JPH0869752A - スピンコーティング装置 - Google Patents
スピンコーティング装置Info
- Publication number
- JPH0869752A JPH0869752A JP6205261A JP20526194A JPH0869752A JP H0869752 A JPH0869752 A JP H0869752A JP 6205261 A JP6205261 A JP 6205261A JP 20526194 A JP20526194 A JP 20526194A JP H0869752 A JPH0869752 A JP H0869752A
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- JP
- Japan
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- coated
- rotation
- spin coating
- panel surface
- envelope
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
- H01J2209/015—Machines therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 陰極線管の回転により発生するパネル表面の
コーナー部の回転方向と逆方向の回転風を防止して、パ
ネル表面全面に均一で、かつごみや異物の付着を防止し
た塗布膜を形成できるスピンコーティング装置を提供す
る。 【構成】 外囲筒１１の内部に被塗布体１を回転させて
保持する回転保持部２と、前記被塗布体１の上部に配置
した塗布液を滴下させるノズル４とを具備したスピンコ
ーティング装置において、前記外囲筒１１の内部に被塗
布体１の回転に伴い気流を発生させる気流制御手段とし
て、被塗布体１の回転と同期した同一方向の回転風を発
生させるように外囲筒１１に設けた送風ダクト１０であ
ることを特徴とする。
コーナー部の回転方向と逆方向の回転風を防止して、パ
ネル表面全面に均一で、かつごみや異物の付着を防止し
た塗布膜を形成できるスピンコーティング装置を提供す
る。 【構成】 外囲筒１１の内部に被塗布体１を回転させて
保持する回転保持部２と、前記被塗布体１の上部に配置
した塗布液を滴下させるノズル４とを具備したスピンコ
ーティング装置において、前記外囲筒１１の内部に被塗
布体１の回転に伴い気流を発生させる気流制御手段とし
て、被塗布体１の回転と同期した同一方向の回転風を発
生させるように外囲筒１１に設けた送風ダクト１０であ
ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスピンコーティング装置
に関し、特に陰極線管のパネル表面等の被塗布面が円形
でない被塗布体に、薄膜を塗布形成するに好適なスピン
コーティング装置に関する。
に関し、特に陰極線管のパネル表面等の被塗布面が円形
でない被塗布体に、薄膜を塗布形成するに好適なスピン
コーティング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】陰極線管のパネル表面の画像表示面は、
一般に光沢状態となっているため、外来光を強烈に反射
し、パネル表面に表示される画像が識別し難くなるとい
う問題があった。特に最近では、陰極線管がパソコンや
ワープロ等の情報機器のビジュアルディスプレイターミ
ナルに使用されるようになり、この外来光反射の問題は
無視できなくなってきた。さらに、陰極線管は使用時の
電源スイッチの点滅で、静電誘導により高電圧の静電気
がパネル表面に帯電し、この静電気に接触した場合に大
きなショックを受ける。また、この静電気により大気中
の塵やほこりが画像表示面に吸着し、堆積して画像を見
難くするという問題も生じていた。
一般に光沢状態となっているため、外来光を強烈に反射
し、パネル表面に表示される画像が識別し難くなるとい
う問題があった。特に最近では、陰極線管がパソコンや
ワープロ等の情報機器のビジュアルディスプレイターミ
ナルに使用されるようになり、この外来光反射の問題は
無視できなくなってきた。さらに、陰極線管は使用時の
電源スイッチの点滅で、静電誘導により高電圧の静電気
がパネル表面に帯電し、この静電気に接触した場合に大
きなショックを受ける。また、この静電気により大気中
の塵やほこりが画像表示面に吸着し、堆積して画像を見
難くするという問題も生じていた。
【０００３】そこで、陰極線管のパネル表面に反射防止
機能および帯電防止機能を持たせるために、パネル表面
に反射防止膜や帯電防止膜等の機能性薄膜を、金属アル
コキシドのアルコール溶液等をスピンコーティングして
形成している。この機能性薄膜の形成装置として、従
来、一般に使用されているスピンコーティング装置につ
いて図面を参照して説明する。図４に示すように、スピ
ンコーティング装置は、陰極線管１を保持して回転させ
る回転保持部２と、外囲筒３と、コーティング液滴下用
のノズル４とから構成されている。そして、特開平１−
３２０７２８号公報に開示されているように、パネル表
面５の上方にエアーカーテン層６を形成させるエアーカ
ーテン用パイプ７と、外囲筒３の内面に流水８を流す流
水用パイプ９が配設されている。
機能および帯電防止機能を持たせるために、パネル表面
に反射防止膜や帯電防止膜等の機能性薄膜を、金属アル
コキシドのアルコール溶液等をスピンコーティングして
形成している。この機能性薄膜の形成装置として、従
来、一般に使用されているスピンコーティング装置につ
いて図面を参照して説明する。図４に示すように、スピ
ンコーティング装置は、陰極線管１を保持して回転させ
る回転保持部２と、外囲筒３と、コーティング液滴下用
のノズル４とから構成されている。そして、特開平１−
３２０７２８号公報に開示されているように、パネル表
面５の上方にエアーカーテン層６を形成させるエアーカ
ーテン用パイプ７と、外囲筒３の内面に流水８を流す流
水用パイプ９が配設されている。
【０００４】この装置による陰極線管のパネル表面への
機能性薄膜の塗布形成は下記のように実施される。すな
わち、まず、エアーカーテン用パイプ７よりフレッシュ
エアーをパネル表面５の上方にフローして、エアーカー
テン層６を形成させる。また、流水用パイプ９より外囲
筒３の内面に流水８を流す。この状態でノズル４より金
属アルコキシドのアルコール溶液等のコーティング液を
パネル表面５上に滴下した後、陰極線管１を一定の回転
速度で、一定の時間回転させてパネル表面５にコーティ
ング液が塗布される。このようにスピンコーティングす
ることにより、上方からパネル表面に降ってくる空気中
の塵やほこり等のごみや異物がパネル表面に付着するの
が防止される。また、外囲筒内面に常に流れている流水
により、コーティング液が飛散して外囲筒内面に付着す
るのが防止され、パネル表面へのゴミや異物の巻き上げ
による付着も防止される。
機能性薄膜の塗布形成は下記のように実施される。すな
わち、まず、エアーカーテン用パイプ７よりフレッシュ
エアーをパネル表面５の上方にフローして、エアーカー
テン層６を形成させる。また、流水用パイプ９より外囲
筒３の内面に流水８を流す。この状態でノズル４より金
属アルコキシドのアルコール溶液等のコーティング液を
パネル表面５上に滴下した後、陰極線管１を一定の回転
速度で、一定の時間回転させてパネル表面５にコーティ
ング液が塗布される。このようにスピンコーティングす
ることにより、上方からパネル表面に降ってくる空気中
の塵やほこり等のごみや異物がパネル表面に付着するの
が防止される。また、外囲筒内面に常に流れている流水
により、コーティング液が飛散して外囲筒内面に付着す
るのが防止され、パネル表面へのゴミや異物の巻き上げ
による付着も防止される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したスピ
ンコーティング装置では、陰極線管の回転によりパネル
表面のコーナー部に発生する回転方向と逆方向の回転風
により、パネル表面のコーナー部でのコーティング液の
放射状の流れが乱され、パネル表面のコーナー部の塗布
膜厚が波状に不均一となり、形成される機能性薄膜に色
むらが生ずるという問題があった。また、コーティング
液の飛散により、外囲筒内部の気中に浮遊するごみや異
物がパネル表面へ付着するという問題もあった。本発明
の目的は、上記の問題点を解決し、陰極線管の回転によ
り発生するパネル表面のコーナー部の回転方向と逆方向
の回転風を防止して、パネル表面全面に均一で、かつご
みや異物の付着を防止した塗布膜を形成できるスピンコ
ーティング装置を提供することにある。
ンコーティング装置では、陰極線管の回転によりパネル
表面のコーナー部に発生する回転方向と逆方向の回転風
により、パネル表面のコーナー部でのコーティング液の
放射状の流れが乱され、パネル表面のコーナー部の塗布
膜厚が波状に不均一となり、形成される機能性薄膜に色
むらが生ずるという問題があった。また、コーティング
液の飛散により、外囲筒内部の気中に浮遊するごみや異
物がパネル表面へ付着するという問題もあった。本発明
の目的は、上記の問題点を解決し、陰極線管の回転によ
り発生するパネル表面のコーナー部の回転方向と逆方向
の回転風を防止して、パネル表面全面に均一で、かつご
みや異物の付着を防止した塗布膜を形成できるスピンコ
ーティング装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のスピンコーティ
ング装置は、外囲筒の内部に被塗布体を回転させて保持
する回転保持部と、前記被塗布体の上部に配置した塗布
液を滴下させるノズルとを具備したスピンコーティング
装置において、前記外囲筒の内部に被塗布体の回転に伴
い気流を発生させる気流制御手段を設けたことを特徴と
し、また、前記気流制御手段が被塗布体の回転と同期し
た同一方向の回転風を発生させるように外囲筒に設けた
送風ダクトであり、または、被塗布体の回転と同期した
同一方向の回転風を発生させるように外囲筒に設けた吸
引ダクトであり、または、被塗布体の回転と同期した回
転風を発生させるように内面に羽根を設けた外囲筒を被
塗布体の回転と同一方向に回転させる構成であり、しか
も、被塗布体の回転と同期した回転風を下方に排出させ
るよう構成することが望ましい。
ング装置は、外囲筒の内部に被塗布体を回転させて保持
する回転保持部と、前記被塗布体の上部に配置した塗布
液を滴下させるノズルとを具備したスピンコーティング
装置において、前記外囲筒の内部に被塗布体の回転に伴
い気流を発生させる気流制御手段を設けたことを特徴と
し、また、前記気流制御手段が被塗布体の回転と同期し
た同一方向の回転風を発生させるように外囲筒に設けた
送風ダクトであり、または、被塗布体の回転と同期した
同一方向の回転風を発生させるように外囲筒に設けた吸
引ダクトであり、または、被塗布体の回転と同期した回
転風を発生させるように内面に羽根を設けた外囲筒を被
塗布体の回転と同一方向に回転させる構成であり、しか
も、被塗布体の回転と同期した回転風を下方に排出させ
るよう構成することが望ましい。
【０００７】
【作用】上記の構成によれば、外囲筒の接線方向に設け
た送風ダクトから被塗布体の回転に同期したフレッシュ
エアーを吹き込むこと、または、外囲筒の接線方向に設
けた吸引ダクトにより外囲筒内部のエアーを吸引するこ
とにより、被塗布体と同一方向、同一速度の回転風が外
囲筒内部に発生するため、被塗布体表面のコーナー部に
おいてコーティング液の放射状の流れが乱されることが
なく、均一な塗布膜を形成できる。また、内面に羽根を
設けた外囲筒を被塗布体の回転に同期して回転させるこ
とにより、被塗布体表面のコーナー部における被塗布体
と逆回転方向の回転風の発生を防止しても、被塗布体表
面のコーナー部においてコーティング液の放射状の流れ
が乱されることがなく、均一な塗布膜を形成できる。ま
た、上記回転風を外囲筒の下方に排出させることにより
コーティング液の飛散により気中に浮遊するごみや異物
を外囲筒の下方に、回転風の排出と一緒に排出させ、パ
ネル表面への付着を防止できる。
た送風ダクトから被塗布体の回転に同期したフレッシュ
エアーを吹き込むこと、または、外囲筒の接線方向に設
けた吸引ダクトにより外囲筒内部のエアーを吸引するこ
とにより、被塗布体と同一方向、同一速度の回転風が外
囲筒内部に発生するため、被塗布体表面のコーナー部に
おいてコーティング液の放射状の流れが乱されることが
なく、均一な塗布膜を形成できる。また、内面に羽根を
設けた外囲筒を被塗布体の回転に同期して回転させるこ
とにより、被塗布体表面のコーナー部における被塗布体
と逆回転方向の回転風の発生を防止しても、被塗布体表
面のコーナー部においてコーティング液の放射状の流れ
が乱されることがなく、均一な塗布膜を形成できる。ま
た、上記回転風を外囲筒の下方に排出させることにより
コーティング液の飛散により気中に浮遊するごみや異物
を外囲筒の下方に、回転風の排出と一緒に排出させ、パ
ネル表面への付着を防止できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明について、図面を参照して説明
する。従来例と同一部分には同一参照符号を付し説明を
省略する。本発明の一実施例のスピンコーティング装置
は、図１に示すように、陰極線管１を保持して回転させ
る回転保持部２と、接線方向の４箇所に送風ダクト１０
を設けた外囲筒１１と、コーティング液滴下用のノズル
４とから構成されている。そして、パネル表面５の上方
にエアーカーテン層６を形成させるエアーカーテン用パ
イプ７と、外囲筒１１の内面に流水を流す流水用パイプ
９が配設されており、外囲筒１１の下部には排気ダクト
１２が接続されている。
する。従来例と同一部分には同一参照符号を付し説明を
省略する。本発明の一実施例のスピンコーティング装置
は、図１に示すように、陰極線管１を保持して回転させ
る回転保持部２と、接線方向の４箇所に送風ダクト１０
を設けた外囲筒１１と、コーティング液滴下用のノズル
４とから構成されている。そして、パネル表面５の上方
にエアーカーテン層６を形成させるエアーカーテン用パ
イプ７と、外囲筒１１の内面に流水を流す流水用パイプ
９が配設されており、外囲筒１１の下部には排気ダクト
１２が接続されている。
【０００９】この実施例による陰極線管のパネル表面へ
の機能性薄膜の塗布形成は下記のように実施される。す
なわち、まず、エアーカーテン用パイプ７よりフレッシ
ュエアーをパネル表面５の上方にフローして、エアーカ
ーテン層を形成させる。また、流水用パイプ９より外囲
筒１１の内面に流水を流す。さらに、外囲筒１１に設け
た送風ダクト１０からは、外部の送風機（図示せず）よ
り陰極線管１の回転と同一方向、同一速度の風が送られ
ている。この状態でノズル４より金属アルコキシドのア
ルコール溶液等のコーティング液をパネル表面５上に滴
下した後、陰極線管１を一定の回転速度で、一定の時間
回転させてパネル表面５にコーティング液が塗布され
る。このようにして、陰極線管のパネル表面に機能性薄
膜を塗布形成することにより、パネル表面のコーナー部
には陰極線管の回転と逆方向の回転風が発生しないた
め、コーティング液はパネル表面に沿って放射状に流
れ、パネル全面に均一な塗布膜が形成される。また、送
風ダクトより送り込まれたフレッシュエアーは、外囲筒
下部の排気ダクト（図示せず）から外部に排出されるた
め、塗布時飛散する塵や異物もこのフレツシュエアーと
ともに外部に排出され、巻き込みによるパネル表面への
付着は防止できる。
の機能性薄膜の塗布形成は下記のように実施される。す
なわち、まず、エアーカーテン用パイプ７よりフレッシ
ュエアーをパネル表面５の上方にフローして、エアーカ
ーテン層を形成させる。また、流水用パイプ９より外囲
筒１１の内面に流水を流す。さらに、外囲筒１１に設け
た送風ダクト１０からは、外部の送風機（図示せず）よ
り陰極線管１の回転と同一方向、同一速度の風が送られ
ている。この状態でノズル４より金属アルコキシドのア
ルコール溶液等のコーティング液をパネル表面５上に滴
下した後、陰極線管１を一定の回転速度で、一定の時間
回転させてパネル表面５にコーティング液が塗布され
る。このようにして、陰極線管のパネル表面に機能性薄
膜を塗布形成することにより、パネル表面のコーナー部
には陰極線管の回転と逆方向の回転風が発生しないた
め、コーティング液はパネル表面に沿って放射状に流
れ、パネル全面に均一な塗布膜が形成される。また、送
風ダクトより送り込まれたフレッシュエアーは、外囲筒
下部の排気ダクト（図示せず）から外部に排出されるた
め、塗布時飛散する塵や異物もこのフレツシュエアーと
ともに外部に排出され、巻き込みによるパネル表面への
付着は防止できる。
【００１０】また、本発明の第二の実施例として、図２
に示すように、第一の実施例の送風ダクトの外囲筒への
取付け位置を１８０度反転させ、外部の排風機（図示せ
ず）に接続した吸引ダクト１２を取付けた外囲筒１３を
有するスピンコーティング装置がある。この実施例にお
いても、パネル表面のコーナー部には陰極線管の回転と
逆方向の回転風は発生しないため、第一の実施例と同様
な効果が得られる。尚塗布時飛散する塵や異物も外囲筒
１３内部のエアーとともに、吸引ダクトから外部に排出
され、巻き込みによるパネル表面への付着は防止でき
る。また、本発明の第三の実施例として、図３に示すよ
うに、外囲筒１４の内面に羽根１５を設け、この外囲筒
１４を陰極線管１の回転と同一方向、同一速度で回転さ
せる構成のスピンコーティング装置がある。この実施例
においても、パネル表面のコーナー部には陰極線管の回
転と逆方向の回転風は発生しないため、第一の実施例と
同様な効果が得られる。尚、この外囲筒１４内面に設け
る羽根１５の取付けを傾斜させ、この外囲筒１４の下方
に気流が生ずるようにすれば、塗布時飛散する塵や異物
は外囲筒下部の排気ダクトから外部に排出され、巻き込
みによるパネル表面への付着は防止できる。以上、陰極
線管のパネル表面に機能性薄膜を塗布形成するスピンコ
ーティング装置について説明したが、本発明はこの例に
限定されず、被塗布体が円形でない形状のものであれ
ば、同様な効果が得られるのは言うまでもない。
に示すように、第一の実施例の送風ダクトの外囲筒への
取付け位置を１８０度反転させ、外部の排風機（図示せ
ず）に接続した吸引ダクト１２を取付けた外囲筒１３を
有するスピンコーティング装置がある。この実施例にお
いても、パネル表面のコーナー部には陰極線管の回転と
逆方向の回転風は発生しないため、第一の実施例と同様
な効果が得られる。尚塗布時飛散する塵や異物も外囲筒
１３内部のエアーとともに、吸引ダクトから外部に排出
され、巻き込みによるパネル表面への付着は防止でき
る。また、本発明の第三の実施例として、図３に示すよ
うに、外囲筒１４の内面に羽根１５を設け、この外囲筒
１４を陰極線管１の回転と同一方向、同一速度で回転さ
せる構成のスピンコーティング装置がある。この実施例
においても、パネル表面のコーナー部には陰極線管の回
転と逆方向の回転風は発生しないため、第一の実施例と
同様な効果が得られる。尚、この外囲筒１４内面に設け
る羽根１５の取付けを傾斜させ、この外囲筒１４の下方
に気流が生ずるようにすれば、塗布時飛散する塵や異物
は外囲筒下部の排気ダクトから外部に排出され、巻き込
みによるパネル表面への付着は防止できる。以上、陰極
線管のパネル表面に機能性薄膜を塗布形成するスピンコ
ーティング装置について説明したが、本発明はこの例に
限定されず、被塗布体が円形でない形状のものであれ
ば、同様な効果が得られるのは言うまでもない。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、外囲筒の接線方向に設
けた送風ダクトから被塗布体の回転に同期したフレッシ
ュエアーを吹き込むこと、または、外囲筒の接線方向に
設けた吸引ダクトにより外囲筒内部のエアーを吸引する
ことにより、被塗布体と同一方向、同一速度の回転風が
外囲筒内部に発生するため、被塗布体表面のコーナー部
においてコーティング液の放射状の流れが乱されること
がなく、均一な塗布膜を形成できる。また、内面に羽根
を設けた外囲筒を被塗布体の回転に同期して回転させる
ことにより、被塗布体表面のコーナー部における被塗布
体と逆回転方向の回転風の発生を防止しても、被塗布体
表面のコーナー部においてコーティング液の放射状の流
れが乱されることがなく、均一な塗布膜を形成できる。
また、上記回転風を外囲筒の下方に排出させることによ
りコーティング液の飛散により気中に浮遊するごみや異
物を外囲筒の下方に、回転風の排出と一緒に排出させ、
パネル表面への付着を防止できる。
けた送風ダクトから被塗布体の回転に同期したフレッシ
ュエアーを吹き込むこと、または、外囲筒の接線方向に
設けた吸引ダクトにより外囲筒内部のエアーを吸引する
ことにより、被塗布体と同一方向、同一速度の回転風が
外囲筒内部に発生するため、被塗布体表面のコーナー部
においてコーティング液の放射状の流れが乱されること
がなく、均一な塗布膜を形成できる。また、内面に羽根
を設けた外囲筒を被塗布体の回転に同期して回転させる
ことにより、被塗布体表面のコーナー部における被塗布
体と逆回転方向の回転風の発生を防止しても、被塗布体
表面のコーナー部においてコーティング液の放射状の流
れが乱されることがなく、均一な塗布膜を形成できる。
また、上記回転風を外囲筒の下方に排出させることによ
りコーティング液の飛散により気中に浮遊するごみや異
物を外囲筒の下方に、回転風の排出と一緒に排出させ、
パネル表面への付着を防止できる。
【図１】 本発明の一実施例のスピンコーティング装置
の要部斜視図
の要部斜視図
【図２】 本発明の第二の実施例のスピンコーティング
装置の要部斜視図
装置の要部斜視図
【図３】 本発明の第二の実施例のスピンコーティング
装置の要部斜視図
装置の要部斜視図
【図４】 従来のスピンコーティング装置の構成図
１ 陰極線管（被塗布体） ２ 回転保持部 ４ ノズル ５ パネル表面 １０ 送風ダクト（気流制御手段） １１，１３，１４ 外囲筒 １２ 吸引ダクト １５ 羽根
Claims (5)
- 【請求項１】外囲筒の内部に被塗布体を回転させて保持
する回転保持部と、前記被塗布体の上部に配置した塗布
液を噴出させるノズルとを具備したスピンコーティング
装置において、前記外囲筒の内部に被塗布体の回転に伴
い気流を発生させる気流制御手段を設けたことを特徴と
するスピンコーティング装置。 - 【請求項２】前記気流制御手段が被塗布体の回転と同期
した同一方向の回転風を発生させるように外囲筒に設け
た送風ダクトであることを特徴とする請求項１記載のス
ピンコーティング装置。 - 【請求項３】前記気流制御手段が被塗布体の回転と同期
した同一方向の回転風を発生させるように外囲筒に設け
た吸引ダクトであることを特徴とする請求項１記載のス
ピンコーティング装置。 - 【請求項４】前記気流制御手段が内面に羽根を設けた外
囲筒を被塗布体の回転と同期して同一方向に回転させる
構成とすることを特徴とする請求項１記載のスピンコー
ティング装置。 - 【請求項５】前記気流を前記外囲筒の下方に排出させる
ように構成したことを特徴とする請求項１記載のスピン
コーティング装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6205261A JPH0869752A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | スピンコーティング装置 |
| KR1019950025824A KR960008901A (ko) | 1994-08-30 | 1995-08-22 | 스핀 코팅 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6205261A JPH0869752A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | スピンコーティング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0869752A true JPH0869752A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16504059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6205261A Pending JPH0869752A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | スピンコーティング装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0869752A (ja) |
| KR (1) | KR960008901A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999022877A1 (de) * | 1997-10-31 | 1999-05-14 | Acr Automation In Cleanroom Gmbh | Vorrichtung zum aufbringen einer dünnen schicht auf die oberfläche eines bildschirmglaskolbens |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP6205261A patent/JPH0869752A/ja active Pending
-
1995
- 1995-08-22 KR KR1019950025824A patent/KR960008901A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999022877A1 (de) * | 1997-10-31 | 1999-05-14 | Acr Automation In Cleanroom Gmbh | Vorrichtung zum aufbringen einer dünnen schicht auf die oberfläche eines bildschirmglaskolbens |
| US6494952B1 (en) | 1997-10-31 | 2002-12-17 | Acr Automation In Cleanroom Gmbh | Device for applying a thin coat on the surface of a screen of a cathode-ray tube |
| CN1106231C (zh) * | 1997-10-31 | 2003-04-23 | Acr洁净室自动控制技术有限公司 | 用于在显示屏玻璃泡体表面涂覆薄层的装置 |
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| KR960008901A (ko) | 1996-03-22 |
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