JPH09141051A - ＮＯｘ除去装置 - Google Patents
ＮＯｘ除去装置Info
- Publication number
- JPH09141051A JPH09141051A JP7301697A JP30169795A JPH09141051A JP H09141051 A JPH09141051 A JP H09141051A JP 7301697 A JP7301697 A JP 7301697A JP 30169795 A JP30169795 A JP 30169795A JP H09141051 A JPH09141051 A JP H09141051A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- anode
- gas introduction
- nox
- introduction pipe
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 放電領域内に時間的にも空間的にもより安定
した放電を生起させうる高効率のＮＯx 除去装置を提供
すること。 【解決手段】 このＮＯx 除去装置は、被処理ガスが通
流し長手軸に平行な４面のうち互いに対向する一対の２
面が陰極板（１ａ，１ｂ）として構成された処理室
（２）と、この処理室内の陰極板相互間に長手軸にほぼ
直角にかつ陰極板にほぼ平行に配置されたガス導入管
（８）と、このガス導入管の長手方向に沿い間隔をおい
て複数箇所に取り付けられ、各箇所においてガス導入管
に連通し、先端がノズルとして構成され、放射方向にＸ
状に延伸するように設けられた陽極（１３ａ〜１３ｄ）
と、ガス導入管を通して陽極ノズルから処理室内に、微
量のＮＨ3を含有する添加ガスを導入する添加ガス供給
手段（１０）と、陰極板との間にコロナ放電を生起させ
るための電圧を陽極に印加する電圧印加手段（９）とを
備えたものである。
した放電を生起させうる高効率のＮＯx 除去装置を提供
すること。 【解決手段】 このＮＯx 除去装置は、被処理ガスが通
流し長手軸に平行な４面のうち互いに対向する一対の２
面が陰極板（１ａ，１ｂ）として構成された処理室
（２）と、この処理室内の陰極板相互間に長手軸にほぼ
直角にかつ陰極板にほぼ平行に配置されたガス導入管
（８）と、このガス導入管の長手方向に沿い間隔をおい
て複数箇所に取り付けられ、各箇所においてガス導入管
に連通し、先端がノズルとして構成され、放射方向にＸ
状に延伸するように設けられた陽極（１３ａ〜１３ｄ）
と、ガス導入管を通して陽極ノズルから処理室内に、微
量のＮＨ3を含有する添加ガスを導入する添加ガス供給
手段（１０）と、陰極板との間にコロナ放電を生起させ
るための電圧を陽極に印加する電圧印加手段（９）とを
備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、添加ガス注入型放
電方式のＮＯx 除去装置に関する。
電方式のＮＯx 除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば火力発電所や、ごみ焼却場、自
動車トンネル等から大気中に排出される排煙ガス中に含
まれる窒素酸化物（以下、ＮＯx という）が酸性雨など
の形で地球の環境破壊に与える影響は今日、深刻な問題
を提起している。この問題に対処するために近年になっ
て電子ビーム方式や放電方式といったＮＯx 除去装置が
提案され注目を集めている。
動車トンネル等から大気中に排出される排煙ガス中に含
まれる窒素酸化物（以下、ＮＯx という）が酸性雨など
の形で地球の環境破壊に与える影響は今日、深刻な問題
を提起している。この問題に対処するために近年になっ
て電子ビーム方式や放電方式といったＮＯx 除去装置が
提案され注目を集めている。
【０００３】とくに放電方式の場合、ＮＯx を除去する
ためには、処理室内でラジカル粒子を効率的に生成する
ことがキーポイントになる。ラジカル粒子を効率的に生
成するためには、排煙ガスおよび放電により発生するイ
オンのエネルギーを上昇させることなく、ラジカル粒子
の生成に主たる役割を果たす放電空間の電子エネルギー
のみを上昇させるようにしなければならない。そのため
には通常、１０ｅＶ程度までの電子エネルギーが必要と
される。そのため、放電形態としては、電子エネルギー
の比較的高いコロナ放電が採用される。
ためには、処理室内でラジカル粒子を効率的に生成する
ことがキーポイントになる。ラジカル粒子を効率的に生
成するためには、排煙ガスおよび放電により発生するイ
オンのエネルギーを上昇させることなく、ラジカル粒子
の生成に主たる役割を果たす放電空間の電子エネルギー
のみを上昇させるようにしなければならない。そのため
には通常、１０ｅＶ程度までの電子エネルギーが必要と
される。そのため、放電形態としては、電子エネルギー
の比較的高いコロナ放電が採用される。
【０００４】このコロナ放電を生起させるための電極構
造としては種々の形式のものが存在するが、その一つが
陽極を用いたＮＯx 除去装置である。図１０はそのよう
な陽極付きパイプ放電電極を用いたＮＯx 除去装置を、
前面板を外した状態で示すものである。
造としては種々の形式のものが存在するが、その一つが
陽極を用いたＮＯx 除去装置である。図１０はそのよう
な陽極付きパイプ放電電極を用いたＮＯx 除去装置を、
前面板を外した状態で示すものである。
【０００５】図１０のＮＯx 除去装置においては、大量
の排煙ガスを処理するために、アース電位の金属製、た
とえばステンレス鋼製の、上下に配置される一対の平行
平板電極として構成された陰極板１ａ，１ｂと、絶縁体
からなり左右両側面に配置される一対の側壁板１ｃ，１
ｄと、同じく絶縁体からなり前後面に配置される前面板
１ｅ（これは都合上、取り外した状態にあり、図示され
ていない）および後面板１ｆとにより処理室２を形成し
ている。右側壁板１ｃにはガス引込管３に連通するガス
入口４が形成され、また後面板１ｆには左側壁板１ｄの
近くに、ガス排出管５に連通するガス出口６が形成され
ている。処理室２には、ガス引込管３からガス入口４を
介して被処理ガス、たとえば排煙ガスが導入され、処理
室２内を通った排煙ガスはガス出口６からガス排出管５
を介して外部へ排出される。処理室２の中央部に、陽極
７ａ，７ｂを有するガス導入管８が配置される。ガス導
入管８および陽極７ａ，７ｂは金属製、たとえばステン
レス鋼製であって、互いに連通し、電気的にも互いに導
通している。陽極７ａ，７ｂは処理室２内に直流コロナ
放電を発生させるために設けられているものであって、
ガス導入管８を中心としてその両側に水平に延びてお
り、アース電位の陰極板１ａ，１ｂを基準電位（アース
電位）とし、直流電源９からガス導入管８を介して正極
性のコロナ放電用直流電圧（ＨＶ）が印加される。陽極
７ａ，７ｂには添加ガス供給装置１０からガス導入管８
を介して添加ガスが供給され、その添加ガスは陽極７の
先端開口から処理室２内に噴出される。添加ガスとして
は、空気を主成分とし、それに微量のアンモニアガスＮ
Ｈ3 を混入したものが用いられる。
の排煙ガスを処理するために、アース電位の金属製、た
とえばステンレス鋼製の、上下に配置される一対の平行
平板電極として構成された陰極板１ａ，１ｂと、絶縁体
からなり左右両側面に配置される一対の側壁板１ｃ，１
ｄと、同じく絶縁体からなり前後面に配置される前面板
１ｅ（これは都合上、取り外した状態にあり、図示され
ていない）および後面板１ｆとにより処理室２を形成し
ている。右側壁板１ｃにはガス引込管３に連通するガス
入口４が形成され、また後面板１ｆには左側壁板１ｄの
近くに、ガス排出管５に連通するガス出口６が形成され
ている。処理室２には、ガス引込管３からガス入口４を
介して被処理ガス、たとえば排煙ガスが導入され、処理
室２内を通った排煙ガスはガス出口６からガス排出管５
を介して外部へ排出される。処理室２の中央部に、陽極
７ａ，７ｂを有するガス導入管８が配置される。ガス導
入管８および陽極７ａ，７ｂは金属製、たとえばステン
レス鋼製であって、互いに連通し、電気的にも互いに導
通している。陽極７ａ，７ｂは処理室２内に直流コロナ
放電を発生させるために設けられているものであって、
ガス導入管８を中心としてその両側に水平に延びてお
り、アース電位の陰極板１ａ，１ｂを基準電位（アース
電位）とし、直流電源９からガス導入管８を介して正極
性のコロナ放電用直流電圧（ＨＶ）が印加される。陽極
７ａ，７ｂには添加ガス供給装置１０からガス導入管８
を介して添加ガスが供給され、その添加ガスは陽極７の
先端開口から処理室２内に噴出される。添加ガスとして
は、空気を主成分とし、それに微量のアンモニアガスＮ
Ｈ3 を混入したものが用いられる。
【０００６】図１０のＮＯx 除去装置においては、陽極
７ａ，７ｂ近傍の電子エネルギーの高いコロナ放電域に
作用するように添加ガス供給装置１０から添加ガスを導
入することによりラジカル粒子を大量に生成し、ＮＯx
除去作用がより良好に促進されるようにしている。
７ａ，７ｂ近傍の電子エネルギーの高いコロナ放電域に
作用するように添加ガス供給装置１０から添加ガスを導
入することによりラジカル粒子を大量に生成し、ＮＯx
除去作用がより良好に促進されるようにしている。
【０００７】次に、このＮＯx 除去装置による典型的な
ＮＯx 除去の反応プロセスについて説明する。コロナ放
電により生成されたラジカルにより処理室２内を通流す
る排煙ガスに含有されている窒素酸化物ＮＯはＮＯ2 や
Ｎ2 Ｏ5 などに酸化され、また添加ガスＧに含有される
ＮＨ3 はコロナ放電領域を通過するため、ＮＨやＮＨ2
といったラジカルに分解され、 ＮＯ＋ＮＨ2 →Ｈ2 Ｏ＋Ｎ2 ＮＯ＋ＮＨ→Ｎ2 ＋ＯＨ ＮＯ＋ＯＨ＋Ｎ2 →ＨＮＯ2 ＋Ｎ2 →（エアロゾル化） という反応で直接ＮＯを無害なガスおよびエアロゾルに
転換してしまう。
ＮＯx 除去の反応プロセスについて説明する。コロナ放
電により生成されたラジカルにより処理室２内を通流す
る排煙ガスに含有されている窒素酸化物ＮＯはＮＯ2 や
Ｎ2 Ｏ5 などに酸化され、また添加ガスＧに含有される
ＮＨ3 はコロナ放電領域を通過するため、ＮＨやＮＨ2
といったラジカルに分解され、 ＮＯ＋ＮＨ2 →Ｈ2 Ｏ＋Ｎ2 ＮＯ＋ＮＨ→Ｎ2 ＋ＯＨ ＮＯ＋ＯＨ＋Ｎ2 →ＨＮＯ2 ＋Ｎ2 →（エアロゾル化） という反応で直接ＮＯを無害なガスおよびエアロゾルに
転換してしまう。
【０００８】以上のＮＯx 除去の原理の詳細について
は、たとえば、IEEE TRANSACTIONS ONINDUSTORY APPLIC
ATIONS ，Vol.30，No.4，pp.856-861，“NOx Removal b
y a Pipe with Nozzle-Plate Electrode Corona Discha
rge System ”（１９９４年７月発行）に記載されてい
る。
は、たとえば、IEEE TRANSACTIONS ONINDUSTORY APPLIC
ATIONS ，Vol.30，No.4，pp.856-861，“NOx Removal b
y a Pipe with Nozzle-Plate Electrode Corona Discha
rge System ”（１９９４年７月発行）に記載されてい
る。
【０００９】なお、添加ガスを注入しない方式のＮＯx
除去装置では、図１２に原理図として示すように、円筒
型に形成された外被兼用の陰極管１１の軸心を通るよう
に軸状陽極１２を配置するとともに、陰極管１１内に一
端から排煙ガスを導入し、他端からそれを排出する。陽
極１２に直流電源９から放電用直流電圧ＨＶを印加す
る。この装置のＮＯx 除去の原理は、同軸円筒型放電管
方式としてすでに知られているところであり、その詳細
説明は省略する。
除去装置では、図１２に原理図として示すように、円筒
型に形成された外被兼用の陰極管１１の軸心を通るよう
に軸状陽極１２を配置するとともに、陰極管１１内に一
端から排煙ガスを導入し、他端からそれを排出する。陽
極１２に直流電源９から放電用直流電圧ＨＶを印加す
る。この装置のＮＯx 除去の原理は、同軸円筒型放電管
方式としてすでに知られているところであり、その詳細
説明は省略する。
【００１０】この方式のＮＯx 除去装置の一つの欠点
は、陰極管１１の軸方向全体にわたって無秩序に放電部
Ｃが発生するので、ＮＯx 除去効率が低くなることであ
る。この欠点を解消させる一つの方式が図１０の添加ガ
ス注入方式である。
は、陰極管１１の軸方向全体にわたって無秩序に放電部
Ｃが発生するので、ＮＯx 除去効率が低くなることであ
る。この欠点を解消させる一つの方式が図１０の添加ガ
ス注入方式である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述の経緯をもって提
案された図１０に示すような添加ガス注入型放電方式の
ＮＯx 除去装置ではあるが、そのＮＯx 除去性能は必ず
しも満足できるレベルには達していないのが現状であ
る。すなわち、従来装置（図１０）ではコロナ放電の発
生領域が狭く、また、放電が不安定で、効率のよいＮＯ
x 除去が行われているとは言えない。図１１に示すよう
に、放電は陽極７ａ，７ｂから対をなす陰極板１ａ，１
ｂに向けて放電領域Ｃ11，Ｃ12ないしはＣ21，Ｃ22に生
起される。そのため、両放電領域Ｃ11，Ｃ12相互間また
は放電領域Ｃ21，Ｃ22相互間の放電干渉が強く、陰極板
１ａ，１ｂに向けて両方向に安定した放電を同時に生起
させることは難しいからである。
案された図１０に示すような添加ガス注入型放電方式の
ＮＯx 除去装置ではあるが、そのＮＯx 除去性能は必ず
しも満足できるレベルには達していないのが現状であ
る。すなわち、従来装置（図１０）ではコロナ放電の発
生領域が狭く、また、放電が不安定で、効率のよいＮＯ
x 除去が行われているとは言えない。図１１に示すよう
に、放電は陽極７ａ，７ｂから対をなす陰極板１ａ，１
ｂに向けて放電領域Ｃ11，Ｃ12ないしはＣ21，Ｃ22に生
起される。そのため、両放電領域Ｃ11，Ｃ12相互間また
は放電領域Ｃ21，Ｃ22相互間の放電干渉が強く、陰極板
１ａ，１ｂに向けて両方向に安定した放電を同時に生起
させることは難しいからである。
【００１２】したがって、本発明の課題は、陽極から陰
極板に向けて時間的にも空間的にもより安定した放電を
生起させ、それにより、より高効率のＮＯx 除去を達成
しうる添加ガス注入型放電方式のＮＯx 除去装置を提供
することにある。
極板に向けて時間的にも空間的にもより安定した放電を
生起させ、それにより、より高効率のＮＯx 除去を達成
しうる添加ガス注入型放電方式のＮＯx 除去装置を提供
することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に請求項１の発明に係るＮＯx 除去装置は、被処理ガス
が通流し長手軸に平行な４面のうち互いに対向する一対
の２面が陰極板として構成された処理室と、この処理室
内の陰極板相互間に長手軸にほぼ直角にかつ陰極板にほ
ぼ平行に配置されたガス導入管と、このガス導入管の長
手方向に沿い間隔をおいて複数箇所に取り付けられ、各
箇所においてガス導入管に連通し、先端がノズルとして
構成され、放射方向にＸ状に延伸するように設けられた
陽極と、ガス導入管を通して陽極のノズルから処理室内
に、微量のＮＨ3 を含有する添加ガスを導入する添加ガ
ス供給手段と、陰極板との間にコロナ放電を生起させる
ための電圧を陽極に印加する電圧印加手段とを備えたも
のである。
に請求項１の発明に係るＮＯx 除去装置は、被処理ガス
が通流し長手軸に平行な４面のうち互いに対向する一対
の２面が陰極板として構成された処理室と、この処理室
内の陰極板相互間に長手軸にほぼ直角にかつ陰極板にほ
ぼ平行に配置されたガス導入管と、このガス導入管の長
手方向に沿い間隔をおいて複数箇所に取り付けられ、各
箇所においてガス導入管に連通し、先端がノズルとして
構成され、放射方向にＸ状に延伸するように設けられた
陽極と、ガス導入管を通して陽極のノズルから処理室内
に、微量のＮＨ3 を含有する添加ガスを導入する添加ガ
ス供給手段と、陰極板との間にコロナ放電を生起させる
ための電圧を陽極に印加する電圧印加手段とを備えたも
のである。
【００１４】請求項２の発明は、請求項１記載のＮＯx
除去装置において、陽極を誘電体で被覆したものであ
る。
除去装置において、陽極を誘電体で被覆したものであ
る。
【００１５】請求項３の発明は、請求項１記載のＮＯx
除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成したも
のである。
除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成したも
のである。
【００１６】請求項４の発明に係るＮＯx 除去装置は、
被処理ガスが通流し長手軸に平行な４面のうち互いに対
向する一対の２面が陰極板として構成された処理室と、
この処理室内の陰極板相互間に長手軸にほぼ直角にかつ
陰極板にほぼ平行に配置されたガス導入管と、このガス
導入管の長手方向に沿い間隔をおいて複数箇所に取り付
けられ、各箇所においてガス導入管に連通し、先端がノ
ズルとして構成されたＨ状の陽極と、ガス導入管を通し
て陽極のノズルから処理室内に、微量のＮＨ3を含有す
る添加ガスを導入する添加ガス供給手段と、陰極板との
間にコロナ放電を生起させるための電圧を陽極に印加す
る電圧印加手段とを備えたものである。
被処理ガスが通流し長手軸に平行な４面のうち互いに対
向する一対の２面が陰極板として構成された処理室と、
この処理室内の陰極板相互間に長手軸にほぼ直角にかつ
陰極板にほぼ平行に配置されたガス導入管と、このガス
導入管の長手方向に沿い間隔をおいて複数箇所に取り付
けられ、各箇所においてガス導入管に連通し、先端がノ
ズルとして構成されたＨ状の陽極と、ガス導入管を通し
て陽極のノズルから処理室内に、微量のＮＨ3を含有す
る添加ガスを導入する添加ガス供給手段と、陰極板との
間にコロナ放電を生起させるための電圧を陽極に印加す
る電圧印加手段とを備えたものである。
【００１７】請求項５の発明は、請求項４記載のＮＯx
除去装置において、陽極を誘電体で被覆したものであ
る。
除去装置において、陽極を誘電体で被覆したものであ
る。
【００１８】請求項６の発明は、請求項４記載のＮＯx
除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成したも
のである。
除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成したも
のである。
【００１９】請求項７の発明に係るＮＯx 除去装置は、
被処理ガスが通流し長手軸に平行な４面のうち互いに対
向する一対の２面が陰極板として構成された処理室と、
この処理室内の陰極板相互間に長手軸にほぼ直角にかつ
陰極板にほぼ平行に配置され、長手方向に沿い間隔をお
いて複数箇所に、それぞれ水平位置にガス導入口を形成
したガス導入管と、このガス導入管の軸心部に位置する
幹線、およびその幹線からガス導入口に対応しそのガス
導入口を絶縁状態で貫通してほぼ水平に分岐された複数
の枝線からなる線状材料からなる陽極と、ガス導入管を
介してガス導入口から処理室内に、微量のＮＨ3 を含有
する添加ガスを導入する添加ガス供給手段と、陰極との
間にコロナ放電を生起させるための電圧を線状陽極に印
加する電圧印加手段とを備えたものである。
被処理ガスが通流し長手軸に平行な４面のうち互いに対
向する一対の２面が陰極板として構成された処理室と、
この処理室内の陰極板相互間に長手軸にほぼ直角にかつ
陰極板にほぼ平行に配置され、長手方向に沿い間隔をお
いて複数箇所に、それぞれ水平位置にガス導入口を形成
したガス導入管と、このガス導入管の軸心部に位置する
幹線、およびその幹線からガス導入口に対応しそのガス
導入口を絶縁状態で貫通してほぼ水平に分岐された複数
の枝線からなる線状材料からなる陽極と、ガス導入管を
介してガス導入口から処理室内に、微量のＮＨ3 を含有
する添加ガスを導入する添加ガス供給手段と、陰極との
間にコロナ放電を生起させるための電圧を線状陽極に印
加する電圧印加手段とを備えたものである。
【００２０】請求項８の発明は、請求項７記載のＮＯx
除去装置において、線状陽極を誘電体で被覆したもので
ある。
除去装置において、線状陽極を誘電体で被覆したもので
ある。
【００２１】請求項９の発明は、請求項７記載のＮＯx
除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成したも
のである。
除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成したも
のである。
【００２２】請求項１０の発明は、請求項１、４および
７のいずれかに記載のＮＯx 除去装置において、陰極の
陽極との対向面を、陽極の先端を中心とする円弧面形状
に形成したものである。
７のいずれかに記載のＮＯx 除去装置において、陰極の
陽極との対向面を、陽極の先端を中心とする円弧面形状
に形成したものである。
【００２３】請求項１１の発明は、請求項１０記載のＮ
Ｏx 除去装置において、陽極を誘電体で被覆したもので
ある。
Ｏx 除去装置において、陽極を誘電体で被覆したもので
ある。
【００２４】請求項１２の発明は、請求項１０記載のＮ
Ｏx 除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成し
たものである。
Ｏx 除去装置において、ガス導入管を絶縁材から構成し
たものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は請求項１によるＮＯ
x 除去装置を示すものである。このＮＯx 除去装置の基
本構造は図１０に示すものと同一である。すなわち、ア
ース電位とされる金属製、たとえばステンレス鋼製の、
上下に配置される一対の陰極板１ａ，１ｂと、絶縁体か
らなり左右両側面に配置される一対の側壁板１ｃ，１ｄ
と、同じく絶縁体からなり前後面に配置される前面板１
ｅ（これは都合上、取り外した状態にあり、図示されて
いない）および後面板１ｆとにより処理室２を形成して
いる。右側壁板１ｃにはガス引込管３に連通するガス入
口４が形成され、また左側壁板１ｄにはガス排出管５に
連通するガス出口６が形成されている。処理室２には、
ガス引込管３からガス入口４を介して被処理ガス、たと
えば排煙ガスが導入され、処理室２内を通った排煙ガス
はガス出口６からガス排出管５を介して外部へ排出され
る。処理室２の中央部に、そこを横断する方向にガス導
入管８が配置され、ガス導入管８からノズル電極として
構成された陽極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが放射
方向にＸ状に延伸する形態で（図２参照）、ガス導入管
８の長さ方向に間隔をおいて複数組取り付けられてい
る。各陽極およびガス導入管８は金属製、たとえばステ
ンレス鋼製であって互いに連通し、電気的にも互いに導
通している。陽極１３ａ〜１３ｄは処理室２内の排煙ガ
ス通路に直流コロナ放電を発生させるために設けられて
いるものであり、アース電位の陰極板１ａ，１ｂを基準
電位（アース電位）とし、直流電源９からガス導入管８
を介して数十ｋＶ程度の正極性のコロナ放電用直流電圧
（ＨＶ）が印加される。陽極１３ａ〜１３ｄには添加ガ
ス供給装置１０からガス導入管８を介して添加ガスが供
給され、その添加ガスは陽極１３ａ〜１３ｄの先端すな
わちノズルから処理室２内の排煙ガス通路に噴出され
る。添加ガスとしては、空気を主成分とし、それに微量
のアンモニアガスＮＨ3 を混入したものが用いられる。
添加ガス量は添加ガス供給装置１０において空気量を加
減することによって調整することができる。また、場合
によっては放電特性を調整するために添加ガスの中にア
ルゴン（Ａｒ）を混入することもありうる。
施の形態について説明する。図１は請求項１によるＮＯ
x 除去装置を示すものである。このＮＯx 除去装置の基
本構造は図１０に示すものと同一である。すなわち、ア
ース電位とされる金属製、たとえばステンレス鋼製の、
上下に配置される一対の陰極板１ａ，１ｂと、絶縁体か
らなり左右両側面に配置される一対の側壁板１ｃ，１ｄ
と、同じく絶縁体からなり前後面に配置される前面板１
ｅ（これは都合上、取り外した状態にあり、図示されて
いない）および後面板１ｆとにより処理室２を形成して
いる。右側壁板１ｃにはガス引込管３に連通するガス入
口４が形成され、また左側壁板１ｄにはガス排出管５に
連通するガス出口６が形成されている。処理室２には、
ガス引込管３からガス入口４を介して被処理ガス、たと
えば排煙ガスが導入され、処理室２内を通った排煙ガス
はガス出口６からガス排出管５を介して外部へ排出され
る。処理室２の中央部に、そこを横断する方向にガス導
入管８が配置され、ガス導入管８からノズル電極として
構成された陽極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが放射
方向にＸ状に延伸する形態で（図２参照）、ガス導入管
８の長さ方向に間隔をおいて複数組取り付けられてい
る。各陽極およびガス導入管８は金属製、たとえばステ
ンレス鋼製であって互いに連通し、電気的にも互いに導
通している。陽極１３ａ〜１３ｄは処理室２内の排煙ガ
ス通路に直流コロナ放電を発生させるために設けられて
いるものであり、アース電位の陰極板１ａ，１ｂを基準
電位（アース電位）とし、直流電源９からガス導入管８
を介して数十ｋＶ程度の正極性のコロナ放電用直流電圧
（ＨＶ）が印加される。陽極１３ａ〜１３ｄには添加ガ
ス供給装置１０からガス導入管８を介して添加ガスが供
給され、その添加ガスは陽極１３ａ〜１３ｄの先端すな
わちノズルから処理室２内の排煙ガス通路に噴出され
る。添加ガスとしては、空気を主成分とし、それに微量
のアンモニアガスＮＨ3 を混入したものが用いられる。
添加ガス量は添加ガス供給装置１０において空気量を加
減することによって調整することができる。また、場合
によっては放電特性を調整するために添加ガスの中にア
ルゴン（Ａｒ）を混入することもありうる。
【００２６】以上の構成部分は図１０に示したＮＯx 除
去装置との比較において陽極１３ａ〜１３ｄ以外は基本
的に同一である。すなわち、図１の装置の特徴は、図２
から良く分かるように陽極１３ａ〜１３ｄが陰極板１
ａ，１ｂの間にガス導入管８から放射方向にＸ状に延伸
していることにある。
去装置との比較において陽極１３ａ〜１３ｄ以外は基本
的に同一である。すなわち、図１の装置の特徴は、図２
から良く分かるように陽極１３ａ〜１３ｄが陰極板１
ａ，１ｂの間にガス導入管８から放射方向にＸ状に延伸
していることにある。
【００２７】図１の実施の形態においては、陽極１３ａ
〜１３ｄに直流電源９からガス導入管８を介して数十ｋ
Ｖ程度の直流電圧（ＨＶ）を印加することによって、図
２に示すように陽極１３ａおよび１３ｃからはより近く
対向する陰極板１ａに向かうコロナ放電（コロナ放電部
Ｃ1 ，Ｃ3 ）が、陽極１３ｂおよび１３ｄからは同様に
より近く対向する陰極板１ｂに向かうコロナ放電（コロ
ナ放電部Ｃ2 ，Ｃ4 ）が生起する。コロナ放電の発生
中、放電空間では陰極板１ａ，１ｂから放出された電子
や、それが気体分子を電離することによって発生した電
子が電極間の高い電界によって加速される。１０ｅＶ程
度に加速された電子は非処理ガスすなわち排煙ガス中に
含まれる窒素ガスや添加ガスに含まれるＮＨ3 などと衝
突して、ＮやＮＨ，Ｏ，ＯＨなどのラジカルを生成す
る。このラジカルによりＮＯx の分解反応が促進され
る。とくに、ラジカル反応 ＮＯ2 ＋ＯＨ→ＨＮＯ3 などの反応によって生成されたＨＮＯ3 （硝酸）は添加
ガス中のＮＨ3 と反応して ＨＮＯ3 ＋ＮＨ3 →ＮＨ4 ＮＯ3 の白粉を形成する。ＮＯ2 の除去は主としてこの反応に
よるものである。
〜１３ｄに直流電源９からガス導入管８を介して数十ｋ
Ｖ程度の直流電圧（ＨＶ）を印加することによって、図
２に示すように陽極１３ａおよび１３ｃからはより近く
対向する陰極板１ａに向かうコロナ放電（コロナ放電部
Ｃ1 ，Ｃ3 ）が、陽極１３ｂおよび１３ｄからは同様に
より近く対向する陰極板１ｂに向かうコロナ放電（コロ
ナ放電部Ｃ2 ，Ｃ4 ）が生起する。コロナ放電の発生
中、放電空間では陰極板１ａ，１ｂから放出された電子
や、それが気体分子を電離することによって発生した電
子が電極間の高い電界によって加速される。１０ｅＶ程
度に加速された電子は非処理ガスすなわち排煙ガス中に
含まれる窒素ガスや添加ガスに含まれるＮＨ3 などと衝
突して、ＮやＮＨ，Ｏ，ＯＨなどのラジカルを生成す
る。このラジカルによりＮＯx の分解反応が促進され
る。とくに、ラジカル反応 ＮＯ2 ＋ＯＨ→ＨＮＯ3 などの反応によって生成されたＨＮＯ3 （硝酸）は添加
ガス中のＮＨ3 と反応して ＨＮＯ3 ＋ＮＨ3 →ＮＨ4 ＮＯ3 の白粉を形成する。ＮＯ2 の除去は主としてこの反応に
よるものである。
【００２８】このＮＨ4 ＮＯ3 （硝酸アンモニウム）は
誘電体であり、陽極１３ａ〜１３ｄに付着すると、電極
表面での電界が局所的に緩和され、コロナ放電中にスト
リーマが伸びにくくなり、放電空間に高い電界を維持す
ることができる。さらに、この粉が放電空間中に充満す
ることによって電子の実行的な移動度が低下し、破壊電
圧を高くすることができるなど、ＮＯx の除去に大きな
影響を及ぼす。
誘電体であり、陽極１３ａ〜１３ｄに付着すると、電極
表面での電界が局所的に緩和され、コロナ放電中にスト
リーマが伸びにくくなり、放電空間に高い電界を維持す
ることができる。さらに、この粉が放電空間中に充満す
ることによって電子の実行的な移動度が低下し、破壊電
圧を高くすることができるなど、ＮＯx の除去に大きな
影響を及ぼす。
【００２９】さて、以上のようにＮＯx 分解にラジカル
反応を用いるとき、ラジカルの寿命が数ｍｓ（ミリ秒）
と短いため、高効率のガス処理を行うためには、処理室
の断面全体にわたって放電を生起させラジカル反応を分
布させることが必要である。この点、ノズル型電極はノ
ズルの間隔を調整することにより放電空間の断面積を最
適にすることができるという利点がある。
反応を用いるとき、ラジカルの寿命が数ｍｓ（ミリ秒）
と短いため、高効率のガス処理を行うためには、処理室
の断面全体にわたって放電を生起させラジカル反応を分
布させることが必要である。この点、ノズル型電極はノ
ズルの間隔を調整することにより放電空間の断面積を最
適にすることができるという利点がある。
【００３０】しかし、従来の方式では図１１に示すよう
に、１本の陽極の先端部と両陰極板１ａ，１ｂとの間に
放電が生起するため、両平板陰極に向かう２つの放電が
同時に起こることを期待するのは無理である。これは両
放電部が接近しており、一方の空間の放電特性が他方の
空間の放電特性に影響を与えやすいからである。これに
対し、図１に示す実施の形態によるＮＯx 除去装置にお
いては、放電部の陽極がＸ型に配置されているので、図
２に示すように各陽極の先端部とそこから最近のいずれ
か一方の平板陰極との間に放電を生じる。すなわち、各
陽極は明らかに一方の平板陰極との間にしか放電を起こ
さないため、各陰極板１ａ，１ｂに連なる各放電部
Ｃ1 ，Ｃ4 またはＣ2 ，Ｃ3 に同時に、かつ時間的に安
定した放電が得られ、したがって安定したＮＯx 除去反
応を遂行することができる。
に、１本の陽極の先端部と両陰極板１ａ，１ｂとの間に
放電が生起するため、両平板陰極に向かう２つの放電が
同時に起こることを期待するのは無理である。これは両
放電部が接近しており、一方の空間の放電特性が他方の
空間の放電特性に影響を与えやすいからである。これに
対し、図１に示す実施の形態によるＮＯx 除去装置にお
いては、放電部の陽極がＸ型に配置されているので、図
２に示すように各陽極の先端部とそこから最近のいずれ
か一方の平板陰極との間に放電を生じる。すなわち、各
陽極は明らかに一方の平板陰極との間にしか放電を起こ
さないため、各陰極板１ａ，１ｂに連なる各放電部
Ｃ1 ，Ｃ4 またはＣ2 ，Ｃ3 に同時に、かつ時間的に安
定した放電が得られ、したがって安定したＮＯx 除去反
応を遂行することができる。
【００３１】図３は請求項４の発明に係るＮＯx 除去装
置の要部を示すものである。この実施の形態の特徴は、
ガス導入管８から伸びる陽極の形状にある。すなわち、
ここに示す各陽極１４ａ，１４ｂはガス導入管８から水
平に伸びるアーム部とそこから各陰極板１ａ，１ｂに向
かって垂直に突出する先端部とからなっている。この構
造によっても図１，図２に示す実施の形態の場合と同様
の理由で各陰極板１ａ，１ｂに連なる各放電部Ｃ1 ，Ｃ
4 またはＣ2 ，Ｃ3 に同時に時間的に安定した放電が得
られ、安定したＮＯx 除去反応を遂行することができ
る。
置の要部を示すものである。この実施の形態の特徴は、
ガス導入管８から伸びる陽極の形状にある。すなわち、
ここに示す各陽極１４ａ，１４ｂはガス導入管８から水
平に伸びるアーム部とそこから各陰極板１ａ，１ｂに向
かって垂直に突出する先端部とからなっている。この構
造によっても図１，図２に示す実施の形態の場合と同様
の理由で各陰極板１ａ，１ｂに連なる各放電部Ｃ1 ，Ｃ
4 またはＣ2 ，Ｃ3 に同時に時間的に安定した放電が得
られ、安定したＮＯx 除去反応を遂行することができ
る。
【００３２】図４および図５は請求項７の発明に係るＮ
Ｏx 除去装置における陽極の変形例を示すものである。
この実施の形態の特徴は、より低い電圧でより高い電界
を得るために、ガス導入管１５とその内部に組み込んだ
線状材料からなる陽極１６に特徴を有するものである。
ガス導入管１５は処理室２の長手軸にほぼ直角にかつ陰
極板１ａ，１ｂにほぼ平行に配置され、長手方向に沿い
間隔をおいて複数箇所に、それぞれ水平位置にガス導入
口を形成している。ガス導入管１５に組み込まれる陽極
１６は、その軸心部に位置する幹線、およびその幹線か
らガス導入口に対応しそのガス導入口を絶縁状態で貫通
してほぼ水平に分岐された複数の枝線からなる線状材料
からなっている。ガス導入管１５と陽極１６は互いに独
立した構造物として構成され、それぞれ別々に処理室２
に固定されることになる。このとき、陽極１６の陰極板
１ａ，１ｂに対する取り付けには位置的精度を要する
が、ガス導入口付きガス導入管１５は放電空間にガスを
導入することが目的であるため、適当な場所に取り付け
ればよい。この線状材料からなる陽極１６では最先端部
以外でも電界強度が比較的高く、陰極板１ａ，１ｂとの
間で図示のごとく独立した放電部Ｃ1 〜Ｃ4 が容易に形
成されるため、低電圧印加で、かつ従来型よりも放電領
域の広いＮＯx 除去装置を構成することができる。
Ｏx 除去装置における陽極の変形例を示すものである。
この実施の形態の特徴は、より低い電圧でより高い電界
を得るために、ガス導入管１５とその内部に組み込んだ
線状材料からなる陽極１６に特徴を有するものである。
ガス導入管１５は処理室２の長手軸にほぼ直角にかつ陰
極板１ａ，１ｂにほぼ平行に配置され、長手方向に沿い
間隔をおいて複数箇所に、それぞれ水平位置にガス導入
口を形成している。ガス導入管１５に組み込まれる陽極
１６は、その軸心部に位置する幹線、およびその幹線か
らガス導入口に対応しそのガス導入口を絶縁状態で貫通
してほぼ水平に分岐された複数の枝線からなる線状材料
からなっている。ガス導入管１５と陽極１６は互いに独
立した構造物として構成され、それぞれ別々に処理室２
に固定されることになる。このとき、陽極１６の陰極板
１ａ，１ｂに対する取り付けには位置的精度を要する
が、ガス導入口付きガス導入管１５は放電空間にガスを
導入することが目的であるため、適当な場所に取り付け
ればよい。この線状材料からなる陽極１６では最先端部
以外でも電界強度が比較的高く、陰極板１ａ，１ｂとの
間で図示のごとく独立した放電部Ｃ1 〜Ｃ4 が容易に形
成されるため、低電圧印加で、かつ従来型よりも放電領
域の広いＮＯx 除去装置を構成することができる。
【００３３】図６および図７は請求項１０の発明に係る
ＮＯx 除去装置を示すものである。この実施の形態にお
いては、放電領域を拡大するために、陰極板１７ａ，１
７ｂの陽極１６放電部との対向面を、陽極放電部を中心
とした円弧型に構成した点に特徴を有するものである。
ここに示す実施の形態では、処理室は、上下一対の陰極
板１７ａ，１７ｂのほか、側壁板１７ｃ，１７ｄ、前面
板１７ｅおよび後面板１７ｆにより構成されている。従
来、添加ガスを注入しない方式のＮＯx 除去装置では、
図１２に例示されているように陰極（陰極管１１）を円
筒型にした同軸円筒型放電管が提案されている。しか
し、同軸円筒型放電管では、管の軸方向全体にわたって
無秩序に放電が生起するので、それを回避すべく管の軸
方向全体にわたって添加ガスを注入する必要があること
はすでに述べた。しかるに、図６，７に示す実施の形態
では添加ガスを効率的に注入できるため、陽極１６に線
状電極を用いて放電空間を特定する。また添加ガスはガ
ス導入口を有するパイプ状のガス導入管１５を用いて処
理室内放電部に導入する。この場合、陰極板１７ａ，１
７ｂの円弧内面に対して一様な放電を安定に形成するた
めには、陽極１６を陰極板１７ａ，１７ｂの円弧中心に
対して高精度に配置することが必要である。このような
配置関係を達成することにより、従来のものよりも、効
率よく拡大された放電領域Ｃを有するＮＯx 除去装置を
構成することができる。
ＮＯx 除去装置を示すものである。この実施の形態にお
いては、放電領域を拡大するために、陰極板１７ａ，１
７ｂの陽極１６放電部との対向面を、陽極放電部を中心
とした円弧型に構成した点に特徴を有するものである。
ここに示す実施の形態では、処理室は、上下一対の陰極
板１７ａ，１７ｂのほか、側壁板１７ｃ，１７ｄ、前面
板１７ｅおよび後面板１７ｆにより構成されている。従
来、添加ガスを注入しない方式のＮＯx 除去装置では、
図１２に例示されているように陰極（陰極管１１）を円
筒型にした同軸円筒型放電管が提案されている。しか
し、同軸円筒型放電管では、管の軸方向全体にわたって
無秩序に放電が生起するので、それを回避すべく管の軸
方向全体にわたって添加ガスを注入する必要があること
はすでに述べた。しかるに、図６，７に示す実施の形態
では添加ガスを効率的に注入できるため、陽極１６に線
状電極を用いて放電空間を特定する。また添加ガスはガ
ス導入口を有するパイプ状のガス導入管１５を用いて処
理室内放電部に導入する。この場合、陰極板１７ａ，１
７ｂの円弧内面に対して一様な放電を安定に形成するた
めには、陽極１６を陰極板１７ａ，１７ｂの円弧中心に
対して高精度に配置することが必要である。このような
配置関係を達成することにより、従来のものよりも、効
率よく拡大された放電領域Ｃを有するＮＯx 除去装置を
構成することができる。
【００３４】図８は請求項２の発明に係るＮＯx 除去装
置の原理図を示すものである。この実施の形態において
は、電極は接地された一対の陰極板１ａ，１ｂとその間
に配置された陽極１３とからなり、さらに陽極１３の全
体を誘電体１８でコーティングしている。先に述べたよ
うに、前述の文献によるとＮＯx 処理の際に生成された
ＮＨ4 ＮＯ3 の粉が陽極１３に付着することにより、ス
トリーマの発生が抑制され効率的な脱硝が行われる。陽
極１３を誘電体１８でコーティングすることにより、陽
極１３の先端の電界強度が高くなり、粉が陽極１３に付
着したのと等価な状態を積極的に作り出すことができ
る。また、この構成においても、前述と同様に、より効
率的なＮＯx 除去を行うために、Ｈ型陽極１４ａ，１４
ｂや、線状材料からなる陽極１６、円弧型陰極板１７
ａ，１７ｂを用いることができる。
置の原理図を示すものである。この実施の形態において
は、電極は接地された一対の陰極板１ａ，１ｂとその間
に配置された陽極１３とからなり、さらに陽極１３の全
体を誘電体１８でコーティングしている。先に述べたよ
うに、前述の文献によるとＮＯx 処理の際に生成された
ＮＨ4 ＮＯ3 の粉が陽極１３に付着することにより、ス
トリーマの発生が抑制され効率的な脱硝が行われる。陽
極１３を誘電体１８でコーティングすることにより、陽
極１３の先端の電界強度が高くなり、粉が陽極１３に付
着したのと等価な状態を積極的に作り出すことができ
る。また、この構成においても、前述と同様に、より効
率的なＮＯx 除去を行うために、Ｈ型陽極１４ａ，１４
ｂや、線状材料からなる陽極１６、円弧型陰極板１７
ａ，１７ｂを用いることができる。
【００３５】図９は請求項３の発明に係るＮＯx 除去装
置を示すものである。この実施の形態においては、電極
は接地された一対の金属製陰極板１ａ，１ｂとその間に
配置された陽極１６とからなり、さらに陽極１６は絶縁
体からなるガス導入管１９に取り付けられている。従来
の電極形状では、ガス導入管８と陰極板１ａ，１ｂとの
間に放電を生じることがあり、放電の安定性を低下させ
ていた。そこでガス導入管を絶縁体によって構成するこ
とによりガス導入管１９には放電を生じることがなく、
陽極１６のノズル部分のみに放電が生じるようにするこ
とができる。こうすることによって、安定した放電が得
られ、それにより、より安定したＮＯx除去装置を構成
することができる。この構成においても、より効率的な
ＮＯx 除去を行うために、Ｈ型陽極１４ａ，１４ｂや、
線状材料からなる陽極１６、円弧型陰極板１７ａ，１７
ｂを用いることができる。
置を示すものである。この実施の形態においては、電極
は接地された一対の金属製陰極板１ａ，１ｂとその間に
配置された陽極１６とからなり、さらに陽極１６は絶縁
体からなるガス導入管１９に取り付けられている。従来
の電極形状では、ガス導入管８と陰極板１ａ，１ｂとの
間に放電を生じることがあり、放電の安定性を低下させ
ていた。そこでガス導入管を絶縁体によって構成するこ
とによりガス導入管１９には放電を生じることがなく、
陽極１６のノズル部分のみに放電が生じるようにするこ
とができる。こうすることによって、安定した放電が得
られ、それにより、より安定したＮＯx除去装置を構成
することができる。この構成においても、より効率的な
ＮＯx 除去を行うために、Ｈ型陽極１４ａ，１４ｂや、
線状材料からなる陽極１６、円弧型陰極板１７ａ，１７
ｂを用いることができる。
【００３６】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、広
い領域にわたって安定した放電形態を実現することがで
きる。その結果、高効率の添加ガス注入放電型ＮＯx 除
去装置を提供することができる。
い領域にわたって安定した放電形態を実現することがで
きる。その結果、高効率の添加ガス注入放電型ＮＯx 除
去装置を提供することができる。
【図１】本発明の請求項１による添加ガス注入放電型Ｎ
Ｏx 除去装置を、前面板を外した状態で示す斜視図。
Ｏx 除去装置を、前面板を外した状態で示す斜視図。
【図２】図１の装置における放電発生状況を示す説明
図。
図。
【図３】請求項４による添加ガス注入放電型ＮＯx 除去
装置の要部を示す側面図。
装置の要部を示す側面図。
【図４】請求項７による添加ガス注入放電型ＮＯx 除去
装置の要部を示す斜視図。
装置の要部を示す斜視図。
【図５】図４の装置における放電発生状況を示す説明
図。
図。
【図６】請求項１０による添加ガス注入放電型ＮＯx 除
去装置を示す斜視図。
去装置を示す斜視図。
【図７】図６のＮＯx 除去装置の横断面図。
【図８】請求項２に係るＮＯx 除去装置の要部を示す側
面図。
面図。
【図９】請求項３に係るＮＯx 除去装置の要部を示す側
面図。
面図。
【図１０】従来の添加ガス注入放電型ＮＯx 除去装置
を、前面板を外した状態で示す斜視図。
を、前面板を外した状態で示す斜視図。
【図１１】図１０の装置における放電発生状況を示す説
明図。
明図。
【図１２】同軸円筒型放電管を用いた従来のＮＯx 除去
装置の概略構成を示す斜視図。
装置の概略構成を示す斜視図。
１ａ，１ｂ，１７ａ，１７ｂ 陰極板 １ｃ，１ｄ 側壁板 １ｅ 前面板 １ｆ 後面板 ２ 処理室 ３ ガス引込管 ４ ガス入口 ５ ガス排出管 ６ ガス出口 ８，１５，１９ ガス導入管 ９ 直流電圧発生回路 １０ 添加ガス供給装置 １３，１３ａ〜１３ｄ，１４ａ，１４ｂ，１６ 陽極 １８ 誘電体
Claims (12)
- 【請求項１】被処理ガスが通流し、長手軸に平行な４面
のうち互いに対向する一対の２面が陰極板として構成さ
れた処理室と、 この処理室内の前記陰極板相互間に前記長手軸にほぼ直
角にかつ前記陰極板にほぼ平行に配置されたガス導入管
と、 このガス導入管の長手方向に沿い間隔をおいて複数箇所
に取り付けられ、各箇所において前記ガス導入管に連通
し、先端がノズルとして構成され、放射方向にＸ状に延
伸するように設けられた陽極と、 前記ガス導入管を通して前記陽極のノズルから前記処理
室内に、微量のＮＨ3を含有する添加ガスを導入する添
加ガス供給手段と、 前記陰極板との間にコロナ放電を生起させるための電圧
を前記陽極に印加する電圧印加手段とを備えたＮＯx 除
去装置。 - 【請求項２】請求項１記載のＮＯx 除去装置において、
前記陽極が誘電体で被覆されているＮＯx 除去装置。 - 【請求項３】請求項１記載のＮＯx 除去装置において、
前記ガス導入管が絶縁材からなっているＮＯx 除去装
置。 - 【請求項４】被処理ガスが通流し、長手軸に平行な４面
のうち互いに対向する一対の２面が陰極板として構成さ
れた処理室と、 この処理室内の前記陰極板相互間に前記長手軸にほぼ直
角にかつ前記陰極板にほぼ平行に配置されたガス導入管
と、 このガス導入管の長手方向に沿い間隔をおいて複数箇所
に取り付けられ、各箇所において前記ガス導入管に連通
し、先端がノズルとして構成されたＨ状の陽極と、 前記ガス導入管を通して前記陽極のノズルから前記処理
室内に、微量のＮＨ3を含有する添加ガスを導入する添
加ガス供給手段と、 前記陰極板との間にコロナ放電を生起させるための電圧
を前記陽極に印加する電圧印加手段とを備えたＮＯx 除
去装置。 - 【請求項５】請求項４記載のＮＯx 除去装置において、
前記陽極が誘電体で被覆されているＮＯx 除去装置。 - 【請求項６】請求項４記載のＮＯx 除去装置において、
前記ガス導入管が絶縁材からなっているＮＯx 除去装
置。 - 【請求項７】被処理ガスが通流し、長手軸に平行な４面
のうち互いに対向する一対の２面が陰極板として構成さ
れた処理室と、 この処理室内の前記陰極板相互間に前記長手軸にほぼ直
角にかつ前記陰極板にほぼ平行に配置され、長手方向に
沿い間隔をおいて複数箇所に、それぞれ水平位置にガス
導入口を形成したガス導入管と、 このガス導入管の軸心部に位置する幹線、およびその幹
線から前記ガス導入口に対応しそのガス導入口を絶縁状
態で貫通してほぼ水平に分岐された複数の枝線からなる
線状材料からなる陽極と、 前記ガス導入管を介して前記ガス導入口から前記処理室
内に、微量のＮＨ3 を含有する添加ガスを導入する添加
ガス供給手段と、 前記陰極との間にコロナ放電を生起させるための電圧を
前記線状陽極に印加する電圧印加手段とを備えたＮＯx
除去装置。 - 【請求項８】請求項７記載のＮＯx 除去装置において、
前記線状陽極が誘電体で被覆されているＮＯx 除去装
置。 - 【請求項９】請求項７記載のＮＯx 除去装置において、
前記ガス導入管が絶縁材からなっているＮＯx 除去装
置。 - 【請求項１０】請求項１、４および７のいずれかに記載
のＮＯx 除去装置において、前記陰極の前記陽極との対
向面が、前記陽極の先端を中心とする円弧面形状に形成
されているＮＯx 除去装置。 - 【請求項１１】請求項１０記載のＮＯx 除去装置におい
て、前記陽極が誘電体で被覆されているＮＯx 除去装
置。 - 【請求項１２】請求項１０記載のＮＯx 除去装置におい
て、前記ガス導入管が絶縁材からなっているＮＯx 除去
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7301697A JPH09141051A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | ＮＯｘ除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7301697A JPH09141051A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | ＮＯｘ除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09141051A true JPH09141051A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17900069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7301697A Pending JPH09141051A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | ＮＯｘ除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09141051A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003243200A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Japan Science & Technology Corp | レーザー光照射による直流放電発生装置及び環境汚染ガスの処理方法 |
-
1995
- 1995-11-20 JP JP7301697A patent/JPH09141051A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003243200A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Japan Science & Technology Corp | レーザー光照射による直流放電発生装置及び環境汚染ガスの処理方法 |
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