JPH09106972A - 薬液処理装置 - Google Patents
薬液処理装置Info
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- JPH09106972A JPH09106972A JP26398595A JP26398595A JPH09106972A JP H09106972 A JPH09106972 A JP H09106972A JP 26398595 A JP26398595 A JP 26398595A JP 26398595 A JP26398595 A JP 26398595A JP H09106972 A JPH09106972 A JP H09106972A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薬液処理装置に関し、複数の薬液を混合して
処理用の薬液を調合するに際して、従来の液面センサを
用いた計量手段によるレベル不足（液量不足）を低減
し、レベル超過（液量超過）を防ぐ。 【解決手段】 少なくとも２個の薬液タンク１、２と、
該薬液タンク１、２のそれぞれに送入弁41、42を介して
薬液を送液する薬液送入手段４と、該薬液タンク１、２
のそれぞれから第１と第２の供給弁51、52を介して薬液
のそれぞれを薬液処理槽３に混入させる薬液供給手段５
と、該薬液タンク１、２のそれぞれに設けられた溢液手
段６とを有し、前記溢液手段６は、溢流によって前記薬
液タンク１、２の液面を一定水準にする開口部61と、該
溢液７の有／無を検知して前記送入弁41、42を閉栓／開
栓する溢液センサ62とを有するように薬液処理装置10を
構成する。
処理用の薬液を調合するに際して、従来の液面センサを
用いた計量手段によるレベル不足（液量不足）を低減
し、レベル超過（液量超過）を防ぐ。 【解決手段】 少なくとも２個の薬液タンク１、２と、
該薬液タンク１、２のそれぞれに送入弁41、42を介して
薬液を送液する薬液送入手段４と、該薬液タンク１、２
のそれぞれから第１と第２の供給弁51、52を介して薬液
のそれぞれを薬液処理槽３に混入させる薬液供給手段５
と、該薬液タンク１、２のそれぞれに設けられた溢液手
段６とを有し、前記溢液手段６は、溢流によって前記薬
液タンク１、２の液面を一定水準にする開口部61と、該
溢液７の有／無を検知して前記送入弁41、42を閉栓／開
栓する溢液センサ62とを有するように薬液処理装置10を
構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は薬液処理装置に係わ
り、複数の単一の薬液を混合した薬液を用いて行われる
洗浄工程やエッチング工程などで用いられる処理装置に
関する。
り、複数の単一の薬液を混合した薬液を用いて行われる
洗浄工程やエッチング工程などで用いられる処理装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程におけるウェーハ
プロセスとか液晶表示素子の製造工程などにおいては、
基板を洗浄したり、パターニングのためにエッチングし
たりするためにいろいろな薬液処理が行われる。これら
の薬液処理においては、薬液の調合精度によって、洗浄
であれば洗浄能力が、エッチングであればエッチング能
力がばらつき、延いては製造工程の歩留りや品質、信頼
性に影響する。
プロセスとか液晶表示素子の製造工程などにおいては、
基板を洗浄したり、パターニングのためにエッチングし
たりするためにいろいろな薬液処理が行われる。これら
の薬液処理においては、薬液の調合精度によって、洗浄
であれば洗浄能力が、エッチングであればエッチング能
力がばらつき、延いては製造工程の歩留りや品質、信頼
性に影響する。
【０００３】そこで、薬液の調合に際しては、薬液を所
定の濃度に希釈する場合も含めて、簡便に、しかも精度
よく薬液を調合して供給する薬液処理装置が望まれてい
る。図４は従来の薬液調合式の薬液処理装置の模式図で
ある。
定の濃度に希釈する場合も含めて、簡便に、しかも精度
よく薬液を調合して供給する薬液処理装置が望まれてい
る。図４は従来の薬液調合式の薬液処理装置の模式図で
ある。
【０００４】薬液処理装置10は、第１の薬液11を貯留す
る第１の薬液タンク１と第２の薬液12を貯留する第２の
薬液タンク２から、それぞれの薬液11、12が供給弁51、
52を通って薬液処理槽３に供給され、所定の混合比に調
合されてそれぞれの目的、例えば、洗浄とかエッチング
とかを行うために用いられるようになっている。
る第１の薬液タンク１と第２の薬液12を貯留する第２の
薬液タンク２から、それぞれの薬液11、12が供給弁51、
52を通って薬液処理槽３に供給され、所定の混合比に調
合されてそれぞれの目的、例えば、洗浄とかエッチング
とかを行うために用いられるようになっている。
【０００５】第１の薬液タンク１と第２の薬液タンク２
のそれぞれには、図示してない供給源から第１と第２の
送入弁41、42で制御されて第１と第２の薬液11、12がそ
れぞれ供給されるようにしてなっている。
のそれぞれには、図示してない供給源から第１と第２の
送入弁41、42で制御されて第１と第２の薬液11、12がそ
れぞれ供給されるようにしてなっている。
【０００６】第１と第２の薬液タンク１、２には、両タ
ンク内の薬液11、12が薬液処理槽３で混合されたとき、
所定の調合比になるために、所定の液量の薬液が貯留さ
れるようになっている。この液量の制御には、薬液タン
ク１、２のそれぞれに、液面を検知するフロートセンサ
とも呼ばれる液面センサ９が用いられていた。そして、
液面センサ９が液面を検知すると、第１の送入弁41や第
２の送入弁42が開閉制御されて、それぞれの薬液11、12
が薬液タンク１、２に送液され、所定の液量の薬液が貯
留されるようになっていた。
ンク内の薬液11、12が薬液処理槽３で混合されたとき、
所定の調合比になるために、所定の液量の薬液が貯留さ
れるようになっている。この液量の制御には、薬液タン
ク１、２のそれぞれに、液面を検知するフロートセンサ
とも呼ばれる液面センサ９が用いられていた。そして、
液面センサ９が液面を検知すると、第１の送入弁41や第
２の送入弁42が開閉制御されて、それぞれの薬液11、12
が薬液タンク１、２に送液され、所定の液量の薬液が貯
留されるようになっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、液面センサ
９で液面を検知する場合には、液面が所定のレベルを超
えれば動作する。従って、液面センサ９の誤動作による
レベル不足（液量不足）も間々あるが、タイムラグなど
によってレベル超過（液量超過）してもどのくらい超過
したかを検知することができない不具合が生じる。
９で液面を検知する場合には、液面が所定のレベルを超
えれば動作する。従って、液面センサ９の誤動作による
レベル不足（液量不足）も間々あるが、タイムラグなど
によってレベル超過（液量超過）してもどのくらい超過
したかを検知することができない不具合が生じる。
【０００８】そこで本発明は、薬液タンクの液面を溢流
させて一定の液面レベルを超えないようにし、溢流した
ことは溢流センサによって検知してなる薬液処理装置を
提供することを目的としている。
させて一定の液面レベルを超えないようにし、溢流した
ことは溢流センサによって検知してなる薬液処理装置を
提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上で述べた課題は、少な
くとも２個の薬液タンクと、該薬液タンクのそれぞれに
給液弁を介して薬液を送液する薬液送入手段と、該薬液
タンクのそれぞれから供給弁を介して薬液のそれぞれを
薬液処理槽に混入させる薬液供給手段と、該薬液タンク
のそれぞれに設けられた溢液手段とを有し、該溢液手段
は、溢液によって該薬液タンクの液面を一定水準にする
開口部と、該溢液の有／無を検知して該送入弁を閉栓／
開栓する溢液センサとを有する構成からなる薬液処理装
置によって解決される。
くとも２個の薬液タンクと、該薬液タンクのそれぞれに
給液弁を介して薬液を送液する薬液送入手段と、該薬液
タンクのそれぞれから供給弁を介して薬液のそれぞれを
薬液処理槽に混入させる薬液供給手段と、該薬液タンク
のそれぞれに設けられた溢液手段とを有し、該溢液手段
は、溢液によって該薬液タンクの液面を一定水準にする
開口部と、該溢液の有／無を検知して該送入弁を閉栓／
開栓する溢液センサとを有する構成からなる薬液処理装
置によって解決される。
【００１０】こゝで、前記溢液センサが、前記溢液手段
の開口部から連なる太い第１管路部と、該第１管路より
細い第２管路部と、該第１と第２の管路に挟まれた液溜
部と、該液溜部に溜まった溢液の有無を検知する検出部
とから構成されており、前記検出部が、液溜部に突設さ
れたホトインタラプタから構成されており、前記溢液手
段は、開口部が液面可変部材から構成されており、前記
液面可変部材が、伸縮自在なベローズあるいは挿脱可能
な長さの異なる筒体から構成されている。
の開口部から連なる太い第１管路部と、該第１管路より
細い第２管路部と、該第１と第２の管路に挟まれた液溜
部と、該液溜部に溜まった溢液の有無を検知する検出部
とから構成されており、前記検出部が、液溜部に突設さ
れたホトインタラプタから構成されており、前記溢液手
段は、開口部が液面可変部材から構成されており、前記
液面可変部材が、伸縮自在なベローズあるいは挿脱可能
な長さの異なる筒体から構成されている。
【００１１】本発明では、混合する複数の薬液のそれぞ
れの液量を規定するのに、薬液タンク内に送入される薬
液の液面を検出する従来の液面センサに替えて、溢液つ
まりいわゆるオーバーフローを用いるようにしている。
そして、溢流が起こったことは溢液センサで検出し、薬
液タンクに薬液を送液する送入弁を開閉するようにして
いる。
れの液量を規定するのに、薬液タンク内に送入される薬
液の液面を検出する従来の液面センサに替えて、溢液つ
まりいわゆるオーバーフローを用いるようにしている。
そして、溢流が起こったことは溢液センサで検出し、薬
液タンクに薬液を送液する送入弁を開閉するようにして
いる。
【００１２】この溢液センサは溢液手段に組み込まれて
おり、溢液が溢流入する開口部から連なる太い第１管路
部と、該第１管路より細い第２管路部とに挟まれた液溜
部に溢液が溜まると、その溜まった薬液を検知するよう
にしている。
おり、溢液が溢流入する開口部から連なる太い第１管路
部と、該第１管路より細い第２管路部とに挟まれた液溜
部に溢液が溜まると、その溜まった薬液を検知するよう
にしている。
【００１３】こうすると、溢液センサの誤動作による液
量不足を低減することができるとともに、従来の液面セ
ンサで不具合だったセンサの検知のタイムラグによる液
量超過を防ぐことができる。
量不足を低減することができるとともに、従来の液面セ
ンサで不具合だったセンサの検知のタイムラグによる液
量超過を防ぐことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は本発明になる薬液処理装置
の模式的な構成図、図２は溢液センサの模式的な拡大断
面図、図３は溢液手段の開口部の液面可変部材の例であ
る。図において、１は第１の薬液タンク、２は第２の薬
液タンク、３は薬液処理槽、４は薬液送入手段、５は薬
液供給手段、６は溢液手段、７は溢液、８は処理薬液、
10は薬液処理装置、11は第１の薬液、12は第２の薬液、
41は第１の送入弁、42は第２の送入弁、51は第１の供給
弁、52は第２の供給弁、61は開口部、62は溢液センサ、
621 は第１管路部、622 は第２管路部、623 は液溜部、
624 は検出部である。
の模式的な構成図、図２は溢液センサの模式的な拡大断
面図、図３は溢液手段の開口部の液面可変部材の例であ
る。図において、１は第１の薬液タンク、２は第２の薬
液タンク、３は薬液処理槽、４は薬液送入手段、５は薬
液供給手段、６は溢液手段、７は溢液、８は処理薬液、
10は薬液処理装置、11は第１の薬液、12は第２の薬液、
41は第１の送入弁、42は第２の送入弁、51は第１の供給
弁、52は第２の供給弁、61は開口部、62は溢液センサ、
621 は第１管路部、622 は第２管路部、623 は液溜部、
624 は検出部である。
【００１５】図１において、薬液処理装置10は、２種類
の薬液を調合する場合を例示すると、薬液を定量するい
わば升に相当し、第１の薬液11を貯留する第１の薬液タ
ンク１と第２の薬液12を貯留する第２の薬液タンクと、
この薬液タンク１、２のそれぞれに設けられた、薬液送
入手段４と、薬液供給手段５と、溢液手段６とで構成さ
れている。
の薬液を調合する場合を例示すると、薬液を定量するい
わば升に相当し、第１の薬液11を貯留する第１の薬液タ
ンク１と第２の薬液12を貯留する第２の薬液タンクと、
この薬液タンク１、２のそれぞれに設けられた、薬液送
入手段４と、薬液供給手段５と、溢液手段６とで構成さ
れている。
【００１６】薬液送入手段４は、第１と第２の送入弁4
1、42を介して第１の薬液11と第２の薬液12を薬液タン
ク１、２のそれぞれに送入する。また、薬液供給手段５
は、第１の供給弁51と第２の供給弁52のそれぞれを介し
て第１の薬液11と第２の薬液12のそれぞれを薬液処理槽
３に混入させる。さらに、溢液手段６は、溢流によって
第１と第２の薬液タンク１、２のそれぞれの液面を所定
の一定水準にするもので、薬液が溢流下する開口部61
と、溢液７の有／無を検知して送入弁41、42を閉栓／開
栓する溢液センサ62とから構成されている。
1、42を介して第１の薬液11と第２の薬液12を薬液タン
ク１、２のそれぞれに送入する。また、薬液供給手段５
は、第１の供給弁51と第２の供給弁52のそれぞれを介し
て第１の薬液11と第２の薬液12のそれぞれを薬液処理槽
３に混入させる。さらに、溢液手段６は、溢流によって
第１と第２の薬液タンク１、２のそれぞれの液面を所定
の一定水準にするもので、薬液が溢流下する開口部61
と、溢液７の有／無を検知して送入弁41、42を閉栓／開
栓する溢液センサ62とから構成されている。
【００１７】図２において、溢液センサ62は、開口部61
から連なる太い第１管路部621 と、第１管路部621 より
細い第２管路部622 と、第１と第２の管路621 、622 に
挟まれた液溜部623 と、液溜部623 に突設された検出部
624 とで構成されている。第１管路部621 は、図１に示
した送入弁41や42から送入される薬液の送入量を十分に
溢流できる太さになっている。また、第２管路部622
は、溢流した溢液７が十分には流下仕切れない太さにな
っている。そして、開口部61から溢流して第１管路部62
1 を流下した溢液７は、細い第２管路部622 で絞られて
液溜部623 に溜まる。その溜まった溢液７を検出部624
で検出する。
から連なる太い第１管路部621 と、第１管路部621 より
細い第２管路部622 と、第１と第２の管路621 、622 に
挟まれた液溜部623 と、液溜部623 に突設された検出部
624 とで構成されている。第１管路部621 は、図１に示
した送入弁41や42から送入される薬液の送入量を十分に
溢流できる太さになっている。また、第２管路部622
は、溢流した溢液７が十分には流下仕切れない太さにな
っている。そして、開口部61から溢流して第１管路部62
1 を流下した溢液７は、細い第２管路部622 で絞られて
液溜部623 に溜まる。その溜まった溢液７を検出部624
で検出する。
【００１８】図１において、溢液７は送入弁41や42が閉
栓すれば止まるが、液溜部623 に溜まった溢液７は第２
管路部622 を通って流下して図示してない供給源に還流
され再度送入弁41、42を通って薬液タンク１、２に送入
される。
栓すれば止まるが、液溜部623 に溜まった溢液７は第２
管路部622 を通って流下して図示してない供給源に還流
され再度送入弁41、42を通って薬液タンク１、２に送入
される。
【００１９】検出部624 には、例えば、発光素子と受光
素子が間隙をもって対面しており、間隙に介在する光を
遮るものの有無を検知するホトインタラプタが用いられ
る。こゝでは、液溜部623 に溢液７が溜まってホトイン
タラプタの間隙を埋めれば、開口部から薬液が溢流して
いることを検出できる。つまり、図１に示した薬液タン
ク１、２に所定の液量が送入されたことになる。そし
て、液溜部623 に溢液７が未溜の状態では、対応する何
れかの第１や第２の送入弁41、42を開栓して薬液タンク
１、２に送液を継続し、液溜部623 に溢液７が貯留さ
れ、溢液センサ62が動作すれば、対応する何れかの送入
弁41、42を閉栓して給液を停止するようになっている。
素子が間隙をもって対面しており、間隙に介在する光を
遮るものの有無を検知するホトインタラプタが用いられ
る。こゝでは、液溜部623 に溢液７が溜まってホトイン
タラプタの間隙を埋めれば、開口部から薬液が溢流して
いることを検出できる。つまり、図１に示した薬液タン
ク１、２に所定の液量が送入されたことになる。そし
て、液溜部623 に溢液７が未溜の状態では、対応する何
れかの第１や第２の送入弁41、42を開栓して薬液タンク
１、２に送液を継続し、液溜部623 に溢液７が貯留さ
れ、溢液センサ62が動作すれば、対応する何れかの送入
弁41、42を閉栓して給液を停止するようになっている。
【００２０】こうして、第１と第２の薬液タンク１、２
のそれぞれに所定の液量の薬液11、12が送液されたら、
第１と第２の供給弁51、52を開栓して薬液処理槽３に薬
液11、12を供給し混合して処理薬液８を調合する。
のそれぞれに所定の液量の薬液11、12が送液されたら、
第１と第２の供給弁51、52を開栓して薬液処理槽３に薬
液11、12を供給し混合して処理薬液８を調合する。
【００２１】薬液タンク１や２は、処理薬液８の種類と
その数に応じて混合する薬液の量が異なるので、計量す
る薬液の液量も異なったものとなる。そこで、タンク内
の液面を規制する溢液手段の開口部61が可動すると具合
がよい。図３（Ａ）は、開口部61がベローズを用いた伸
縮型開口611 になっており、必要に応じて開口部61を伸
縮させて位置決めし、いろいろな液面を設定することが
できるようになっている。図３（Ｂ）は、開口部61が取
外しできる筒体からなる挿脱型開口612 になっており、
いろいろな長さの挿脱型開口612 を取り替えれば、いろ
いろな液面を設定することができる。
その数に応じて混合する薬液の量が異なるので、計量す
る薬液の液量も異なったものとなる。そこで、タンク内
の液面を規制する溢液手段の開口部61が可動すると具合
がよい。図３（Ａ）は、開口部61がベローズを用いた伸
縮型開口611 になっており、必要に応じて開口部61を伸
縮させて位置決めし、いろいろな液面を設定することが
できるようになっている。図３（Ｂ）は、開口部61が取
外しできる筒体からなる挿脱型開口612 になっており、
いろいろな長さの挿脱型開口612 を取り替えれば、いろ
いろな液面を設定することができる。
【００２２】こゝでは、２種類のタンクで２種類の薬液
を調合する場合を例示したが、タンクの数とそれに応じ
た薬液の種類は問わない。また、検出部にはホトインタ
ラプタを例示したが、溢液の電導度を測定したり流量を
計測したりする方法もあり、種々の変形が可能である。
を調合する場合を例示したが、タンクの数とそれに応じ
た薬液の種類は問わない。また、検出部にはホトインタ
ラプタを例示したが、溢液の電導度を測定したり流量を
計測したりする方法もあり、種々の変形が可能である。
【００２３】
【発明の効果】本発明になる薬液処理装置においては、
タンク内の液量を制御するのに液面センサを用いていた
従来の手段に替えて、溢流によって液面を所定の一定水
準に維持している。そして、溢流が起こったことは、溢
液の有無を溢液センサによって検知している。従って、
センサの誤動作やタイムラグによって液量過剰になるこ
とが防げ、混合薬液を調合する際の信頼性を向上させる
ことができる。
タンク内の液量を制御するのに液面センサを用いていた
従来の手段に替えて、溢流によって液面を所定の一定水
準に維持している。そして、溢流が起こったことは、溢
液の有無を溢液センサによって検知している。従って、
センサの誤動作やタイムラグによって液量過剰になるこ
とが防げ、混合薬液を調合する際の信頼性を向上させる
ことができる。
【００２４】その結果、いろいろな電子デバイスの製
造、特に半導体装置の製造工程における洗浄、エッチン
グといった混合薬液を用いる処理装置において、処理工
程の効率化や品質の向上に対して、本発明は寄与すると
ころが大である。
造、特に半導体装置の製造工程における洗浄、エッチン
グといった混合薬液を用いる処理装置において、処理工
程の効率化や品質の向上に対して、本発明は寄与すると
ころが大である。
【図１】 本発明になる薬液処理装置の模式的な構成図
である。
である。
【図２】 溢液センサの模式的な拡大断面図である。
【図３】 溢液手段の開口部の液面可変部材の例であ
る。
る。
【図４】 従来の薬液調合式の薬液処理装置の模式図で
ある。
ある。
１ 第１の薬液タンク ２ 第２の薬液タンク
３ 薬液処理槽 ４ 薬液送入手段 ５ 薬液供給手段
６ 溢液手段 ７ 溢液 ８ 処理薬液
10 薬液処理装置 11 第１の薬液 12 第２の薬液 41 第１の送入弁、 42 第２の送入弁 51 第１の供給弁 52 第２の供給弁 61 開口部 62 溢液センサ 621 第１管路部 622 第２管路部
623 液溜部 624 検出部
３ 薬液処理槽 ４ 薬液送入手段 ５ 薬液供給手段
６ 溢液手段 ７ 溢液 ８ 処理薬液
10 薬液処理装置 11 第１の薬液 12 第２の薬液 41 第１の送入弁、 42 第２の送入弁 51 第１の供給弁 52 第２の供給弁 61 開口部 62 溢液センサ 621 第１管路部 622 第２管路部
623 液溜部 624 検出部
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも２個の薬液タンクと、該薬液
タンクのそれぞれに送入弁を介して薬液を送液する薬液
送入手段と、該薬液タンクのそれぞれから供給弁を介し
て薬液のそれぞれを薬液処理槽に混入させる薬液供給手
段と、該薬液タンクのそれぞれに設けられた溢液手段と
を有し、 前記溢液手段は、溢液によって前記薬液タンクの液面を
一定水準にする開口部と、該溢液の有／無を検知して前
記送入弁を閉栓／開栓する溢液センサとを有するもので
あることを特徴とする薬液処理装置。 - 【請求項２】 前記溢液センサが、前記溢液手段の開口
部から連なる太い第１管路部と、該第１管路より細い第
２管路部と、該第１と第２の管路に挟まれた液溜部と、
該液溜部に溜まった前記溢液の有無を検知する検出部と
からなる請求項１記載の薬液処理装置。 - 【請求項３】 前記検出部が、前記液溜部に突設された
ホトインタラプタからなる請求項２記載の薬液処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26398595A JPH09106972A (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 薬液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26398595A JPH09106972A (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 薬液処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09106972A true JPH09106972A (ja) | 1997-04-22 |
Family
ID=17396946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26398595A Withdrawn JPH09106972A (ja) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 薬液処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09106972A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100901462B1 (ko) * | 2008-01-15 | 2009-06-08 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 |
-
1995
- 1995-10-12 JP JP26398595A patent/JPH09106972A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100901462B1 (ko) * | 2008-01-15 | 2009-06-08 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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