JPH09108876A - レーザ切断方法とその装置 - Google Patents
レーザ切断方法とその装置Info
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- JPH09108876A JPH09108876A JP7270858A JP27085895A JPH09108876A JP H09108876 A JPH09108876 A JP H09108876A JP 7270858 A JP7270858 A JP 7270858A JP 27085895 A JP27085895 A JP 27085895A JP H09108876 A JPH09108876 A JP H09108876A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 切断面のギザギザと、レーザ切断する際の溶
融物による小さな球形の塊の付着とがなく、金属薄板を
安定して切断できるレーザ切断方法の提供。 【構成】 連続発振レーザビーム１５の集光ユニット６
の光軸と距離測定器１７の測定方向とを平行に配置し、
被切断薄板１を距離測定器１７の測定方向に対して垂直
にＸＹテーブル８、８ａ上に保持し、ＸＹテーブル８、
８ａを動作させて被切断薄板１上の少なくとも３箇所以
上の点と距離測定器１７との間の垂直距離を測定し、前
記垂直距離が総て許容誤差範囲内にある場合にはそのま
まで、前記垂直距離に許容誤差範囲を越えるものがある
場合には、前記垂直距離が総て許容誤差範囲内に入るよ
うに前記被切断薄板１の姿勢をＸＹテーブル８、８ａ上
で修正してから、連続発振レーザビーム１５で被切断薄
板１を切断する。
融物による小さな球形の塊の付着とがなく、金属薄板を
安定して切断できるレーザ切断方法の提供。 【構成】 連続発振レーザビーム１５の集光ユニット６
の光軸と距離測定器１７の測定方向とを平行に配置し、
被切断薄板１を距離測定器１７の測定方向に対して垂直
にＸＹテーブル８、８ａ上に保持し、ＸＹテーブル８、
８ａを動作させて被切断薄板１上の少なくとも３箇所以
上の点と距離測定器１７との間の垂直距離を測定し、前
記垂直距離が総て許容誤差範囲内にある場合にはそのま
まで、前記垂直距離に許容誤差範囲を越えるものがある
場合には、前記垂直距離が総て許容誤差範囲内に入るよ
うに前記被切断薄板１の姿勢をＸＹテーブル８、８ａ上
で修正してから、連続発振レーザビーム１５で被切断薄
板１を切断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属薄板を切断するレ
ーザ切断方法とその装置に関するものである。
ーザ切断方法とその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来例のレーザ切断方法を使用するレー
ザ切断装置の構成と動作とを図７に基づいて説明する。
ザ切断装置の構成と動作とを図７に基づいて説明する。
【０００３】図７において、１はレーザ切断すべき金属
薄板で、方形フレーム３の軸方向に垂直な断面に接合さ
れている。
薄板で、方形フレーム３の軸方向に垂直な断面に接合さ
れている。
【０００４】４はレーザを間欠的にパルス発振するパル
スレーザ発振器、５は前記の発振されたレーザを伝送す
る光ファイバー、６はレーザを集光する集光ユニット、
７はパルスレーザビーム、１３はパルスレーザビーム７
の焦点である。従来例でパルスレーザビーム７を使用す
る理由は、レーザを間欠的にパルス発振する処理によ
り、レーザのエネルギが時間的に集中し単位時間当たり
のエネルギが大きくなるからである。
スレーザ発振器、５は前記の発振されたレーザを伝送す
る光ファイバー、６はレーザを集光する集光ユニット、
７はパルスレーザビーム、１３はパルスレーザビーム７
の焦点である。従来例でパルスレーザビーム７を使用す
る理由は、レーザを間欠的にパルス発振する処理によ
り、レーザのエネルギが時間的に集中し単位時間当たり
のエネルギが大きくなるからである。
【０００５】８は前記フレーム３に接合されている金属
薄板１を位置決めしながら水平方向に移動させるＸＹテ
ーブル、１４はＸＹテーブル８を制御する制御部であ
る。
薄板１を位置決めしながら水平方向に移動させるＸＹテ
ーブル、１４はＸＹテーブル８を制御する制御部であ
る。
【０００６】以下に、前記金属薄板１を前記方形フレー
ム３の外周に沿ってレーザ切断する動作を図７、図８に
基づいて説明する。
ム３の外周に沿ってレーザ切断する動作を図７、図８に
基づいて説明する。
【０００７】図７において、先ず、金属薄板１が接合さ
れている方形フレーム３をＸＹテーブル８に取り付け
る。制御部１４の制御によりＸＹテーブル８を動作させ
て、パルスレーザビーム７の焦点１３が前記方形フレー
ム３の外周から所定距離はなれた位置にくるように位置
決めし、パルスレーザ発振器４を発振させると共に、前
記焦点１３が前記フレーム３の外周から所定距離はなれ
た位置を移動するように前記ＸＹテーブル８を動作さ
せ、前記フレーム３の外周に沿って、前記金属薄板１を
図８に示すようにレーザ切断する。
れている方形フレーム３をＸＹテーブル８に取り付け
る。制御部１４の制御によりＸＹテーブル８を動作させ
て、パルスレーザビーム７の焦点１３が前記方形フレー
ム３の外周から所定距離はなれた位置にくるように位置
決めし、パルスレーザ発振器４を発振させると共に、前
記焦点１３が前記フレーム３の外周から所定距離はなれ
た位置を移動するように前記ＸＹテーブル８を動作さ
せ、前記フレーム３の外周に沿って、前記金属薄板１を
図８に示すようにレーザ切断する。
【０００８】この場合、図９に示すように、方形フレー
ム３を介してＸＹテーブル８に取り付けられた金属薄板
１は、パルスレーザビーム７の方向に対して、ＸＹテー
ブル８等の精度の範囲内で水平方向から少し傾くことが
ある。しかし、上述のように単位時間当たりのエネルギ
が大きなパルスレーザビームを使用しているので、金属
薄板１を切断できる焦点深度範囲が比較的に大きく、金
属薄板１の位置決めに対するＸＹテーブル８に通常の精
度があれば実用上の支障は無い。従って、従来例では、
特に、金属薄板１の姿勢修正を行っていない。
ム３を介してＸＹテーブル８に取り付けられた金属薄板
１は、パルスレーザビーム７の方向に対して、ＸＹテー
ブル８等の精度の範囲内で水平方向から少し傾くことが
ある。しかし、上述のように単位時間当たりのエネルギ
が大きなパルスレーザビームを使用しているので、金属
薄板１を切断できる焦点深度範囲が比較的に大きく、金
属薄板１の位置決めに対するＸＹテーブル８に通常の精
度があれば実用上の支障は無い。従って、従来例では、
特に、金属薄板１の姿勢修正を行っていない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
の構成では、前述のように、エネルギを大きくするため
にパルスレーザビームを使用しているので、図８に示す
ように、金属薄板１の切断面がギザギザになるという問
題点がある。更に、図８の一部拡大図に示すように、金
属薄板１をレーザ切断する際の溶融物が固まった小さな
球形の塊９がギザギザの先端部１０に付着する。これら
の小さな球形の塊９が、後に、前記のギザギザの先端部
１０から外れてゴミになるという問題点がある。
の構成では、前述のように、エネルギを大きくするため
にパルスレーザビームを使用しているので、図８に示す
ように、金属薄板１の切断面がギザギザになるという問
題点がある。更に、図８の一部拡大図に示すように、金
属薄板１をレーザ切断する際の溶融物が固まった小さな
球形の塊９がギザギザの先端部１０に付着する。これら
の小さな球形の塊９が、後に、前記のギザギザの先端部
１０から外れてゴミになるという問題点がある。
【００１０】本発明は、上記の問題点を解決し、切断面
のギザギザと、レーザ切断する際の溶融物が固まった小
さな球形の塊の付着とがなく、金属薄板を安定して切断
できるレーザ切断方法とその装置の提供を課題とする。
のギザギザと、レーザ切断する際の溶融物が固まった小
さな球形の塊の付着とがなく、金属薄板を安定して切断
できるレーザ切断方法とその装置の提供を課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本願第１発明のレーザ切
断方法は、上記の課題を解決するために、連続発振レー
ザビームの集光ユニットの光軸と距離測定器の測定方向
とを平行に配置し、被切断薄板を前記距離測定器の測定
方向に対して垂直にＸＹテーブル上に保持し、前記ＸＹ
テーブルを動作させて前記被切断薄板上の少なくとも３
箇所以上の点と前記距離測定器との間の垂直距離を測定
し、前記垂直距離が総て許容誤差範囲内にある場合には
そのままで、前記垂直距離に許容誤差範囲を越えるもの
がある場合には、前記垂直距離が総て許容誤差範囲内に
入るように前記被切断薄板の姿勢をＸＹテーブル上で修
正してから、前記連続発振レーザビームで前記被切断薄
板を切断することを特徴とする。
断方法は、上記の課題を解決するために、連続発振レー
ザビームの集光ユニットの光軸と距離測定器の測定方向
とを平行に配置し、被切断薄板を前記距離測定器の測定
方向に対して垂直にＸＹテーブル上に保持し、前記ＸＹ
テーブルを動作させて前記被切断薄板上の少なくとも３
箇所以上の点と前記距離測定器との間の垂直距離を測定
し、前記垂直距離が総て許容誤差範囲内にある場合には
そのままで、前記垂直距離に許容誤差範囲を越えるもの
がある場合には、前記垂直距離が総て許容誤差範囲内に
入るように前記被切断薄板の姿勢をＸＹテーブル上で修
正してから、前記連続発振レーザビームで前記被切断薄
板を切断することを特徴とする。
【００１２】本願第２発明のレーザ切断装置は、上記の
課題を解決するために、被切断薄板を切断する連続発振
レーザビームを発振するレーザ発振器と、前記連続発振
レーザビームを前記被切断薄板上に集光する集光ユニッ
トと、前記集光ユニットの光軸方向に平行な測定方向を
有する距離測定器と、前記距離測定器の測定方向に対し
て前記被切断薄板を垂直に保持するＸＹテーブルと、前
記ＸＹテーブルを動作させて前記被切断薄板上の少なく
とも３箇所以上の点と前記距離測定器との間の垂直距離
を測定する距離測定制御手段と、前記の測定された垂直
距離に基づいて前記被切断薄板が前記光軸に垂直か否か
を判断する薄板姿勢判断手段と、前記ＸＹテーブルに設
けられ前記薄板姿勢判断手段の判断に基づいて前記被切
断薄板が前記光軸に垂直になるように前記被切断薄板の
姿勢を修正する薄板姿勢修正手段とを有することを特徴
とする。
課題を解決するために、被切断薄板を切断する連続発振
レーザビームを発振するレーザ発振器と、前記連続発振
レーザビームを前記被切断薄板上に集光する集光ユニッ
トと、前記集光ユニットの光軸方向に平行な測定方向を
有する距離測定器と、前記距離測定器の測定方向に対し
て前記被切断薄板を垂直に保持するＸＹテーブルと、前
記ＸＹテーブルを動作させて前記被切断薄板上の少なく
とも３箇所以上の点と前記距離測定器との間の垂直距離
を測定する距離測定制御手段と、前記の測定された垂直
距離に基づいて前記被切断薄板が前記光軸に垂直か否か
を判断する薄板姿勢判断手段と、前記ＸＹテーブルに設
けられ前記薄板姿勢判断手段の判断に基づいて前記被切
断薄板が前記光軸に垂直になるように前記被切断薄板の
姿勢を修正する薄板姿勢修正手段とを有することを特徴
とする。
【００１３】
【作用】本願第１発明のレーザ切断方法と、本願第２発
明のレーザ切断装置とは、レーザ発振器が被切断薄板を
切断する連続発振レーザビームを発振し、集光ユニット
が前記連続発振レーザビームを前記被切断薄板上に集光
し、距離測定器が前記集光ユニットの光軸方向に平行な
測定方向を有し、ＸＹテーブルが前記距離測定器の測定
方向に対して前記被切断薄板を垂直に保持し、距離測定
制御手段が前記ＸＹテーブルを動作させて前記被切断薄
板上の少なくとも３箇所以上の点と前記距離測定器との
間の垂直距離を測定し、薄板姿勢判断手段が前記の測定
された垂直距離に基づいて前記被切断薄板が前記光軸に
垂直か否かを判断し、前記ＸＹテーブルに設けられた薄
板姿勢修正手段が前記薄板姿勢判断手段の判断に基づい
て前記被切断薄板が前記光軸に垂直になるように前記被
切断薄板の姿勢を修正してから、前記連続発振レーザビ
ームで前記被切断薄板を切断するので、前記連続発振レ
ーザビームが充分に集光されエネルギが一点に集中した
状態で前記被切断薄板に照射され、比較的にエネルギが
小さい連続発振レーザビームでも、前記被切断薄板を滑
らかに切断することができる。
明のレーザ切断装置とは、レーザ発振器が被切断薄板を
切断する連続発振レーザビームを発振し、集光ユニット
が前記連続発振レーザビームを前記被切断薄板上に集光
し、距離測定器が前記集光ユニットの光軸方向に平行な
測定方向を有し、ＸＹテーブルが前記距離測定器の測定
方向に対して前記被切断薄板を垂直に保持し、距離測定
制御手段が前記ＸＹテーブルを動作させて前記被切断薄
板上の少なくとも３箇所以上の点と前記距離測定器との
間の垂直距離を測定し、薄板姿勢判断手段が前記の測定
された垂直距離に基づいて前記被切断薄板が前記光軸に
垂直か否かを判断し、前記ＸＹテーブルに設けられた薄
板姿勢修正手段が前記薄板姿勢判断手段の判断に基づい
て前記被切断薄板が前記光軸に垂直になるように前記被
切断薄板の姿勢を修正してから、前記連続発振レーザビ
ームで前記被切断薄板を切断するので、前記連続発振レ
ーザビームが充分に集光されエネルギが一点に集中した
状態で前記被切断薄板に照射され、比較的にエネルギが
小さい連続発振レーザビームでも、前記被切断薄板を滑
らかに切断することができる。
【００１４】従って、金属薄板の切断時に発生する溶融
物が固まる場合に切断面全体に均一に付着し、従来例で
トラブルの原因になっている溶融物が固まって小さな塊
を発生させる現象が無くなる。
物が固まる場合に切断面全体に均一に付着し、従来例で
トラブルの原因になっている溶融物が固まって小さな塊
を発生させる現象が無くなる。
【００１５】
【実施例】本発明のレーザ切断方法を使用するレーザ切
断装置の実施例を図１〜図６に基づいて説明する。
断装置の実施例を図１〜図６に基づいて説明する。
【００１６】図１において、１はレーザ切断すべき金属
薄板で、方形フレーム３の軸方向に垂直な断面に接合さ
れている。
薄板で、方形フレーム３の軸方向に垂直な断面に接合さ
れている。
【００１７】１２はレーザを連続発振するレーザ発振
器、５は前記の発振されたレーザを伝送する光ファイバ
ー、６はレーザを集光する集光ユニット、１５は連続発
振レーザビーム、１６は連続発振レーザビーム１５の焦
点である。
器、５は前記の発振されたレーザを伝送する光ファイバ
ー、６はレーザを集光する集光ユニット、１５は連続発
振レーザビーム、１６は連続発振レーザビーム１５の焦
点である。
【００１８】１７は方形フレーム３の断面に接合されて
いる金属薄膜１を水平に位置決めするためのデータを得
る距離測定器で、本実施例では、三角法の原理を使用す
る光変位計を使用している。
いる金属薄膜１を水平に位置決めするためのデータを得
る距離測定器で、本実施例では、三角法の原理を使用す
る光変位計を使用している。
【００１９】８、８ａは前記フレーム３に接合されてい
る金属薄板１を位置決めしながら水平方向に移動させる
ＸＹテーブル、１４はＸＹテーブル８、８ａを制御する
制御部である。
る金属薄板１を位置決めしながら水平方向に移動させる
ＸＹテーブル、１４はＸＹテーブル８、８ａを制御する
制御部である。
【００２０】図１、図２において、８ｂは、前記金属薄
板１の姿勢を水平に修正する薄板姿勢修正手段である。
薄板姿勢修正手段８ｂは、ＸＹテーブル８、８ａの上面
から突き出ることによって、前記金属薄板１を水平に
し、集光ユニット６の光軸に垂直になるようにその姿勢
を修正する。本実施例では、薄板姿勢修正手段８ｂを４
箇所に設けている。
板１の姿勢を水平に修正する薄板姿勢修正手段である。
薄板姿勢修正手段８ｂは、ＸＹテーブル８、８ａの上面
から突き出ることによって、前記金属薄板１を水平に
し、集光ユニット６の光軸に垂直になるようにその姿勢
を修正する。本実施例では、薄板姿勢修正手段８ｂを４
箇所に設けている。
【００２１】本実施例の動作を図１〜図６に基づいて説
明する。
明する。
【００２２】図５のフローチャートのステップ＃１にお
いて、被切断薄板である金属薄板１をＸＹテーブル８、
８ａ上に保持し、距離測定器１７の下方を移動させ、図
２〜図４に示すようにして、４箇所の薄板姿勢修正手段
８ｂの位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄにおいて、前記金属薄板１と
前記距離測定器１７との垂直距離Ｌ1 、Ｌ2 、Ｌ3 、Ｌ
4 を測定する。
いて、被切断薄板である金属薄板１をＸＹテーブル８、
８ａ上に保持し、距離測定器１７の下方を移動させ、図
２〜図４に示すようにして、４箇所の薄板姿勢修正手段
８ｂの位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄにおいて、前記金属薄板１と
前記距離測定器１７との垂直距離Ｌ1 、Ｌ2 、Ｌ3 、Ｌ
4 を測定する。
【００２３】ステップ＃２において、金属薄板１が集光
ユニット６の光軸に垂直か否かを確かめ、垂直であれば
ステップ＃４に進み、垂直でなければステップ＃３に進
む。
ユニット６の光軸に垂直か否かを確かめ、垂直であれば
ステップ＃４に進み、垂直でなければステップ＃３に進
む。
【００２４】この場合、前記の垂直距離が、Ｌ1 ＝Ｌ2
＝Ｌ3 ＝Ｌ4 であれば垂直であり、Ｌ1 ≠Ｌ2 等であれ
ば垂直ではない。
＝Ｌ3 ＝Ｌ4 であれば垂直であり、Ｌ1 ≠Ｌ2 等であれ
ば垂直ではない。
【００２５】ステップ＃３において、図２に示すよう
に、薄板姿勢修正手段８ｂによって、Ｌ1 ＝Ｌ2 ＝Ｌ3
＝Ｌ4 となるように、金属薄板１の姿勢を修正し、ステ
ップ＃２に戻る。
に、薄板姿勢修正手段８ｂによって、Ｌ1 ＝Ｌ2 ＝Ｌ3
＝Ｌ4 となるように、金属薄板１の姿勢を修正し、ステ
ップ＃２に戻る。
【００２６】ステップ＃４において、ＸＹテーブル８、
８ａが動作して、金属薄板１を切断位置に位置決めす
る。
８ａが動作して、金属薄板１を切断位置に位置決めす
る。
【００２７】ステップ＃５において、レーザ発振器１２
を連続発振し、ＸＹテーブル８、８ａを移動させて、連
続発振レーザビーム１５の焦点１６が前記フレーム３の
外周から所定距離離れた位置を移動するように前記ＸＹ
テーブル８、８ａを動作させ、前記フレーム３の外周に
沿って、前記金属薄板１を図６に示すようにレーザ切断
する。
を連続発振し、ＸＹテーブル８、８ａを移動させて、連
続発振レーザビーム１５の焦点１６が前記フレーム３の
外周から所定距離離れた位置を移動するように前記ＸＹ
テーブル８、８ａを動作させ、前記フレーム３の外周に
沿って、前記金属薄板１を図６に示すようにレーザ切断
する。
【００２８】この場合、本発明では連続発振レーザビー
ム１５を使用しているので、従来例のパルス発振のパル
スレーザビームに比較して単位時間当たりのエネルギが
小さくなるが、本実施例のようにして焦点位置を修正す
ることにより、エネルギを一点に充分に集中させること
ができ、金属薄板１の切断が可能になる。
ム１５を使用しているので、従来例のパルス発振のパル
スレーザビームに比較して単位時間当たりのエネルギが
小さくなるが、本実施例のようにして焦点位置を修正す
ることにより、エネルギを一点に充分に集中させること
ができ、金属薄板１の切断が可能になる。
【００２９】尚、この場合、レーザビームの吸収率が小
さいアルミニウムや金の薄板は切断するのに時間がかか
るが、レーザビームの吸収率が大きい鉄の場合には、５
０〜１００Ｗクラスのレーザ発振器で、０．１ｍｍ厚さ
の金属薄板１を高速に切断することができる。鉄の場合
には、表面に酸化皮膜を形成させるとレーザビームの吸
収率がより大きくなる。
さいアルミニウムや金の薄板は切断するのに時間がかか
るが、レーザビームの吸収率が大きい鉄の場合には、５
０〜１００Ｗクラスのレーザ発振器で、０．１ｍｍ厚さ
の金属薄板１を高速に切断することができる。鉄の場合
には、表面に酸化皮膜を形成させるとレーザビームの吸
収率がより大きくなる。
【００３０】そして、連続レーザビームによる金属薄板
の切断面が滑らかであるので、前記金属薄板の切断時に
発生する溶融物が切断面全体に均一に付着し、従来例で
トラブルの原因になる溶融物が固まって小さな塊を発生
させる現象が無くなり、前記小さな塊によるゴミが発生
することも無くなる。
の切断面が滑らかであるので、前記金属薄板の切断時に
発生する溶融物が切断面全体に均一に付着し、従来例で
トラブルの原因になる溶融物が固まって小さな塊を発生
させる現象が無くなり、前記小さな塊によるゴミが発生
することも無くなる。
【００３１】本実施例では光ファイバーを使用したがミ
ラーの反射を使用しても良い。薄板姿勢修正手段の設計
は目的に合わせて自由に設計できる。又、本実施例で
は、薄板姿勢修正手段を４箇所に使用したが、平面を決
めるに必要最小限の３箇所でも良い。
ラーの反射を使用しても良い。薄板姿勢修正手段の設計
は目的に合わせて自由に設計できる。又、本実施例で
は、薄板姿勢修正手段を４箇所に使用したが、平面を決
めるに必要最小限の３箇所でも良い。
【００３２】
【発明の効果】本願第１発明のレーザ切断方法と、本願
第２発明のレーザ切断装置とは、被切断薄板が連続発振
レーザビームの集光ユニットの光軸に垂直になるように
前記被切断薄板の姿勢を修正してから前記被切断薄板を
切断するので、前記連続発振レーザビームが充分に集光
されエネルギが一点に集中した状態で前記被切断薄板に
照射され、比較的にエネルギが小さい連続発振レーザビ
ームでも、前記被切断薄板を滑らかに高速に切断するこ
とができるという効果を奏する。
第２発明のレーザ切断装置とは、被切断薄板が連続発振
レーザビームの集光ユニットの光軸に垂直になるように
前記被切断薄板の姿勢を修正してから前記被切断薄板を
切断するので、前記連続発振レーザビームが充分に集光
されエネルギが一点に集中した状態で前記被切断薄板に
照射され、比較的にエネルギが小さい連続発振レーザビ
ームでも、前記被切断薄板を滑らかに高速に切断するこ
とができるという効果を奏する。
【００３３】又、金属薄板の切断時に発生する溶融物が
切断面全体に均一に固まって付着するので、従来例でト
ラブルの原因になっている溶融物が固まって小さな塊を
発生させるというトラブルを解消する効果を奏する。
切断面全体に均一に固まって付着するので、従来例でト
ラブルの原因になっている溶融物が固まって小さな塊を
発生させるというトラブルを解消する効果を奏する。
【図１】本願第１発明のレーザ切断方法を使用する本願
第２発明のレーザ切断装置の実施例の構成を示す斜視図
である。
第２発明のレーザ切断装置の実施例の構成を示す斜視図
である。
【図２】本願第１発明のレーザ切断方法を使用する本願
第２発明のレーザ切断装置の実施例の要部を示す一部断
面側面図である。
第２発明のレーザ切断装置の実施例の要部を示す一部断
面側面図である。
【図３】本願第１発明のレーザ切断方法を使用する本願
第２発明のレーザ切断装置の実施例の動作を示す図であ
る。
第２発明のレーザ切断装置の実施例の動作を示す図であ
る。
【図４】本願第１発明のレーザ切断方法を使用する本願
第２発明のレーザ切断装置の実施例の動作を示す図であ
る。
第２発明のレーザ切断装置の実施例の動作を示す図であ
る。
【図５】本願第１発明のレーザ切断方法を使用する本願
第２発明のレーザ切断装置の実施例の動作を示すフロー
チャートである。
第２発明のレーザ切断装置の実施例の動作を示すフロー
チャートである。
【図６】本願第１発明のレーザ切断方法を使用する本願
第２発明のレーザ切断装置の実施例により切断された金
属薄板の一部拡大斜視図である。
第２発明のレーザ切断装置の実施例により切断された金
属薄板の一部拡大斜視図である。
【図７】従来例のレーザ切断方法を使用するレーザ切断
装置の構成を示す斜視図である。
装置の構成を示す斜視図である。
【図８】従来例のレーザ切断方法を使用するレーザ切断
装置により切断された金属薄板の一部拡大斜視図であ
る。
装置により切断された金属薄板の一部拡大斜視図であ
る。
【図９】従来例のレーザ切断方法を使用するレーザ切断
装置の動作を示す図である。
装置の動作を示す図である。
１ 金属薄板 ３ 方形フレーム ５ 光ファイバー ６ 集光ユニット ８、８ａ ＸＹテーブル ８ｂ 薄板姿勢修正手段 １２ レーザ発振器 １４ 制御部 １５ 連続発振レーザビーム １６ 焦点 １７ 距離測定器 １７ａ 距離測定制御手段、薄板姿勢判断手段
Claims (2)
- 【請求項１】 連続発振レーザビームの集光ユニットの
光軸と距離測定器の測定方向とを平行に配置し、被切断
薄板を前記距離測定器の測定方向に対して垂直にＸＹテ
ーブル上に保持し、前記ＸＹテーブルを動作させて前記
被切断薄板上の少なくとも３箇所以上の点と前記距離測
定器との間の垂直距離を測定し、前記垂直距離が総て許
容誤差範囲内にある場合にはそのままで、前記垂直距離
に許容誤差範囲を越えるものがある場合には、前記垂直
距離が総て許容誤差範囲内に入るように前記被切断薄板
の姿勢をＸＹテーブル上で修正してから、前記連続発振
レーザビームで前記被切断薄板を切断することを特徴と
するレーザ切断方法。 - 【請求項２】 被切断薄板を切断する連続発振レーザビ
ームを発振するレーザ発振器と、前記連続発振レーザビ
ームを前記被切断薄板上に集光する集光ユニットと、前
記集光ユニットの光軸方向に平行な測定方向を有する距
離測定器と、前記距離測定器の測定方向に対して前記被
切断薄板を垂直に保持するＸＹテーブルと、前記ＸＹテ
ーブルを動作させて前記被切断薄板上の少なくとも３箇
所以上の点と前記距離測定器との間の垂直距離を測定す
る距離測定制御手段と、前記の測定された垂直距離に基
づいて前記被切断薄板が前記光軸に垂直か否かを判断す
る薄板姿勢判断手段と、前記ＸＹテーブルに設けられ前
記薄板姿勢判断手段の判断に基づいて前記被切断薄板が
前記光軸に垂直になるように前記被切断薄板の姿勢を修
正する薄板姿勢修正手段とを有することを特徴とするレ
ーザ切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7270858A JPH09108876A (ja) | 1995-10-19 | 1995-10-19 | レーザ切断方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7270858A JPH09108876A (ja) | 1995-10-19 | 1995-10-19 | レーザ切断方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09108876A true JPH09108876A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17491962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7270858A Pending JPH09108876A (ja) | 1995-10-19 | 1995-10-19 | レーザ切断方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09108876A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007271350A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Fujifilm Corp | 平面表示型ディスプレイの基準平面設定方法及び視野角測定方法 |
| JP2012156048A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Fujikura Ltd | 酸化物超電導線材の製造方法及び酸化物超電導線材 |
| JP2012156047A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Fujikura Ltd | 酸化物超電導線材の製造方法及び酸化物超電導線材 |
| CN107138852A (zh) * | 2017-06-29 | 2017-09-08 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于激光焊接的激光头自动聚焦工件的方法 |
-
1995
- 1995-10-19 JP JP7270858A patent/JPH09108876A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007271350A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Fujifilm Corp | 平面表示型ディスプレイの基準平面設定方法及び視野角測定方法 |
| JP2012156048A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Fujikura Ltd | 酸化物超電導線材の製造方法及び酸化物超電導線材 |
| JP2012156047A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Fujikura Ltd | 酸化物超電導線材の製造方法及び酸化物超電導線材 |
| CN107138852A (zh) * | 2017-06-29 | 2017-09-08 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于激光焊接的激光头自动聚焦工件的方法 |
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