JPH09100930A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH09100930A JPH09100930A JP7287893A JP28789395A JPH09100930A JP H09100930 A JPH09100930 A JP H09100930A JP 7287893 A JP7287893 A JP 7287893A JP 28789395 A JP28789395 A JP 28789395A JP H09100930 A JPH09100930 A JP H09100930A
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- Japan
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- diaphragm
- force
- mass flow
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バルブ部分の構成を簡素化し、安価でメンテ
ナンス性に優れたマスフローコントローラを提供するこ
と。 【解決手段】 上面に弁口としての開口１５ａ，１６ａ
が開設された弁ブロック１４の上部にダイヤフラム１８
を設け、このダイヤフラム１８の上面に、これを常時下
方に押圧して前記弁口を閉塞させる押圧体１９を設け、
アクチュエータ２２の下方への押下げ力を上向き方向の
力に変換して押圧体１９に伝達するピック体２４を押圧
体１９の上方に設けたことを特徴としている。
ナンス性に優れたマスフローコントローラを提供するこ
と。 【解決手段】 上面に弁口としての開口１５ａ，１６ａ
が開設された弁ブロック１４の上部にダイヤフラム１８
を設け、このダイヤフラム１８の上面に、これを常時下
方に押圧して前記弁口を閉塞させる押圧体１９を設け、
アクチュエータ２２の下方への押下げ力を上向き方向の
力に変換して押圧体１９に伝達するピック体２４を押圧
体１９の上方に設けたことを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガスや液体など
の流量を制御するマスフローコントローラに関する。
の流量を制御するマスフローコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】前記マスフローコントローラの一つに、
ノルマルクローズタイプ（常時閉路型）のものがある。
このタイプのマスフローコントローラは、従来、図５に
示すように、本体ブロック４１の上面に近い部分に、流
路４２を形成したオリフィスブロック４３を設け、その
下方に、流路４４を形成したノズルブロック４５をばね
４６によって常時上方に付勢し、これによって、オリフ
ィスブロック４３と当接してバルブ閉の状態になるよう
に設け、本体ブロック４１の上面に設けられたピエゾス
タックなどのアクチュエータ４７の下方への押下げ力を
真球４８、プランジャ４９および押圧ピン５０を介して
ノズルブロック４５に伝えて、オリフィスブロック４３
とノズルブロック４５との間に所定の隙間が生じ、バル
ブ開の状態になるように構成されていた。なお、図５に
おいて、５１，５２は本体ブロック４１に形成された流
路で、流路４２，４４にそれぞれ接続されている。５３
はプランジャ４９を上方に常時付勢しているばねであ
る。
ノルマルクローズタイプ（常時閉路型）のものがある。
このタイプのマスフローコントローラは、従来、図５に
示すように、本体ブロック４１の上面に近い部分に、流
路４２を形成したオリフィスブロック４３を設け、その
下方に、流路４４を形成したノズルブロック４５をばね
４６によって常時上方に付勢し、これによって、オリフ
ィスブロック４３と当接してバルブ閉の状態になるよう
に設け、本体ブロック４１の上面に設けられたピエゾス
タックなどのアクチュエータ４７の下方への押下げ力を
真球４８、プランジャ４９および押圧ピン５０を介して
ノズルブロック４５に伝えて、オリフィスブロック４３
とノズルブロック４５との間に所定の隙間が生じ、バル
ブ開の状態になるように構成されていた。なお、図５に
おいて、５１，５２は本体ブロック４１に形成された流
路で、流路４２，４４にそれぞれ接続されている。５３
はプランジャ４９を上方に常時付勢しているばねであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記マ
スフローコントローラにおいては、弁まわりの部品点数
が多いとともに、流路構造が複雑である。このため、粘
度の高い流体の制御には不向きであるとともに、組立性
やメンテナンス性が悪く、製作コストが嵩むといった不
都合がある。
スフローコントローラにおいては、弁まわりの部品点数
が多いとともに、流路構造が複雑である。このため、粘
度の高い流体の制御には不向きであるとともに、組立性
やメンテナンス性が悪く、製作コストが嵩むといった不
都合がある。
【０００４】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、バルブ部分の構成を簡素化し、
安価でメンテナンス性に優れたマスフローコントローラ
を提供することである。
たもので、その目的は、バルブ部分の構成を簡素化し、
安価でメンテナンス性に優れたマスフローコントローラ
を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のマスフローコントローラは、上面に弁口
としての開口が開設された弁ブロックの上部にダイヤフ
ラムを設け、このダイヤフラムの上面に、これを常時下
方に押圧して前記弁口を閉塞させる押圧体を設け、アク
チュエータの下方への押下げ力を上向き方向の力に変換
して押圧体に伝達するピック体を押圧体の上方に設けた
ことを特徴としている。
め、この発明のマスフローコントローラは、上面に弁口
としての開口が開設された弁ブロックの上部にダイヤフ
ラムを設け、このダイヤフラムの上面に、これを常時下
方に押圧して前記弁口を閉塞させる押圧体を設け、アク
チュエータの下方への押下げ力を上向き方向の力に変換
して押圧体に伝達するピック体を押圧体の上方に設けた
ことを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００７】図１〜図４は、この発明の一つの実施の形
態を示すもので、まず、図１において、１は本体ブロッ
ク、２，３は本体ブロック１に形成された流体入口、流
体出口で、接続部材４，５が取り付けられている。６は
本体ブロック１の流体入口２と流体出口３との間に形成
される流体流路で、流体流量検出部７と流体流量制御部
８とが設けられている。
態を示すもので、まず、図１において、１は本体ブロッ
ク、２，３は本体ブロック１に形成された流体入口、流
体出口で、接続部材４，５が取り付けられている。６は
本体ブロック１の流体入口２と流体出口３との間に形成
される流体流路で、流体流量検出部７と流体流量制御部
８とが設けられている。
【０００８】前記流体流量検出部７は、流体流路６に臨
むように開設された測定流路入口９と測定流路出口１０
との間を接続する例えば薄肉毛細管よりなる導管１１に
例えば熱式質量流量センサよりなる抵抗体１２Ａ，１２
Ｂを巻回してなるもので、これらの抵抗体１２Ａ，１２
Ｂは、図外のブリッジ回路に接続されている。１３は流
体流路６に形成された定分流比特性を有するバイパス部
である。
むように開設された測定流路入口９と測定流路出口１０
との間を接続する例えば薄肉毛細管よりなる導管１１に
例えば熱式質量流量センサよりなる抵抗体１２Ａ，１２
Ｂを巻回してなるもので、これらの抵抗体１２Ａ，１２
Ｂは、図外のブリッジ回路に接続されている。１３は流
体流路６に形成された定分流比特性を有するバイパス部
である。
【０００９】前記流体流量制御部８の構成を、図２をも
参照しながら説明する。すなわち、本体ブロック１のバ
イパス部１３よりも下流側の流体流路６に弁ブロック１
４が本体ブロック１の上面よりやや突出した状態で設け
られる。この弁ブロック１４には、一端が弁ブロック１
４よりも上流側の流体流路６Ａに連なり、他端が弁ブロ
ック１４の上面で開口している流路１５が形成されると
ともに、上方が弁ブロック１４の上面で開口し、下端が
弁ブロック１４よりも下流側の流体流路６Ｂに連なる流
路１６が前記流路１５を中心にして形成されている。
参照しながら説明する。すなわち、本体ブロック１のバ
イパス部１３よりも下流側の流体流路６に弁ブロック１
４が本体ブロック１の上面よりやや突出した状態で設け
られる。この弁ブロック１４には、一端が弁ブロック１
４よりも上流側の流体流路６Ａに連なり、他端が弁ブロ
ック１４の上面で開口している流路１５が形成されると
ともに、上方が弁ブロック１４の上面で開口し、下端が
弁ブロック１４よりも下流側の流体流路６Ｂに連なる流
路１６が前記流路１５を中心にして形成されている。
【００１０】１７は弁ブロック１４の上面に載置される
弁ブロック押さえ部材で、内部は中空になっている。そ
して、この押さえ部材１７と弁ブロック１４との間に挟
持されるようにしてダイヤフラム１８が設けられる。こ
のダイヤフラム１８は、後述する押圧体１９、ばね２０
と協働して、図４（Ａ）に示すように、弁ブロック１４
の上面の開口１５ａ，１６ａを常時閉塞する弁体として
機能するもので、その厚みは、例えば０．１５ｍｍ程度
で、ステンレス鋼など耐腐食性およびばね性に富む素材
よりなる。
弁ブロック押さえ部材で、内部は中空になっている。そ
して、この押さえ部材１７と弁ブロック１４との間に挟
持されるようにしてダイヤフラム１８が設けられる。こ
のダイヤフラム１８は、後述する押圧体１９、ばね２０
と協働して、図４（Ａ）に示すように、弁ブロック１４
の上面の開口１５ａ，１６ａを常時閉塞する弁体として
機能するもので、その厚みは、例えば０．１５ｍｍ程度
で、ステンレス鋼など耐腐食性およびばね性に富む素材
よりなる。
【００１１】１９はダイヤフラム１８の上面に載置され
るようにして設けられる押圧体で、上部外周にくびれ部
分１９ａを備え、内部にばね２０の大半を収容するため
の空間１９ｂを備えた有底の筒体で、例えばステンレス
鋼よりなる。２０は前記空間１９ｂに大半が収容され、
後述するピエゾスタック２２の出力部２２ａ側の凹部２
２ｂとの間に介装されるばねで、押圧体１９を常時下方
に付勢している。したがって、ダイヤフラム１８は、常
時下方に付勢されて弁ブロック１４の上面に密着し、弁
ブロック１４に形成された流路１５の上部開口１５ａお
よび流路１６の上部開口１６ａを閉塞する。２１はシー
ル部材である。
るようにして設けられる押圧体で、上部外周にくびれ部
分１９ａを備え、内部にばね２０の大半を収容するため
の空間１９ｂを備えた有底の筒体で、例えばステンレス
鋼よりなる。２０は前記空間１９ｂに大半が収容され、
後述するピエゾスタック２２の出力部２２ａ側の凹部２
２ｂとの間に介装されるばねで、押圧体１９を常時下方
に付勢している。したがって、ダイヤフラム１８は、常
時下方に付勢されて弁ブロック１４の上面に密着し、弁
ブロック１４に形成された流路１５の上部開口１５ａお
よび流路１６の上部開口１６ａを閉塞する。２１はシー
ル部材である。
【００１２】２２はアクチュエータとしてのピエゾスタ
ックで、複数のピエゾ素子を積層して形成してあり、弁
ブロック押さえ部材１７の上方に立設された筒状のケー
ス２３内に収容されている。このピエゾスタック２２の
下端の出力部２２ａは、押圧体１９の上端面とやや離間
しており、その凹部２２ｂにはばね２０の上端が当接し
ている。また、ピエゾスタック２２の上部は、図示して
ないが、ケース２３の上部外周に形成したねじ部に螺着
されるユニオンナット形状の調整ナットにより押圧保持
されている。このピエゾスタック２２においては、所定
の電圧を印加されることにより、出力部２２ａがばね２
０の付勢力に抗して下方に移動し、下方への押下げ力が
発生する。
ックで、複数のピエゾ素子を積層して形成してあり、弁
ブロック押さえ部材１７の上方に立設された筒状のケー
ス２３内に収容されている。このピエゾスタック２２の
下端の出力部２２ａは、押圧体１９の上端面とやや離間
しており、その凹部２２ｂにはばね２０の上端が当接し
ている。また、ピエゾスタック２２の上部は、図示して
ないが、ケース２３の上部外周に形成したねじ部に螺着
されるユニオンナット形状の調整ナットにより押圧保持
されている。このピエゾスタック２２においては、所定
の電圧を印加されることにより、出力部２２ａがばね２
０の付勢力に抗して下方に移動し、下方への押下げ力が
発生する。
【００１３】２４はピエゾスタック２２の下方への押下
げ力を上向き方向の力に変換して押圧体１９に伝達する
手段としてのピック体で、例えば、ステンレス鋼板のよ
うに強度とばね性を有する素材よりなる厚さ０．３ｍｍ
程度の円板状の素材を、図３（Ａ），（Ｂ）に示すよう
に、８等分する線に沿って切り込み、中心部２４ａおよ
びこれと周部２４ｂとの間の部分２５ｃを切り欠き、下
方にやや折り曲げられた係止部２４ｄを９０°ずつ形成
したものである。
げ力を上向き方向の力に変換して押圧体１９に伝達する
手段としてのピック体で、例えば、ステンレス鋼板のよ
うに強度とばね性を有する素材よりなる厚さ０．３ｍｍ
程度の円板状の素材を、図３（Ａ），（Ｂ）に示すよう
に、８等分する線に沿って切り込み、中心部２４ａおよ
びこれと周部２４ｂとの間の部分２５ｃを切り欠き、下
方にやや折り曲げられた係止部２４ｄを９０°ずつ形成
したものである。
【００１４】そして、このピック体２４は、その周部２
４ｂをピエゾスタック２２の出力部２２ａに当接させ、
係止部２４ｄの先端側を押圧体１９のくびれ部分１９ａ
に係合させるとともに、係止部２４ｄの下面側を弁ブロ
ック押さえ部材１７の突出部１７ａに保持させるように
して設けられている。すなわち、ピック体２４は、突出
部１７ａを支点として、第１種のてこのように保持され
ている。
４ｂをピエゾスタック２２の出力部２２ａに当接させ、
係止部２４ｄの先端側を押圧体１９のくびれ部分１９ａ
に係合させるとともに、係止部２４ｄの下面側を弁ブロ
ック押さえ部材１７の突出部１７ａに保持させるように
して設けられている。すなわち、ピック体２４は、突出
部１７ａを支点として、第１種のてこのように保持され
ている。
【００１５】上述した構成のマスフローコントローラの
動作について、図４（Ａ），（Ｂ）をも参照しながら説
明すると、ピエゾスタック２２に電圧が印加されてない
状態（常時）においては、図４（Ａ）に示すように、押
圧体１９とピエゾスタック２２の出力側との間に介装さ
れたばね２０の付勢力により、押圧体１９が下方に押し
下げられ、これによって、ダイヤフラム１８が弁ブロッ
ク１４の上面に密着し、弁ブロック１４に形成された流
路１５の上部開口１５ａおよび流路１６の上部開口１６
ａを閉塞し、バルブ閉の状態になっている。
動作について、図４（Ａ），（Ｂ）をも参照しながら説
明すると、ピエゾスタック２２に電圧が印加されてない
状態（常時）においては、図４（Ａ）に示すように、押
圧体１９とピエゾスタック２２の出力側との間に介装さ
れたばね２０の付勢力により、押圧体１９が下方に押し
下げられ、これによって、ダイヤフラム１８が弁ブロッ
ク１４の上面に密着し、弁ブロック１４に形成された流
路１５の上部開口１５ａおよび流路１６の上部開口１６
ａを閉塞し、バルブ閉の状態になっている。
【００１６】上記バルブ閉の状態にあるとき、ピエゾス
タック２２に所定の電圧が印加されると、その出力部２
２ａが下方に移動し、押下げ方向の力が発生する。この
力は、ピック体２４の周部２４ｂに作用し、つまり、周
部２４ｂは、下向き方向の力が作用する力点となる。そ
して、この力点に働く力は第１種のてことしてのピック
体２４の係止部２４ｄ側においては上向き方向の力とな
り、この力が押圧体１９のくびれ部１９ａに上向きの力
として作用する。つまり、くびれ部１９ａに当接するピ
ック体２４の係止部２４の先端側が作用点となる。
タック２２に所定の電圧が印加されると、その出力部２
２ａが下方に移動し、押下げ方向の力が発生する。この
力は、ピック体２４の周部２４ｂに作用し、つまり、周
部２４ｂは、下向き方向の力が作用する力点となる。そ
して、この力点に働く力は第１種のてことしてのピック
体２４の係止部２４ｄ側においては上向き方向の力とな
り、この力が押圧体１９のくびれ部１９ａに上向きの力
として作用する。つまり、くびれ部１９ａに当接するピ
ック体２４の係止部２４の先端側が作用点となる。
【００１７】上述のように、ピエゾスタック２２によっ
て発生された下向きの力は、ピック体２４によって、押
圧体１９に対して上向きの力として作用する力に変換さ
れる。この上向きの力を受けた押圧体１９は、図４
（Ｂ）に示すように、ばね２０の付勢力に抗して上方に
持ち上げられるようになり、これにより、ダイヤフラム
１８に対する押圧力が解除され、弁ブロック１４の上面
に密着していたダイヤフラム１８が上方に移動して、前
記上部開口１５ａ，１６ａが開放され、バルブ開の状態
になる。このバルブ開の状態では、流路１５側から流路
１６側に流体が流れることができる。
て発生された下向きの力は、ピック体２４によって、押
圧体１９に対して上向きの力として作用する力に変換さ
れる。この上向きの力を受けた押圧体１９は、図４
（Ｂ）に示すように、ばね２０の付勢力に抗して上方に
持ち上げられるようになり、これにより、ダイヤフラム
１８に対する押圧力が解除され、弁ブロック１４の上面
に密着していたダイヤフラム１８が上方に移動して、前
記上部開口１５ａ，１６ａが開放され、バルブ開の状態
になる。このバルブ開の状態では、流路１５側から流路
１６側に流体が流れることができる。
【００１８】そして、ピエゾスタック２２に対する電圧
の印加がなくなると、その出力部２２ａが上方に復帰
し、ピック体２４に対する押下げ力もなくなるので、ピ
ック体２４はばね２０の付勢力により下方に移動し、そ
の押下げ力によりダイヤフラム１８は、弁ブロック１４
の上面に再び密着し、図４（Ａ）に示す状態、すなわ
ち、バルブ閉の状態に復帰する。
の印加がなくなると、その出力部２２ａが上方に復帰
し、ピック体２４に対する押下げ力もなくなるので、ピ
ック体２４はばね２０の付勢力により下方に移動し、そ
の押下げ力によりダイヤフラム１８は、弁ブロック１４
の上面に再び密着し、図４（Ａ）に示す状態、すなわ
ち、バルブ閉の状態に復帰する。
【００１９】上記構成のマスフローコントローラにおい
ては、弁まわりの部品点数が少なくなり、流路の構造も
簡単である。このため、粘度の高い流体をも容易に制御
することができるとともに、組立性やメンテナンス性が
向上し、それだけ、製作コストを低減することができ
る。
ては、弁まわりの部品点数が少なくなり、流路の構造も
簡単である。このため、粘度の高い流体をも容易に制御
することができるとともに、組立性やメンテナンス性が
向上し、それだけ、製作コストを低減することができ
る。
【００２０】なお、上述のマスフローコントローラにお
いては、流体流量検出部７を流体流量制御部８よりも上
流側に設けてあるが、この配置を逆にしてもよい。
いては、流体流量検出部７を流体流量制御部８よりも上
流側に設けてあるが、この配置を逆にしてもよい。
【００２１】そして、上述の説明から理解されるよう
に、ピエゾスタック２２は、その出力部２２ａに押し動
かす力が出力され、したがって、ノルマルオープンタイ
プ（常時開路型）のマスフローコントローラのアクチュ
エータとして用いられることが多い。そして、上記実施
の形態におけるマスフローコントローラにおいても、そ
の構成部品は、ノルマルオープンタイプのものである。
に、ピエゾスタック２２は、その出力部２２ａに押し動
かす力が出力され、したがって、ノルマルオープンタイ
プ（常時開路型）のマスフローコントローラのアクチュ
エータとして用いられることが多い。そして、上記実施
の形態におけるマスフローコントローラにおいても、そ
の構成部品は、ノルマルオープンタイプのものである。
【００２２】このように、この発明によれば、ノルマル
オープンタイプのバルブを使用してノルマルクローズタ
イプのバルブを得ることができ、これら両タイプにおけ
る部品の共通化が図れることにより、組立ライン上にお
ける作り置きが可能になり、より一層合理化が可能にな
り、コストダウンが促進される。
オープンタイプのバルブを使用してノルマルクローズタ
イプのバルブを得ることができ、これら両タイプにおけ
る部品の共通化が図れることにより、組立ライン上にお
ける作り置きが可能になり、より一層合理化が可能にな
り、コストダウンが促進される。
【００２３】なお、アクチュエータとしては、ピエゾス
タックのほか、電磁方式、サーマル方式のものを用いて
もよい。
タックのほか、電磁方式、サーマル方式のものを用いて
もよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、汎用性が広く、安価でメンテナンス性に優れたマス
フローコントローラを効率よく得ることができる。
ば、汎用性が広く、安価でメンテナンス性に優れたマス
フローコントローラを効率よく得ることができる。
【図１】この発明の一つの実施の形態におけるマスフロ
ーコントローラの構成を示す断面図である。
ーコントローラの構成を示す断面図である。
【図２】前記マスフローコントローラの要部の構成を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】前記マスフローコントローラにおいて用いるピ
ック体の構成を示す図である。
ック体の構成を示す図である。
【図４】前記マスフローコントローラの動作説明図であ
る。
る。
【図５】従来のマスフローコントローラの要部の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
１４…弁ブロック、１５ａ，１６ａ…開口、１８…ダイ
ヤフラム、１９…押圧体、２２…アクチュエータ、２４
…ピック体。
ヤフラム、１９…押圧体、２２…アクチュエータ、２４
…ピック体。
Claims (1)
- 【請求項１】 上面に弁口としての開口が開設された弁
ブロックの上部にダイヤフラムを設け、このダイヤフラ
ムの上面に、これを常時下方に押圧して前記弁口を閉塞
させる押圧体を設け、アクチュエータの下方への押下げ
力を上向き方向の力に変換して押圧体に伝達するピック
体を押圧体の上方に設けたことを特徴とするマスフロー
コントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28789395A JP3639362B2 (ja) | 1995-10-08 | 1995-10-08 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28789395A JP3639362B2 (ja) | 1995-10-08 | 1995-10-08 | マスフローコントローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09100930A true JPH09100930A (ja) | 1997-04-15 |
| JP3639362B2 JP3639362B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=17723088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28789395A Expired - Fee Related JP3639362B2 (ja) | 1995-10-08 | 1995-10-08 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3639362B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000013957A (ko) * | 1998-08-14 | 2000-03-06 | 윤종용 | 반도체장치 제조설비의 가스유량조절기 |
| WO2005054729A1 (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-16 | Fujikin Incorporated | 流体制御器 |
| WO2013006552A2 (en) * | 2011-07-02 | 2013-01-10 | Viking At, Llc | Mass flow controller driven by smart material actuator with mechanical amplification |
| WO2014156043A1 (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | 株式会社フジキン | 流量制御装置用の流量制御弁 |
| US8850892B2 (en) | 2010-02-17 | 2014-10-07 | Viking At, Llc | Smart material actuator with enclosed compensator |
| JP2017067104A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 弁体駆動機構及びこれを備えた流量制御弁 |
| JP2019510179A (ja) * | 2016-04-01 | 2019-04-11 | インテグリス・インコーポレーテッド | 完全閉鎖を伴うダイヤフラムバルブ |
| US10276776B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-04-30 | Viking At, Llc | Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly |
-
1995
- 1995-10-08 JP JP28789395A patent/JP3639362B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (15)
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