JPH0890385A

JPH0890385A - 防塵用ステージ

Info

Publication number: JPH0890385A
Application number: JP6230098A
Authority: JP
Inventors: Shunei Sekido; 俊英関戸; Hiromitsu Kanamori; 浩充金森
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1994-09-26
Filing date: 1994-09-26
Publication date: 1996-04-09

Abstract

(57)【要約】【目的】被処理物への塵埃の付着を抑制し、しかも落
下物がテーブルのスムーズな移動を阻害しない防塵用ス
テージを提供する。【構成】ボールネジ機構３５、軸受部３２を覆い、か
つ中空枠状のテーブル３３の下部所定範囲を収容するカ
バー部材３４ａ，３４ｂを基台３１上に設け、カバー部
材３４ａの所定位置にテーブル３３の往復動を許容する
長尺開口３４ｃを形成し、カバー部材３４ａ，３４ｂの
内部の空気を吸引する吸引装置を基台３１に設け、テー
ブル３３の上面に吸着盤３３ａを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、特にクリーンルール
内での精密加工において高度な防塵を必要とする被加工
物の１軸搬送用ステージに関し、さらに詳細にいえば、
スリットダイコーティング装置などのカラーフィルタ製
造装置、ＩＣ基板加工装置やボンディング装置などの半
導体製造装置、フライス盤などの工作機械などに好適な
防塵用ステージに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から１軸搬送用ステージとして、図
５に示すように、基台５０に設けた１対のガイドレール
５１により往復スライド可能に支承されたテーブル５２
の下部所定位置にボールネジナット（図示せず）を設
け、このボールネジナット５３と噛み合うボールネジ５
４を基台５０に収容し、このボールネジ５４をＡＣサー
ボモータ５５で駆動する構成のものが提案されている。

【０００３】この構成の１軸搬送用ステージを採用すれ
ば、ＡＣサーボモータ５５の動作を高精度に制御するこ
とにより、テーブル５２の移動量、移動速度を高精度に
制御することができ、例えばスリットダイコーティング
装置の基板搬送用ステージとして用いると高品質のコー
ティングを達成することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図５に示す１
軸搬送用ステージは、ボールネジナットとボールネジ５
４からなるボールネジ機構やテーブル５２を支承するガ
イドレール５１からなるスライド機構が、基台５０の殆
どの箇所において外部に露呈されているのであるから、
それらの機構から発生する塵埃の付着によってコーティ
ングの品質が低下するという不都合があるとともに、テ
ーブル５２の移動量、移動速度を余り高精度には制御で
きなくなってしまう可能性があるという不都合がある。

【０００５】これらの不都合についてさらに詳細に説明
する。例えば、カラーフィルター製造工程における被コ
ーティング基板へのカラー塗液のコーティング工程は精
密で且つ異物の混入を極力避ける作業工程であるから、
一般的にクリーンルーム内でコーティング操作を行なわ
れている。即ち、浮遊している塵埃の量が著しく少ない
環境下でコーティング操作を行うことになる。このよう
な環境下でコーティングを行っているにも拘らず、ボー
ルネジ機構やスライド機構の殆どが露呈されており、し
かも、ボールネジ機構はその動作中において絶えず摩擦
係合状態にあるから、必然的に上述の環境を劣化させる
金属同士の摩擦係合によって生じる微小な金属粉や係合
部分に注入された潤滑油が飛散した油滴などの塵埃の発
生を伴なうことになる。そして、上記環境中の塵埃の量
が増加すれば、被コーティング基板上に塵埃が少なから
ず付着することになり得られるコーティング膜の品質が
低下してしまう。

【０００６】また、コーティングを行うに当っては、上
記１軸搬送用ステージのテーブル５２に被コーティング
基板をセットし、ＡＣサーボモータ５５を動作させるこ
とにより、ボールネジ機構を介してテーブル５２を移動
させながらコーティング装置（図示せず）によりコーテ
ィングを行うことになる。したがって、液状のコーティ
ング材料などがコーティング装置から滴下する可能性が
あり、滴下した液状のコーティング材料がボールネジ機
構、スライド機構などに付着する可能性は充分ある。そ
して、コーティング材料がボールネジ機構、スライド機
構などに付着すると、テーブル５２をスムーズに、更に
は高精度に搬送させることができなくなり、ひいては得
られるコーティング膜の品質が低下してしまうことにな
る。

【０００７】即ち、１軸搬送用ステージ自体から発生す
る塵埃の付着によりコーティング膜の品質が低下すると
ともに、外部から１軸搬送用ステージの駆動部や軸受部
に侵入するコーティング材料などによってもコーティン
グ膜の品質が低下してしまう。なお、この不都合は、コ
ーティング装置以外の装置に適用した場合にも同様に発
生する。

【０００８】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、テーブルをスライドさせることに伴って
発生する塵埃がテーブル上の処理対象物に及ぼす影響を
大幅に低減するとともに、処理材料などの内部への侵入
を大幅に低減することができる防塵用ステージを提供す
ることを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項１の防塵用ステージは、基台のカバー部材
が側部に長尺開口を有し、この長尺開口と係合して駆動
部により１方向に往復スライドするテーブルを有する防
塵用ステージであって、上記テーブルが上面に吸着部材
を有し、この吸着部材に連結された配線および／または
配管が、テーブルの側板部を通して外部に導出、または
側板部内や底面板部材を導通された後に側板部および長
尺開口を通して上記カバー部材の内部に導入されてあ
り、上記カバー部材の内部において上記配線および／ま
たは配管がＵ字状に配置されてあり、また上記カバー部
材の内部の空気を吸引排出する吸引流路が上記基台の所
定位置に設けられてあることを特徴とする。

【００１０】請求項２の防塵用ステージは、基台のカバ
ー部材が側部に長尺開口を有し、この長尺開口と係合し
て駆動部により１方向に往復スライドするテーブルを有
する防塵用ステージであって、上記カバー部材の天板部
が、上記側板部の上端から内向きに延びる第１天板部
と、第１天板部の内端から下向きに延びた後に外向きに
延びる第２天板部と、第２天板部の外端から下向きに延
びる第３天板部と、第３天板部の下端から内向きに延び
る第４天板部によって分割形成され、上記テーブルが第
１天板部を収容する水平溝を有しているとともに、上記
第２天板部に長尺開口が形成されてあり、上記カバー部
材の内部の空気を吸引排出する吸引流路が上記基台の所
定位置に設けられてあることを特徴とする。

【００１１】請求項３の防塵用ステージは、基台のカバ
ー部材が側部に長尺開口を有し、この長尺開口と係合し
て駆動部により１方向に往復スライドするテーブルを有
する防塵用ステージであって、上記テーブルが上面に吸
着部材を有し、この吸着部材に連結された配線および／
または配管が、テーブルの側板部を通して外部に導出さ
れた後に側板部および長尺開口を通して上記カバー部材
の内部に導入されてあり、上記カバー部材の内部におい
て上記配線および／または配管がＵ字状に配置されてあ
り、また上記カバー部材の天板部が、上記側板部の上端
から内向きに延びる第１天板部と、第１天板部の内端か
ら下向きに延びた後に外向きに延びる第２天板部と、第
２天板部の外端から下向きに延びる第３天板部と、第３
天板部の下端から内向きに延びる第４天板部によって分
割形成され、上記テーブルが第１天板部を収容する水平
溝を有し、上記第２天板部に長尺開口が形成されてあ
り、上記カバー部材の内部の空気を吸引排出する吸引流
路が上記基台の所定位置に設けられてあることを特徴と
する。

【００１２】

【作用】請求項１の防塵用ステージであれば、処理対象
物を吸着部材によりテーブル上に保持し、処理位置と非
処理位置との間において上記処理対象物を保持したテー
ブルを往復動させて処理を行うに当って、駆動部の摩擦
係合部分、テーブル上面に配設された吸着部材に連結さ
れた配線および／または配管の固定部位との間の摩擦係
合部分において塵埃が発生するが、カバー部材により包
囲されているとともに、吸引流路を介して吸引装置（図
示せず）によりカバー部材内部の空気が吸引されている
のであるから、上記塵埃がカバー部材の外部に漏出する
という不都合を大幅に低減することができる。また、駆
動部やスライド軸受部がカバー部材により包囲されてい
るのであるから、処理材料などが落下した場合であって
も、落下した処理材料などが摩擦係合部分に付着する可
能性を大幅に低減することができる。この結果、処理環
境の劣化を大幅に抑制することができるとともに、テー
ブルの移動精度の低下を大幅に抑制することができ、ひ
いては高品質の処理を達成することができる。

【００１３】請求項２の防塵用ステージであれば、処理
対象物を吸着部材によりテーブル上に保持し、処理位置
と非処理位置との間において上記処理対象物を保持した
テーブルを往復動させて処理を行うに当って、駆動部の
摩擦係合部分、配線および／または配管の固定部位との
間の摩擦係合部分において塵埃が発生するが、カバー部
材により包囲されているとともに、吸引流路を介して吸
引装置（図示せず）によりカバー部材内部の空気が吸引
されているのであるから、上記塵埃がカバー部材の外部
に漏出するという不都合を大幅に低減することができ
る。また、駆動部がカバー部材により包囲されているの
であるから、処理材料などが落下した場合であっても、
落下した処理材料などが摩擦係合部分に付着する可能性
を大幅に低減することができる。この結果、処理環境の
劣化を大幅に抑制することができるとともに、テーブル
の移動精度の低下を大幅に抑制することができる。さら
に、カバーの天板を分割形成したことによってテーブル
の垂直板部の肉厚を他の部分の肉厚よりも薄く設定して
いるので、テーブル全体としての重量を減少させること
ができるとともに、カバーの長尺開口面積を小さくでき
るため、カバー部材内部の空気の吸引に際して開口部分
からの外部空気の流入を減少させることができることに
より、吸引装置の設備費が軽減できる。更に、カバーの
長尺開口部との係合位置をテーブルの底面板部に設定し
ないことから、底面板部の肉厚を大きく設定できるた
め、テーブルの上面板部のたわみの増加を抑制すること
ができ、ひいては高品質の処理を達成することができ
る。

【００１４】請求項３の防塵用ステージであれば、処理
対象物を吸着部材によりテーブル上に保持し、処理位置
と非処理位置との間において上記処理対象物を保持した
テーブルを往復動させて処理を行うに当って、駆動部の
摩擦係合部分、テーブル上面に配設された吸着部材に連
結された配線および／または配管の固定部位との間の摩
擦係合部分において塵埃が発生するが、カバー部材によ
り包囲されているとともに、吸引流路を介して吸引装置
（図示せず）によりカバー部材内部の空気が吸引されて
いるのであるから、上記塵埃がカバー部材の外部に漏出
するという不都合を大幅に低減することができる。ま
た、駆動部がカバー部材により包囲されているのである
から、処理材料などが落下した場合であっても、落下し
た処理材料などが摩擦係合部分に付着する可能性を大幅
に低減することができる。この結果、処理環境の劣化を
大幅に抑制することができるとともに、テーブルの移動
精度の低下を大幅に抑制することができる。さらに、請
求項２の作用項目での説明と同様にテーブルの垂直板部
の肉厚を他の部分の肉厚よりも薄く設定しているので、
テーブル全体としての重量を減少させることができると
ともに、テーブルの上面板部のたわみの増加を抑制する
ことができ、ひいては高品質の処理を達成することがで
きる。

【００１５】

【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発
明を詳細に説明する。図１はこの発明の防塵用ステージ
の一実施例を示す斜視図、図２は同上部分縦断面図であ
る。また図３は、配線および／または配管の別の設置態
様を示す部分縦断面図である。

【００１６】この防塵用ステージ３は、基台３１上に軸
受部（スライド軸受部）３２を介してスライド可能に支
承されたテーブル３３を有しているとともに、テーブル
３３のスライド面を塵埃などで阻害しないようにテーブ
ル３３の下部を包囲するカバー部材３４を有している。
また、テーブル３３を往復動させるためのボールネジ機
構（ボールネジとボールネジナットとを含む機構）３５
が基台３１とテーブル３３との間に設けられている。も
ちろん、ボールネジ機構３５を駆動するための図示しな
い駆動源（ＡＣサーボモータなど）が基台３１の所定位
置に配置されている。

【００１７】上記テーブル３３は、スライド方向に貫通
する内部空間を有する枠体であり、上面板の上面に、配
管３４ｆを介して真空源（図示せず）と連通される多数
の孔を有する吸着盤３３ａが設けられている。そして、
上記上面板の下面にシリンダ装置３３ｂが設けられてい
る。このシリンダ装置３３ｂが動作してシリンダピン３
３ｃがテーブル３３の上面板内及び吸着盤３３ａ内に予
め穿孔されていた孔内を貫通して上昇し、処理後の吸着
盤３３ａに吸着固定された被処理物を吸着盤３３ａから
取り外すことができる。ここで、吸着盤３３ａ、シリン
ダ装置３３ｂ及びシリンダピン３３ｃが機能部材に該当
する。

【００１８】上記カバー部材３４は、上部カバー部材３
４ａと下部カバー部材３４ｂとからなる。下部カバー部
材３４ｂは上記軸受部３２の側部、ボールネジ機構３５
の側部を包囲し得るような所定形状に形成されている。
そして、下部カバー部材３４ｂの所定位置に穿孔され、
吸引ホース３４ｈを介して図示しない吸引装置と連通さ
れる吸引流路３４ｇが基台３１に数箇所形成されてい
る。上部カバー部材３４ａは断面形状が門形に形成され
ている。そして、上部カバー部材３４ａの側板部の所定
位置に長尺開口３４ｃが形成され、この長尺開口３４ｃ
を通してテーブル３３の底面板部が上部カバー３４ａの
内部空間に侵入している。また、上部カバー部材３４ａ
の天板部の下面所定位置に、配線、配管用の中継部３４
ｅが設けられているとともに、配線、配管用の支持案内
部３４ｄが設けられている。この配線、配管３４ｆは、
それぞれシリンダ装置への圧空供給用配管（チューブ）
やセンサー用電気配線、吸着盤用の真空配管（チュー
ブ）であり、図２に示す実施例では上記長尺開口３４ｃ
およびテーブル３３の側板部の開口を通して一旦テーブ
ル３３の外方に出た後、テーブル３３の側板部の開口を
通してテーブル３３の内部に侵入し、それぞれシリンダ
装置３３ｂ、吸着盤３３ａに導かれている。また、図３
に示す実施例では、テーブル３３の側板部や底面板部の
中に穿孔して設けられた流路に連結し、それぞれシリン
ダ装置３３ｂ、吸着盤３３ａに導かれている。上記の構
成の防塵用ステージの作用は次のとおりである。

【００１９】吸着盤３３ａの上に被処理物、例えばコー
ティング装置としてステージを用いるとすると基板（図
示せず）を載せ、図示しない真空源を動作させることに
より、基板を吸着保持する。なお、この間は、シリンダ
装置３３ｂは作動させず、従ってシリンダピン３３ｃは
図２のように吸着盤内に留ったままの状態である。基板
の吸着保持が完了した後は、図示しない駆動源（ＡＣサ
ーボモータなど）を動作させることにより、ボールネジ
機構３５を回転してテーブル３３に移動力を与え、軸受
部３２を介して基台３１上に支承されているテーブル３
３を移動させる。そして、テーブル３３が所定位置まで
移動した後は、基板がコーティング装置（図示せず）と
正対してコーティングを開始し、その後、テーブル３３
の移動を継続することにより、基板の全面（または必要
な全領域）に対するコーティングを行うことができる。
但し、コーティング位置として予め設定された位置まで
テーブル３３が移動した状態において、この状態で逆に
コーティング装置２を移動させるようにしてもよいこと
はもちろんである。

【００２０】また、以上の動作を行っている間は、図示
しない吸引装置を動作させることにより、上部カバー部
材３４ａと下部カバー部材３４ｂとの間の空間から流体
を吸引し続けているのであるから、ボールネジ機構３
５、軸受部３２などから摩擦係合などに起因する金属粉
や潤滑用油滴などの塵埃が発生しても、その殆どが吸引
装置により吸引され、クリーンルーム１内の清浄環境を
殆ど劣化させない。したがって、異物の付着が回避でき
て基板上に得られるコーティング膜の品質を高く維持す
ることができる。また、コーティング装置２からコーテ
ィング材料が落下する可能性があっても、上部カバー部
材３４ａには、側板部のみに長尺開口３４ｃが形成され
ており、他の領域には開口が全くないのであるから、落
下するコーティング材料が上部カバー部材３４ａの内部
に侵入するおそれが殆どなく、ボールネジ機構３５、軸
受部３２のスムーズで高精度な動作を阻害するおそれが
殆どない。したがって、テーブル３３の移動量、移動速
度を高精度に制御することができ、この面からも、得ら
れるコーティング膜の品質を高く維持することができ
る。

【００２１】また、テーブル３３が移動することによ
り、配線、配管３４ｆの中継部３４ｅに対する相対位置
が変化するが、配線、配管３４ｆは上部カバー部材３４
ａの内部においてＵ字状に折り返されている関係上、折
り返し位置が変化するだけであり、しかも、折り返し位
置の変化に伴なう配線、配管３４ｆの移動により発生す
る可能性がある塵埃などは吸引装置により吸引されるの
であるから、クリーンルーム１内の清浄環境を殆ど劣化
させない。

【００２２】なお、図１においては、テーブル３３や上
部カバー部材３４ａがそれぞれ一体形成されている状態
を示しているが、防塵用ステージ組立の便宜を考慮すれ
ば、図１に破線で示すように、テーブル３３の天板部、
底板部、側板部を別体に得ておくとともに、上部カバー
部材３４ａを長尺開口３４ｃを境界として互いに別体と
して得ておき、所望のタイミングで溶接などにより一体
化することが設備費が安価となり好ましい。

【００２３】

【実施例２】図４はこの発明の防塵用ステージの他の実
施例を示す部分縦断面図であり、上記実施例と異なる点
は、テーブル３３の構造および上部カバー部材３４ａの
構造のみである。なお、下部カバー部材３４ｂは具体的
な形状において上記実施例と異なるが、同様の機能を達
成するものであるから、説明を省略する。

【００２４】この実施例において、上部カバー部材３４
ａは、上記実施例の上部カバー部材３４ａの天板部に代
えて、側板部の上端から水平内方に延びる第１天板部３
４ａ１と、第１天板部３４ａ１の内端から垂直下方に延
びた後に水平外方に延びる第２天板部３４ａ２と、第２
天板部３４ａ２の外端から垂直下方に延びる第３天板部
３４ａ３と、第３天板部３４ａ３の下端から水平内方に
延びる第４天板部３４ａ４とを有し、側板部に長尺開口
３４ｃを形成する代わりに第２天板部３４ａ２に長尺開
口３４ｃを形成してある。

【００２５】また、上記テーブル３３は、側板部の上部
を内方に膨出させてあるとともに、内向き膨出部に対応
させて側板部の外面に第１天板部３４ａ１を収容するた
めの水平溝３３ｃが形成されてある。また、第３天板部
３４ａ３に対応させて側板部の厚みを薄くしてある。し
たがって、この実施例においては、上部カバー部材３４
ａの長尺開口３４ｃのサイズが大きくなっているが、側
板部と第３天板部３４ａ３との間隙が小さくなっている
ので、ボールネジ機構３５、軸受部３２から発生する塵
埃などが外部に漏出するという不都合を効果的に防止す
ることができる。また、第４天板部３４ａ４が第１天板
部３４ａ１の下方にまで入り込んでいるので、コーティ
ング材料が落下したような場合に、落下物が上部カバー
部材３４ａの内部に侵入するという不都合を一層確実に
防止することができる。

【００２６】さらに、第３天板部３４ａ３に沿うテーブ
ル３３の垂直板部の肉厚が他の部分の肉厚よりも著しく
小さく設定されているので、テーブル３３全体としての
重量を減少させることができると共に上部カバー部材３
４ａの中の空気を吸引装置で吸引する際、上部カバー部
材３４ａの中に外部より流入する空気の流量は、第１天
板部３４ａ１と第３天板部３４ａ４の開口隙間で決まる
が、その隙間を小さくすることができるため、流入空気
量が減少でき、従って吸引装置の設備費が削減できる。
しかもテーブル３３の上面板部の肉厚を小さくしていな
いのであるから、上面板部や底面板部のたわみが増加す
るという不都合、処理対象物の保持姿勢が悪くなり、平
面精度が低下したり、吸着面に隙間が生じて吸着力が弱
まるなどの不具合を未然に防止することができる。

【００２７】なお、この発明は上記の実施例に限定され
るものではなく、例えば、上部カバー部材３４ａと下部
カバー部材３４ｂとを一体化することが可能であるほ
か、この発明の要旨を変更しない範囲内において種々の
設計変更を施すことが可能である。

【００２８】

【発明の効果】以上のように請求項１の発明は、駆動
部、配線および／または配管などの摩擦係合に起因する
塵埃がカバー部材の外部に漏出するという不都合を大幅
に低減することができ、また、駆動部がカバー部材によ
り包囲されているのであるから、処理材料などが落下し
た場合であっても、落下した処理材料などが摩擦係合部
分に付着する可能性を大幅に低減することができ、この
結果、処理環境の劣化を大幅に抑制することができると
ともに、テーブルの移動精度の低下を大幅に抑制するこ
とができ、ひいては高品質の処理を達成することができ
るという特有の効果を奏する。

【００２９】請求項２の発明は、駆動部の摩擦係合に起
因する塵埃がカバー部材の外部に漏出するという不都合
を大幅に低減することができ、また、駆動部がカバー部
材により包囲されているのであるから、処理材料などが
落下した場合であっても、落下した処理材料などが摩擦
係合部分に付着する可能性を大幅に低減することがで
き、この結果、処理環境の劣化を大幅に抑制することが
できるとともに、テーブルの移動精度の低下を大幅に抑
制することができ、さらに、テーブルの垂直板部の肉厚
を他の部分の肉厚よりも薄く設定しているので、テーブ
ル全体としての重量を減少させることができるととも
に、カバー部材内への外部からの流入空気量を減少で
き、吸引装置の設備が削減できる。更にテーブルの上面
板部のたわみの増加を抑制することができるのでテーブ
ルの平面精度を高精度に保持でき、ひいては高品質の処
理を達成することができるという特有の効果を奏する。

【００３０】請求項３の発明は、駆動部、配線および／
または配管などの摩擦係合に起因する塵埃がカバー部材
の外部に漏出するという不都合を大幅に低減することが
でき、また、駆動部がカバー部材により包囲されている
のであるから、処理材料などが落下した場合であって
も、落下した処理材料などが摩擦係合部分に付着する可
能性を大幅に低減することができ、この結果、処理環境
の劣化を大幅に抑制することができるとともに、テーブ
ルの移動精度の低下を大幅に抑制することができ、さら
に、テーブルの垂直板部の肉厚を他の部分の肉厚よりも
薄く設定しているので、テーブル全体としての重量を減
少させることができるとともに、テーブルの上面板部の
たわみの増加を抑制することができ、ひいては高品質の
処理を達成することができるという特有の効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の防塵用ステージの一実施例を示す斜
視図である。

【図２】図１のステージの部分縦断面図である。

【図３】図１のステージの部分縦断面図である。

【図４】この発明の防塵用ステージの他の実施例を示す
部分縦断面図である。

【図５】従来の防塵用ステージを示す要部斜視図であ
る。

【符号の説明】

２コーティング装置３防塵用ステージ３１基台３２軸受部３３テーブル３３ａ吸着盤３３ｂシリンダ装置３３ｃシリンダピン３３ｄ水平溝３４ａ上部カバー部材３４ａ１第１天板部３４ａ２第２天板部３４ａ３第３天板部３４ａ４第４天板部３４ｂ下部カバー部材３４ｃ長尺開口３４ｆ配線、配管３５ボールネジ機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台（３１）のカバー部材（３４ａ）が
側部に長尺開口（３４ｃ）を有し、この長尺開口（３４
ｃ）と係合して駆動部（３５）により１方向に往復スラ
イドするテーブル（３３）を有する防塵用ステージ
（３）であって、上記テーブル（３３）が上面に吸着部
材（３３ａ）を有し、この吸着部材（３３ａ）に連結さ
れた配線および／または配管（３４ｆ）が、テーブル
（３３）の側板部を通して外部に導出、または側板部内
や底面板部内を導通された後に側板部および長尺開口
（３４ｃ）を通して上記カバー部材（３４ａ）の内部に
導入されてあり、上記カバー部材（３４ａ）の内部にお
いて上記配線および／または配管（３４ｆ）がＵ字状に
配置されてあり、また上記カバー部材（３４ａ）の内部
の空気を吸引排出する吸引流路（３４ｇ）が上記基台
（３１）の所定位置に設けられてあることを特徴とする
防塵用ステージ。
【請求項２】基台（３１）のカバー部材（３４ａ）が
側部に長尺開口（３４ｃ）を有し、この長尺開口（３４
ｃ）と係合して駆動部（３５）により１方向に往復スラ
イドするテーブル（３３）を有する防塵用ステージ
（３）であって、上記カバー部材（３４ａ）の天板部
が、上記側板部の上端から内向きに延びる第１天板部
（３４ａ１）と、第１天板部（３４ａ１）の内端から下
向きに延びた後に外向きに延びる第２天板部（３４ａ
２）と、第２天板部（３４ａ２）の外端から下向きに延
びる第３天板部（３４ａ３）と、第３天板部（３４ａ
３）の下端から内向きに延びる第４天板部（３４ａ４）
によって分割形成され、上記テーブル（３３）が第１天
板部（３４ａ１）を収容する水平溝（３３ｃ）を有して
いるとともに、上記第２天板部（３４ａ２）に長尺開口
（３４ｃ）が形成されてあり、上記カバー部材（３４
ａ）の内部の空気を吸引排出する吸引流路（３４ｇ）が
上記基台（３１）の所定位置に設けられてあることを特
徴とする防塵用ステージ。
【請求項３】基台（３１）のカバー部材（３４ａ）が
側部に長尺開口（３４ｃ）を有し、この長尺開口（３４
ｃ）と係合して駆動部（３５）により１方向に往復スラ
イドするテーブル（３３）を有する防塵用ステージ
（３）であって、上記テーブル（３３）が上面に吸着部
材（３３ａ）を有し、この吸着部材（３３ａ）に連結さ
れた配線および／または配管（３４ｆ）が、テーブル
（３３）の側板部を通して外部に導出された後に側板部
および長尺開口（３４ｃ）を通して上記カバー部材（３
４ａ）の内部に導入されてあり、上記カバー部材（３４
ａ）の内部において上記配線および／または配管（３４
ｆ）がＵ字状に配置されてあり、また上記カバー部材
（３４ａ）の天板部が、上記側板部の上端から内向きに
延びる第１天板部（３４ａ１）と、第１天板部（３４ａ
１）の内端から下向きに延びた後に外向きに延びる第２
天板部（３４ａ２）と、第２天板部（３４ａ２）の外端
から下向きに延びる第３天板部（３４ａ３）と、第３天
板部（３４ａ３）の下端から内向きに延びる第４天板部
（３４ａ４）によって分割形成され、上記テーブル（３
３）が第１天板部（３４ａ１）を収容する水平溝（３３
ｃ）を有し、上記第２天板部（３４ａ２）に長尺開口
（３４ｃ）が形成されてあり、上記カバー部材（３４
ａ）の内部の空気を吸引排出する吸引流路（３４ｇ）が
上記基台（３１）の所定位置に設けられてあることを特
徴とする防塵用ステージ。