。
露させるのが好ましい。
ラス基板裏面に水を噴射してガラス基板の乾燥を防止す
るのが好ましい。
れば、ガラス基板を350rpm/sec未満の比較的
低い加速度で加速しながら高速回転に移行し、ガラス基
板表面の水を振り切るようにすれば、ガラス基板表面の
水は比較的緩く移動し始めるので、ガラス基板と水との
あいだで静電気が発生しにくく、ガラス基板は帯電しな
い。
ば、ガラス基板を高速回転に移行する前に、ガラス基板
を10〜30秒間静止させてガラス基板表面の水を雰囲
気に暴露させることにより、雰囲気が水に溶解して水の
比抵抗を低下させることができる。したがって、高速回
転に移行する際にガラス基板と水とのあいだで摩擦が生
じても水の比抵抗がすでに低くなっているため、ガラス
基板と水とのあいだで静電気が発生しにくく、ガラス基
板は帯電しない。
れば、前記10〜30秒間静止による水の暴露工程のの
ち、前記350rpm/sec未満の低加速を行なえ
ば、ガラス基板と水とのあいだで静電気がさらに発生し
にくくなり、ガラス基板は帯電しなくなる。
細に説明する。
ガラス基板の表面にウェット処理を施してTFTを作製
したのち、当該ガラス基板をスピン乾燥し、そののち、
従来どおりの液晶セル組立工程を行なう液晶表示装置の
製法のうち、とくにスピン乾燥工程において水がガラス
基板から振り切られるときに生じるガラス基板の帯電を
防止するために、ガラス基板を低加速度で加速しなが
ら高速回転に移行する方法(以下、低加速度法とい
う)、および/または高速回転に移行する前にガラス
基板を所定の時間だけ静止させて基板上の水を雰囲気中
に暴露させる方法(以下、静止暴露法という)を採用し
た点に特徴がある。以下、方法、について順に説明
する。
する。
の最終の水洗工程を終了したガラス基板1を1枚づつス
ピン乾燥用のステージ2に搬送する。搬送のあいだ、乾
燥防止のため、適宜ノズル3を用いて、従来と同様に1
7〜18MΩ・cm程度の高比抵抗の清浄化された水を
基板上に噴射しておく。搬送されたのち、ノズル3から
の水の噴射は止められる。
る。まず、5〜10秒間、ステージ2を回転数を50〜
100rpmで回転させながら、水を1〜2リットル/
minの流量でガラス基板1の表面に噴射し、表面洗浄
を行なう。
ec未満の比較的低い加速度で加速しながら高速回転に
移行し、当該回転数を20〜30秒間維持することによ
り、ガラス基板1の振切り乾燥を行なう。このとき、ガ
ラス基板表面の水は比較的緩く移動し始めるので、ガラ
ス基板と水とのあいだで静電気が発生しにくく、ガラス
基板は帯電しない。振切り乾燥後、ガラス基板1は液晶
セル組立用のラインへ搬送され、従来通りの製法で液晶
セルが作製される。
に説明する。図1は静止暴露法のステージの回転数の変
化を時系列的に示すグラフである。
の最終の水洗工程を終了したガラス基板1を1枚づつス
ピン乾燥用のステージ2に搬送する。搬送のあいだ、乾
燥防止のため、適宜ノズル3を用いて、従来と同様に1
7〜18MΩ・cm程度の高比抵抗の清浄化された水を
基板上に噴射しておく。搬送されたのち、ノズル3から
の水の噴射は止められる。
テージ2の回転数を変化させる。まず、5〜10秒間、
ステージ2を回転数を50〜100rpmで回転させな
がら、水を1〜2リットル/minの流量でガラス基板
1の表面に噴射し、表面洗浄を行なう。
静止させ、ガラス基板1の表面に水をのせたまま放置す
る。なお、ガラス基板1の裏面に対しては、裏面乾燥防
止用ノズル5から水を噴射させることにより、静止状態
のあいだの裏面の乾燥を防止している。
表面の水は厚さ1〜3mm程度で拡がっているため、周
囲の環境に存在するCO2 ガスなどの雰囲気に充分暴露
され、前記CO2ガスなどが水に溶解することにより、
水の比抵抗が低下する。
4秒で1500〜2000rpmの高速回転に移行し、
当該回転数を20〜30秒間維持することにより、ガラ
ス基板1の振切り乾燥を行なう。振切り乾燥後、ガラス
基板1は液晶セル組立用のラインへ搬送され、従来通り
の製法で液晶セルが作製される。
囲の環境およびノズル3から噴射される水の比抵抗など
を考慮するとともに枚葉での生産性を損なわない範囲で
設定される。
しては、水の比抵抗を低下させ(すなわち、通電性をよ
くする)かつ水に溶けうるガスのうち、とくにクリーン
ルーム中で安全衛生上問題なく、しかも基板表面のデバ
イスを汚染させないガスが採用されうる。本実施例にお
いては、クリーンルーム中の雰囲気に含まれるCO2な
どの効果により、比抵抗を下げることができる。クリー
ンルーム内部の気流は、ダウンフローの機能により、常
に上から下に吹いており、スピン乾燥用のステージ2上
の基板に効率よくあたる。そのため、基板表面上の水の
中に雰囲気を円滑に溶け込ませることができる。
に、すでにガラス基板1の表面の水の比抵抗を下げてい
るため、前記ガラス基板を静止状態から高速回転に移行
する際の回転加速度は、従来通りの回転加速度であって
もガラス基板1の帯電は生じない。
加速度を前記低加速度法のごとく350rpm/sec
未満に設定すれば、ガラス基板と水とのあいだで静電気
がさらに発生しにくくなり、ガラス基板は帯電しなくな
る。
におけるエッチング、洗浄などのウェット処理後にガラ
ス基板を回転させて振切り乾燥する際に生じる帯電を容
易、かつ確実に防止することができる。
ステージの回転数の変化を時系列的に示すグラフであ
る。
の回転数の変化を時系列的に示すグラフである。
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 ウェット処理後のガラス基板をスピン乾
燥する工程を有する液晶表示装置の製法であって、
(a)前記ガラス基板を50〜100rpmで低速回転
させながらガラス基板表面に水を噴射することにより、
ガラス基板表面を洗浄し、(b)前記ガラス基板を35
0rpm/sec未満の加速度で加速しながら高速回転
に移行し、ガラス基板表面の水を振り切ることを特徴と
する液晶表示装置の製法。 - 【請求項2】 ウェット処理後のガラス基板をスピン乾
燥する工程を有する液晶表示装置の製法であって、
(a)前記ガラス基板を50〜100rpmで低速回転
させながらガラス基板表面に水を噴射することにより、
ガラス基板表面を洗浄し、(b)前記ガラス基板を10
〜30秒間静止させて前記ガラス基板表面の水を雰囲気
に暴露させることにより、水の比抵抗を低下させ、
(c)前記ガラス基板を高速回転させることにより、ガ
ラス基板表面の水を振り切ることを特徴とする液晶表示
装置の製法。 - 【請求項3】 前記ガラス基板を静止状態から高速回転
に移行する際、立上がり時間2〜4秒のあいだに150
0〜2000rpmの高速回転へ移行させる請求項2記
載の液晶表示装置の製法。 - 【請求項4】 ウェット処理後のガラス基板をスピン乾
燥する工程を有する液晶表示装置の製法であって、
(a)前記ガラス基板を50〜100rpmで低速回転
させながらガラス基板表面に水を噴射することにより、
ガラス基板表面を洗浄し、(b)ガラス基板を10〜3
0秒間静止させて前記ガラス基板表面の水を雰囲気に暴
露させることにより、水の比抵抗を低下させ、(c)前
記ガラス基板を350rpm/sec未満の加速度で加
速しながら高速回転に移行し、ガラス基板表面の水を振
り切ることを特徴とする液晶表示装置の製法。 - 【請求項5】 前記ガラス基板表面の水をCO2 ガスに
暴露させる請求項2または4記載の液晶表示装置の製
法。 - 【請求項6】 前記ガラス基板が静止しているあいだ、
ガラス基板裏面に水を噴射してガラス基板の乾燥を防止
する請求項2または4記載の液晶表示装置の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30269295A JP3321658B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 液晶表示装置の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30269295A JP3321658B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 液晶表示装置の製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09146079A true JPH09146079A (ja) | 1997-06-06 |
JP3321658B2 JP3321658B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=17912051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30269295A Expired - Fee Related JP3321658B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 液晶表示装置の製法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3321658B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6503335B2 (en) | 1998-11-12 | 2003-01-07 | WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FüR HALBLEITERMATERIALIEN AG | Centrifuge and method for centrifuging a semiconductor wafer |
US6632289B2 (en) | 2000-06-26 | 2003-10-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
US7022610B2 (en) * | 2003-12-22 | 2006-04-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Wet cleaning method to eliminate copper corrosion |
KR100785433B1 (ko) * | 2000-07-11 | 2007-12-13 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 세정처리방법 및 세정처리장치 |
KR20210115032A (ko) * | 2019-03-25 | 2021-09-24 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
CN113534622A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-10-22 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 去除静电聚集的显影方法 |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP30269295A patent/JP3321658B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN113534622A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-10-22 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 去除静电聚集的显影方法 |
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---|---|
JP3321658B2 (ja) | 2002-09-03 |
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