JPH0872253A - インクジェット装置 - Google Patents
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ノズル表面の帯電防止効果の劣化を防止する
ことができるインクジェット装置を提供すること。 【構成】 ノズルプレート基板１上に、帯電防止剤であ
る界面活性剤を混入したフッ素系樹脂の撥水性膜２をス
プレーコートにより塗布し、次にエキシマレーザ装置よ
り発振されるレーザ光によりノズル３を加工する。この
時、ノズルプレート基板１と撥水性膜２が同時に加工さ
れるが、混入されている帯電防止剤が界面活性剤のた
め、レーザ加工においては何の支障もなくスムースに加
工が行われる。そして、ノズルプレート基板１が、接着
剤５によりインク流路６を形成するアクチュエータ部材
４に接着される。帯電防止剤が撥水性膜２に混入されて
いるので、ノズル表面のインクやゴミ等を除去するワイ
ピングによる帯電防止効果が劣化することが防止され
る。
ことができるインクジェット装置を提供すること。 【構成】 ノズルプレート基板１上に、帯電防止剤であ
る界面活性剤を混入したフッ素系樹脂の撥水性膜２をス
プレーコートにより塗布し、次にエキシマレーザ装置よ
り発振されるレーザ光によりノズル３を加工する。この
時、ノズルプレート基板１と撥水性膜２が同時に加工さ
れるが、混入されている帯電防止剤が界面活性剤のた
め、レーザ加工においては何の支障もなくスムースに加
工が行われる。そして、ノズルプレート基板１が、接着
剤５によりインク流路６を形成するアクチュエータ部材
４に接着される。帯電防止剤が撥水性膜２に混入されて
いるので、ノズル表面のインクやゴミ等を除去するワイ
ピングによる帯電防止効果が劣化することが防止され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ノズル表面に撥水性膜
を形成し、且つノズル表面が帯電しないように処理を施
したインクジェット装置に関するものである。
を形成し、且つノズル表面が帯電しないように処理を施
したインクジェット装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、インクを噴射して画像を形成す
るインクジェット装置においては、インクが噴射される
ノズル周囲にインク滴が付着するなどして、ノズルが目
詰まりしないように、ノズル表面には撥水性膜が形成さ
れている。さらに、ノズル表面にゴミ等が付着しないよ
うに帯電防止処理が施されている。
るインクジェット装置においては、インクが噴射される
ノズル周囲にインク滴が付着するなどして、ノズルが目
詰まりしないように、ノズル表面には撥水性膜が形成さ
れている。さらに、ノズル表面にゴミ等が付着しないよ
うに帯電防止処理が施されている。
【０００３】従来の帯電防止処理としては、特開昭６１
−２９１１４８号公報や特開昭６１−２９１１４９号公
報に示されているように、ノズル表面に撥水性膜を形成
したインクジェット装置のノズル基板樹脂または撥水性
膜に、金属製の導電性フィラーを混入して、ノズル基板
樹脂または撥水性膜を接地する方法や、撥水性膜表面に
界面活性剤を塗布または金属薄膜を形成する等の方法が
提案されている。
−２９１１４８号公報や特開昭６１−２９１１４９号公
報に示されているように、ノズル表面に撥水性膜を形成
したインクジェット装置のノズル基板樹脂または撥水性
膜に、金属製の導電性フィラーを混入して、ノズル基板
樹脂または撥水性膜を接地する方法や、撥水性膜表面に
界面活性剤を塗布または金属薄膜を形成する等の方法が
提案されている。
【０００４】また、インクジェット装置の高集積化にと
もない、２０〜５０μｍのノズルが、エキシマレーザビ
ームによって狭ピッチで加工されている。そして、ノズ
ル加工後に撥水性膜を形成すると、ノズルが撥水性膜に
よって塞がれるので、撥水性膜を形成した後にノズル加
工を行っている。
もない、２０〜５０μｍのノズルが、エキシマレーザビ
ームによって狭ピッチで加工されている。そして、ノズ
ル加工後に撥水性膜を形成すると、ノズルが撥水性膜に
よって塞がれるので、撥水性膜を形成した後にノズル加
工を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したような従来の
インクジェット装置の帯電防止方法では、ノズル基板樹
脂または撥水性膜に金属製の導電性フィラーを混入する
場合、金属製の導電性フィラーがエキシマレーザビーム
で加工できないため、微細なノズル加工が出来ない。ま
た撥水性膜表面に金属薄膜を形成する場合もエキシマレ
ーザビームによる加工性が問題になり、加工に影響を与
えない程度の薄膜や界面活性剤を塗布した場合は、ノズ
ル表面のインクやゴミ等を除去するワイピングによっ
て、摩耗したり、剥がれたりして、帯電防止の効果を発
揮する寿命が短いといった問題点があった。
インクジェット装置の帯電防止方法では、ノズル基板樹
脂または撥水性膜に金属製の導電性フィラーを混入する
場合、金属製の導電性フィラーがエキシマレーザビーム
で加工できないため、微細なノズル加工が出来ない。ま
た撥水性膜表面に金属薄膜を形成する場合もエキシマレ
ーザビームによる加工性が問題になり、加工に影響を与
えない程度の薄膜や界面活性剤を塗布した場合は、ノズ
ル表面のインクやゴミ等を除去するワイピングによっ
て、摩耗したり、剥がれたりして、帯電防止の効果を発
揮する寿命が短いといった問題点があった。
【０００６】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、ノズル表面の帯電防止効果の劣
化を防止することができるインクジェット装置を提供す
ることを目的とする。
になされたものであり、ノズル表面の帯電防止効果の劣
化を防止することができるインクジェット装置を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、ノズル表面に撥水性膜を形成
し、且つノズル表面が帯電しないように処理を施したイ
ンクジェット装置において、帯電を防止する界面活性剤
が前記撥水性膜に混入されていることを特徴とする。
に本発明の請求項１では、ノズル表面に撥水性膜を形成
し、且つノズル表面が帯電しないように処理を施したイ
ンクジェット装置において、帯電を防止する界面活性剤
が前記撥水性膜に混入されていることを特徴とする。
【０００８】請求項２では、前記撥水性膜は、フッ素系
樹脂であることを特徴とする。
樹脂であることを特徴とする。
【０００９】請求項３では、前記ノズルは、前記撥水性
膜を形成した後にレーザ光によって加工されることを特
徴とする。
膜を形成した後にレーザ光によって加工されることを特
徴とする。
【００１０】
【作用】上記の構成を有する本発明のインクジェット装
置では、帯電を防止する界面活性剤が前記撥水性膜に混
入されていることによって、ノズル表面の帯電が防止さ
れ、塵、埃、ゴミ等の付着が防止される。
置では、帯電を防止する界面活性剤が前記撥水性膜に混
入されていることによって、ノズル表面の帯電が防止さ
れ、塵、埃、ゴミ等の付着が防止される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を、図を
参照して詳細に説明する。
参照して詳細に説明する。
【００１２】図１に、帯電防止処理を施したインクジェ
ット装置のノズル部の拡大断面図を示す。帯電防止剤を
混入した撥水性膜２が形成されたノズルプレート基板１
が、接着剤５によりインク流路６を形成するアクチュエ
ータ部材４に接着されている。ここで、ノズル３の加工
について述べる。まず、ノズルプレート基板１上に、界
面活性剤の帯電防止剤を混入したフッ素系樹脂の撥水性
膜２をスプレーコートにより塗布する。本実施例おいて
は、ノズルプレート基板１にポリイミド樹脂を用いた。
次に、図２に示すように、エキシマレーザ装置１０より
発振されるレーザ光１３を、加工したいノズル形状と相
似形のマスク１１に通した後、レンズ１２により縮小
し、ノズルプレート基板１及び撥水性膜２に照射して、
所望する形状のノズル３を加工する。この時、ノズルプ
レート基板１と撥水性膜２とが同時に加工されるが、混
入されている帯電防止剤が界面活性剤のため、レーザ加
工においては何の支障もなくスムースにノズル３の加工
が行われる。
ット装置のノズル部の拡大断面図を示す。帯電防止剤を
混入した撥水性膜２が形成されたノズルプレート基板１
が、接着剤５によりインク流路６を形成するアクチュエ
ータ部材４に接着されている。ここで、ノズル３の加工
について述べる。まず、ノズルプレート基板１上に、界
面活性剤の帯電防止剤を混入したフッ素系樹脂の撥水性
膜２をスプレーコートにより塗布する。本実施例おいて
は、ノズルプレート基板１にポリイミド樹脂を用いた。
次に、図２に示すように、エキシマレーザ装置１０より
発振されるレーザ光１３を、加工したいノズル形状と相
似形のマスク１１に通した後、レンズ１２により縮小
し、ノズルプレート基板１及び撥水性膜２に照射して、
所望する形状のノズル３を加工する。この時、ノズルプ
レート基板１と撥水性膜２とが同時に加工されるが、混
入されている帯電防止剤が界面活性剤のため、レーザ加
工においては何の支障もなくスムースにノズル３の加工
が行われる。
【００１３】また、ノズルプレート基板１であるポリイ
ミド樹脂の表面抵抗値が約１０15Ωであり、放電による
半減期が無限大であるが、帯電防止剤の混入された撥水
性膜２の働きによりノズル表面の抵抗値は１０11Ωであ
り、放電による半減期は数秒となり、良好な帯電防止効
果が得られる。また、帯電防止剤はフッ素系樹脂の撥水
性膜２に混入されているので、ノズル表面のインクやゴ
ミ等を除去するワイピングによる帯電防止効果が劣化す
ることが防止され、帯電防止効果の寿命が長くなる。
ミド樹脂の表面抵抗値が約１０15Ωであり、放電による
半減期が無限大であるが、帯電防止剤の混入された撥水
性膜２の働きによりノズル表面の抵抗値は１０11Ωであ
り、放電による半減期は数秒となり、良好な帯電防止効
果が得られる。また、帯電防止剤はフッ素系樹脂の撥水
性膜２に混入されているので、ノズル表面のインクやゴ
ミ等を除去するワイピングによる帯電防止効果が劣化す
ることが防止され、帯電防止効果の寿命が長くなる。
【００１４】尚、本発明は以上詳述した実施例に限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲の変更は
可能である。例えば、本実施例では、ポリイミド樹脂で
ノズルプレート基板１を形成していたが、ポリサルホン
樹脂等でノズルプレート基板を形成してもよい。また、
本実施例では、撥水性膜２をスプレーコートにより塗布
しているが、スピンコートやディップコート等によって
塗布してもよい。
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲の変更は
可能である。例えば、本実施例では、ポリイミド樹脂で
ノズルプレート基板１を形成していたが、ポリサルホン
樹脂等でノズルプレート基板を形成してもよい。また、
本実施例では、撥水性膜２をスプレーコートにより塗布
しているが、スピンコートやディップコート等によって
塗布してもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のインクジェット装置によれば、帯電を防止する界
面活性剤が前記撥水性膜に混入されているので、ノズル
表面の帯電が防止され、塵、埃、ゴミ等の付着が防止さ
れる。また、帯電を防止するものが界面活性剤であるた
め、繊細なノズル加工に影響を与えることがない。さら
に、撥水性膜に界面活性剤が混入されているため、ノズ
ル面のインクやゴミ等を除去するワイピングによる帯電
防止の効果の劣化が防止され、帯電防止効果の寿命が長
くなる。
発明のインクジェット装置によれば、帯電を防止する界
面活性剤が前記撥水性膜に混入されているので、ノズル
表面の帯電が防止され、塵、埃、ゴミ等の付着が防止さ
れる。また、帯電を防止するものが界面活性剤であるた
め、繊細なノズル加工に影響を与えることがない。さら
に、撥水性膜に界面活性剤が混入されているため、ノズ
ル面のインクやゴミ等を除去するワイピングによる帯電
防止の効果の劣化が防止され、帯電防止効果の寿命が長
くなる。
【図１】本発明の一実施例のインク噴射装置のノズル部
近傍を示す断面図である。
近傍を示す断面図である。
【図２】前記実施例におけるノズルプレートのノズル加
工を示す説明図である。
工を示す説明図である。
１ ノズルプレート基板 ２ 撥水性膜 ３ ノズル ４ アクチュエータ部材 ５ 接着剤 ６ インク流路 １３ レーザ光
Claims (3)
- 【請求項１】 ノズル表面に撥水性膜を形成し、且つノ
ズル表面が帯電しないように処理を施したインクジェッ
ト装置において、 帯電を防止する界面活性剤が前記撥水性膜に混入されて
いることを特徴とするインクジェット装置。 - 【請求項２】 前記撥水性膜は、フッ素系樹脂であるこ
とを特徴とする請求項１記載のインクジェット装置。 - 【請求項３】 前記ノズルは、前記撥水性膜を形成した
後にレーザ光によって加工されることを特徴とする請求
項１記載のインクジェット装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06208496A JP3099646B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | インクジェット装置の製造方法 |
| US08/521,452 US5905515A (en) | 1994-09-01 | 1995-08-30 | Water-repellent film for a nozzle plate of an ink ejecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06208496A JP3099646B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | インクジェット装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0872253A true JPH0872253A (ja) | 1996-03-19 |
| JP3099646B2 JP3099646B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=16557128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06208496A Expired - Fee Related JP3099646B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | インクジェット装置の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5905515A (ja) |
| JP (1) | JP3099646B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100428650B1 (ko) * | 2001-12-01 | 2004-04-28 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린터의 헤드 제조방법 |
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|---|---|---|---|---|
| US6439702B1 (en) * | 1993-08-25 | 2002-08-27 | Aprion Digital Ltd. | Inkjet print head |
| JP2000043274A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Fujitsu Ltd | ノズルプレート及びその製造方法 |
| JP3652185B2 (ja) * | 1999-10-05 | 2005-05-25 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置 |
| US6616760B2 (en) * | 1999-12-17 | 2003-09-09 | Tokyo Electron Limited | Film forming unit |
| JP3657922B2 (ja) * | 2002-05-10 | 2005-06-08 | 株式会社東京機械製作所 | スプレー式湿し水供給装置 |
| US20030217995A1 (en) * | 2002-05-23 | 2003-11-27 | Yosuke Toyofuku | Laser processing method using ultra-short pulse laser beam |
| JP3953000B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2007-08-01 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットのノズルプレート原材およびノズルプレートの製造方法 |
| JP2006256282A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、並びに、液滴吐出装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119148A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-28 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JPH0643133B2 (ja) * | 1985-06-19 | 1994-06-08 | 株式会社リコー | インクジエツトヘツドの帯電防止処理方法 |
| JPH0643132B2 (ja) * | 1985-06-19 | 1994-06-08 | 株式会社リコー | インクジエツトヘツドの帯電防止処理方法 |
| JPS62202743A (ja) * | 1986-03-04 | 1987-09-07 | Ricoh Co Ltd | インクジエツト記録装置用インク噴射ノズルの撥水処理方法 |
| EP0583918B1 (en) * | 1992-08-14 | 1999-03-10 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Reflection preventing film and process for forming resist pattern using the same |
| JP3348744B2 (ja) * | 1993-08-18 | 2002-11-20 | ブラザー工業株式会社 | ノズルプレート製造方法 |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP06208496A patent/JP3099646B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-30 US US08/521,452 patent/US5905515A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100428650B1 (ko) * | 2001-12-01 | 2004-04-28 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린터의 헤드 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5905515A (en) | 1999-05-18 |
| JP3099646B2 (ja) | 2000-10-16 |
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