JPH0860345A - 基板を被覆するための被覆装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を電気的に絶縁性の層で被覆する場合で
も、被覆装置に配置された電位面が、可能な限り長期間
にわたって機能するような被覆装置を提供する。 【解決手段】 電位面（５）に沈積された金属酸化物が
導電性となるような温度にまで電位面を加熱するための
手段が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非導電性の金属酸
化物で基板を被覆するための被覆装置であって、蒸着室
内にプラズマを発生させるために電位面を有している形
式のものに関する。

【０００２】

【従来の技術】このような形式の被覆装置は、ドイツ連
邦共和国特許第３６２７１５１号明細書の記載により公
知である。この場合、グロー放電を発生させるために設
けられた電極は、基板と、蒸着させたい材料を備えたる
つぼとの間で、遮蔽開口の背後に配置されている。電極
の外縁部には、電極の過加熱を阻止するための冷却通路
が延びている。上記ドイツ連邦共和国特許第３６２７１
５１号明細書の記載によれば、電極を蒸気流の外側に配
置していて、これにより電極を少なくとも直接的には蒸
気流に衝突させないことによって、電極の望ましくない
被覆を回避しようとしている。

【０００３】しかし実際には、被覆装置では被覆室に配
置された部材全てと被覆室壁とが、比較的迅速に被覆材
料で被覆されてしまうことが明らかになっている。被覆
装置の各構成部分が低い温度を有している場合には、被
覆材料によるこの構成部分の望ましくない被覆が、極め
て迅速に行われる。なぜならば、この場合凝縮効果が生
ぜしめられるからである。従って上記ドイツ連邦共和国
特許第３６２７１５１号明細書に開示された電極の冷却
により、被覆体の形成は促進されてしまう。このこと
は、被覆材料が電気的に絶縁性の場合、即ち例えば被覆
材料が金属酸化物である場合には特に不都合である。こ
の場合、電位面の作用は、絶縁性の被覆体によって極め
て迅速に失われてしまう。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の被覆装置を改良して、基板を電気的に絶
縁性の層で被覆する場合でも、被覆装置に配置された電
位面が、可能な限り長期間にわたって機能性を維持する
ような被覆装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、電位面に沈積された金属酸化物が
導電性となるような温度にまで電位面を加熱するための
手段が設けられているようにした。

【０００６】

【発明の効果】本発明による被覆装置では、電位面を蒸
気流中の任意の位置に配置することができるので、電位
面は蒸気流と激しく接触する。公知先行技術とは異な
り、本発明の思想は、電位面の被覆を阻止しようとする
ものでははなく、むしろ、電位面の加熱によって、電位
面に沈積された層がもはや妨害因子とならないようにす
ることにある。しかし実際には電位面が１０００〜１５
００℃の温度を有しているので、凝縮によって沈積され
る被覆材料の割合は冷却された電位面に比べて著しく減
少するので、結果的には、望ましくない被覆自体も低減
される。

【０００７】電位面は、種々異なる形式で所要の温度に
もたらすことができる。本発明の簡単な有利な構成で
は、電位面の背後に電気的なヒータが配置されている。

【０００８】別の有利な構成では、電位面を、加熱電流
によって通電されるコイルとして形成することも可能で
ある。

【０００９】被覆材料を蒸着させるために被覆装置で電
子ビームが使用される場合には、電位面の加熱を、電子
ビームによって極めて簡単に行うことができる。

【００１０】電子ビームによって加熱する場合には、２
次電子ビームが使用されるか、又は電位面を加熱するた
めに、蒸着させたい被覆材料から電子ビームを周期的に
電位面に向ける装置が設けられていると、特に有利であ
る。

【００１１】電位面が、被覆材料を蒸着させるために被
覆材料に向けられた電子ビームの反射範囲に配置されて
いると、電位面を加熱するための手間は、特にわずかと
なる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面につき詳しく説明する。

【００１３】図１には排気鐘１が概略的に図示されてお
り、この排気鐘１には、被覆したい基板２が配置されて
いる。このために必要な被覆材料はるつぼ３に配置され
ており、このるつぼ３は、図１に示した実施例の場合で
は誘導型のヒータ４によって取り囲まれている。るつぼ
３内の被覆材料は、例えば金属酸化物である。しかし、
純粋な金属を蒸発させて排気鐘１内に酸素を導入し、そ
の場で初めて金属酸化物を生成することもできる。

【００１４】るつぼ３の上方には電位面５が配置されて
おり、電位面５は、排気鐘１とるつぼ３とは異なり、正
の電位に接続されている。この電位は、排気鐘１内にプ
ラズマ雲６を形成するような強さを有している。電位面
５に沈積された層が非導電性となることを阻止するため
には、電位面５の背後に電気的なヒータ７が配置されて
いる。このヒータ７は電位面５を例えば１５００℃にま
で加熱する。このような温度において、酸化アルミニウ
ム、及び被覆材料として適当なその他の金属酸化物は導
電性となる。

【００１５】電位面５は、熱流が排気鐘１に向かって放
出しないようにするために、排気鐘１に対して断熱され
て配置されていなければならない（図示せず）。

【００１６】図２に図示されているように、電位面５
は、２次電子ビーム８によっても加熱することができ
る。このことは、るつぼ３内の被覆材料の蒸着自体が、
電子ビーム銃（図示せず）を用いて電子ビーム９によっ
て行われる場合に、特に有利である。

【００１７】２次電子ビーム８を使用する代わりに、電
子ビーム９を周期的にるつぼ３から離れる方向で旋回さ
せて電位面５に短時間、向けることも可能である。しか
し、電子ビーム９のエネルギの一部がるつぼ３内の被覆
材料から電位面５に向けて反射されるように、電位面５
を配置することも可能である。

【００１８】図３に図示された電位面５は、コイルとし
て形成されている。このコイルは、このコイルを通電す
る電流によって加熱される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による被覆装置の第１実施例の概略図で
ある。

【図２】本発明による被覆装置の第２実施例の概略図で
ある。

【図３】本発明による電位面の別の実施例である。

【符号の説明】

１ 排気鐘、 ２ 基板、 ３ るつぼ、 ４ ヒー
タ、 ５ 電位面、 ７プラズマ雲、 ７ ヒータ、
８ ２次電子ビーム、 ９ 電子ビーム

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非導電性の金属酸化物で基板を被覆する
   ための被覆装置であって、蒸着室内にプラズマを発生さ
   せるために電位面を有している形式のものにおいて、前
   記電位面（５）に沈積された金属酸化物が導電性となる
   ような温度にまで前記電位面（５）を加熱するための手
   段が設けられていることを特徴とする、基板を被覆する
   ための被覆装置。
2. 【請求項２】 前記電位面（５）の背後に電気的なヒー
   タ（４）が配置されている、請求項１記載の被覆装置。
3. 【請求項３】 前記電位面（５）が、加熱電流によって
   通電されるコイルとして形成されている、請求項１記載
   の被覆装置。
4. 【請求項４】 被覆材料を蒸着させるために電子ビーム
   （９）が使用されており、該電子ビーム（９）によって
   前記電位面（５）の加熱が行われる、請求項１記載の被
   覆装置。
5. 【請求項５】 前記電位面（５）を加熱するために２次
   電子ビーム（８）が使用される、請求項４記載の被覆装
   置。
6. 【請求項６】 前記電位面（５）を加熱するために、蒸
   着させたい被覆材料から電子ビーム（９）を周期的に前
   記電位面（５）に向ける装置が設けられている、請求項
   ４記載の被覆装置。
7. 【請求項７】 前記電位面（５）が、被覆材料を蒸着さ
   せるために被覆材料に向けられた電子ビーム（９）の反
   射範囲に配置されている、請求項４記載の被覆装置。