JP2006015189A - Disc-cleaning apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a disc-cleaning apparatus capable of improving the efficiency of the disc-cleaning apparatus based on shower cleaning by the use of rotary brushes. <P>SOLUTION: This apparatus has a pair of first rotary brushes pinching discs to be cleaned from the front and back sides to hold and rotating the discs, a driving mechanism driving the rotation of the first rotary brushes, a chucking mechanism chucking the discs in a rotatable way and a pair of second rotary brushes pinching the discs from the front and back sides to hold and applying a load to the rotation of the discs by the first brushes. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、ディスク洗浄装置に関し、詳しくは、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置において、ディスクチャックローラ等による摩耗粉の発生を抑制し、洗浄効率を向上させることができるようなディスク洗浄装置に関する。   The present invention relates to a disc cleaning device, and more specifically, in a disc cleaning device that performs shower cleaning using a rotating brush, the generation of abrasion powder by a disc chuck roller or the like can be suppressed, and the cleaning efficiency can be improved. The present invention relates to a disk cleaning device.

磁気ディスクの製造工程においては、研磨工程等の後にディスクの洗浄が行われる。ディスク(磁気ディスク、磁気ディスクのサブストレートを含む,以下同じ)の洗浄には、超音波洗浄とブラシ洗浄とがあるが、このうちブラシ洗浄は、水や洗浄液のシャワーを吹き付けながらローラーブラシ等の回転ブラシを使用してディスクの表裏面を擦り、洗浄する。このときは、通常、ディスクを回転させながら洗浄が行われ、ディスクに付着した油膜や研磨粉、異物等の汚れが落とされる(特許文献1,2)。
このときのディスクの回転駆動は、回転ブラシの回転に追従させてディスクを回転させるものと、ディスクを回転駆動してそれに追従させて回転ブラシを回転させるものとがある。
特開平9−103748号公報 特開2002−66466号公報
In the manufacturing process of the magnetic disk, the disk is cleaned after the polishing process or the like. There are two types of cleaning of disks (including magnetic disks and magnetic disk substrates, the same applies below): ultrasonic cleaning and brush cleaning. Of these, brush cleaning is performed with a roller brush or the like while spraying water or a shower of cleaning liquid. Rub and clean the front and back of the disc with a rotating brush. At this time, cleaning is usually performed while rotating the disk, and dirt such as oil film, polishing powder, and foreign matter adhering to the disk is removed (Patent Documents 1 and 2).
In this case, the disk is driven to rotate by following the rotation of the rotating brush and rotating the disk, and the disk is driven to rotate and follow the rotation to rotate the rotating brush.
JP-A-9-103748 JP 2002-66466 A

特許文献1,2に示されるような回転ブラシを使用するディスク洗浄装置、特に、回転ブラシの回転に追従させてディスクを回転させる装置にあっては、通常、洗浄対象となるディスクが外周チャックにより3点で回転可能にローラにより支持され、ディスクの表裏に当接した回転ブラシの回転により回転して駆動される構成を採る。
一方、ディスクは、磁気ディスク装置として組み込まれたときには、高密度記録と、アクセス速度向上のために、例えば、5400rpmから10000rpm、あるいはこれを越える回転スピードで高速駆動される。現在では、3.5インチ以下のものが主流となり、ディスクは薄くかつ小型化され、その質量は、小さくなってきている。そのため、例えば、500rpm程度の高速回転で回転ブラシが回転すると、実質的にこれに同期して洗浄ディスクが回転することがある。それにより洗浄ディスク表面に対するロールブラシの摩擦力が低下する問題がある。また、これに応じてディスクの外周に接するチャックローラは、高速回転をしいられる。
In a disk cleaning apparatus that uses a rotating brush as shown in Patent Documents 1 and 2, particularly in an apparatus that rotates a disk following the rotation of the rotating brush, the disk to be cleaned is usually a peripheral chuck. A configuration is adopted in which the roller is supported by rollers so as to be rotatable at three points, and is rotated and driven by rotation of a rotating brush in contact with the front and back of the disk.
On the other hand, when the disk is incorporated as a magnetic disk device, it is driven at a high speed, for example, at a rotational speed of 5400 rpm to 10000 rpm or more, for high density recording and improved access speed. At present, those with a size of 3.5 inches or less have become mainstream, and the disks have been made thinner and smaller, and their mass has become smaller. Therefore, for example, when the rotating brush rotates at a high speed of about 500 rpm, the cleaning disk may rotate substantially in synchronization with the rotating brush. As a result, there is a problem that the frictional force of the roll brush against the surface of the cleaning disk is reduced. In response to this, the chuck roller in contact with the outer periphery of the disk can be rotated at a high speed.

洗浄ディスクがこのような同期回転すると2つの問題が発生する。第1は、洗浄ディスクが同期回転すると回転ブラシと洗浄ディスク表面との摩擦力の低下により時間をかけてもディスクの表面洗浄が充分になされない。
第2は、洗浄ディスクを外周チャックするローラがディスクの外周で回転駆動されて非常に高速な回転をし、それによりローラが摩耗し、摩耗粉が洗浄ディスクを汚染する。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置の洗浄効率を向上させることができるディスク洗浄装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置のディスクチャックローラ等による摩耗粉の発生を抑制することができるディスク洗浄装置を提供することにある。
When the cleaning disk rotates in this manner, two problems occur. First, when the cleaning disk rotates synchronously, the surface of the disk is not sufficiently cleaned even if time is taken due to a decrease in frictional force between the rotating brush and the surface of the cleaning disk.
Secondly, a roller for chucking the cleaning disk on its outer periphery is driven to rotate at the outer periphery of the disk and rotates at a very high speed, so that the roller is worn, and the wear powder contaminates the cleaning disk.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and to provide a disc cleaning device that can improve the cleaning efficiency of a disc cleaning device that performs shower cleaning using a rotating brush. There is.
Another object of the present invention is to provide a disk cleaning apparatus capable of suppressing the generation of wear powder by a disk chuck roller or the like of a disk cleaning apparatus that performs shower cleaning using a rotating brush.

このような目的を達成するためのこの発明のディスク洗浄装置の特徴は、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置において、
洗浄対象となるディスクを表裏両面から狭持して回転させる一対の第1の回転ブラシと、第1の回転ブラシを回転駆動する駆動機構と、ディスクを回転可能にチャックするチャック機構と、ディスクを表裏両面から狭持して第1の回転ブラシによるディスクの回転に対して負荷を与える一対の第2の回転ブラシとを備えるものである。
In order to achieve such an object, the disc cleaning device of the present invention is characterized in that in the disc cleaning device that performs shower cleaning using a rotating brush,
A pair of first rotating brushes for rotating the disk to be cleaned from both front and back surfaces, a drive mechanism for rotating the first rotating brush, a chuck mechanism for chucking the disk rotatably, and a disk A pair of second rotating brushes are provided that sandwich the front and back surfaces and apply a load to the rotation of the disk by the first rotating brush.

このように、この発明では、洗浄時の第1の回転ブラシ、例えば、第1のロールブラシによるディスクの回転に対して第2の回転ブラシ、例えば、第2のロールブラシが負荷を与えるので、ディスクが第1のロールブラシの回転に同期して回転することはなく、洗浄ディスク表面に対するロールブラシの摩擦力の低下が防止される。しかも、4本のロールブラシで所定の摩擦力を保持して洗浄が行われるので、確実な洗浄が可能となり、洗浄効率が向上する。
さらに、チャック機構がディスクの外周をローラでチャックする構成のものでは、ディスクの回転に応じてローラが高速回転することがなくなるので、ローラの摩耗粉の発生が抑制され、ディスクが汚染されにくくなる。
その結果、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置おけるディスクチャックローラ等による摩耗粉の発生を抑制でき、しかも、洗浄効率を向上させることができる。
Thus, in the present invention, since the second rotating brush, for example, the second roll brush applies a load to the rotation of the disk by the first rotating brush, for example, the first roll brush, at the time of cleaning, The disk does not rotate in synchronism with the rotation of the first roll brush, and a reduction in the frictional force of the roll brush against the surface of the cleaning disk is prevented. In addition, since the cleaning is performed while the predetermined frictional force is maintained by the four roll brushes, the cleaning can be surely performed and the cleaning efficiency is improved.
Further, when the chuck mechanism is configured to chuck the outer periphery of the disk with a roller, the roller does not rotate at a high speed in accordance with the rotation of the disk, so that generation of wear particles on the roller is suppressed and the disk is less likely to be contaminated. .
As a result, it is possible to suppress the generation of abrasion powder by the disc chuck roller or the like in the disc cleaning apparatus that performs shower cleaning using a rotating brush, and it is possible to improve the cleaning efficiency.

図1は、この発明を適用した一実施例のディスク洗浄装置の説明図であり、図2は、その洗浄部分の概要図、図3は、ロールブラシ駆動機構の説明図、図4は、ロールブラシと軸受ユニットとの関係の断面説明図、そして、図5は、ロールブラシの回転伝達機構である。   FIG. 1 is an explanatory view of a disk cleaning apparatus according to an embodiment to which the present invention is applied, FIG. 2 is a schematic view of the cleaning portion, FIG. 3 is an explanatory view of a roll brush drive mechanism, and FIG. Cross-sectional explanatory drawing of the relationship between a brush and a bearing unit, and FIG. 5 are the rotation transmission mechanisms of a roll brush.

図1において、10は、ディスク洗浄装置であって、1は、その洗浄室11に持ち込まれた洗浄対象となるディスクである。2a,2bは、それぞれ洗浄ブラシユニット、3は、ディスクロード・アンロード機構、4a,4bは、ディスクロード・アンロード機構3に設けられたチャックローラ41、42、43からなる3点支持のディスクチャック機構、5a,5bは、ロールブラシ回転駆動機構、6a,6bは、シャワーノズル、7は、ロールブラシ間隔設定機構(図3参照)、そして8は、洗浄室11に設けられた壁面ベース板(図3参照)である。
さらに、図3において、12は、駆動制御部であり、13は、制御装置である。
ディスクチャック機構4a,4bは、それぞれ、図1,図3に示すようにチャックローラ41、42、43とチャックアーム44とチャック駆動機構45とからなり、チャックローラ41、42、43がチャック駆動機構45に回転可能に取り付けられ、チャックローラ41、42、43を持つチャック駆動機構45は、それぞれ、回転円板31上において上下に設けられている。そして、ディスクチャック機構4a,4bのチャック駆動機構45がそれぞれディスクロード・アンロード機構3の回転円板31に上下で固定されている。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a disk cleaning device, and reference numeral 1 denotes a disk to be cleaned brought into the cleaning chamber 11. 2a and 2b are cleaning brush units, 3 is a disk loading / unloading mechanism, 4a and 4b are three-point supported disks comprising chuck rollers 41, 42 and 43 provided in the disk loading / unloading mechanism 3. Chuck mechanism, 5a and 5b are roll brush rotation drive mechanisms, 6a and 6b are shower nozzles, 7 is a roll brush interval setting mechanism (see FIG. 3), and 8 is a wall surface base plate provided in the cleaning chamber 11. (See FIG. 3).
Furthermore, in FIG. 3, 12 is a drive control part, 13 is a control apparatus.
As shown in FIGS. 1 and 3, the disk chuck mechanisms 4a and 4b are composed of chuck rollers 41, 42, and 43, a chuck arm 44, and a chuck driving mechanism 45, respectively. The chuck rollers 41, 42, and 43 are chuck driving mechanisms. The chuck drive mechanisms 45 that are rotatably attached to the 45 and have the chuck rollers 41, 42, and 43 are provided above and below the rotating disk 31, respectively. The chuck driving mechanisms 45 of the disk chuck mechanisms 4a and 4b are fixed to the rotating disk 31 of the disk loading / unloading mechanism 3 in the vertical direction.

図1,図2に示すように、ディスクチャック機構4a,4bのそれぞれのチャックローラ41、42、43は、ディスク1の外周を3点でチャックする。チャックローラ41が二等辺三角形の頂点に位置し、チャックローラ42、43が底辺の角に位置して対向するように配置されている。チャックローラ41は、チャックアーム44の先端に固定され、点線で示す位置までチャック駆動機構45により回動されて、ディスク1を受けて実線位置でディスクをチャックし、あるいは逆にチャックしたディスク1を点線位置で解除する。
なお、回転円板31において上側に位置するディスクチャック機構4b(そのチャックローラ41、42、43)は、ディスク1をロードあるいはアンロードする位置にあって、下側に位置するディスクチャック機構4a(そのチャックローラ41、42、43)は、ディスク1を洗浄する位置に設定されている。
図3に示すように、ディスクロード・アンロード機構3は、回転円板31とこれを回転駆動するモータ32とからなり、モータ32が壁面ベース板8に固定されている。そして、モータ32が回転円板31を半回転することにより、ディスクチャック機構4aとディスクチャック機構4bとの位置が入れ替わる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the respective chuck rollers 41, 42 and 43 of the disk chuck mechanisms 4 a and 4 b chuck the outer periphery of the disk 1 at three points. The chuck roller 41 is positioned at the apex of the isosceles triangle, and the chuck rollers 42 and 43 are positioned at the corners of the base and are arranged to face each other. The chuck roller 41 is fixed to the tip of the chuck arm 44 and is rotated by the chuck drive mechanism 45 to the position indicated by the dotted line to receive the disk 1 and chuck the disk at the solid line position, or conversely the chucked disk 1. Cancel at the dotted line position.
The disk chuck mechanism 4b (the chuck rollers 41, 42, 43) located on the upper side of the rotating disk 31 is located at the position where the disk 1 is loaded or unloaded, and is located on the lower side. The chuck rollers 41, 42, 43) are set at positions for cleaning the disk 1.
As shown in FIG. 3, the disk loading / unloading mechanism 3 includes a rotating disk 31 and a motor 32 that rotationally drives the rotating disk 31, and the motor 32 is fixed to the wall surface base plate 8. Then, when the motor 32 rotates the rotary disc 31 halfway, the positions of the disk chuck mechanism 4a and the disk chuck mechanism 4b are switched.

図2に示すように、洗浄ブラシユニット2a,2bは、それぞれ一対のローラで構成されたロールブラシであり、これらは、図1,図2に示すように、洗浄室11において左右に配置されている。洗浄ブラシユニット2aは、ディスク1の表裏に対向して設けられた中空の円筒形の多孔質の一対の多孔質ローラ21,22(以下ローラ21,22)からなり、洗浄ブラシユニット2aは、同様な多孔質ローラ23,24(以下ローラ23,24)とからなる。
これらローラ21〜24は、ロールブラシ回転駆動機構5a,5bの回転軸に中空部を介してそれぞれ装着されている。
ここでのローラ21,22は、洗浄ローラであるとともに、ローラ23,24によるディスク1の回転に対して負荷を与えるローラとなっている。
図4に示すように、ローラ21〜24は、一対の中空の円筒形のスポンジロールブラシであって、例えば、ポリビニールホルマール樹脂製のものである。その引張強度が300kPa〜400kPa程度あって、気孔率が80以上、気孔径が100μm〜2000μm程度のものである。その円筒の外径は、25mm〜100mm程度の範囲から選択され、中空部を形成する内径が12mm〜60mm程度の範囲から選択される。その長さは、250mm〜500mm程度である。
As shown in FIG. 2, the cleaning brush units 2a and 2b are roll brushes each composed of a pair of rollers, and these are arranged on the left and right in the cleaning chamber 11 as shown in FIGS. Yes. The cleaning brush unit 2a is composed of a pair of hollow cylindrical porous rollers 21 and 22 (hereinafter referred to as rollers 21 and 22) provided to face the front and back of the disk 1, and the cleaning brush unit 2a is the same. Porous rollers 23 and 24 (hereinafter referred to as rollers 23 and 24).
These rollers 21 to 24 are respectively mounted on the rotation shafts of the roll brush rotation drive mechanisms 5a and 5b via hollow portions.
Here, the rollers 21 and 22 are cleaning rollers and are rollers that apply a load to the rotation of the disk 1 by the rollers 23 and 24.
As shown in FIG. 4, the rollers 21 to 24 are a pair of hollow cylindrical sponge roll brushes, for example, made of polyvinyl formal resin. The tensile strength is about 300 kPa to 400 kPa, the porosity is 80 or more, and the pore diameter is about 100 μm to 2000 μm. The outer diameter of the cylinder is selected from the range of about 25 mm to 100 mm, and the inner diameter forming the hollow portion is selected from the range of about 12 mm to 60 mm. Its length is about 250 mm to 500 mm.

ローラ21,22は、ローラ23,24の回転数に対してこれより少ない回転数で回転してディスク1の表裏に接触する。そのための、ローラ23,24によるディスク1の回転に対してローラ23,24の負荷となる。例えば、ディスク1を反時計方向に回転させるために、ローラ23,24の回転数が500rpmであるとすれば、ローラ21,22の回転数は、その半分の250rpmである。これらのローラは、ディスク1の中心に対して左右に位置しているので、回転方向は相互に逆方向になる。
ローラ21,22の回転数がローラ23,24の回転数より小さいことにより、ローラ23,24によるディスク1の反時計方向の回転は、ローラ21,22によりブレーキがかけられて、ディスク1の回転数は、500rpmより落ちて、300rpm〜450rpm程度になる。
これにより、ローラ21,22とローラ23,24とは、それぞれにディスク1の表裏面に対して摩擦力を発生して接触する。
その結果、ディスク1に付着した油膜や研磨粉、異物等の汚れがシャワー洗浄状態において4つのローラにより落とされる。このとき、ディスク1は、ローラ23,24の回転数まで上がることはなく、チャックローラ41、42、43の回転が抑えられ、高速回転により発生するチャックローラ41、42、43の摩耗による発塵が抑制される。
The rollers 21 and 22 are rotated at a rotational speed smaller than the rotational speeds of the rollers 23 and 24 and contact the front and back of the disk 1. For this purpose, the rollers 23 and 24 become loads on the rotation of the disk 1 by the rollers 23 and 24. For example, if the rotation speed of the rollers 23 and 24 is 500 rpm in order to rotate the disk 1 counterclockwise, the rotation speed of the rollers 21 and 22 is 250 rpm that is half of the rotation speed. Since these rollers are located on the left and right with respect to the center of the disk 1, the rotation directions are opposite to each other.
Since the rotation speeds of the rollers 21 and 22 are smaller than the rotation speeds of the rollers 23 and 24, the rotation of the disk 1 by the rollers 23 and 24 in the counterclockwise direction is braked by the rollers 21 and 22, and the rotation of the disk 1 The number falls from 500 rpm to about 300 rpm to 450 rpm.
Thus, the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 are brought into contact with the front and back surfaces of the disk 1 by generating frictional force.
As a result, the oil film, polishing powder, foreign matter and the like attached to the disk 1 are removed by the four rollers in the shower cleaning state. At this time, the disk 1 does not increase to the rotation speed of the rollers 23 and 24, the rotation of the chuck rollers 41, 42, and 43 is suppressed, and the dust is generated due to the wear of the chuck rollers 41, 42, and 43 generated by the high-speed rotation. Is suppressed.

図1に示すロールブラシ回転駆動機構5a,5bは、同じ構造のものであるので、以下ではロールブラシ回転駆動機構5aを中心に図3,図4を参照して説明してロールブラシ回転駆動機構5bについての詳細説明は割愛する。
ロールブラシ回転駆動機構5aは、ローラ21,22が装着されこれらを回転可能に支持するブラシホルダ51(図1,図4参照),52(図3参照)を有している。ブラシホルダ51,52は、図2,図3に示すように、回転軸51a,52aと、回転軸51a,52aを支持する軸受ユニット51b,52b(図3,図4参照)とからなる。さらに、ブラシホルダの回転軸51a,52aを、管に内挿されたシャフトにより、回転を伝動してそれぞれを回転させる伝動シャフト管55,56(図3参照)とからなる。
なお、ブラシホルダ51,52に対応してロールブラシ回転駆動機構5bは、ブラシホルダ53,54(図1参照)を有している。その回転軸が53a,54a(図2参照)であり、軸受ユニットが53b,54b(図4参照)、そして伝動シャフト管が57,58である(図1参照)。
ところで、図3においては、ローラ21,22と回転軸51a,52a、そして伝動シャフト管55,56の関係を説明するために、ディスク洗浄装置10を少し下側から見た図になっている。そのため、図1における伝動シャフト管55と伝動シャフト管56との高さ関係が逆転している。さらに、伝動シャフト管55,56と軸受ユニット51b,52bとのそれぞれの結合の仕方は、図1では省略してあるが、図3に示すように、伝動シャフト管55のシャフト軸は、外側から回り込んで回転軸51aに結合している。一方、伝動シャフト管56のシャフト軸は、内側で回転軸52aに結合する形態を採っている。
Since the roll brush rotation drive mechanisms 5a and 5b shown in FIG. 1 have the same structure, the roll brush rotation drive mechanism will be described below with reference to FIGS. A detailed description of 5b is omitted.
The roll brush rotation drive mechanism 5a has brush holders 51 (see FIGS. 1 and 4) and 52 (see FIG. 3) on which rollers 21 and 22 are mounted and rotatably supported. As shown in FIGS. 2 and 3, the brush holders 51 and 52 include rotating shafts 51a and 52a and bearing units 51b and 52b (see FIGS. 3 and 4) for supporting the rotating shafts 51a and 52a. Further, the rotation shafts 51a and 52a of the brush holder are composed of transmission shaft tubes 55 and 56 (see FIG. 3) that transmit the rotation by a shaft inserted into the tube and rotate the shafts.
In correspondence with the brush holders 51 and 52, the roll brush rotation drive mechanism 5b has brush holders 53 and 54 (see FIG. 1). The rotating shafts are 53a and 54a (see FIG. 2), the bearing units are 53b and 54b (see FIG. 4), and the transmission shaft tubes are 57 and 58 (see FIG. 1).
Incidentally, in FIG. 3, the disk cleaning device 10 is seen from the lower side in order to explain the relationship between the rollers 21 and 22, the rotating shafts 51 a and 52 a, and the transmission shaft tubes 55 and 56. Therefore, the height relationship between the transmission shaft tube 55 and the transmission shaft tube 56 in FIG. 1 is reversed. Further, although the manner of coupling between the transmission shaft tubes 55 and 56 and the bearing units 51b and 52b is omitted in FIG. 1, the shaft axis of the transmission shaft tube 55 is from the outside as shown in FIG. It wraps around and is coupled to the rotating shaft 51a. On the other hand, the shaft axis of the transmission shaft tube 56 is configured to be coupled to the rotary shaft 52a on the inner side.

図3に示すように、伝動シャフト管55,56は、それぞれに対応する軸受55a,56aを介して壁面ベース板8を垂直に貫通し、これにスライド可能に支持され、ロールブラシ間隔設定機構7により進退駆動される。
さらに、伝動シャフト管55,56と同様に伝動シャフト管57,58も壁面ベース板8を垂直に貫通し、これにスライド可能に支持され、ロールブラシ間隔設定機構7により進退駆動される。
これら伝動シャフト管55〜58は、それぞれ内部を貫通するシャフトの端部に従動ギヤ55b〜58b(図5参照)が装着されている。これら従動ギヤ55b〜58bは、歯数が同じである。従動ギヤ55bと従動ギヤ56bとが噛合し、従動ギヤ57bと従動ギヤ58bとが噛合している。
駆動ギヤ59が従動ギヤ55bに噛合することでこれら従動ギヤ55b,56bが駆動され、駆動ギヤ60が従動ギヤ57bに噛合することで従動ギヤ57b,58bが駆動される。
As shown in FIG. 3, the transmission shaft pipes 55 and 56 vertically pass through the wall surface base plate 8 through corresponding bearings 55 a and 56 a, and are slidably supported by the wall base plate 8. Is driven forward and backward.
Further, like the transmission shaft pipes 55 and 56, the transmission shaft pipes 57 and 58 also vertically pass through the wall surface base plate 8, are slidably supported by the wall base plate 8, and are driven forward and backward by the roll brush interval setting mechanism 7.
These transmission shaft pipes 55 to 58 are respectively equipped with driven gears 55b to 58b (see FIG. 5) of shaft ends penetrating the inside. These driven gears 55b to 58b have the same number of teeth. The driven gear 55b and the driven gear 56b mesh with each other, and the driven gear 57b and the driven gear 58b mesh with each other.
When the drive gear 59 is engaged with the driven gear 55b, the driven gears 55b and 56b are driven, and when the drive gear 60 is engaged with the driven gear 57b, the driven gears 57b and 58b are driven.

駆動ギヤ59の歯数は、駆動ギヤ60より少なく、駆動ギヤ59には、それぞれ従動プーリ61、62(図3参照)が固定されている。一方、駆動ギヤ60には、従動プーリ63が固定されている。
従動プーリ61,62は、従動プーリ63より径が大きいプーリである。これら従動プーリ61〜63は、1個のモータ64に結合した駆動プーリ65によりベルト66を介して駆動される。
これにより、伝動シャフト管55,56は、伝動シャフト管57,58の実質的に1/2の回転数まで落とされる。その結果、前記したように、ローラ21,22が250rpmで、ローラ23,24が500rpmとなる。
また、1個のモータ64でローラ21,22とローラ23,24とが回転駆動されることで、回転数が異なっても同期が採れた回転となるので、4個のローラを接触させたとしても、ディスク1の表裏面に対して洗浄痕等が発生し難いものとなる。
The drive gear 59 has fewer teeth than the drive gear 60, and driven pulleys 61 and 62 (see FIG. 3) are fixed to the drive gear 59, respectively. On the other hand, a driven pulley 63 is fixed to the drive gear 60.
The driven pulleys 61 and 62 are pulleys having a larger diameter than the driven pulley 63. These driven pulleys 61 to 63 are driven via a belt 66 by a driving pulley 65 coupled to one motor 64.
As a result, the transmission shaft pipes 55 and 56 are reduced to substantially half the rotational speed of the transmission shaft pipes 57 and 58. As a result, as described above, the rollers 21 and 22 are 250 rpm, and the rollers 23 and 24 are 500 rpm.
In addition, since the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 are rotationally driven by one motor 64, the rotation is synchronized even if the rotational speed is different, so that the four rollers are brought into contact with each other. However, cleaning marks or the like hardly occur on the front and back surfaces of the disk 1.

図3に示すロールブラシ間隔設定機構7は、ローラ21〜24の相互の間隔を設定する機構である。これは、進退駆動機構71とシーソレバー72とからなる。進退駆動機構71は、ステッピングモータ等の進退駆動機構であって、シーソレバー72の一端にロッド71aが結合され、シーソレバー72を後退させることで、伝動シャフト管55,56を相互に逆方向に所定の距離だけ移動させて、一対のローラ21,22を当接させたり、離間させたりするローラ当接機構となっている。なお、ローラ21,22を当接させるローラ洗浄状態のときに、あるいはローラ21,22をディスク1の面に当接させるディスク洗浄状態にあるときには、ベルト66が従動プーリ61から従動プーリ62に切り替わる。
伝動シャフト管57,58については図示していないが、同様であり、これの相互に逆方向の移動により一対のローラ23,24をローラ21,22と同様に、これらと同時に当接させたり、離間させたりする。
The roll brush interval setting mechanism 7 shown in FIG. 3 is a mechanism that sets the interval between the rollers 21 to 24. This comprises an advance / retreat drive mechanism 71 and a seesaw lever 72. The advancing / retracting drive mechanism 71 is an advancing / retracting drive mechanism such as a stepping motor. A rod 71a is coupled to one end of the seesaw lever 72, and the seesaw lever 72 is moved backward to move the transmission shaft tubes 55 and 56 in a predetermined direction opposite to each other. It is a roller contact mechanism that moves by a distance to contact or separate the pair of rollers 21 and 22. Note that the belt 66 is switched from the driven pulley 61 to the driven pulley 62 when the roller 21 or 22 is in contact with the roller, or when the roller 21 or 22 is in contact with the surface of the disc 1. .
The transmission shaft tubes 57 and 58 are not shown in the figure, but are the same, and by moving in the opposite directions, the pair of rollers 23 and 24 are brought into contact with the rollers 21 and 22 at the same time, Or leave them apart.

7a,7b(図示せず)は、軸受ユニット51b,52bにそれぞれ取り付けられたシャワーノズルであり、ローラ21,22に対応して設けられている。これらシャワーノズル7a,7bは、ディスク洗浄装置10の洗浄位置にディスク1が装填されていない状態で、ロールブラシ間隔設定機構7が駆動されて、ローラ21,22が点線で示すように接触したときに、ローラ21,22に背面から洗浄液を噴射供給する。図示していないが、ローラ23,24についても同様なシャワーノズルがある。もちろん、シャワーノズル7a,7bは、ディスク洗浄時にも使用される。さらに、シャワーノズル6a,6bもロールブラシの洗浄に使用されてもよいことはもちろんである。
このとき、ローラ21,22とローラ23,24とは、外径が25mm〜100mm程度のものであるので、ローラ洗浄状態のときにディスク1の面に接触している状態よりも大きく相互に撓み、例えば、3mm〜5mm程度外径が凹んで相互に当接される。この状態でローラ21,22とローラ23,24が空運転されて回転駆動され、ローラ21,22とローラ23,24とに洗浄液が供給されて洗浄される。
7a and 7b (not shown) are shower nozzles attached to the bearing units 51b and 52b, respectively, and are provided corresponding to the rollers 21 and 22, respectively. These shower nozzles 7a and 7b are driven when the roll brush interval setting mechanism 7 is driven and the rollers 21 and 22 are in contact with each other as indicated by dotted lines in a state where the disk 1 is not loaded at the cleaning position of the disk cleaning device 10. In addition, the cleaning liquid is sprayed and supplied to the rollers 21 and 22 from the back surface. Although not shown, there are similar shower nozzles for the rollers 23 and 24. Of course, the shower nozzles 7a and 7b are also used during disk cleaning. Furthermore, it goes without saying that the shower nozzles 6a and 6b may also be used for cleaning the roll brush.
At this time, since the outer diameters of the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 are about 25 mm to 100 mm, the rollers 21 and 22 bend to each other more greatly than the state in contact with the surface of the disk 1 in the roller cleaning state. For example, the outer diameter is recessed by about 3 mm to 5 mm and is brought into contact with each other. In this state, the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 are idled and rotated, and the cleaning liquid is supplied to the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 for cleaning.

進退駆動機構71は、駆動制御部12により駆動制御され、その制御は、制御装置13により行われる。制御装置13は、図3に示すように、内部にMPU13aとメモリ13b等とを有し、メモリには、ディスク洗浄処理プログラム(PRG)131、ロールブラシ洗浄処理プログラム(PRG)132等が内蔵されている。
MPU13aがディスク洗浄処理プログラム131を実行して、ロールブラシ間隔設定機構7を制御する。このとき、進退駆動機構71は、シーソレバー72を駆動して伝動シャフト管55,57と伝動シャフト管56,58とをそれぞれ逆方向に進退移動させてローラ21,22とローラ23,24をディスク1の表裏に所定の接触圧力で接触させて、同時にシャワーノズル6a,6b,シャワーノズル7a,7b等から洗浄液をローラ21,22とローラ23,24とに噴射供給するとともに、これらを所定時間の間、回転駆動してディスク1の洗浄を行う。
また、洗浄ディスク1が装填されていないときに、必要に応じてMPU13aがロールブラシ洗浄処理プログラム132を実行して、進退駆動機構71を制御し、ローラ21,22とローラ23,24を相互に当接する。このとき、ローラ21,22とローラ23,24とは、3mm〜5mm程度の外径がつぶれるまで当接される。シャワーノズル7a,7b等から洗浄液がシャワーとして供給され、所定時間、空運転されてこれらローラ21,22とローラ23,24が回転して洗浄される。
The advance / retreat drive mechanism 71 is drive-controlled by the drive control unit 12, and the control is performed by the control device 13. As shown in FIG. 3, the control device 13 has an MPU 13a, a memory 13b, and the like, and a disk cleaning processing program (PRG) 131, a roll brush cleaning processing program (PRG) 132, and the like are built in the memory. ing.
The MPU 13 a executes the disc cleaning processing program 131 to control the roll brush interval setting mechanism 7. At this time, the advancing / retracting drive mechanism 71 drives the seesaw lever 72 to move the transmission shaft pipes 55, 57 and the transmission shaft pipes 56, 58 forward and backward in the opposite directions, thereby moving the rollers 21, 22 and the rollers 23, 24 to the disc 1 At the same time, the cleaning liquid is sprayed from the shower nozzles 6a and 6b and the shower nozzles 7a and 7b to the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24, and these are supplied for a predetermined time. Then, the disk 1 is cleaned by rotating.
Further, when the cleaning disk 1 is not loaded, the MPU 13a executes the roll brush cleaning processing program 132 as necessary to control the advance / retreat driving mechanism 71, and the rollers 21, 22 and the rollers 23, 24 are mutually connected. Abut. At this time, the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 are in contact with each other until the outer diameter of about 3 mm to 5 mm is crushed. The cleaning liquid is supplied as a shower from the shower nozzles 7a and 7b, etc., and is idled for a predetermined time, and the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 are rotated and cleaned.

以上、説明してきたが、実施例のローラ21,22とローラ23,24との回転数の差は、一例であって、ローラ21,22は、ローラ23,24のディスクの回転駆動に対して、ディスクを回転することに対する負荷となればよい。そこで、ローラ21,22は、その回転数がローラ23,24の回転数より低いか、駆動されることなくフリー回転してもよい。   As described above, the difference in the rotational speed between the rollers 21 and 22 and the rollers 23 and 24 in the embodiment is an example, and the rollers 21 and 22 are rotationally driven by the rollers 23 and 24 with respect to the disk. As long as it is a load for rotating the disk. Therefore, the rollers 21 and 22 may rotate freely without being driven or driven at a lower rotational speed than the rollers 23 and 24.

図1は、この発明を適用した一実施例のディスク洗浄装置の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a disk cleaning apparatus according to an embodiment to which the present invention is applied. 図2は、その洗浄部分の概要図である。FIG. 2 is a schematic view of the cleaning portion. 図3は、ロールブラシ回転駆動機構の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a roll brush rotation drive mechanism. 図4は、ロールブラシと軸受ユニットとの関係の断面説明図である。FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view of the relationship between the roll brush and the bearing unit. 図5は、ロールブラシの回転伝達機構である。FIG. 5 shows a rotation transmission mechanism of the roll brush.

符号の説明Explanation of symbols

1…ディスク、2a,2b…洗浄ブラシユニット、
3…ディスクロード・アンロード機構、
4a,4b…ディスクチャック機構、
41、42、43…チャックローラ、
5a,5b…ロールブラシ回転駆動機構、
6a〜6b…シャワーノズル、
7…ロールブラシ間隔設定機構、
8…壁面ベース板、10…ディスク洗浄装置、
11…洗浄室、12…駆動制御部、13…制御装置、
21〜24…ローラ、
51,52,53,54…ブラシホルダ、
51a,52a,53a,54a…回転軸、
51b,52b,53b,54b…軸受ユニット、
55,56,57,58…伝動シャフト管。
1 ... disk, 2a, 2b ... cleaning brush unit,
3 ... Disk loading / unloading mechanism,
4a, 4b ... disc chuck mechanism,
41, 42, 43 ... chuck rollers,
5a, 5b ... Roll brush rotation drive mechanism,
6a-6b ... shower nozzle,
7 ... Roll brush interval setting mechanism,
8 ... Wall base plate, 10 ... Disc cleaning device,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Cleaning room, 12 ... Drive control part, 13 ... Control apparatus,
21-24 ... Roller,
51, 52, 53, 54 ... brush holder,
51a, 52a, 53a, 54a ... rotating shaft,
51b, 52b, 53b, 54b ... bearing unit,
55, 56, 57, 58 ... transmission shaft tube.

Claims (4)

回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置において、
洗浄対象となるディスクを表裏両面から狭持して回転させる一対の第1の前記回転ブラシと、
前記第1の回転ブラシを回転駆動する駆動機構と、
前記ディスクを回転可能にチャックするチャック機構と、
前記ディスクを表裏両面から狭持して前記第1の回転ブラシによる前記ディスクの回転に対して負荷を与える一対の第2の前記回転ブラシとを備えるディスク洗浄装置。
In disc cleaning equipment that performs shower cleaning using a rotating brush,
A pair of first rotating brushes for rotating the disk to be cleaned from both the front and back surfaces;
A drive mechanism for rotationally driving the first rotating brush;
A chuck mechanism for chucking the disk rotatably;
A disk cleaning apparatus comprising: a pair of second rotating brushes that sandwich the disk from both front and back sides and apply a load to the rotation of the disk by the first rotating brush.
前記第1および第2の回転ブラシは、ロールブラシであり、これら第1および第2のロールブラシを回転可能に支承するブラシホルダーをこれらロールブラシに対応してそれぞれ有し、前記駆動機構は、前記ブラシホルダを介して前記第1および第2のロールブラシを回転駆動し、前記第2のロールブラシの回転数は、前記第1のロールブラシの回転数より低い請求項1記載のディスク洗浄装置。   The first and second rotating brushes are roll brushes, and each has a brush holder for rotatably supporting the first and second roll brushes, and the drive mechanism includes: 2. The disk cleaning device according to claim 1, wherein the first and second roll brushes are driven to rotate through the brush holder, and the rotation speed of the second roll brush is lower than the rotation speed of the first roll brush. . 前記駆動機構は、モータを有し、このモータにより前記第1および第2のロールブラシがギヤとシャフトとを介して同時に回転駆動される請求項2記載のディスク洗浄装置。   3. The disk cleaning apparatus according to claim 2, wherein the drive mechanism includes a motor, and the first and second roll brushes are simultaneously driven to rotate by the motor via a gear and a shaft. さらに前記第1および第2のロールブラシのそれぞれ一対のブラシ同士を相互に当接させる当接機構を有し、前記チャック機構は、前記ディスクの外周を3点でローラによりチャックするものであり、前記ディスクが存在しないときに一対の前記第1のロールブラシ同士と一対の前記第2のロールブラシ同士とを前記当接機構により当接させて回転駆動し前記第1および第2のロールブラシの洗浄を行う請求項3記載のディスク洗浄装置。   Furthermore, it has an abutment mechanism that abuts each pair of brushes of the first and second roll brushes, and the chuck mechanism chucks the outer periphery of the disk with rollers at three points, When the disk is not present, a pair of the first roll brushes and a pair of the second roll brushes are brought into contact with each other by the contact mechanism and driven to rotate. 4. A disk cleaning apparatus according to claim 3, wherein cleaning is performed.
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