JPH09113466A

JPH09113466A - リードフレームの検査装置

Info

Publication number: JPH09113466A
Application number: JP26720295A
Authority: JP
Inventors: Haruhisa Makino; 晴久牧野; Toshiaki Funada; 年明舟田
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 1995-10-16
Filing date: 1995-10-16
Publication date: 1997-05-02
Anticipated expiration: 2015-10-16
Also published as: JP3590162B2

Abstract

(57)【要約】【課題】帯状に連続するリードフレーム表面状態の異
常を高速かつ高精度で検査可能なリードフレームの検査
装置を提供する。【解決手段】帯状に連続するリードフレーム３を搬送
するための搬送ローラ６ａと、前記リードフレーム３の
ＩＣ１ピース領域を細分化した区画ごとに走査させてリ
ング照明６ｂにより光照射して画像入力を行うＣＣＤカ
メラ６ｃと、前記搬送ローラ６ａ回転駆動させ、リング
照明６ｂ，ＣＣＤカメラ６ｃを搭載した可動テーブル６
ｄを走査させるための駆動モータと、前記駆動モータの
動作を制御するための制御部８と、を備え、前記制御部
８は、複数有する制御モードのうち、例えば停止モード
の場合には、リードフレーム３の搬送を周期的に停止さ
せ、ＣＣＤカメラ６ｃを走査させて必要に応じてマスク
処理を施して各区画ごとに画像入力を行い、入力画像を
解析指示データにしたがい輝度を解析し、得られた解析
値と予め記憶部に記憶させた各区画ごとの記憶値との比
較を行うことにより、前記リードフレーム３の異常を検
出してエラーを出力表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は打ち抜き加工後のリード
フレームの打痕や傷、変色等の表面状態を検出すること
が可能なリードフレームの検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、リードフレーム材を打ち抜きリー
ドフレームを形成するプレス工程において、例えば短冊
状リードフレームであれば、プレスより搬送されたとこ
ろで、大きな打痕やバリ等は作業者が肉眼で確認してい
た。また、搬送されるリードフレームをプレス後に任意
に抜き取り、顕微鏡で検査及び測定を行っていた。ま
た、リールに巻き取られたリードフレームにおいては、
途中で抜き取り検査を行うことができないので、作業者
の肉眼に頼るしかなく、精密検査はリールの最後で打痕
等の有無を検査するしかなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
半導体装置の高密度実装化に伴い、リードフレームの多
ピン化が進行し、３次，４次加工等複数の金型を通さな
ければならず、従ってタンデムプレス，トリプルプレス
といった複数のプレスをつなげて加工を行うことが多く
なったため、より高速で高精度に検査する必要が生じて
きた。また、リードフレームの打痕は、塵及び抜きかす
の進入等僅かな原因により発生することがあり、リール
の途中から最後まで発生することもあるが、途中で打痕
の原因が解消して無くなることもある。このため、リー
ルの最後が良品でも途中に打痕がないとは限らない。

【０００４】短冊状のリードフレームであれば、抜き取
り検査を行い、不良品を発見したところでプレスを止
め、金型を検査して必要ならば調整し直すことができ、
また、さかのぼって良品・不良の選別をすることも可能
であるが、リールに巻き取られたリードフレームにおい
ては上述したようなことは実現し難い。リールタイプの
リードフレームにおいては、打痕等が生じたことを認識
したところでプレスを止めて修正することができるが、
リードフレームは不良箇所に印を付けた後、最後までプ
レスを行う。

【０００５】上記不良箇所を含むリードフレームを納入
する場合、ユーザーによってニーズに多少の違いがあ
り、リールの途中まででも良品を納入するところもあれ
ば、不良箇所に印をしてくれれば良いというところもあ
り、また良品どうしのリードフレームをつなげて１本の
リールにして納品を希望するところもある。

【０００６】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、帯状に連続するリードフレーム表面状態の異常を
高速かつ高精度で検査可能なリードフレームの検査装置
を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、帯状に連続する
リードフレームを搬送するための搬送手段と、前記リー
ドフレームの単位リード形成領域を細分化した区画ごと
に走査させて光照射して画像入力を行う画像入力手段
と、前記搬送手段及び画像入力手段を駆動するための駆
動手段と、前記駆動手段の動作を制御するための制御手
段と、を備え、前記制御手段は、複数有する制御モード
に応じてリードフレームの搬送を制御し、画像入力手段
を走査させて必要に応じてマスク処理を施して各区画ご
とに画像入力を行い、入力画像を解析指示データにした
がい輝度を解析し、得られた解析値と予め記憶部に記憶
させた各区画ごとの記憶値との比較を行うことにより、
前記リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示
することを特徴とする。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るリードフレー
ムの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明にかかるリードフレームの検
査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す
説明図、図２はリードフレームの検査装置の構成を示す
ブロック説明図、図３はリードフレームの検査装置の断
面説明図、図４はリング照明装置の構成を示す説明図、
図５はＣＣＤカメラからの入力された画像の明暗部の解
析範囲を示すグラフ、図６は入力データのピークカット
検出を示す説明図、図７は解析データの許容値を示すグ
ラフ、図８は図７の区画Ｎ部分の暗部輝度データの拡大
図、図９はリードフレームの輪郭にマスクを施した状態
を示す比較説明図、図１０は１ピースＩＣの画像解析領
域の区画を示す説明図、図１１は検査装置による検査動
作の流れを示すフローチャートである。

【０００９】先ず図１を参照してリードフレームの検査
装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成について
説明する。１，２は帯状に連続するリードフレーム３を
繰り出し，巻き取り用のリールである。本実施例では図
面左側の繰り出し用リール１よりリードフレーム１を繰
り出し、図面右側に配置された巻き取り用リール２に巻
き取るように構成されている。

【００１０】４はレベラーであり、繰り出し用リール１
より繰り出されたリードフレーム３を一定の高さを保っ
て搬送するものである。５は上型５ａ，下型５ｂを装備
してプレスによりリードを形成するプレス装置である。
６はリードフレームの検査装置であり、プレス装置５に
より打ち抜かれたリードフレーム３の表面状態に打痕，
傷，変色等の異常がないかどうかを検査するものであ
る。上記検査装置６には、搬送手段としての搬送ローラ
６ａ，画像入力手段としてのリング照明６ｂ，ＣＣＤ
（電荷結合素子）カメラ６ｃを備えた可動テーブル６ｄ
等を装備している。７は層間紙であり、巻き取り用リー
ル２に巻き取られるリードフレーム３間に介在させて巻
き取らせ、リードフレーム相互間の摺擦より保護をして
いる。なお、本実施例では、検査装置６はプレス装置５
の後に配置されているが、リードフレーム１の洗浄装置
の後やその他の処理後に配置することも可能である。

【００１１】次に図２を参照してリードフレームの検査
装置６の全体構成についてブロック図を参照して説明す
る。８は制御部であり、制御プログラムにしたがって装
置全体の動作を制御するＣＰＵ８ａ、外部より入力され
たデータの一時保存を行ったり、ＣＰＵ８ａのワーキン
グエリアとして使用されるＲＡＭやＣＰＵ８ａの制御プ
ログラムを記憶したＲＯＭ等を備えた記憶部８ｂ、デー
タの入出力を行う入出力部（Ｉ／Ｏ部）８ｃ、光源装置
９の照度を制御する照度コントローラ８ｄ、ＣＣＤカメ
ラ６ｃにより撮影した画像にマスク処理を施す画像処理
ボード８ｅ等を装備している。上記画像処理ボード８ｅ
には、ＣＣＤカメラ６ｃより後述するモニター表示用の
画像が入力される。また１０は駆動手段としてのコント
ローラであり、リードフレーム３を搬送する搬送ローラ
６ａを駆動させる駆動モータ（図示せず）や可動テーブ
ル６ｄを走査させる駆動モータ（図示せず）を作動／停
止させるドライバー回路を有する。また、上記ＣＰＵ８
ａには、Ｉ／Ｏ部８ｃを介してリードフレーム３の搬送
量を検出するためのフレーム搬送センサ１１からの検出
信号が入力し、プレス装置５を作動／停止させる制御信
号が出力される。

【００１２】上記制御部８のＣＰＵ８ａは、照度コント
ローラ８ｄにより光源装置９の照度を制御してリング照
明６ｂよりリードフレーム３のほぼ同一明度領域に区分
された区画ごとに光照射する。そして、この画像をＣＣ
Ｄカメラ６ｃにより撮影して画像処理ボード８ｅを介し
て輝度データとして取り込み、記憶部８ｂに記憶させる
（ティーチィング）。また、リードフレーム３を所定量
搬送して画像を取り込む際に必要に応じて画像処理ボー
ド８ｅによりマスク処理を施して輝度データを取り込
み、取り込んだデータを前記記憶部８ｂに記憶させたデ
ータと比較する。また、前記ＣＰＵ８ａは入出力部８ｃ
を介してコントローラ１０により搬送ローラ６ａの駆動
を制御して搬送動作を停止させたり、可動テーブル６ｄ
を区画ごとに走査させる。なお、上記制御部８は、停止
モードと無停止モードの２種類の制御モードを有してお
り、停止モードの場合には、リードフレーム３を所定量
搬送したところで周期的に停止させて画像を取り込み、
無停止モードの場合にはリードフレーム３を搬送しなが
ら周期的に瞬時に画像を取り込む。

【００１３】次に図３を参照してリードフレームの検査
装置６の具体的な装置構成について説明する。以下、プ
レス後のリードフレーム３の搬送経路にしたがって説明
する。リードフレーム３は図面左側より下方にＵ字状に
垂れ下がって検査装置６に進入し、フレームガイド１２
に沿って鉛直上方に向かって搬送される。リードフレー
ム３は搬送中はＡの位置にあり、搬送動作を停止すると
慣性により若干移動してＢ或いはＣの位置に垂れ下がっ
て停止する。

【００１４】また、上記リードフレーム３は、フレーム
ガイド１２に幅方向及び高さ方向の位置決めをなされる
と共に、可動テーブル６ｄを図の矢印に示すＹＺ軸方向
に移動させてリング照明６ｂによりリードフレーム３の
所定区画に光照射してその表面画像はＣＣＤカメラ６ｃ
により取り込まれる。上記可動テーブル６ｄは、リング
照明６ｂ及びＣＣＤカメラ６ｃを一体に搭載して図示し
ない駆動モータにより図３のＹＺ軸方向に走査可能に構
成されている。上記リング照明６ｂの照度は、各区画に
応じて可動テーブル６ｄより下方に設けられた光源装置
９により調整される。また、上記ＣＣＤカメラ６ｃの焦
点は、可動テーブル６ｄの後端側にあるノブ６ｊにより
手動で調整する。なお、図３において、Ｙ軸方向とは紙
面に対して垂直方向をいう。

【００１５】また上記リードフレーム３は、停止モード
の場合、フレームガイド１２の下流側に設けられたフレ
ーム搬送センサ１１により搬送量が検出され、例えば２
０８ピンのリードフレーム３でプレス装置５のプレスス
トローク１４０ｓｐｍの時４５ＩＣ分（１９．３秒）搬
送されるごとに移動が停止され、検査が行われる。搬送
ローラ６ａは、図示しない駆動モータにより回転駆動さ
れ、リードフレーム３をその円弧面の一部に巻き付けて
搬送する。上記フレーム搬送センサ１１の検出信号に基
づいて駆動モータの動作を制御して、搬送ローラ６ａに
よるリードフレーム３の搬送動作が制御される。また、
無停止モードの場合には、リードフレーム３の停止動作
は行わず、ＣＣＤカメラ６ｃにより一定周期ごとに検査
を行う。

【００１６】１３は搬送ガイドであり、搬送ローラ６ａ
を経たリードフレーム３の搬送をガイドするものであ
る。上記搬送ガイド１３の搬送路には、リードフレーム
３の上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の
補助ローラ１４が設けられている。上記搬送ガイド１３
を経たリードフレーム３は装置外へ導かれ、巻き取り側
に搬送される。

【００１７】また、装置下部には、制御部８や電源部等
を配置した制御パネル１５が配置されている。また、装
置上部には制御データコントロール用の制御用モニター
１６ａ、ＣＣＤカメラ６ｃより取り込んだ画像をリアル
タイムで表示するための表示用モニター１６ｂが装備さ
れている。

【００１８】ここで、前述した検査装置６の各部の構成
及び機能について詳細に説明する。先ず、リング照明６
ｂの構成について詳述すると、図４において、リング照
明６ｂのリング６ｅ内には光源としての光ファイバー６
ｆが装備されている。また上記リング６ｅには支持部材
６ｇが設けられており、該支持部材６ｇには半透明フィ
ルム６ｈがリング６ｅの発光面と対向するように配置さ
れている。また上記半透明フィルム６ｈのうち高輝度部
分には遮光用のマスク６ｉが設けられている。

【００１９】上述のようにリング状の照明を用いたの
は、リードフレーム３と照明装置との間隔が狭いためフ
レーム面に明暗が生じ易いので、リードフレーム３の区
画領域をできるだけ均一に光照射するためである。ま
た、リング６ｅの発光面に対向する位置に半透明フィル
ム６ｈを設けたのは、光の拡散を良くするためであり、
更にはマスク６ｉを設けたのは、高輝度部分を遮光して
フレーム面を均一な照度で光照射して、ＣＣＤカメラ６
ｃにより打痕，傷等を鮮明に見るためである。

【００２０】また、照度コントローラ８ｄは、リードフ
レーム３の面粗度の違いにより、同一照度でのフレーム
の明度に違いが生ずる。この場合、記憶部８ｂに記憶さ
せたティーチデータの許容値が大きくなり、結果的に打
痕検査を困難にする。このため、反射光が明るいフレー
ムの時には照度を落とし、暗いフレームの場合には照度
を上げることでできるだけ均一な明度になるように調整
するものである。この調整は、リードフレーム３の１Ｉ
Ｃ分（１ピース分）ごとに画像を取り込む時に照度コン
トロールを行う。

【００２１】また、リードフレーム３に打痕，傷等の検
出をした場合、正常なフレーム明度より大きな値或いは
小さな値が検出されたとき、エラーとして検出するた
め、図５に示すようにＣＣＤカメラ６ｃより入力する画
像の輝度データの入力レベルの変更を行っている。本実
施例では、明部解析範囲と暗部解析範囲の双方行ってい
る。

【００２２】また、リードフレーム３の表面の明度のピ
ーク値を観察していると、図６（ａ）に示すように、正
常なフレームでも面粗度の違いによりピーク値が上昇す
る場合がある（相違量ａ）。そこで、図６（ｂ）に示す
ように、ピークレベルからある一定量だけカットしたと
ころの輝度レベルを記憶しておき、検査時においても一
定量だけカットしたところの輝度レベルで比較している
（相違量ｂ）。

【００２３】また、図７に示すように、リードフレーム
３の各ピースの同じ区画領域でも、表面性状，加工油の
のり、面粗度等によりピースごとに輝度が多少異なる場
合があるため、輝度データに許容範囲を設ける。このた
め、ピースごとの画像取り込み時にリング照明６ｂの明
るさのコントロールを行っている。図７において、輝度
を示す折れ線グラフより外れた箇所にドットが存在する
場合には、打痕と判定てきる。また、図７の区画Ｎ部分
の暗部輝度データの拡大図を図８に示す。前記ＣＣＤカ
メラ６ｃによる入力レベル変更は、０〜２５５の輝度を
更に部分拡大して０〜２５５の輝度データに強調して各
区画ごとにピークカット、例えば、１０ピクセルのノイ
ズカットを行っている。図８において、拡大データの輝
度解析範囲（０〜２５５）に設定された許容範囲より外
れる部分が存在する場合には、打痕と判定できる。

【００２４】また、図９（ａ）に示すように、プレス装
置５によりプレス後のリードフレーム３の輪郭部３ａや
打ち抜き部分３ｂには、ダレ，カエリ，バリ等が存在す
る。このダレ，カエリ，バリ等が検査区画内に存在する
と、ダレ等が存在しない場合に比べて輝度データがティ
ーチデータより大きな値となり誤って打痕と認識してし
まう。このため、他のリードフレーム面と同じ輝度とし
て認識するように、一度リードフレーム３の画像をサン
プルとして取り込み、リードフレーム３の輪郭に沿って
エアブラシ，ボカシ等を使用して画像編集し、マスク画
像として記憶部８ｂに記憶させる。そして、図９（ｂ）
に示すように、リードフレーム３の輪郭部３ａや打ち抜
き部分３ｂに画像処理ボード８ｅにおいてマスク画像Ｍ
を重ね合わせて輝度を補正しダレ，バリ等の影響を抑え
ている。

【００２５】また、図１０に示すように、単位ＩＣ（１
ピース）を明度レベルがほぼ同一と観測される例えば１
／４ピースごとに区分し、１ピースの１／４を更に５０
区画に分割して画像を取り込むようにしている。また、
本実施例では、リードフレーム３として２０８ピンのＩ
Ｃを形成する場合でプレスストローク１４０ｓｐｍのと
き、１／４５ＩＣ（１９．３秒に１回）リードフレーム
３の搬送動作を停止させて表面状態の検査を行ってい
る。このリードフレーム３の検査周期は、更に高速化を
めざしており、１／２５ＩＣ（８．６秒に１回）を目標
にしている。

【００２６】次に、上述した検査装置６の検査方法につ
いて図１１に示すフローチャートに沿って説明する。本
実施例では、リードフレーム３の任意の検査位置におい
てＩＣ１ピースの表面状態を検出する動作について説明
するものとする。

【００２７】先ず、リードフレーム全体の検査の流れに
ついて概略説明すると、プレス装置５を経て連続的に加
工され搬送されるリードフレーム３を検査装置６に進入
させ、停止モードでは該検査装置６内でリードフレーム
３を周期的に搬送停止させる。また、無停止モードでは
停止させることなくリードフレーム３の１ピースに対
し、多分割した位置へ若しくは多分割していない時は必
要であれば一度ＣＣＤカメラ６ｃを移動させて画像を取
り込む。画像の取り込みは明度解析用と暗部解析用とし
てそれぞれ取り込まれる。上記取り込んだ画像を各区画
の解析指示データに従い解析し、そのデータと記憶部８
ｂに記憶されているティーチングデータとを比較する。
この作業は明度及び暗度両方において行われる。両者を
比較した結果、記憶値より入力値のほう大きい場合に
は、エラーとして出力される。

【００２８】次に具体的な検査方法について説明する。
本実施例は制御モードが停止モードである場合の制御動
作について説明する。図１１において、ステップＳ１に
おいて、ＣＣＤカメラ６ｃによりマスク画像Ｅの入力を
行う。このマスク画像の入力は、制御部８の記憶部８ｂ
にティーチィングによりマスクの作成、リードフレ
ーム３のＩＣ１ピースの区画設定、カメラ入力レベル
の設定、入力画像解析、許容値の設定等が行われ
る。尚、上記〜の作業は明度及び暗部検出用双方に
ついて行われる。また、上記ティーチィングによるデー
タ入力は、リードフレームの品種，材質の相違などによ
り随時行われる。

【００２９】以下、具体的に説明すると、上記マスク
の作成は、前述したように、リードフレーム３のダレ，
バリ部分は他の面と光の反射が異なるため、この部分は
検査しないようにマスクを作成する。或いは、特に検査
指せない部分（例えば刻印部）があればマスクする。ま
た、ＩＣ１ピース内の区画設定は、図１０に示すよう
に、入力画像の明度レベルがほぼ同一と観測される領域
ごとに例えば１／４ピースごとに区分され、更に１／４
ピース内を細分化（本実施例では５０区画に区分）す
る。また、カメラ入力レベルの設定は、入力画像の輝
度データのピークレベルを検出するために必要なカメラ
入力の範囲設定を行う。また、入力画像解析は、入力
画像を各区画ごとに解析し、その解析値を記憶部８ｂに
記憶する。また、許容値の設定は、各区画ごとにフレ
ームの面粗度の違いや加工油の付着状況によりフレーム
の明るさが変化することから、良品を解析して記憶値と
の差プラスαを許容値として記憶する。

【００３０】次に、ステップＳ２に進行して搬送ローラ
６ａを回転駆動させてリードフレーム３を所定量搬送し
て停止する。この搬送周期は、本実施例では、前述した
ように１／４５ＩＣ（１９．３秒に１回）で行われる。
そして、ステップＳ３に進行して、フレーム面の照度を
確認して、明るすぎたり暗すぎる場合には、照度コント
ローラ８ｄにより光源装置９を介してフレーム面に光照
射するリング照明６ｂの照度コントロールを行う。次
に、ステップＳ４に進行して、ステップＳ１でティーチ
ングした位置と移動後のリードフレームの位置の補正を
可動テーブル６ｄをＹＺ軸方向（図３参照）に移動させ
て修正する。

【００３１】次に、ステップＳ５に進行して、ＣＣＤカ
メラ６ｃより画像処理ボード８ｅに画像Ｆを入力する。
本実施例では１／４ピース分／ＩＣにおいて、５０区画
分の輝度データを取り込む。画像Ｆとしては、明部，暗
部，全体の３回分のデータを入力する。上記入力画像Ｆ
はリアルタイムで表示用モニター１６ｂに写し出され、
その表面状態を視認することができる。そして、ステッ
プＳ６に進行して全区画の輝度データを取り込むまで画
像Ｆの入力を続行し、終了した場合にはステップＳ７で
カウンタのカウント値ｉ＝１を記憶する。次に、ステッ
プＳ８に進行して、ＣＰＵ８ａは記憶部８ｂにティーチ
ィングで記憶させたマスクデータを読み出す。次に、ス
テップＳ９に進行してティーチィングで作成したマスク
を使用するか否かを判断し、必要であればステップＳ１
０に進行して入力画像Ｆにマスク画像Ｅをマスクする。

【００３２】次に、ステップＳ１１に進行して、ＣＰＵ
８ａにより区画領域を解析指示データにしたがい解析す
る。このとき、区画ごとに指示データを変えながら解析
することができる。例えば光源の照度が変化して取り込
む画像の明るさが変動しても、取り込むべき対象物（リ
ードフレーム）の形状が同じになるようにピータイル値
（面積）を調整する。また、例えば区画内にリード部等
の島（オブジェクション）が存在する場合、２値化した
ときに島（オブジェクション）の数と重心位置とピータ
イル値（面積）を変更してＩＣ１ピースの区画形状に応
じた画像を取り込む。

【００３３】ステップＳ１２において、画像Ｆの輝度デ
ータの入力値（解析値）と、ティーチィングで記憶させ
た記憶値（解析値＋許容値）とを比較し、ステップＳ１
３において入力値が記憶値より大きな値となったとき打
痕が生じたものとして、ステップＳ１４に進行して記憶
部８ｂにエラー登録をする。またステップ１３におい
て、入力値が記憶値以下の場合には、ステップＳ１５に
進行して正常であると判断してカウンタのカウント値を
ｉ＝ｉ＋１として記憶する。

【００３４】次に、ステップＳ１６に進行してカウンタ
値ｉが終了値であるか否かを判断して、終了していない
場合には、ステップＳ４に戻って、可動テーブル６ｄを
次の１／４ピース分／ＩＣに移動させて各区画ごとの画
像Ｆの入力やデータの解析を行う。次にステップＳ１６
において、カウンタ値ｉが終了値である場合には、ステ
ップＳ１７に進行して１／４ピース分／ＩＣのいずれか
の区画内にエラー登録が有るか否かを判断しエラー登録
がある場合には、ステップＳ１８に進行してその旨を表
示モニター１６ｂに表示させると共にプレス装置５の作
動を停止させる。

【００３５】また、ステップＳ１７において、エラー登
録がない場合には、ステップＳ１９に進行して、次のリ
ードフレーム３の検査領域が有るか否かを判断し、検査
領域が有る場合には、ステップＳ２に戻ってリードフレ
ーム３を所定量搬送して検査工程を繰り返し、検査領域
がない場合には、ステップＳ２０に進行して、リードフ
レーム３を検査装置６より巻き取りリール２側に巻き取
らせて検査を終了する。

【００３６】なお、無停止モードの場合には、上述した
制御動作のうちリードフレーム３の停止動作がなくなる
だけで同様の制御動作が行われる。

【００３７】上記構成によれば、リール間で繰り出し／
巻き取られるリードフレーム３に打痕，傷，変色等の異
常が生じた場合には、モニター画面上でいち早く視認す
ることができ、またプレス装置５の動作を停止させるこ
とができるので、不良品が連続して発生することを抑え
ることができ、高速で高精度なリードフレームの検査装
置を提供することができる。これによって、ユーザーに
提供するリードフレームの品質向上を実現することがで
きる。

【００３８】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、例えばリードフレームの１ピースＩＣの解析区
画領域もリードの数等によって更に多区画化或いは小区
分化しても良く、１／４ピース分割の画像取得を１／１
ピース分割に変更しても良く、検査周期も１／４５ピー
スごとに限定されるものではなく、更に周期を長くした
り短くすることも可能であり、検査装置の設置箇所もリ
ードフレームの洗浄後またはその他の処理後に設置して
も良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多く
の改変を施し得るのはもちろんのことである。

【００３９】

【発明の効果】本発明は前述したように、リール間で繰
り出し／巻き取られる帯状のリードフレームに打痕，
傷，変色等の異常が生じた場合には、モニター画面上で
いち早く視認することができ、またプレス装置の動作を
停止させることができるので、不良品が連続して発生す
ることを抑えることができ、高速で高精度なリードフレ
ームの検査装置を提供することができる。これによっ
て、ユーザーに提供するリードフレームの信頼性，品質
向上を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるリードフレームの検査装置を含
むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図であ
る。

【図２】リードフレームの検査装置の構成を示すブロッ
ク説明図である。

【図３】リードフレームの検査装置の断面説明図であ
る。

【図４】リング照明装置の構成を示す説明図である。

【図５】ＣＣＤカメラからの入力された画像の明暗部の
解析範囲を示すグラフである。

【図６】入力データのピークカット検出を示す説明図で
ある。

【図７】解析データの許容値を示すグラフである。

【図８】図７の区画Ｎ部分の暗部輝度データの拡大図で
ある。

【図９】リードフレームの輪郭にマスクを施した状態を
示す比較説明図である。

【図１０】１ピースＩＣの画像解析領域の区画を示す説
明図である。

【図１１】検査装置による検査動作の流れを示すフロー
チャートである。

【符号の説明】

１繰り出し用リール２巻き取り用リール３リードフレーム４レベラー５プレス装置６検査装置６ａ搬送ローラ６ｂリング照明６ｃＣＣＤカメラ６ｄ可動テーブル６ｅリング６ｆ光ファイバー６ｇ支持部材６ｈ半透明フィルム６ｉマスク６ｊノブ７層間紙８制御部８ａＣＰＵ８ｂ記憶部８ｃ入出力部８ｄ照度コントローラ８ｅ画像処理ボード９光源装置１０コントローラ１１フレーム搬送センサ１２フレームガイド１３搬送ガイド１４補助ローラ１５制御パネル１６ａ制御用モニター１６ｂ表示用モニター

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】帯状に連続するリードフレームを搬送す
るための搬送手段と、前記リードフレームの単位リード形成領域を細分化した
区画ごとに走査させて照明装置より光照射して画像入力
を行う画像入力手段と、前記搬送手段及び画像入力手段を駆動するための駆動手
段と、前記駆動手段の動作を制御するための制御手段と、を備
え、前記制御手段は、複数有する制御モードに応じてリード
フレームの搬送を制御し、画像入力手段を走査させて必
要に応じてマスク処理を施して各区画ごとに画像入力を
行い、入力画像を解析指示データにしたがい輝度を解析
し、得られた解析値と予め記憶部に記憶させた各区画ご
との記憶値との比較を行うことにより、前記リードフレ
ームの異常を検出してエラーを出力表示することを特徴
とするリードフレームの検査装置。
【請求項２】前記制御手段は、搬送するリードフレー
ムを周期的に停止させて画像入力を行う停止モードと、
リードフレームを搬送しながら周期的に画像入力を行う
無停止モードと、を有することを特徴とする請求項１記
載のリードフレームの検査装置。
【請求項３】前記制御手段は、ティーチィングにおい
てリードフレームの良品を解析して記憶値との差を許容
値として記憶部に記憶し、各区画の解析値がティーチィ
ングにおける解析値＋許容値を越えたときにエラー表示
を行うと共に、プレス装置の動作を停止させることを特
徴とする請求項１記載のリードフレームの検査装置。
【請求項４】前記画像入力手段により入力される各区
画の画像データは、明度解析用及び暗度解析用としてそ
れぞれ入力されることを特徴とする請求項１記載のリー
ドフレームの検査装置。
【請求項５】前記照明装置として発光面に対向して半
透明フィルムを設けたリング状照明を用い、リードフレ
ームの面粗度に応じて照度を調整して照明することを特
徴とする請求項１記載のリードフレームの検査装置。