JP2006015189A - Disc-cleaning apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、ディスク洗浄装置に関し、詳しくは、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置において、ディスクチャックローラ等による摩耗粉の発生を抑制し、洗浄効率を向上させることができるようなディスク洗浄装置に関する。 The present invention relates to a disc cleaning device, and more specifically, in a disc cleaning device that performs shower cleaning using a rotating brush, the generation of abrasion powder by a disc chuck roller or the like can be suppressed, and the cleaning efficiency can be improved. The present invention relates to a disk cleaning device.
磁気ディスクの製造工程においては、研磨工程等の後にディスクの洗浄が行われる。ディスク(磁気ディスク、磁気ディスクのサブストレートを含む,以下同じ)の洗浄には、超音波洗浄とブラシ洗浄とがあるが、このうちブラシ洗浄は、水や洗浄液のシャワーを吹き付けながらローラーブラシ等の回転ブラシを使用してディスクの表裏面を擦り、洗浄する。このときは、通常、ディスクを回転させながら洗浄が行われ、ディスクに付着した油膜や研磨粉、異物等の汚れが落とされる(特許文献1,2)。
このときのディスクの回転駆動は、回転ブラシの回転に追従させてディスクを回転させるものと、ディスクを回転駆動してそれに追従させて回転ブラシを回転させるものとがある。
In this case, the disk is driven to rotate by following the rotation of the rotating brush and rotating the disk, and the disk is driven to rotate and follow the rotation to rotate the rotating brush.
特許文献1,2に示されるような回転ブラシを使用するディスク洗浄装置、特に、回転ブラシの回転に追従させてディスクを回転させる装置にあっては、通常、洗浄対象となるディスクが外周チャックにより3点で回転可能にローラにより支持され、ディスクの表裏に当接した回転ブラシの回転により回転して駆動される構成を採る。
一方、ディスクは、磁気ディスク装置として組み込まれたときには、高密度記録と、アクセス速度向上のために、例えば、5400rpmから10000rpm、あるいはこれを越える回転スピードで高速駆動される。現在では、3.5インチ以下のものが主流となり、ディスクは薄くかつ小型化され、その質量は、小さくなってきている。そのため、例えば、500rpm程度の高速回転で回転ブラシが回転すると、実質的にこれに同期して洗浄ディスクが回転することがある。それにより洗浄ディスク表面に対するロールブラシの摩擦力が低下する問題がある。また、これに応じてディスクの外周に接するチャックローラは、高速回転をしいられる。
In a disk cleaning apparatus that uses a rotating brush as shown in Patent Documents 1 and 2, particularly in an apparatus that rotates a disk following the rotation of the rotating brush, the disk to be cleaned is usually a peripheral chuck. A configuration is adopted in which the roller is supported by rollers so as to be rotatable at three points, and is rotated and driven by rotation of a rotating brush in contact with the front and back of the disk.
On the other hand, when the disk is incorporated as a magnetic disk device, it is driven at a high speed, for example, at a rotational speed of 5400 rpm to 10000 rpm or more, for high density recording and improved access speed. At present, those with a size of 3.5 inches or less have become mainstream, and the disks have been made thinner and smaller, and their mass has become smaller. Therefore, for example, when the rotating brush rotates at a high speed of about 500 rpm, the cleaning disk may rotate substantially in synchronization with the rotating brush. As a result, there is a problem that the frictional force of the roll brush against the surface of the cleaning disk is reduced. In response to this, the chuck roller in contact with the outer periphery of the disk can be rotated at a high speed.
洗浄ディスクがこのような同期回転すると2つの問題が発生する。第1は、洗浄ディスクが同期回転すると回転ブラシと洗浄ディスク表面との摩擦力の低下により時間をかけてもディスクの表面洗浄が充分になされない。
第2は、洗浄ディスクを外周チャックするローラがディスクの外周で回転駆動されて非常に高速な回転をし、それによりローラが摩耗し、摩耗粉が洗浄ディスクを汚染する。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置の洗浄効率を向上させることができるディスク洗浄装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置のディスクチャックローラ等による摩耗粉の発生を抑制することができるディスク洗浄装置を提供することにある。
When the cleaning disk rotates in this manner, two problems occur. First, when the cleaning disk rotates synchronously, the surface of the disk is not sufficiently cleaned even if time is taken due to a decrease in frictional force between the rotating brush and the surface of the cleaning disk.
Secondly, a roller for chucking the cleaning disk on its outer periphery is driven to rotate at the outer periphery of the disk and rotates at a very high speed, so that the roller is worn, and the wear powder contaminates the cleaning disk.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and to provide a disc cleaning device that can improve the cleaning efficiency of a disc cleaning device that performs shower cleaning using a rotating brush. There is.
Another object of the present invention is to provide a disk cleaning apparatus capable of suppressing the generation of wear powder by a disk chuck roller or the like of a disk cleaning apparatus that performs shower cleaning using a rotating brush.
このような目的を達成するためのこの発明のディスク洗浄装置の特徴は、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置において、
洗浄対象となるディスクを表裏両面から狭持して回転させる一対の第1の回転ブラシと、第1の回転ブラシを回転駆動する駆動機構と、ディスクを回転可能にチャックするチャック機構と、ディスクを表裏両面から狭持して第1の回転ブラシによるディスクの回転に対して負荷を与える一対の第2の回転ブラシとを備えるものである。
In order to achieve such an object, the disc cleaning device of the present invention is characterized in that in the disc cleaning device that performs shower cleaning using a rotating brush,
A pair of first rotating brushes for rotating the disk to be cleaned from both front and back surfaces, a drive mechanism for rotating the first rotating brush, a chuck mechanism for chucking the disk rotatably, and a disk A pair of second rotating brushes are provided that sandwich the front and back surfaces and apply a load to the rotation of the disk by the first rotating brush.
このように、この発明では、洗浄時の第1の回転ブラシ、例えば、第1のロールブラシによるディスクの回転に対して第2の回転ブラシ、例えば、第2のロールブラシが負荷を与えるので、ディスクが第1のロールブラシの回転に同期して回転することはなく、洗浄ディスク表面に対するロールブラシの摩擦力の低下が防止される。しかも、4本のロールブラシで所定の摩擦力を保持して洗浄が行われるので、確実な洗浄が可能となり、洗浄効率が向上する。
さらに、チャック機構がディスクの外周をローラでチャックする構成のものでは、ディスクの回転に応じてローラが高速回転することがなくなるので、ローラの摩耗粉の発生が抑制され、ディスクが汚染されにくくなる。
その結果、回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置おけるディスクチャックローラ等による摩耗粉の発生を抑制でき、しかも、洗浄効率を向上させることができる。
Thus, in the present invention, since the second rotating brush, for example, the second roll brush applies a load to the rotation of the disk by the first rotating brush, for example, the first roll brush, at the time of cleaning, The disk does not rotate in synchronism with the rotation of the first roll brush, and a reduction in the frictional force of the roll brush against the surface of the cleaning disk is prevented. In addition, since the cleaning is performed while the predetermined frictional force is maintained by the four roll brushes, the cleaning can be surely performed and the cleaning efficiency is improved.
Further, when the chuck mechanism is configured to chuck the outer periphery of the disk with a roller, the roller does not rotate at a high speed in accordance with the rotation of the disk, so that generation of wear particles on the roller is suppressed and the disk is less likely to be contaminated. .
As a result, it is possible to suppress the generation of abrasion powder by the disc chuck roller or the like in the disc cleaning apparatus that performs shower cleaning using a rotating brush, and it is possible to improve the cleaning efficiency.
図1は、この発明を適用した一実施例のディスク洗浄装置の説明図であり、図2は、その洗浄部分の概要図、図3は、ロールブラシ駆動機構の説明図、図4は、ロールブラシと軸受ユニットとの関係の断面説明図、そして、図5は、ロールブラシの回転伝達機構である。 FIG. 1 is an explanatory view of a disk cleaning apparatus according to an embodiment to which the present invention is applied, FIG. 2 is a schematic view of the cleaning portion, FIG. 3 is an explanatory view of a roll brush drive mechanism, and FIG. Cross-sectional explanatory drawing of the relationship between a brush and a bearing unit, and FIG. 5 are the rotation transmission mechanisms of a roll brush.
図1において、10は、ディスク洗浄装置であって、1は、その洗浄室11に持ち込まれた洗浄対象となるディスクである。2a,2bは、それぞれ洗浄ブラシユニット、3は、ディスクロード・アンロード機構、4a,4bは、ディスクロード・アンロード機構3に設けられたチャックローラ41、42、43からなる3点支持のディスクチャック機構、5a,5bは、ロールブラシ回転駆動機構、6a,6bは、シャワーノズル、7は、ロールブラシ間隔設定機構(図3参照)、そして8は、洗浄室11に設けられた壁面ベース板(図3参照)である。
さらに、図3において、12は、駆動制御部であり、13は、制御装置である。
ディスクチャック機構4a,4bは、それぞれ、図1,図3に示すようにチャックローラ41、42、43とチャックアーム44とチャック駆動機構45とからなり、チャックローラ41、42、43がチャック駆動機構45に回転可能に取り付けられ、チャックローラ41、42、43を持つチャック駆動機構45は、それぞれ、回転円板31上において上下に設けられている。そして、ディスクチャック機構4a,4bのチャック駆動機構45がそれぞれディスクロード・アンロード機構3の回転円板31に上下で固定されている。
In FIG. 1,
Furthermore, in FIG. 3, 12 is a drive control part, 13 is a control apparatus.
As shown in FIGS. 1 and 3, the
図1,図2に示すように、ディスクチャック機構4a,4bのそれぞれのチャックローラ41、42、43は、ディスク1の外周を3点でチャックする。チャックローラ41が二等辺三角形の頂点に位置し、チャックローラ42、43が底辺の角に位置して対向するように配置されている。チャックローラ41は、チャックアーム44の先端に固定され、点線で示す位置までチャック駆動機構45により回動されて、ディスク1を受けて実線位置でディスクをチャックし、あるいは逆にチャックしたディスク1を点線位置で解除する。
なお、回転円板31において上側に位置するディスクチャック機構4b(そのチャックローラ41、42、43)は、ディスク1をロードあるいはアンロードする位置にあって、下側に位置するディスクチャック機構4a(そのチャックローラ41、42、43)は、ディスク1を洗浄する位置に設定されている。
図3に示すように、ディスクロード・アンロード機構3は、回転円板31とこれを回転駆動するモータ32とからなり、モータ32が壁面ベース板8に固定されている。そして、モータ32が回転円板31を半回転することにより、ディスクチャック機構4aとディスクチャック機構4bとの位置が入れ替わる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
The
As shown in FIG. 3, the disk loading /
図2に示すように、洗浄ブラシユニット2a,2bは、それぞれ一対のローラで構成されたロールブラシであり、これらは、図1,図2に示すように、洗浄室11において左右に配置されている。洗浄ブラシユニット2aは、ディスク1の表裏に対向して設けられた中空の円筒形の多孔質の一対の多孔質ローラ21,22(以下ローラ21,22)からなり、洗浄ブラシユニット2aは、同様な多孔質ローラ23,24(以下ローラ23,24)とからなる。
これらローラ21〜24は、ロールブラシ回転駆動機構5a,5bの回転軸に中空部を介してそれぞれ装着されている。
ここでのローラ21,22は、洗浄ローラであるとともに、ローラ23,24によるディスク1の回転に対して負荷を与えるローラとなっている。
図4に示すように、ローラ21〜24は、一対の中空の円筒形のスポンジロールブラシであって、例えば、ポリビニールホルマール樹脂製のものである。その引張強度が300kPa〜400kPa程度あって、気孔率が80以上、気孔径が100μm〜2000μm程度のものである。その円筒の外径は、25mm〜100mm程度の範囲から選択され、中空部を形成する内径が12mm〜60mm程度の範囲から選択される。その長さは、250mm〜500mm程度である。
As shown in FIG. 2, the
These
Here, the
As shown in FIG. 4, the
ローラ21,22は、ローラ23,24の回転数に対してこれより少ない回転数で回転してディスク1の表裏に接触する。そのための、ローラ23,24によるディスク1の回転に対してローラ23,24の負荷となる。例えば、ディスク1を反時計方向に回転させるために、ローラ23,24の回転数が500rpmであるとすれば、ローラ21,22の回転数は、その半分の250rpmである。これらのローラは、ディスク1の中心に対して左右に位置しているので、回転方向は相互に逆方向になる。
ローラ21,22の回転数がローラ23,24の回転数より小さいことにより、ローラ23,24によるディスク1の反時計方向の回転は、ローラ21,22によりブレーキがかけられて、ディスク1の回転数は、500rpmより落ちて、300rpm〜450rpm程度になる。
これにより、ローラ21,22とローラ23,24とは、それぞれにディスク1の表裏面に対して摩擦力を発生して接触する。
その結果、ディスク1に付着した油膜や研磨粉、異物等の汚れがシャワー洗浄状態において4つのローラにより落とされる。このとき、ディスク1は、ローラ23,24の回転数まで上がることはなく、チャックローラ41、42、43の回転が抑えられ、高速回転により発生するチャックローラ41、42、43の摩耗による発塵が抑制される。
The
Since the rotation speeds of the
Thus, the
As a result, the oil film, polishing powder, foreign matter and the like attached to the disk 1 are removed by the four rollers in the shower cleaning state. At this time, the disk 1 does not increase to the rotation speed of the
図1に示すロールブラシ回転駆動機構5a,5bは、同じ構造のものであるので、以下ではロールブラシ回転駆動機構5aを中心に図3,図4を参照して説明してロールブラシ回転駆動機構5bについての詳細説明は割愛する。
ロールブラシ回転駆動機構5aは、ローラ21,22が装着されこれらを回転可能に支持するブラシホルダ51(図1,図4参照),52(図3参照)を有している。ブラシホルダ51,52は、図2,図3に示すように、回転軸51a,52aと、回転軸51a,52aを支持する軸受ユニット51b,52b(図3,図4参照)とからなる。さらに、ブラシホルダの回転軸51a,52aを、管に内挿されたシャフトにより、回転を伝動してそれぞれを回転させる伝動シャフト管55,56(図3参照)とからなる。
なお、ブラシホルダ51,52に対応してロールブラシ回転駆動機構5bは、ブラシホルダ53,54(図1参照)を有している。その回転軸が53a,54a(図2参照)であり、軸受ユニットが53b,54b(図4参照)、そして伝動シャフト管が57,58である(図1参照)。
ところで、図3においては、ローラ21,22と回転軸51a,52a、そして伝動シャフト管55,56の関係を説明するために、ディスク洗浄装置10を少し下側から見た図になっている。そのため、図1における伝動シャフト管55と伝動シャフト管56との高さ関係が逆転している。さらに、伝動シャフト管55,56と軸受ユニット51b,52bとのそれぞれの結合の仕方は、図1では省略してあるが、図3に示すように、伝動シャフト管55のシャフト軸は、外側から回り込んで回転軸51aに結合している。一方、伝動シャフト管56のシャフト軸は、内側で回転軸52aに結合する形態を採っている。
Since the roll brush
The roll brush
In correspondence with the
Incidentally, in FIG. 3, the
図3に示すように、伝動シャフト管55,56は、それぞれに対応する軸受55a,56aを介して壁面ベース板8を垂直に貫通し、これにスライド可能に支持され、ロールブラシ間隔設定機構7により進退駆動される。
さらに、伝動シャフト管55,56と同様に伝動シャフト管57,58も壁面ベース板8を垂直に貫通し、これにスライド可能に支持され、ロールブラシ間隔設定機構7により進退駆動される。
これら伝動シャフト管55〜58は、それぞれ内部を貫通するシャフトの端部に従動ギヤ55b〜58b(図5参照)が装着されている。これら従動ギヤ55b〜58bは、歯数が同じである。従動ギヤ55bと従動ギヤ56bとが噛合し、従動ギヤ57bと従動ギヤ58bとが噛合している。
駆動ギヤ59が従動ギヤ55bに噛合することでこれら従動ギヤ55b,56bが駆動され、駆動ギヤ60が従動ギヤ57bに噛合することで従動ギヤ57b,58bが駆動される。
As shown in FIG. 3, the
Further, like the
These
When the
駆動ギヤ59の歯数は、駆動ギヤ60より少なく、駆動ギヤ59には、それぞれ従動プーリ61、62(図3参照)が固定されている。一方、駆動ギヤ60には、従動プーリ63が固定されている。
従動プーリ61,62は、従動プーリ63より径が大きいプーリである。これら従動プーリ61〜63は、1個のモータ64に結合した駆動プーリ65によりベルト66を介して駆動される。
これにより、伝動シャフト管55,56は、伝動シャフト管57,58の実質的に1/2の回転数まで落とされる。その結果、前記したように、ローラ21,22が250rpmで、ローラ23,24が500rpmとなる。
また、1個のモータ64でローラ21,22とローラ23,24とが回転駆動されることで、回転数が異なっても同期が採れた回転となるので、4個のローラを接触させたとしても、ディスク1の表裏面に対して洗浄痕等が発生し難いものとなる。
The
The driven pulleys 61 and 62 are pulleys having a larger diameter than the driven
As a result, the
In addition, since the
図3に示すロールブラシ間隔設定機構7は、ローラ21〜24の相互の間隔を設定する機構である。これは、進退駆動機構71とシーソレバー72とからなる。進退駆動機構71は、ステッピングモータ等の進退駆動機構であって、シーソレバー72の一端にロッド71aが結合され、シーソレバー72を後退させることで、伝動シャフト管55,56を相互に逆方向に所定の距離だけ移動させて、一対のローラ21,22を当接させたり、離間させたりするローラ当接機構となっている。なお、ローラ21,22を当接させるローラ洗浄状態のときに、あるいはローラ21,22をディスク1の面に当接させるディスク洗浄状態にあるときには、ベルト66が従動プーリ61から従動プーリ62に切り替わる。
伝動シャフト管57,58については図示していないが、同様であり、これの相互に逆方向の移動により一対のローラ23,24をローラ21,22と同様に、これらと同時に当接させたり、離間させたりする。
The roll brush
The
7a,7b(図示せず)は、軸受ユニット51b,52bにそれぞれ取り付けられたシャワーノズルであり、ローラ21,22に対応して設けられている。これらシャワーノズル7a,7bは、ディスク洗浄装置10の洗浄位置にディスク1が装填されていない状態で、ロールブラシ間隔設定機構7が駆動されて、ローラ21,22が点線で示すように接触したときに、ローラ21,22に背面から洗浄液を噴射供給する。図示していないが、ローラ23,24についても同様なシャワーノズルがある。もちろん、シャワーノズル7a,7bは、ディスク洗浄時にも使用される。さらに、シャワーノズル6a,6bもロールブラシの洗浄に使用されてもよいことはもちろんである。
このとき、ローラ21,22とローラ23,24とは、外径が25mm〜100mm程度のものであるので、ローラ洗浄状態のときにディスク1の面に接触している状態よりも大きく相互に撓み、例えば、3mm〜5mm程度外径が凹んで相互に当接される。この状態でローラ21,22とローラ23,24が空運転されて回転駆動され、ローラ21,22とローラ23,24とに洗浄液が供給されて洗浄される。
7a and 7b (not shown) are shower nozzles attached to the bearing
At this time, since the outer diameters of the
進退駆動機構71は、駆動制御部12により駆動制御され、その制御は、制御装置13により行われる。制御装置13は、図3に示すように、内部にMPU13aとメモリ13b等とを有し、メモリには、ディスク洗浄処理プログラム(PRG)131、ロールブラシ洗浄処理プログラム(PRG)132等が内蔵されている。
MPU13aがディスク洗浄処理プログラム131を実行して、ロールブラシ間隔設定機構7を制御する。このとき、進退駆動機構71は、シーソレバー72を駆動して伝動シャフト管55,57と伝動シャフト管56,58とをそれぞれ逆方向に進退移動させてローラ21,22とローラ23,24をディスク1の表裏に所定の接触圧力で接触させて、同時にシャワーノズル6a,6b,シャワーノズル7a,7b等から洗浄液をローラ21,22とローラ23,24とに噴射供給するとともに、これらを所定時間の間、回転駆動してディスク1の洗浄を行う。
また、洗浄ディスク1が装填されていないときに、必要に応じてMPU13aがロールブラシ洗浄処理プログラム132を実行して、進退駆動機構71を制御し、ローラ21,22とローラ23,24を相互に当接する。このとき、ローラ21,22とローラ23,24とは、3mm〜5mm程度の外径がつぶれるまで当接される。シャワーノズル7a,7b等から洗浄液がシャワーとして供給され、所定時間、空運転されてこれらローラ21,22とローラ23,24が回転して洗浄される。
The advance /
The
Further, when the cleaning disk 1 is not loaded, the
以上、説明してきたが、実施例のローラ21,22とローラ23,24との回転数の差は、一例であって、ローラ21,22は、ローラ23,24のディスクの回転駆動に対して、ディスクを回転することに対する負荷となればよい。そこで、ローラ21,22は、その回転数がローラ23,24の回転数より低いか、駆動されることなくフリー回転してもよい。
As described above, the difference in the rotational speed between the
1…ディスク、2a,2b…洗浄ブラシユニット、
3…ディスクロード・アンロード機構、
4a,4b…ディスクチャック機構、
41、42、43…チャックローラ、
5a,5b…ロールブラシ回転駆動機構、
6a〜6b…シャワーノズル、
7…ロールブラシ間隔設定機構、
8…壁面ベース板、10…ディスク洗浄装置、
11…洗浄室、12…駆動制御部、13…制御装置、
21〜24…ローラ、
51,52,53,54…ブラシホルダ、
51a,52a,53a,54a…回転軸、
51b,52b,53b,54b…軸受ユニット、
55,56,57,58…伝動シャフト管。
1 ... disk, 2a, 2b ... cleaning brush unit,
3 ... Disk loading / unloading mechanism,
4a, 4b ... disc chuck mechanism,
41, 42, 43 ... chuck rollers,
5a, 5b ... Roll brush rotation drive mechanism,
6a-6b ... shower nozzle,
7 ... Roll brush interval setting mechanism,
8 ... Wall base plate, 10 ... Disc cleaning device,
DESCRIPTION OF
21-24 ... Roller,
51, 52, 53, 54 ... brush holder,
51a, 52a, 53a, 54a ... rotating shaft,
51b, 52b, 53b, 54b ... bearing unit,
55, 56, 57, 58 ... transmission shaft tube.
Claims (4)
洗浄対象となるディスクを表裏両面から狭持して回転させる一対の第1の前記回転ブラシと、
前記第1の回転ブラシを回転駆動する駆動機構と、
前記ディスクを回転可能にチャックするチャック機構と、
前記ディスクを表裏両面から狭持して前記第1の回転ブラシによる前記ディスクの回転に対して負荷を与える一対の第2の前記回転ブラシとを備えるディスク洗浄装置。 In disc cleaning equipment that performs shower cleaning using a rotating brush,
A pair of first rotating brushes for rotating the disk to be cleaned from both the front and back surfaces;
A drive mechanism for rotationally driving the first rotating brush;
A chuck mechanism for chucking the disk rotatably;
A disk cleaning apparatus comprising: a pair of second rotating brushes that sandwich the disk from both front and back sides and apply a load to the rotation of the disk by the first rotating brush.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN114700306A (en) * | 2022-04-02 | 2022-07-05 | 南通东西洗轮机机械有限公司 | Washing unit is used in automobile parts processing |
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2004
- 2004-06-30 JP JP2004193046A patent/JP2006015189A/en active Pending
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CN110301875A (en) * | 2019-07-30 | 2019-10-08 | 福建农林大学 | A kind of dish cleaning and brushing machine and its working method |
CN114700306A (en) * | 2022-04-02 | 2022-07-05 | 南通东西洗轮机机械有限公司 | Washing unit is used in automobile parts processing |
CN114700306B (en) * | 2022-04-02 | 2022-12-16 | 南通东西洗轮机机械有限公司 | Washing unit is used in automobile parts processing |
CN117325806A (en) * | 2023-11-10 | 2024-01-02 | 瑞安市洪江车业有限公司 | Disc brake piece greasy dirt cleaning device |
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