JPH09133635A - 透明材の検査装置 - Google Patents
透明材の検査装置Info
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- JPH09133635A JPH09133635A JP29143495A JP29143495A JPH09133635A JP H09133635 A JPH09133635 A JP H09133635A JP 29143495 A JP29143495 A JP 29143495A JP 29143495 A JP29143495 A JP 29143495A JP H09133635 A JPH09133635 A JP H09133635A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光の透過性材より成る被検査物体２に、光源
１より光を照射し、この物体の透過光を光センサ３及び
電子処理装置６で受光処理して、その欠陥を検査する検
査装置において、不要な反射光による欠陥検査に対する
悪影響を除去する。 【解決手段】 光源１と、被検査物体２と、光センサ３
との配列関係を所定の状態となし、物体２よりの不要な
偏光成分を除去する偏光フィルタ５を光センサ３の前面
に配設し、光センサ３の出力ビデオ信号を電子処理装置
６で処理して、物体２の欠陥を高精度で検出する。
１より光を照射し、この物体の透過光を光センサ３及び
電子処理装置６で受光処理して、その欠陥を検査する検
査装置において、不要な反射光による欠陥検査に対する
悪影響を除去する。 【解決手段】 光源１と、被検査物体２と、光センサ３
との配列関係を所定の状態となし、物体２よりの不要な
偏光成分を除去する偏光フィルタ５を光センサ３の前面
に配設し、光センサ３の出力ビデオ信号を電子処理装置
６で処理して、物体２の欠陥を高精度で検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光の透過性材、例え
ばガラス等より成る物体の検査装置、特に光を透過させ
る材質、例えば無色透明、或いは着色半透明材、例えば
ガラス材等より成り、外面及び内面が平滑な物体、例え
ば筒状体の側壁内及びその外周並びに内周面上のビリ、
しわ、又は気泡等の欠陥を検出する物体の検査装置に関
する。
ばガラス等より成る物体の検査装置、特に光を透過させ
る材質、例えば無色透明、或いは着色半透明材、例えば
ガラス材等より成り、外面及び内面が平滑な物体、例え
ば筒状体の側壁内及びその外周並びに内周面上のビリ、
しわ、又は気泡等の欠陥を検出する物体の検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】これまで、製品、半製品、素材等の外
形、色、外周又は内周面上及び内部に存在する傷等の欠
陥を検出する検査装置が、種々提案されている。
形、色、外周又は内周面上及び内部に存在する傷等の欠
陥を検出する検査装置が、種々提案されている。
【０００３】無色透明或いは着色半透明、例えばガラス
材等より成る筒状体の平滑な内及び外周面上、或はその
側壁内の傷等の欠陥の検査をする従来の装置の一例を、
その概略の斜視図である図６を参照して説明する。
材等より成る筒状体の平滑な内及び外周面上、或はその
側壁内の傷等の欠陥の検査をする従来の装置の一例を、
その概略の斜視図である図６を参照して説明する。
【０００４】図６に於いて、符号１は光源で、この光源
１よりの光を、被検査物体である無色透明或は着色半透
明の材質、例えばガラス材等より成り、その内及び外周
面が平滑な被検査物体、この例では筒状体２に、同図の
矢印ａの如く照射する。３は筒状体２に関して光源１と
反対側に配置された、ビデオカメラの如き光電変換セン
サ（以下光センサと称する）で、筒状体２を透過した光
源１よりの光を受け、それよりのビデオ信号を、図示せ
ずも電子処理装置で処理して、筒状体２の内及び外周面
２ａ及び２ｂ上、或は筒状体２の側壁２ｃ内のひび等の
欠陥４を検出する。
１よりの光を、被検査物体である無色透明或は着色半透
明の材質、例えばガラス材等より成り、その内及び外周
面が平滑な被検査物体、この例では筒状体２に、同図の
矢印ａの如く照射する。３は筒状体２に関して光源１と
反対側に配置された、ビデオカメラの如き光電変換セン
サ（以下光センサと称する）で、筒状体２を透過した光
源１よりの光を受け、それよりのビデオ信号を、図示せ
ずも電子処理装置で処理して、筒状体２の内及び外周面
２ａ及び２ｂ上、或は筒状体２の側壁２ｃ内のひび等の
欠陥４を検出する。
【０００５】図７は、筒状体２の欠陥の検査装置の他の
従来例の概略を示す斜視図で、この図７を参照してこの
他の例を説明する。
従来例の概略を示す斜視図で、この図７を参照してこの
他の例を説明する。
【０００６】図７の例に於いては、光センサ３に対し、
その視野内に配置された被検査物体である筒状体２を、
その斜め後方より光源１により照射し、筒状体２の欠陥
（この例では図示せず）による反射光及び透過光等を、
光センサ３及び図示せずも電子処理装置で受光処理して
筒状体２の欠陥を検出している。
その視野内に配置された被検査物体である筒状体２を、
その斜め後方より光源１により照射し、筒状体２の欠陥
（この例では図示せず）による反射光及び透過光等を、
光センサ３及び図示せずも電子処理装置で受光処理して
筒状体２の欠陥を検出している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】さて、図６に示す筒状
体２を透過した光を、光センサ３等で受光処理する例で
は、欠陥４が光の通過を阻止する例えば黒色の異物及び
光を比較的通さない大きな傷等であれば、それ等の検出
は容易であるが、欠陥４がビリ、シワ等で、筒状体２の
内周面に対して略々垂直（図６参照）に生じている場
合、このような欠陥４は光を遮る面積が小さい、即ち光
の通過を阻止する度合が少ないので、その欠陥の検出は
困難であり、ましてこのビリの如き欠陥が微少であれ
ば、その検出は更に困難であった。
体２を透過した光を、光センサ３等で受光処理する例で
は、欠陥４が光の通過を阻止する例えば黒色の異物及び
光を比較的通さない大きな傷等であれば、それ等の検出
は容易であるが、欠陥４がビリ、シワ等で、筒状体２の
内周面に対して略々垂直（図６参照）に生じている場
合、このような欠陥４は光を遮る面積が小さい、即ち光
の通過を阻止する度合が少ないので、その欠陥の検出は
困難であり、ましてこのビリの如き欠陥が微少であれ
ば、その検出は更に困難であった。
【０００８】更に、欠陥４が泡等の場合、光がこの泡等
を通過してしまうので、図６の装置でこの泡等を検出す
るのは、非常に困難であった。
を通過してしまうので、図６の装置でこの泡等を検出す
るのは、非常に困難であった。
【０００９】図７に示す例の如く、被検査物体である筒
状体２の欠陥をより大きな面積の反射光として光センサ
３等で受光処理する装置の場合、図６の例の欠点を回避
できるが、筒状体２の例えば内面での反射光等も、同時
に光センサ３に入るので、かえって欠陥の精密な検出が
悪化する場合も生じてしまう。
状体２の欠陥をより大きな面積の反射光として光センサ
３等で受光処理する装置の場合、図６の例の欠点を回避
できるが、筒状体２の例えば内面での反射光等も、同時
に光センサ３に入るので、かえって欠陥の精密な検出が
悪化する場合も生じてしまう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】光の透過性材より成る物
体を、光源よりの光で照射し、この物体を透過した光
を、光センサ及び電子処理装置で受光処理して物体の欠
陥の有無を検査する検査装置において、上記光源よりの
光が上記物体の内面に特定の入射角で入射し、特定の偏
光成分のみが反射光として反射され、物体の側壁を通過
して物体の外へ進行するようになし、この特定の偏光成
分の通過を阻止する偏光フィルタを介して、この特定の
偏光成分及び物体の欠陥で反射された光等を光センサで
受け、その出力ビデオ信号を電子処理装置で処理して透
明材の欠陥の有無を検査する。このように光の性質及び
特別な偏光フィルタを利用して透明材の欠陥を高精度に
検出する。
体を、光源よりの光で照射し、この物体を透過した光
を、光センサ及び電子処理装置で受光処理して物体の欠
陥の有無を検査する検査装置において、上記光源よりの
光が上記物体の内面に特定の入射角で入射し、特定の偏
光成分のみが反射光として反射され、物体の側壁を通過
して物体の外へ進行するようになし、この特定の偏光成
分の通過を阻止する偏光フィルタを介して、この特定の
偏光成分及び物体の欠陥で反射された光等を光センサで
受け、その出力ビデオ信号を電子処理装置で処理して透
明材の欠陥の有無を検査する。このように光の性質及び
特別な偏光フィルタを利用して透明材の欠陥を高精度に
検出する。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施例の説明に先立ち、
本発明が利用する光学的原理を、先ず説明する。横波で
ある光波が透明な媒質の境界面に入射する際、その一部
は反射し、一部は屈折する。この時の反射光及び屈折光
の振巾と入射光の振巾との関係は、フレネルの式で与え
られている。又、この横波である光波には、上記光の入
射面に対してそのベクトルが垂直な成分（Ｓ偏光）と、
平行な成分（Ｐ偏光）とがある。フレネルの式より導出
されたブルースター角を入射角として入射面に入射する
光においては、そのＰ偏光は入射（反射）面で反射せ
ず、Ｓ偏光のみが反射する。
本発明が利用する光学的原理を、先ず説明する。横波で
ある光波が透明な媒質の境界面に入射する際、その一部
は反射し、一部は屈折する。この時の反射光及び屈折光
の振巾と入射光の振巾との関係は、フレネルの式で与え
られている。又、この横波である光波には、上記光の入
射面に対してそのベクトルが垂直な成分（Ｓ偏光）と、
平行な成分（Ｐ偏光）とがある。フレネルの式より導出
されたブルースター角を入射角として入射面に入射する
光においては、そのＰ偏光は入射（反射）面で反射せ
ず、Ｓ偏光のみが反射する。
【００１２】本発明は、光の透明な物体に対する上記特
性を利用して、透明材より成る物体の検査装置を提供す
るものである。
性を利用して、透明材より成る物体の検査装置を提供す
るものである。
【００１３】以下、図１乃至図５を参照して本発明の実
施例を説明する。尚、これ等の図に於いて、図６及び図
７と同一符号は、同一部材を示すものとする。
施例を説明する。尚、これ等の図に於いて、図６及び図
７と同一符号は、同一部材を示すものとする。
【００１４】図１は、本発明による透明材より成る物体
の検査装置の一実施例を示す斜視図である。同図に於い
て１は光源であり、２は光を通過させる性質、例えば無
色透明又は着色透明（又は半透明）の材質、例えばガラ
ス等より成る検査されるべき物体で、この例では筒状体
である。この物体２は、光源１よりの光で矢印ａの如く
照射されている。３はビデオカメラ等の如き光センサで
ある。この光センサ３は、その光軸を３ａとすると、物
体、即ち筒状体２の中心軸２ｄを通る光センサの光軸３
ａと光源１よりのａ方向の光とが交叉する角αが、所定
の値となるように配置されている。又、５は光センサ３
の前方に配置された所定の偏光成分の通過を阻止する偏
光フィルタを示す。６は光センサ３よりのビデオ信号を
処理して、欠陥の有無を検査する電子処理装置である。
の検査装置の一実施例を示す斜視図である。同図に於い
て１は光源であり、２は光を通過させる性質、例えば無
色透明又は着色透明（又は半透明）の材質、例えばガラ
ス等より成る検査されるべき物体で、この例では筒状体
である。この物体２は、光源１よりの光で矢印ａの如く
照射されている。３はビデオカメラ等の如き光センサで
ある。この光センサ３は、その光軸を３ａとすると、物
体、即ち筒状体２の中心軸２ｄを通る光センサの光軸３
ａと光源１よりのａ方向の光とが交叉する角αが、所定
の値となるように配置されている。又、５は光センサ３
の前方に配置された所定の偏光成分の通過を阻止する偏
光フィルタを示す。６は光センサ３よりのビデオ信号を
処理して、欠陥の有無を検査する電子処理装置である。
【００１５】図２及び図３は、夫々図１の光源１及び物
体２の部分の上面図である（尚、図２及び図３では、物
体２を拡大し、断面で示す）。
体２の部分の上面図である（尚、図２及び図３では、物
体２を拡大し、断面で示す）。
【００１６】図２は、光源１よりの矢印ａ１で示す光
が、物体２の側壁２ｃを通過し、その対向する側壁２ｃ
内の欠陥、例えばひび４で反射し、側壁２ｃ外へ出て行
く光Ｌｔ１の光路を主として示す。この場合、光のひび
４への入射角α1 は、上記ブルースター角（この例では
ブルースター角より大）ではないので、この光Ｌｔ１の
大部分はＰ偏光成分であるが、欠陥４の状態によって
は、少量のＳ偏光成分を含んでいる。
が、物体２の側壁２ｃを通過し、その対向する側壁２ｃ
内の欠陥、例えばひび４で反射し、側壁２ｃ外へ出て行
く光Ｌｔ１の光路を主として示す。この場合、光のひび
４への入射角α1 は、上記ブルースター角（この例では
ブルースター角より大）ではないので、この光Ｌｔ１の
大部分はＰ偏光成分であるが、欠陥４の状態によって
は、少量のＳ偏光成分を含んでいる。
【００１７】図３は光源１と物体２とが図２と同一の配
置関係に於いて、光源１よりの矢印ａ２で示す光が、物
体２の側壁２ｃを通過し、その対向する側壁２ｃの内周
面２ａ（欠陥の無い面）の点Ｐに、ブルースター角と同
じ入射角θで入射し、そこで反射し、側壁２ｃの外へ出
て行く光Ｌｔ２の光路を主として示す。従って、この図
３の場合、側壁２ｃの外へ出て行く光Ｌｔ２は、Ｓ偏光
成分のみである。
置関係に於いて、光源１よりの矢印ａ２で示す光が、物
体２の側壁２ｃを通過し、その対向する側壁２ｃの内周
面２ａ（欠陥の無い面）の点Ｐに、ブルースター角と同
じ入射角θで入射し、そこで反射し、側壁２ｃの外へ出
て行く光Ｌｔ２の光路を主として示す。従って、この図
３の場合、側壁２ｃの外へ出て行く光Ｌｔ２は、Ｓ偏光
成分のみである。
【００１８】図４は、図１に示した本発明の実施例によ
る物体２の欠陥４の検出動作を説明する図である。この
図４の例は、図２及び図３を重ね合わせ、光Ｌｔ１及び
Ｌｔ２を偏光フィルタ５を介して光センサ３へ導入し、
この光センサ３よりのビデオ信号を電子処理装置６で処
理し、物体２に欠陥４が在るか否かを検査する場合であ
る。尚、この場合、電子処理装置６は、光センサ３の出
力ビデオ信号のうち、主として光Ｌｔ１，Ｌｔ２及びそ
の近傍の光に相当するビデオ信号のみを処理して、欠陥
の有無を検査する。
る物体２の欠陥４の検出動作を説明する図である。この
図４の例は、図２及び図３を重ね合わせ、光Ｌｔ１及び
Ｌｔ２を偏光フィルタ５を介して光センサ３へ導入し、
この光センサ３よりのビデオ信号を電子処理装置６で処
理し、物体２に欠陥４が在るか否かを検査する場合であ
る。尚、この場合、電子処理装置６は、光センサ３の出
力ビデオ信号のうち、主として光Ｌｔ１，Ｌｔ２及びそ
の近傍の光に相当するビデオ信号のみを処理して、欠陥
の有無を検査する。
【００１９】図４の場合、図２及び図３に関して説明し
た如く、物体２の側壁２ｃ内の欠陥４で反射した光Ｌｔ
１は、殆どＰ偏光成分であり（欠陥４の形状等により、
多少のＳ偏光成分を含む場合もある）、物体２の内周面
２ａの点Ｐ（ここには欠陥がない）で反射した光Ｌｔ２
は、ブルースター角でＰ点に入射しているので、Ｓ偏光
成分のみである。従って、この場合、光センサ３の前方
に配置する偏光フィルタ５として、Ｓ偏光成分の通過を
阻止する偏光フィルタを用いれば、Ｓ偏光成分である光
Ｌｔ２は光センサ３に導入されず、欠陥４で反射された
Ｐ偏光である光Ｌｔ１のみが光センサ３に導入される。
尚、上述の如く、光Ｌｔ１にＳ偏光成分が含まれていた
としても、このＳ偏光成分は、その通過が偏光フィルタ
５によって阻止される。
た如く、物体２の側壁２ｃ内の欠陥４で反射した光Ｌｔ
１は、殆どＰ偏光成分であり（欠陥４の形状等により、
多少のＳ偏光成分を含む場合もある）、物体２の内周面
２ａの点Ｐ（ここには欠陥がない）で反射した光Ｌｔ２
は、ブルースター角でＰ点に入射しているので、Ｓ偏光
成分のみである。従って、この場合、光センサ３の前方
に配置する偏光フィルタ５として、Ｓ偏光成分の通過を
阻止する偏光フィルタを用いれば、Ｓ偏光成分である光
Ｌｔ２は光センサ３に導入されず、欠陥４で反射された
Ｐ偏光である光Ｌｔ１のみが光センサ３に導入される。
尚、上述の如く、光Ｌｔ１にＳ偏光成分が含まれていた
としても、このＳ偏光成分は、その通過が偏光フィルタ
５によって阻止される。
【００２０】換言すれば、欠陥４で反射された光Ｌｔ１
のみが、光センサ３に導入され、物体２の欠陥４以外で
反射された光Ｌｔ２等は、光センサ３に導入されない。
即ち、欠陥４の検出に悪影響を与える光は、光センサ３
には導入されない。
のみが、光センサ３に導入され、物体２の欠陥４以外で
反射された光Ｌｔ２等は、光センサ３に導入されない。
即ち、欠陥４の検出に悪影響を与える光は、光センサ３
には導入されない。
【００２１】従って、光センサ３の出力ビデオ信号を処
理する電子処理装置６は、欠陥４に対応するビデオ信号
のみを処理するので、極めて高い精度で、ひび等の欠陥
を検出することができる。
理する電子処理装置６は、欠陥４に対応するビデオ信号
のみを処理するので、極めて高い精度で、ひび等の欠陥
を検出することができる。
【００２２】この場合、被検査物体、この例では筒状体
２を１回転させれば、筒状体２の全体の欠陥の検査をす
ることができる。
２を１回転させれば、筒状体２の全体の欠陥の検査をす
ることができる。
【００２３】尚、Ｓ偏光成分のみの光Ｌｔ２に関し、こ
の光Ｌｔ２が多少のＰ偏光成分を含んでいても、欠陥の
検出に支障がない場合は、例えば図５に示す如く、物体
２の斜線を付して示す領域７の部分の欠陥の検査が一度
にできる。この場合、光源１としては、物体２の少なく
とも領域７の部分を１回の発光で照射し得る、例えばス
トロボランプを用いることができる。
の光Ｌｔ２が多少のＰ偏光成分を含んでいても、欠陥の
検出に支障がない場合は、例えば図５に示す如く、物体
２の斜線を付して示す領域７の部分の欠陥の検査が一度
にできる。この場合、光源１としては、物体２の少なく
とも領域７の部分を１回の発光で照射し得る、例えばス
トロボランプを用いることができる。
【００２４】この際、物体２の全周の検査を行うために
は、領域７が物体２の全周の数分の１とすれば、物体２
を、その領域７の幅Ｗに相当する間隔で、ステップ状に
数回回転し、この物体２のステップ状回転に同期して、
光源１としてストロボランプを発光させればよい。
は、領域７が物体２の全周の数分の１とすれば、物体２
を、その領域７の幅Ｗに相当する間隔で、ステップ状に
数回回転し、この物体２のステップ状回転に同期して、
光源１としてストロボランプを発光させればよい。
【００２５】又、物体２の領域７の部分の検査をする他
の例としては、電子処理装置６に於いて、光センサ３よ
りのビデオ信号のうち、領域７に相当する部分のビデオ
信号のみを処理する検査ウインド（窓）を設定して、領
域７の部分のみの欠陥の検出力を行なってもよい。
の例としては、電子処理装置６に於いて、光センサ３よ
りのビデオ信号のうち、領域７に相当する部分のビデオ
信号のみを処理する検査ウインド（窓）を設定して、領
域７の部分のみの欠陥の検出力を行なってもよい。
【００２６】この場合、物体２を一定速度で回転させる
一方、上記検査ウインドの設定を、物体２の回転に同期
して、ステップ状に行なってもよい。
一方、上記検査ウインドの設定を、物体２の回転に同期
して、ステップ状に行なってもよい。
【００２７】尚、上例では、筒状の物体２の側壁２ｃ内
のひびの如き欠陥４の検出を例に挙げ説明したが、物体
２の内周面２ａ及び外周面２ｂ上のしわ等の欠陥で反射
される光源１よりの光の大部分も、殆どがＰ偏光成分で
あるので、上述と同様に、このような欠陥も、本発明の
透明材の検査装置により高精度で検出し得るものであ
る。
のひびの如き欠陥４の検出を例に挙げ説明したが、物体
２の内周面２ａ及び外周面２ｂ上のしわ等の欠陥で反射
される光源１よりの光の大部分も、殆どがＰ偏光成分で
あるので、上述と同様に、このような欠陥も、本発明の
透明材の検査装置により高精度で検出し得るものであ
る。
【００２８】又、上例では、本発明の被検査物体２とし
て、筒状体を例に挙げたが、これに限らず、光の透過性
材から成るその他の形状の物体、例えば湾曲又は折曲し
た形状の物体、或は球体、管状体等でも、これ等を照明
する光源１及び偏光フィルタ５をその前面に配した光プ
ロセッサ３を、かかる形状の被検査物体に対して、上述
の如く所定の関係を以って配置すれば、かかる形状の物
体の欠陥の検査が可能であることは勿論である。
て、筒状体を例に挙げたが、これに限らず、光の透過性
材から成るその他の形状の物体、例えば湾曲又は折曲し
た形状の物体、或は球体、管状体等でも、これ等を照明
する光源１及び偏光フィルタ５をその前面に配した光プ
ロセッサ３を、かかる形状の被検査物体に対して、上述
の如く所定の関係を以って配置すれば、かかる形状の物
体の欠陥の検査が可能であることは勿論である。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、光が透明な媒質に、ブ
ルースター角で入射すると、それよりの反射光はＳ偏光
成分のみであるという現像及びこのＳ偏光成分の透過を
阻止する偏光フィルタを従来の検査装置に適用するのみ
で、物体の欠陥の検査を阻害する不要な反射光等を除去
して簡単な構成で透明材の欠陥を高精度に検出できる。
ルースター角で入射すると、それよりの反射光はＳ偏光
成分のみであるという現像及びこのＳ偏光成分の透過を
阻止する偏光フィルタを従来の検査装置に適用するのみ
で、物体の欠陥の検査を阻害する不要な反射光等を除去
して簡単な構成で透明材の欠陥を高精度に検出できる。
【図１】本発明の一実施例の概略を示す斜視図。
【図２】図１の一部を断面とする一部の拡大平面図。
【図３】図１の一部を断面とする一部の拡大平面図。
【図４】図１の実施例の動作の説明に供する平面図。
【図５】被検査物体の一例である筒状体の側面図。
【図６】従来の物体の欠陥検査装置の一例の斜視図。
【図７】従来の物体の欠陥検査装置の他の例の斜視図。
１ 光源 ２ 被検査物体 ３ 光センサ ４ 欠陥 ５ 偏光フィルタ ６ 電子処理装置
Claims (6)
- 【請求項１】 光の透過性材よりなる物体を光源よりの
光で照射し、該物体を透過した光を光センサ及び電子処
理装置で受光処理して物体の欠陥の有無を検査する物体
の検査装置において、 上記光源よりの光が上記物体の内面に特定の入射角で入
射し、特定の偏光成分のみが反射光として反射され、上
記物体の側壁を通過して該物体の外へ進行するようにな
し、この特定の偏光成分の通過を素子する偏光フィルタ
を介して、上記特定の偏光成分及び上記物体の欠陥で反
射された光等を上記光センサで受け、該光センサよりの
ビデオ信号を上記電子処理装置で処理するようになした
ことを特徴とする透明材の検査装置。 - 【請求項２】 上記特定の入射角はブルースター角であ
ることを特徴とする請求項１に記載の透明材の検査装
置。 - 【請求項３】 上記特定の偏光成分はＳ偏光成分である
ことを特徴とする請求項２に記載の透明材の検査装置。 - 【請求項４】 上記偏光フィルタはＳ偏光成分の通過を
阻止する偏光フィルタであることを特徴とする請求項３
に記載の透明材の検査装置。 - 【請求項５】 上記物体はステップ状に回転され、上記
光源はストロボランプで、上記物体のステップ状の回転
に同期して発光されることを特徴とする請求項１に記載
の透明材の検査装置。 - 【請求項６】 上記電子処理装置は上記光センサの出力
ビデオ信号の特定の部分のみを処理することを特徴とす
る請求項１に記載の透明材の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29143495A JPH09133635A (ja) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 透明材の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29143495A JPH09133635A (ja) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 透明材の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09133635A true JPH09133635A (ja) | 1997-05-20 |
Family
ID=17768828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29143495A Pending JPH09133635A (ja) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 透明材の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09133635A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033389A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Ccs Inc | 表面検査装置 |
| JP4668354B1 (ja) * | 2010-07-20 | 2011-04-13 | トリオ・セラミックス株式会社 | 透明管の泡検出装置および泡検出方法 |
-
1995
- 1995-11-09 JP JP29143495A patent/JPH09133635A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033389A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Ccs Inc | 表面検査装置 |
| JP4668354B1 (ja) * | 2010-07-20 | 2011-04-13 | トリオ・セラミックス株式会社 | 透明管の泡検出装置および泡検出方法 |
| WO2012011438A1 (ja) * | 2010-07-20 | 2012-01-26 | 日本電気硝子株式会社 | 透明管の泡検出装置および泡検出方法 |
| JP2012026762A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Torio Ceramics Kk | 透明管の泡検出装置および泡検出方法 |
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