JPH09141192A - 板状パネルの搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】薄肉であって大サイズの液晶パネルを枚葉式に
洗浄槽内で搬送するに際し、剛性不充分により下向きに
撓むのを防止し、確実にフラットな姿勢状態を維持して
搬送し、確実な精密洗浄を得ることが出来るようにす
る。 【解決手段】洗浄槽３内に充満した洗浄液に対し浸漬状
態にした板状の液晶パネル１' をその両側端縁部を支持
ローラ５，５に載置して搬送するに際し、その中央部の
面の下側に洗浄液噴出ノズル９を上向きにして設置さ
せ、洗浄液を当該撓み部分に噴出して動圧により撓みを
防止し、フラットの姿勢状態で搬送し、汚れの付着を防
止し、設計通りの確実な精密洗浄を出来るようにする。 【効果】大サイズの剛性が小さな板状のパネルであって
も、洗浄中において確実に無接触状態でフラット姿勢を
保持し搬送することが出来るために、汚れの付着が防止
されて設計通りの精密洗浄が成され、歩留り低下を防止
し、製品に対する信頼性が確実に増加する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】開示技術は、大サイズの液晶パネ
ル等の板状パネルの洗浄工程における搬送の技術分野に
属する。

【０００２】

【従来の技術】周知の如く、市民社会の向上は科学技術
の隆盛に負うところが大で、産業社会によって供給され
る各種の装置器具類に支持されていることろが大であ
る。

【０００３】而して、かかる装置器具類は多くの場合、
複数の部品から組み立てられている態様がほとんどであ
り、各種部品には板状パネル等が多く用いられている。

【０００４】そして、該種装置器具類は産業用ばかりで
なく、民生用のものも多く、例えば、液晶パネル等の板
状パネルが多く用いられているが、当該液晶パネルに限
らず、近時の装置器具類は極めて精密に造られており、
その部品自体は勿論のこと、当該部品を組み立てる際に
おける各部品間の清浄度が高精度に図られねばならな
い。

【０００５】したがって、液晶パネル等の板状パネルに
おける洗浄工程には前段等の製造工程において付着する
油分やパーティクル状の塵埃についてミクロン単位を超
えてサブミクロン単位にまで確実に除去されることが必
要である。

【０００６】したがって、該板状パネルの洗浄工程にお
いては各種の洗剤による洗浄槽工程が複段に設けられ、
超音波等を介して所定の洗浄を行い、次いで、純水によ
る仕上げ洗浄が行われ、次いで、清浄空気による乾燥工
程等が設けられている。

【０００７】而して、一般に板状パネルの洗浄工程は枚
葉方式が用いられているが、例えば、板状パネルとして
の液晶パネル１はその厚みは薄肉状であり、当該液晶パ
ネル１を枚葉式に洗浄するには、図５に示す様に、所定
の洗浄液を貯溜した洗浄槽３において（勿論、乾燥槽も
後段に設けられてはいる）、該洗浄槽３の両側のフレー
ムに伝導機構４を装備した一対の支持ローラ５，５上に
該液晶パネル１の両側端縁を載置して支持させるように
し、洗浄液中に浸漬状態（シャワーリング槽での工程で
は空中搬送の状態で）にして搬送して複段の洗浄を行う
ようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶パ
ネル等の板状パネル１はそのコストダウンを図る等の点
から、大サイズ化が図られるようになり、在来態様の
中，小サイズの液晶パネル１に対し、図７に示す様に、
５５０×６５０等の大サイズの液晶パネル等の板状パネ
ル１' が生産されて供給されるようになってきている。

【０００９】ところで、図３に示す様に、当該大サイズ
の液晶パネル１' の乾燥処理を行う場合には、その両側
端縁が支持ローラ５，５に支持されて洗浄流体中に浸漬
状態、又は、シャワーリングの際空中にて枚葉式に搬送
されるために、当該液晶パネル１' が大サイズのわりに
はその肉厚が０．７mm等１mm以下と薄いために、全体に
亘る剛性が不充分となって中央部寄りが下向きに彎曲し
て撓み状態が形成され、図９に示す様に、支持ローラ
５，５間の洗浄槽３の内側にてそり反り現象が生じ、し
たがって、支持ローラ５とは点接触的な支持状態にな
り、搬送がうまく行かず撓みがひどいと支持ローラ５，
５から落下してしまうという欠点があった。

【００１０】又、図６に示す様にブラシローラ６，６の
介装により洗浄流体と液晶パネル１' に対して刷掃を行
って洗浄作用を行うことにより搬送方向への搬送力が不
充分になることから、支持ローラ５に対して駆動ローラ
５' を添設して支持ローラ５とで液晶パネル１' を挾装
状態にして強制的に搬送するようにしているが、当該液
晶パネル１' に撓み現象が生ずると、図１０に示す様
に、支持ローラ５と駆動ローラ５' の間における液晶パ
ネル１' の端縁部がそり反り状態になって充分な搬送力
が付与出来ず、無理な搬送を行おうとする液晶パネル１
' の側端縁部に破壊が生ずるという不測の事態を招来し
かねないという不都合さがあり、歩留り低下につなが
り、又、当該破壊されたガラス片のパーティクル等が洗
浄流体中に飛散して後続の液晶パネル１' の洗浄作用に
支障をきたしかねないというデメリットがあった。

【００１１】これに対処するに、図１１に示す様に、洗
浄流体中の液晶パネル１' の下面に他の支持ローラ５'
'，５''を対設して液晶パネル１' の薄肉による剛性不
測を補うべく、支持するようにすることも考えられる
が、このようにすることにより、液晶パネル１' の機能
的に重要な部分を占める中央部分に当該支持ローラ５''
との接触による汚れの付着が生ずるという致命的欠陥が
発生する虞があった。

【００１２】そして、このような問題点は大サイズの液
晶パネルにのみ生ずるのではなく、ウエハ等の剛性がそ
のサイズのわりには充分でなく、しかも、洗浄度がサブ
ミクロン単位まで要求されるような超精密洗浄を必要と
する大サイズの板状パネルについても同様なネックとな
っていた。

【００１３】

【発明の目的】この出願の発明の目的は上述従来技術に
基づく液晶パネル等の剛性が必ずしも充分でない大サイ
ズの板状パネルの洗浄工程や乾燥工程における搬送に伴
う問題点を解決すべき技術的課題とし、洗浄流体中に浸
漬状態やシャワーリング工程や乾燥工程で枚葉式に搬送
する板状パネルに対する洗浄機能や乾燥機能が設計通り
に維持され、しかも、何らその搬送プロセスにおける撓
み等が発生しないようにし、当該板状のパネルに対する
損傷や汚れ等の付着も生じないようにし、確実に洗浄作
用，乾燥作用が行え、歩留り低下等も生じないようにし
て精密機械装置器具類製造産業における洗浄技術利用分
野に益する優れた板状パネルの搬送方法を提供せんとす
るものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段・作用】上述目的に沿い先
述特許請求の範囲を要旨とするこの出願の発明の構成
は、前述課題を解決するために、剛性が充分でなく大サ
イズの板状のパネルを洗浄流体中に浸漬状態やシャワー
リング状態で次段の乾燥工程等へ搬送するに際し、当該
洗浄槽等のフレームに枢支された支持ローラ等に左右の
側端縁部を支持させて枚葉式に搬送するに際し、当該洗
浄工程で洗浄液、或いは、そのシャワーリング工程、更
に、乾燥工程等での空気を当該板状パネルの下面側に付
設したノズルを介して上向きに噴出させることによって
当該板状パネルの下向きに彎曲する撓みを防止してフラ
ットな姿勢状態に支持し、支持ローラによりスムーズに
搬送が図れ、当該板状パネルの表裏面に於ける汚れの付
着を防止出来、歩留りが何ら低下しないようし、設計通
りの洗浄や乾燥が大サイズであって必ずしも剛性が充分
でない板状パネルに対しても確実に行えるように保証す
ることが出来るようにした技術的手段を講じたものであ
る。

【００１５】勿論、ノズルから上向きに噴出する流体は
クリーンなものである。

【００１６】

【実施例】次に、この出願の発明の実施例を図１〜図４
に基づいて説明すれば以下の通りである。

【００１７】尚、図５以下と同一態様部分は同一符号を
用いて説明するものとする。

【００１８】図示実施例は板状パネルとしての画像表示
用の液晶パネル１' に対する態様であり、例えば、５５
０×６５０の大サイズで０．７mm等の薄肉の撓み易い液
晶パネル１' に対する洗浄，乾燥に供するものである。

【００１９】図１，図２に示す実施例において、Ａはこ
の出願の発明の要旨の１つの中心を成す板状パネルの搬
送装置であり、その洗浄槽３は長手方向に複数段の洗浄
工程（イ），（ロ），（ハ）が付設され、純水によるシ
ャワーリング工程の仕上げ洗浄工程（ニ）が介設され、
更に、エアシャワーによる乾燥工程（ホ）が設けられて
おり、これらの各工程の洗浄槽３のフレームの上部両側
に伝導機構４を介して支持ローラ５，５が枢設されてお
り、大サイズの薄肉の液晶パネル１' の両側端縁部を載
置して所定に枚葉式に搬送するようにされている。

【００２０】而して、この出願の発明においては各工程
の例えば洗浄槽３（シャワーリング工程や乾燥工程で
も）の中央部、或いは、該中央部より下側にヘッダー８
が設けられて該ヘッダー８から洗浄液中に浸漬状態（シ
ャワーリング工程又は乾燥工程では空中で）で支持ロー
ラ５，５に載置されて搬送される液晶パネル１' の中央
部に対して上向きにノズル９，９が設けられ、該ヘッダ
ー８に対しては洗浄槽３内の洗浄液又はエアを所定圧に
循環送給するポンプ１０を介して循環通路１１が接続さ
れている。

【００２１】尚、１２は超音波発振装置であり、洗浄工
程（イ）の洗浄液中に浸漬状態で配設されているもので
あるが、この出願の発明の要旨には直接かかわりはない
ものである。

【００２２】又、１２' はフィルタである。

【００２３】上述構成において、洗浄槽３内に（イ）〜
（ハ）工程では洗浄液を該洗浄槽３内に充満状態にし、
又、純水による洗浄工程（ニ）においては純水を洗浄槽
３内に充満状態にし、在来態様同様に液晶パネル１' を
該支持ローラ５，５にその両側端縁を載置して支持状態
にして枚葉式に搬送すると、前述した如く、該液晶パネ
ル１' は大サイズであり、しかも、その肉厚は薄肉であ
るために、フラットに支持ローラ５，５に載置支持され
るにはその剛性は充分でなく、図１の点線に示す様に、
その重力を介し液晶パネル１' は両側壁縁部から中央部
にかけて下側に彎曲して撓む状態になって前述した如く
さまざまな問題点が生ずる。

【００２４】そこで、この出願の発明にあってはポンプ
１０を所定に作動し、槽３内の洗浄液、或いは、純水や
空気を循環通路１１、フィルタ１２' を介しヘッダー８
に循環供給し、ノズル９，９を介し当該洗浄液（或い
は、純水，空気）を液晶パネル１' の中央部にかけて噴
流９１を上向きに付与し、当該部分に動圧を付与する。

【００２５】したがって、当該動圧により液晶パネル１
' の撓み部分は上向きに矯正されて図１の実線に示す様
に、フラット状態になり、該支持ローラ５，５に水平姿
勢で載置状態になり、スムーズに次段に搬送されてい
く。

【００２６】勿論、この場合、該動圧により液晶パネル
１' が上方に彎曲してそり反ったり浮上するようにはな
らないように動圧を予め所定に調節しておく。

【００２７】そして、かかる作用はシャワーリング工程
や洗浄工程（ニ）においても同様に行われ、又、空気乾
燥工程（ホ）の状態においても、ノズル９から乾燥空気
を噴出することにより、同様に液晶パネル１' はフラッ
ト姿勢で搬送されていく。

【００２８】このようにして薄肉の液晶パネル１' は各
洗浄工程（イ），（ロ），（ハ），（ニ），（ホ）にお
ける搬送姿勢はフラットな姿勢状態に保持されてスムー
ズに搬送され、したがって、前述の如く、支持ローラ
５，５間の挾装部分に於いても実質的に非接触状態で搬
送がなされ、汚れの付着等が防止される。

【００２９】而して、図３に示す実施例においてＡ' は
他の態様としての搬送装置であり、ヘッダー８' に対し
ポンプ１０による洗浄液の循環通路１１にフイルター１
３を介し空気送給ポンプ１０' が空気輸送通路１１' に
介設され、該ヘッダー８' をして気液混合装置を成し、
ノズル９から液晶パネル１' の撓み発生部位に対し気液
混合状態の噴流９１を付与して上向きの動圧を形成し、
当該液晶パネル１' をフラット姿勢状態でスムーズに搬
送するようにしたものである。

【００３０】而して、当該気液混合状態の上向きの噴流
９１により液晶パネル１' の撓み発生部位に対する動圧
は柔軟にされ、洗浄機能も確実に果されるものである。

【００３１】次に、図４に示す実施例は図１，図２に示
す実施例におけるポンプ１０によるヘッダー８のノズル
９からの噴流９１の動圧が過不足ないようにするために
動圧調整機構１４を洗浄液循環通路１１に介装して該動
圧を自在に調整し、液晶パネル１' のフラット姿勢状態
が確実に得られることが出来るようにした搬送装置Ａ''
の態様である。

【００３２】尚、この出願の発明の実施態様は上述各実
施例に限るものでないことは勿論であり、例えば、ノズ
ルについては液晶パネル１' の撓み発生部位に垂直姿勢
に設けるのみならず、適宜に傾斜させて液晶パネルの撓
み防止をし、フラット状態を維持するようにしたり、流
体の噴出を板状パネルの当該ノズルの上方位置に到来す
るタイミングで行ったりする等種々の態様が採用可能で
ある。

【００３３】又、設計変更的には対象とする板状パネル
は液晶パネル以外にもウエハ等種々のものが採用可能で
ある。

【００３４】そして、ノズルからの噴流は洗浄液に限ら
ず、乾燥空気等の気体に対しても適用出来るものである
ことは勿論のことである。

【００３５】

【発明の効果】以上、この出願の発明によれば、基本的
に大サイズの液晶パネルの如き板状パネルの枚葉式の洗
浄工程や乾燥工程において該板状のパネルの両側端縁部
を支持ローラに載置支持して枚葉式に搬送する工程にて
当該板状のパネルを浸漬状態にしている洗浄液や気中状
態にしている乾燥空気等の流体を当該板状パネルの支持
ローラ間の下面にノズルを介して上向きに噴出させるこ
とにより、当該板状パネルは該ノズルから噴出する噴流
流体により所定の動圧を受けて重力により下方に彎曲し
て撓みが発生するのに抗して上向きの力を付与すること
により、該板状のパネルが薄肉であって、しかも、大サ
イズで剛性が不充分であっても、フラット姿勢状態で枚
葉式に搬送を継続することが出来、したがって、当該板
状のパネルの両側端縁部のローラに対する支持姿勢状態
が設計通りになされ、在来態様の如く、搬送不良を生じ
たり、当該支持ローラに対向して設けられた駆動ローラ
との間に挾装される該板状のパネルの両側端縁部に於て
パーティクルが生ずるような虞がなく、又、そのために
搬送する工程における板状パネルに対する汚れの付着等
の虞がなく、又、撓み防止用に該撓み発生予想部位に他
の支持ローラを設けることによる該支持ローラの接触に
よる汚れの付着等が防止され、確実に精密洗浄や乾燥が
成され、設計通りの清浄な板状パネルが得られるという
優れた効果が奏される。

【００３６】又、噴流付与ノズルに気液混合装置を設け
て噴流を気液混合式にすることにより、動圧を緩和し洗
浄を柔軟に行うことが出来る利点もある。

【００３７】そして、このようにすることにより板状の
パネルが薄肉であって大サイズで小剛性であっても、小
サイズの場合同様に確実な洗浄や乾燥がフラットの状態
で行え、そのために洗浄プロセスにおける製品歩留りの
低下も防止出来るというメリットがあり、製品に対する
信頼性も充分に維持出来るという優れた効果が奏され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この出願の発明の１実施例の横断面図である。

【図２】同、概略縦断面図である。

【図３】図１相当の他の実施例の模式図である。

【図４】図１同様の別の実施例の概略横断面図である。

【図５】在来態様の洗浄工程の模式横断面図である。

【図６】同、別の態様の横断面図である。

【図７】板状のパネルの模式斜視図である。

【図８】当該大サイズの板状パネルに対する従来態様の
洗浄の模式横断面図である。

【図９】同、支持ローラに対する端縁部の取り合い模式
拡大横断面図である。

【図１０】支持ローラと駆動ローラ部に対する端縁部の
取り合い模式断面図である。

【図１１】大サイズの板状のパネルに対する洗浄態様の
模式横断面図である。

【符号の説明】

１' 板状のパネル ５ 支持ローラ ３ 洗浄槽 ９ 噴出ノズル Ａ，Ａ' ，Ａ'' 板状のパネルの搬送装置 ８' 液混合装置（図３に於ける） １４ 動圧調整機構

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】大サイズで板状パネルを洗浄工程にてその
   両側縁を支持ローラにより支持しながら洗浄又は乾燥処
   理中にて枚葉式に搬送する方法において、該板状のパネ
   ルの下面中央部に処理流体を上向きで噴流式に吹きつ
   け、動圧を付与して該板状パネルをしてフラットな姿勢
   状態で送給するようにすることを特徴とする板状パネル
   の搬送方法。
2. 【請求項２】上記洗浄処理が洗浄液中に浸漬状態で行わ
   れるようにされることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の板状パネルの搬送方法。
3. 【請求項３】上記処理が洗浄流体のシャワーリング又は
   エアシャワー中で行われることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の板状パネルの搬送方法。
4. 【請求項４】上記処理流体の噴流が洗浄液又は乾燥気体
   のいずれかであることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の板状パネルの搬送方法。
5. 【請求項５】上記処理流体が気液混合体であることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の板状パネルの搬送
   方法。
6. 【請求項６】上記処理流体の噴出を板状パネルの到来タ
   イミングと同期して行うようにすることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の板状パネルの搬送方法。