JPH088325A - Method and apparatus for throwing translucent member into sealing cap for can sealed optoelectronic device - Google Patents
Method and apparatus for throwing translucent member into sealing cap for can sealed optoelectronic deviceInfo
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- JPH088325A JPH088325A JP13901794A JP13901794A JPH088325A JP H088325 A JPH088325 A JP H088325A JP 13901794 A JP13901794 A JP 13901794A JP 13901794 A JP13901794 A JP 13901794A JP H088325 A JPH088325 A JP H088325A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本願発明は、たとえばカンシール
型の半導体レーザなどの光学電子部品を製造する場合に
おいて、その光学電子部品を密封するためのシール用キ
ャップ内へガラス板などの透光部材を投入して組付ける
のに用いられるカンシール型光学電子部品のシール用キ
ャップへの透光部材投入装置、およびその投入方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention provides a transparent member such as a glass plate in a sealing cap for sealing an optical electronic component such as a can-seal type semiconductor laser when the optical electronic component is manufactured. The present invention relates to a device for inserting a light-transmitting member into a sealing cap of a can-seal type optical electronic component used for inserting and assembling and a method for inserting the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種の投入装置としては、たと
えば図9に示すようなものがある。この従来の装置は、
トレー4e上にセットされているガラス板などの透光部
材mを、真空吸着孔58を備えた吸着ヘッド5eを用い
て取り出し、保持できるように構成されている。そし
て、上記吸着ヘッド5eは、上記透光部材mを取り出し
た後には、矢印d方向に移動することにより、ジグ1e
に上下逆さまにセットされたシール用キャップCの直上
へ透光部材mを移送し、その後真空吸着孔58の真空破
壊を生じさせることにより、透光部材mをシール用キャ
ップC内へ落下させて投入させるように構成されてい
た。2. Description of the Related Art Conventionally, as a charging device of this type, there is one shown in FIG. 9, for example. This conventional device
The transparent member m such as a glass plate set on the tray 4e can be taken out and held by using the suction head 5e having the vacuum suction holes 58. Then, the suction head 5e moves in the direction of the arrow d after the light transmissive member m is taken out, so that the jig 1e is moved.
The transparent member m is transferred to a position right above the sealing cap C set upside down, and then the vacuum suction hole 58 is broken to cause the transparent member m to fall into the sealing cap C. It was designed to be thrown in.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の投入装置では、吸着ヘッド5eの平坦な下面部59
に真空吸着孔58の開口部58aを設け、この開口部5
8aのエア吸引作用によって透光部材mを真空吸着させ
る構成に過ぎない。このため、従来では、シール用キャ
ップC内へ透光部材mを投入させる際には、この透光部
材mを吸着ヘッド5eに保持させたままシール用キャッ
プC内へ挿入させることができない。すなわち、透光部
材mの投入に際しては、シール用キャップCの上方のか
なり高い位置から透光部材mを落下させる必要があっ
た。However, in the above-mentioned conventional charging device, the flat lower surface 59 of the suction head 5e is provided.
The opening 58 a of the vacuum suction hole 58 is provided in the opening 5.
It is merely a configuration in which the transparent member m is vacuum-adsorbed by the air suction action of 8a. Therefore, conventionally, when the transparent member m is put into the sealing cap C, the transparent member m cannot be inserted into the sealing cap C while being held by the suction head 5e. That is, when the transparent member m was put in, it was necessary to drop the transparent member m from a considerably high position above the sealing cap C.
【0004】その結果、従来では、シール用キャップC
内で透光部材mが起立する等の投入不良が生じたり、あ
るいはその落下時における衝撃によって透光部材mに割
れや欠けなどが生じ易くなるといった難点を生じてい
た。As a result, conventionally, the sealing cap C has been used.
There is a problem that a light-transmissive member m rises in the inside of the container, or an improper loading occurs, or the light-transmissive member m is liable to be cracked or chipped due to an impact when dropped.
【0005】また、従来では、透光部材mが吸着ヘッド
5eに真空吸着されたときには、その真空吸着孔58の
開口部58aの全面が透光部材mによって閉鎖された状
態となる。したがって、真空吸着孔58内に接続された
ブロアー(あるいは真空ポンプ)を停止させただけでは
真空状態を早期に解除することはできない。吸着ヘッド
5eから透光部材mを離脱させてシール用キャップC内
へ的確に投入させるためには、たとえば加圧エアを真空
吸着孔58内へ供給する等して、真空吸着孔58の真空
破壊を積極的に行わせる必要がある。Further, conventionally, when the transparent member m is vacuum-sucked by the suction head 5e, the entire surface of the opening 58a of the vacuum suction hole 58 is closed by the transparent member m. Therefore, the vacuum state cannot be released early only by stopping the blower (or the vacuum pump) connected to the inside of the vacuum suction hole 58. In order to separate the translucent member m from the suction head 5e and accurately insert it into the sealing cap C, for example, pressurized air is supplied into the vacuum suction hole 58 to break the vacuum in the vacuum suction hole 58. Need to be actively done.
【0006】このため、従来では、上記真空破壊を行っ
たときに、それまで真空吸着孔58に吸引されていたダ
スト類が逆流し、真空吸着孔58の開口部58aから外
部へ排出されることとなる。その結果、シール用キャッ
プCの内部などにダスト類が多量に付着し、これが光学
電子部品の品質不良の発生原因になるという難点も生じ
ていた。Therefore, in the prior art, when the above vacuum break is performed, the dusts that have been sucked up to the vacuum suction hole 58 flow back and are discharged from the opening 58a of the vacuum suction hole 58 to the outside. Becomes As a result, a large amount of dust adheres to the inside of the sealing cap C, which causes a defect in the quality of the optical electronic component, which is also a problem.
【0007】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、カンシール型光学電子部品のシ
ール用キャップへ透光部材を投入する際に、この透光部
材がシール用キャップ内で起立したり、あるいは強い衝
撃によって損傷するようなことを防止して、適切な投入
が行えるようにし、しかもシール用キャップなどへダス
ト類が多量に付着するといった事態も解消し、カンシー
ル型光学電子部品の品質の向上を図ることをその課題と
している。The present invention has been devised under such circumstances, and when the translucent member is put into the sealing cap of the can seal type optical / electronic component, the translucent member is used for sealing. Can stand up inside the cap or prevent it from being damaged by a strong impact so that it can be properly charged, and the situation where a large amount of dust adheres to the sealing cap, etc. The challenge is to improve the quality of optical and electronic components.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本願発明では、次の技術的手段を講じている。In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means.
【0009】すなわち、本願の請求項1に記載した発明
は、所定位置にセットされている所望の透光部材を着脱
自在に保持して取り出すための真空吸着孔を少なくとも
1以上備えた吸着ヘッドを有し、かつ、この吸着ヘッド
は、上記所定位置から取り出した透光部材をジグにセッ
トされたカンシール型光学電子部品のシール用キャップ
の直上へ移送した後にその透光部材を吸着ヘッドから離
脱させることにより、その透光部材を上記シール用キャ
ップ内へ投入するように設けられているカンシール型光
学電子部品のシール用キャップへの透光部材投入装置で
あって、上記吸着ヘッドには、上記真空吸着孔の開口部
を下端先端面に形成した下向きの凸状部が設けられて、
この吸着ヘッドの凸状部の下端先端に上記透光部材が保
持されるように形成されているとともに、上記吸着ヘッ
ドは、上記所定位置から取り出した透光部材を上記シー
ル用キャップの直上へ移送した後には、この透光部材を
シール用キャップ内に挿入した状態においてこの吸着ヘ
ッドから透光部材を離脱させるように上記凸状部がシー
ル用キャップ内に挿入する高さまで下降するように設け
られ、かつ、上記吸着ヘッドの凸状部には、この凸状部
の下端先端に透光部材が吸着保持されているときに上記
真空吸着孔の開口部の一部またはこの開口部とは異なる
箇所から外部のエアを真空吸着孔内へ吸引させるための
吸気口が上記真空吸着孔に連通して設けられていること
を特徴としている。That is, the invention described in claim 1 of the present application is an adsorption head having at least one vacuum adsorption hole for detachably holding and taking out a desired light transmitting member set at a predetermined position. This suction head has the above-mentioned suction head, and after transferring the light-transmitting member taken out from the above-mentioned predetermined position to directly above the sealing cap of the can seal type optical electronic component set in the jig, the light-transmitting member is detached from the suction head. A device for inserting a transparent member into a sealing cap of a can-seal type optical electronic component, which is provided so as to insert the transparent member into the sealing cap, wherein the suction head has the vacuum A downward convex portion is formed by forming the opening of the suction hole on the lower end tip surface,
The suction head is formed so that the transparent member is held at the lower end of the convex portion of the suction head, and the suction head transfers the transparent member taken out from the predetermined position to directly above the sealing cap. After that, the convex portion is provided so as to descend to a height at which it is inserted into the sealing cap so as to separate the transparent member from the suction head in a state where the transparent member is inserted into the sealing cap. And, in the convex portion of the suction head, a part of the opening portion of the vacuum suction hole or a portion different from the opening portion when the transparent member is suction-held at the lower end tip of the convex portion. The air suction port for sucking the outside air into the vacuum suction hole is provided in communication with the vacuum suction hole.
【0010】上記吸気口は、上記吸着ヘッドの凸状部の
下端先端面に、上記真空吸着孔の開口部に連通した凹状
の切欠溝を設けることにより形成してもよい(請求項
2)。The intake port may be formed by providing a concave notch groove, which communicates with the opening of the vacuum suction hole, at the lower end tip surface of the convex portion of the suction head (claim 2).
【0011】また、本願の請求項3に記載した発明は、
上記請求項1のカンシール型光学電子部品のシール用キ
ャップへの透光部材投入装置において、上記透光部材
は、複数の透光部材を1つずつ区画分離して整列配置さ
せるための区画用凹部を形成したトレー上に載置されて
いるとともに、このトレーは、各透光部材を同一方向に
移動させて各区画用凹部の内壁面へ当接させるようにこ
のトレーを傾斜させる傾斜手段を備えたトレー載置台上
に載置されていることを特徴としている。The invention described in claim 3 of the present application is
2. The device for inserting a transparent member into a sealing cap of a can seal type optical electronic component according to claim 1, wherein the transparent member is a partition recess for partitioning and aligning a plurality of transparent members one by one. The tray is mounted on a tray on which the tray is formed, and the tray is provided with an inclining means for inclining the translucent member in the same direction to incline the tray so that the tray is brought into contact with the inner wall surface of each partitioning recess. It is characterized by being placed on a tray mounting table.
【0012】上記シール用キャップとしては、レーザダ
イオードを内蔵させるための半導体レーザのシール用キ
ャップを適用するとともに、上記透光部材としては、そ
のシール用キャップに形成された開口窓部を密閉するた
めのガラス板を適用することが可能である(請求項
4)。A sealing cap of a semiconductor laser for incorporating a laser diode is applied as the sealing cap, and an opening window portion formed in the sealing cap is sealed as the light transmitting member. It is possible to apply the glass plate of (Claim 4).
【0013】さらに、本願の請求項5に記載した発明
は、所定位置にセットされている所望の透光部材を吸着
ヘッドの真空吸着孔が開口した下面部に吸着させること
により取り出して、上記吸着ヘッドに保持させた後に、
この吸着ヘッドをジグにセットされたカンシール型光学
電子部品のシール用キャップの直上へ移送し、その後上
記透光部材を吸着ヘッドから離脱させることにより、そ
の透光部材を上記シール用キャップ内へ投入させるカン
シール型光学電子部品のシール用キャップへの透光部材
投入方法であって、上記吸着ヘッドとして、上記真空吸
着孔の開口部が下端先端面に形成された下向きの凸状部
を有するとともに、この凸状部には、この凸状部の下端
先端に透光部材が吸着保持されているときに外部のエア
を上記真空吸着孔内へ吸引させるべく上記真空吸着孔内
に連通した吸気口を具備した吸着ヘッドを用いることに
より、この吸着ヘッドの凸状部の下端先端に透光部材を
保持させて、上記所定位置からの透光部材の取り出しと
その移送を行い、上記吸着ヘッドに保持させた透光部材
を上記シール用キャップの直上へ移送させた後には、上
記吸着ヘッドの凸状部がシール用キャップ内に挿入する
高さまで吸着ヘッドを下降させて、上記透光部材をシー
ル用キャップ内に挿入し、その後真空吸着孔の真空吸引
力を弱めまたはその真空吸引動作を停止させることによ
り、上記透光部材を吸着ヘッドの凸状部から離脱させる
ことを特徴としている。Further, in the invention according to claim 5 of the present application, the desired light-transmitting member set at a predetermined position is taken out by adsorbing it to the lower surface portion of the suction head where the vacuum suction hole is opened, and the suction is carried out. After holding it on the head,
This suction head is transferred to a position directly above the sealing cap of the can seal type optical / electronic component set in a jig, and then the light transmitting member is detached from the suction head, so that the light transmitting member is put into the sealing cap. A method of inserting a light-transmitting member into a sealing cap of a can seal type optical electronic component, wherein, as the suction head, an opening of the vacuum suction hole has a downward convex portion formed on a lower end tip surface, The convex portion has an intake port communicating with the inside of the vacuum suction hole so that external air can be sucked into the vacuum suction hole when the transparent member is sucked and held at the lower end of the convex portion. By using the suction head provided, the light transmissive member is held at the lower end of the convex portion of the suction head, and the translucent member is taken out from the predetermined position and transferred. After the light-transmitting member held by the suction head is transferred to directly above the sealing cap, the suction head is lowered to a height at which the convex portion of the suction head is inserted into the sealing cap, and It is characterized in that the transparent member is removed from the convex portion of the suction head by inserting the optical member into the sealing cap and then weakening the vacuum suction force of the vacuum suction hole or stopping the vacuum suction operation. There is.
【0014】上記透光部材は、複数の透光部材を1つず
つ区画分離して配置させるための区画用凹部を形成した
トレー上に予め載置され、このトレーから各透光部材を
吸着ヘッドによって取り出す以前には、このトレーを一
時的に傾斜させることにより、各透光部材を同一方向へ
移動させて各区画用凹部の内壁面へ当接させ、各透光部
材の位置合わせを行うようにしてもよい(請求項6)。The translucent member is preliminarily placed on a tray having a partitioning recess for partitioning and disposing a plurality of translucent members one by one, and each translucent member is sucked from this tray. Before taking out by, the tray is temporarily tilted so that each translucent member is moved in the same direction and brought into contact with the inner wall surface of each partitioning recess to align each translucent member. It may be (claim 6).
【0015】[0015]
【発明の作用および効果】本願発明に係るカンシール型
光学電子部品のシール用キャップへの透光部材投入装置
においては、シール用キャップ内への透光部材の投入
は、吸着ヘッドの下向きの凸状部に保持させた透光部材
をシール用キャップ内へ挿入した状態で、この吸着ヘッ
ドの凸状部から透光部材を離脱させることにより行うこ
とができる。したがって、シール用キャップの上方のか
なり高い位置から透光部材を落下させていた従来の場合
とは異なり、透光部材がシール用キャップ内で不当に起
立するようなことはなく、また落下時の大きな衝撃によ
って透光部材が損傷するといった難点を適切に解消する
ことができる。その結果、透光部材の組付けに際しての
製造不良の発生頻度を減少させることができるという格
別な効果が得られる。In the device for inserting the transparent member into the sealing cap of the canseal type optical electronic component according to the present invention, the transparent member is inserted into the sealing cap by the downward convex shape of the suction head. This can be carried out by removing the light transmitting member from the convex portion of the suction head in a state where the light transmitting member held by the portion is inserted into the sealing cap. Therefore, unlike the conventional case where the translucent member is dropped from a considerably high position above the sealing cap, the translucent member does not unreasonably stand up in the sealing cap, and the It is possible to appropriately solve the problem that the translucent member is damaged by a large impact. As a result, it is possible to reduce the frequency of occurrence of manufacturing defects when assembling the translucent member.
【0016】また、吸着ヘッドの凸状部には、この吸着
ヘッドで透光部材を吸着保持させているときに外部のエ
アを上記真空吸着孔内へ吸引させるための吸気口が設け
られているために、透光部材を吸着ヘッドから離脱させ
るときには、従来とは異なり、真空吸着孔に加圧エアの
供給を行う等して真空破壊を生じさせる必要がなくな
る。すなわち、真空吸着孔が吸気口を介して外部と連通
しているために、真空吸着孔の真空吸引力を停止し、あ
るいはその真空吸引力を弱めるだけで、真空吸着孔内の
真空状態が弱まり、透光部材を的確に吸着ヘッドから離
脱させることが可能となる。Further, the convex portion of the suction head is provided with an intake port for sucking outside air into the vacuum suction hole when the transparent member is suction-held by the suction head. Therefore, when the translucent member is detached from the suction head, unlike the conventional case, it is not necessary to break the vacuum by supplying pressurized air to the vacuum suction holes. That is, since the vacuum suction hole communicates with the outside through the suction port, the vacuum state inside the vacuum suction hole is weakened only by stopping the vacuum suction force of the vacuum suction hole or weakening the vacuum suction force. The transparent member can be accurately separated from the suction head.
【0017】したがって、透光部材を吸着ヘッドから離
脱させる際に、真空吸着孔内に吸引されていたダスト類
が吸着ヘッドの外部へ逆流して排出されるようなことを
防止し、シール用キャップの内面側にダスト類が不当に
付着するといったことを解消することができる。その結
果、光学電子部品の品質向上が図れるという効果も得ら
れる。Therefore, when the translucent member is detached from the suction head, it is possible to prevent the dusts sucked in the vacuum suction holes from flowing back to the outside of the suction head and discharged. It is possible to prevent the dusts from unduly adhering to the inner surface side of the. As a result, there is an effect that the quality of the optical electronic component can be improved.
【0018】とくに、本願発明では、透光部材が吸着ヘ
ッドに保持されているときには、外部のエアが吸気口か
ら常時吸気されることとなるが、この吸気口は、吸着ヘ
ッドの凸状部がシール用キャップ内へ挿入されたとき
に、このシール用キャップ内のダスト類を真空吸着孔内
へ吸入して除去する作用を発揮する。したがって、シー
ル用キャップ内の積極的なダスト類の排除も行え、光学
電子部品の品質を一層高めることができるという効果が
得られる。In particular, according to the present invention, when the translucent member is held by the suction head, external air is always sucked through the suction port. When it is inserted into the sealing cap, the dust in the sealing cap is sucked into the vacuum suction hole to be removed. Therefore, the dust in the sealing cap can be positively removed, and the quality of the optical electronic component can be further improved.
【0019】また、請求項3の発明のように、透光部材
が載置された所定のトレーを傾斜させるトレー載置台を
備えた構成にすれば、トレーを傾斜させることによっ
て、各透光部材を同一方向へ移動させてトレーの各区画
用凹部の内壁面へ当接させることができる。すなわち、
各区画用凹部の内壁面を基準として複数の透光部材の正
確な位置決め、あるいは位置合わせを行うことができ
る。Further, according to the third aspect of the invention, when the tray mounting table for inclining the predetermined tray on which the translucent member is placed is provided, each translucent member is inclined by inclining the tray. Can be moved in the same direction and brought into contact with the inner wall surface of each partitioning recess of the tray. That is,
Accurate positioning or alignment of a plurality of translucent members can be performed with reference to the inner wall surface of each partition recess.
【0020】したがって、その後に上記トレー上の透光
部材を吸着ヘッドで吸着させて外部に取り出すときに
は、この吸着ヘッドと透光部材との正確な位置合わせを
行うことができ、ひいてはこの吸着ヘッドを移動させて
シール用キャップ内へ透光部材を投入させる際の位置合
わせも正確に行えることとなる。その結果、透光部材が
シール用キャップ内へ不当に偏った状態に投入されると
いったことも解消でき、光学電子部品の品質向上を一層
徹底することができるという優れた効果が得られる。Therefore, when the light-transmitting member on the tray is subsequently sucked by the suction head and taken out to the outside, the suction head and the light-transmitting member can be accurately aligned with each other. Positioning can be accurately performed when the transparent member is moved into the sealing cap. As a result, it is possible to prevent the translucent member from being inserted into the sealing cap in an improperly biased state, and it is possible to further improve the quality of the optical electronic component, which is an excellent effect.
【0021】さらに、請求項5の発明に係るカンシール
型光学電子部品のシール用キャップへの透光部材投入方
法においては、所定位置にセットされている透光部材を
吸着ヘッドの下向きの凸状部の下端先端に保持させて取
り出し、移送させた後に、その凸状部をシール用キャッ
プ内へ挿入させることにより透光部材をシール用キャッ
プ内へ挿入させることができる。そして、その状態で透
光部材を吸着ヘッドから離脱させることにより、シール
用キャップ内へ透光部材を投入させることができる。ま
た、吸着ヘッドの凸状部には真空吸着孔と連通した吸気
口が設けられているから、上記透光部材を吸着ヘッドか
ら離脱させる作業も、真空吸着孔の真空吸引を弱め、ま
たは停止させることによって的確に行える。したがっ
て、請求項1の発明について説明したのと同様な効果を
期待することができる。Further, in the method for inserting the transparent member into the sealing cap of the can seal type optical electronic component according to the invention of claim 5, the transparent member set at a predetermined position is provided with a downward convex portion of the suction head. The light-transmissive member can be inserted into the sealing cap by inserting the convex portion into the sealing cap after being held at the lower end of the sheet, taken out, and transferred. Then, by separating the transparent member from the suction head in this state, the transparent member can be put into the sealing cap. Further, since the suction port communicating with the vacuum suction hole is provided in the convex portion of the suction head, the work of detaching the transparent member from the suction head also weakens or stops the vacuum suction of the vacuum suction hole. It can be done accurately. Therefore, the same effect as described in the invention of claim 1 can be expected.
【0022】また、請求項6の発明のように、透光部材
を所定のトレー上に予め載置させておき、このトレーを
傾斜させることによって透光部材を同一方向に移動させ
てトレーの区画用凹部の内壁面へ当接させるようにすれ
ば、透光部材の位置合わせが行える。したがって、請求
項3の発明について説明したのと同様な効果が得られ
る。According to a sixth aspect of the present invention, the translucent member is preliminarily placed on a predetermined tray, and the translucent member is moved in the same direction by inclining the tray to divide the tray. The light transmissive member can be aligned by bringing it into contact with the inner wall surface of the recess for use. Therefore, the same effect as described in the invention of claim 3 can be obtained.
【0023】[0023]
【実施例の説明】以下、本願発明の好ましい実施例を、
図面を参照しつつ具体的に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The preferred embodiments of the present invention will be described below.
A specific description will be given with reference to the drawings.
【0024】図1は、本願発明に係るカンシール型光学
電子部品のシール用キャップへの透光部材投入装置の全
体構成の一例を示す概略正面断面図である。この投入装
置は、カンシール型光学電子部品の一例としての半導体
レーザの複数のシール用キャップCをセットさせておく
ためのカーボン製などの焼成ジグ1、この焼成ジグ1を
所定の作業工程位置へ順次搬送するコンベア2、このコ
ンベア2の一側方に所定の間隔を隔てて設けられたトレ
ー載置台3、このトレー載置台3に載置されたトレー
4、およびこのトレー4にセットされているガラス板m
の取り出し保持を行うための吸着ヘッド5を備えた動作
体6などを具備して構成されている。FIG. 1 is a schematic front sectional view showing an example of the entire construction of a device for inserting a transparent member into a sealing cap of a canseal type optical electronic component according to the present invention. This charging device is a firing jig 1 made of carbon or the like for setting a plurality of sealing caps C of a semiconductor laser as an example of a can-seal type optoelectronic component, and the firing jig 1 is sequentially moved to a predetermined work process position. Conveyor 2 to be conveyed, tray mounting table 3 provided on one side of this conveyor 2 at a predetermined interval, tray 4 mounted on this tray mounting table 3, and glass set on this tray 4. Board m
It is configured to include an operating body 6 having a suction head 5 for taking out and holding the above.
【0025】上記吸着ヘッド5は、たとえば適当なブロ
ック状に形成された吸着ヘッド本体部50の下面部に、
略円筒状に形成された複数の下向きの凸状部51が一定
ピッチ間隔で設けられたものである。これらの各凸状部
51は、たとえば図2に示すように、その下端先端面5
1aに真空吸着孔52の開口部52aが開口して設けら
れている。The suction head 5 is provided, for example, on the lower surface of the suction head main body 50 formed in a suitable block shape.
A plurality of downward convex portions 51 formed in a substantially cylindrical shape are provided at regular pitch intervals. Each of these convex portions 51 has a lower end tip surface 5 as shown in FIG. 2, for example.
The opening 52a of the vacuum suction hole 52 is provided in the opening 1a.
【0026】上記吸着ヘッド5の各真空吸着孔52は、
その上部側の開口部52b側にブロアー(または真空ポ
ンプ)の吸気側に接続されたエア配管のコネクタ53が
接続されるなどして、下側の開口部52a側にブロアー
によるエア吸引力を作用させ得るように構成されてい
る。これにより、各凸状部51の下端先端には、ガラス
板mを真空吸引作用によって吸着保持させることが可能
である。なお、各凸状部51の外径Dは、後述のシール
用キャップCの内径よりも小径に設定され、この凸状部
51の先端側をシール用キャップC内へ挿入できるよう
に配慮されている。Each vacuum suction hole 52 of the suction head 5 is
An air suction force by the blower is applied to the lower opening 52a side by connecting the connector 53 of the air pipe connected to the intake side of the blower (or the vacuum pump) to the upper opening 52b side. It is configured to allow. As a result, the glass plate m can be adsorbed and held on the lower end tip of each convex portion 51 by a vacuum suction action. The outer diameter D of each convex portion 51 is set to be smaller than the inner diameter of a sealing cap C described later, and the tip end side of this convex portion 51 is inserted into the sealing cap C. There is.
【0027】また、上記各凸状部51の下端先端面51
aには、真空吸着孔52に連通する凹状の切欠溝54が
設けられ、これによって凸状部51の外周面には吸気口
55が形成されている。この吸気口55の形成に際して
は、たとえば図3に示すように、真空吸着孔52の左右
両側に切欠溝54,54を一連に形成することによっ
て、2箇所の吸気口55,55を設ける手段を採用する
ことができる。ただし、本願発明では、吸気口55の数
は限定されず、たとえば図4に示すように、真空吸着孔
52の片側にのみ切欠溝54を設けて、吸気口55を1
箇所のみ設けた構成としてもよい。また、上記のような
切欠溝54を3箇所、あるはそれ以上設けて、吸気口5
5を多数設けてもよい。The lower end tip surface 51 of each of the convex portions 51 is
A concave cutout groove 54 communicating with the vacuum suction hole 52 is provided in a, and thus an intake port 55 is formed on the outer peripheral surface of the convex portion 51. When forming the intake port 55, for example, as shown in FIG. 3, a means for providing two intake ports 55, 55 by forming notched grooves 54, 54 in series on the left and right sides of the vacuum suction hole 52 is provided. Can be adopted. However, in the present invention, the number of the intake ports 55 is not limited. For example, as shown in FIG.
The configuration may be provided only at the location. In addition, the notch groove 54 as described above is provided at three places or more, and the intake port 5
You may provide many 5.
【0028】いずれにしても、凸状部51に設けられた
切欠溝54は、凸状部51の下端先端にガラス板mを真
空吸着させる場合において、その真空吸着力を大幅に低
下させず、ガラス板mの確実な保持が行えるように配慮
されている。また、凸状部51にガラス板mを保持させ
たときには、凸状部51の下端先端面51aとガラス板
mとの両者間に隙間が生じ、外部のエアが吸気口55か
ら真空吸着孔52の内部へ吸気されるように構成されて
いる。In any case, the notch groove 54 provided in the convex portion 51 does not significantly reduce the vacuum suction force when the glass plate m is vacuum-sucked at the lower end of the convex portion 51. It is designed so that the glass plate m can be held securely. Further, when the glass plate m is held by the convex portion 51, a gap is created between the lower end tip surface 51 a of the convex portion 51 and the glass plate m, and external air is sucked from the suction port 55 to the vacuum suction hole 52. Is configured to be sucked into the interior of the.
【0029】なお、本願発明においては、必ずしも凸状
部51に切欠溝54を設けることによって吸気口55を
形成する必要はない。たとえば図5に示すように、凸状
部51の側壁部に真空吸着孔52と連通する貫通孔54
Aを穿設することによって吸気口55Aを設け、外部の
エアがこの吸気口55Aから真空吸着孔52側へ吸気さ
れるようにしても何ら構わない。In the present invention, it is not always necessary to form the intake port 55 by providing the notch groove 54 in the convex portion 51. For example, as shown in FIG. 5, a through hole 54 communicating with the vacuum suction hole 52 is formed in the side wall portion of the convex portion 51.
It does not matter if the intake port 55A is provided by forming A and the outside air is sucked from the intake port 55A toward the vacuum suction hole 52 side.
【0030】図1において、上記動作体6は、吸着ヘッ
ド5の昇降動作ならびに水平移動動作を行わせるための
ものである。具体的には、この動作体6は、上記吸着ヘ
ッド5を支持する2つの往復シリンダ60,60を具備
しており、これら往復シリンダ60,60の各ロッド6
0aの往復動作によって上記吸着ヘッド5は矢印N1,
N2方向に沿って昇降自在である。In FIG. 1, the operating body 6 is for performing the raising / lowering operation and the horizontal moving operation of the suction head 5. Specifically, the operating body 6 is provided with two reciprocating cylinders 60, 60 that support the suction head 5, and the rods 6 of the reciprocating cylinders 60, 60.
By the reciprocating operation of 0a, the suction head 5 is moved to the arrow N1,
It can be raised and lowered along the N2 direction.
【0031】また、上記動作体6は、コンベア2の上方
位置からトレー載置台3の上方位置に跨がって横架設さ
れた2本のガイド軸70a,70bに貫挿通されて支持
されており、矢印N3の水平方向に沿って往復動自在と
なるように設けられている。動作体6の水平方向の具体
的な駆動手段としては、たとえばガイド軸70a,70
bの双方または何れか一方をネジ軸とし(図1ではガイ
ド軸70a側のみがネジ軸となっている)、このネジ軸
に動作体6の一部を螺合して貫通挿させたボールネジ機
構を採用することができる。この場合には、ネジ軸とし
てのガイド軸70a(または70b)をパルスモータな
どのモータM1によって駆動回転させることによって、
動作体6の水平方向の位置決めを高精度で制御すること
が可能である。The operating body 6 is supported by being inserted through two guide shafts 70a and 70b which are horizontally installed so as to extend from a position above the conveyor 2 to a position above the tray mounting table 3. , So as to be reciprocally movable along the horizontal direction of arrow N3. As specific horizontal driving means for the operating body 6, for example, guide shafts 70a, 70
A ball screw mechanism in which both or one of b is a screw shaft (only the guide shaft 70a side is a screw shaft in FIG. 1), and a part of the operating body 6 is screwed into this screw shaft to be inserted therethrough. Can be adopted. In this case, the guide shaft 70a (or 70b) as a screw shaft is driven and rotated by a motor M1 such as a pulse motor,
It is possible to control the positioning of the motion body 6 in the horizontal direction with high accuracy.
【0032】なお、上記ガイド軸70a,70bは、フ
レーム71に支持されて設けられているが、このフレー
ム71はガイド軸70a,70bの軸長方向と直交する
水平方向に対しても往復動自在となるように適宜設けら
れている。これにより、結局、動作体6に支持された吸
着ヘッド5は、昇降動作、左右方向への水平移動、なら
びにそれに直交する前後方向への水平移動が自在であ
る。Although the guide shafts 70a and 70b are supported by the frame 71, the frame 71 can reciprocate in the horizontal direction orthogonal to the axial direction of the guide shafts 70a and 70b. It is provided as appropriate. As a result, the suction head 5 supported by the operation body 6 can be freely moved up and down, horizontally moved in the left-right direction, and horizontally moved in the front-rear direction orthogonal thereto.
【0033】上記トレー載置台3は、トレー4を載置さ
せるための載置板部30を、軸部31を支点として揺動
する揺動アーム32に支持させたものである。すなわ
ち、このトレー載置台3では、軸部31に連結されたモ
ータM2の作動によって揺動アーム32を矢印a方向に
沿って揺動させることができる。そして、この揺動アー
ム32の揺動動作によって、載置板部30およびトレー
4を一定の角度に傾斜させることが可能である。The tray mounting table 3 has a mounting plate portion 30 for mounting the tray 4 supported on a swing arm 32 which swings about a shaft portion 31 as a fulcrum. That is, in the tray mounting table 3, the swing arm 32 can be swung in the arrow a direction by the operation of the motor M2 connected to the shaft portion 31. By the swinging motion of the swinging arm 32, the placing plate portion 30 and the tray 4 can be tilted at a constant angle.
【0034】上記トレー4としては、たとえば図6
(a)に示すように、全体が円板状に形成されたガラス
板mを1枚ずつ区画収容するための区画用凹部40を縦
横に配列させて複数箇所形成したものが用いられている
(なお、同図(b),(c)については後述する)。As the tray 4, for example, FIG.
As shown in (a), a plurality of partition recesses 40 are arranged vertically and horizontally for partitioning and accommodating glass plates m, each of which has a disk shape as a whole. Note that (b) and (c) in the figure will be described later).
【0035】次に、上記構成の投入装置を用いての本願
発明に係るカンシール型光学電子部品のシール用キャッ
プへの透光部材投入方法の一例について説明する。Next, an example of a method of charging the transparent member to the sealing cap of the canseal type optical electronic component according to the present invention by using the charging device having the above-mentioned structure will be described.
【0036】なお、この投入方法は、たとえば図8に示
すような一連の作業工程の一環として実施される方法で
ある。すなわち、同図に示す作業工程は、まず同図
(a)に示すように、半導体レーザを構成するレーザダ
イオードなどを密封するためのシール用キャップCを上
下逆さまにさせて、焼成ジグ1の凹部10に嵌合してセ
ットする。次いで、同図(b)〜(d)に示すように、
シール用キャップC内には、たとえば低融点ガラスなど
で形成されたタブレット11、およびガラス板mを順次
投入する。The charging method is carried out as a part of a series of working steps as shown in FIG. That is, in the working process shown in the figure, first, as shown in the figure (a), the sealing cap C for sealing the laser diode or the like constituting the semiconductor laser is turned upside down, and the concave portion of the firing jig 1 is turned upside down. Fit to 10 and set. Then, as shown in FIGS.
Into the sealing cap C, a tablet 11 made of, for example, low-melting glass and a glass plate m are sequentially placed.
【0037】そして、その後は、同図(e)に示すよう
に、上記焼成ジグ1の上側に押さえ用の上側焼成ジグ1
Aを重ね合わせ、ガラス板mをシール用キャップCの底
面側へ加圧させながら、これらを加熱炉に入れて加熱す
る。これにより、溶融したタブレット11を介してガラ
ス板mをシール用キャップCの内面側に接着させること
ができ、シール用キャップCの開口窓部12を適切に密
閉することができる。本実施例に係る投入方法は、上記
した一連の作業工程のうち、シール用キャップC内へガ
ラス板mを投入させる作業に用いられる方法である。After that, as shown in FIG. 7E, the upper firing jig 1 for pressing is placed on the upper side of the firing jig 1.
A is overlaid and these are put in a heating furnace and heated while pressing the glass plate m toward the bottom surface side of the sealing cap C. Thereby, the glass plate m can be adhered to the inner surface side of the sealing cap C through the melted tablet 11, and the opening window portion 12 of the sealing cap C can be appropriately sealed. The charging method according to the present embodiment is a method used for the operation of charging the glass plate m into the sealing cap C among the above-described series of working steps.
【0038】この投入方法の開始にあたっては、まず図
1に示すように、吸着ヘッド5をトレー4の上方に配置
させてから、矢印N1に沿って下降させるが、それ以前
の段階において、トレー載置台3のモータM2を作動さ
せて揺動アーム32を揺動させる。すなわち、トレー4
上のガラス板mを取り出す以前の時期に、このトレー4
を一時的に傾斜させてから元の水平状態に復帰させる動
作を行わせておく。To start this loading method, first, as shown in FIG. 1, the suction head 5 is placed above the tray 4 and then lowered along the arrow N1. The motor M2 of the table 3 is operated to swing the swing arm 32. Ie tray 4
Before removing the upper glass plate m, this tray 4
Is temporarily tilted and then returned to the original horizontal state.
【0039】このような一連の動作を行わせれば、先ず
図6(a)に示すように、トレー4の各区画用凹部40
内に収容されているガラス板mの配置にばらつき(遊び
Sのばらつき)がある場合であっても、同図(b)に示
すようにトレー4が傾斜したときには、全てのガラス板
mが矢印b方向へ移動し、各区画用凹部40の内壁面4
1のうち最も低位置となる先端側の部位に当接すること
となる。また、このようなガラス板mの配置状態は、同
図(c)に示すように、トレー4を再度水平状態に復帰
させた後も維持される。If such a series of operations are performed, first, as shown in FIG. 6A, the partitioning recesses 40 of the tray 4 are formed.
Even when the arrangement of the glass plates m accommodated in the inside has a variation (a variation in the play S), when the tray 4 is inclined as shown in FIG. Moving in the b direction, the inner wall surface 4 of each partition recess 40
It comes into contact with the site on the tip end side which is the lowest position of the No. 1. Further, such an arrangement state of the glass plates m is maintained even after the tray 4 is returned to the horizontal state again as shown in FIG.
【0040】したがって、このようにガラス板mの一端
部が全て各区画用凹部40の内壁面41の同一方向の部
位に当接して揃えられた状態になれば、各ガラス板mの
ピッチPを区画用凹部40のピッチと同一間隔に設定す
ることができ、各ガラス板mの正確な位置合わせ、また
は位置決めが行える。その結果、その後吸着ヘッド5を
下降させてきた際には、各ガラス板mに対して吸着ヘッ
ド5の凸状部51の中心を正確に位置合わせすることが
できる。すなわち、凸状部51の中心に対してガラス板
mが偏った状態で吸着保持されることが防止できる。Therefore, when all the one ends of the glass plates m are brought into contact with and aligned with the inner wall surface 41 of each partitioning recess 40 in the same direction, the pitch P of each glass plate m is changed. The pitch can be set to be the same as the pitch of the partitioning recesses 40, and accurate alignment or positioning of each glass plate m can be performed. As a result, when the suction head 5 is subsequently lowered, the center of the convex portion 51 of the suction head 5 can be accurately aligned with each glass plate m. That is, it is possible to prevent the glass plate m from being adsorbed and held in a state of being biased with respect to the center of the convex portion 51.
【0041】次いで、上記のようにしてガラス板mを吸
着ヘッド5によって吸着し、取り出した後には、この吸
着ヘッド5を矢印N2の上昇、および矢印N3の水平移
動を行わせる。これによって、吸着ヘッド5に保持され
ているガラス板mを焼成ジグ1にセットされているシー
ル用キャップCの直上に配置させることができ、その後
矢印N4に沿って下降させればよい。Next, after the glass plate m is sucked by the suction head 5 and taken out as described above, the suction head 5 is moved upward by the arrow N2 and horizontally moved by the arrow N3. As a result, the glass plate m held by the suction head 5 can be arranged immediately above the sealing cap C set on the firing jig 1, and then can be moved down along the arrow N4.
【0042】ただし、上記吸着ヘッド5を下降させる際
には、たとえば図7に示すように、吸着ヘッド5の各凸
状部51が、シール用キャップCの内側に挿入する高さ
まで下降させる。これにより、各凸状部51の下端先端
に保持されたガラス板mも、シール用キャップCの内側
へ挿入される。However, when the suction head 5 is lowered, for example, as shown in FIG. 7, each convex portion 51 of the suction head 5 is lowered to a height at which it is inserted into the sealing cap C. As a result, the glass plate m held at the lower end of each convex portion 51 is also inserted inside the sealing cap C.
【0043】上記のようにしてガラス板mがシール用キ
ャップCの内側に配置されると、その時点で真空吸着孔
52に作用している真空吸引力を弱めればよい。真空吸
着孔52には、吸気口55から外部のエアが流入してい
るので、真空吸引力をある一定値以下に低下させれば、
これによってガラス板mを確実に吸着ヘッド5から離脱
させて、シール用キャップC内へ投入させることができ
る。When the glass plate m is placed inside the sealing cap C as described above, the vacuum suction force acting on the vacuum suction hole 52 at that time may be weakened. Since the outside air is flowing into the vacuum suction hole 52 from the intake port 55, if the vacuum suction force is reduced to a certain value or less,
As a result, the glass plate m can be reliably separated from the suction head 5 and put into the sealing cap C.
【0044】すなわち、吸着ヘッド5からガラス板mを
離脱させるために、わざわざ真空吸着孔52に加圧エア
を供給させる等して真空吸着孔52内の圧力を高める必
要はない。したがって、それまでの間に真空吸着孔52
内に吸入されていたダスト類が、シール用キャップC内
へ排出されるような不具合はない。また、図7に示すよ
うに、未だ吸着ヘッド5からガラス板mを離脱させてい
ない状態にあっては、吸気口55から真空吸着孔52内
への吸気がなされることにより、シール用キャップCの
内側に存在するダスト類を吸引除去する作用も発揮され
ることとなる。したがって、シール用キャップC内を積
極的に清浄化することも可能となる。That is, in order to separate the glass plate m from the suction head 5, it is not necessary to increase the pressure in the vacuum suction hole 52 by, for example, supplying pressurized air to the vacuum suction hole 52. Therefore, in the meantime, the vacuum suction holes 52
There is no problem that the dusts sucked inside are discharged into the sealing cap C. Further, as shown in FIG. 7, in a state where the glass plate m has not been detached from the suction head 5, air is sucked from the suction port 55 into the vacuum suction hole 52, so that the sealing cap C is formed. The effect of sucking and removing the dust existing inside is also exerted. Therefore, it is possible to positively clean the inside of the sealing cap C.
【0045】なお、吸着ヘッド5からガラス板mを離脱
させる手段としては、真空吸着孔52による真空吸引力
を弱める手段以外として、たとえば真空吸引を行ってい
るブロアーの作動停止、あるいはブロアーから真空吸着
孔52に到るエア配管途中のバルブを閉める等して、真
空吸着孔52による真空吸引動作を停止させてもよい。
この場合であっても、真空吸着孔52が吸気口55を介
して外部と連通していることにより、真空吸着孔52内
が容易に大気圧まで上昇し、ガラス板mの離脱を確実に
行わせることができる。そして、この場合であっても、
真空吸着孔52内のダスト類が不当に逆流して外部へ流
出するといった不具合はない。As means for detaching the glass plate m from the suction head 5, other than means for weakening the vacuum suction force by the vacuum suction holes 52, for example, the operation of the blower which is performing vacuum suction is stopped, or the vacuum suction from the blower is performed. The vacuum suction operation by the vacuum suction hole 52 may be stopped by closing a valve in the middle of the air pipe reaching the hole 52.
Even in this case, since the vacuum suction hole 52 communicates with the outside through the suction port 55, the inside of the vacuum suction hole 52 easily rises to the atmospheric pressure, and the glass plate m is reliably removed. Can be made. And even in this case,
There is no problem that the dusts in the vacuum suction holes 52 unduly backflow and flow out.
【0046】また、吸着ヘッド5からのガラス板mの離
脱は、このガラス板mがシール用キャップC内に挿入さ
れた低い高さで行われるために、このガラス板mがシー
ル用キャップC内で起立するようなことはない。さら
に、ガラス板mがシール用キャップC内へ投入されたと
きの衝撃力をかなり小さくできるので、ガラス板mに割
れや欠けなどの損傷を生じさせることもない。Since the glass plate m is removed from the suction head 5 at a low height when the glass plate m is inserted into the sealing cap C, the glass plate m is removed from the sealing cap C. There is no such thing as standing up in. Further, since the impact force when the glass plate m is put into the sealing cap C can be made considerably small, the glass plate m is not damaged such as cracked or chipped.
【0047】さらに、吸着ヘッド5にガラス板mを吸着
保持させる以前の時期においては、ガラス板mがトレー
4の傾斜作用によって予め位置合わせされ、吸着ヘッド
5の中心に対してガラス板mの中心が予め正確に位置合
わせされているから、ガラス板mとシール用キャップC
との中心合わせも正確に行えることとなる。したがっ
て、ガラス板mがその投入時においてシール用キャップ
Cの内周壁に当接するといったことも解消でき、ガラス
板mの損傷防止などが一層徹底して図れることとなる。Further, before the suction head 5 sucks and holds the glass plate m, the glass plate m is preliminarily aligned by the tilting action of the tray 4, and the center of the glass plate m with respect to the center of the suction head 5. The glass plate m and the sealing cap C are accurately aligned in advance.
Centering with and can be accurately performed. Therefore, it is possible to prevent the glass plate m from coming into contact with the inner peripheral wall of the sealing cap C when the glass plate m is charged, and it is possible to more thoroughly prevent damage to the glass plate m.
【0048】なお、上記実施例では、カンシール型の半
導体レーザに用いられるシール用キャップCへガラス板
mを投入させる場合を一例として説明したが(請求項4
に対応)、請求項1または請求項6に記載の発明はこれ
に限定されない。たとえば、光学電子部品としては、半
導体レーザ以外として、たとえばフォトダイオードなど
を備えたフォトセンサ類、発光LED、あるいは赤外線
受光素子を備えた赤外線センサなど、様々な光学電子部
品に適用可能である。したがって、シール用キャップの
具体的な形状や材質が特定されないことは勿論のこと、
シール用キャップに投入される透光部材の種類も限定さ
れず、たとえば合成樹脂製の透光部材の投入にも適用可
能である。In the above embodiment, the case where the glass plate m is put into the sealing cap C used in the can-seal type semiconductor laser has been described as an example (claim 4).
The invention according to claim 1 or claim 6 is not limited to this. For example, as the optical electronic component, other than the semiconductor laser, it can be applied to various optical electronic components such as photosensors including a photodiode, a light emitting LED, or an infrared sensor including an infrared light receiving element. Therefore, it goes without saying that the specific shape and material of the sealing cap are not specified.
There is no limitation on the type of the light-transmissive member that is put into the sealing cap, and the present invention can be applied to the case where a light-transmissive member made of synthetic resin is put in, for example.
【0049】その他、本願発明では、吸着ヘッド5に設
けられる凸状部51や真空吸着孔52の具体的な数など
も限定されない他、吸着ヘッド5の昇降動作や水平移動
動作を行わせるための具体的な機構も限定されず、各部
の具体的な構成は種々に設計変更自在である。In addition, in the present invention, the specific numbers of the convex portions 51 and the vacuum suction holes 52 provided in the suction head 5 are not limited, and the suction head 5 can be moved up and down and horizontally moved. The specific mechanism is not limited, and the specific configuration of each part can be changed in various ways.
【図1】本願発明に係るカンシール型光学電子部品のシ
ール用キャップへの透光部材投入装置の全体構成の一例
を示す概略正面断面図。FIG. 1 is a schematic front cross-sectional view showing an example of the overall configuration of a device for inserting a transparent member into a sealing cap of a canseal type optical electronic component according to the present invention.
【図2】吸着ヘッドの一例を示す要部断面図。FIG. 2 is a sectional view of an essential part showing an example of a suction head.
【図3】図2のX−X線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line XX of FIG.
【図4】吸着ヘッドの凸状部に設けられる吸気口の他の
構成例を示す要部断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part showing another configuration example of an intake port provided in a convex portion of a suction head.
【図5】吸着ヘッドの凸状部に設けられる吸気口の他の
構成例を示す要部断面図。FIG. 5 is a main-portion cross-sectional view showing another configuration example of the intake port provided in the convex portion of the suction head.
【図6】(a)〜(c)は、トレーにセットされたガラ
ス板の位置合わせを行う一連の工程を示す説明図。6A to 6C are explanatory views showing a series of steps for aligning a glass plate set on a tray.
【図7】シール用キャップ内へガラス板を投入させる状
態の一例を示す要部断面図。FIG. 7 is a cross-sectional view of essential parts showing an example of a state in which a glass plate is put into a sealing cap.
【図8】(a)〜(e)はシール用キャップへ各種部品
を組付ける場合の一連の作業工程の一例を示す要部断面
図。8A to 8E are cross-sectional views of a main part showing an example of a series of work steps when assembling various parts to the sealing cap.
【図9】従来におけるシール用キャップ内への透光部材
の投入手段の一例を示す説明図。FIG. 9 is an explanatory view showing an example of a conventional means for inserting a transparent member into a sealing cap.
1 焼成ジグ(ジグ) 2 コンベア 3 トレー載置台 4 トレー 5 吸着ヘッド 6 動作体 40 区画用凹部(トレーの) 51 凸状部 51a 下端先端面(凸状部の) 52 真空吸着孔 52a 開口部(真空吸着孔の) 54 切欠溝 55,55A 吸気口 m ガラス板(透光部材) C シール用キャップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Firing jig (jig) 2 Conveyor 3 Tray mounting table 4 Tray 5 Suction head 6 Actuator 40 Partition recess (tray) 51 Convex portion 51a Lower end tip surface (convex portion) 52 Vacuum adsorption hole 52a Opening ( Vacuum suction hole) 54 Notch groove 55, 55A Air inlet m Glass plate (transparent member) C Seal cap
Claims (6)
部材を着脱自在に保持して取り出すための真空吸着孔を
少なくとも1以上備えた吸着ヘッドを有し、かつ、この
吸着ヘッドは、上記所定位置から取り出した透光部材を
ジグにセットされたカンシール型光学電子部品のシール
用キャップの直上へ移送した後にその透光部材を吸着ヘ
ッドから離脱させることにより、その透光部材を上記シ
ール用キャップ内へ投入するように設けられているカン
シール型光学電子部品のシール用キャップへの透光部材
投入装置であって、 上記吸着ヘッドには、上記真空吸着孔の開口部を下端先
端面に形成した下向きの凸状部が設けられて、この吸着
ヘッドの凸状部の下端先端に上記透光部材が保持される
ように形成されているとともに、 上記吸着ヘッドは、上記所定位置から取り出した透光部
材を上記シール用キャップの直上へ移送した後には、こ
の透光部材をシール用キャップ内に挿入した状態におい
てこの吸着ヘッドから透光部材を離脱させるように上記
凸状部がシール用キャップ内に挿入する高さまで下降す
るように設けられ、かつ、 上記吸着ヘッドの凸状部には、この凸状部の下端先端に
透光部材が吸着保持されているときに上記真空吸着孔の
開口部の一部またはこの開口部とは異なる箇所から外部
のエアを真空吸着孔内へ吸引させるための吸気口が上記
真空吸着孔に連通して設けられていることを特徴とす
る、カンシール型光学電子部品のシール用キャップへの
透光部材投入装置。1. A suction head having at least one vacuum suction hole for detachably holding and taking out a desired light-transmissive member set at a predetermined position, the suction head comprising: The translucent member taken out from the predetermined position is transferred to directly above the sealing cap of the can seal type optical electronic component set on the jig, and then the translucent member is detached from the suction head, so that the translucent member is used for the above-mentioned sealing. A device for inserting a transparent member into a sealing cap of a can seal optical / electronic component, which is provided so as to be inserted into the cap, wherein the suction head has an opening for the vacuum suction hole formed at the lower end tip surface. Is provided so that the transparent member is held at the lower end tip of the convex portion of the suction head, and the suction head is After the translucent member taken out from the predetermined position is transferred to directly above the sealing cap, the protrusion is formed so as to separate the translucent member from the suction head in a state where the translucent member is inserted into the sealing cap. When the translucent member is attached to the convex portion of the suction head by suction at the lower end of the convex portion, the convex portion is provided so as to descend to a height for insertion into the sealing cap. An intake port for sucking external air into the vacuum suction hole from a part of the opening of the vacuum suction hole or a portion different from the opening is provided in communication with the vacuum suction hole. A device for inserting a translucent member into a sealing cap of a can seal type optical electronic component.
の下端先端面に、上記真空吸着孔の開口部に連通した凹
状の切欠溝が設けられることにより形成されている、請
求項1に記載のカンシール型光学電子部品のシール用キ
ャップへの透光部材投入装置。2. The suction port is formed by providing a concave notch groove communicating with the opening of the vacuum suction hole at the lower end tip surface of the convex portion of the suction head. An apparatus for inserting a light-transmissive member into the sealing cap of the can-seal type optical / electronic component according to the item 1.
ずつ区画分離して整列配置させるための区画用凹部を形
成したトレー上に載置されているとともに、 このトレーは、各透光部材を同一方向に移動させて各区
画用凹部の内壁面へ当接させるようにこのトレーを傾斜
させる傾斜手段を備えたトレー載置台上に載置されてい
ることを特徴とする、請求項1または2に記載のカンシ
ール型光学電子部品のシール用キャップへの透光部材投
入装置。3. The translucent member is placed on a tray having partition recesses for partitioning and aligning a plurality of translucent members one by one. It is characterized in that the translucent member is mounted on a tray mounting table provided with an inclining means for inclining the tray so that the translucent member is moved in the same direction and brought into contact with the inner wall surface of each partition recess. Item 3. A device for inserting a light-transmitting member into a sealing cap of a can-seal type optical electronic component according to Item 1 or 2.
ードを内蔵させるための半導体レーザのシール用キャッ
プであるとともに、上記透光部材が、そのシール用キャ
ップに形成された開口窓部を密閉するためのガラス板で
ある、請求項1ないし3の何れかに記載のカンシール型
光学電子部品のシール用キャップへの透光部材投入装
置。4. The sealing cap is a semiconductor laser sealing cap for incorporating a laser diode therein, and the translucent member seals an opening window portion formed in the sealing cap. The device for inserting a transparent member into a sealing cap of a can-seal type optical electronic component according to any one of claims 1 to 3, which is a glass plate.
部材を吸着ヘッドの真空吸着孔が開口した下面部に吸着
させることにより取り出して、上記吸着ヘッドに保持さ
せた後に、この吸着ヘッドをジグにセットされたカンシ
ール型光学電子部品のシール用キャップの直上へ移送
し、その後上記透光部材を吸着ヘッドから離脱させるこ
とにより、その透光部材を上記シール用キャップ内へ投
入させるカンシール型光学電子部品のシール用キャップ
への透光部材投入方法であって、 上記吸着ヘッドとして、上記真空吸着孔の開口部が下端
先端面に形成された下向きの凸状部を有するとともに、
この凸状部には、この凸状部の下端先端に透光部材が吸
着保持されているときに外部のエアを上記真空吸着孔内
へ吸引させるべく上記真空吸着孔内に連通した吸気口を
具備した吸着ヘッドを用いることにより、この吸着ヘッ
ドの凸状部の下端先端に透光部材を保持させて、上記所
定位置からの透光部材の取り出しとその移送を行い、 上記吸着ヘッドに保持させた透光部材を上記シール用キ
ャップの直上へ移送させた後には、上記吸着ヘッドの凸
状部がシール用キャップ内に挿入する高さまで吸着ヘッ
ドを下降させて、上記透光部材をシール用キャップ内に
挿入し、 その後真空吸着孔の真空吸引力を弱めまたはその真空吸
引動作を停止させることにより、上記透光部材を吸着ヘ
ッドの凸状部から離脱させることを特徴とする、カンシ
ール型光学電子部品のシール用キャップへの透光部材投
入方法。5. A desired light-transmitting member set at a predetermined position is taken out by adsorbing to a lower surface portion of a suction head where a vacuum suction hole is opened, and is held by the suction head, and then the suction head is removed. Can-seal type optics, which is set on a jig, is transferred to directly above the sealing cap of the optical electronic component, and then the translucent member is detached from the suction head to put the translucent member into the sealing cap. A method of inserting a transparent member into a sealing cap of an electronic component, wherein, as the suction head, an opening portion of the vacuum suction hole has a downward convex portion formed on a lower end tip surface,
The convex portion has an intake port communicating with the inside of the vacuum suction hole so that external air can be sucked into the vacuum suction hole when the transparent member is suction-held at the lower end of the convex portion. By using the suction head provided, the light transmissive member is held at the lower end of the convex portion of the suction head, the light transmissive member is taken out from the predetermined position and transferred, and is held by the suction head. After the transparent member has been transferred to directly above the sealing cap, the suction head is lowered to a height at which the convex portion of the suction head is inserted into the sealing cap, and the transparent member is sealed with the transparent cap. A canseal type optical member, characterized in that the transparent member is detached from the convex portion of the suction head by inserting it into the vacuum suction hole and then weakening the vacuum suction force of the vacuum suction hole or stopping the vacuum suction operation. Translucent member introduced how the sealing cap of the electronic component.
ずつ区画分離して配置させるための区画用凹部を形成し
たトレー上に予め載置され、このトレーから各透光部材
を吸着ヘッドによって取り出す以前には、このトレーを
一時的に傾斜させることにより、各透光部材を同一方向
へ移動させて各区画用凹部の内壁面へ当接させ、各透光
部材の位置合わせを行うことを特徴とする、請求項5に
記載のカンシール型光学電子部品のシール用キャップへ
の透光部材投入方法。6. The translucent member is preliminarily placed on a tray having a partitioning recess for partitioning and disposing a plurality of translucent members one by one, and each translucent member is removed from this tray. Before taking out with the suction head, by temporarily inclining this tray, each translucent member is moved in the same direction and brought into contact with the inner wall surface of each partitioning recess to align each translucent member. The method for inserting a transparent member into a sealing cap of a canseal type optical electronic component according to claim 5, which is performed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13901794A JPH088325A (en) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | Method and apparatus for throwing translucent member into sealing cap for can sealed optoelectronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13901794A JPH088325A (en) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | Method and apparatus for throwing translucent member into sealing cap for can sealed optoelectronic device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH088325A true JPH088325A (en) | 1996-01-12 |
Family
ID=15235537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13901794A Pending JPH088325A (en) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | Method and apparatus for throwing translucent member into sealing cap for can sealed optoelectronic device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH088325A (en) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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EP4009354A1 (en) * | 2020-12-03 | 2022-06-08 | Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives | Tool for collective transfer of microchips from a source substrate to a destination substrate |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP13901794A patent/JPH088325A/en active Pending
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