JPH09103748A - Disk washer - Google Patents

Disk washer

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Publication number
JPH09103748A
JPH09103748A JP7289186A JP28918695A JPH09103748A JP H09103748 A JPH09103748 A JP H09103748A JP 7289186 A JP7289186 A JP 7289186A JP 28918695 A JP28918695 A JP 28918695A JP H09103748 A JPH09103748 A JP H09103748A
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JP
Japan
Prior art keywords
brush
disk
cleaning liquid
roll
cleaning
Prior art date
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Pending
Application number
JP7289186A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hisayoshi Ichikawa
久賀 市川
Kazuyoshi Ogasawara
和義 小笠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP7289186A priority Critical patent/JPH09103748A/en
Publication of JPH09103748A publication Critical patent/JPH09103748A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly and surely remove a solid matter such as polishing powder from the surface of an annular member to outside during washing and thereby prevent the surface from being damaged by rotating a brush in such a state that the solid matter is stuck. SOLUTION: When a brush 12 constituting a roll brush 10 is rotated while being abutted on a disk 1, the brush 12 is slid over the disk 1, thereby stains and foreign matter stuck on the surface of the disk 1 are removed. Besides, the brush 12 is provided with a spiral groove 35 on the outer peripheral surface thereof, and when a washing liquid is fed from the inside of brush 12, while the brush 12 of the roll brush 10 is abutted on the disk 1 and is rotated, the flow of the washing in the axial direction of the roll brush 10 is formed and the solid matter is carried following the flow of the washing liquid and is transferred to the inside or outside diameter side of the disk 1 and is discharged to outside.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク,光
ディスクその他の円環状部材を洗浄するためのディスク
洗浄装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk cleaning device for cleaning a magnetic disk, an optical disk and other annular members.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスクの製造工程においては、表
面研磨加工等の工程があることから、磁性体塗膜の塗布
の前後に拘らず、頻繁に洗浄が行われる。この磁気ディ
スクの洗浄方式としては、超音波洗浄方式,ブラシ洗浄
方式等が知られている。これらのうちブラシ洗浄方式
は、ディスクを回転させる間に、その表面にブラシを当
接させ、このブラシに洗浄液を供給しながらディスクの
表面に摺接させることによりディスクの表面に付着して
いる異物や油膜等を除去する。
2. Description of the Related Art Since a magnetic disk manufacturing process includes a surface polishing process and the like, cleaning is frequently performed before and after the coating of a magnetic coating film. As a cleaning method for this magnetic disk, an ultrasonic cleaning method, a brush cleaning method, etc. are known. Among them, the brush cleaning method is a method in which a brush is brought into contact with the surface of the disk while the disk is being rotated, and the cleaning liquid is supplied to the brush to make sliding contact with the surface of the disk. Remove the oil film.

【0003】ブラシ洗浄方式に使用されるブラシは、円
板状ブラシ,カップ状ブラシ,ロールブラシその他の構
造のものがある。いずれのものにあっても、ブラシを回
転させるようになし、このブラシの回転に追従してディ
スクを回転させるか、またはディスクを回転駆動する。
ロールブラシは、回転軸にスポンジ等のブラシを嵌合・
固着して設けたものであり、回転軸を駆動手段に連結す
るか、または回転自在に支承させるように構成する。ブ
ラシの全長はディスクの内径から外径に至る幅より長い
寸法を持たせる。ディスクを、その外径部または内径部
を回転自在にチャックさせて、ブラシをディスクの半径
方向に向けた状態でその幅全体を覆うように当接させ
る。ここで、ブラシはディスクの表裏両面に当接させ
て、回転軸を回転駆動すれば、ブラシを回転させれば、
ブラシがディスクに対して摺動すると共に、このブラシ
のディスクに対する摺動によりディスクが回転駆動され
る。また、ディスクをスピンドルにより回転駆動する構
成とした場合には、ブラシは回転自在に支承させること
により、ディスクの回転に追従してブラシも回転する。
洗浄液は、ブラシの外部から供給できるし、またブラシ
の内部からも供給することができ、これによりディスク
の表裏両面が同時に、隈なく洗浄される。
Brushes used in the brush cleaning system include disk-shaped brushes, cup-shaped brushes, roll brushes and other structures. In either case, the brush is rotated, and the disk is rotated or the disk is driven to rotate following the rotation of the brush.
For the roll brush, fit a brush such as sponge on the rotating shaft.
It is fixedly provided, and the rotary shaft is connected to the drive means or is rotatably supported. The total length of the brush is longer than the width from the inner diameter to the outer diameter of the disc. The disc is rotatably chucked at its outer diameter portion or inner diameter portion, and is brought into contact with the brush so as to cover the entire width thereof while the brush is directed in the radial direction. Here, if the brush is brought into contact with both the front and back surfaces of the disc and the rotary shaft is driven to rotate, the brush is rotated,
The brush slides on the disc, and the sliding of the brush on the disc drives the disc to rotate. Further, when the disk is driven to rotate by the spindle, the brush is rotatably supported so that the brush also rotates following the rotation of the disk.
The cleaning liquid can be supplied from the outside of the brush or from the inside of the brush, so that both the front and back surfaces of the disk are simultaneously and thoroughly cleaned.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ディスクに付着してい
る汚れとしては、油膜等のように非固形物と、研磨粉等
の微粉状の固形物とがある。非固形物による汚れは、ブ
ラシのディスク表面への摺動により円滑に除去できる。
また、固形物もブラシを摺接させることにより、ディス
クの表面から引き離して、洗浄液の流れにより外部に排
出される。ただし、ブラシは回転運動を行うのみである
から、固形物がブラシに付着すると、このブラシが1回
転した時に、再びディスクと接触することになる。ブラ
シのディスクへの押し付け力により、固形物がブラシに
食い込まれるようになると、ブラシが1回転する毎に、
この固形物がディスクの表面に押し付けられて、引っ掻
き傷を付ける等といった問題点がある。
The dirt adhering to the disk includes non-solid matter such as an oil film and fine powdery solid matter such as polishing powder. Contamination due to non-solid matter can be smoothly removed by sliding the brush on the disk surface.
Further, the solid matter is also separated from the surface of the disk by sliding the brush into contact therewith, and is discharged to the outside by the flow of the cleaning liquid. However, since the brush only makes a rotational motion, if solid matter adheres to the brush, it will come into contact with the disk again when the brush makes one revolution. When the solid material comes into the brush due to the pressing force of the brush against the disk, each time the brush rotates once,
This solid material is pressed against the surface of the disk, causing scratches and the like.

【0005】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、ロールブラシにより
円環状部材を洗浄するに当って、円環状部材の表面から
研磨粉等の固形物を外部に迅速かつ確実に排除でき、円
環状部材の表面に傷が付くのを防止できるようにするこ
とにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to wash solids such as abrasive powder from the surface of the annular member when cleaning the annular member with a roll brush. The object is to be able to remove the object to the outside quickly and surely and to prevent the surface of the annular member from being scratched.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、円環状部材にロールブラシを摺接さ
せて、洗浄液を供給しながら、この円環状部材を回転さ
せることによって、円環状部材の表面を洗浄するもので
あって、このブラシの外周面に螺旋状の溝を形成したこ
とをその特徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, according to the present invention, a roll brush is slidably contacted with an annular member to rotate the annular member while supplying a cleaning liquid. This is for cleaning the surface of an annular member, and is characterized in that a spiral groove is formed on the outer peripheral surface of this brush.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】ロールブラシにより円環状部材の
表面に摺接させて、その洗浄を行う際に、ブラシに固形
物が付着すると、この固形物はブラシに保持されたまま
1回転すると、再びディスクと接触することになり、特
に固形物がブラシから離れず、それに食い込まれると、
ブラシが1回転する毎に、この固形物がディスクと摺接
して、ディスクの表面に微小ではあるが、引っ掻き傷等
を作るようになる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION When a roll brush is brought into sliding contact with the surface of an annular member to wash it, if solid matter adheres to the brush, the solid matter is held once by the brush and makes one revolution. It will come into contact with the disc again, especially if solids do not leave the brush and bite into it,
Each time the brush makes one rotation, this solid substance makes sliding contact with the disk, and scratches or the like are produced on the surface of the disk although they are minute.

【0008】ブラシに固形物が付着した時に、それを保
持することなく、ブラシの軸線方向に移動させる力を及
ぼさせる。これによって、固形物がブラシに食い込まれ
ることなく、速やかに外部に排出することができる。こ
のために、洗浄時に供給される洗浄液に流れを作り、固
形物をこの流れに搬送させる。この洗浄液の流れは、ブ
ラシの回転軸線と直交する方向に形成しても、ブラシに
付着する固形物の排除という点ではあまり意味がなく、
ブラシの回転軸線方向に向く流れを形成する必要があ
る。
When a solid substance adheres to the brush, a force is applied to move the solid substance in the axial direction of the brush without holding it. As a result, the solid matter can be quickly discharged to the outside without being bitten by the brush. For this purpose, a flow is created in the cleaning liquid supplied at the time of cleaning, and the solid matter is transported to this flow. Even if the flow of the cleaning liquid is formed in the direction orthogonal to the rotation axis of the brush, it has no significant meaning in terms of removing solid matter attached to the brush.
It is necessary to create a flow that is oriented in the direction of the axis of rotation of the brush.

【0009】洗浄時には、ディスクはチャック部材によ
り内径または外径がチャックされて、鉛直状態に保持さ
れ、ロールブラシは水平方向に延在するように配置する
のが一般的である。そこで、本発明においては、ロール
ブラシを構成するブラシの外面に螺旋状の溝を形成し
た。これによって、ロールブラシを円環状部材に当接さ
せた状態で、洗浄液を供給しながらこのロールブラシを
直接またはディスクに追従させて回転させると、供給さ
れた洗浄液は溝に沿った方向の流れが形成され、ロール
ブラシにおける回転軸の軸線方向に向けた洗浄液が流れ
る。洗浄時に、円環状部材からブラシに固形物が移行し
て、このブラシに付着したとしても、この固形物はブラ
シに設けた溝により形成される洗浄液の流れに搬送され
て、ディスクの内径側または外径側に向けて移動するこ
とになるから、ブラシに食い込むことがなくなり、迅速
かつ円滑に外部に排出され、円環状部材に対して引っ掻
き傷等を発生させるような不都合は生じない。
During cleaning, the disc is generally held in a vertical state by chucking the inner or outer diameter by a chuck member, and the roll brush is generally arranged so as to extend in the horizontal direction. Therefore, in the present invention, a spiral groove is formed on the outer surface of the brush forming the roll brush. As a result, when the roll brush is brought into contact with the annular member and is rotated while directly supplying the cleaning liquid or following the disc while supplying the cleaning liquid, the supplied cleaning liquid has a flow in the direction along the groove. The cleaning liquid thus formed flows in the direction of the axis of the rotating shaft of the roll brush. At the time of cleaning, even if solid matter is transferred from the annular member to the brush and adheres to this brush, this solid matter is conveyed to the flow of the cleaning liquid formed by the groove provided in the brush, and the inner diameter side of the disk or Since it moves toward the outer diameter side, it does not bite into the brush, it is quickly and smoothly discharged to the outside, and there is no inconvenience of causing scratches or the like on the annular member.

【0010】ロールブラシを回転させるには、このロー
ルブラシの回転軸をモータ等の回転駆動手段に接続する
ことにより直接回転させるように構成することができ
る。ロールブラシを回転駆動すると、ディスクはこれに
追従して回転する。これとは反対に、ディスクをスピン
ドルに装着して、このスピンドルによりディスクを回転
駆動するように構成することも可能である。ディスクを
回転させると、その表面に摺接しているロールブラシに
回転力が伝達されて、ロールブラシが追従回転すること
になる。いずれの方式によるにしろ、ロールブラシには
洗浄液を供給するが、洗浄液は外部からシャワー状にし
て供給することもできるが、これに代えて、または外部
から洗浄液の供給と共に、このロールブラシの回転軸に
洗浄液供給路を設けて、この回転軸を介してブラシの内
部側から洗浄液を流し出すように構成するのが好まし
い。これによって、ブラシの内部側から供給された洗浄
液により螺旋状の溝に沿う方向の流れが促進されて、固
形物等はより確実に排除でき、また洗浄液がブラシと接
触した後に直ちに排出されるのではなく、螺旋状の溝に
沿って流れる間は、ある程度保持されることになるか
ら、少ない量の洗浄液で、効率的な洗浄を行える。
In order to rotate the roll brush, the rotary shaft of the roll brush may be connected to a rotary drive means such as a motor so that the roll brush is directly rotated. When the roll brush is driven to rotate, the disk follows the rotation. On the contrary, it is also possible to mount the disk on a spindle and drive the disk to rotate by this spindle. When the disc is rotated, the rotational force is transmitted to the roll brush that is in sliding contact with the surface of the disc, and the roll brush follows and rotates. Whichever method is used, the cleaning liquid is supplied to the roll brush, but the cleaning liquid can be supplied in the form of a shower from the outside, but instead of this or with the supply of the cleaning liquid from the outside, the rotation of the roll brush is performed. It is preferable that a cleaning liquid supply path is provided on the shaft so that the cleaning liquid is flown out from the inside of the brush via the rotary shaft. As a result, the cleaning liquid supplied from the inner side of the brush promotes the flow in the direction along the spiral groove, so that solid matters can be more reliably removed, and the cleaning liquid is immediately discharged after coming into contact with the brush. Rather, since it is retained to some extent while flowing along the spiral groove, a small amount of cleaning liquid enables efficient cleaning.

【0011】[0011]

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例につい
て説明する。而して、図1乃至図4は第1の実施例に関
するものであり、また図5は第2の実施例に関するもの
である。第1の実施例において、図1は洗浄装置の全体
構成を、図2はロールブラシの断面を、図3は洗浄状態
のロールブラシを、さらに図4にはロールブラシの回転
駆動機構の構成を、それぞれ示す。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Therefore, FIGS. 1 to 4 relate to the first embodiment, and FIG. 5 relates to the second embodiment. In the first embodiment, FIG. 1 shows the entire structure of the cleaning device, FIG. 2 shows the cross section of the roll brush, FIG. 3 shows the roll brush in the cleaning state, and FIG. 4 shows the structure of the rotary drive mechanism of the roll brush. , Respectively.

【0012】まず、図1において、1は円環状部材とし
ての磁気ディスクや、光ディスク等からなるディスクで
あって、このディスク1は、その外径部を、3つのチャ
ック駒2a,2b,2cからなるチャック手段に回転自
在に支承されている。ここで、3個のチャック駒2a〜
2cのうち、上部位置に設けたチャック駒2aは可動の
チャック駒であり、他の2つのチャック駒2b,2cは
固定のチャック駒である。可動のチャック駒2aは、シ
リンダ,カム等の駆動手段により、図中の実線の位置
(チャック位置)と仮想線の位置(チャック解除位置)
との間に変位できるようになっている。
First, in FIG. 1, reference numeral 1 denotes a disk composed of a magnetic disk or an optical disk as an annular member, and the disk 1 has an outer diameter portion from three chuck pieces 2a, 2b, 2c. Is rotatably supported by the chuck means. Here, the three chuck pieces 2a-
Of the 2c, the chuck piece 2a provided at the upper position is a movable chuck piece, and the other two chuck pieces 2b and 2c are fixed chuck pieces. The movable chuck piece 2a is driven by a driving means such as a cylinder or a cam, and the position of the solid line (chuck position) and the position of the virtual line (chuck release position) in the figure.
It can be displaced between and.

【0013】従って、洗浄すべきディスク1は、チャッ
ク駒2aをチャック解除位置とした状態で、適宜のハン
ドリング手段によって、チャック駒2b,2cに当接さ
せて、チャック駒2aを下降させて、チャック位置に変
位させることにより、3個のチャック駒2a〜2cによ
り、ディスク1をチャックさせた後に、ハンドリング手
段を退避させる。これによって、ディスク1はチャック
手段により回転自在に支承される。ここで、ディスク1
は、チャック駒2a〜2cによりチャックさせた状態で
は、その姿勢は鉛直状態になる。
Therefore, the disc 1 to be cleaned is brought into contact with the chuck pieces 2b and 2c by an appropriate handling means with the chuck piece 2a in the chuck release position, and the chuck piece 2a is lowered to chuck. When the disc 1 is chucked by the three chuck pieces 2a to 2c by being displaced to the position, the handling means is retracted. As a result, the disc 1 is rotatably supported by the chuck means. Where disk 1
In the state of being chucked by the chuck pieces 2a to 2c, the posture is vertical.

【0014】次に、10は一対からなるロールブラシで
あり、ロールブラシ10は、図2からも明らかなよう
に、回転軸11に円筒状に形成したスポンジ等からなる
ブラシ12を嵌合・固定したものであり、このブラシ1
2の軸線方向の長さはディスク1の半径方向の幅、即ち
内径から外径までの長さ寸法より長いものである。な
お、ロールブラシ、回転軸及びブラシはそれぞれ一対か
ら構成されて、ディスク1の表裏両面に当接するもので
あり、表裏のロールブラシについて個別的に言及する場
合には、それぞれの符号に[a]及び[b]の添字を付
する。而して、図3に示したように、ロールブラシ10
a及び10bは、それぞれディスク1の外径側から中心
に向けて水平方向に延在されて、ディスク1の表面側及
び裏面側に当接して、ディスク1は、図3に示したよう
に、両ロールブラシ10a,10bにより挟み込まれ
る。
Next, 10 is a pair of roll brushes. As is apparent from FIG. 2, the roll brush 10 is fitted and fixed with a brush 12 made of sponge or the like formed in a cylindrical shape on the rotating shaft 11. This brush 1
The axial length of 2 is longer than the radial width of the disk 1, that is, the length from the inner diameter to the outer diameter. It should be noted that the roll brush, the rotary shaft, and the brush are made up of a pair, and are in contact with both the front and back surfaces of the disk 1. When referring to the front and back roll brushes individually, the respective symbols are [a]. And the subscripts of [b]. Thus, as shown in FIG. 3, the roll brush 10
a and 10b respectively extend in the horizontal direction from the outer diameter side of the disc 1 toward the center, and abut on the front surface side and the back surface side of the disc 1, and the disc 1 is, as shown in FIG. It is sandwiched by both roll brushes 10a and 10b.

【0015】ロールブラシ10の回転軸11の基端側の
部位は、軸受ユニット13に回転自在に挿通されており
この軸受ユニット13は、回動軸14に連結され、モー
タ,カム等の駆動手段により所定角度往復回動する回動
ブロック15に垂設したアーム16に連結されている。
一対からなるロールブラシ10のうち、図4から明らか
なように、表面側のローラブラシ10a側の回転軸11
aは、軸受ブロック13を貫通して延び、その先端には
従動プーリ17が、またこの従動プーリ17と軸受ブロ
ック13との間の部位には、駆動ギア18が取り付けら
れている。これに対して、裏面側のロールブラシ10b
の回転軸11bは、軸受ブロック13を貫通して延びる
が、その端部には駆動ギア18に噛合する従動ギア19
が装着されている。さらに、回動ブロック15には、モ
ータ20が装着されており、このモータ20の駆動軸2
0aには、駆動プーリ21が取り付けられ、駆動プーリ
21と従動プーリ17との間には、伝達ベルト22が巻
回して設けられている。これによって、モータ20を作
動させると、表面側のローラブラシ10aが回転すると
共に、裏面側のローラブラシ10bは、これとは反対方
向に回転することになる。
A portion of the roll brush 10 on the base end side of the rotary shaft 11 is rotatably inserted into a bearing unit 13. The bearing unit 13 is connected to a rotary shaft 14 and a driving means such as a motor or a cam. Is connected to an arm 16 vertically provided on a rotating block 15 which is reciprocally rotated by a predetermined angle.
Of the pair of roll brushes 10, as is apparent from FIG. 4, the rotary shaft 11 on the surface side roller brush 10a side.
The reference character “a” extends through the bearing block 13, a driven pulley 17 is attached to the tip thereof, and a drive gear 18 is attached to a portion between the driven pulley 17 and the bearing block 13. On the other hand, the back side roll brush 10b
The rotary shaft 11b of the driven gear 19 extends through the bearing block 13 and has a driven gear 19 meshing with the drive gear 18 at its end.
Is installed. Further, a motor 20 is mounted on the rotation block 15, and the drive shaft 2 of the motor 20 is attached.
A drive pulley 21 is attached to the drive pulley 0a, and a transmission belt 22 is wound around the drive pulley 21 and the driven pulley 17. As a result, when the motor 20 is operated, the roller brush 10a on the front surface side rotates and the roller brush 10b on the rear surface side rotates in the opposite direction.

【0016】回動ブロック15を図1の仮想線で示した
状態にすることによって、ハンドリング手段からディス
ク1をチャック駒2a〜2cへの移載が可能となり、ま
た同図に実線で示した状態に変位させると、ディスク1
の表裏両面には、その半径方向の幅の全長にわたってロ
ールブラシ10a,10bのブラシ12a,12bが当
接する。そして、モータ20を作動させて、ロールブラ
シ10a,10bの回転軸11a,11bを回転駆動す
ると、これらロールブラシ10a,10bは、図3に矢
印で示したように、相互に反対方向に回転することにな
り、ディスク1の表裏両面に対して摺動することにな
る。そして、これら両ロールブラシ10a,10bの回
転によって、ディスク1が回転駆動されることになり、
ディスク1に格別の駆動機構を持たせなくとも、ディス
ク1の全面に対して、隈なくブラシ洗浄を行うことがで
きる。なお、ディスク1を独立の回転駆動手段に接続す
るように構成しても良い。
By placing the rotary block 15 in the state shown by the phantom line in FIG. 1, the disc 1 can be transferred from the handling means to the chuck pieces 2a to 2c, and the state shown by the solid line in FIG. When displaced to
The brushes 12a and 12b of the roll brushes 10a and 10b are in contact with both the front and back surfaces over the entire length in the radial direction thereof. Then, when the motor 20 is operated to rotationally drive the rotary shafts 11a and 11b of the roll brushes 10a and 10b, the roll brushes 10a and 10b rotate in mutually opposite directions, as indicated by arrows in FIG. As a result, the disk 1 slides on both front and back surfaces. The disk 1 is rotationally driven by the rotation of the roll brushes 10a and 10b.
Even if the disc 1 does not have a special drive mechanism, the entire surface of the disc 1 can be brush-cleaned thoroughly. The disc 1 may be connected to an independent rotation drive means.

【0017】ディスク1の洗浄時には、洗浄液が供給さ
れる。この洗浄液の供給経路は2つある。まず第1の供
給経路は、ディスク1のロールブラシ10におけるブラ
シ12の摺接面に向けて外部から洗浄液を供給するもの
であり、また第2の供給経路は、ブラシ12の内部に洗
浄液を供給するものである。外部から洗浄液を供給する
ために、図1に示したように、適宜の部位に装着した洗
浄液ノズル30が用いられる。また、ブラシ12の内部
に洗浄液を供給するために、回転軸11の端部にはスイ
ベルジョイント31が連結されており、このスイベルジ
ョイント31によって、固定側の洗浄液配管32から洗
浄時に回転する回転軸11に洗浄液を供給できるように
なっている。
At the time of cleaning the disk 1, a cleaning liquid is supplied. There are two supply paths for this cleaning liquid. First, the first supply path supplies the cleaning liquid from the outside toward the sliding contact surface of the brush 12 of the roll brush 10 of the disc 1, and the second supply path supplies the cleaning liquid inside the brush 12. To do. In order to supply the cleaning liquid from the outside, as shown in FIG. 1, a cleaning liquid nozzle 30 attached to an appropriate portion is used. A swivel joint 31 is connected to the end of the rotary shaft 11 in order to supply the cleaning liquid to the inside of the brush 12. The swivel joint 31 allows the rotary shaft that rotates from the fixed-side cleaning liquid pipe 32 during cleaning. A cleaning liquid can be supplied to 11.

【0018】スイベルジョイント31により洗浄液配管
32から供給された洗浄液は、図4から明らかなよう
に、回転軸11に、その軸線方向に延在させた洗浄液通
路33内に供給される。そして、洗浄液通路33には、
多数の噴出路34の一端が開口しており、この噴出路3
4の他端は、回転軸11の周胴面に開口している。噴出
路34は、回転軸11におけるブラシ12を嵌合させた
部位のほぼ全長にわたり、また円周方向においては、9
0°毎,60°毎等というように、実質的に全周にわた
って設けられる。
The cleaning liquid supplied from the cleaning liquid pipe 32 by the swivel joint 31 is supplied into the cleaning liquid passage 33 extending in the axial direction of the rotary shaft 11 as is apparent from FIG. Then, in the cleaning liquid passage 33,
One end of the large number of ejection paths 34 is open, and the ejection paths 3
The other end of 4 is open to the peripheral barrel surface of the rotating shaft 11. The jet passage 34 extends over substantially the entire length of the portion of the rotating shaft 11 where the brush 12 is fitted, and in the circumferential direction,
It is provided over substantially the entire circumference, such as every 0 ° or every 60 °.

【0019】以上のように構成することによって、回動
ブロック15を図1の仮想線で示した位置に変位させ
て、ディスク1をチャック駒2a〜2cによりチャック
させ、次いで回動ブロック15を実線で示した位置に変
位させて、両ロールブラシ10a,10bのブラシ12
a,12bによりディスク1を挾持させる。ここで、ブ
ラシ12a,12bでディスク1を挾持した時に、ブラ
シ12a,12bはある程度扁平化されるように、押し
付け力を発揮させる。これによって、ブラシ12a,1
2bはディスク1の表裏両面に所定の幅で面接触する。
この状態で、モータ20を作動させて、回転軸11a,
11bを回転駆動し、かつ洗浄液ノズル30から洗浄液
をブラシ12a,12bとディスク1との摺接部に供給
し、また洗浄液配管32からスイベルジョイント31を
介して洗浄液通路33にも洗浄液を供給して、噴出路3
4から洗浄液をブラシ12a,12b内に供給する。
With the above construction, the rotary block 15 is displaced to the position shown by the phantom line in FIG. 1, the disk 1 is chucked by the chuck pieces 2a to 2c, and then the rotary block 15 is shown by the solid line. The brush 12 of both roll brushes 10a and 10b is displaced to the position shown by
The disk 1 is held by a and 12b. Here, the pressing force is exerted so that the brushes 12a and 12b are flattened to some extent when the disk 1 is held by the brushes 12a and 12b. Thereby, the brushes 12a, 1
The surface 2b is in surface contact with both sides of the disk 1 with a predetermined width.
In this state, the motor 20 is operated to rotate the rotating shaft 11a,
11b is rotationally driven, and the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid nozzle 30 to the sliding contact portion between the brushes 12a and 12b and the disk 1, and the cleaning liquid is also supplied from the cleaning liquid pipe 32 to the cleaning liquid passage 33 via the swivel joint 31. , Spout 3
4, the cleaning liquid is supplied into the brushes 12a and 12b.

【0020】ロールブラシ10の回転により、そのブラ
シ12がディスク1と摺動することになり、これによっ
てディスク1の表面に付着する汚れや異物が除去され
る。また、ロールブラシ10の回転力がチャック駒2a
〜2cに回転自在にチャックされているディスク1に伝
達されるから、ディスク1は、格別の駆動手段に接続し
なくとも回転するようになり、従ってディスク1の表裏
両面全体が隈なくブラシ洗浄される。
The rotation of the roll brush 10 causes the brush 12 to slide on the disk 1, thereby removing dirt and foreign matter adhering to the surface of the disk 1. Further, the rotational force of the roll brush 10 is the chuck piece 2a.
Since it is transmitted to the disk 1 which is rotatably chucked by ~ 2c, the disk 1 can be rotated even if it is not connected to any special driving means, so that the entire front and back surfaces of the disk 1 are thoroughly brush-cleaned. It

【0021】ここで、ロールブラシ10におけるブラシ
12は、その外周面に螺旋状の溝35が設けられてい
る。この溝35は、洗浄液の流れを生じさせるためのも
のであり、この溝35は、所定の溝幅,深さ及びピッチ
を有している。溝幅及びピッチについては、特に限定さ
れないが、洗浄液の流れの形成及びブラシ12のディス
ク1への摺接面積の確保という2つの観点から適宜設定
される。即ち、溝幅を広くすると共にピッチを短くすれ
ば、洗浄液の流れをより確実に形成できるが、ブラシ1
2のディスク1への摺接面積が減少する。溝幅を狭く
し、かつピッチを長くすると、ブラシ12の接触面積が
大きくなるが、洗浄液の流れが弱くなる。溝幅及びピッ
チは、ディスク1の洗浄がどの段階で行われるものか、
等に基づいて決定できる。また、洗浄時にはブラシ12
はディスク1に押し付けられてある程度撓むが、このよ
うにブラシ12が撓められても、なおディスク1の表面
と溝35の溝底との間に空間ができる程度に溝の深さを
持たせる必要はある。
Here, the brush 12 of the roll brush 10 is provided with a spiral groove 35 on the outer peripheral surface thereof. The groove 35 is for causing the flow of the cleaning liquid, and the groove 35 has a predetermined groove width, depth and pitch. The groove width and the pitch are not particularly limited, but are appropriately set from two viewpoints of forming a flow of the cleaning liquid and ensuring a sliding contact area of the brush 12 with the disk 1. That is, if the groove width is wide and the pitch is short, the flow of the cleaning liquid can be formed more reliably.
The sliding contact area of the disk 2 with the disk 1 is reduced. When the groove width is made narrow and the pitch is made long, the contact area of the brush 12 becomes large, but the flow of the cleaning liquid becomes weak. As for the groove width and pitch, at what stage the cleaning of the disk 1 is performed,
Etc. based on the above. Also, when cleaning, brush 12
Is pressed to the disk 1 and bends to some extent, but even if the brush 12 is bent in this way, the groove depth is large enough to form a space between the surface of the disk 1 and the groove bottom of the groove 35. It is necessary to let it.

【0022】このように、ロールブラシ10を構成する
ブラシ12の外周面に螺旋状の溝35を形成することに
よって、ロールブラシ10のブラシ12をディスク1に
当接させて、それを回転させながら、ブラシ12の内側
から洗浄液を供給すると、洗浄液は、このロールブラシ
10の軸線方向に向けての流れが形成される。ディスク
1に研磨粉等のような微粉状の固形物が付着していて
も、この固形物は洗浄液の流れに搬送され、ブラシ12
に付着したまま残ることはない。従って、固形物は、ロ
ールブラシ10の回転方向によって、ディスク1の内径
より内側または外径より外側にまで迅速かつ確実に搬送
されて、外部に排出される。従って、ブラシ12に固形
物が付着して、1回転した時に、ディスク1の表面と再
び接触することにより、このディスク1の表面に引っ掻
き傷等が発生する等といった不都合は確実に防止でき
る。
Thus, by forming the spiral groove 35 on the outer peripheral surface of the brush 12 constituting the roll brush 10, the brush 12 of the roll brush 10 is brought into contact with the disk 1 and is rotated. When the cleaning liquid is supplied from the inside of the brush 12, the cleaning liquid forms a flow in the axial direction of the roll brush 10. Even if a fine powdery solid substance such as polishing powder adheres to the disk 1, this solid substance is conveyed to the flow of the cleaning liquid, and the brush 12
It does not remain attached to the. Therefore, the solid matter is quickly and surely conveyed to the inside of the inner diameter of the disc 1 or the outside of the outer diameter thereof according to the rotating direction of the roll brush 10, and is discharged to the outside. Therefore, it is possible to reliably prevent the inconvenience that scratches or the like are generated on the surface of the disk 1 due to the solid matter being attached to the brush 12 and coming into contact with the surface of the disk 1 again after one rotation.

【0023】また、洗浄液はロールブラシ10の軸線方
向に流れるが、洗浄時には、ディスク1は鉛直状態に保
持され、またロールブラシ10は水平方向に延在されて
いるから、洗浄液の流れ方向は重力に逆らうようにな
り、このような流れが形成されることにより、ロールブ
ラシ10により洗浄液を保持できるようになるから、少
ない量の洗浄液でより効率的な洗浄が可能となる。
Further, the cleaning liquid flows in the axial direction of the roll brush 10, but at the time of cleaning, the disk 1 is held in the vertical state and the roll brush 10 is extended in the horizontal direction. The cleaning liquid can be held by the roll brush 10 due to the formation of such a flow, which enables more efficient cleaning with a small amount of cleaning liquid.

【0024】次に、図5に本発明の第2の実施例を示
す。この実施例においては、ディスク1を回転駆動する
ように構成している。而して、図中において、40はス
ピンドルであって、このスピンドル40には、クランプ
部材41が着脱可能に連結されるようになっており、ス
ピンドル40にディスク1の内周を嵌合させて、クラン
プ部材41をスピンドル40に嵌合させることによっ
て、ディスク1を固定的に保持できるようになってい
る。従って、スピンドル40を回転駆動すると、それと
共にディスク1が回転することになる。
Next, FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the disk 1 is configured to be rotationally driven. In the figure, reference numeral 40 denotes a spindle, and a clamp member 41 is detachably connected to the spindle 40. The inner circumference of the disk 1 is fitted to the spindle 40. The disc 1 can be fixedly held by fitting the clamp member 41 to the spindle 40. Therefore, when the spindle 40 is driven to rotate, the disk 1 also rotates with it.

【0025】ロールブラシ42は一対からなり、これら
のロールブラシ42はディスク1の表裏両面に接離する
ようになっている。ロールブラシ42は回転軸43にブ
ラシ44を装着してなるものであり、このブラシ44の
外周面に螺旋状の溝45が形成されている。回転軸43
は相互に近接・離間する方向に変位可能なアーム46に
軸受47を介して回転自在に支承されている。ここで、
ロールブラシ42は、第1の実施例のロールブラシ10
と同様に、内部から洗浄液が供給されるものであり、こ
のために回転軸43は端部が閉塞した中空の部材で構成
されて、その内部に形成される洗浄液通路(図示せず)
には、スイベルジョイント48を介して洗浄液配管49
が接続されている。また、回転軸43の周胴部には多数
の噴出路が設けられている。これらロールブラシ42へ
の洗浄液の供給経路については、前述した第1の実施例
のものと格別変わるものではないので、その図示及び詳
細な説明は省略する。
The roll brushes 42 are composed of a pair, and these roll brushes 42 are arranged so as to come into contact with and separate from both front and back surfaces of the disc 1. The roll brush 42 is formed by mounting a brush 44 on a rotating shaft 43, and a spiral groove 45 is formed on the outer peripheral surface of the brush 44. Rotating shaft 43
Are rotatably supported by bearings 47 on arms 46 which are displaceable in the directions of approaching and separating from each other. here,
The roll brush 42 is the roll brush 10 of the first embodiment.
Similarly to the above, the cleaning liquid is supplied from the inside, and for this reason, the rotary shaft 43 is composed of a hollow member whose end is closed, and a cleaning liquid passage (not shown) is formed inside thereof.
Through the swivel joint 48 to the cleaning liquid pipe 49.
Is connected. Further, a large number of ejection paths are provided in the peripheral body portion of the rotating shaft 43. The supply path of the cleaning liquid to the roll brushes 42 is not particularly different from that of the first embodiment described above, and therefore its illustration and detailed description are omitted.

【0026】以上のように、ロールブラシ42を回転自
在となし、ディスク1をスピンドル40で回転駆動する
ことによって、洗浄時にディスク1を回転駆動すると、
ロールブラシ42がこれに追従回転する。そして、この
ロールブラシ42が回転することによって、ブラシ44
の外周面に設けた螺旋状の溝45の作用により、ロール
ブラシ42の軸線方向に洗浄液の流れが形成され、ディ
スク1に付着する研磨粉等のような微粉状の固形物は洗
浄液の流れに搬送されて、円滑に排出できるようにな
る。
As described above, when the roll brush 42 is rotatable and the disk 1 is rotationally driven by the spindle 40, the disk 1 is rotationally driven during cleaning.
The roll brush 42 follows and rotates. Then, by rotating the roll brush 42, the brush 44
By the action of the spiral groove 45 provided on the outer peripheral surface of the roller, a flow of the cleaning liquid is formed in the axial direction of the roll brush 42, and fine powder-like solid matter such as polishing powder adhering to the disk 1 changes in the flow of the cleaning liquid. It can be transported and discharged smoothly.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ロール
ブラシのブラシを円環状部材に当接させた状態で回転さ
せることによって、円環状部材の洗浄を行うに当って、
ブラシの外面に螺旋状の溝を形成する構成としたので、
洗浄時に、円環状部材の表面から研磨粉等の固形物を外
部に迅速かつ確実に排除でき、固形物が付着した状態で
ブラシが回転することにより、円環状部材の表面に傷が
付くのを防止できる等の効果を奏する。
As described above, according to the present invention, when the brush of the roll brush is rotated while being in contact with the annular member, the annular member is washed.
Since it is configured to form a spiral groove on the outer surface of the brush,
During cleaning, solid substances such as polishing powder can be quickly and reliably removed from the surface of the annular member, and the brush rotates while the solid substance adheres to the surface of the annular member to prevent scratches. There is an effect such as prevention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例におけるディスクの洗浄
装置の全体構成を示す構成説明図である。
FIG. 1 is a structural explanatory view showing an overall structure of a disk cleaning device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】ロールブラシの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a roll brush.

【図3】ロールブラシの作用説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of the action of a roll brush.

【図4】ロールブラシの駆動機構の構成説明図である。FIG. 4 is a structural explanatory view of a drive mechanism of a roll brush.

【図5】本発明の第2の実施例のディスクの洗浄装置の
要部構成説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a main part configuration of a disk cleaning device according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク 2a〜2c チャック駒 10,10a,10b,42 ロールブラシ 11,11a,11b,43 回転軸 12,12a,12b,44 ブラシ 20 モータ 31,48 スイベルジョイント 32,49 洗浄液配管 33 洗浄液通路 34 噴出路 35,45 溝 40 スピンドル 41 クランプ部材 1 Disc 2a-2c Chuck piece 10, 10a, 10b, 42 Roll brush 11, 11a, 11b, 43 Rotating shaft 12, 12a, 12b, 44 Brush 20 Motor 31, 48 Swivel joint 32, 49 Cleaning liquid piping 33 Cleaning liquid passage 34 Jet Road 35,45 Groove 40 Spindle 41 Clamping member

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 円環状部材にロールブラシを摺接させ
て、洗浄液を供給しながら、この円環状部材を回転させ
ることによって、円環状部材の表面を洗浄する装置にお
いて、前記ブラシの外周面に螺旋状の溝を形成したこと
を特徴とするディスク洗浄装置。
1. An apparatus for cleaning the surface of an annular member by rotating the annular member while sliding a roll brush on the annular member and supplying a cleaning liquid to the outer peripheral surface of the brush. A disk cleaning device having a spiral groove.
【請求項2】 前記ロールブラシの回転軸の内部からブ
ラシの内部に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給路を設
ける構成としたことを特徴とする請求項1記載のディス
ク洗浄装置。
2. The disk cleaning apparatus according to claim 1, wherein a cleaning liquid supply passage for supplying a cleaning liquid from the inside of the rotary shaft of the roll brush to the inside of the brush is provided.
【請求項3】 前記ロールブラシを回転軸に装着して、
円環状部材の洗浄時に、このロールブラシを回転駆動す
ることによって、この円環状部材を回転駆動する構成と
したことを特徴とする請求項1記載のディスク洗浄装
置。
3. The roll brush is attached to a rotary shaft,
2. The disk cleaning apparatus according to claim 1, wherein when cleaning the annular member, the roller brush is rotationally driven to rotationally drive the annular member.
【請求項4】 前記円環状部材をスピンドルに装着し
て、洗浄時にこのスピンドルを回転させることによっ
て、円環状部材を回転駆動すると共に、前記ロールブラ
シを追従回転させるように構成したことを特徴とする請
求項1記載のディスク洗浄装置。
4. The annular member is attached to a spindle, and the spindle is rotated during cleaning, whereby the annular member is rotationally driven and the roll brush is rotated in a follow-up manner. The disc cleaning device according to claim 1.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007183906A (en) * 2005-12-08 2007-07-19 Win Tec:Kk Roller cleaner
JP2007225810A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Hoya Corp Spin washing method and spin washing device
JP2013211075A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Konica Minolta Inc Manufacturing method of glass substrate for information recording medium
CN109807093A (en) * 2019-03-18 2019-05-28 宝鸡瑞熙新材料科技有限公司 Quickly remove the dust-protection type brush ingot machine of ingot part surface irregularities

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007183906A (en) * 2005-12-08 2007-07-19 Win Tec:Kk Roller cleaner
JP4641972B2 (en) * 2005-12-08 2011-03-02 株式会社ウインテック Roller cleaner
JP2007225810A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Hoya Corp Spin washing method and spin washing device
JP2013211075A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Konica Minolta Inc Manufacturing method of glass substrate for information recording medium
CN109807093A (en) * 2019-03-18 2019-05-28 宝鸡瑞熙新材料科技有限公司 Quickly remove the dust-protection type brush ingot machine of ingot part surface irregularities

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