JPH0881205A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH0881205A JPH0881205A JP21591894A JP21591894A JPH0881205A JP H0881205 A JPH0881205 A JP H0881205A JP 21591894 A JP21591894 A JP 21591894A JP 21591894 A JP21591894 A JP 21591894A JP H0881205 A JPH0881205 A JP H0881205A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 オゾンの生成効率を向上させることができる
オゾン発生装置を提供する。 【構成】 対向する一対の電極２，３間に交流高電圧電
源から高電圧が印加される。一対の電極２，３間に送風
装置７により、酸素を含む原料ガスが供給される。電極
２の内側に誘電体１が設けられ、この誘電体１の誘電率
は上流側から下流側に向って減少している。
オゾン発生装置を提供する。 【構成】 対向する一対の電極２，３間に交流高電圧電
源から高電圧が印加される。一対の電極２，３間に送風
装置７により、酸素を含む原料ガスが供給される。電極
２の内側に誘電体１が設けられ、この誘電体１の誘電率
は上流側から下流側に向って減少している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、無声放電型のオゾン発
生装置に係り、とりわけ効率良くオゾンを生成すること
ができるオゾン発生装置に関する。
生装置に係り、とりわけ効率良くオゾンを生成すること
ができるオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の無声放電型オゾナイザ（オゾン発
生装置）の基本構造を、図５に示す。図５に示すよう
に、誘電体１を有する高圧電極２と接地電極３との間の
間隙（放電ギャップ）に、大気圧近辺で交流高電圧を印
加する。このとき、電極２，３間の間隙内に無声放電が
起こり、この間隙内に酸素を含むガスを通過させると放
電によりオゾンが得られる。
生装置）の基本構造を、図５に示す。図５に示すよう
に、誘電体１を有する高圧電極２と接地電極３との間の
間隙（放電ギャップ）に、大気圧近辺で交流高電圧を印
加する。このとき、電極２，３間の間隙内に無声放電が
起こり、この間隙内に酸素を含むガスを通過させると放
電によりオゾンが得られる。
【０００３】一般に、無声放電型オゾナイザは円筒型と
平板型に大別される。円筒型の具体例としてはＷｅｓｂ
ａｃｈ型オゾナイザ、平板型の具体例としてはマイカー
型平板オゾナイザ、またはラウザー型平板オゾナイザが
ある（例えば、電気学会技術報告（II部）１２７号環境
対策技術調査専門委員会、放電応用分科会編集「放電に
よるオゾンの発生とその応用」２．２．２現用オゾナイ
ザの構造（ｐ５〜ｐ６）参照）。
平板型に大別される。円筒型の具体例としてはＷｅｓｂ
ａｃｈ型オゾナイザ、平板型の具体例としてはマイカー
型平板オゾナイザ、またはラウザー型平板オゾナイザが
ある（例えば、電気学会技術報告（II部）１２７号環境
対策技術調査専門委員会、放電応用分科会編集「放電に
よるオゾンの発生とその応用」２．２．２現用オゾナイ
ザの構造（ｐ５〜ｐ６）参照）。
【０００４】また、円筒型オゾナイザにおいて、内側円
筒に小孔を数多くあけた電極構造を持つもの（例えば、
１９９３〜１９９４年度版オゾン年鑑（リアライズ社発
行）３．２拡散放出型オゾナイザの特性（ｐ１４〜ｐ１
６）参照）がある。さらに円筒型オゾナイザにおいて、
３つの電極を有する構造によって無声放電と沿面放電を
併用するもの（例えば、１９９３〜１９９４年度版オゾ
ン年鑑（リアライズ社発行）３．４光を併用したオゾン
発生装置（ｐ１８）、および第２回日本オゾン協会年次
研究講演会講演集ｐ１５９〜ｐ１６２「放電重畳法によ
るオゾン生成法」（伊藤他）参照）がある。
筒に小孔を数多くあけた電極構造を持つもの（例えば、
１９９３〜１９９４年度版オゾン年鑑（リアライズ社発
行）３．２拡散放出型オゾナイザの特性（ｐ１４〜ｐ１
６）参照）がある。さらに円筒型オゾナイザにおいて、
３つの電極を有する構造によって無声放電と沿面放電を
併用するもの（例えば、１９９３〜１９９４年度版オゾ
ン年鑑（リアライズ社発行）３．４光を併用したオゾン
発生装置（ｐ１８）、および第２回日本オゾン協会年次
研究講演会講演集ｐ１５９〜ｐ１６２「放電重畳法によ
るオゾン生成法」（伊藤他）参照）がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の無声放
電オゾナイザでは、生成されたオゾンが、後続の放電に
よって電気的、熱的に破壊されることがある。この場合
は、オゾンの生成効率が低下してしまう。
電オゾナイザでは、生成されたオゾンが、後続の放電に
よって電気的、熱的に破壊されることがある。この場合
は、オゾンの生成効率が低下してしまう。
【０００６】本発明は、このような点を考慮してなされ
たものであり、無声放電によるオゾン生成を高効率で行
うことができるオゾン発生装置を提供することを目的と
する。
たものであり、無声放電によるオゾン生成を高効率で行
うことができるオゾン発生装置を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
対向する一対の電極と、この一対の電極間に高電圧を印
加する電源と、一対の電極の少なくとも一方に設けられ
た誘電体と、一対の電極間の間隙に酸素を含む原料ガス
を送り込み、この間隙に生じるプラズマ化学反応により
原料ガスを処理してオゾンを生成する送風装置とを備
え、前記誘電体の誘電率は上流から下流に向って減少
し、これによって間隙内のプラズマ化学反応の放電密度
は上流から下流に向って減少することを特徴とするオゾ
ン発生装置である。
対向する一対の電極と、この一対の電極間に高電圧を印
加する電源と、一対の電極の少なくとも一方に設けられ
た誘電体と、一対の電極間の間隙に酸素を含む原料ガス
を送り込み、この間隙に生じるプラズマ化学反応により
原料ガスを処理してオゾンを生成する送風装置とを備
え、前記誘電体の誘電率は上流から下流に向って減少
し、これによって間隙内のプラズマ化学反応の放電密度
は上流から下流に向って減少することを特徴とするオゾ
ン発生装置である。
【０００８】請求項２記載の発明は、対向する一対の電
極と、この一対の電極間に高電圧を印加する電源と、一
対の電極の少なくとも一方に設けられた誘電体と、一対
の電極間の間隙に酸素を含む原料ガスを送り込み、この
間隙に生じるプラズマ化学反応により原料ガスを処理し
てオゾンを生成する送風装置とを備え、前記間隙の間隙
長は上流から下流に向って増加し、これによって間隙内
のプラズマ化学反応の放電密度は上流から下流に向って
減少することを特徴とするオゾン発生装置である。
極と、この一対の電極間に高電圧を印加する電源と、一
対の電極の少なくとも一方に設けられた誘電体と、一対
の電極間の間隙に酸素を含む原料ガスを送り込み、この
間隙に生じるプラズマ化学反応により原料ガスを処理し
てオゾンを生成する送風装置とを備え、前記間隙の間隙
長は上流から下流に向って増加し、これによって間隙内
のプラズマ化学反応の放電密度は上流から下流に向って
減少することを特徴とするオゾン発生装置である。
【０００９】請求項３記載の発明は、対向する一対の電
極と、この一対の電極間に介在され、金網に誘電体を被
覆してなる誘電体電極と、一対の電極の一方と誘電体電
極間、および他方と誘電体電極間に各々高電圧を印加す
る電源と、一対の電極の一方と誘電体電極間の間隙、お
よび他方と誘電体電極間の間隙に、酸素を含む原料ガス
を送り込み、これらの間隙に生じるプラズマ化学反応に
より原料ガスを処理してオゾンを生成する送風装置と、
を備えたことを特徴とするオゾン発生装置である。
極と、この一対の電極間に介在され、金網に誘電体を被
覆してなる誘電体電極と、一対の電極の一方と誘電体電
極間、および他方と誘電体電極間に各々高電圧を印加す
る電源と、一対の電極の一方と誘電体電極間の間隙、お
よび他方と誘電体電極間の間隙に、酸素を含む原料ガス
を送り込み、これらの間隙に生じるプラズマ化学反応に
より原料ガスを処理してオゾンを生成する送風装置と、
を備えたことを特徴とするオゾン発生装置である。
【００１０】
【作用】請求項１および２記載の発明によれば、一対の
電極間の間隙内に生じるプラズマ化学反応の放電密度が
上流側から下流側に向って減少するので、一対の電極間
の間隙内において生じるオゾンが後続するプラズマ化学
反応により破壊される可能性が少なくなる。
電極間の間隙内に生じるプラズマ化学反応の放電密度が
上流側から下流側に向って減少するので、一対の電極間
の間隙内において生じるオゾンが後続するプラズマ化学
反応により破壊される可能性が少なくなる。
【００１１】請求項３記載の発明によれば、誘電体電極
が金網に誘電体を被覆して構成されているので、誘電体
電極の表面積が増加し、誘電体電極表面からの２次電子
放出を増大させることができる。また、誘電体電極の表
裏面に対して原料ガスが送り込まれるので、誘電体電極
近傍の温度上昇を防止することができる。
が金網に誘電体を被覆して構成されているので、誘電体
電極の表面積が増加し、誘電体電極表面からの２次電子
放出を増大させることができる。また、誘電体電極の表
裏面に対して原料ガスが送り込まれるので、誘電体電極
近傍の温度上昇を防止することができる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１は、本発明によるオゾン発生装置の第
１の実施例を示す図である。図１において、オゾン発生
装置は対向する高電圧電極２と接地電極３とを備え、高
電圧電極２の内面には誘電体１が設けられている。
１の実施例を示す図である。図１において、オゾン発生
装置は対向する高電圧電極２と接地電極３とを備え、高
電圧電極２の内面には誘電体１が設けられている。
【００１４】また高電圧電極２は交流高圧電源４に接続
され、さらに接地電極３は接地されている。また電極
２，３の側方には、電極２，３間の間隙内に酸素を含む
原料ガスを送り込む送風装置７が設けられ、間隙内に生
じるプラズマ化学反応により原料ガスを処理してオゾン
ガスを生成するようになっている。
され、さらに接地電極３は接地されている。また電極
２，３の側方には、電極２，３間の間隙内に酸素を含む
原料ガスを送り込む送風装置７が設けられ、間隙内に生
じるプラズマ化学反応により原料ガスを処理してオゾン
ガスを生成するようになっている。
【００１５】なお、誘電体１の誘電率εは、上流側から
下流側に向って減少している。すなわち上流側の誘電率
をε1 、中央部の誘電率をε2 、下流側の誘電率をε3
とした場合、ε1 ＞ε2 ＞ε3 となっている。
下流側に向って減少している。すなわち上流側の誘電率
をε1 、中央部の誘電率をε2 、下流側の誘電率をε3
とした場合、ε1 ＞ε2 ＞ε3 となっている。
【００１６】このため、電極２，３間の間隙内のプラズ
マ化学反応の放電密度は、上流側から下流側に向って減
少している。
マ化学反応の放電密度は、上流側から下流側に向って減
少している。
【００１７】次にこのような構成からなる本実施例の作
用について説明する。まず交流高圧電源４により、高電
圧電極２と接地電極３との間に交流高電圧が印加され、
同時に送風装置７により酸素を含む原料ガスが電極２，
３間の間隙に送り込まれる。
用について説明する。まず交流高圧電源４により、高電
圧電極２と接地電極３との間に交流高電圧が印加され、
同時に送風装置７により酸素を含む原料ガスが電極２，
３間の間隙に送り込まれる。
【００１８】次に電極２，３間の間隙においてプラズマ
化学反応が生じ、原料ガス中の酸素からオゾンが生成す
る。この場合、電極２，３間の間隙において、順次オゾ
ンが生成するので、上流側から下流側に向ってオゾン濃
度が増加していく。オゾン濃度が増加すると、後続する
プラズマ化学反応によりオゾンが電気的、熱的に破壊さ
れることがある。
化学反応が生じ、原料ガス中の酸素からオゾンが生成す
る。この場合、電極２，３間の間隙において、順次オゾ
ンが生成するので、上流側から下流側に向ってオゾン濃
度が増加していく。オゾン濃度が増加すると、後続する
プラズマ化学反応によりオゾンが電気的、熱的に破壊さ
れることがある。
【００１９】本実施例によれば、電極２，３間の間隙に
おいて、プラズマ化学反応の放電密度は上流側から下流
側に向って減少しているので、後続するプラズマ化学反
応によるオゾンの破壊を防止することができ、これによ
りオゾンの生成効率を向上させることができる。
おいて、プラズマ化学反応の放電密度は上流側から下流
側に向って減少しているので、後続するプラズマ化学反
応によるオゾンの破壊を防止することができ、これによ
りオゾンの生成効率を向上させることができる。
【００２０】次に図２により、本発明の第２の実施例に
ついて説明する。本実施例において、図１に示す第１の
実施例と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省
略する。
ついて説明する。本実施例において、図１に示す第１の
実施例と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省
略する。
【００２１】図２において高電圧電極２が接地電極３に
対して傾斜して配置され、高電圧電極２内面に設けられ
た誘電体１の厚さは上流側から下流側に向って増加して
いる。このため電極２，３間の間隙の間隙長（誘電体１
と接地電極３との間の距離）は、上流側から下流側に向
って略一定となっている。
対して傾斜して配置され、高電圧電極２内面に設けられ
た誘電体１の厚さは上流側から下流側に向って増加して
いる。このため電極２，３間の間隙の間隙長（誘電体１
と接地電極３との間の距離）は、上流側から下流側に向
って略一定となっている。
【００２２】また誘電体１の厚さが上流側から下流側に
向って増加しているため、誘電体１の誘電率は上流側か
ら下流側に向って減少する。これによって間隙内の放電
密度も、上流側から下流側に向って減少する。
向って増加しているため、誘電体１の誘電率は上流側か
ら下流側に向って減少する。これによって間隙内の放電
密度も、上流側から下流側に向って減少する。
【００２３】次に図３（ａ）（ｂ）（ｃ）により本発明
の第３の実施例について説明する。本実施例において、
図１に示す第１の実施例と同一部分には同一符号を付し
て詳細な説明は省略する。
の第３の実施例について説明する。本実施例において、
図１に示す第１の実施例と同一部分には同一符号を付し
て詳細な説明は省略する。
【００２４】図３（ａ）において、高電圧電極２が接地
電極３に対して傾斜して配置され、高電圧電極２の内面
に略一定厚を有する誘電体１が設けられ、平板型のオゾ
ン発生装置が構成されている。
電極３に対して傾斜して配置され、高電圧電極２の内面
に略一定厚を有する誘電体１が設けられ、平板型のオゾ
ン発生装置が構成されている。
【００２５】このため、電極２，３間の間隙長（誘電体
１と接地電極３との間の距離）は、上流側から下流側に
向って増加している。そして間隙長の増加に伴って、間
隙内のプラズマ化学反応の放電密度は上流側から下流側
に向って減少する。
１と接地電極３との間の距離）は、上流側から下流側に
向って増加している。そして間隙長の増加に伴って、間
隙内のプラズマ化学反応の放電密度は上流側から下流側
に向って減少する。
【００２６】本実施例によれば、電極２，３間の間隙内
のプラズマ化学反応の放電密度は、上流側から下流側に
向って減少するので、後続するプラズマ化学反応による
オゾンの破壊を防止することができる。また上流側から
下流側に向って間隙長が増加するので、原料ガスの圧力
が下流側に向って低くなり、プラズマ化学反応によるガ
ス流の閉塞を防止することができ、これによりガス流の
閉塞に伴う温度上昇および生成オゾンの破壊を防止する
ことができる。
のプラズマ化学反応の放電密度は、上流側から下流側に
向って減少するので、後続するプラズマ化学反応による
オゾンの破壊を防止することができる。また上流側から
下流側に向って間隙長が増加するので、原料ガスの圧力
が下流側に向って低くなり、プラズマ化学反応によるガ
ス流の閉塞を防止することができ、これによりガス流の
閉塞に伴う温度上昇および生成オゾンの破壊を防止する
ことができる。
【００２７】図３（ａ）において、平板型のオゾン発生
装置を示したが、平板型のオゾン発生装置に限らず円筒
型のオゾン発生装置でもよい。ここで図３（ｂ）は円筒
型の高電圧電極２の外面に誘電体１を設け、高電圧電極
２の外側に接地電極３を配置したものである。図３
（ｂ）において、電極２，３間の間隙の間隙長（誘電体
１と接地電極３との間の距離）は、上流側から下流側に
向って増加している。
装置を示したが、平板型のオゾン発生装置に限らず円筒
型のオゾン発生装置でもよい。ここで図３（ｂ）は円筒
型の高電圧電極２の外面に誘電体１を設け、高電圧電極
２の外側に接地電極３を配置したものである。図３
（ｂ）において、電極２，３間の間隙の間隙長（誘電体
１と接地電極３との間の距離）は、上流側から下流側に
向って増加している。
【００２８】また、図３（ｃ）に示すように線状の高電
圧電極２を覆って誘電体１を設け、高電圧電極２の外側
に接地電極３を配置してもよい。図３（ｃ）において、
電極２，３間の間隙の間隙長（誘電体１と接地電極３と
の間の距離）は、上流側から下流側に向って増加してい
る。
圧電極２を覆って誘電体１を設け、高電圧電極２の外側
に接地電極３を配置してもよい。図３（ｃ）において、
電極２，３間の間隙の間隙長（誘電体１と接地電極３と
の間の距離）は、上流側から下流側に向って増加してい
る。
【００２９】次に図４（ａ）（ｂ）により、本発明の第
４の実施例について説明する。本実施例において、図１
に示す第１の実施例と同一部分には同一符号を付して詳
細な説明は省略する。
４の実施例について説明する。本実施例において、図１
に示す第１の実施例と同一部分には同一符号を付して詳
細な説明は省略する。
【００３０】図４（ａ）において、平板型のオゾン発生
装置は、対向する一対の平板状接地電極３，３と、この
一対の接地電極３，３間に介在された平板状誘電体電極
５とを備えている。
装置は、対向する一対の平板状接地電極３，３と、この
一対の接地電極３，３間に介在された平板状誘電体電極
５とを備えている。
【００３１】この誘電体電極５は、金網に誘電体を被覆
して構成されており、誘電体電極５は交流高圧電源４に
接続されている。また、一対の接地電極３，３は、各々
接地されている。
して構成されており、誘電体電極５は交流高圧電源４に
接続されている。また、一対の接地電極３，３は、各々
接地されている。
【００３２】さらに一方の接地電極３と誘電体電極５と
の間の間隙、および他方の接地電極３と誘電体電極との
間の間隙には、送風装置７によって酸素を含む原料ガス
が送り込まれ、誘電体電極５の二面に対して原料ガスが
送り込まれる。
の間の間隙、および他方の接地電極３と誘電体電極との
間の間隙には、送風装置７によって酸素を含む原料ガス
が送り込まれ、誘電体電極５の二面に対して原料ガスが
送り込まれる。
【００３３】本実施例によれば、金網に誘電体を被覆し
て誘電体電極５を構成したので、誘電体電極５の表面積
が増加し、誘電体電極５の表面積からの２次電子放出を
増大させることができる。このため電子密度を増加させ
て、オゾン生成量を増大させることができる。また誘電
体電極５の二面に対して原料ガスが送り込まれるので、
誘電体電極５は表面が効果的に冷却され、誘電体電極５
表面近傍の温度上昇を防止することができる。このた
め、オゾンの熱的破壊を防止することができる。
て誘電体電極５を構成したので、誘電体電極５の表面積
が増加し、誘電体電極５の表面積からの２次電子放出を
増大させることができる。このため電子密度を増加させ
て、オゾン生成量を増大させることができる。また誘電
体電極５の二面に対して原料ガスが送り込まれるので、
誘電体電極５は表面が効果的に冷却され、誘電体電極５
表面近傍の温度上昇を防止することができる。このた
め、オゾンの熱的破壊を防止することができる。
【００３４】図４（ａ）において、平板型のオゾン発生
装置を示したが、平板型のオゾン発生装置に限らず、円
筒型のオゾン発生装置を用いてもよい。すなわち図４
（ｂ）に示すように、対向する一対の円筒状接地電極
３，３と、この一対の接地電極３，３間に介在された円
筒状誘電体電極５とからオゾン発生装置を構成してもよ
い。円筒状誘電体電極５は、金網に誘電体を被覆して構
成されており、また一方の接地電極３と誘電体電極５と
の間の間隙、および他方の接地電極３と誘電体電極５と
の間の間隙には送風装置７によって原料ガスが送り込ま
れる。
装置を示したが、平板型のオゾン発生装置に限らず、円
筒型のオゾン発生装置を用いてもよい。すなわち図４
（ｂ）に示すように、対向する一対の円筒状接地電極
３，３と、この一対の接地電極３，３間に介在された円
筒状誘電体電極５とからオゾン発生装置を構成してもよ
い。円筒状誘電体電極５は、金網に誘電体を被覆して構
成されており、また一方の接地電極３と誘電体電極５と
の間の間隙、および他方の接地電極３と誘電体電極５と
の間の間隙には送風装置７によって原料ガスが送り込ま
れる。
【００３５】
【発明の効果】請求項１および２記載の発明によれば、
一対の電極間の間隙内において生じるオゾンが、後続す
るプラズマ化学反応により破壊されることはない。この
ため一対の電極間の間隙において、オゾンの生成効率を
向上させることができる。
一対の電極間の間隙内において生じるオゾンが、後続す
るプラズマ化学反応により破壊されることはない。この
ため一対の電極間の間隙において、オゾンの生成効率を
向上させることができる。
【００３６】請求項３記載の発明によれば、誘電体電極
の表面積が増加し、誘電体電極表面からの２次電子放出
を増大させることができる。また誘電体電極近傍の温度
上昇を防止することができる。２次電子放出の増大によ
りオゾンの生成を助けることができるとともに、温度上
昇によるオゾンの破壊を防止することができる。
の表面積が増加し、誘電体電極表面からの２次電子放出
を増大させることができる。また誘電体電極近傍の温度
上昇を防止することができる。２次電子放出の増大によ
りオゾンの生成を助けることができるとともに、温度上
昇によるオゾンの破壊を防止することができる。
【図１】本発明によるオゾン発生装置の第１の実施例を
示す概略図。
示す概略図。
【図２】本発明によるオゾン発生装置の第２の実施例を
示す概略図。
示す概略図。
【図３】本発明によるオゾン発生装置の第３の実施例を
示す概略図。
示す概略図。
【図４】本発明によるオゾン発生装置の第４の実施例を
示す概略図。
示す概略図。
【図５】従来のオゾン発生装置を示す図。
１ 誘電体 ２ 高電圧電極 ３ 接地電極 ４ 交流高電圧 ５ 誘電体電極 ７ 送風装置
Claims (3)
- 【請求項１】対向する一対の電極と、 この一対の電極間に高電圧を印加する電源と、 一対の電極の少なくとも一方に設けられた誘電体と、 一対の電極間の間隙に酸素を含む原料ガスを送り込み、
この間隙に生じるプラズマ化学反応により原料ガスを処
理してオゾンを生成する送風装置とを備え、 前記誘電体の誘電率は上流から下流に向って減少し、こ
れによって間隙内のプラズマ化学反応の放電密度は上流
から下流に向って減少することを特徴とするオゾン発生
装置。 - 【請求項２】対向する一対の電極と、 この一対の電極間に高電圧を印加する電源と、 一対の電極の少なくとも一方に設けられた誘電体と、 一対の電極間の間隙に酸素を含む原料ガスを送り込み、
この間隙に生じるプラズマ化学反応により原料ガスを処
理してオゾンを生成する送風装置とを備え、 前記間隙の間隙長は上流から下流に向って増加し、これ
によって間隙内のプラズマ化学反応の放電密度は上流か
ら下流に向って減少することを特徴とするオゾン発生装
置。 - 【請求項３】対向する一対の電極と、 この一対の電極間に介在され、金網に誘電体を被覆して
なる誘電体電極と、 一対の電極の一方と誘電体電極間、および他方と誘電体
電極間に各々高電圧を印加する電源と、 一対の電極の一方と誘電体電極間の間隙、および他方と
誘電体電極間の間隙に、酸素を含む原料ガスを送り込
み、これらの間隙に生じるプラズマ化学反応により原料
ガスを処理してオゾンを生成する送風装置と、 を備えたことを特徴とするオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21591894A JPH0881205A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21591894A JPH0881205A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0881205A true JPH0881205A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=16680419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21591894A Pending JPH0881205A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0881205A (ja) |
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- 1994-09-09 JP JP21591894A patent/JPH0881205A/ja active Pending
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