JPH0897659A - Ｌｃフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
Ｌｃフィルタ及びその製造方法Info
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- JPH0897659A JPH0897659A JP23139094A JP23139094A JPH0897659A JP H0897659 A JPH0897659 A JP H0897659A JP 23139094 A JP23139094 A JP 23139094A JP 23139094 A JP23139094 A JP 23139094A JP H0897659 A JPH0897659 A JP H0897659A
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- filter
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- electrode
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】小型で工程が簡素化されコストの低減が図られ
たＬＣフィルタ及びその製造方法を提供する。 【構成】アルミナ基板１１上に下部電極１２，誘電体層
１３，上部電極１４を順次積層し、その上部電極１４に
所定のインダクタンスを有するようにスパイラル状に溝
１５を形成した。
たＬＣフィルタ及びその製造方法を提供する。 【構成】アルミナ基板１１上に下部電極１２，誘電体層
１３，上部電極１４を順次積層し、その上部電極１４に
所定のインダクタンスを有するようにスパイラル状に溝
１５を形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波帯域で使用さ
れ、かつ表面実装に好適なＬＣフィルタ及びその製造方
法に関する。
れ、かつ表面実装に好適なＬＣフィルタ及びその製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】上述のようなＬＣフィルタを製造するに
は、従来、基板上に印刷法でパターンを印刷してインダ
クタ素子を形成し、また基板上の、インダクタ素子が形
成された部分以外の部分にチップコンデンサを実装し、
あるいは印刷法でパターンを印刷してコンデンサ素子を
形成し、これらインダクタとコンデンサを組み合わせる
ことにより行われている。
は、従来、基板上に印刷法でパターンを印刷してインダ
クタ素子を形成し、また基板上の、インダクタ素子が形
成された部分以外の部分にチップコンデンサを実装し、
あるいは印刷法でパターンを印刷してコンデンサ素子を
形成し、これらインダクタとコンデンサを組み合わせる
ことにより行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、インダクタ
素子を印刷法で基板上に形成するには、印刷されるパタ
ーン幅の寸法精度は粗いため、パターン相互間の寸法が
小さく設定されていると、印刷する際これら印刷パター
ンどうしが接触し短絡する場合がある。そこで、印刷パ
ターン相互間の寸法はある程度余裕をもって拡げる必要
があり、このため印刷パターンの占める面積が大きくな
り、ＬＣフィルタの形状も大きくなるという問題があ
る。また、例えばインダクタンスの大きいインダクタ素
子を印刷法で基板上に形成するには、印刷回数もそれだ
け多くなり手間がかかり、コストアップの要因となり問
題がある。
素子を印刷法で基板上に形成するには、印刷されるパタ
ーン幅の寸法精度は粗いため、パターン相互間の寸法が
小さく設定されていると、印刷する際これら印刷パター
ンどうしが接触し短絡する場合がある。そこで、印刷パ
ターン相互間の寸法はある程度余裕をもって拡げる必要
があり、このため印刷パターンの占める面積が大きくな
り、ＬＣフィルタの形状も大きくなるという問題があ
る。また、例えばインダクタンスの大きいインダクタ素
子を印刷法で基板上に形成するには、印刷回数もそれだ
け多くなり手間がかかり、コストアップの要因となり問
題がある。
【０００４】一方、コンデンサ素子はチップコンデンサ
を実装したり印刷法で形成されるため、チップコンデン
サの厚みや印刷パターンの占める面積で、やはりＬＣフ
ィルタの形状が大きくなるという問題がある。また、イ
ンダクタ素子とコンデンサ素子をそれぞれトリミングし
て所定の値に設定し、これらインダクタ素子とコンデン
サ素子を組み合わせて製造するのでは、多くの工程を必
要とし、製造コストが高くなるという問題もある。
を実装したり印刷法で形成されるため、チップコンデン
サの厚みや印刷パターンの占める面積で、やはりＬＣフ
ィルタの形状が大きくなるという問題がある。また、イ
ンダクタ素子とコンデンサ素子をそれぞれトリミングし
て所定の値に設定し、これらインダクタ素子とコンデン
サ素子を組み合わせて製造するのでは、多くの工程を必
要とし、製造コストが高くなるという問題もある。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑み、小型で工程が
簡素化されコストの低減化が図られたＬＣフィルタ及び
その製造方法を提供することを目的とする。
簡素化されコストの低減化が図られたＬＣフィルタ及び
その製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のＬＣフィルタは、 （１）基板上に形成された下部電極 （２）その下部電極上に積層された誘電体層 （３）その誘電体層上に積層されると共に所定のインダ
クタンスを有するようにスパイラル状に形成された上部
電極 を備えたことを特徴とするものである。
明のＬＣフィルタは、 （１）基板上に形成された下部電極 （２）その下部電極上に積層された誘電体層 （３）その誘電体層上に積層されると共に所定のインダ
クタンスを有するようにスパイラル状に形成された上部
電極 を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】また、上記ＬＣフィルタを製造する本発明
の製造方法は、基板上に下部電極層を形成し、その下部
電極層上に誘電体層を積層し、その誘電体層上に上部電
極層を積層し、その上部電極層をスパイラル状にトリミ
ングすることを特徴とするものである。
の製造方法は、基板上に下部電極層を形成し、その下部
電極層上に誘電体層を積層し、その誘電体層上に上部電
極層を積層し、その上部電極層をスパイラル状にトリミ
ングすることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明のＬＣフィルタは、下部電極と、誘電体
層と、上部電極とが基板上に順次積層されており、誘電
体層を挟んだ下部電極と上部電極とからなるコンデンサ
素子が形成されている。また、上部電極は所定のインダ
クタンスを有するようにスパイラル状に形成されている
ため、上部電極上にはインダクタ素子が形成される。こ
のようにコンデンサ素子，インダクタ素子は、下部電
極，誘電体層，上部電極が積層された部分に形成されて
いるため、従来技術のようにコンデンサ素子とインダク
タ素子とを基板上の別々の部分にそれぞれ配置するよう
なこともなく、基板の面積が小さくて済み、小型化され
る。
層と、上部電極とが基板上に順次積層されており、誘電
体層を挟んだ下部電極と上部電極とからなるコンデンサ
素子が形成されている。また、上部電極は所定のインダ
クタンスを有するようにスパイラル状に形成されている
ため、上部電極上にはインダクタ素子が形成される。こ
のようにコンデンサ素子，インダクタ素子は、下部電
極，誘電体層，上部電極が積層された部分に形成されて
いるため、従来技術のようにコンデンサ素子とインダク
タ素子とを基板上の別々の部分にそれぞれ配置するよう
なこともなく、基板の面積が小さくて済み、小型化され
る。
【０００９】また、コンデンサ素子とインダクタ素子を
積層して製造する方法のため、従来技術のようにコンデ
ンサ素子とインダクタ素子とを別々に製造しそれらを組
み合わせて製造する工程と比較し、工程が簡素化されコ
ストが低減される。さらに上部電極層をスパイラル状に
トリミングする方法のため、従来技術の、印刷法でイン
ダクタ素子を印刷して形成する方法と比較し、繰り返し
印刷する必要もなくインダクタ素子が容易に形成され
る。また、印刷パターンの占める大きな面積も必要なく
小型化される。さらにスパイラル状に形成された溝相互
間の寸法は細かく形成できるため、大きなインダクタン
スのインダクタ素子が容易に形成される。
積層して製造する方法のため、従来技術のようにコンデ
ンサ素子とインダクタ素子とを別々に製造しそれらを組
み合わせて製造する工程と比較し、工程が簡素化されコ
ストが低減される。さらに上部電極層をスパイラル状に
トリミングする方法のため、従来技術の、印刷法でイン
ダクタ素子を印刷して形成する方法と比較し、繰り返し
印刷する必要もなくインダクタ素子が容易に形成され
る。また、印刷パターンの占める大きな面積も必要なく
小型化される。さらにスパイラル状に形成された溝相互
間の寸法は細かく形成できるため、大きなインダクタン
スのインダクタ素子が容易に形成される。
【００１０】また、下部電極，誘電体層，上部電極から
なるコンデンサ素子の上部電極にスパイラル状に溝を形
成することにより、コンデンサ素子のトリミングも同時
に行われることとなり、工程が簡素化される。また、ス
パイラル状に形成された溝相互間の寸法は比較的自由に
変更できるため、インダクタ素子，コンデンサ素子の値
もこれに伴い変更され、所望の周波数で所望の挿入損失
特性を有するＬＣフィルタが容易に形成される。
なるコンデンサ素子の上部電極にスパイラル状に溝を形
成することにより、コンデンサ素子のトリミングも同時
に行われることとなり、工程が簡素化される。また、ス
パイラル状に形成された溝相互間の寸法は比較的自由に
変更できるため、インダクタ素子，コンデンサ素子の値
もこれに伴い変更され、所望の周波数で所望の挿入損失
特性を有するＬＣフィルタが容易に形成される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は、本発明の一実施例のＬＣフィルタの平面図（ａ）
及び図（ａ）に示すＬＣフィルタのＡ−Ａ断面図（ｂ）
である。図１に示すＬＣフィルタは、例えば回路基板に
形成された回路の入力側及び出力側に表面実装され、所
定の周波数帯域の信号成分のみを阻止するＬＣフィルタ
として使用される。
１は、本発明の一実施例のＬＣフィルタの平面図（ａ）
及び図（ａ）に示すＬＣフィルタのＡ−Ａ断面図（ｂ）
である。図１に示すＬＣフィルタは、例えば回路基板に
形成された回路の入力側及び出力側に表面実装され、所
定の周波数帯域の信号成分のみを阻止するＬＣフィルタ
として使用される。
【００１２】図１（ｂ）に示すように、アルミナ基板１
１上に下部電極１２，誘電体層１３，上部電極１４が順
次積層されている。さらに下部電極１２，上部電極１４
はそれぞれ外部電極１６，外部電極１７に接続されてい
る。ここで、下部電極１２，上部電極１４，外部電極１
６，１７には銅（Ｃｕ）が使用されている。また上部電
極１４には、図１（ａ）に示すようにスパイラル状に溝
１５が形成されている。
１上に下部電極１２，誘電体層１３，上部電極１４が順
次積層されている。さらに下部電極１２，上部電極１４
はそれぞれ外部電極１６，外部電極１７に接続されてい
る。ここで、下部電極１２，上部電極１４，外部電極１
６，１７には銅（Ｃｕ）が使用されている。また上部電
極１４には、図１（ａ）に示すようにスパイラル状に溝
１５が形成されている。
【００１３】図２は、図１に示すＬＣフィルタの等価回
路図である。図１に示すＬＣフィルタを図２に示す等価
回路と対照すると、誘電体層１３を挟んだ下部電極１２
と上部電極１４とからコンデンサ素子２１が形成されて
いる。また上部電極１４に形成された溝１５によりイン
ダクタ素子２２が形成されている。このように形成され
たコンデンサ素子２１とインダクタ素子２２が組み合わ
され、ＬＣフィルタ回路が構成されている。
路図である。図１に示すＬＣフィルタを図２に示す等価
回路と対照すると、誘電体層１３を挟んだ下部電極１２
と上部電極１４とからコンデンサ素子２１が形成されて
いる。また上部電極１４に形成された溝１５によりイン
ダクタ素子２２が形成されている。このように形成され
たコンデンサ素子２１とインダクタ素子２２が組み合わ
され、ＬＣフィルタ回路が構成されている。
【００１４】本実施例のＬＣフィルタは積層された構造
のため、外形寸法が、例えば２．０×１．２５ｍｍのチ
ップ抵抗部品と同等の小さな寸法で済む。以下、本発明
者らによる試作について説明する。図３は、本発明の一
実施例のＬＣフィルタの前半の製造過程を示す図、図４
はそのＬＣフィルタの後半の製造過程を示す図である。
のため、外形寸法が、例えば２．０×１．２５ｍｍのチ
ップ抵抗部品と同等の小さな寸法で済む。以下、本発明
者らによる試作について説明する。図３は、本発明の一
実施例のＬＣフィルタの前半の製造過程を示す図、図４
はそのＬＣフィルタの後半の製造過程を示す図である。
【００１５】図３（Ａ）に示すように、チップ抵抗用に
使用される、外形寸法６０．３５ｍｍ×４９．６０ｍｍ
のアルミナ基板３１を用意した。このアルミナ基板３１
には図３（Ａ）の縦方向に２．０ｍｍピッチ、横方向に
１．２５ｍｍピッチでスクライブの溝３２が形成されて
いる。ここでは、この溝３２で分割される２．０ｍｍ×
１．２５ｍｍのアルミナ基板１１それぞれにＬＣフィル
タを形成する。
使用される、外形寸法６０．３５ｍｍ×４９．６０ｍｍ
のアルミナ基板３１を用意した。このアルミナ基板３１
には図３（Ａ）の縦方向に２．０ｍｍピッチ、横方向に
１．２５ｍｍピッチでスクライブの溝３２が形成されて
いる。ここでは、この溝３２で分割される２．０ｍｍ×
１．２５ｍｍのアルミナ基板１１それぞれにＬＣフィル
タを形成する。
【００１６】先ず、図３の平面図（Ｂ）及びそのＢ−Ｂ
断面図（ｂ）に示すようにアルミナ基板１１上に下部電
極１２を積層した。ここで、下部電極１２には、後述す
る外部電極を接続するために、アルミナ基板１１の、図
３（Ｂ）の上の端部までよせて下部電極１２を積層し
た。次に、図３の平面図（Ｃ）およびそのＣ−Ｃ断面図
（ｃ）に示すように、下部電極１２上に誘電体層１３を
積層した。ここで誘電体層１３は、下部電極１２を覆う
とともに、下部電極１２に外部電極を接続するためのス
ペースを確保するために、下部電極１２の、図３（Ｃ）
の上の部分を露出するように積層した。
断面図（ｂ）に示すようにアルミナ基板１１上に下部電
極１２を積層した。ここで、下部電極１２には、後述す
る外部電極を接続するために、アルミナ基板１１の、図
３（Ｂ）の上の端部までよせて下部電極１２を積層し
た。次に、図３の平面図（Ｃ）およびそのＣ−Ｃ断面図
（ｃ）に示すように、下部電極１２上に誘電体層１３を
積層した。ここで誘電体層１３は、下部電極１２を覆う
とともに、下部電極１２に外部電極を接続するためのス
ペースを確保するために、下部電極１２の、図３（Ｃ）
の上の部分を露出するように積層した。
【００１７】次に、図４の平面図（Ａ）及びそのＡ−Ａ
断面図（ａ）に示すように、誘電体１３上に上部電極１
４を積層した。ここで、上部電極１４は、誘電体１３を
覆うとともに、上部電極１４と下部電極１２との接触防
止のために、誘電体１３の、図４（Ａ）の上の部分を露
出するように積層した。次に、図４の平面図（Ｂ）に示
すように、上部電極１４にレーザトリミングして溝１５
を形成した。
断面図（ａ）に示すように、誘電体１３上に上部電極１
４を積層した。ここで、上部電極１４は、誘電体１３を
覆うとともに、上部電極１４と下部電極１２との接触防
止のために、誘電体１３の、図４（Ａ）の上の部分を露
出するように積層した。次に、図４の平面図（Ｂ）に示
すように、上部電極１４にレーザトリミングして溝１５
を形成した。
【００１８】さらに、前述した図１（ａ），図１（ｂ）
に示すように、下部電極１２，上部電極１４にそれぞれ
外部電極１６，外部電極１７を接続した。このように、
簡素化された工程でＬＣフィルタを製作した。製作され
たＬＣフィルタのキャパシタンス，インダクタンスを測
定した結果、それぞれ６００ｐＦ，５ｎＨであった。図
５は、図１に示すＬＣフィルタの周波数に対する挿入損
失を示したグラフである。
に示すように、下部電極１２，上部電極１４にそれぞれ
外部電極１６，外部電極１７を接続した。このように、
簡素化された工程でＬＣフィルタを製作した。製作され
たＬＣフィルタのキャパシタンス，インダクタンスを測
定した結果、それぞれ６００ｐＦ，５ｎＨであった。図
５は、図１に示すＬＣフィルタの周波数に対する挿入損
失を示したグラフである。
【００１９】このグラフに示すように、本実施例のＬＣ
フィルタは、８３．５ＭＨｚの周波数を中心とする帯域
の信号成分を阻止し、それより高い周波数成分も低い周
波数成分も通過させるフィルタである。また、本実施例
のＬＣフィルタの下部電極１２，上部電極１４，外部電
極１６，１７には銅が使用されているため、良好な電気
的特性を有する。
フィルタは、８３．５ＭＨｚの周波数を中心とする帯域
の信号成分を阻止し、それより高い周波数成分も低い周
波数成分も通過させるフィルタである。また、本実施例
のＬＣフィルタの下部電極１２，上部電極１４，外部電
極１６，１７には銅が使用されているため、良好な電気
的特性を有する。
【００２０】このようにして、８０ＭＨｚ以上の高周波
帯域まで良好な挿入損失特性を有する小型のＬＣフィル
タが製造された。
帯域まで良好な挿入損失特性を有する小型のＬＣフィル
タが製造された。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＬＣフィ
ルタ及びその製造方法は、下部電極，誘電体層，所定の
インダクタンスを有するようにスパイラル状に形成され
た上部電極が積層されたものであり、小型で工程が簡素
化されコストが低減される。また、上部電極に形成され
るスパイラル状の溝相互間の寸法は、レーザトリミング
で５０μｍまで可能なため、細かくトリミングできイン
ダクタンスの大きいインダクタ素子を容易に形成するこ
とができる。
ルタ及びその製造方法は、下部電極，誘電体層，所定の
インダクタンスを有するようにスパイラル状に形成され
た上部電極が積層されたものであり、小型で工程が簡素
化されコストが低減される。また、上部電極に形成され
るスパイラル状の溝相互間の寸法は、レーザトリミング
で５０μｍまで可能なため、細かくトリミングできイン
ダクタンスの大きいインダクタ素子を容易に形成するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例のＬＣフィルタの平面図
（ａ）及び図（ａ）に示すＬＣフィルタのＡ−Ａ断面図
（ｂ）である。
（ａ）及び図（ａ）に示すＬＣフィルタのＡ−Ａ断面図
（ｂ）である。
【図２】図１に示すＬＣフィルタの等価回路図である。
【図３】本発明の一実施例のＬＣフィルタの前半の製造
過程を示す図である。
過程を示す図である。
【図４】本発明の一実施例のＬＣフィルタの後半の製造
過程を示す図である。
過程を示す図である。
【図５】図１に示すＬＣフィルタの、周波数に対する挿
入損失を示したグラフである。
入損失を示したグラフである。
１１，３１ アルミナ基板 １２ 下部電極 １３ 誘電体層 １４ 上部電極 １５，３２ 溝 １６，１７ 外部電極 ２１ コンデンサ素子 ２２ インダクタ素子
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に形成された下部電極と、 該下部電極上に積層された誘電体層と、 該誘電体層上に積層されると共に所定のインダクタンス
を有するようにスパイラル状に形成された上部電極とを
備えたことを特徴とするＬＣフィルタ。 - 【請求項２】 基板上に下部電極層を形成し、 該下部電極層上に誘電体層を積層し、 該誘電体層上に上部電極層を積層し、 該上部電極層をスパイラル状にトリミングすることを特
徴とするＬＣフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23139094A JPH0897659A (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | Ｌｃフィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23139094A JPH0897659A (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | Ｌｃフィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897659A true JPH0897659A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16922865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23139094A Withdrawn JPH0897659A (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | Ｌｃフィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0897659A (ja) |
-
1994
- 1994-09-27 JP JP23139094A patent/JPH0897659A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |