JPH0889748A - フィルタユニット - Google Patents
フィルタユニットInfo
- Publication number
- JPH0889748A JPH0889748A JP6252845A JP25284594A JPH0889748A JP H0889748 A JPH0889748 A JP H0889748A JP 6252845 A JP6252845 A JP 6252845A JP 25284594 A JP25284594 A JP 25284594A JP H0889748 A JPH0889748 A JP H0889748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- air
- adsorbent
- harmful gas
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】少量の粒状吸着剤で事が足り、フィルタが小型
でケーシング寸法も小さく、しかも空気抵抗が小で、低
コストのフィルタユニットを提供する。 【構成】空気入口２と同出口９を備えるケーシング１内
の被処理空気流路に、上流側から順に塵埃除去用のプレ
フィルタ３、粒状吸着剤よりなるケミカルフィルタ４、
５、６、繊維ケミカルフィルタ８を配設した。
でケーシング寸法も小さく、しかも空気抵抗が小で、低
コストのフィルタユニットを提供する。 【構成】空気入口２と同出口９を備えるケーシング１内
の被処理空気流路に、上流側から順に塵埃除去用のプレ
フィルタ３、粒状吸着剤よりなるケミカルフィルタ４、
５、６、繊維ケミカルフィルタ８を配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体産業の空調設備に
好適な有害ガス除去用のフィルタユニットに関する。
好適な有害ガス除去用のフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】空調装置用の有害ガス除去フィルタには
ケミカルフィルタが使用されているが、同フィルタは、
通風体よりなるカセット内に直径が約３ｍｍ、長さが１
０ｍｍ位のペレット状吸着剤等の粒状吸着剤（濾材）を
充填してなるもので、空調設備の外気や還気中のＣｌ
- 、ＮＨ4 +、ＳＯ4 2- 、ＳＯ2 -等を含む有害ガスやＨ2
Ｓ等の有害ガスの除去に使用されている。
ケミカルフィルタが使用されているが、同フィルタは、
通風体よりなるカセット内に直径が約３ｍｍ、長さが１
０ｍｍ位のペレット状吸着剤等の粒状吸着剤（濾材）を
充填してなるもので、空調設備の外気や還気中のＣｌ
- 、ＮＨ4 +、ＳＯ4 2- 、ＳＯ2 -等を含む有害ガスやＨ2
Ｓ等の有害ガスの除去に使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】粒状吸着剤よりなる濾
材のみで構成する従来のフィルタでは、有害ガスの除去
効率を維持するのに多量の粒状吸着剤を必要とし、その
結果フィルタが大型となってケーシング寸法も大となる
ばかりか、空気抵抗も大となり、またコスト高にもなる
という欠点があった。
材のみで構成する従来のフィルタでは、有害ガスの除去
効率を維持するのに多量の粒状吸着剤を必要とし、その
結果フィルタが大型となってケーシング寸法も大となる
ばかりか、空気抵抗も大となり、またコスト高にもなる
という欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は従来の前述した
欠点の除去されたフィルタユニットを提供できるように
した。しかして本発明のフィルタユニットは、空気入口
と同出口を備えるケーシング内の被処理空気流路に、上
流側から順に塵埃除去用のプレフィルタ、粒状吸着剤よ
りなるケミカルフィルタ、繊維ケミカルフィルタを配設
した構造のものとしてある。
欠点の除去されたフィルタユニットを提供できるように
した。しかして本発明のフィルタユニットは、空気入口
と同出口を備えるケーシング内の被処理空気流路に、上
流側から順に塵埃除去用のプレフィルタ、粒状吸着剤よ
りなるケミカルフィルタ、繊維ケミカルフィルタを配設
した構造のものとしてある。
【０００５】
【作用】平衡吸着量が多い粒状吸着剤を被処理空気流路
の上流側に配してあるので、有害ガスが除去されてない
上流側の未処理空気中の有害ガスの多くは粒状吸着剤に
よって効果的に除去され、有害ガスが低濃度の空気とな
る。この低濃度有害ガスの空気は次の繊維ケミカルフィ
ルタを通るが、同フィルタは吸着面積が広く、低濃度で
の吸着効率が高いので、低濃度有害ガスの空気中の有害
ガスも効率よく除去され、有害ガスが十分に除去された
空気となる。
の上流側に配してあるので、有害ガスが除去されてない
上流側の未処理空気中の有害ガスの多くは粒状吸着剤に
よって効果的に除去され、有害ガスが低濃度の空気とな
る。この低濃度有害ガスの空気は次の繊維ケミカルフィ
ルタを通るが、同フィルタは吸着面積が広く、低濃度で
の吸着効率が高いので、低濃度有害ガスの空気中の有害
ガスも効率よく除去され、有害ガスが十分に除去された
空気となる。
【０００６】
【実施例】以下本発明を図１に示す実施例により詳細に
説明する。図中の符号１は本発明に係るフィルタユニッ
トのケーシングで、空気入口２ａと同出口２ｂを備え、
ケーシング内は空気流路となっていて、空気流路の上流
側、好ましくはケーシングの空気入口２ａには塵埃除去
用のプレフィルタ３を設け、続く下流側にはそれぞれ粒
状吸着剤として例えばペレット状吸着剤よりなる一次吸
着フィルタ４、二次吸着フィルタ５、三次吸着フィルタ
６を設け、またその下流にはさらに塵埃除去用のアフタ
フィルタ７を設け、かつ空気出口２ｂには繊維ケミカル
フィルタ８を設けてある。
説明する。図中の符号１は本発明に係るフィルタユニッ
トのケーシングで、空気入口２ａと同出口２ｂを備え、
ケーシング内は空気流路となっていて、空気流路の上流
側、好ましくはケーシングの空気入口２ａには塵埃除去
用のプレフィルタ３を設け、続く下流側にはそれぞれ粒
状吸着剤として例えばペレット状吸着剤よりなる一次吸
着フィルタ４、二次吸着フィルタ５、三次吸着フィルタ
６を設け、またその下流にはさらに塵埃除去用のアフタ
フィルタ７を設け、かつ空気出口２ｂには繊維ケミカル
フィルタ８を設けてある。
【０００７】一次、二次、三次の各吸着フィルタ用ペレ
ット状吸着剤は、例えば活性炭やゼオライトに吸着対象
物質の吸着に適する薬品を含浸せしめたものとしてあ
り、例えば一次吸着フィルタ４ではＮＨ4 +を含む有害ガ
スの、二次吸着フィルタ５ではＣｌ- を含む有害ガス
の、三次吸着フィルタ６ではＳＯ4 2- 、ＳＯ2 -等を含む
有害ガスやＨ2Ｓ等の有害ガスの除去をする。
ット状吸着剤は、例えば活性炭やゼオライトに吸着対象
物質の吸着に適する薬品を含浸せしめたものとしてあ
り、例えば一次吸着フィルタ４ではＮＨ4 +を含む有害ガ
スの、二次吸着フィルタ５ではＣｌ- を含む有害ガス
の、三次吸着フィルタ６ではＳＯ4 2- 、ＳＯ2 -等を含む
有害ガスやＨ2Ｓ等の有害ガスの除去をする。
【０００８】繊維ケミカルフィルタ８は、例えば綿繊維
や炭素繊維に吸着対象物質の吸着に適する薬品を含浸せ
しめてプレート状に形成したものとしてあり、上述のペ
レット状吸着剤と同様に各有害ガスに対応する複数の繊
維ケミカルフィルタを複層設け、有害ガスの除去をす
る。
や炭素繊維に吸着対象物質の吸着に適する薬品を含浸せ
しめてプレート状に形成したものとしてあり、上述のペ
レット状吸着剤と同様に各有害ガスに対応する複数の繊
維ケミカルフィルタを複層設け、有害ガスの除去をす
る。
【０００９】各フィルタは通風性のあるカセット内に濾
材たる各吸着剤を収納したものとしてあり、また、たと
えばケーシングの側部に開けた出入口によってケーシン
グ内にカセットごと着脱できるようにし、対象ガスによ
って要、不要としたり、あるいは能力の異なるものに交
換できるようにする。
材たる各吸着剤を収納したものとしてあり、また、たと
えばケーシングの側部に開けた出入口によってケーシン
グ内にカセットごと着脱できるようにし、対象ガスによ
って要、不要としたり、あるいは能力の異なるものに交
換できるようにする。
【００１０】空気入口２からの高濃度の有害ガス（例え
ば数１０ｐｐｂ）を含む空気は空気入口２１ａのプレフ
ィルタ３によって塵埃が除去され、空気中の有害ガスは
ペレット状吸着剤よりなる一次吸着剤４、二次吸着剤
５、三次吸着剤６により低濃度（例えば数ｐｐｂ）にま
で除去される。
ば数１０ｐｐｂ）を含む空気は空気入口２１ａのプレフ
ィルタ３によって塵埃が除去され、空気中の有害ガスは
ペレット状吸着剤よりなる一次吸着剤４、二次吸着剤
５、三次吸着剤６により低濃度（例えば数ｐｐｂ）にま
で除去される。
【００１１】ペレット状吸着剤により有害ガスが低濃度
まで除去された空気はアフタフィルタ７でさらに微細な
塵埃が除去され、有害ガスは繊維ケミカルフィルタ８に
より極低濃度（例えば１ｐｐｂ以下）まで除去されて半
導体工場のクリーンルーム等へ送られる。
まで除去された空気はアフタフィルタ７でさらに微細な
塵埃が除去され、有害ガスは繊維ケミカルフィルタ８に
より極低濃度（例えば１ｐｐｂ以下）まで除去されて半
導体工場のクリーンルーム等へ送られる。
【００１２】なお、上述した実施例においてはアフタフ
ィルタ７を繊維ケミカルフィルタ８とは別に設けるよう
にしてあるが、アフタフィルタは繊維ケミカルフィルタ
８で兼用するようにしてもよい。
ィルタ７を繊維ケミカルフィルタ８とは別に設けるよう
にしてあるが、アフタフィルタは繊維ケミカルフィルタ
８で兼用するようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】本発明に係るフィルタユニットは粒状吸
着剤と繊維状ケミカルフィルタを併用して有害ガスの除
去を行うので、粒状吸着剤のみを使用する従来のケミカ
ルフィルタに比べて粒状吸着剤の使用量を少量にするこ
とができる。
着剤と繊維状ケミカルフィルタを併用して有害ガスの除
去を行うので、粒状吸着剤のみを使用する従来のケミカ
ルフィルタに比べて粒状吸着剤の使用量を少量にするこ
とができる。
【００１４】したがって、ケーシング寸法を小型化でき
るとともにコストを低減することができ、しかも空気抵
抗が減少して送風機等の省動力化を図ることができる。
るとともにコストを低減することができ、しかも空気抵
抗が減少して送風機等の省動力化を図ることができる。
【００１５】また、使用済の粒状吸着剤の処分量が少な
くて済むので、産業廃棄物の排出量を少なくすることが
できる。
くて済むので、産業廃棄物の排出量を少なくすることが
できる。
【図１】本発明に係るフィルタユニットの実施例を示す
系統図。
系統図。
１ ケーシング ２ａ 空気入口 ２ｂ 空気出口 ３ プレフィルタ ４ 一次吸着剤 ５ 二次吸着剤 ６ 三次吸着剤 ７ アフタフィルタ ８ 繊維ケミカルフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/50 53/52 53/58 53/68 Ｂ０１Ｄ 53/34 １２６ １３１ １３４ Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】空気入口と同出口を備えるケーシング内の
被処理空気流路に、上流側から順に塵埃除去用のプレフ
ィルタ、粒状吸着剤よりなるケミカルフィルタ、繊維ケ
ミカルフィルタを配設してなるフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6252845A JPH0889748A (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6252845A JPH0889748A (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | フィルタユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0889748A true JPH0889748A (ja) | 1996-04-09 |
Family
ID=17242990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6252845A Pending JPH0889748A (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | フィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0889748A (ja) |
-
1994
- 1994-09-21 JP JP6252845A patent/JPH0889748A/ja active Pending
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