JPH08653U

JPH08653U - 石英管のシール装置

Info

Publication number: JPH08653U
Application number: JP7072893U
Authority: JP
Inventors: 光明小美野
Original assignee: 東京エレクトロン東北株式会社
Priority date: 1993-12-28
Filing date: 1993-12-28
Publication date: 1996-04-16

Abstract

(57)【要約】【目的】壊れやすい石英製の鍔の破損事故を防止すると
共にシール力の調整を図る。【構成】石英管１０の鍔１２を挟持する上下のマニホル
ド１３、１４と；該石英管の鍔のシール面と当接するマ
ニホルドのシール面と；該両シール面の少なくとも一方
に形成され、かつ、後記弾性リング１７の自然状態にお
ける厚さｄより深くＤ形成されたリング溝１６と；該リ
ング溝に嵌着され、かつ、給排口を備えた管状の弾性リ
ング１７と；該弾性リングの給排口に連通する給排装置
と；を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体製造に用いるＣＶＤやエピタキシャル成長装置などの石英管のシール装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、石英管をマニホルドにより縦長に配設する縦型炉が使用されているが、この炉には、石英管内の反応ガスが外部に漏れないようにシール装置が設けられている。従来のシール装置は、図４に示すように、石英管１のリング状鍔２を、上マニホルド３と下マニホルド４で挟持し、該下マニホルド４のリング溝５に嵌着したＯリング６で、該鍔の下面を押圧するものである。なお、７は、石英管１の開口部を開閉するキャップ、８は、下マニホルド４とキャップ７との間をシールするシールリングである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来例の石英管のシール装置は、鍔２を設けているので、シールし易いがその半面、鍔が石英製なので張力に対して極めて弱い。その為、下マニホルド４の上面に突出するＯリング６を鍔２で押しつぶす際、鍔２が傾いたりして、鍔２に大きな曲モーメントが加わると破損する恐れがある。また、石英管は手作業で製造されるので、鍔の下面は、機械加工のように平坦となりにくい。そのため、Ｏリングを押しつぶす際、局部的に張力が加わるので鍔は益々壊れやすくなる。

【０００４】また、Ｏリング６の押圧力、即ち、シール力を加減できないので、石英管の圧力を増減しながら、ウエハ処理を行う場合には、石英管内の圧力に応じてシール力を加減することは不可能である。従って、シール力が強すぎたり、または、弱すぎたりすることがあるので、常に、適切なシール力を維持することができない。

【０００５】この考案は、上記事情に鑑み、壊れやすい石英製の鍔の破損事故を防止すると共にシール力の調整を図ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

この考案は、石英管の鍔を挟持する上下のマニホルドと；該石英管の鍔のシール面と当接するマニホルドのシール面と；該両シール面の少なくとも一方に形成され、かつ、後記弾性リングの自然状態における厚さより深く形成された環状リング溝と；該リング溝に嵌着され、かつ、給排口を備えた管状の弾性リングと；該弾性リングの給排口に連通する給排装置と；を備えたことを特徴とする石英管のシール装置、により前記目的を達成しようとするものである。

【０００７】

【作用】

下マニホルドのリング溝内に管状の弾性リングを嵌着し、該リングが下マニホルドの上面に突出し石英管の鍔に当接しないように流体室の空気を抜き自然状態にした後、石英管の石英製鍔を、上マニホルドと下マニホルドで挟持し固定する。次に、流体給排気口から空気を流体室に供給して弾性リングを膨らませると、該弾性リングは鍔の下面に圧接されるのでシール状態となる。流体室への空気供給量は、給排装置により適宜コントロールされる。

【０００８】

【実施例】

この考案の一実施例を添付図面により説明するが、同一図面符号は、その名称も機能も同一である。ＣＶＤの石英管１０は、開口部１１を下方にして縦長に配置され、この開口部１１の外周縁には、リング状の鍔１２が形成されている。鍔１２は、上マニホルド１３と下マニホルド１４により挟持されているが、このマニホルド１３、１４は、図示しない組立ボルトにより固定されている。

【０００９】下マニホルド１４には、鍔１２の下面（シール面）１２ａに対向するリング溝１６が形成され、また、このリング溝１６は切欠部１５と連通している。この溝１６には、流体室１７ａを備えた管状の弾性リング１７が嵌着されているが、このリング１７の流体室１７ａには、流体給排気口１８が設けられ、この給排口１８は、切欠部１５に嵌着したパイプ（流体給排気管）１９に接続されている。リング溝１６は、弾性リング１７の自然状態における厚さｄ以上の深さＤに形成されている。２０は、キャップ、２１は、下マニホルド１４とキャップ２０との間をシールするためのシールリングである。

【００１０】次に、この実施例の作動につき説明すると、図示しない給排装置を駆動し、パイプ１９を介して流体室１７ａ内の流体、例えば、空気を抜き弾性リングを萎ませた後リング溝１６に該リング１７を嵌着する。この下マニホルド１４の上面に石英管１０の鍔１２を乗せ、その上を上マニホルド１３で押え付けると共にマニホルド１３、１４を組立ボルトで螺着し、図２の状態にする。この時、リング１７は、鍔の下面（シール面）１２ａから完全に離れているので、鍔１２に大きな曲げモーメントがかかることはない。

【００１１】次に、開口部１１にキャップ２０をかぶせ石英管１０を閉じると共に、前記給排気装置により流体室１７ａに空気を供給して弾性リング１７を膨らませながら鍔１２の下面（シール面）１２ａに該弾性リング１７を押圧し図１の状態にしてシールする。この時、鍔１２は、マニホルド１３、１４により固定されているので、弾性リング１７の押圧力を受けても、破損することが無い。

【００１２】この押圧力の強さ、即ち、シール力の強さは流体室１７ａに供給する空気量により調整するが、シールに必要な強さであれば足りるので、石英管１０内の圧力に対応させながらその強さを調整する。

【００１３】この考案は、上記実施例に限定されるものではなく、例えば、縦型炉の代わりに、石英管を横長に配設した横型炉に用いても良いことは勿論である。

【００１４】

【考案の効果】

この考案は、以上の様に構成したので、次の如き顕著な効果を奏する。（１）石英管の鍔のシール面と当接するマニホルドのシール面と、該両シール面の少なくとも一方に形成され、かつ、弾性リングの自然状態における厚さより深く形成されたリング溝とを設けたので、弾性リングを自然状態で該リング溝に挿入した後、シール部のシール面を互いに当接せしめてセットすると、該弾性リングはシール面に接触しないため、該セット時においてシール面に無理な力を与えることはない。その後、給排装置を用いて弾性リングに流体を供給して膨らませると、該弾性リングはシール面を押圧するので、シール状態となる。従って、従来例と異なり、石英製の鍔に過大な曲げモーメント等が加わらないので、該鍔の破損事故の発生を防止することができる。

【００１５】（２）給排装置を用いて弾性リングの膨らませ具合を調整し、シール圧力を調整できるので、容器内の圧力に見合った最適なシール力を維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例を示す縦断面図の要部を示す
図である。

【図２】図１の他の状態を示す図である。

【図３】弾性リングの斜視図である。

【図４】従来例を示す平面図の一部断面図である。

【符号の説明】

１０石英管１２鍔１３上マニホルド１４下マニホルド１６リング溝１７弾性リング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｂ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】石英管の鍔を挟持する上下のマニホルド
と；該石英管の鍔のシール面と当接するマニホルドのシ
ール面と；該両シール面の少なくとも一方に形成され、
かつ、後記弾性リングの自然状態における厚さより深く
形成されたリング溝と；該リング溝に嵌着され、かつ、
給排口を備えた管状の弾性リングと；該弾性リングの給
排口に連通する給排装置と；を備えたことを特徴とする
石英管のシール装置。