JP2001185753A - 光モジュール - Google Patents
光モジュールInfo
- Publication number
- JP2001185753A JP2001185753A JP36921299A JP36921299A JP2001185753A JP 2001185753 A JP2001185753 A JP 2001185753A JP 36921299 A JP36921299 A JP 36921299A JP 36921299 A JP36921299 A JP 36921299A JP 2001185753 A JP2001185753 A JP 2001185753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- emitting element
- light emitting
- optical fiber
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
- G02B6/423—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で面発光素子からの出射光の強度
を確実にモニタすることができ、基板表面に対して光軸
が平行となるようにし、しかも低背化が可能な汎用性の
高い表面実装型の光モジュールを提供すること。 【解決手段】 基板１上に、面発光素子３、該面発光素
子３に一端部を光接続させる光ファイバ５、及び面発光
素子３の出射光をモニタするための受光素子４を設け、
光ファイバ５の一端部上面側を押さえ板６で覆うように
成し、押さえ板６の下面に面発光素子３からの出射光を
反射する反射用凹部９を形成するとともに、該反射用凹
部９に対向する基板面に受光用凹部３２を形成し、該受
光用凹部３２に反射用凹部９からの反射光及び面発光素
子３の出射光を受光する受光素子４を配設したことを特
徴とする。
を確実にモニタすることができ、基板表面に対して光軸
が平行となるようにし、しかも低背化が可能な汎用性の
高い表面実装型の光モジュールを提供すること。 【解決手段】 基板１上に、面発光素子３、該面発光素
子３に一端部を光接続させる光ファイバ５、及び面発光
素子３の出射光をモニタするための受光素子４を設け、
光ファイバ５の一端部上面側を押さえ板６で覆うように
成し、押さえ板６の下面に面発光素子３からの出射光を
反射する反射用凹部９を形成するとともに、該反射用凹
部９に対向する基板面に受光用凹部３２を形成し、該受
光用凹部３２に反射用凹部９からの反射光及び面発光素
子３の出射光を受光する受光素子４を配設したことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、面発光素子と、面
発光素子より出射される光の強度をモニタする受光素子
とを有する光モジュールに関する。
発光素子より出射される光の強度をモニタする受光素子
とを有する光モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】現在まで、基板上に端面発光素子とこれ
に光接続（光結合）させる光ファイバを搭載した光モジ
ュールが多く提案されてきたが、端面発光素子から出射
される光のモードフィールド形状が真円ではないため、
レンズ等を介して光ファイバに光接続しても結合損失が
大きい。
に光接続（光結合）させる光ファイバを搭載した光モジ
ュールが多く提案されてきたが、端面発光素子から出射
される光のモードフィールド形状が真円ではないため、
レンズ等を介して光ファイバに光接続しても結合損失が
大きい。
【０００３】また、モードフィールド形状を真円にする
ために、面発光素子を用いる光モジュールも提案されて
きたが、面発光素子は端面発光素子に比べ出射光の出力
をモニタすることが困難であり、モニタ情報から出射光
の制御を行うことは困難であった。なお、面発光素子の
裏面にモニタ用受光素子を形成する方法も提案されてい
るが、素子の作製工程が複雑となる。
ために、面発光素子を用いる光モジュールも提案されて
きたが、面発光素子は端面発光素子に比べ出射光の出力
をモニタすることが困難であり、モニタ情報から出射光
の制御を行うことは困難であった。なお、面発光素子の
裏面にモニタ用受光素子を形成する方法も提案されてい
るが、素子の作製工程が複雑となる。
【０００４】従来、面発光素子を備えた光モジュールの
光出力のモニタ方法は、図１０に示すように、同一のリ
ードフレーム７上に搭載された面発光素子３と受光素子
４を、面発光素子３の出射光の波長に対して透明な樹脂
１０で一体封止し、樹脂形成部には面発光素子３の光軸
延長上に集光レンズ８、及び集光レンズ８の周辺の光軸
からずれた位置に、漏洩光２２即ち光ファイバに結合し
ない光を反射して受光素子４へ入射させる反射ミラー９
が形成され、面発光素子３から出射される光の強度をモ
ニタする構造となっていた（例えば、特開平１０−３２
１９００号公報を参照）。なお、図中２１は結合光、２
３は反射光である。
光出力のモニタ方法は、図１０に示すように、同一のリ
ードフレーム７上に搭載された面発光素子３と受光素子
４を、面発光素子３の出射光の波長に対して透明な樹脂
１０で一体封止し、樹脂形成部には面発光素子３の光軸
延長上に集光レンズ８、及び集光レンズ８の周辺の光軸
からずれた位置に、漏洩光２２即ち光ファイバに結合し
ない光を反射して受光素子４へ入射させる反射ミラー９
が形成され、面発光素子３から出射される光の強度をモ
ニタする構造となっていた（例えば、特開平１０−３２
１９００号公報を参照）。なお、図中２１は結合光、２
３は反射光である。
【０００５】また、図１１に示すように、面発光素子３
の光軸周辺の光軸からずれた位置に受光素子４を配置
し、面発光素子３からの出射光の漏洩光２２をモニタす
る構造となっていた（例えば、特開平１１−２７４６５
０を参照）。なお、図中１１は金属キャップ（封止
体）、１２はガラス窓、１３はフェルール、１４はフェ
ルールホルダである。図１０と同一構成については同一
符号を付し説明を省略する。
の光軸周辺の光軸からずれた位置に受光素子４を配置
し、面発光素子３からの出射光の漏洩光２２をモニタす
る構造となっていた（例えば、特開平１１−２７４６５
０を参照）。なお、図中１１は金属キャップ（封止
体）、１２はガラス窓、１３はフェルール、１４はフェ
ルールホルダである。図１０と同一構成については同一
符号を付し説明を省略する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１０
の光モジュールでは、光ファイバ５に光を入射するに
は、面発光素子３を駆動させながら光軸調整をする必要
があり、また、図１１に示す光モジュールでは、光ファ
イバ５に光を入射させ外部に光出力を取り出すために
は、光ファイバ５を保持する部品が必要になり、その構
造が非常に複雑となる。
の光モジュールでは、光ファイバ５に光を入射するに
は、面発光素子３を駆動させながら光軸調整をする必要
があり、また、図１１に示す光モジュールでは、光ファ
イバ５に光を入射させ外部に光出力を取り出すために
は、光ファイバ５を保持する部品が必要になり、その構
造が非常に複雑となる。
【０００７】また、従来の面発光素子３を用いた光モジ
ュールにおいて、光軸が素子実装面に対して垂直になる
ので、同軸型モジュールにしか適用出来ず、汎用性の低
いものであった。
ュールにおいて、光軸が素子実装面に対して垂直になる
ので、同軸型モジュールにしか適用出来ず、汎用性の低
いものであった。
【０００８】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、簡単な構成で面発光素子からの出射光の強
度を確実にモニタすることができ、基板表面に対して光
軸が平行となるようにし、しかも低背化が可能な汎用性
の高い表面実装型の光モジュールを提供することを目的
とする。
ものであり、簡単な構成で面発光素子からの出射光の強
度を確実にモニタすることができ、基板表面に対して光
軸が平行となるようにし、しかも低背化が可能な汎用性
の高い表面実装型の光モジュールを提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光モジュールは、基板上に、面発光素子、
該面発光素子に一端部を光接続させる光ファイバ、及び
面発光素子の出射光をモニタするための受光素子を設
け、光ファイバの一端部上面側を押さえ板で覆うように
成し、押さえ板の下面に面発光素子からの出射光を反射
する反射用凹部を形成するとともに、該反射用凹部に対
向する基板面に受光用凹部を形成し、該受光用凹部に反
射用凹部からの反射光及び面発光素子の出射光を受光す
る受光素子を配設したことを特徴とする。
に、本発明の光モジュールは、基板上に、面発光素子、
該面発光素子に一端部を光接続させる光ファイバ、及び
面発光素子の出射光をモニタするための受光素子を設
け、光ファイバの一端部上面側を押さえ板で覆うように
成し、押さえ板の下面に面発光素子からの出射光を反射
する反射用凹部を形成するとともに、該反射用凹部に対
向する基板面に受光用凹部を形成し、該受光用凹部に反
射用凹部からの反射光及び面発光素子の出射光を受光す
る受光素子を配設したことを特徴とする。
【００１０】また、受光素子は光ファイバの一端部下面
側に配設されているとともに、光ファイバの一端部が先
細に形成されていることを特徴とする。
側に配設されているとともに、光ファイバの一端部が先
細に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明による光モジュール
の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。なお、説明
を容易にするため、図１及び図６は一部透視図としてい
る。
の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。なお、説明
を容易にするため、図１及び図６は一部透視図としてい
る。
【００１２】図３に示すように、シリコン単結晶等の異
方性エッチングが可能な材料から成る基板１上には、浅
いチップキャリア位置決めＶ溝３１、深く幅広の受光用
凹部である台形溝３２、及び浅い光ファイバ搭載溝３３
がそれぞれ異方性エッチングにより形成されている。
方性エッチングが可能な材料から成る基板１上には、浅
いチップキャリア位置決めＶ溝３１、深く幅広の受光用
凹部である台形溝３２、及び浅い光ファイバ搭載溝３３
がそれぞれ異方性エッチングにより形成されている。
【００１３】また、チップキャリア２は基板１と同様な
材料から成り、例えば図７（ａ）〜（ｄ）に示すよう
に、その下面に基板１のＶ溝に正確に位置合わせできる
ように、凸状部を形成しており、図１，２に示すよう
に、これら各溝に、面発光素子３を実装したチップキャ
リア２、受光素子４、及び光ファイバ５のそれぞれを位
置合わせして搭載し、図４に示すような反射用凹部に金
属薄膜を被着形成させた反射ミラー９を備えた光ファイ
バ押さえ板６を実装する。ここで、光ファイバ押さえ板
６は基板と同様な材質かガラス( 石英ガラスやソーダガ
ラス等) で作製する。熱膨張係数等の点からは基板と同
一材質で形成するのがよいが、加工性の点ではガラスが
望ましい。また、反射用凹部は受光素子４の受光部に集
光できるような凹面である。
材料から成り、例えば図７（ａ）〜（ｄ）に示すよう
に、その下面に基板１のＶ溝に正確に位置合わせできる
ように、凸状部を形成しており、図１，２に示すよう
に、これら各溝に、面発光素子３を実装したチップキャ
リア２、受光素子４、及び光ファイバ５のそれぞれを位
置合わせして搭載し、図４に示すような反射用凹部に金
属薄膜を被着形成させた反射ミラー９を備えた光ファイ
バ押さえ板６を実装する。ここで、光ファイバ押さえ板
６は基板と同様な材質かガラス( 石英ガラスやソーダガ
ラス等) で作製する。熱膨張係数等の点からは基板と同
一材質で形成するのがよいが、加工性の点ではガラスが
望ましい。また、反射用凹部は受光素子４の受光部に集
光できるような凹面である。
【００１４】かくして、図５及び図６に示すように、面
発光素子３からの出射光のうち結合光２１は、基板１上
に形成した光ファイバ搭載溝に実装された光ファイバ５
を通して外部へ取り出す。また、面発光素子３からの出
射光のうち漏洩光２２、即ち光ファイバ５の一端部に結
合しない光の一部は、基板１上に設けられた台形溝３２
の底部に実装された受光素子４に直接入射し光出力がモ
ニタされる。また、漏洩光２２のうち直接受光素子４に
入射しない光の一部は、光ファイバ押さえ板６に設けた
凹面に形成した反射用凹部である反射ミラー９にて反射
され、その反射光２３が受光素子４に入射して光出力が
モニタされる。
発光素子３からの出射光のうち結合光２１は、基板１上
に形成した光ファイバ搭載溝に実装された光ファイバ５
を通して外部へ取り出す。また、面発光素子３からの出
射光のうち漏洩光２２、即ち光ファイバ５の一端部に結
合しない光の一部は、基板１上に設けられた台形溝３２
の底部に実装された受光素子４に直接入射し光出力がモ
ニタされる。また、漏洩光２２のうち直接受光素子４に
入射しない光の一部は、光ファイバ押さえ板６に設けた
凹面に形成した反射用凹部である反射ミラー９にて反射
され、その反射光２３が受光素子４に入射して光出力が
モニタされる。
【００１５】以上の構成をとることにより、光軸は基板
１表面に対して平行になるので表面実装型光モジュール
として好適に構成できる。また、受光素子４は光ファイ
バ５の一端部下面側に配設されている場合には、特に光
ファイバ５の一端部が先細に形成されていると、漏洩光
が光ファイバ５の端面で遮断されることがなく望まし
い。また、光ファイバ５のコア部は結合率を上げるため
に先球であることがよい。
１表面に対して平行になるので表面実装型光モジュール
として好適に構成できる。また、受光素子４は光ファイ
バ５の一端部下面側に配設されている場合には、特に光
ファイバ５の一端部が先細に形成されていると、漏洩光
が光ファイバ５の端面で遮断されることがなく望まし
い。また、光ファイバ５のコア部は結合率を上げるため
に先球であることがよい。
【００１６】次に、本発明をより具体化した光モジュー
ルについて説明する。
ルについて説明する。
【００１７】先ず、図３に示すように（１００）面を主
面とするシリコン単結晶から成る基板１上に、チップキ
ャリア位置決め用Ｖ溝３１、受光素子搭載用台形溝３
２、光ファイバ５搭載用Ｖ溝３３をＫＯＨ水溶液による
シリコン単結晶の異方性エッチングにて形成した。
面とするシリコン単結晶から成る基板１上に、チップキ
ャリア位置決め用Ｖ溝３１、受光素子搭載用台形溝３
２、光ファイバ５搭載用Ｖ溝３３をＫＯＨ水溶液による
シリコン単結晶の異方性エッチングにて形成した。
【００１８】次に、チップキャリア２の実装用、受光素
子４の実装用、及び駆動用電気配線４２を、上層／下層
の順でＴｉ／Ｐｔ／Ａｕにて基板１表面上に形成した。
チップキャリア２、受光素子４実装部にはＡｕ−Ｓｎ合
金はんだを形成した。
子４の実装用、及び駆動用電気配線４２を、上層／下層
の順でＴｉ／Ｐｔ／Ａｕにて基板１表面上に形成した。
チップキャリア２、受光素子４実装部にはＡｕ−Ｓｎ合
金はんだを形成した。
【００１９】次に、半導体レーザである面発光素子３を
アルミナにて形成したチップキャリア２に実装した。電
気的接続はワイヤボンディングにて行なった。
アルミナにて形成したチップキャリア２に実装した。電
気的接続はワイヤボンディングにて行なった。
【００２０】次に、チップキャリア２を基板１上に搭載
した。チップキャリア２に形成した位置合わせ用の突起
部４１と、基板１表面上に形成したチップキャリア位置
決め用Ｖ溝３１とあわせて実装を行なった。
した。チップキャリア２に形成した位置合わせ用の突起
部４１と、基板１表面上に形成したチップキャリア位置
決め用Ｖ溝３１とあわせて実装を行なった。
【００２１】次に、受光素子搭載用台形溝３２底部の所
定の位置にＧａＩｎＡｓＰ／ＩｎＰ等のフォトダイオー
ドである受光素子４を実装した。電気的接続はワイヤボ
ンディングにて行った。
定の位置にＧａＩｎＡｓＰ／ＩｎＰ等のフォトダイオー
ドである受光素子４を実装した。電気的接続はワイヤボ
ンディングにて行った。
【００２２】更に、光ファイバ５を光ファイバ搭載用Ｖ
溝３３に実装した。最後に、図４に示すようにあらかじ
め金蒸着を行い凹面に形成した反射ミラー９を有する光
ファイバ押さえ板６を搭載した。なお、光ファイバ押さ
え板６はガラス製とした。
溝３３に実装した。最後に、図４に示すようにあらかじ
め金蒸着を行い凹面に形成した反射ミラー９を有する光
ファイバ押さえ板６を搭載した。なお、光ファイバ押さ
え板６はガラス製とした。
【００２３】ここで、図７（ａ）、（ｃ）に示すよう
に、チップキャリア２に凸状部である突起部４１を設け
ることにより、図８（ａ）、図９（ａ）に示すように、
基板表面に平行な面において、光軸に対して垂直方向の
位置決めが可能となる。
に、チップキャリア２に凸状部である突起部４１を設け
ることにより、図８（ａ）、図９（ａ）に示すように、
基板表面に平行な面において、光軸に対して垂直方向の
位置決めが可能となる。
【００２４】また、図７（ｂ）、（ｄ）のように、チッ
プキャリア２に凸状部である突起部４１を設けることに
より、図８（ｂ）、図９（ｂ）に示すように、前記基板
表面に平行な面において、光軸に対して垂直方向と、光
軸方向に位置決めが可能となる。突起部４１の形状は、
前記基板１上に形成したチップキャリア位置決め用Ｖ溝
３１と断面形状が同一であるのが望ましいが、矩形でも
よい。
プキャリア２に凸状部である突起部４１を設けることに
より、図８（ｂ）、図９（ｂ）に示すように、前記基板
表面に平行な面において、光軸に対して垂直方向と、光
軸方向に位置決めが可能となる。突起部４１の形状は、
前記基板１上に形成したチップキャリア位置決め用Ｖ溝
３１と断面形状が同一であるのが望ましいが、矩形でも
よい。
【００２５】光ファイバ５の先端は、面発光素子３から
出射光のうち、結合効率を高くするために先球にし、漏
洩光２２の一部が光ファイバ５端面で反射しないように
テーパ形状（先細）にした。
出射光のうち、結合効率を高くするために先球にし、漏
洩光２２の一部が光ファイバ５端面で反射しないように
テーパ形状（先細）にした。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の光モジュ
ールによれば、押さえ板の下面に面発光素子からの出射
光を反射する反射用凹部を形成し、これに対向する基板
面に受光用凹部を形成し、これに反射用凹部からの反射
光及び面発光素子の出射光を受光する受光素子を配設し
たので、面発光素子の光軸よりずれた領域に、受光面を
光軸に対して平行になるように受光素子を配置すること
ができ、面発光素子からの出射光のうち、結合しない漏
洩光の一部を直接受光素子に入射させることができる。
そして、漏洩光のうち、直接受光素子に入射しない光の
一部は、反射用凹部により反射させ受光素子に反射光と
して入射させるので、必要な光量を犠牲にすることな
く、出射光の強度を確実にモニタすることができる。
ールによれば、押さえ板の下面に面発光素子からの出射
光を反射する反射用凹部を形成し、これに対向する基板
面に受光用凹部を形成し、これに反射用凹部からの反射
光及び面発光素子の出射光を受光する受光素子を配設し
たので、面発光素子の光軸よりずれた領域に、受光面を
光軸に対して平行になるように受光素子を配置すること
ができ、面発光素子からの出射光のうち、結合しない漏
洩光の一部を直接受光素子に入射させることができる。
そして、漏洩光のうち、直接受光素子に入射しない光の
一部は、反射用凹部により反射させ受光素子に反射光と
して入射させるので、必要な光量を犠牲にすることな
く、出射光の強度を確実にモニタすることができる。
【００２７】また、基板面に対して平行に光軸を配置
し、かつ容易に位置合わせできるので、簡単な構成で汎
用性の高い表面実装型の光モジュールを提供できる。
し、かつ容易に位置合わせできるので、簡単な構成で汎
用性の高い表面実装型の光モジュールを提供できる。
【図１】本発明に係る光モジュールの実施形態を模式的
に説明するための斜視図である。
に説明するための斜視図である。
【図２】本発明に係る光モジュールの実施形態を模式的
に説明するために一部を透視した斜視図であり、特に光
ファイバ押さえ板の下面側を透視した図である。
に説明するために一部を透視した斜視図であり、特に光
ファイバ押さえ板の下面側を透視した図である。
【図３】本発明の基板を模式的に説明する斜視図であ
る。
る。
【図４】本発明の光ファイバ押さえ板を模式的に説明す
る図であり、光ファイバが配置される側を上面とした斜
視図である。
る図であり、光ファイバが配置される側を上面とした斜
視図である。
【図５】本発明に係る光モジュールの実施形態を模式的
に説明するための図であり、光ファイバと面発光素子と
の光接続部の詳細を示す断面図である。
に説明するための図であり、光ファイバと面発光素子と
の光接続部の詳細を示す断面図である。
【図６】図５において一部を透視した平面透視図であ
る。
る。
【図７】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、面発光素子を搭載
するチップキャリアを模式的に説明する斜視図である。
するチップキャリアを模式的に説明する斜視図である。
【図８】（ａ），（ｂ）は、それぞれ面発光素子の搭載
の様子を模式的に説明する断面図である。
の様子を模式的に説明する断面図である。
【図９】（ａ），（ｂ）は、それぞれ図８（ａ），
（ｂ）における平面図である。
（ｂ）における平面図である。
【図１０】従来の光モジュールの一例を説明する一部断
面図である。
面図である。
【図１１】従来の他の光モジュールを説明する一部断面
図である。
図である。
１：基板 ２：チップキャリア ３：面発光素子 ４：受光素子 ５：光ファイバ ６：光ファイバ押さえ板 ７：リードフレーム ８：集光レンズ ９：反射ミラー（反射用凹部） １０：樹脂 １１：金属キャップ（封止体） １２：ガラス窓 １３：フェルール １４：フェルールホルダ ２１：結合光 ２２：漏洩光 ２３：反射光 ３１：チップキャリア位置決めＶ溝 ３２：台形溝（受光用凹部） ３３：光ファイバ搭載Ｖ溝 ４１：突起部 ４２：電気配線
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に、面発光素子、該面発光素子に
一端部を光接続させる光ファイバ、及び前記面発光素子
の出射光をモニタするための受光素子を設け、前記光フ
ァイバの一端部上面側を押さえ板で覆うように成した光
モジュールであって、前記押さえ板の下面に前記面発光
素子からの出射光を反射する反射用凹部を形成するとと
もに、該反射用凹部に対向する基板面に受光用凹部を形
成し、該受光用凹部に前記反射用凹部からの反射光及び
前記面発光素子の出射光を受光する受光素子を配設した
ことを特徴とする光モジュール。 - 【請求項２】 前記受光素子は前記光ファイバの一端部
下面側に配設されているとともに、前記光ファイバの一
端部が先細に形成されていることを特徴とする請求項１
に記載の光モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36921299A JP2001185753A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36921299A JP2001185753A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 光モジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001185753A true JP2001185753A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18493864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36921299A Pending JP2001185753A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 光モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001185753A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6973239B2 (en) | 2001-02-14 | 2005-12-06 | Nec Corporation | Optical semiconductor module equipped with a light monitor for monitoring signal light emitted from a light emitting element |
| JP2012093450A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Panasonic Corp | 光モジュール |
-
1999
- 1999-12-27 JP JP36921299A patent/JP2001185753A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6973239B2 (en) | 2001-02-14 | 2005-12-06 | Nec Corporation | Optical semiconductor module equipped with a light monitor for monitoring signal light emitted from a light emitting element |
| JP2012093450A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Panasonic Corp | 光モジュール |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5875205A (en) | Optoelectronic component and method for the manufacture thereof | |
| US5737467A (en) | Resin molded optical assembly | |
| US5566265A (en) | Transmission and reception module for a bidirectional, optical message and signal transmission | |
| US8827572B2 (en) | Side coupling optical fiber assembly and fabrication method thereof | |
| CA1309484C (en) | Electro-optical transducer module | |
| JP3179743B2 (ja) | フォトニクス装置の製造方法 | |
| JPH1082930A (ja) | 光モジュール，およびその製造方法 | |
| JP3167650B2 (ja) | 一体化鏡を備えた光検出器及びその作成方法 | |
| US6023546A (en) | Structure for securing optical device and fiber optics | |
| JP3731754B2 (ja) | 構成要素に導波管を結合するための方法および装置 | |
| JPH1126783A (ja) | 受光モジュールとその製造方法 | |
| US7254300B2 (en) | Optical module and mounting component | |
| JP3168297B2 (ja) | 光学素子取り付け方法 | |
| KR19980045943A (ko) | 하이브리드 광집적회로용 마이크로 거울, 그의 제조방법, 마이크로 거울-광검출기 어셈블리 및 광수신용 하이브리드 광집적회로 어셈블리 | |
| JP2721047B2 (ja) | 半導体デバイス用サブマウントおよび半導体光デバイスモジュール | |
| JPH07199006A (ja) | 光サブアセンブリ及び光モジュール | |
| JPH1123913A (ja) | 受光モジュール | |
| JP2001185753A (ja) | 光モジュール | |
| US20050232547A1 (en) | Active optical alignment and attachment thereto of an optical component with an optical element formed on a planar lightwave circuit | |
| JP3032376B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP3295327B2 (ja) | 双方向光モジュール | |
| JP2002258115A (ja) | 光モジュール | |
| JP3090335B2 (ja) | 光半導体モジュール | |
| JPH07209560A (ja) | 光モジュール | |
| KR930000985B1 (ko) | 광섬유 부착 수광소자 모듈 제작법 |