JPH08770Y2 - External mirror type UV output laser resonator - Google Patents
External mirror type UV output laser resonatorInfo
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- JPH08770Y2 JPH08770Y2 JP1989142228U JP14222889U JPH08770Y2 JP H08770 Y2 JPH08770 Y2 JP H08770Y2 JP 1989142228 U JP1989142228 U JP 1989142228U JP 14222889 U JP14222889 U JP 14222889U JP H08770 Y2 JPH08770 Y2 JP H08770Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、外部ミラー型紫外出力レーザに関し、共振
器内部構造に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial field of application] The present invention relates to an external mirror type ultraviolet output laser, and to an internal structure of a resonator.
従来、この種の外部ミラー型紫外出力レーザ共振器
は、第３図に示す通り、レーザ管２内の活性媒質を励起
するための放電電極であるアノード３とカソード４をレ
ーザ管２に取り付け、レーザ管より発生した光子を共振
させるための２枚のミラー１をレーザ光軸上に配置して
いた。Conventionally, in this type of external mirror type ultraviolet output laser resonator, as shown in FIG. 3, an anode 3 and a cathode 4 which are discharge electrodes for exciting an active medium in the laser tube 2 are attached to the laser tube 2. Two mirrors 1 for resonating the photons generated from the laser tube are arranged on the laser optical axis.
上述した従来の外部ミラー型紫外出力レーザ共振器
は、ミラーとレーザ管端との間の光軸上に浮遊する酸素
が、紫外光によってオゾンに変化する。このオゾンは、
強い酸化力をもちレーザ共振器を構成するまわりの光学
部品を腐食させてしまうという欠点がある。In the conventional external mirror type ultraviolet output laser resonator described above, oxygen floating on the optical axis between the mirror and the laser tube end is changed to ozone by ultraviolet light. This ozone is
It has a drawback that it has a strong oxidizing power and corrodes the optical components around the laser resonator.
本考案の外部ミラー型紫外出力レーザ共振器は、２枚
の外部ミラーにより共振器を構成し、紫外出力のゲイン
チューブをミラー内部の光軸上に配置している従来の外
部ミラー型紫外出力レーザ共振器に対して、さらにレー
ザ管端とミラーとの間の空間に熱コイル、もしくは酸化
銅（II）粉末付着パイプ６を光軸をさえぎらないように
配置することによって構成される。The external mirror type ultraviolet output laser resonator of the present invention comprises a resonator composed of two external mirrors, and a conventional external mirror type ultraviolet output laser in which an ultraviolet output gain tube is arranged on the optical axis inside the mirror. It is constituted by disposing a heat coil or a copper (II) oxide powder adhering pipe 6 in the space between the laser tube end and the mirror so as not to interrupt the optical axis with respect to the resonator.
本考案に従う外部ミラー型紫外出力レーザ共振器は、
共振器内部に浮遊する酸素と紫外光の相互作用によって
生成されるオゾンを分解する触媒である酸化銅（II）、
又は、熱によってオゾンを分解することができる。かく
して、本考案に従う外部ミラー型紫外出力レーザ共振器
は、紫外光によって生成されたオゾンの酸化力により回
りの光学部品が侵されることを防いでいる。The external mirror type ultraviolet output laser resonator according to the present invention is
Copper (II) oxide, which is a catalyst that decomposes ozone generated by the interaction between oxygen floating in the resonator and ultraviolet light,
Alternatively, ozone can be decomposed by heat. Thus, the external mirror type ultraviolet output laser resonator according to the present invention prevents the surrounding optical components from being damaged by the oxidizing power of ozone generated by the ultraviolet light.
第１図は本考案の第１の実施例の概略的な構成を示す
断面図である。２枚の外部ミラー１によって共振器を構
成し、その光軸上にゲインチューブであるレーザ管２を
配置する。レーザ管２の両端には、ブリュースタ窓５が
取り付けられ、さらにレーザ管内に封入されているガス
を励起する放電を行う両電極であるアノード３とカソー
ド４が取り付けられている。レーザ管端とミラーとの間
の空間に酸化銅（II）粉末付着パイプ６を配置した。FIG. 1 is a sectional view showing a schematic structure of a first embodiment of the present invention. A resonator is composed of two external mirrors 1, and a laser tube 2 which is a gain tube is arranged on the optical axis thereof. A Brewster window 5 is attached to both ends of the laser tube 2, and an anode 3 and a cathode 4 which are both electrodes for performing discharge for exciting a gas sealed in the laser tube are attached. A copper (II) oxide powder adhering pipe 6 was placed in the space between the laser tube end and the mirror.
本実施例においてレーザを動作させると、共振器の空
間では次の反応が起きる。When the laser is operated in this embodiment, the following reaction occurs in the cavity space.
3O2→2O3 〔オゾンの生成〕 2CuO＋Ｏ3→Cu2O＋2O2〔オゾンの分解〕 4CuO→2Cu2O＋Ｏ2〔CuOの補充〕 上記化学式にある通り、紫外光により生成されたオゾ
ンは、触媒である酸化銅（II）によって酸素に分解され
る。かくしてオゾンの酸化力による光学部品の腐食をな
くすことができる。酸化銅以外でも、白金，二酸化鉛，
二酸化マンガン等も用いることができる。3O 2 → 2O 3 [Ozone generation] 2CuO + O 3 → Cu 2 O + 2O 2 [Ozone decomposition] 4CuO → 2Cu 2 O + O 2 [CuO supplementation] As shown in the above chemical formula, ozone generated by ultraviolet light is a catalyst. It is decomposed to oxygen by some copper (II) oxide. Thus, it is possible to prevent corrosion of optical components due to the oxidizing power of ozone. Other than copper oxide, platinum, lead dioxide,
Manganese dioxide or the like can also be used.
第２図は本考案の第２の実施例の概略的な構成を示す
縦断面図である。２枚の外部ミラー１によって共振器を
構成し、その光軸上にレーザ管２を配置する。レーザ管
２の両端には、ブリュースタ窓５が取り付けられ、さら
にレーザ管内のガスを放電励起するために２つの電極で
あるアノード３とカソード４を取り付ける。、ブリュー
スタ窓５とブリュースタ窓と向かい合うミラー１との間
の空間に熱コイルを配置する。FIG. 2 is a vertical sectional view showing a schematic configuration of the second embodiment of the present invention. A resonator is composed of two external mirrors 1, and a laser tube 2 is arranged on the optical axis thereof. Brewster windows 5 are attached to both ends of the laser tube 2, and two electrodes, an anode 3 and a cathode 4, are attached to excite the gas in the laser tube by discharge. , A heat coil is arranged in the space between the Brewster window 5 and the mirror 1 facing the Brewster window.
本実施例２においてレーザを動作させると、共振器中
では次の反応が起きる。When the laser is operated in the second embodiment, the following reaction occurs in the resonator.
紫外光 3O2 → 2O3 熱 2O3 → 2O2 上記化学式にある通り、紫外光によって生成された不
安定なオゾンは、熱により容易に分解し、より安定な酸
素にもどる。かくして、オゾンの酸化力による光学部品
の腐食を防ぐことができる。Ultraviolet light 3O 2 → 2O 3 heat 2O 3 → 2O 2 As shown in the above chemical formula, the unstable ozone generated by ultraviolet light is easily decomposed by heat and returns to more stable oxygen. Thus, it is possible to prevent corrosion of the optical components due to the oxidizing power of ozone.
以上説明したように本考案に従う外部ミラー型紫外出
力レーザ共振器においては、紫外光によって生成される
オゾンを酸素に分解する触媒を共振器に配置することに
よりオゾンを分解し、あるいは熱コイルの熱によってオ
ゾンを分解し、オゾンの酸化力によるまわりの光学部品
の腐食を防ぐ効果がある。As described above, in the external mirror type ultraviolet output laser resonator according to the present invention, ozone is decomposed by disposing a catalyst for decomposing ozone generated by ultraviolet light into oxygen in the resonator, or the thermal coil This has the effect of decomposing ozone and preventing corrosion of surrounding optical parts due to the oxidizing power of ozone.
第１図は本考案の外部ミラー型紫外出力レーザ共振器の
第１の実施例の概略的な縦断面図、第２図は、本考案の
外部ミラー型紫外出力レーザ共振器の第２の実施例でミ
ラーとブリュースタ窓間を拡大した概略的な縦断面図、
第３図は従来の外部ミラー型紫外出力レーザ共振器の構
成を概略的に示す縦断面図である。 １……ミラー、２……レーザ管、３……アノード、４…
…カソード、５……ブリュースタ窓、６……酸化銅（I
I）粉末付着パイプ、７……熱コイル。FIG. 1 is a schematic vertical sectional view of a first embodiment of an external mirror type ultraviolet output laser resonator of the present invention, and FIG. 2 is a second embodiment of an external mirror type ultraviolet output laser resonator of the present invention. An enlarged schematic vertical cross section between the mirror and Brewster window in the example,
FIG. 3 is a vertical sectional view schematically showing the structure of a conventional external mirror type ultraviolet output laser resonator. 1 ... Mirror, 2 ... Laser tube, 3 ... Anode, 4 ...
… Cathode, 5 …… Brewster window, 6 …… Copper oxide (I
I) Powder adhesion pipe, 7 ... Heat coil.
Claims (1)
の電極であるアノードとカソードと、前記レーザ管より
得られた光子を共振させるための２枚のミラーから成る
外部ミラー型紫外出力レーザ共振器において、ミラーと
レーザ管端の間の空間に、酸化銅（II），白金，二酸化
鉛，二酸化マンガン等のオゾンを分解する触媒を含むこ
とを特徴とする外部ミラー型紫外出力レーザ共振器。1. An external mirror type ultraviolet output laser comprising a laser tube, an anode and a cathode which are electrodes for discharge-exciting an active medium, and two mirrors for resonating photons obtained from the laser tube. In the resonator, an external mirror type ultraviolet output laser resonator characterized in that the space between the mirror and the end of the laser tube contains a catalyst for decomposing ozone such as copper (II) oxide, platinum, lead dioxide and manganese dioxide. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989142228U JPH08770Y2 (en) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | External mirror type UV output laser resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989142228U JPH08770Y2 (en) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | External mirror type UV output laser resonator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0381657U JPH0381657U (en) | 1991-08-21 |
| JPH08770Y2 true JPH08770Y2 (en) | 1996-01-10 |
Family
ID=31689067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989142228U Expired - Lifetime JPH08770Y2 (en) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | External mirror type UV output laser resonator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08770Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004350733A (en) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Kawakita:Kk | Container with grip, and method of producing the same |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286473A (en) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Amada Co Ltd | Gas laser oscillator |
| JPH0365213A (en) * | 1989-08-01 | 1991-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nitrogen concentrating apparatus |
-
1989
- 1989-12-08 JP JP1989142228U patent/JPH08770Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0381657U (en) | 1991-08-21 |
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