JPH09105841A

JPH09105841A - 光素子モジュール

Info

Publication number: JPH09105841A
Application number: JP7265588A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Nakamura; 猛中村
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-10-13
Filing date: 1995-10-13
Publication date: 1997-04-22

Abstract

(57)【要約】【課題】光ファイバの出射光を妨げないようにするた
めに、ガラス板を精度よくフェルール端面に固定する必
要があり、作業性に課題があった。また、ガラス板と、
フェルール内に固定されている光ファイバの端面とを接
着固定しているために、ガラス板と光ファイバとの間の
接着剤が剥離する可能性があり、信頼性に課題があっ
た。【解決手段】レンズ６で集光され半透明膜付ガラス板
３１を透過した半導体レーザ１から出射された光がフェ
ルール７の端面で反射した後、この光の一部が半透明膜
付ガラス板３１の半透明膜３２で反射して光ファイバ８
に結合するとともに、光ファイバ８から出射され半透明
膜付ガラス板３１の半透明膜３２を透過した光がレンズ
６により集光されてフォトダイオード２１に入射するも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は一本の光ファイバ
を伝送路として双方向通信に用いる光半導体素子を内蔵
した光素子モジュールに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１２は従来の光素子モジュールの断面
図を示すもので、例えば、信学技報ＯＰＥ９４−６５
（１９９４−０９）Ｐ８５〜９０に示されたものであ
り、図において、１は半導体レーザ、２は半導体レーザ
の光出力をモニタするためのモニタ用フォトダイオー
ド、３は受信用フォトダイオード、４はブロック、５は
ＬＤマウント、６はレンズ、７はフェルール、８はフェ
ルール７に接着固定された光ファイバ、１１はステム、
１２は窓ガラス、１３はキャップ、１４は貫通端子、１
５はステムケース端子、５１はガラス板、５２はガラス
板５１の片面の一部に蒸着により形成された半透明膜、
５３はガラス板５１の他面に蒸着により形成された全反
射膜、５４は接着剤である。半導体レーザ１とモニタ用
フォトダイオード２と受信用フォトダイオード３は、ス
テム１１と窓ガラス１２とキャップ１３とで気密封止さ
れている。窓ガラス１２はキャップ１３に低融点ガラス
で気密がとれるように固定されており、貫通端子１４は
ステム１１に低融点ガラスにより気密がとれるように固
定されている。ガラス板５１は光ファイバ８の端面に接
着剤５４で固定されている。図１３は従来の光素子モジ
ュールのガラス板５１及びフェルール７と光ファイバ８
の先端部を拡大した断面図であり、１０１は半導体レー
ザ１の出射光がレンズ６で集光された光束、１０２は光
ファイバ８から出射され、半透明膜５２を透過した光束
である。

【０００３】半導体レーザ１から出射され、レンズ６で
集光された光束１０１は、全反射膜５３で反射し、半透
明膜５２で一部が反射し、光ファイバ８に入射する。ま
た、光ファイバ８から出射し、半透明膜５２を透過した
光は、レーザ６で集光されて受信用フォトダイオードに
入射する。

【０００４】なお、半導体レーザ１からの出射光が効率
よく光ファイバ８に結合させるためには、ガラス板５１
とフェルール７及び光ファイバ８とを全反射膜５３が光
ファイバ８の出射光をさえぎらなく、かつ、光束１０１
が全て全反射膜に入射する位置に調整した後に固定する
必要がある。全反射膜５３と光ファイバ８との間隔は
０．２ｍｍ程度とわずかである。また、光ファイバ８と
フェルール７の熱膨張率が違うために、温度により光フ
ァイバ８の先端がフェルール７の先端よりわずかではあ
るが出入りする。この光ファイバの出入りは接着剤５４
と光ファイバ８との界面での剥離を生じる可能性があ
る。光ファイバ８の端面での接着剤の剥離は光ファイバ
８の出射光の損失を生じさせるだけではなく、剥離が進
行することにより、ガラス板５１がフェルール７の端面
から脱落する原因となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の光素子モジュー
ルは以上のように構成されているので、光ファイバの出
射光を妨げないように全反射膜と光ファイバとの間隔を
０．２ｍｍ程度とする必要があり、ガラス板とフェルー
ルとの接着固定時に全反射膜の位置を実体顕微鏡等で確
認しながら作業する必要があり、作業性に課題があっ
た。また、ガラス板と、フェルール内に固定されている
光ファイバの端面とを接着固定しているために、ガラス
板と光ファイバとの間の接着剤が剥離する可能性があ
る。この部分は光が透過するために、剥離が生じると透
過損失が著しく変化し、このために光素子モジュールの
特性が変化するという課題があった。また、剥離が著し
く進行した場合は、ガラス板の脱落する可能性があると
いう課題があった。

【０００６】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、作業性を改善できるとともに、ガ
ラス板と光ファイバとの間の接着剤の剥離に起因する特
性の劣化等を防止することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明の実施の形態１
による光素子モジュールは、半導体レーザとフォトダイ
オードとレンズとフェルールとフェルールに固定された
光ファイバと片面に半透明膜を形成した半透明膜付ガラ
ス板を備え、レンズで集光され半透明膜付ガラス板を透
過した半導体レーザの出射光がフェルールの端面で反射
した後、この光の一部が半透明膜付ガラス板の半透明膜
で反射して光ファイバに結合するとともに、光ファイバ
から出射され半透明膜付ガラス板の半透明膜を透過した
光がレンズにより集光されてフォトダイオードに入射す
るようにしたものである。

【０００８】また、この発明の実施の形態２による光素
子モジュールは、半導体レーザとフォトダイオードとレ
ンズとフェルールとフェルールに固定された光ファイバ
とくさび形のガラス板の片面に半透明膜を形成した半透
明膜付くさび形ガラス板とを備え、レンズで集光され半
透明膜付ガラス板を透過した半導体レーザの出射光がフ
ェルールの端面で反射した後、この光の一部が半透明膜
付ガラス板の半透明膜で反射して光ファイバに結合する
とともに、光ファイバから出射された光のうち半透明膜
付くさび形ガラス板の半透明膜を透過した光がレンズに
より集光されてフォトダイオードに入射するようにした
ものである。

【０００９】また、この発明の実施の形態３による光素
子モジュールは、半導体レーザとフォトダイオードとレ
ンズとフェルールとフェルールに固定された光ファイバ
と片面に半透明膜を形成した半透明膜付ガラス板を備
え、フォトダイオードを半導体レーザよりもレンズに近
い位置に配置し、半導体レーザから出射されレンズで集
光された半透明膜付ガラス板を透過した光が光ファイバ
に結合するとともに、光ファイバの出射光のうち半透明
膜付ガラス板の半透明膜を反射した光がフェルールの端
面で反射し、半透明膜付ガラス板の半透明膜を透過した
後にレンズにより集光されてフォトダイオードに入射す
るようにしたものである。

【００１０】また、この発明の実施の形態４による光素
子モジュールは、半導体レーザとフォトダイオードとレ
ンズとフェルールとフェルールに固定された光ファイバ
とくさび形のガラス板の片面に半透明膜を形成した半透
明膜付くさび形ガラス板とを備え、フォトダイオードを
半導体レーザよりもレンズに近い位置に配置し、半導体
レーザから出射されたレンズで集光され半透明膜付くさ
び形ガラス板を透過した光が光ファイバに結合ととも
に、光ファイバの出射光のうち半透明膜付くさび形ガラ
ス板の半透明膜を反射した光がフェルールの端面で反射
し、半透明膜付くさび形ガラス板の半透明膜を透過した
後にレンズにより集光されてフォトダイオードに入射す
るようにしたものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１を示す光
素子モジュールの断面図であり、図において、２１はフ
ォトダイオード、３１は両端面が平行な半透明膜付ガラ
ス板、３２は半透明膜付ガラス板３１の片面の一部に蒸
着により形成された半透明膜である。半透明膜付ガラス
板３１の両面の半透明膜３２を除く部分には、反射防止
膜が蒸着により形成されている。なお、フェルール７の
材質はセラミックまたは金属またはガラスであり、セラ
ミックの場合、端面を研磨するだけで多少の散乱はある
が、十分な鏡面となる。また、必要であれば、蒸着等に
より全反射膜を部分的に形成することは可能であり、特
に、材質がガラス及び金属の場合に有効である。半透明
膜付ガラス板３１はフェルール７の端面に平行に設置さ
れている。また、半透明膜３２はフェルール７の端面に
対向するように配置されている。光ファイバ８の光軸の
垂直面とフェルール７の端面との角度をフェルール研磨
角と呼び、θとすると、フェルール研磨角θは６度から
１２度の間に設定されている。また、半導体レーザ１は
レンズ６の光軸からフェルール研磨角θに依存してオフ
セットされている。

【００１２】図２は図１に示した半透明膜付ガラス板３
１およびフェルール７と光ファイバ８の先端部を拡大し
た断面図であり、１１１はレンズ６で集光された半導体
レーザ１が出射した光束、１１２は半透明膜５２を透過
した光ファイバ８が出射した光束である。

【００１３】レンズで集光された半導体レーザが出射し
た光束１１１は、半透明膜付ガラス板３１を透過し、フ
ェルール７の端面で反射し、半透明膜３２で一部が反射
する。この半透明膜３２で反射した光は光ファイバ８に
入射する。また、半透明膜を透過した光ファイバが出射
した光束１１２はレンズ６で集光され、半導体レーザ１
よりもレンズ６から離れた位置で集光し、フォトダイオ
ード２１に入射する。なお、フォトダイオード２１は半
導体レーザ１の裏面（レンズ６と反対側）から出射され
た光の一部も入射する位置に置かれており、半導体レー
ザ１の光出力をモニタするためにも用いられる。

【００１４】光ファイバ８と半透明膜付ガラス板３１と
の間は気体であり、フェルール７と光ファイバ８との熱
膨張率の差による光ファイバ８のフェルール７からの微
少な出入りは信頼性及び特性に影響を与えない。さら
に、付け加えるならば、光ファイバ８と半透明膜付ガラ
ス板３１との間に接着剤がないために、接着剤の剥離に
よる特性の劣化及び信頼性上の問題はない。また、半透
明膜３２の設置位置により、レンズで集光された半導体
レーザが出射した光束１１１の一部が半透明膜３２を透
過しなければならないが、半透明膜３２の透過率及び半
導体レーザ１と光ファイバ８との結合効率の仕様に依存
するが、半透明膜３２に光束１１１が５０％程度透過し
てもよく、位置精度としては、０．５ｍｍ程度以下であ
ればよい。

【００１５】また、図３及び図４はこの発明の他の実施
の形態１を示す光素子モジュールの断面図及び半透明膜
付ガラス板３１およびフェルール７と光ファイバ８の先
端部を拡大した断面図であり、半透明膜３２が半透明膜
付ガラス板３１の片面の全ての部分に形成されている。
半透明膜３２の透過率を５０％、半導体レーザ１と光フ
ァイバ８との結合効率の最小値を５％とすれば、レンズ
で集光された半導体レーザが出射した光束１１１は半透
明膜３２を透過し、フェルール７の端面で反射し、半透
明膜３２で反射して光ファイバ８に入射しても、半導体
レーザ１と光ファイバ８との結合効率は６％から８％程
度は可能であり、最小値の５％を満足する。また、半透
明膜付ガラス板３１の位置精度は半導体レーザ１と光フ
ァイバ８との結合効率にあまり影響を与えないために問
題とはならない。

【００１６】実施の形態２．図５はこの発明の実施の形
態２を示す光素子モジュールの断面図であり、図におい
て、２１はフォトダイオード、３３は半透明膜付くさび
形ガラス板、３２は半透明膜付くさび形ガラス板３３の
片面の一部に蒸着により形成された半透明膜である。半
透明膜付くさび形ガラス板３３の両面の半透明膜３２を
除く部分には、反射防止膜が蒸着により形成されてい
る。半透明膜付くさび形ガラス板３３の半透明膜３２が
形成されている面はフェルール７の端面と平行に設置さ
れており、半透明膜３２はフェルール７の端面に対向す
るように配置されている。また、半透明膜付くさび形ガ
ラス板３３のくさび角度ψはフェルール研磨角θと等し
く設定されている。さらに、半導体レーザ１はレンズ６
の光軸上にあり、半導体レーザをレンズの光軸からオフ
セットすることにより発生するレンズの高次収差を防止
している。

【００１７】図６は図５に示した半透明膜付くさび形ガ
ラス板３３およびフェルール７と光ファイバ８の先端部
を拡大した断面図であり、１１３はレンズ６で集光され
た半導体レーザ１が出射した光束、１１４は半透明膜５
２を透過した光ファイバ８が出射した光束である。

【００１８】レンズで集光された半導体レーザが出射し
た光束１１３は、半透明膜付くさび形ガラス板３３を透
過し、フェルール７の端面で反射し、半透明膜３２で一
部が反射する。この半透明膜３２で反射した光は光ファ
イバ８に入射する。また、半透明膜を透過した光ファイ
バが出射した光束１１４はレンズ６で集光され、半導体
レーザ１よりもレンズ６から離れた位置で集光し、フォ
トダイオード２１に入射する。

【００１９】光ファイバ８と半透明膜付くさび形ガラス
板３３との間は気体であり、フェルール７と光ファイバ
８との熱膨張率の差による光ファイバ８のフェルール７
からの微少な出入りは信頼性及び特性に影響を与えな
い。さらに、付け加えるならば、光ファイバ８と半透明
膜付くさび形ガラス板３３との間に接着剤がないため
に、接着剤の剥離による特性の劣化及び信頼性上の問題
はない。また、半透明膜３２の設置位置により、レンズ
で集光された半導体レーザが出射した光束１１３の一部
が半透明膜３２を透過しなければならないが、半透明膜
３２の透過率及び半導体レーザ１と光ファイバ８との結
合効率の仕様に依存するが、半透明膜３２に光束１１３
が５０％程度透過してもよく、位置精度としては、０．
５ｍｍ程度以下であればよい。

【００２０】また、図７及び図８はこの発明の他の実施
の形態２を示す光素子モジュールの断面図及び半透明膜
付くさび形ガラス板３３およびフェルール７と光ファイ
バ８の先端部を拡大した断面図であり、半透明膜３２が
半透明膜付くさび形ガラス板３３の片面の全ての面に形
成されている。半透明膜３２の透過率を５０％、半導体
レーザ１と光ファイバ８との結合効率の最小値を５％と
すれば、レンズで集光された半導体レーザが出射した光
束１１３は半透明膜３２を透過し、フェルール７の端面
で反射し、半透明膜３２で反射して光ファイバ８に入射
しても、半導体レーザ１と光ファイバ８との結合効率は
６％から８％程度は可能であり、最小値の５％を満足す
る。また、半透明膜付くさび形ガラス板３３の位置精度
は、半導体レーザ１と光ファイバ８との結合効率にあま
り影響を与えないために問題とはならない。

【００２１】実施の形態３．図９はこの発明の実施の形
態３を示す光素子モジュールの断面図であり、図におい
て、２２はフォトダイオードであり、ブロック４にＰＤ
マウントを介して半田で固定されている。半透明膜付ガ
ラス板３１はフェルール７の端面に平行に設置されてお
り、半透明膜３２はフェルール７の端面に対向するよう
に配置されている。フェルール研磨角θは６度から１２
度の間に設定されている。半透明膜３２は半透明膜付ガ
ラス板３１の片面の一部に蒸着により形成されている。
また、半導体レーザ１はレンズ６の光軸からフェルール
研磨角θに依存してオフセットされている。フェルール
７の材質はセラミックであり、光ファイバ８の端面とと
もに鏡面研磨されている。

【００２２】図１０は図９に示した半透明膜付ガラス板
３１およびフェルール７と光ファイバ８の先端部を拡大
した断面図であり、１１５は半透明膜５２を透過した光
ファイバ８が出射した光束１１６はレンズ６で集光され
た半導体レーザ１が出射した光束、７７は仮想フェルー
ル、７８は仮想光ファイバである。レンズ６で集光され
た半導体レーザ１から出射された光束１１６は、半透明
膜付ガラス板３１を透過し、光ファイバ８に入射する。
一方、光ファイバ８から出射した光は、半透明膜３２で
一部が反射してフェルール７の端面で反射した後に半透
明膜付ガラス板３１を透過し、レンズ６で集光される。
この光ファイバ８の出射光は、互いに平行である半透明
膜３２とフェルール７の端面とで反射することにより、
光ファイバ８に平行でかつ図９の上方右の位置の仮想光
ファイバ７８から出射されているのと光学的には等価で
ある。従って、光ファイバ８から出射された光束１１５
は、レンズ６により、半導体レーザ１の端面よりもレン
ズ６に近く、かつ、図９では半導体レーザ１よりも下の
位置に集光する。フォトダイオード２２は、光ファイバ
８から出射された光束１１５がレンズ６で集光され位置
の近傍に固定されており、光ファイバ８から出射された
光束１１５は、フォトダイオード２１に入射する。

【００２３】光ファイバ８と半透明膜付ガラス板３１と
の間は気体であり、フェルール７と光ファイバ８との熱
膨張率の差による光ファイバ８のフェルール７からの微
少な出入りは信頼性及び特性に影響を与えない。さら
に、付け加えるならば、光ファイバ８と半透明膜付ガラ
ス板３１との間に接着剤がないために、接着剤の剥離に
よる特性の劣化及び信頼性上の問題はない。また、半透
明膜３２の設置位置により、光ファイバ８から出射され
た光束１１５の一部が半透明膜３２を透過しなければな
らないが、半透明膜３２の透過率及び光ファイバ８とフ
ォトダイオード２２との結合効率の仕様に依存するが、
半透明膜３２に光束１１１が５０％程度透過してもよ
く、位置精度としては、０．５ｍｍ程度以下であればよ
い。

【００２４】実施の形態４．図１１はこの発明の実施の
形態４を示す光素子モジュールの断面図である。半透明
膜付くさび形ガラス板３３の両面の半透明膜３２を除く
部分には、反射防止膜が蒸着により形成されている。半
透明膜付くさび形ガラス板３３の半透明膜３２が形成さ
れている面はフェルール７の端面と平行に設置されてお
り、半透明膜付くさび形ガラス板３３のくさび角度ψは
フェルール研磨角θと等しく設定されている。また、半
導体レーザ１はレンズ６の光軸上にあり、半導体レーザ
をレンズの光軸からオフセットすることにより発生する
レンズの高次収差を防止している。半透明膜付くさび形
ガラス板３３はフェルール７の端面に平行に設置されて
おり、フェルール研磨角θは６度から１２度の間に設定
されている。

【００２５】レンズ６で集光された半導体レーザ１から
出射された光は、半透明膜付くさび形ガラス板３３を透
過し、光ファイバ８に入射する。一方、光ファイバ８か
ら出射した光は、半透明膜３２で一部が反射してフェル
ール７の端面で反射した後に半透明膜付くさび形ガラス
板３３を透過し、レンズ６で集光され、フォトダイオー
ド２２に入射する。

【００２６】光ファイバ８と半透明膜付くさび形ガラス
板３３との間は気体であり、フェルール７と光ファイバ
８との熱膨張率の差による光ファイバ８のフェルール７
からの微少な出入りは信頼性及び特性に影響を与えな
い。さらに、付け加えるならば、光ファイバ８と半透明
膜付ガラス板３３との間に接着剤がないために、接着剤
の剥離による特性の劣化及び信頼性上の問題はない。ま
た、半透明膜３２の設置位置により、光ファイバ８から
出射された光の一部が半透明膜３２を透過しなければな
らないが、半透明膜３２の透過率及び光ファイバ８とフ
ォトダイオード２２との結合効率の仕様に依存するが、
半透明膜３２に光束１１１が５０％程度透過してもよ
く、位置精度としては、０．５ｍｍ程度以下であればよ
い。

【００２７】

【発明の効果】この発明は、上記光ファイバとの対向面
に半透明膜を有し、上記光ファイバとレンズとの間に設
けられた半透明膜付透明板と、上記半透明膜付透明板と
上記フェルールとの間に有する空気層とを備え、上記半
透明膜付透明板は上記半導体レーザの出射光の一部また
は全てを透過し、その透過光の一部を上記フェルール端
面、半透明膜、光ファイバの順に伝搬させ、かつ、上記
光ファイバの出射光の一部を上記半透明膜により透過
し、その光を上記レンズを介してフォトダイオードに入
射させるように配置することにより光ファイバと半透明
膜付透明板との間が気体であるために、フェルールと光
ファイバとの熱膨張率の差による光ファイバのフェルー
ルからの微少な出入りが信頼性及び特性に影響を与えな
い。また、半透明膜の設置位置及び半透明膜の形成部に
より、光ファイバから出射された光の一部が半透明膜を
透過する場合もあるが、半透明膜の位置精度は緩くな
る。

【００２８】また、この発明は、フォトダイオードを上
記半導体レーザよりも上記レンズに近い位置に配置し、
上記光ファイバとの対向面に半透明膜を有し、上記光フ
ァイバとレンズとの間に設けられた半透明膜付透明板
と、上記半透明膜付透明板と上記フェルールとの間に有
する空気層とを備え、上記半透明膜付透明板は、上記半
導体レーザの出射光の一部を透過し、その透過光を上記
光ファイバに結合し、上記光ファイバの出射光のうち上
記半透明膜で反射した光が上記フェルール端面で反射し
た後に半透明膜付透明板を透過して上記フォトダイオー
ドに上記レンズを介して入射させるように配置すること
により、上記同様の効果を奏する。

【００２９】この発明によれば、半透明膜付の透明板と
してガラス板、くさび形ガラス板を用いることにより上
記の効果を奏する。

【００３０】またこの発明によれば、半透明膜付透明板
の半透明膜を、半導体レーザの出射光及び光ファイバの
出射光が透過する部分が含まれるようにし、半透明膜付
透明板の上記光ファイバとの対向面に施すことにより上
記の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による光素子モジュールの実施の形
態１を示す断面図である。

【図２】図１の一部を拡大した断面図である。

【図３】この発明による光素子モジュールの実施の形
態１の他の実施例を示す断面図である。

【図４】図３の一部を拡大した断面図である。

【図５】この発明による光素子モジュールの実施の形
態２を示す断面図である。

【図６】図５の一部を拡大した断面図である。

【図７】この発明による光素子モジュールの実施の形
態２の他の実施例を示す断面図である。

【図８】図７の一部を拡大した断面図である。

【図９】この発明による光素子モジュールの実施の形
態３を示す断面図である。

【図１０】図９の一部を拡大した断面図である。

【図１１】この発明による光素子モジュールの実施の
形態４を示す断面図である。

【図１２】従来の光素子モジュールを示す断面図であ
る。

【図１３】図１２の一部を拡大した断面図である。

【符号の説明】

１半導体レーザ、６レンズ、７フェルール、８
光ファイバ、２１フォトダイオード、２２フォトダ
イオード、３１半透明膜付ガラス板、３２半透明膜、
３３半透明膜付くさび形ガラス板。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体レーザと、フォトダイオードと、
レンズと、フェルールと、上記フェルールに固定された
光ファイバと、上記半導体レーザの出射光を集光し、そ
の出射光を上記光ファイバに入射させるためのレンズと
を備えた光素子モジュールにおいて、上記光ファイバと
の対向面に半透明膜を有し、上記光ファイバとレンズと
の間に設けられた半透明膜付透明板と、上記半透明膜付
透明板と上記フェルールとの間に有する空気層とを備
え、上記半透明膜付透明板は上記半導体レーザの出射光
の一部または全てを透過し、その透過光の一部を上記フ
ェルール端面、半透明膜、光ファイバの順に伝搬させ、
かつ、上記光ファイバの出射光の一部を上記半透明膜に
より透過し、その光を上記レンズを介してフォトダイオ
ードに入射させるように配置させたことを特徴とする光
素子モジュール。
【請求項２】半導体レーザと、フォトダイオードと、
レンズと、フェルールと、上記フェルールに固定された
光ファイバと、上記半導体レーザの出射光を集光し、そ
の出射光を上記光ファイバに入射させるためのレンズと
を備えた光素子モジュールにおいて、フォトダイオード
を上記半導体レーザよりも上記レンズに近い位置に配置
し、上記光ファイバとの対向面に半透明膜を有し、上記
光ファイバとレンズとの間に設けられた半透明膜付透明
板と、上記半透明膜付透明板と上記フェルールとの間に
有する空気層とを備え、上記半透明膜付透明板は、上記
半導体レーザの出射光の一部を透過し、その透過光を上
記光ファイバに結合し、上記光ファイバの出射光のうち
上記半透明膜で反射した光が上記フェルール端面で反射
した後に半透明膜付透明板を透過して上記フォトダイオ
ードに上記レンズを介して入射させるように配置させた
ことを特徴とする光素子モジュール。
【請求項３】半透明膜付透明板は、半透明膜付ガラス
板であることを特徴とする請求項１、２いずれか記載の
光素子モジュール。
【請求項４】半透明膜付透明板は、半透明膜付くさび
形ガラス板であることを特徴とする請求項１、２いずれ
か記載の光素子モジュール。
【請求項５】半透明膜付透明板の半透明膜は、半導体
レーザの出射光及び光ファイバの出射光が透過する部分
が含まれるようにし、半透明膜付透明板の上記光ファイ
バとの対向面に施してあることを特徴とする請求項１、
３、４いずれか記載の光素子モジュール。