JPH09141860A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH09141860A JPH09141860A JP7302712A JP30271295A JPH09141860A JP H09141860 A JPH09141860 A JP H09141860A JP 7302712 A JP7302712 A JP 7302712A JP 30271295 A JP30271295 A JP 30271295A JP H09141860 A JPH09141860 A JP H09141860A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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-
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット記録ヘッドにおいて記録ヘッ
ドの積層効率を向上させる。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドにおいて、同
一平面内に一列に並ぶ複数個のインク噴射口を備えた個
別ヘッドを、前記インク噴射口が形成された面以外の少
なくとも一端面が階段状になるよう順次積層する。
ドの積層効率を向上させる。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドにおいて、同
一平面内に一列に並ぶ複数個のインク噴射口を備えた個
別ヘッドを、前記インク噴射口が形成された面以外の少
なくとも一端面が階段状になるよう順次積層する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動素子を用いた
マルチノズルのオンデマンドインクジェット方式の記録
ヘッド及び、その製造方法、またこれを搭載する記録装
置全般に関する。
マルチノズルのオンデマンドインクジェット方式の記録
ヘッド及び、その製造方法、またこれを搭載する記録装
置全般に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明と同様に個別記録ヘッドを積層す
るものとしては、特開平４−２７８３５７号公報が挙げ
られる。これは図１３に示すようにヘッドの走査方向に
対して傾斜させた複数の個別ヘッドを積層してできてい
る。
るものとしては、特開平４−２７８３５７号公報が挙げ
られる。これは図１３に示すようにヘッドの走査方向に
対して傾斜させた複数の個別ヘッドを積層してできてい
る。
【０００３】この例では、個別インク路の先端は基体１
１１の前面でインク噴射を担う細孔１１２となって開口
し、基体１１１の個別インク路を覆う様に共通電極１１
３を設け、共通電極１１３上に個別インク路に対応する
電歪素子１１４を夫々設け、各電歪素子１１４上に個別
電極が設けられている。記録装置本体からの記録データ
に応じた記録信号に従い、個別電極と共通電極１１３の
間に通電させ電歪素子１１４を変形させることで個別イ
ンク路に選択的に圧力をかけ、細孔１１２よりインクを
噴射させて記録を行うものとなっている。
１１の前面でインク噴射を担う細孔１１２となって開口
し、基体１１１の個別インク路を覆う様に共通電極１１
３を設け、共通電極１１３上に個別インク路に対応する
電歪素子１１４を夫々設け、各電歪素子１１４上に個別
電極が設けられている。記録装置本体からの記録データ
に応じた記録信号に従い、個別電極と共通電極１１３の
間に通電させ電歪素子１１４を変形させることで個別イ
ンク路に選択的に圧力をかけ、細孔１１２よりインクを
噴射させて記録を行うものとなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術の記録ヘッドでは図１３に示す様に共通電極１１３は
記録ヘッドをなす各層の端部に延びているだけであるた
め、この記録ヘッドを実際に記録装置本体に取付ける
際、本体側の電極端子とのコンタクト方法が容易ではな
い。
術の記録ヘッドでは図１３に示す様に共通電極１１３は
記録ヘッドをなす各層の端部に延びているだけであるた
め、この記録ヘッドを実際に記録装置本体に取付ける
際、本体側の電極端子とのコンタクト方法が容易ではな
い。
【０００５】特に、図の上から２層目以下の電極に関し
ては隣り合う層と層の間に電極が配置されているため記
録ヘッドの層間の距離を狭くすればするほど外部端子と
のコンタクトは容易でなくなる。
ては隣り合う層と層の間に電極が配置されているため記
録ヘッドの層間の距離を狭くすればするほど外部端子と
のコンタクトは容易でなくなる。
【０００６】さらに、個別電極に関しては各インク噴射
ノズル毎の電極配置が必要となるため、それらを全て記
録ヘッドの外側に導き記録装置本体の電極とコンタクト
させることは非常に困難である。
ノズル毎の電極配置が必要となるため、それらを全て記
録ヘッドの外側に導き記録装置本体の電極とコンタクト
させることは非常に困難である。
【０００７】また、このように傾斜させたヘッドを積層
することは図の横方向において記録ヘッドを小さくする
ことは可能であるが、不必要にヘッドを縦方向に長くし
てしまうことにもなり、ヘッドの小型化の観点からは好
ましくない。
することは図の横方向において記録ヘッドを小さくする
ことは可能であるが、不必要にヘッドを縦方向に長くし
てしまうことにもなり、ヘッドの小型化の観点からは好
ましくない。
【０００８】図１３に記載の従来技術のヘッドによれ
ば、個別インク路は共通電極１１３と基体１１１に挟ま
れた部分となっている。
ば、個別インク路は共通電極１１３と基体１１１に挟ま
れた部分となっている。
【０００９】このため当然ながら両者は異種材料であ
り、異種材料間の強固な接着は容易でなく、且つ、この
接着面はインクとも接触するためその部分の接着強度が
弱くなる可能性が高い。
り、異種材料間の強固な接着は容易でなく、且つ、この
接着面はインクとも接触するためその部分の接着強度が
弱くなる可能性が高い。
【００１０】この部分は個別インク路を形成する重要な
部分であるため接着強度が弱いことは安定したインクの
吐出しが行えないだけでなく、記録ヘッドの寿命も短く
なるといった欠点がある。
部分であるため接着強度が弱いことは安定したインクの
吐出しが行えないだけでなく、記録ヘッドの寿命も短く
なるといった欠点がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のインクジ
ェット記録ヘッドは、同一平面内に一列に並ぶ複数個の
インク噴射口を備えた個別ヘッドを、前記インク噴射口
が形成された面以外の少なくとも一端面が階段状になる
よう順次積層したことを特徴とするインクジェット記録
ヘッドである。
ェット記録ヘッドは、同一平面内に一列に並ぶ複数個の
インク噴射口を備えた個別ヘッドを、前記インク噴射口
が形成された面以外の少なくとも一端面が階段状になる
よう順次積層したことを特徴とするインクジェット記録
ヘッドである。
【００１２】請求項２記載のインクジェット記録ヘッド
は、薄板状の基体の片方の面に、蓋体を装着することに
よりインク流路を形成する流路溝を形成し、蓋体の前記
インク流路側とは反対側の面に設置した駆動素子の駆動
荷よりインクを吐出する基体と蓋体と駆動素子とからな
る個別ヘッドの前記基体の前記インク流路側とは反対側
の面に、隣接する個別ヘッドの駆動素子の位置に対応し
て凹部を設けたことを特徴とする請求項１記載のインク
ジェット記録ヘッドである。
は、薄板状の基体の片方の面に、蓋体を装着することに
よりインク流路を形成する流路溝を形成し、蓋体の前記
インク流路側とは反対側の面に設置した駆動素子の駆動
荷よりインクを吐出する基体と蓋体と駆動素子とからな
る個別ヘッドの前記基体の前記インク流路側とは反対側
の面に、隣接する個別ヘッドの駆動素子の位置に対応し
て凹部を設けたことを特徴とする請求項１記載のインク
ジェット記録ヘッドである。
【００１３】請求項３記載のインクジェット記録ヘッド
は、薄板状の基体の片方の面に蓋体を装着することによ
り、インク流路を形成する流路溝を形成し、該面と反対
側の面に前記流路と対応した位置に駆動素子を設置する
凹部を設けて、前記位置での基体の薄肉部を振動板とし
て用いることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
ト記録ヘッドである。
は、薄板状の基体の片方の面に蓋体を装着することによ
り、インク流路を形成する流路溝を形成し、該面と反対
側の面に前記流路と対応した位置に駆動素子を設置する
凹部を設けて、前記位置での基体の薄肉部を振動板とし
て用いることを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
ト記録ヘッドである。
【００１４】請求項４記載のインクジェット記録ヘッド
は、個別ヘッド中で一列に並ぶインク噴射口のピッチを
Ｐ〔μｍ〕、記録時の消耗の解像度をＸ〔ｄｐｉ〕、個
別ヘッドの積層数をＮ〔個〕、記録ヘッドが走査する方
向（記録用紙が搬送される方向に垂直な方向）と各個別
ヘッドのインク噴射口が配列する方向とのなす角度をθ
〔ｒａｄ〕、個別ヘッドの厚みをｔ〔μｍ〕、階段状に
ずれている各個別ヘッドのずれ量をＡ〔μｍ〕とした場
合に、 θ＝ｓｉｎ-1（２５４００・Ｎ／Ｐ・Ｘ） Ａ＝（ｔ／ｔａｎθ）−（Ｐ／Ｎ） を満たすことを特徴とする請求項１乃至３に記載のイン
クジェット記録ヘッドである。請求項５記載のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法は、予めインク吐出部近傍
が貫通していないインク流路溝を形成した基体と、蓋体
とを貼着することにより個別ヘッドを構成し、これを順
次積層して記録ヘッドとし、その後各インク吐出口を形
成（貫通）することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法である。
は、個別ヘッド中で一列に並ぶインク噴射口のピッチを
Ｐ〔μｍ〕、記録時の消耗の解像度をＸ〔ｄｐｉ〕、個
別ヘッドの積層数をＮ〔個〕、記録ヘッドが走査する方
向（記録用紙が搬送される方向に垂直な方向）と各個別
ヘッドのインク噴射口が配列する方向とのなす角度をθ
〔ｒａｄ〕、個別ヘッドの厚みをｔ〔μｍ〕、階段状に
ずれている各個別ヘッドのずれ量をＡ〔μｍ〕とした場
合に、 θ＝ｓｉｎ-1（２５４００・Ｎ／Ｐ・Ｘ） Ａ＝（ｔ／ｔａｎθ）−（Ｐ／Ｎ） を満たすことを特徴とする請求項１乃至３に記載のイン
クジェット記録ヘッドである。請求項５記載のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法は、予めインク吐出部近傍
が貫通していないインク流路溝を形成した基体と、蓋体
とを貼着することにより個別ヘッドを構成し、これを順
次積層して記録ヘッドとし、その後各インク吐出口を形
成（貫通）することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法である。
【００１５】
（実施例１）本発明の一つの実施例を図１，２，４，
５，６及び図８〜１２に基づいて説明する。
５，６及び図８〜１２に基づいて説明する。
【００１６】図８は本発明のインクジェット用記録ヘッ
ドを搭載した記録装置本体の外観概要を斜視した図であ
る。
ドを搭載した記録装置本体の外観概要を斜視した図であ
る。
【００１７】記録ヘッドに供給するインクを保持するた
めのインク収容部１３及び、記録ヘッドの固定に加えて
記録ヘッドとインク収容部１３をインク通路で結ぶ役割
を担う記録ヘッド固定台１４がキャリッジ１５上に固定
して取付けられており、キャリッジ１５は記録用紙の固
定と搬送を担うプラテン１６に沿って往復運動を行うこ
とで、記録ヘッドによりプラテン１６に巻き付けられた
記録用紙（図示せず）への記録を行うものとなってい
る。
めのインク収容部１３及び、記録ヘッドの固定に加えて
記録ヘッドとインク収容部１３をインク通路で結ぶ役割
を担う記録ヘッド固定台１４がキャリッジ１５上に固定
して取付けられており、キャリッジ１５は記録用紙の固
定と搬送を担うプラテン１６に沿って往復運動を行うこ
とで、記録ヘッドによりプラテン１６に巻き付けられた
記録用紙（図示せず）への記録を行うものとなってい
る。
【００１８】図９は図８における記録ヘッド固定台１４
をプラテン１６側から見た図であり、記録ヘッドは固定
台１４に包まれるように固定され、その内部では記録ヘ
ッドと装置本体側の電極端子がコンタクトされている。
をプラテン１６側から見た図であり、記録ヘッドは固定
台１４に包まれるように固定され、その内部では記録ヘ
ッドと装置本体側の電極端子がコンタクトされている。
【００１９】図１は本発明の記録ヘッドをインク吐出口
側から見た図であり、その部分拡大図は図１２である。
側から見た図であり、その部分拡大図は図１２である。
【００２０】本発明の記録ヘッドは個別ヘッド１層の厚
み４００μｍ、ノズルピッチを９８０μｍ、ノズル数を
２３ノズルのものを４層で計９２ノズルとし、各個別ヘ
ッドのずれ量を２０３５μｍ、傾きを９．９５度（０．
１７４ｒａｄ）とすることで、解像度６００ｄｐｉを実
現している（図中のノズル数は便宜上この数と一致して
いない）。また、各個別ノズルの両端インク噴射口から
夫々個別ヘッドの両端までの余白を１ｍｍとしたため、
記録ヘッドの横幅は２９ｍｍ、高さは４．７ｍｍ（図１
中のＨ１）となっている。
み４００μｍ、ノズルピッチを９８０μｍ、ノズル数を
２３ノズルのものを４層で計９２ノズルとし、各個別ヘ
ッドのずれ量を２０３５μｍ、傾きを９．９５度（０．
１７４ｒａｄ）とすることで、解像度６００ｄｐｉを実
現している（図中のノズル数は便宜上この数と一致して
いない）。また、各個別ノズルの両端インク噴射口から
夫々個別ヘッドの両端までの余白を１ｍｍとしたため、
記録ヘッドの横幅は２９ｍｍ、高さは４．７ｍｍ（図１
中のＨ１）となっている。
【００２１】また、階段状に積層しない場合、記録ヘッ
ドの高さは図１のＨ２（６ｍｍ）となり小型化の点で劣
る。
ドの高さは図１のＨ２（６ｍｍ）となり小型化の点で劣
る。
【００２２】各個別ヘッドは図１０に示すようにポリエ
ーテルサルフォン製の基体４及び蓋体５をエボキシ系の
接着シートにより貼り合わせることによって得られるも
のである。ここでインク流路溝７はインク噴射口近傍で
不貫通となっている。
ーテルサルフォン製の基体４及び蓋体５をエボキシ系の
接着シートにより貼り合わせることによって得られるも
のである。ここでインク流路溝７はインク噴射口近傍で
不貫通となっている。
【００２３】次に蓋体５の上面に図４のように共通電極
１１及び個別電極１２を蒸着し、駆動素子６として圧電
素子を用いる。こうして出来た個別ヘッドを図２あるい
は図５のように積層する。
１１及び個別電極１２を蒸着し、駆動素子６として圧電
素子を用いる。こうして出来た個別ヘッドを図２あるい
は図５のように積層する。
【００２４】続いて、図１１のようにエキシマレーザ光
１７によって所望の位置にインク噴射口３を設ける。こ
こで使用するレーザ光としてＫｒとＦの混合ガスを用い
たエキシマレーザを用いその波長は２４８ｎｍであり、
このようにして出来た記録ヘッドにより所望の記録を行
うものとする。
１７によって所望の位置にインク噴射口３を設ける。こ
こで使用するレーザ光としてＫｒとＦの混合ガスを用い
たエキシマレーザを用いその波長は２４８ｎｍであり、
このようにして出来た記録ヘッドにより所望の記録を行
うものとする。
【００２５】以下、更に詳細に本実施例を説明する。
【００２６】図２の記録ヘッドに於いてその個別ヘッド
に設けた電極の配置は、個別ヘッドを上から見ると図４
に示す配置となっている（便宜上この例ではノズル数を
４つとしているが本件はこれに限ったものではない）。
ここで、図中破線で示した部分は個別ヘッド内部のイン
ク流路とインク噴射口３である。個別ヘッド１に設けた
各駆動素子６に対して共通電極１１及び個別電極１２ａ
−１２ｄが設けられている。これを図１に示すよう順次
積層したものを同様に上から見ると、図５のようにな
る。このため各層をなす個別ヘッドに設けられた共通電
極１１及び個別電極１２ａ−１２ｄは記録ヘッドの外部
に露出するため、記録装置本体側の電極端子とのコンタ
クトが容易となる。
に設けた電極の配置は、個別ヘッドを上から見ると図４
に示す配置となっている（便宜上この例ではノズル数を
４つとしているが本件はこれに限ったものではない）。
ここで、図中破線で示した部分は個別ヘッド内部のイン
ク流路とインク噴射口３である。個別ヘッド１に設けた
各駆動素子６に対して共通電極１１及び個別電極１２ａ
−１２ｄが設けられている。これを図１に示すよう順次
積層したものを同様に上から見ると、図５のようにな
る。このため各層をなす個別ヘッドに設けられた共通電
極１１及び個別電極１２ａ−１２ｄは記録ヘッドの外部
に露出するため、記録装置本体側の電極端子とのコンタ
クトが容易となる。
【００２７】一般的にインクジェット用の記録ヘッドを
構成する基体部分の材質は、ポリエーテルサルフォン等
の樹脂類、金属類、ガラス類等様々である。これら相互
の強固な接着は非常に困難であるが、本発明のように基
体と蓋体で個別ヘッドを構成可能であれば、両者を同種
の材質とし、更にそれらをつなぐ接着剤をも同種のもの
を用いることで非常に強固な接着が可能となる。
構成する基体部分の材質は、ポリエーテルサルフォン等
の樹脂類、金属類、ガラス類等様々である。これら相互
の強固な接着は非常に困難であるが、本発明のように基
体と蓋体で個別ヘッドを構成可能であれば、両者を同種
の材質とし、更にそれらをつなぐ接着剤をも同種のもの
を用いることで非常に強固な接着が可能となる。
【００２８】さらに両者が同種の材料であることによっ
て、線膨張係数の違いのため生じる温度変化に伴う部材
の変形が抑えられることで、安定した精度の記録ヘッド
を提供することが可能となる。
て、線膨張係数の違いのため生じる温度変化に伴う部材
の変形が抑えられることで、安定した精度の記録ヘッド
を提供することが可能となる。
【００２９】図６は図２に基づいた個別ノズル部の拡大
図である。この図に於いて基体４と蓋体５に挟まれた空
間がインク流路７であり、蓋体のもう一方の側に駆動素
子６が設けられている。また、図示していない共通電極
と個別電極は先述の通り駆動素子６の表裏に配されてい
るものとする。
図である。この図に於いて基体４と蓋体５に挟まれた空
間がインク流路７であり、蓋体のもう一方の側に駆動素
子６が設けられている。また、図示していない共通電極
と個別電極は先述の通り駆動素子６の表裏に配されてい
るものとする。
【００３０】ここで、両者の電極間に電位差を生じさせ
ると駆動素子６は蓋体５とユニモルフを構成しているた
め図中右側のノズルのようにインク流路７の内側へ橈
む。この作用によりインク流路７の中のインクが押し出
されて任意のタイミングによるインクの噴射が行われ
る。
ると駆動素子６は蓋体５とユニモルフを構成しているた
め図中右側のノズルのようにインク流路７の内側へ橈
む。この作用によりインク流路７の中のインクが押し出
されて任意のタイミングによるインクの噴射が行われ
る。
【００３１】図１２は本発明の記録ヘッドの概略図で図
１の部分拡大図である。
１の部分拡大図である。
【００３２】ここで、次式は個別ヘッド内でのインク噴
射口の配置を規定するものでり、これは図１２に於いて
同一層内で隣り合うインク噴射口３−１−ｂと３−１−
ｃの位置関係を示すものである。
射口の配置を規定するものでり、これは図１２に於いて
同一層内で隣り合うインク噴射口３−１−ｂと３−１−
ｃの位置関係を示すものである。
【００３３】θ＝ｓｉｎ-1（２５４００・Ｎ／Ｐ・Ｘ） この式は両噴射口の垂直方向の距離をＤ〔μｍ〕とする
と、 Ｄ＝２５４００・Ｎ／Ｘ であり、且つ図から明らかなように、 ｓｉｎθ＝Ｐ／Ｄ であることから導かれるものである。
と、 Ｄ＝２５４００・Ｎ／Ｘ であり、且つ図から明らかなように、 ｓｉｎθ＝Ｐ／Ｄ であることから導かれるものである。
【００３４】また、次式は個別ヘッド間のインク噴射口
の配置を規定するものであり、これは図１２に於いて隣
り合う層内の各最低位置インク噴射口３−１−ａと３−
２−ａの位置関係を示すものである。
の配置を規定するものであり、これは図１２に於いて隣
り合う層内の各最低位置インク噴射口３−１−ａと３−
２−ａの位置関係を示すものである。
【００３５】Ａ＝（ｔ／ｔａｎθ）−（Ｐ／Ｎ） この式は図１２に於いて、 Ｅ＝２５４００／Ｘ ｓｉｎθ＝Ｅ／Ｆ であり、さらに各層の厚みをｔ〔μｍ〕とすると、 Ｇ＝ｔ また、各個別ヘッドのずれ量をＡ〔μｍ〕とすると、 ｔａｎθ＝Ｇ／（Ｆ＋Ａ） であることから導かれるものである。
【００３６】インクジェット記録ヘッドの製造方法にお
いて、予めインク吐出部近傍が貫通していないインク流
路溝を形成した基体と、蓋体とを貼り合わせることによ
って個別ヘッドを構成し、これを積層して記録ヘッドと
した後に、各インク吐出口を形成することで、隣り合う
インク噴射口間、特に隣り合う層間のインク噴射口の位
置関係が積層組立時のずれによらず正確に定まるように
なる。
いて、予めインク吐出部近傍が貫通していないインク流
路溝を形成した基体と、蓋体とを貼り合わせることによ
って個別ヘッドを構成し、これを積層して記録ヘッドと
した後に、各インク吐出口を形成することで、隣り合う
インク噴射口間、特に隣り合う層間のインク噴射口の位
置関係が積層組立時のずれによらず正確に定まるように
なる。
【００３７】エキシマレーザはＡｒとＦまたはＫｒとＦ
などの混合ガスを用いた気体レーザであり、紫外線領域
の波長を持つパルス波であるため非熱加工が可能であ
る。
などの混合ガスを用いた気体レーザであり、紫外線領域
の波長を持つパルス波であるため非熱加工が可能であ
る。
【００３８】またその波長固有のエネルギは特に高分子
などの結合エネルギと一致するため、加工対象物を樹脂
材とした場合、部材を熱によらないで分子レベルに分解
することによって加工することが可能である。
などの結合エネルギと一致するため、加工対象物を樹脂
材とした場合、部材を熱によらないで分子レベルに分解
することによって加工することが可能である。
【００３９】そのため、加工部分の変形、変質を伴わず
正確な加工が可能となるばかりでなく、切りくずの生じ
ない加工が行える。
正確な加工が可能となるばかりでなく、切りくずの生じ
ない加工が行える。
【００４０】すなわち、インクジェット記録ヘッドの製
造方法において、上記に加え、基体及び蓋体を樹脂材に
て構成し、エキシマレーザを用いて各インク吐出口を形
成することによって、インク噴射口の加工時に母体材料
の屑が記録ヘッド内部に入ることを防ぐと共に、熱によ
る歪みのない記録ヘッドを製造することが可能となる。
造方法において、上記に加え、基体及び蓋体を樹脂材に
て構成し、エキシマレーザを用いて各インク吐出口を形
成することによって、インク噴射口の加工時に母体材料
の屑が記録ヘッド内部に入ることを防ぐと共に、熱によ
る歪みのない記録ヘッドを製造することが可能となる。
【００４１】さらに、積層組立後にエキシマレーザによ
るインク噴射口の加工を行えば、エキシマレーザのもう
一つの特徴である面加工が行えるため、マスクなどの使
用によって複数個のインク噴射口を一度に加工すること
が可能となり、加工時間の短縮が実現できる。
るインク噴射口の加工を行えば、エキシマレーザのもう
一つの特徴である面加工が行えるため、マスクなどの使
用によって複数個のインク噴射口を一度に加工すること
が可能となり、加工時間の短縮が実現できる。
【００４２】（実施例２）本発明の他の実施例を図３〜
５及び図７に基づいて説明する。
５及び図７に基づいて説明する。
【００４３】全体の構造は実施例１と同様であり、相違
点は電極を設ける面である。本実施例においては、基体
５の下面に図４のように共通電極１１及び個別電極１２
を蒸着し、図３あるいは図５のように積層する。
点は電極を設ける面である。本実施例においては、基体
５の下面に図４のように共通電極１１及び個別電極１２
を蒸着し、図３あるいは図５のように積層する。
【００４４】第１実施例では圧電素子と蓋体がユニモル
フを形成し、図６のような挙動を示すのに対し、第２実
施例では圧電素子と基体の薄肉部がユニモルフを形成
し、図７のような挙動を示すことになる。
フを形成し、図６のような挙動を示すのに対し、第２実
施例では圧電素子と基体の薄肉部がユニモルフを形成
し、図７のような挙動を示すことになる。
【００４５】図７は図３に基づいた個別ノズル部の拡大
図である。この図において基体４と蓋体５に挟まれた空
間がインク流路７であり、基体のもう一方の側に駆動素
子６が設けられている。
図である。この図において基体４と蓋体５に挟まれた空
間がインク流路７であり、基体のもう一方の側に駆動素
子６が設けられている。
【００４６】また、図示していない共通電極と個別電極
は先述と同様に駆動素子６の表裏に配されているものと
する。
は先述と同様に駆動素子６の表裏に配されているものと
する。
【００４７】ここで、両者の電極間に電位差を生じさせ
ると駆動素子６は基体４の薄肉部とユニモルフを構成し
ているため図中右側のノズルのようにインク流路７の内
側へ橈む。この作用によりインク流路７の中のインクが
押し出されて任意のタイミングによるインクの噴射が行
われる。
ると駆動素子６は基体４の薄肉部とユニモルフを構成し
ているため図中右側のノズルのようにインク流路７の内
側へ橈む。この作用によりインク流路７の中のインクが
押し出されて任意のタイミングによるインクの噴射が行
われる。
【００４８】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、各個別ヘ
ッドの電極端子部分が記録ヘッドの外部に導き出され記
録装置本体とのコンタクトが容易となる。
ッドの電極端子部分が記録ヘッドの外部に導き出され記
録装置本体とのコンタクトが容易となる。
【００４９】請求項２，３記載の発明によれば、積層方
向に隣り合う個別ノズル同志をその駆動素子の位置で不
必要な他の部位に接触するのを避けられるため、クロス
トークを防止できるのに加え、積層方向の厚みを薄くす
ることが可能で、かつ、この構造によって図９のように
インク噴射口の並ぶ記録ヘッド表面が平坦で、隙間を生
じさせない構造が可能となる。
向に隣り合う個別ノズル同志をその駆動素子の位置で不
必要な他の部位に接触するのを避けられるため、クロス
トークを防止できるのに加え、積層方向の厚みを薄くす
ることが可能で、かつ、この構造によって図９のように
インク噴射口の並ぶ記録ヘッド表面が平坦で、隙間を生
じさせない構造が可能となる。
【００５０】このことは非記録時における記録ヘッドの
保護のためなされるキャッピングを完全なものとし、イ
ンク噴射口からのインクの蒸発による乾燥を防ぐ効果も
期待できる。
保護のためなされるキャッピングを完全なものとし、イ
ンク噴射口からのインクの蒸発による乾燥を防ぐ効果も
期待できる。
【００５１】請求項４記載の発明によれば、インク噴射
口の配列を正確なものとし高精細な記録が行えることの
ほか、合理的に一定範囲内にインク噴射口を配列するこ
とが可能なため、無駄なスペースを要することなく記録
ヘッドを小型化することが可能となる。
口の配列を正確なものとし高精細な記録が行えることの
ほか、合理的に一定範囲内にインク噴射口を配列するこ
とが可能なため、無駄なスペースを要することなく記録
ヘッドを小型化することが可能となる。
【００５２】請求項５記載の発明によれば、個別ヘッド
を順次積層する際に生じるずれに関係なく、インク噴射
口を所望の位置に設けることが可能となるため、高精細
な記録が可能な記録ヘッドを提供できる。
を順次積層する際に生じるずれに関係なく、インク噴射
口を所望の位置に設けることが可能となるため、高精細
な記録が可能な記録ヘッドを提供できる。
【図１】本発明の記録ヘッドを正面から見た概要図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施例１に基づく積層状態を示す図で
ある。
ある。
【図３】本発明の実施例２に基づく積層状態を示す図で
ある。
ある。
【図４】本発明の個別ヘッド上に設けた電極の配置を示
す図（実施例１，２共通）である。
す図（実施例１，２共通）である。
【図５】本発明の記録ヘッドを電極を設けた面から見た
図（実施例１，２共通）である。
図（実施例１，２共通）である。
【図６】本発明の実施例１に基づく個別ヘッドの動作状
態を示す図である。
態を示す図である。
【図７】本発明の実施例２に基づく個別ヘッドの動作状
態を示す図である。
態を示す図である。
【図８】本発明の記録ヘッドを搭載した記録装置本体の
外観斜視図である。
外観斜視図である。
【図９】本発明の記録ヘッドとその周辺部材の外観斜視
図である。
図である。
【図１０】本発明の個別ヘッドを組み立てる際の概要図
である。
である。
【図１１】本発明の記録ヘッドのインク噴射口を加工す
るときの様子を示す図である。
るときの様子を示す図である。
【図１２】本発明の記録ヘッドの正面拡大図、インク噴
射口の配列を示す図である。
射口の配列を示す図である。
【図１３】従来技術例の記録ヘッドの概要図である。
１ 個別ヘッド ２ 個別ヘッドの電極形成面 ３ インク噴射口 ４ 基体 ５ 蓋体 ６ 駆動素子 ７ インク流路溝 ８ 溝 ９ 溝 １０ 積層後の記録ヘッド １１ 共通電極 １２ 個別電極 １３ インク収容部 １４ 記録ヘッド固定台 １５ キャリッジ １６ プラテン １７ エキシマレーザ光 １１１ 基体 １１２ 細孔 １１３ 共通電極 １１４ 電歪素子
Claims (5)
- 【請求項１】 同一平面内に一列に並ぶ複数個のインク
噴射口を備えた個別ヘッドを、前記インク噴射口が形成
された面以外の少なくとも一端面が階段状になるよう順
次積層したことを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項２】 薄板状の基体の片方の面に、蓋体を装着
することによりインク流路を形成する流路溝を形成し、
蓋体の前記インク流路側とは反対側の面に設置した駆動
素子の駆動荷よりインクを吐出する基体と蓋体と駆動素
子とからなる個別ヘッドの前記基体の前記インク流路側
とは反対側の面に、隣接する個別ヘッドの駆動素子の位
置に対応して凹部を設けたことを特徴とする請求項１記
載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 薄板状の基体の片方の面に蓋体を装着す
ることにより、インク流路を形成する流路溝を形成し、
該面と反対側の面に前記流路と対応した位置に駆動素子
を設置する凹部を設けて、前記位置での基体の薄肉部を
振動板として用いることを特徴とする請求項１記載のイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 個別ヘッド中で一列に並ぶインク噴射口
のピッチをＰ〔μｍ〕、記録時の消耗の解像度をＸ〔ｄ
ｐｉ〕、個別ヘッドの積層数をＮ〔個〕、記録ヘッドが
走査する方向（記録用紙が搬送される方向に垂直な方
向）と各個別ヘッドのインク噴射口が配列する方向との
なす角度をθ〔ｒａｄ〕、個別ヘッドの厚みをｔ〔μ
ｍ〕、階段状にずれている各個別ヘッドのずれ量をＡ
〔μｍ〕とした場合に、 θ＝ｓｉｎ-1（２５４００・Ｎ／Ｐ・Ｘ） Ａ＝（ｔ／ｔａｎθ）−（Ｐ／Ｎ） を満たすことを特徴とする請求項１乃至３に記載のイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項５】 予めインク吐出部近傍が貫通していない
インク流路溝を形成した基体と、蓋体とを貼着すること
により個別ヘッドを構成し、これを順次積層して記録ヘ
ッドとし、その後各インク吐出口を形成（貫通）するこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30271295A JP3176272B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | インクジェット記録ヘッド |
| US08/754,529 US5872580A (en) | 1995-11-21 | 1996-11-21 | Ink jet recording head with stacked individual head members and a manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30271295A JP3176272B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09141860A true JPH09141860A (ja) | 1997-06-03 |
| JP3176272B2 JP3176272B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=17912279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30271295A Expired - Fee Related JP3176272B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5872580A (ja) |
| JP (1) | JP3176272B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1027989A3 (en) * | 1999-02-14 | 2000-12-20 | Aprion Digital Ltd. | A bi-axial staggered printing array |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10146974A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| GB9706069D0 (en) * | 1997-03-24 | 1997-05-14 | Tonejet Corp Pty Ltd | Application of differential voltage to a printhead |
| US6357867B1 (en) | 1999-05-07 | 2002-03-19 | Spectra, Inc. | Single-pass inkjet printing |
| JP2001146010A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-29 | Nec Corp | インクジェット記録ヘッド |
| US6267475B1 (en) | 2000-02-26 | 2001-07-31 | Hewlett-Packard Company | Printer ink supply system |
| EP1216838B1 (en) * | 2000-12-22 | 2006-12-27 | Agfa-Gevaert | An ink jet printer with nozzle arrays that are moveable with respect to each other |
| US7885850B2 (en) * | 2003-11-20 | 2011-02-08 | Ebay Inc. | Automated feedback cancellation in a network-based transaction facility |
| EP2902206B1 (en) * | 2014-01-31 | 2021-06-09 | HP Scitex Ltd | Printhead arrangement on a printbar beam member |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62198466A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-02 | Fuji Electric Co Ltd | インクジエツト記録ヘツド |
| JPH0796301B2 (ja) * | 1986-06-25 | 1995-10-18 | 日本電気株式会社 | セラミックインクジェットヘッドとその製造方法 |
| JP2776993B2 (ja) * | 1991-03-07 | 1998-07-16 | ローム株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
| JPH0631923A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-08 | Seikosha Co Ltd | 静電インクジェット記録装置 |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP30271295A patent/JP3176272B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-11-21 US US08/754,529 patent/US5872580A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1027989A3 (en) * | 1999-02-14 | 2000-12-20 | Aprion Digital Ltd. | A bi-axial staggered printing array |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5872580A (en) | 1999-02-16 |
| JP3176272B2 (ja) | 2001-06-11 |
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