JPH09108968A - Ｘ−Ｙ−θテーブル - Google Patents
Ｘ−Ｙ−θテーブルInfo
- Publication number
- JPH09108968A JPH09108968A JP26400095A JP26400095A JPH09108968A JP H09108968 A JPH09108968 A JP H09108968A JP 26400095 A JP26400095 A JP 26400095A JP 26400095 A JP26400095 A JP 26400095A JP H09108968 A JPH09108968 A JP H09108968A
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- Japan
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- tip
- shaped stator
- linear
- elevating shaft
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コストを低減し外寸を小型化したＸ−Ｙ−θ
テーブルを提供する。 【解決手段】 ベース１上にＹテーブル２、Ｘテーブル
３、θテーブル４を重ねたＸ−Ｙ−θテーブルにおい
て、θテーブル４専用のアクチュエータを設けず、代わ
りにベース１に支持されて昇降自在の昇降軸41を設ける
と共に、θテーブル回転中心Ｐから離隔した位置のθテ
ーブル４下面側に係合受け42を設ける。昇降軸41を上昇
させて係合受け42に係合させた状態でＹテーブル２又は
Ｘテーブル３を直線運動させるとθテーブル４が回転す
る。
テーブルを提供する。 【解決手段】 ベース１上にＹテーブル２、Ｘテーブル
３、θテーブル４を重ねたＸ−Ｙ−θテーブルにおい
て、θテーブル４専用のアクチュエータを設けず、代わ
りにベース１に支持されて昇降自在の昇降軸41を設ける
と共に、θテーブル回転中心Ｐから離隔した位置のθテ
ーブル４下面側に係合受け42を設ける。昇降軸41を上昇
させて係合受け42に係合させた状態でＹテーブル２又は
Ｘテーブル３を直線運動させるとθテーブル４が回転す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搭載したワークをＸ
方向、Ｙ方向及び回転方向に移動するＸ−Ｙ−θテーブ
ルの構造に関する。
方向、Ｙ方向及び回転方向に移動するＸ−Ｙ−θテーブ
ルの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ−Ｙ−θテーブルは、ベース上
にＸテーブル、Ｙテーブル、θテーブル、又はベース上
にＹテーブル、Ｘテーブル、θテーブルの順にテーブル
を重ね、各テーブルをそれぞれ専用のアクチュエータ
（モータ等）が駆動する構造であった。
にＸテーブル、Ｙテーブル、θテーブル、又はベース上
にＹテーブル、Ｘテーブル、θテーブルの順にテーブル
を重ね、各テーブルをそれぞれ専用のアクチュエータ
（モータ等）が駆動する構造であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
三つのアクチュエータを備えたＸ−Ｙ−θテーブルはコ
ストが高い、外寸が大きいためにこれを組み込んだ装置
が大型化する、等の問題があった。
三つのアクチュエータを備えたＸ−Ｙ−θテーブルはコ
ストが高い、外寸が大きいためにこれを組み込んだ装置
が大型化する、等の問題があった。
【０００４】本発明は、このような問題を解決して、コ
ストが低く且つ外寸の小さいＸ−Ｙ−θテーブルを提供
することを目的とする。
ストが低く且つ外寸の小さいＸ−Ｙ−θテーブルを提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的は本発明によれ
ば、ベースと、該ベース上をＸ軸若しくはＹ軸方向に移
動自在の第一のテーブルと、該第一のテーブル上を該第
一のテーブルの移動方向と直交する方向に移動自在の第
二のテーブルと、該第二のテーブル上で回転自在のθテ
ーブルと、該第一のテーブルを直線運動させる第一の直
動手段と、該第二のテーブルを直線運動させる第二の直
動手段と、該第一のテーブル及び該第二のテーブルの直
線運動をθテーブルの回転運動に変換する変換機構とを
有し、該第一の直動手段または該第二の直動手段のいず
れか一方が該変換機構を介して該θテーブルを回転運動
させることを特徴とするＸ−Ｙ−θテーブルとすること
で、達成される。
ば、ベースと、該ベース上をＸ軸若しくはＹ軸方向に移
動自在の第一のテーブルと、該第一のテーブル上を該第
一のテーブルの移動方向と直交する方向に移動自在の第
二のテーブルと、該第二のテーブル上で回転自在のθテ
ーブルと、該第一のテーブルを直線運動させる第一の直
動手段と、該第二のテーブルを直線運動させる第二の直
動手段と、該第一のテーブル及び該第二のテーブルの直
線運動をθテーブルの回転運動に変換する変換機構とを
有し、該第一の直動手段または該第二の直動手段のいず
れか一方が該変換機構を介して該θテーブルを回転運動
させることを特徴とするＸ−Ｙ−θテーブルとすること
で、達成される。
【０００６】即ち、このＸ−Ｙ−θテーブルにはθテー
ブル専用のアクチュエータがなく、Ｘテーブル用のアク
チュエータによるＸテーブルの直線運動及びＹテーブル
用のアクチュエータによるＹテーブルの直線運動を、構
造が簡単な変換手段でθテーブルの回転運動に変換する
ことが出来るから、コストが低くなるとともに、外寸も
小さくなる。
ブル専用のアクチュエータがなく、Ｘテーブル用のアク
チュエータによるＸテーブルの直線運動及びＹテーブル
用のアクチュエータによるＹテーブルの直線運動を、構
造が簡単な変換手段でθテーブルの回転運動に変換する
ことが出来るから、コストが低くなるとともに、外寸も
小さくなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図を参照し
ながら説明する。ここに示すＸ−Ｙ−θテーブルの例
は、トレー等の容器に収納されたＬＳＩ等の電子部品を
バーンインボードのソケットに順次挿入する（又はソケ
ットから順次抜き取って容器に収納する、若しくは挿入
と抜取りの両方を行う）装置に組み込むものである。
ながら説明する。ここに示すＸ−Ｙ−θテーブルの例
は、トレー等の容器に収納されたＬＳＩ等の電子部品を
バーンインボードのソケットに順次挿入する（又はソケ
ットから順次抜き取って容器に収納する、若しくは挿入
と抜取りの両方を行う）装置に組み込むものである。
【０００８】このバーンインボードのソケットはマトリ
ックス状に配置されているから、バーンインボードを一
定のピッチでＸ方向及びＹ方向に移動させて常に同じ位
置で電子部品を挿入する（又は抜き取る）が、容器に収
納された電子部品の向きとソケットの向きとが＋９０°
又は−９０°ずれている場合には、予めバーンインボー
ドを回転してこれらの向き揃えておく必要があるから、
バーンインボードの載物台としてはＸ−Ｙ−θテーブル
が使用されている。
ックス状に配置されているから、バーンインボードを一
定のピッチでＸ方向及びＹ方向に移動させて常に同じ位
置で電子部品を挿入する（又は抜き取る）が、容器に収
納された電子部品の向きとソケットの向きとが＋９０°
又は−９０°ずれている場合には、予めバーンインボー
ドを回転してこれらの向き揃えておく必要があるから、
バーンインボードの載物台としてはＸ−Ｙ−θテーブル
が使用されている。
【０００９】図１は本発明のＸ−Ｙ−θテーブルを示す
平面図（その１）であり、同図（Ａ）はθテーブル回転
前の基準状態、（Ｂ）はＸテーブル移動によるθテーブ
ル回転を完了した状態をそれぞれ示している。同図にお
いて、１はベース、２はＹテーブル（第一のテーブ
ル）、３はＸテーブル（第二のテーブル）、４はθテー
ブル、２１はＹ軸ガイドレール、３１はＸ軸ガイドレー
ル、２２及び３２はモータ、２３及び３３は送り機構、
４１は昇降軸、４２は係合受けである。
平面図（その１）であり、同図（Ａ）はθテーブル回転
前の基準状態、（Ｂ）はＸテーブル移動によるθテーブ
ル回転を完了した状態をそれぞれ示している。同図にお
いて、１はベース、２はＹテーブル（第一のテーブ
ル）、３はＸテーブル（第二のテーブル）、４はθテー
ブル、２１はＹ軸ガイドレール、３１はＸ軸ガイドレー
ル、２２及び３２はモータ、２３及び３３は送り機構、
４１は昇降軸、４２は係合受けである。
【００１０】送り機構２３及び３３はモータ２２又は３
２に直結したボールねじとＹテーブル２又はＸテーブル
３に固着されたナットからなる。このモータ２２と送り
機構２３が第一の直動手段を構成し、モータ３２と送り
機構３３が第二の直動手段を構成している。
２に直結したボールねじとＹテーブル２又はＸテーブル
３に固着されたナットからなる。このモータ２２と送り
機構２３が第一の直動手段を構成し、モータ３２と送り
機構３３が第二の直動手段を構成している。
【００１１】Ｙテーブル２はベース１上に搭載され、第
一の直動手段によってベース１上に固着されたＹ軸ガイ
ドレール２１にガイドされてＹ軸方向に移動する。Ｘテ
ーブル３はＹテーブル２上に搭載され、第二の直動手段
によってＹテーブル２上に固着されたＸ軸ガイドレール
３１にガイドされてＸ軸方向に移動する。θテーブル４
は軸受け（詳細は後述）を介してＸテーブル３上に搭載
され、図のＰ点を回転中心としてＸテーブル３上で回転
することが出来る。
一の直動手段によってベース１上に固着されたＹ軸ガイ
ドレール２１にガイドされてＹ軸方向に移動する。Ｘテ
ーブル３はＹテーブル２上に搭載され、第二の直動手段
によってＹテーブル２上に固着されたＸ軸ガイドレール
３１にガイドされてＸ軸方向に移動する。θテーブル４
は軸受け（詳細は後述）を介してＸテーブル３上に搭載
され、図のＰ点を回転中心としてＸテーブル３上で回転
することが出来る。
【００１２】昇降軸４１と係合受け４２がＸテーブル３
及びＹテーブル２の直線運動をθテーブル４の回転運動
に変換する変換機構を構成している。図２は本発明の変
換機構を示す側面図である。同図（Ａ）は開放状態、
（Ｂ）は係合状態をそれぞれ示している。同図におい
て、図１と同じものには同一の符号を付与した。
及びＹテーブル２の直線運動をθテーブル４の回転運動
に変換する変換機構を構成している。図２は本発明の変
換機構を示す側面図である。同図（Ａ）は開放状態、
（Ｂ）は係合状態をそれぞれ示している。同図におい
て、図１と同じものには同一の符号を付与した。
【００１３】昇降軸４１はベース１に支持されて直立
し、エアシリンダ等により昇降（若しくは伸縮）する。
係合受け４２はθテーブル４の回転中心Ｐから十分に離
れた位置のθテーブル４下面側に固着されており、昇降
軸４１先端の係合部４１ａの外径に合致した幅（滑らか
に挿入可能な幅）の溝４２ａを有している。従って逆凹
字形断面をなしている。この溝４２ａはその幅の中心線
（図のＬ）の延長上に回転中心Ｐが来るような方向に延
在している。尚、このような係合受け４２に代えて、溝
４２ａに相当する長溝孔をθテーブル４下面側に設けて
もよい。
し、エアシリンダ等により昇降（若しくは伸縮）する。
係合受け４２はθテーブル４の回転中心Ｐから十分に離
れた位置のθテーブル４下面側に固着されており、昇降
軸４１先端の係合部４１ａの外径に合致した幅（滑らか
に挿入可能な幅）の溝４２ａを有している。従って逆凹
字形断面をなしている。この溝４２ａはその幅の中心線
（図のＬ）の延長上に回転中心Ｐが来るような方向に延
在している。尚、このような係合受け４２に代えて、溝
４２ａに相当する長溝孔をθテーブル４下面側に設けて
もよい。
【００１４】このＸ−Ｙ−θテーブルではＸテーブル３
とＹテーブル２のいずれを移動してもθテーブル４を回
転させることが出来るが、最初に、Ｘテーブル３の移動
によりθテーブル４を９０°回転させる場合について説
明する。先ず、変換機構は図２（Ａ）に示した開放状
態、各テーブルは図１（Ａ）に示した基準状態とする。
この基準状態では溝４２ａの中心線がＸテーブル３を移
動させる方向に対して時計方向に４５°の角度をなして
おり、昇降軸４１は溝４２ａの直下にある。
とＹテーブル２のいずれを移動してもθテーブル４を回
転させることが出来るが、最初に、Ｘテーブル３の移動
によりθテーブル４を９０°回転させる場合について説
明する。先ず、変換機構は図２（Ａ）に示した開放状
態、各テーブルは図１（Ａ）に示した基準状態とする。
この基準状態では溝４２ａの中心線がＸテーブル３を移
動させる方向に対して時計方向に４５°の角度をなして
おり、昇降軸４１は溝４２ａの直下にある。
【００１５】次に昇降軸４１を上昇させてその係合部４
１ａを係合受け４２の溝４２ａに挿入する（即ち、図２
（Ｂ）の状態）。この状態でＸテーブル３をＸ軸に沿っ
て移動させるとθテーブル４は時計方向に回転を始め
る。Ｘテーブル３の移動距離が√２・Ｒとなればθテー
ブル４の回転は９０°となり、回転が完了する（即ち、
図１（Ｂ）の状態）。ここでＲは基準状態におけるθテ
ーブル４の回転中心Ｐと昇降軸４１の中心との距離であ
る。尚、基準状態における溝４２ａ中心線のＸテーブル
３移動方向に対する角度が反時計方向に４５°であって
もよい。但し、その場合にはθテーブル４の回転も反時
計方向となる。
１ａを係合受け４２の溝４２ａに挿入する（即ち、図２
（Ｂ）の状態）。この状態でＸテーブル３をＸ軸に沿っ
て移動させるとθテーブル４は時計方向に回転を始め
る。Ｘテーブル３の移動距離が√２・Ｒとなればθテー
ブル４の回転は９０°となり、回転が完了する（即ち、
図１（Ｂ）の状態）。ここでＲは基準状態におけるθテ
ーブル４の回転中心Ｐと昇降軸４１の中心との距離であ
る。尚、基準状態における溝４２ａ中心線のＸテーブル
３移動方向に対する角度が反時計方向に４５°であって
もよい。但し、その場合にはθテーブル４の回転も反時
計方向となる。
【００１６】次に、図３により、Ｙテーブル２の移動に
よりθテーブル４を９０°回転させる場合について説明
する。図３は本発明のＸ−Ｙ−θテーブルを示す平面図
（その２）であり、同図（Ａ）はθテーブル回転前の基
準状態、（Ｂ）はＹテーブル移動によるθテーブル回転
を完了した状態をそれぞれ示している。同図において、
符号は総て図１と同じであり、又、同図（Ａ）と図１
（Ａ）とは実質的には全く同一である。
よりθテーブル４を９０°回転させる場合について説明
する。図３は本発明のＸ−Ｙ−θテーブルを示す平面図
（その２）であり、同図（Ａ）はθテーブル回転前の基
準状態、（Ｂ）はＹテーブル移動によるθテーブル回転
を完了した状態をそれぞれ示している。同図において、
符号は総て図１と同じであり、又、同図（Ａ）と図１
（Ａ）とは実質的には全く同一である。
【００１７】先ず、変換機構は図２（Ａ）に示した開放
状態、各テーブルは図３（Ａ）に示した基準状態とす
る。この基準状態では溝４２ａの中心線ＬがＹテーブル
３を移動させる方向に対して反時計方向に４５°の角度
をなしており、昇降軸４１は溝４２ａの直下にある。
状態、各テーブルは図３（Ａ）に示した基準状態とす
る。この基準状態では溝４２ａの中心線ＬがＹテーブル
３を移動させる方向に対して反時計方向に４５°の角度
をなしており、昇降軸４１は溝４２ａの直下にある。
【００１８】次に昇降軸４１を上昇させてその係合部４
１ａを係合受け４２の溝４２ａに挿入する（即ち、図２
（Ｂ）の状態）。この状態でＹテーブル２をＹ軸に沿っ
て移動させるとθテーブル４は反時計方向に回転を始め
る。Ｙテーブル２の移動距離が√２・Ｒとなればθテー
ブル４の回転は９０°となり、回転が完了する（即ち、
図３（Ｂ）の状態）。尚、基準状態における溝４２ａ中
心線のＹテーブル２移動方向に対する角度が時計方向に
４５°であってもよい。但し、その場合にはθテーブル
４の回転も時計方向となる。
１ａを係合受け４２の溝４２ａに挿入する（即ち、図２
（Ｂ）の状態）。この状態でＹテーブル２をＹ軸に沿っ
て移動させるとθテーブル４は反時計方向に回転を始め
る。Ｙテーブル２の移動距離が√２・Ｒとなればθテー
ブル４の回転は９０°となり、回転が完了する（即ち、
図３（Ｂ）の状態）。尚、基準状態における溝４２ａ中
心線のＹテーブル２移動方向に対する角度が時計方向に
４５°であってもよい。但し、その場合にはθテーブル
４の回転も時計方向となる。
【００１９】図４は本発明のＸ−Ｙ−θテーブルのベア
リング部の一部を示す側断面図である。同図において、
４３はベアリング、３４及び４４はベアリングハウジン
グである。ベアリングハウジング４３としてはアキシア
ル荷重を支えることが出来るラジアルころ軸受けが使用
されており、その外輪がベアリングハウジング３４を介
してＸテーブル３に、その内輪がベアリングハウジング
４４を介してθテーブル４に、それぞれ固定されてい
る。
リング部の一部を示す側断面図である。同図において、
４３はベアリング、３４及び４４はベアリングハウジン
グである。ベアリングハウジング４３としてはアキシア
ル荷重を支えることが出来るラジアルころ軸受けが使用
されており、その外輪がベアリングハウジング３４を介
してＸテーブル３に、その内輪がベアリングハウジング
４４を介してθテーブル４に、それぞれ固定されてい
る。
【００２０】次に、θテーブル４をＸテーブル３にロッ
クする機構を図５及び図６を参照しながら説明する。図
５は本発明のθテーブルロック機構を示す側断面図であ
り、同図（Ａ）は開放状態、（Ｂ）はロック状態をそれ
ぞれ示している。又、図６は本発明のθテーブルロック
機構の受け駒を示す図であり、同図（Ａ）は斜視図、
（Ｂ）は平面配置図である。両図において、３５は受け
駒、４５はＬ形固定子、４６はローラ付き押圧子、４７
は支持部材、４８はピン、４９はアクチュエータであ
り、図１と同じものには同一の符号を付与した。
クする機構を図５及び図６を参照しながら説明する。図
５は本発明のθテーブルロック機構を示す側断面図であ
り、同図（Ａ）は開放状態、（Ｂ）はロック状態をそれ
ぞれ示している。又、図６は本発明のθテーブルロック
機構の受け駒を示す図であり、同図（Ａ）は斜視図、
（Ｂ）は平面配置図である。両図において、３５は受け
駒、４５はＬ形固定子、４６はローラ付き押圧子、４７
は支持部材、４８はピン、４９はアクチュエータであ
り、図１と同じものには同一の符号を付与した。
【００２１】受け駒３５は直方体の一立面を傾斜させた
形状をしており（斜面が３５ａ）、これが正方形のＸテ
ーブル３の四隅に各一個、その各辺がＸテーブル３の各
辺と平行となり、斜面３５ａを外に向け、且つ隣接する
受け駒３５の斜面３５ａとは順次９０°異なる方向とな
るように、固着されている。一方、θテーブル４側には
先端がＬ形をなすＬ形固定子４５と先端にローラが付い
た押圧子４６とがそれぞれピン４８を介して支持部材４
７に支持され、それぞれエアシリンダ等のアクチュエー
タ４９により上下に回動する。
形状をしており（斜面が３５ａ）、これが正方形のＸテ
ーブル３の四隅に各一個、その各辺がＸテーブル３の各
辺と平行となり、斜面３５ａを外に向け、且つ隣接する
受け駒３５の斜面３５ａとは順次９０°異なる方向とな
るように、固着されている。一方、θテーブル４側には
先端がＬ形をなすＬ形固定子４５と先端にローラが付い
た押圧子４６とがそれぞれピン４８を介して支持部材４
７に支持され、それぞれエアシリンダ等のアクチュエー
タ４９により上下に回動する。
【００２２】このＬ形固定子４５の先端を下降させると
そのコーナー部が一つの受け駒３５の外側垂直面と係合
する。更に押圧子４６の先端を下降させると隣の受け駒
３５の斜面３５ａをローラが押圧してＬ形固定子４５の
コーナー部が受け駒３５に密着し、θテーブル４のＸテ
ーブル３に対する回転位置ずれを補正すると共に、両者
がロック状態となる。Ｌ形固定子４５と押圧子４６の先
端を上昇させるとロックは開放され、θテーブル４の回
転が可能となる。尚、このＸ−Ｙ−θテーブルにおいて
は、θテーブル４の回転時にのみこのロック機構を開放
し、通常はロック状態としておく。
そのコーナー部が一つの受け駒３５の外側垂直面と係合
する。更に押圧子４６の先端を下降させると隣の受け駒
３５の斜面３５ａをローラが押圧してＬ形固定子４５の
コーナー部が受け駒３５に密着し、θテーブル４のＸテ
ーブル３に対する回転位置ずれを補正すると共に、両者
がロック状態となる。Ｌ形固定子４５と押圧子４６の先
端を上昇させるとロックは開放され、θテーブル４の回
転が可能となる。尚、このＸ−Ｙ−θテーブルにおいて
は、θテーブル４の回転時にのみこのロック機構を開放
し、通常はロック状態としておく。
【００２３】本発明は以上の実施形態に限定されること
なく、更に種々変形して実施することが出来る。例え
ば、ベース１上にＸテーブル３を、その上にＹテーブル
２を搭載し、Ｙテーブル２上でθテーブル４が回転する
構成であってもよく、又、基準状態における回転中心Ｒ
と昇降軸４１とを結ぶ線とＸテーブル３又はＹテーブル
２を移動させる方向との角度が４５°以外であっても、
本発明は有効である。
なく、更に種々変形して実施することが出来る。例え
ば、ベース１上にＸテーブル３を、その上にＹテーブル
２を搭載し、Ｙテーブル２上でθテーブル４が回転する
構成であってもよく、又、基準状態における回転中心Ｒ
と昇降軸４１とを結ぶ線とＸテーブル３又はＹテーブル
２を移動させる方向との角度が４５°以外であっても、
本発明は有効である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コストが低く且つ外寸の小さいＸ−Ｙ−θテーブルを提
供することが出来る。
コストが低く且つ外寸の小さいＸ−Ｙ−θテーブルを提
供することが出来る。
【図１】 本発明のＸ−Ｙ−θテーブルを示す平面図
（その１）である。
（その１）である。
【図２】 本発明の変換機構を示す側面図である。
【図３】 本発明のＸ−Ｙ−θテーブルを示す平面図
（その２）である。
（その２）である。
【図４】 本発明のＸ−Ｙ−θテーブルのベアリング部
の一部を示す側断面図である。
の一部を示す側断面図である。
【図５】 本発明のθテーブルロック機構を示す側断面
図である。
図である。
【図６】 本発明のθテーブルロック機構の受け駒を示
す図である。
す図である。
１ ベース ２ Ｙテーブル（第一のテーブル） ３ Ｘテーブル（第二のテーブル） ４ θテーブル ２１ Ｙ軸ガイドレール ３１ Ｘ軸ガイドレール ２２，３２ モータ ２３，３３ 送り機構 ３４，４４ ベアリングハウジング ３５ 受け駒 ４１ 昇降軸 ４１ａ 係合部 ４２ 係合受け ４２ａ 溝 ４３ ベアリング ４５ Ｌ形固定子 ４６ 押圧子 ４７ 支持部材 ４８ ピン ４９ アクチュエータ Ｐ 回転中心 Ｌ 中心線
Claims (4)
- 【請求項１】 ベースと、該ベース上をＸ軸若しくはＹ
軸方向に移動自在の第一のテーブルと、該第一のテーブ
ル上をＸ軸とＹ軸方向のうち該第一のテーブルの移動方
向とは異なる方向に移動自在の第二のテーブルと、該第
二のテーブル上で回転自在のθテーブルと、該第一のテ
ーブルを直線運動させる第一の直動手段と、該第二のテ
ーブルを直線運動させる第二の直動手段と、該第一のテ
ーブル及び該第二のテーブルの直線運動をθテーブルの
回転運動に変換する変換機構とを有し、 該第一の直動手段または該第二の直動手段のいずれか一
方が該変換機構を介して該θテーブルを回転運動させる
ように構成してなることを特徴とするＸ−Ｙ−θテーブ
ル。 - 【請求項２】 前記変換機構は、前記θテーブルの下面
側に該θテーブルの前記第二のテーブルに対する回転中
心から離隔した位置に設けた係合受けと、前記ベースに
支持されて昇降自在の昇降軸とを有し、 該昇降軸を上昇させて該昇降軸を該係合受けに係合させ
た状態で前記第一のテーブル若しくは前記第二のテーブ
ルを直線運動させることにより該θテーブルを回転させ
るものであることを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙ−
θテーブル。 - 【請求項３】 前記係合受けは前記昇降軸の先端部が滑
らかに挿入可能な幅の溝若しくは長孔を備えており、且
つ該溝若しくは長孔の幅の中心線の延長上に前記θテー
ブルの回転中心があるように配置されていることを特徴
とする請求項２記載のＸ−Ｙ−θテーブル。 - 【請求項４】 前記Ｘテーブル上には正方形の四隅とな
る位置に、それぞれ直方体の一立面を傾斜させた形状の
受け駒を有し、前記θテーブルの下面側には共に上下に
回動自在のＬ形固定子と押圧子とを有し、 該Ｌ形固定子及び該押圧子の各先端部下降時に、該Ｌ形
固定子先端部内面が一受け駒垂直面に当接若しくは接近
し、該押圧子先端部が該垂直面に対向する位置にある受
け駒斜面を押圧することにより、該Ｌ形固定子先端部内
面が該受け駒垂直面に密着して該θテーブルの該Ｘテー
ブルに対する回転位置ずれを補正すると同時に該θテー
ブルと該Ｘテーブルとをロック状態とするものであるこ
とを特徴とする請求項１記載のＸ−Ｙ−θテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26400095A JPH09108968A (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | Ｘ−Ｙ−θテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26400095A JPH09108968A (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | Ｘ−Ｙ−θテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09108968A true JPH09108968A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17397160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26400095A Withdrawn JPH09108968A (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | Ｘ−Ｙ−θテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09108968A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102477426B1 (ko) * | 2022-08-30 | 2022-12-14 | 에이치비솔루션㈜ | 공기 부상 글라스 회전장치 |
-
1995
- 1995-10-12 JP JP26400095A patent/JPH09108968A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102477426B1 (ko) * | 2022-08-30 | 2022-12-14 | 에이치비솔루션㈜ | 공기 부상 글라스 회전장치 |
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