JPH08504371A - 低減粘度スラリー、それから作製される研磨用品、および該用品の製造方法 - Google Patents

低減粘度スラリー、それから作製される研磨用品、および該用品の製造方法

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JPH08504371A JP6514125A JP51412594A JPH08504371A JP H08504371 A JPH08504371 A JP H08504371A JP 6514125 A JP6514125 A JP 6514125A JP 51412594 A JP51412594 A JP 51412594A JP H08504371 A JPH08504371 A JP H08504371A
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Abstract

(57)【要約】 研磨用品の製造に適したスラリーおよびバインダー前駆体を提供する。スラリーは、好ましくは付加重合性樹脂である重合性樹脂、研磨粒子、および調整粒子からなり、該調整粒子は、スラリーの粘度を下げるために十分な量で含まれる。従来技術のスラリーは、充填剤および/または研磨粒子が容器の底に沈むため、放置後に塗装性にすることが難しいことがある。スラリーおよび分散体の硬化したものを加えた研磨用品を提供し、同様に、該用品の製造方法およびミネラル粒子(研磨材または充填剤)の沈降率を減少させる方法についても提供する。

Description

【発明の詳細な説明】 低減粘度スラリー、それから作製される研磨用品、および該用品の製造方法 本発明は、研磨用品の製造において有用なスラリーおよび分散体に関する。よ り詳しくは、本発明は粘度調整粒子を有するスラリーおよび分散体に関する。 3つの一般的な研磨用品は塗装研磨材、結合研磨材、および不織布研磨材であ る。塗装研磨材は、バインダーによって研磨材粒子が上に付着した裏地からなる 。裏地は、例えば紙、クロス、フィルム、加硫繊維等から選択してもよく、これ らの材料の1以上の組み合わせ、またはそれらを処理したものであってもよい。 研磨粒子は、典型的にはフリント、ガーネット、酸化アルミニウム、アルミナジ ルコニア、セラミック酸化アルミニウム、ダイアモンド、シリコンカーバイド、 立方晶ホウ素、窒化物等から選ばれる。結合研磨材においては、スラリーは樹脂 と研磨粒子とから調製される。スラリーを金型に置いて、樹脂を典型的には熱と 圧力を用いて硬化し、研磨粒子を共に置いて3次元の物体を形成する。結合研磨 材の例には、研削ホイール、ホーニングスティック、ドレッサースティック、お よびシャープニングスティック等が挙げられる。不織布研磨材は、バインダーに よって接触した点で互いに結合した繊維の粗目、かさ高、3次元ウェブからなり 、研磨粒子を含んでいても、含んでいなくてもよい。結合および塗装研磨材の組 み合わせとして見る場合には、上記のスラリーを裏地に塗布し、樹脂を熱および /または付加重合によって硬化させてもよい。 上記の研磨用品を付加重合によって製造する場合には、重合を様々な方法で開 始させてよく、例えば、過酸化物の熱分解、または放射線(粒子または非粒子) 、または2つの組み合わせが挙げられ、この方法は樹脂の化学的性質に依存する 。光および熱タイプの開始剤が一般的である。粒子線による開始の場合には、重 合は典型的にはバインダーに電子ビームを照射することによって開始される。生 長反応段階における鎖キャリヤーは、イオン性であってもまたはフリーラジカル を有していてもよい。 研磨用品を製造するために用いられるバインダーは、充填剤を含んでいてもよ く、好ましくは含んでいる。充填剤は典型的には樹脂中に分散させた有機または 無機粒子であって、バインダー前駆体または硬化したバインダーの特性、または その両方を調整してもよく、これはしばしばコスト削減のために簡単に用いられ 得る。例えば、充填剤でバインダー前駆体の体積を安価に増加させて、コストを 削減してもよい。また、充填剤は、多くの場合、硬化樹脂をより硬くさせ、また は湿度の変化に対してより耐性を持たせ(例えば米国特許第2,534,805号参照) 、より耐熱性にし、および/または硬化したときの収縮を減らす。硬化中の収縮 は相当な応力の原因となり、研磨製品の早期崩壊を引き起こし得るため、後者は 重要である。ある場合には、充填剤を顔料として用いてもよい。充填剤は典型的 には小さい平均粒径を有し、研磨粒子と比較して比較的軟質で、それ自体は加工 物を有意に研磨させることはない。充填剤は一般に研磨製品で処理する加工物に 関して不活性または非反応性である。しかしながら、「反応性」充填剤は、特定 の用途において好ましいこともある。反応性充填剤は、ある場合には加工物と相 互作用をする。 充填剤を用いることはコストの削減と研磨特性の調整のために都合がよいが、 元来の樹脂、研磨粒子および充填剤の塗装性混合物は、放置した後では塗装する のが難しいことがある。これは、充填剤および/または研磨粒子が容器の底に沈 むからである。混合物を無駄にすることを避けるために、混合物を攪拌して、研 磨材および/または充填剤粒子を再分散させなければならず、これは時間を消費 し、かつ必ずしも成功するとは限らない。 本発明に従えば、スラリーおよび分散体は低減された粘度を有して在り、スラ リーまたは分散体として、数時間ではなく数日保持される。ここで用いる「スラ リー」とは、重合性樹脂、好ましくは付加重合性樹脂中に分散した研磨粒子であ って、該樹脂はまた、その中に分散した調整粒子を有し、所望により希釈剤を有 する。「付加重合性樹脂」には、重合がフリーラジカル、またはイオンによって 重合が開始および生長する樹脂が含まれる。「重合性」および「重合」樹脂は、 鎖 成長および架橋反応の両方を含むことを意味する。 「分散体」は、従来の充填剤粒子が重合性樹脂、好ましくは付加重合性樹脂中 に分散されていることを意味し、該樹脂はまたその中に分散した調整粒子および 所望により希釈剤を有する。 ここで用いる「調整粒子」は、カップリング剤を除外し、上記の重合性樹脂に 溶解しない、または反応しない粒子材料を含む。 「バインダー」は、硬化バインダーを意味し、「バインダー前駆体」は未硬化 混合物を意味する。ここで用いる「分散した」および「分布した」は、必ずしも 均一または均質混合物を意味するわけではないが、均一に分散したスラリーおよ び分散体が好ましい。 本発明のスラリーおよびバインダー前駆体分散体は、それらを裏地上に塗布す る前に長期間(3日以上)貯蔵してもよく、塗布した場合に、調整粒子を欠いた スラリーおよび分散体よりも低い粘度を有する。 従って、本発明の1つの様相は、研磨用品の製造に適したスラリーであって、 該スラリーが付加重合性樹脂、研磨粒子および調整粒子および好ましくは反応性 希釈剤を含むことを特徴とする。調整粒子は、同じスラリーの粘度を下げるため に十分な量で含まれ、好ましくは約10%以上、より好ましくは約30%以上である 。(粘度試験は、試験方法および実施例の部分に記載されている。) 「基本的に構成される」とは、本発明のスラリーおよび分散体を同じ温度にお いて粘度増加させるか、またはゲル化させる原因となる材料のみを本発明のスラ リーおよび分散体が除外することを意味する。本発明の特有の趣旨では、これは 本発明のバインダー前駆体が5重量%より少ない、より好ましくは1重量%より 少ない水を含み、最も好ましくは水を含まないことを意味する。これは水が水素 結合を導くためである。本発明のバインダー前駆体はまた、水素結合、ファンデ ルワース力、またφ結合の重複に寄与し得るその他の材料を、好ましくは5重量 %未満、より好ましくは1重量%未満含み、最も好ましくは全く含まない。従っ て、実施例において示すように、調整粒子は樹脂(例えばレゾールフェノール樹 脂等)の水性溶液の粘度を下げない。これは、粘度の増加に対応して、水素結合 の度合いが実際には増加するためである。 「同じ」スラリーおよび分散体とは、調整粒子が、該調整粒子を欠いた同一の スラリーまたは分散体に加えられることを意味するが、ただし調整粒子は幾つか の研磨粒子に置き換わって、一定の体積添加を維持している。 本発明の内容において、「研磨用品の製造に適した」とは、塗装、結合および 不織布研磨材において、本発明のスラリーおよび分散体が、前攪拌または連続攪 拌をしなくても、裏地上または金型中に塗布され、噴霧され、または注がれ得る ような粘度を有することを意味する。 本発明のこの様相に従った好ましいスラリーは、反応性希釈剤および光重合開 始剤を含むものであって、付加重合性樹脂が使用されるものである。付加重合性 樹脂の1つの好ましいタイプは、アクリル化イソシアヌレートモノマーおよび/ またはオリゴマーである。ここで用いる「樹脂」には、モノマーおよびオリゴマ ーが含まれ、「オリゴマー」は一般的に認知されている意味を有し、即ち2〜5 の同一モノマー構成単位からなる材料である。もうひとつの一般に認知されてい る定義は、オリゴマーが、付加、または1または数個の繰り返し構成単位を除去 することによってその特性が変化したポリマーであるというものである。真のポ リマーの特性は、このような調整によってはあまり変化しない。 本発明のスラリーはまた、従来の充填剤粒子、例えば炭酸カルシウムを含んで いてもよいが、その場合には、充填剤粒子は樹脂に対して混和性であったほうが よく、約1.5〜約4.5の範囲の比重、および約1μm〜約100μm、好ましくは約5 μm〜約50μm、より好ましくは約10μm〜約25μmの粒径を有する。充填剤粒子は 、好ましくは研磨粒子の平均粒径よりも小さい平均粒径を有する。 研磨用品の製造に適したバインダー前駆体分散体は、重合性樹脂、好ましくは 付加重合性樹脂、充填剤粒子、および調整粒子、および好ましくは反応性希釈剤 に特徴がある。本発明のスラリーに関しては、調整粒子は同じバインダー前駆体 分散体の粘度を下げるために十分な量で用いられ、好ましくは約10%以上、より 適当には約30%以上である。 本発明のその他の様相は、裏地およびその上の研磨材塗装を有するタイプの塗 装研磨材である。本発明のこの様相において、研磨材塗装は、(乾燥重量で)約 20〜約95重量%の重合樹脂、約30〜約70重量%の研磨粒子、および約0.01〜約30 重量%の調整粒子を含むことを特徴とする。結合および不織布研磨材もまた本発 明の様相で、本発明の結合研磨材は本発明のスラリー由来であり、本発明の不織 布研磨材のバインダーは本発明のスラリーまたは本発明の分散体由来である。 本発明の範囲内である塗装研磨材の製造方法は、以下の段階からなる: (a)基本的に重合性樹脂、研磨粒子および調整粒子からなるスラリーであっ て、該調整粒子が同じスラリーの粘度を下げるために十分な量で含まれるスラリ ーを裏地に塗布し;次いで (b)段階(a)で塗装した裏地を、重合性樹脂が硬化するために十分な条件に さらす。 それらの方法においては、重合性樹脂が、付加重合性樹脂、例えばアクリル化 イソシアヌレートオリゴマーまたはモノマー、より好ましくはトリメチロールプ ロパンに溶解したトリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレ ートであることが好ましい。 本発明の範囲内である塗装研磨材のその他の製造方法は以下の段階からなる: (a)第1および第2面を有する裏地の第1面に、基本的に重合性樹脂、研磨粒 子および調整粒子からなるスラリーであって、該調整粒子が同じスラリーの粘度 を下げるために十分な量、好ましくは約10%以上含まれるスラリーを塗布し; (b)第3面を第1面を塗装したスラリーと接触させ、第1および第3面の少な くとも1つが予め決められた型模様を有するようにして; (c)スラリーを重合性樹脂が硬化するために十分な条件に暴露して;次いで (d)第1または第3面の1つを除去して塗装研磨材を形成する。 1つの好ましい方法は、第1および第2面を有する裏地の第1面を本発明のス ラリーで塗装し、スラリーを塗装した裏地の第1面をその後、型押した第3面と 接触させ、該スラリーを重合性樹脂を硬化させるために十分な条件に暴露(好ま しくは紫外線放射)し、次いで型押し面から除去した研磨材面含有裏地にして、 塗装研磨材を生産する。また、第1に型押した面をスラリーで塗装し、裏地材料 をスラリーを塗装した型押し面の上に置いて、スラリーを重合性樹脂が硬化する ために十分な条件に暴露(好ましくは紫外線放射)し、次いで研磨材面含有裏地 を型押した面から除去して、塗装研磨材を生産してもよい。 既に述べたように、調整粒子を用いることのその他の長所は、重力によってス ラリーおよび分散体からミネラル粒子(研磨粒子と充填剤粒子の両方を含む)が 分離することを劇的に減少させることである。既に周知のスラリーおよび分散体 は、攪拌を止めた後直ぐに、より大きいミネラル粒子が混合容器の底に沈み始め 、そこで圧縮される。典型的には、数時間内に大半のミネラルが容器の底に圧縮 され、樹脂は上部へと分離する。この圧縮されたミネラルは、スラリーまたは分 散体を用いる前に(大変に困難であるかもしれないが)、再分散させなければな らない。調整粒子をスラリーおよび分散体に加えた場合には、ミネラル粒子の沈 降率は大きく減少し、約2〜5日間、好ましくは3日間以上、容器の底にミネラ ル粒子の圧縮がほんの僅かしかできない、または全くない本発明のスラリーまた は分散体が生産される。このことは、本発明のスラリーおよび分散体を塗布する ために常に攪拌する必要性を排除する。ミネラル粒子の沈降を防ぐために必要な 調整粒子の量は、好ましくは0.5乾燥重量%程度の少量であるが、典型的には約0 .5〜約5乾燥重量%である。調整粒子 調整粒子は、従来の(即ち、既に周知の)バインダー前駆体に加えられ、バイ ンダー前駆体の粘度を低下させ、研磨材および/または充填剤粒子がバインダー 前駆体中で沈降する率を減少させる効果を有する。本発明において有用な調整粒 子は、典型的には小さい粒径を有する無機粒子材料である。一般に、無機粒子物 質、例えば小さい粒径を有する従来の充填剤をバインダー前駆体組成物に加える ことは、当該技術分野においては避けられてきた。例えば、米国特許第4,871,37 6号は、2μmより小さい充填剤粒子を塗装研磨バインダー前駆体において避ける ことを主張している。これは、そのような小さい粒子が塗装操作中に適性に流れ る、直ぐに塗装し得るバインダー前駆体を製造しないためである。 驚くべきことに、その平均粒径が研磨材または充填剤粒子の平均粒径よりも好 ましくは小さい調整粒子を加えることが、スラリーおよびバインダー前駆体分散 体の粘度を下げ、長時間、攪拌しなくても、研磨材および充填剤粒子を懸濁液中 に保持するように働くことが見いだされた。 好ましくは、調整粒子の平均粒径は約100ミリマイクロメーターより小さく、 より好ましくは約50ミリマイクロメーターより小さい。個々の調整粒子は、バイ ンダー前駆体中の研磨材および/または充填剤粒子の平均粒径に応じて、約1ミ リマイクロメーター〜約100ミリマイクロメーター、好ましくは約10ミリマイク ロメーター〜約25ミリマイクロメーターの粒径の範囲にあってよい。 有用な調整粒子の表面積は、約300m2/gより小さく、より好ましくは約200m2 /gより小さく、特に好ましくは約150m2/gより小さく、最も好ましくは約100 m2/gより小さい。本発明において有用な調整粒子の小さい表面積は、重要であ る。表面積が大きすぎる(約300m2/gより大きい)場合には、調整粒子はチキ ソトロープ剤として機能し、時にはスラリーおよびバインダー前駆体分散体の粘 度を所望のレベルを超えて増加させる。事実、水素結合の存在が多すぎるという ことで理論付けされる。 好ましい調整粒子は、シリカ粒子であって、例えばデグッサ社(Degussa Corp .)(ニュージャージー州、リッジフィールド・パーク(Ridgefield Park))よ り「OX-50」、「R-812」および「P-820」の商品名で市販されているものが挙げ られる。第1のものは、平均粒径40ミリマイクロメーター、表面積50m2/gを有 する非晶質のシリカであって、第2のものは、平均粒径7ミリマイクロメーター 、表面積260m2/gを有する疎水性ヒュームドシリカであって、第3のものは、 平均粒径15ミリマイクロメーター、表面積100m2/gを有する沈降シリカである 。 非晶質シリカ粒子を用いる場合には、好ましくは90%以上の純度、より好まし くは95%以上の純度、および最も好ましくは99%以上の純度のものである。主な 不純物は、主としてその他の金属酸化物、例えば酸化アルミニウム、酸化鉄およ び二酸化チタンである。非晶質シリカ粒子は、形が球になる傾向があって、2.1 〜2.5g/m2の密度を有する。 調整粒子は、好ましくはスラリーおよびバインダー前駆体分散体中に、約0.01 乾燥重量%〜約30乾燥重量%、より好ましくは約0.05乾燥重量%〜約10乾燥重量 %、最も好ましくは約0.5乾燥重量%〜約5乾燥重量%含まれる。 調整粒子は、本発明のバインダー前駆体中には不溶であるが、スラリーまたは 分散体に懸濁される。それは大半の充填剤および研磨粒子が水またはその他のヒ ドロキシル基の源を有して、それらの表面に付着するためであると理論付けされ る。ヒドロキシル基の存在は、調整粒子と充填剤または研磨材粒子との間の水素 結合を生み、この水素はより大きな粒径の研磨材および充填剤粒子を樹脂中に懸 濁して保持する原因となると考えられる。もし調整粒子とミネラル粒子との間の 水素結合がない場合には、ミネラル粒子はスラリーまたは分散体中に沈降するで あろうと理論付けされる。スラリーまたは分散体の樹脂が有意な水素結合をし得 る場合には、水素結合が多く存在し過ぎて、粘度を増加させてしまうと理論付け される。 また、小さい粒径の調整粒子の添加は、本発明のスラリーにおける研磨粒子、 および本発明の分散体における充填剤粒子の粒径分布を変えることが理論付けさ れる。典型的には、スラリーおよび分散体中の充填剤における研磨粒子の粒径分 布は、非対称または不規則である。調整粒子の添加は、この分布をより「普通」 、またはガシアン(Guassian)にし、そしてこのよりガシアンな粒径分布は、ス ラリーおよびバインダー前駆体の粘度を低減させることが理論付けされる。付加重合性樹脂の添加 本発明のバインダー前駆体中で用いるために好ましい、典型的および好ましい 付加重合性樹脂の例は、以下のものを含む:エチレン不飽和のポリマー、オリゴ マーおよびモノマー、例えばスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエンおよ び不飽和カルボニル側基を有するアミノプラスト樹脂等(1分子または1オリゴ マーあたり、1.1以上のα,β-不飽和カルボニル側基を有するものを含み、米国 特許第4,903,440号にも記載されており、この内容を本明細書の一部とする); アクリル化樹脂、例えば1以上のアクリレート側基を有するイソシアヌレート樹 脂(例えばトリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレート) 、アクリル化ウレタン樹脂、アクリル化エポキシ樹脂、および1以上のアクリレ ート側基を有するイソシアネート誘導体。上記の樹脂の混合物を使用してもよい と理解される。「アクリル化」とは、モノアクリル化、モノメタアクリル化、多 アクリル化、および多メタクリル化モノマー、オリゴマーおよびポリマーを含む ことを意味する。 室温において固体であるモノマーを、適当な溶剤に溶解させるならば、用いて もよいことは、注目すべきことである。これは、トリス(ヒドロキシエチル)イ ソシアヌレート(TATHEIC)(室温で固体である特に好ましい樹脂の一つ)の場 合である。このモノマーが用いられる場合には、粘度の減少が得られる「重合性 樹脂」は、モノマーと反応性であっても反応性でなくてもよいが、好ましくはモ ノマーと反応性である溶剤を含む(従って、その他のモノマーとの考えられる) 。室温で固体であるアクリル化モノマー用に好ましい溶剤は、トリメチロールプ ロパントリアクリレート(TMPTA)である。しかしながら、重合性樹脂が既に室 温(即ち、約25℃)で液体である場合には、これらのような溶剤は、より正しく は反応性希釈剤と呼ばれる。TATHEICを用いる場合には、TATHEIC/TMPTAの組み 合わせが、本発明のスラリーおよび分散体中の重合性樹脂として考えられる。TA THEIC/TMPTAの重量比は、約1:2〜約2:1、より好ましくは約1:1.7〜約1 .7:1、最も好ましくは1:1である。 アクリル化イソシアヌレートオリゴマー樹脂は、現在好ましい付加重合性樹脂 である。本発明において有用なイソシアヌレート樹脂には、1以上のアクリレー ト側基を有するものが挙げられ、これは米国特許第4,652,275号に記載されてお り、この内容を本明細書の一部とする。既に述べたように、特に好ましいイソシ アヌレート材料のひとつは、TMPTAに溶解させたTATHEICである。 アクリル化ウレタンオリゴマー樹脂は、ヒドロキシ末端、イソシアネート延長 ポリエステルまたはポリエーテルポリオールを、低分子量(約500より少ない) アクリル酸樹脂(例えば2-ヒドロキシエチルアクリレート)でエステル化したア クリル酸エステルであることが好ましい。好ましいアクリル化ウレタンオリゴマ ー樹脂の数平均分子量は、約300〜約10,000の範囲、より好ましくは約400〜約7, 000の範囲である。 アクリル化エポキシオリゴマー樹脂は、エポキシ樹脂のアクリル化エステル類 、例えばビスフェノールAエポキシ樹脂のジアクリレートエステル類である。市 販のアクリル化エポキシオリゴマー樹脂には、「CMD3500」、「CMD3600」および 「CMD3700」の商品名で知られているもの(全てラドキュア・スペシャルティー ズ(Radcure Specialties)製)が挙げられる。 非放射線硬化性ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、および重合イソシアネート類を 、本発明のスラリーおよび分散体中で重合性樹脂として機能させてもよい。本発 明において有用なウレタン樹脂には、米国特許第4,933,373号に開示されている ものが含まれ、この内容を本明細書の一部とする。これは、短鎖活性水素機能モ ノマー、例えばトリメチロールプロパンモノアリルエーテル、エタノールアミン 等;長鎖活性水素機能ジエンプレポリマー、例えばヒドロキシ末端ポリブタジエ ン(アトケム(Atochem Inc.)社より「ポリブド(Polybd)R-45HT」の商品名で 市販);ポリイソシアネート、および架橋開始剤の反応生成物である。適当な架 橋開始剤は、有機過酸化物、例えばベンゾイルペルオキシド、およびこれに類似 のものである。ウレタン触媒を用いてもよいが、必須ではなく、これについては 例えば米国特許第4,202,957号に記載されている。 エポキシ樹脂は、オキシラン(エポキシド)環を有し、環の開裂によって重合 される。エチレン不飽和結合を欠いたエポキシ樹脂は、光重合開始剤を用いるこ とを必要とする。これらの樹脂は、それらの主鎖および置換基の性質によって大 きく変わり得る。例えば、主鎖は普通にエポキシ樹脂と会合したものであってよ く、その上の置換基は、室温でオキシラン環と反応する(または反応を起こし得 る)活性水素原子を含まないどんな基であってもよい。適当な置換基の代表的な 例には、ハロゲン類、エステル基、エーテル基、スルホネート基、シロキサン基 、ニトロ基およびホスフェート基が挙げられる。エチレン不飽和基を欠いた好ま しいエポキシ樹脂の例には、2,2-ビス(4-(2,3-エポキシプロポキシ)-フェニ ル)プロパン(ビスフェノールAのジグリシジルエーテル)およびシェル化学社 (Shell Chemical Co.)より「エポン(Epon)828」、「エポン1004」および「 エポン1001F」の商品名で市販の材料が挙げられる。 希釈剤もまた、本発明のスラリーおよび分散体において用いてもよい。ここで 用いる「希釈剤」とは、低分子量(500より少ない)有機材料であって、それら を加えるバインダー前駆体の粘度を減少させても、減少させなくともよい材料を 意味する。希釈剤は、樹脂と反応性であっても、不活性であってもよい。 低分子量アクリレートは、反応性希釈剤の好ましいタイプのひとつである。本 発明において用いるために好ましいアクリレート反応性希釈剤は、典型的には約 100〜約500の範囲の分子量を有し、エチレングリコールジアクリレート、エチレ ングリコールジメタクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、トリエチレ ングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートが挙げ られる。 その他の有用な反応性希釈剤には、カルボン酸のモノアリル、ポリアリル、お よびポリメタアリルエステル類およびアミド類、アクリルアミド、メチルアクリ ルアミド、N-メチルアクリルアミド、N,N-ジメチルアクリルアミド、N-ビニルピ ロリドン、およびN-ビニルピペリドンが挙げられる。 付加重合性樹脂は、既に述べたように、開始剤を必要とする。放射線または熱 に露光した時にフリーラジカルを発生する有用な開始剤の例には、有機過酸化物 、アゾ化合物、キノン類、ベンゾフェノン類、ニトロソ化合物、アクリルハロゲ ン化物、ヒドロゾン類等が挙げられる。 陽イオン光重合開始剤は、酸源を発生して、付加重合性樹脂の重合を開始させ る。陽イオン光重合開始剤は、オニウムの陽イオン、およびハロゲン含有錯体陰 イオンを有する金属またはメタロイドの塩を含み得る。その他の有用な陽イオン 光重合開始剤には、有機金属錯体陽イオンおよびハロゲン含有錯体陰イオンの金 属またはメタロイド塩を含み、これは更に米国特許第4,751,138号に記載されて いる。 未硬化樹脂は概して本発明のバインダー前駆体組成物中に、溶液またはスラリ ーの総重量の20〜95乾燥重量%存在し、好ましくは約30〜約80重量%である。硬化条件 熱硬化性樹脂、例えばフェノール樹脂およびユリア-ホルムアルデヒド樹脂は 、熱エネルギーによって硬化する。付加重合性樹脂は、光重合開始剤および/ま たは放射線エネルギー等の開始剤を必要とする。好ましくは、光重合開始剤およ び放射線エネルギーを同時に用いる。実際には付加重合率は一般に温度と共に増 加するため、これらの樹脂を熱源に同時にさらしてもよい。必要なエネルギーの 総量は、主として樹脂性接着剤の化学的性質により、第2にバインダー前駆体の 厚みおよび光学濃度による。熱エネルギー用に、オーブン温度は典型的には約50 〜約250℃、約15分〜約16時間にする。紫外線または可視光線のただ一つに露光 する一方で、熱をかけないフリーラジカル付加重合では、全てのエチレン不飽和 モノマーを完全に重合させるために、紫外線または可視エネルギーレベルを約10 0ミリジュール/cm2以上、好ましくは約100〜700ミリジュール/cm2、特に 好ましくは約400〜600ミリジュール/cm2にしたほうがよい。 紫外線は、約200〜約400nmの範囲内、好ましくは約250〜約400nmの範囲内の波 長を有する電磁線を指す。可視光線は、約400〜約800nmの範囲内、好ましくは約 400〜約550nmの範囲内の波長を有する電磁線を指す。 電子ビーム照射は、イオン化放射線の形態であって、約0.1〜約10Mradのエネ ルギーレベル、および好ましくは約1〜約10Mradのエネルギーレベル、約150〜 約300キロ電子ボルトの範囲の加速ポテンシャルで用い得る。塗装研磨材用裏地材料 裏地は、塗装研磨材の製造において裏地として従来から用いられている様々な 材料のどんなものであってもよく、例えば紙、クロス、フィルム、加硫繊維、織 布および不織布材料等、またはこれらの材料の2以上の組み合わせ、またはそれ らの加工品であってもよい。裏地の選択は、研磨用品の意図した用途次第である 。裏地の強さは、引裂耐性または用いる上でのその他の損傷に対する耐性のため に十分であったほうがよく、裏地の厚みおよび滑らかさは、意図した用途に望ま しい製品の厚みおよび滑らかさを達成させるものであったほうがよい。本発明の スラリーまたは分散体の裏地への付着は、通常の使用において、個々の研磨粒子 または研磨塗装が有意に落ちることを防ぐために十分であったほうがよい。幾つ かの用途においては、裏地が防水性であることも好ましい。裏地の厚みは、意図 した用途に望ましい強度を提供するために十分であったほうがよいが、それでも やはり、塗装研磨製品の望ましい可撓性に影響する程に厚くはないほうがよい。 裏地は、ラッピング塗装研磨材用にはポリマーフィルム、例えばポリエステルフ ィルムであって、フィルムは、材料、例えばエチレンアクリル酸コポリマーで下 塗りされており、本発明のスラリーまたは分散体および得られる研磨組成物がフ ィルムに接着することを促進することが好ましい。また、裏地が紫外線または可 視光線透過性であることも好ましい。 不織布裏地の場合には、本発明のスラリーまたは分散体を塗布する前に、裏地 の隙間を1以上の塗装で満たすことがしばしば好ましい。この目的のために用い られる塗装は、含浸剤、バックまたはプレサイズコーティングと呼ばれ、どんな 裏地の表面にどのように塗装を施すかに依存する。 裏地は、類似または非類似の裏地材料の2以上を積層することによって作製し た裏地の積層品からなっていてもよい。例えば、裏地をより剛性、より硬質の支 持体、例えば金属プレートに積層させて、硬質支持体上支持された研磨塗装を有 する塗装研磨用品を製造し得る。 研磨塗装を含まない裏地の表面は、感圧接着剤またはフックとループタイプの 付着システムを有してもよく、それによって研磨用品をバックアップパッドに固 定し得る。この目的のために適当な感圧接着剤には、ゴムベース接着剤、アクリ ル酸ベース接着剤、およびシリコンベース接着剤が挙げられる。研磨粒子 個々の研磨粒子は、研磨材技術において一般的に用いられるものから選択して もよいが、研磨粒子(粒径および組成)は、意図する研磨用品の用途により選ば れる。適当な研磨粒子の選択において、硬度、目的とする加工物との親和性、粒 径、加工物との反応性等の特徴を、熱伝導性と同様に考慮してもよい。 本発明において有用な研磨粒子は、2つの種類に分類できる。天然研磨材と人 造研磨材である。天然研磨材の例には、ダイアモンド、コランダム、エメリー、 ガーネット等が挙げられる。人造研磨材の例には、ホウ素カーバイド、立方ホウ 素窒化物、溶融アルミナ、セラミック酸化アルミニウム等が挙げられる。 本発明において有用な研磨粒子は、典型的および好ましくは約0.1μm〜約1500 μm、より好ましくは約0.1μm〜約1300μmの範囲の粒径を有する。研磨粒子は、 好ましくは約0.1μm〜約700μm、より好ましくは約1〜約150μm、特に好ましく は約1〜約80μmの範囲の平均粒径を有する。本発明において用いられる研磨粒 子は、8以上、より好ましくは9より大きいモース硬度を有する。しかしながら 、特定の用途では、より軟質の粒子が用いられる。 「研磨粒子」の用語は、個々の研磨粒子の凝集物を含む。研磨材凝集物は、多 数の研磨粒子がバインダーによって共に結合して、特定の粒子構造を有し得るよ り大きな研磨粒子を形成する場合に形成される。研磨材凝集物を形成する多数の 粒子は、1以上のタイプの研磨粒子からなっていてもよく、かつ用いられるバイ ンダーは、裏地に該凝集物を結合させるために用いられるバインダーと同じもの であっても、異なるものであってもよい。 必須ではないが、放射線を用いて硬化する場合に、研磨粒子の屈折率が用いる 特定の樹脂の屈折率に匹敵するか、または近接するならば、硬化がより速く起こ る。充填剤 一般に、充填剤は研磨材によって作用される研削面に対して実質的に不活性ま たは非反応性である無機粒子物質である。しかしながら、場合によっては活性( 即ち反応性)充填剤が用いられ、これはしばしば研磨材技術において研削助剤と 呼ばれる。これらの充填剤は、使用中に研削面と都合良く相互作用をする。特に 、研削助剤は1)研磨粒子と研磨される加工物との間の摩擦を減少させ、2)研磨 粒子が「キャッピング」すること、すなわち金属粒子が研磨粒子の上部に溶接さ れることを防ぎ、3)研磨粒子と加工物との間の界面温度を減少させ、または4) 必要研削力を減少させるのではないかと、当該技術分野において考えられている 。 研削助剤は、広く様々な異なる材料を包含し、無機または有機ベースであり得 る。本発明において有用な研削助剤の化学物質種の例には、ワックス、有機ハロ ゲン化化合物、ハロゲン化塩および金属およびそれらのアロイ等が含まれる。 研削助剤は、本発明のスラリーおよびバインダー前駆体中に、バインダー前駆 体溶液の総重量の約0.1〜約10乾燥重量%、より好ましくは約0.5〜約5.0重量% の範囲の量で用いられることが好ましい。非反応性充填剤を使用する場合には、 それら50乾燥重量%まで用いてもよい。 先に述べたように、充填剤の添加は、典型的には硬化バインダーの硬度および 靭性を増加させる。充填剤は、典型的および好ましくは、約1μm〜約100μm、 好ましくは約5〜約50μm、および最も好ましくは約10〜約25μmの範囲の平均粒 径を有する無機粒子である。更に、充填剤は好ましくは1.5〜4.50の範囲の比重 を有し、かつ充填剤の平均粒径は、研磨粒子の平均粒径よりも少ないことが好ま しい。 本発明のスラリーおよび分散体において充填剤が使用されるときには、放射線 を用いて硬化することで、充填剤の屈折率が用いる特定の樹脂の屈折率に匹敵す るか、または近接する場合に、硬化がより速く起こる。 本発明に有用な非反応性充填剤の例には、カーボネート類、シリカ類、シリケ ート類、金属スルフェート類、石コウ等が挙げられる。カップリング剤 本発明のスラリー、分散体、および用品は、更に粘度を減少させる必要がある ならば、カップリング剤を含んでもよい。このことは、例えばデワルド(DeWald )による米国特許第4,871,376号に開示されている。好ましいカップリング剤は 、2つの異なる反応性官能基(有機官能性部分および無機官能性部分)によって 操作する。塗装研磨材バインダー前駆体システム(即ち、樹脂/充填剤混合物) がカップリング剤によって調整される場合に、カップリング剤の有機官能性基は 、未硬化樹脂に、結合または付加または会合する。無機官能性部分は、分散した 無機充填剤と類似の会合を発生させると思われる。従って、カップリング剤は、 樹脂/充填剤界面における有機樹脂と無機充填剤との間の架橋として機能する。 本発明において有用であることが見いだされたカップリング剤の例は、メタク リルオキシプロピルシランであって、ユニオン・カーバイド社(Union Carbide Corporation)製「A-174」の商品名で周知のものである。その他の適当なカップ リング剤は、ジルコアルミネート類、およびチタネート類である。バインダー前駆体添加物 本発明のスラリーおよびバインダー前駆体分散体および硬化バインダーはまた 、研磨材の分野における当業者には一般的な所望による添加剤、例えば繊維、光 沢剤、湿潤剤、界面活性剤、顔料、染料、可塑剤および懸濁剤等を含んでいても よい。これらの材料の量は、バインダーの望ましい特性および製造される研磨用 品の最終的な用途に依存する。結合研磨材 結合研磨材を作製するためには、本発明のスラリーを、基本的に重合性樹脂、 研磨粒子および調整粒子からなるもので作製する。所望により、カップリング剤 をスラリー中に、スラリーを金型に注ぐ前、または注いだ後に加えてもよい。シ ランカップリング剤を用いるならば、金型の内面に金型剥離剤を塗布することは 必要ない。しかしながら、所望により、金型剥離材料をスラリーにさらされる金 型の表面上に塗布してもよく、例えば「IMSシリコンスプレーパーティング剤」N o.S-512の商品名で周知の金型剥離剤が挙げられる。また、金型はポリテトラフ ルオロエチレン等の材料からなる非膠着性面を有し得る。 該スラリーを選択した金型に注ぎ、続けて上記のような硬化条件を課する。所 望により、硬化中のシステムに圧力を付与してもよい。樹脂が一度硬化したなら ば、得られた結合研磨材を金型より取り出す。不織布研磨材 不織布研磨材は、バインダーによって接した点が互いに結合した繊維の、粗目 、かさ高、3次元ウェブからなる。このような構成物のバインダーは、本発明の スラリーまたは分散体を用いて作製され得る。不織布研磨材用品の製造方法につ いては、米国特許第2,958,293号(フーバー(Hoover))に記載されている。ラッピング研磨材およびその製造方法 型押しツールにスラリーを塗布するそれぞれの方法において、スラリーが型押 し面のくぼみまたはキャビティー中に流れるような粘度を有するならば、最も都 合がよい。従って、本発明のスラリーは、調整粒子を有さない同じスラリーより も、同じ温度で測定した場合に低い粘度を有し、極めて都合がよい。製造用ツー ルを使用する方法において、製造用ツールに剥離剤、例えばシリコン材料等を塗 布して、型押しツールからの中間用品の剥離を強化してもよい。 製造用ツールの型は本発明の研磨用品に型を与えるため、これらの方法は「構 造」研磨用品の製造において特に有用である。構造研磨用品は、バインダー中に 分布した研磨からなる組成物が、予め決められた形を有し、裏地の上に予め決め られた並びで積層される研磨用品である。塗装研磨材の追加の製造方法 本発明はまた、本発明のスラリーおよび分散体を加えた、従来の塗装研磨用品 の製造方法にも関する。 本発明のスラリーを使用する、本発明に従った方法の1つにおいて、裏地に含 浸塗装前駆体を、従来技術(例えば浸漬塗布またはロール塗布)によって、含浸 塗装前駆体を部分的に硬化(プレ硬化)した後に含浸させてもよい。含浸塗装前 駆体を部分的に硬化した後、スラリーをどんな従来技術、例えばロール塗布、ン ダイ塗布またはナイフ塗布等で塗布してもよい。その後、スラリー中の重合性樹 脂が少なくとも部分的に硬化またはゲル化するために十分な条件にさらす。 その後サイズコーティング前駆体を研磨グレインの上に上記の従来技術によっ て塗布し、次いで部分的硬化をする条件を課してもよい。 1以上のスーパーサイズコーティング前駆体を部分的に硬化したサイズコーテ ィングの上に従来技術によって塗布してもよい。各コーティングは、完全に硬化 させても、部分的に硬化させても、または塗布した後で乾燥させてもよい。最後 のコーテイング前駆体を塗布した後に、必要であれば、残りの部分的硬化または 乾燥したコーティングを完全に硬化させる。これらの方法において、所望による サイズおよびスーパーサイズコーティングは、一般的に塗装研磨材分野において 利用されているバインダー材料(例えばレゾールフェノール樹脂等)を含んでも よく、または本発明のスラリーまたはバインダー前駆体分散体を含んでもよい。 以下の実施例において製造および用いられた研磨用品は、研磨用品調製のため の一般方法に従って作製され、そして該研磨用品を以下に記載の試験方法に従っ て試験した。研磨用品調製のための一般方法 本発明のスラリーを使用する研磨用品を、譲渡人の米国特許第5,152,917号( ピーパー(Pieper)ら)に従って作製した。各ケースにおいて用いたスラリーを ピラミッド型模様を有する製造用ツール上に塗布して、スラリーがツールを満た すようにした。ピラミッドを、それらの底辺が互いに接するように置いた。ピラ ミッド底辺の幅は約530μmで、ピラミッドの高さは約530μmであった。この型は 、ピーパーらの特許の図1に図示されている。 次に、エチレンアクリル酸コポリマー下塗りを有する130μmの厚みのポリエス テルフィルムを製造用ツールに対して、ローラーを用いて加圧し、スラリーがポ リエステルフィルムの表面を湿らせるようにした。 その後、紫外線をポリエステルフィルムを通して透過させた。紫外線は、スラ リー中に含まれた放射線硬化性樹脂の重合を開始させ、それによってスラリーは 研磨組成物中に移動し、研磨組成物はポリエステルフィルム裏地に付着した。用 いた紫外線源は、「アエテック(Aetek)H」の商品名で周知の2バルブであっ て、これを762ワット/cmのバルブ幅で操作した。最後に、ポリエステルフィル ム/研磨組成物を製造用ツールから外し、ラッピング塗装研磨材を提供した。試験方法 応力レオメーターを用いる粘度試験 この試験では、ボーリン・レオメーター・システム(Bohlin Rheometer Syste ms)社製の「VOR」の商品名で周知の装置を用いて、室温においてスラリーおよ び分散体の粘度を測定した。この粘度試験において、C-14カップおよびボブを22 .64gのトルクバーと共に用いた。試験を行う試料をカップにおき、試料中にボブ を下げて、ボブを部分的に試料に浸漬させた。トルクバーの一端をボブに接続し 、もう一方の端をシステム内のトルク測定装置に接続して、ボブをカップ中に吊 り下げた(ボブ、トルクバー、および測定装置は、ボーリン社で既に組み立てら れたものである)。試験を始めるために、レオメーターシステムはボブを回転し 、試料にボブの回転に対する耐性を示させる。読み取りの前に10秒間をおいてか ら、粘度をセンチポイズの単位で測定し、3つの読み取り値を平均して、試料の 粘度を得た。測定間隔は、各測定ごとに120秒とした。各測定における温度は、 一般に24.9〜25.2℃であった。仕上げ質試験(Ra) 仕上げ質を一般的に用いられる統計学的パラメーター「Ra」(平均表面荒さ の測定値)に従って測定した。Raは、「表面テクスチャーおよびパート・ジオ メトリー概論(An Introduction to Surface Texture and Part Geometry)」、 インダストリアル・メタル・プロダクツ社(Industrial Metal Products Incorp orated)に記載されいるように、引掻傷の深さのマイクロインチ単位での数学的 平均として定義され、この開示の内容の全てを本明細書の一部とする。理想のケ ースは、大量の材料が加工物から除去(カット)されるが、Ra値は低いことで ある。ディスク試験方法I 各実施例において試験を行う塗装研磨用品を直径10.2cmのディスクにして、フ ォームバックアップパッドに感圧接着剤によって固定した。塗装研磨ディスクお よびバックアップパッドの集合体を、「シーファー(Schiefer)」の商品名で周 知の試験機に挿入し、塗装研磨ディスクを用いて酢酪酸セルロースポリマーを研 削した。荷重は4.5kgとした。全ての試験を水に浸漬させた下で行った。試験の 終点は、塗装研磨ディスクを500回転またはサイクルしたときとした。除去され た酢酪酸セルロースの量および酢酪酸セルロースポリマーの仕上げ面(Ra)を 試験の最後に測定した。ディスク試験方法II ディスク試験方法IIは、加工物がポリメチルメタクリレートであることを除き 、ディスク試験方法Iと同様である。ディスク試験方法III 試験を行う塗装研磨ディスクを面取りをしたアルミニウムバックアップパッド の上に据え付け、1.25cm×18cmの1018マイルドスチール加工物の表面を研削する ことに用いた。ディスクを5,500rpmで運転させ、バックアップパッドの面取りし たエッジの上を覆うディスクの部分を約4.5kgの荷重で加工物と接触させた。各 ディスクを用いて、離れた加工物を、1分間の間隔で、加工物の上が燃え出すま で研削した。初期カット量は、研削の始めの1分間に除去された金属の量とした 。総カット量は、試験全体で除去された金属の総和とした。ディスク試験方法IV 試験を行う研磨用品を直径10.2cmのディスクにして、バックアップパッド上に 、3M社製の「E8」の商品名で周知のダブルステイックテープを用いて据え付 けた。加工物は、1018マイルドスチール環で、外径5cm、内径4.4cmを有するも のとした。研磨ディスクと加工物との界面の荷重は、13.6kgにした。また、この 界面に、油光沢剤を1秒当たり1滴連続して付与した。研削中に、研磨ディスク は回転しなかったが、前および横方向に振動させた。更に研削中、加工物を振動 させた。試験の終点は1分で、この間に研削された金属の量を測定した。ベルト試験方法I 試験を行う塗装研磨材を7.6cm×335cmのエンドレスベルトにして、一定負荷表 面研削機で試験を行った。予め計量した1018マイルドスチール加工物(約2.5cm ×5cm×18cm)をホルダーの上に据え付けた。加工物を垂直に置き、2.5cm×18c mの面を直径約36cmの85ショアAジュロメーターのこ歯状ゴムコンタクトホイー ルに、一つの領域に一つになるように向かわせて、その上で塗装研磨ベルトを引 いた。その後加工物を、1分間あたり20サイクルの速さで、18cmのパスを通して 垂直に往復運動させ、一方でスプリング荷重したプランジャーは、加工物を、ベ ルトが1分間当たり約2050m運転されるように、4.5kgの荷重でベルトに対して向 かわせた。研削時間が1分経過した後、加工物ホルダーの集合体を取り出し、再 度計量した。除去された素材の量を、加工物ホルダー集合体の元の重量から研磨 後の重量を引くことによって計算した。その後、予め計量した加工物およびホル ダーを装置の上に据え付けた。初期カット量は、研削の始めの1分間に除去され た金属の量とした。最終カット量は、研削の最後の1分で除去された金属の量と した。総カット量は、除去された金属の総量とした。試験の終点は、研磨用品が 加工物を燃やし始めたときとした。いくつかの場合には、加工物の表面仕上がり (Ra)を測定した。始めの表面仕上がりRaを研削60秒後に測定し、最終表面 仕上げを研削の最後の瞬間後に測定した。材料の説明 実施例中では、以下の略語および商品名を用いる。 TATHEIC トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレート PH1 2,2-ジメトキシ-1-2-ジフェニル-1-エタノン チバガイギー(Ciba Geigy)社製、商品名「イルガキュア(Irgacure)651」 TMPTA トリメチロールプロパントリアクリレート WAO 白色溶融酸化アルミニウム研磨グレイン CA01 平均粒径13μmを有する炭酸カルシウム充填剤 CA02 平均粒径2.5μmを有する炭酸カルシウム充填剤 MSCA γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン ユニオンカーバイド社製、商品名「A-174」 RP1 レゾールフェノール樹脂(WPS溶液、固形分76%) WPS 水/PSで、重量比90/10 PS プロピレングリコールモノメチルエーテル ASP 50m2/gの平均表面積、および40ミリマイクロメーターの平均粒径 を有する非晶質シリカ粒子であって、デグッサ社(ニュージャー ジー州、リッジフィールド・パーク)製、商品名「OX-50」 PSP 100m2/gの平均表面積、および15ミリマイクロメーターの平均粒径 を有する沈降シリカ粒子であって、デグッサ社(ニュージャージ ー州、リッジフィールド・パーク)製、商品名「P-820」 A200 200m2/gの平均表面積、および12ミリマイクロメーターの平均粒径 を有するヒュームドシリカ粒子であって、デグッサ社(ニュージャ ージー州、リッジフィールド・パーク)製、商品名「アエロシル200」 PAPI アニリン-ホルムアルデヒド縮合物の直接ホスゲン化によって得られ るポリイソシアネート混合物であって、140のイソシアネート当量お よび3.0の官能価を有し、商品名「PAPI2020」で市販のもの EP0N828 エポキシ樹脂であって、ビスフェノールA、2,2-ビス(4-(2,3エポ キシプロポキシ)-フェニル)プロパンのジグリシジルエーテルであ り、シェル・ケミカル社(テキサス州ヒューストン)より市販のもの実施例 以下の限定ではない実施例によって、本発明を更に説明する。全ての部、パー センテージ、比およびそれに類するものは、実施例において、特に記載のない限 り、重量に基づく。実施例1から4および比較実施例A〜Dの粘度 比較実施例AからDは、50部のTATHEIC、50部のTMPTA、2部のPH1および200部 のWAOを一緒に混合することによってスラリーを調製した。実施例1から4は、A SPを1部追加してスラリーに含有させた。各スラリーの粘度を応力レオメーター 試験によって測定した。表1に、各実施例の研磨粒子の平均粒径および得られた 粘度をセンチポイズ単位で挙げる。 表1のデータは、実施例1から4におけるスラリーへのASPの添加が、得られ る粘度を有意に減少させることを示す。実施例5〜7および比較実施例E−Hの性能 この実施例の組においては、ASPを含有するスラリーから作製した研磨用品と 、ASPを含有しないスラリーから作製した研磨用品との性能を比較した。研磨用 品は、研磨用品調製のための一般方法に従って作製した。得られた研磨用品をデ ィスク試験方法IおよびII、および仕上げ質試験(Ra)に従って試験し、結果 を表2に示した。 実施例5のスラリーは、実施例2と同様のものであった。 実施例6のスラリーは、実施例1で用いたものと同様のものであった。 実施例7のスラリーは、実施例3で用いたものと同様のものであった。 比較実施例Eのスラリーは、比較実施例Bで用いたものと同様のものであった 。 比較実施例Fのスラリーは、比較実施例Aで用いたものと同様のものであった 。 比較実施例Gのスラリーは、比較実施例Cで用いたものと同様のものであった 。 比較実施例Hを、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)製、商品名「ミクロ ファイン・ウエットオアドライ(Microfine Wetordry)」紙のグレード1500(平 均粒径8μm)塗装研磨材から構成した。 表2のデータは、ASPをスラリーに添加することによって、ASPを用いないで作 製した類似の塗装研磨材と比較して、より滑らかな表面仕上げを提供する塗装研 磨材を作製できることを示す。比較実施例I〜Nの粘度 ASPを水性バインダー前駆体溶液に加えることで、溶液の粘度が低下するかど うかを測定するための試行において、水性バインダー前駆体溶液を調製(比較実 施例I〜N)し、それらの粘度を測定した。溶液は、表3に示すような組成を有 する。バインダー前駆体溶液を、リストに挙げた材料を空気攪拌スターラーで完 全に混合することによって調製した。表3に挙げた粘度値は、センチポイズ単位 であって、ブロックフィールド(Brookfield)粘度計、モデルDV-II、#2スピ ンドルを用いて測定した。各粘度測定の温度(℃)を粘度値の後ろに括弧書きで 示した。表3に挙げられた粘度は、5分間スピンドルを回転させた後に得られた 値である。 表3の粘度データは、ASPの添加が実際により高い粘度の水性溶液を提供し、 したがって、ASPの水性溶液における効果は、本発明のスラリーおよび分散体に おけるASPの効果とは反対であることを示す。これは水性溶液中に水素結合が多 いためであると理論的付けされる。実施例8および比較実施例Oの性能 この組の実施例では、研磨用品を研磨用品調製のための一般方法に従って作製 し、その後ベルト試験方法Iに従って試験を行った。試験結果を表4に示す。実 施例8の研磨用品は、647部のグレードP-180WAO(平均粒径78μm)、20部のASP 、164部のTMPTA、164部のTATHEIC、6.6部のPH1および5部のMSCAから構成される スラリーを用いて作製した。 比較実施例Oは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「 スリー-ミット・レジン・ボンド(Three-Mite Resin Bond)X」として周知の塗 装研磨 材であった。 この塗装研磨材は、X重量ポリエステルクロスにフェノール樹脂で接着したグ レードP-180WAO研磨粒子を有し、カップリング剤もASPも加えなかった。 表4のデータは、本発明に従って作製した塗装研磨材が、低い初期カット量を 有する一方で、高い総カット量を有し、ASPを加えていない代表的な市販製品と 比較して、燃え始めるまでの時間が2倍かかることを示す。実施例9および比較実施例Pの性能 実施例9の研磨用品を研磨用品調製のための一般方法に従って作製した。スラ リーは、657部のP-100・WAO(平均粒径127マイクロメーター)、10部のASP、164 部のTMPTA、164部のTATHEIC、6,6部のPH1、および5部のMSCAから成った。比較実 施例Pは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「スリー- ミット・レジン・ボンドX」として周知の塗装研磨材であって、X重量ポリエス テルクロスにフェノール樹脂で接着したグレードP-180WAO研磨粒子を有し、カッ プリング剤もASPも有していない。 実施例9および比較実施例Pの研磨用品をベルト試験方法Iに従って試験し、 試験結果を表5に示した。表5におけるこれらの値は、4つのベルトの平均値で ある。 表5のデータは、本発明の塗装研磨材が、ASPおよびMSCAを含まない市販の塗 装研磨材に比較し得る機能を果たすことを示す。実施例10〜11および比較実施例Q〜Tの性能 実施例10および11の研磨用品は、研磨用品調製のための一般方法に従って 作製した。 実施例10のスラリーは、657部の粒径40μmのWAO、10部のASP、164部のTMPTA 、164部のTATHEIC、6.6部のPH1、および5部のMSCAから成った。 実施例11のスラリーは、657部の粒径20μmのWAO、10部のASP、164部のTMPTA 、164部のTATHEIC、6.6部のPH1、および5部のMSCAから成った。 比較実施例Qは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「 スリー-ミット・レジン・ボンドX」として周知の塗装研磨材であった。この塗装 研磨材は、X重量コットンクロスにフェノールバインダー樹脂で接着したグレー ドP-320(平均粒径34μm)からなる。 比較実施例Rは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「 スリー-ミット・レジン・ボンドX」として周知の塗装研磨材であった。この塗装 研磨材は、X重量ポリエステルクロスにフェノールバインダー樹脂で接着したグ レードP-220(平均粒径66μm)からなる。 比較実施例Sは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「 インペリアル・マイクロフィニッシング・フィルム(Imperial Microfinishing Film)」として周知の塗装研磨材であって、ポリエステル裏地にフェノール樹脂 で接着した平均粒径20μmのWAOを有し、MSCAもASPも有していない。 比較実施例Tは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「 スリー-ミット・レジン・ボンドX」として周知の塗装研磨材であって、ポリエス テルクロス裏地にフェノール樹脂で接着したグレードP-600(平均粒径26μm)WA Oを有しMSCAもASPも有していない。 この組の実施例の研磨用品は、ベルト試験方法Iおよび仕上げ質試験に従って 試験を行い、結果を表6に示した。表6の値は、2以上のベルトの平均値である 。 表6のデータは、本発明の塗装研磨材が、比較実施例よりもより長く持続し、 より良好なカット量を提供し、かつ良好または匹敵する表面仕上げを生むことを 示す。実施例12および比較実施例Uの性能 実施例12の研磨用品を研磨用品調製のための一般方法に従って作製した。実 施例12のスラリーは、657部の平均粒径40μmのWAO、10部のASP、164部のTMPTA 、164部のTATHEIC、6.6部のPH1、および5部のMSCAから成った。 比較実施例Uは、商品名「スリー-ミット・レジン・ボンドX」として周知の塗 装研磨材であって、X重量ポリエステルクロスに接着したグレードP-400WAO(平 均粒径35μm)を有し、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販されて いる ものである。 実施例12および比較実施例Uの研磨用品をそれぞれ0.76mmの厚さの加硫繊維 裏地に、両面接着テープを用いて積層した。得られた材料は、各ケースごとに2. 2cmの中心穴を有する17.8cmのディスクにした。 実施例12および比較実施例Uのディスクを、ディスク試験方法IIIに従って 試験し、表7にその結果を示す。 表7のデータは、本発明の技術に従って作製した塗装研磨材を加えたディスク が、比較の塗装研磨材を加えたディスクと比較して、総カット量および燃え出す までの時間において有意に良好に機能することを示す。実施例13および比較実施例Vの性能 実施例13の研磨用品を研磨用品調製のための一般方法に従って作製した。実 施例13のスラリーは、657部の平均粒径20μmのWAO、10部のASP、164部のTMPTA 、164部のTATHEIC、6.6部のPH1、および5部のMSCAから成った。 比較実施例Vは、3M社(ミネソタ州、セント・ポール)より市販の商品名「 インペリアル・マイクロフィニッシング・フィルム」として周知の塗装研磨材で あって、ポリエステルフィルム裏地にフェノール樹脂で接着した平均粒径20μm のWAOを有し、MSCAもASPも有していない。 実施例13および比較実施例Vの研磨用品をディスク試験方法IVに従って試験 し、結果を表8に示す。 表8に示されたデータは、本発明に従って作製された塗装研磨材(即ち、スラ リー中に調整粒子を含む)が、スラリー中に調整粒子を有さない比較塗装研磨材 と比較して総カット量において有意に良好に機能することを示す。実施例14〜15、比較実施例Wの粘度および沈降 以下のスラリー試料は、シランカップリングを含めずに調製して、本発明にお いて有用な調製粒子を添加することが、スラリーの粘度において効果を有するか どうかを見た。以下の3バッチを、一定の体積添加で調製した: 比較実施例W: 700gの40μm平均粒径WAO、300gの樹脂、150gのTATHEIC、150gのTMPTA 実施例14: 694gの40μm平均粒径WAO、10gのASP、および300gの樹脂、150gのTATHEIC、15 0gのTMPTA 実施例15: 694gの40μm平均粒径WAO、10.9gのASP、および300gの樹脂、150gのTATHEIC、 150gのTMPTA 実施例14および15および比較実施例Wを、それぞれ10分間、高剪断力ミキ サーで、全てのミネラルを加えた後に混合した。それぞれの粘度をブロックフィ ールド・シンクロ-レクトリック(Synchro-Lectric)粘度計、モデルLVTを用い て、12rpmで、4番のスピンドルを用い、室温にて測定した。粘度は以下に示す 通りである: 比較実施例W >50,000cps 実施例14 30,000〜36,000cps 実施例15 31,500cps このデータは、非晶質および沈降シリカ粒子が本発明のスラリー中で調整粒子 として機能することを示す。 この実施例の組のスラリーについて、室温における沈降率の試験も行った。試 料をそれぞれ黒色ジャーに貯蔵し、舌圧子を用いて各試料の底部の沈降の深さを 測定した。また分離の度合いも、時間経過に伴う試料上部に形成された樹脂の透 明層として、目視によって簡単に観察した。以下のデータは、貯蔵の1時間後お よび3日後に、どんな種類の攪拌も行わずに観察したものである: 1時間 3日 比較実施例W 薄い樹脂層 全体的分離 実施例14 分離なし 薄い樹脂層 実施例15 分離なし 分離なし このデータは、スラリーからのミネラル粒子の沈澱を減らすために、調整粒子 がいかに有効であるかを示す。更に比較実施例Wのミネラルを再分散させるため に、高剪断力ミキサーで30分以上要したことも付け加える。実施例16〜17および比較実施例X、Y、Z、AA TATHEIC以外の樹脂を含有するスラリーの粘度における調整粒子の効果を測定 するため、および全てのヒュームドシリカが、本発明において有用な調整粒子と しての資格を有するわけではないことを示すために、以下のスラリーを調整した : 比較実施例X 694gの40μm平均粒径WAO、300gの樹脂、50gのTATHEIC、50gのTMPTA 比較実施例Y 694gの40μm平均粒径WAO、300gの樹脂、50gのTATHEIC、50gのTMPTA、および10 gのA200(アエロシル(Aerosil)200) 比較実施例Z 233gの40μm平均粒径WAO、100gのPAPI 比較実施例AA 300gのEPON、500gの40μm平均粒径WAO 実施例16 217.1gの40μm平均粒径WAO、94gのPAPI、および3.1gのASP(OX-50) 実施例17 495.7gの40μm平均粒径WAO、300gのEPON、および7.1gのASP(OX-50) 上記のスラリーの全てを、高剪断力ミキサーで、10分間、ミネラルの最後の部 分を加えた後に混合した。以下の粘度(cps)は、ブロックフィールド・シンク ロ-レクトリック粘度計、モデルRVFを用いて、Tスピンドルを用い、2rpmおよび 室温にて観察した。 比較実施例X 170,000 比較実施例Y 210,000 比較実施例Z 395,000 実施例16 300,000 比較実施例AA 175,000 実施例17 170,000 これらの実施例のデータは、本発明において有用な調整粒子が、エポキシ樹脂 および重合イソシアネート樹脂の粘度を減少させ得るが、ヒュームドシリカ「ア エロシル200」は、TATHEICおよびTMATAのスラリーの粘度を増加させることを示 す。 本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、本発明に種々の修正や変更を加え得 ることは、当業者には自明のことであり、本発明は上記の説明的な実施態様に不 当に制限されることはないと理解されるべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI C09K 3/14 K 9049−4H

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.研磨用品の製造に適したスラリーであって、該スラリーが付加重合性樹脂 、研磨粒子、および調整粒子を含むことを特徴とし、該調整粒子が該スラリーの 粘度を下げるために十分な量で含まれるスラリー。 2.付加重合性樹脂が、スチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、およ び不飽和カルボニル側基を有するアミノプラスト樹脂、1以上のアクリレート側 基を有するイソシアヌレート樹脂、アクリル化ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、お よび1以上のアクリレート側基を有するイソシアネート誘導体からなる群から選 択されることを特徴とする、請求項1記載のスラリー。 3.光重合開始剤を含むことを特徴とする請求項1記載のスラリー。 4.反応性希釈剤を含むことを特徴とする請求項1記載のスラリー。 5.1以上のアクリレート側基を有するイソシアヌレート樹脂が、トリメチロ ールプロパントリアクリレートに溶解したトリス(ヒドロキシエチル)イソシア ヌレートのトリアクリレートであることを特徴とする、請求項2記載のスラリー 。 6.調整粒子が約300m2/gより小さい表面積および約100ミリマイクロメーター より小さい平均粒径を有するシリカ粒子であることを特徴とする、請求項1記載 のスラリー。 7.研磨粒子が約0.1μm〜約700μmの範囲の平均粒径を有することを特徴とす る、請求項1記載のスラリー。 8.調整粒子が、スラリーの総乾燥重量の約0.1乾燥重量%〜約30.0乾燥重量 %の範囲の量で含まれることを特徴とする、請求項1記載のスラリー。 9.研磨材塗装を上に有する可撓性裏地を有するタイプの塗装研磨材であって 、該研磨材塗装が、基本的に、スラリーの乾燥重量に対して、約20〜約95乾燥重 量%の付加重合性樹脂、約30〜約70乾燥重量%の研磨粒子、および約0.01〜約30 乾燥重量%の調整粒子からなるスラリー由来のものであることを特徴とする塗装 研磨材。 10.塗装研磨材の製造方法であって: (a)第1および第2面を有する裏地の第1面に、基本的に重合性樹脂、研磨 粒子および調整粒子からなるスラリーであって、該調整粒子が該スラリーの粘度 を下げるために十分な量で含まれるスラリーを塗布し; (b)第3面をスラリーを塗装した第1面と接触させ、第1および第3面の少 なくとも1つが予め決められた型模様を有するようにして; (c)スラリーを重合性樹脂が硬化するために十分な条件に暴露して;次いで (d)第1または第3面の1つを除去して塗装研磨材を形成する 段階からなることを特徴とする、塗装研磨材の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002371203A (ja) * 2001-03-30 2002-12-26 Degussa Ag 有機ケイ素ナノ−/マイクロハイブリッドシステムまたはマイクロハイブリッドシステム、これらの系を含有する組成物の製造方法、これらの組成物、これらの使用、耐引っかき性および耐磨耗性被覆の製造方法、これらの被覆およびこれらの被覆を有する物品
JPWO2004041477A1 (ja) * 2002-11-06 2006-03-02 株式会社野村鍍金 真空用部材の表面処理方法

Families Citing this family (92)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5437754A (en) 1992-01-13 1995-08-01 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive article having precise lateral spacing between abrasive composite members
AU679005B2 (en) * 1992-12-17 1997-06-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Reduced viscosity slurries, abrasive articles made therefrom, and methods of making said articles
CN1124472A (zh) * 1993-05-26 1996-06-12 美国3M公司 在加工件上形成光滑表面的方法
US5549962A (en) * 1993-06-30 1996-08-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Precisely shaped particles and method of making the same
EP0720520B1 (en) * 1993-09-13 1999-07-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive article, method of manufacture of same, method of using same for finishing, and a production tool
US5658184A (en) 1993-09-13 1997-08-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Nail tool and method of using same to file, polish and/or buff a fingernail or a toenail
US5632668A (en) * 1993-10-29 1997-05-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method for the polishing and finishing of optical lenses
CA2134156A1 (en) * 1993-11-22 1995-05-23 Thomas P. Klun Coatable compositions, abrasive articles made therefrom, and methods of making and using same
JP3874790B2 (ja) * 1994-02-22 2007-01-31 スリーエム カンパニー 研磨物品、その製造方法および仕上げ用のその使用方法
BR9507083A (pt) * 1994-03-16 1997-09-16 Minnesota Mining & Mfg Produto abrasivo particula aglomerado erodível e processos para desbaster uma peça e para preparar um produto abrasivo
DE9411326U1 (de) * 1994-07-13 1994-09-15 TYROLIT REINEKE Advanced Systems GmbH & Co. KG, 58791 Werdohl Verzahntes Honschleifwerkzeug
US5658360A (en) * 1995-08-02 1997-08-19 Norton Company Compression molding of abrasive articles using water as a temporary binder
US5958794A (en) * 1995-09-22 1999-09-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method of modifying an exposed surface of a semiconductor wafer
US5700302A (en) * 1996-03-15 1997-12-23 Minnesota Mining And Manufacturing Company Radiation curable abrasive article with tie coat and method
US5891421A (en) * 1996-03-22 1999-04-06 J.M. Huber Corporation Precipitated silicas having improved dentifrice performance characteristics and methods of preparation
US20020016379A1 (en) * 1997-11-17 2002-02-07 Gaeta Anthony C. Radiation curable formulations
WO1997038236A1 (en) * 1996-04-08 1997-10-16 Minnesota Mining And Manufacturing Company Patterned surface friction materials, clutch plate members and methods of making and using same
US6475253B2 (en) 1996-09-11 2002-11-05 3M Innovative Properties Company Abrasive article and method of making
US5876268A (en) * 1997-01-03 1999-03-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method and article for the production of optical quality surfaces on glass
US5851247A (en) * 1997-02-24 1998-12-22 Minnesota Mining & Manufacturing Company Structured abrasive article adapted to abrade a mild steel workpiece
US6231629B1 (en) 1997-03-07 2001-05-15 3M Innovative Properties Company Abrasive article for providing a clear surface finish on glass
US5888119A (en) * 1997-03-07 1999-03-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method for providing a clear surface finish on glass
US5910471A (en) * 1997-03-07 1999-06-08 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive article for providing a clear surface finish on glass
US6524681B1 (en) 1997-04-08 2003-02-25 3M Innovative Properties Company Patterned surface friction materials, clutch plate members and methods of making and using same
US8092707B2 (en) 1997-04-30 2012-01-10 3M Innovative Properties Company Compositions and methods for modifying a surface suited for semiconductor fabrication
US6194317B1 (en) 1998-04-30 2001-02-27 3M Innovative Properties Company Method of planarizing the upper surface of a semiconductor wafer
AU744727B2 (en) * 1997-07-21 2002-02-28 Vantico Ag Sedimentation stabilized radiation-curable filled compositions
US5782939A (en) * 1997-08-08 1998-07-21 Norton Company Low cost coated abrasives
US5942015A (en) * 1997-09-16 1999-08-24 3M Innovative Properties Company Abrasive slurries and abrasive articles comprising multiple abrasive particle grades
US5928394A (en) * 1997-10-30 1999-07-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Durable abrasive articles with thick abrasive coatings
JP2002503559A (ja) 1998-02-19 2002-02-05 ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー ガラス研削用研磨製品および方法
EP0999013B1 (en) * 1998-04-28 2007-09-26 Ebara Corporation Polishing grinding wheel and substrate polishing method with this grinding wheel
US6217432B1 (en) 1998-05-19 2001-04-17 3M Innovative Properties Company Abrasive article comprising a barrier coating
US6179887B1 (en) 1999-02-17 2001-01-30 3M Innovative Properties Company Method for making an abrasive article and abrasive articles thereof
US6458018B1 (en) 1999-04-23 2002-10-01 3M Innovative Properties Company Abrasive article suitable for abrading glass and glass ceramic workpieces
US6634929B1 (en) 1999-04-23 2003-10-21 3M Innovative Properties Company Method for grinding glass
US6319108B1 (en) 1999-07-09 2001-11-20 3M Innovative Properties Company Metal bond abrasive article comprising porous ceramic abrasive composites and method of using same to abrade a workpiece
US6287184B1 (en) 1999-10-01 2001-09-11 3M Innovative Properties Company Marked abrasive article
CA2383014C (en) * 1999-10-07 2005-07-12 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Electrostatic deposition abrasive formulations comprising silica
US6436159B1 (en) * 1999-12-09 2002-08-20 Lilly Industries, Inc. Abrasion resistant coatings
EP1276593B1 (en) * 2000-04-28 2005-08-17 3M Innovative Properties Company Abrasive article and methods for grinding glass
US6541383B1 (en) * 2000-06-29 2003-04-01 Lsi Logic Corporation Apparatus and method for planarizing the surface of a semiconductor wafer
ATE350426T1 (de) 2000-10-06 2007-01-15 3M Innovative Properties Co Keramische aggregatteilchen
JP2004511646A (ja) * 2000-10-16 2004-04-15 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 凝集粒子を製造する方法
US6521004B1 (en) 2000-10-16 2003-02-18 3M Innovative Properties Company Method of making an abrasive agglomerate particle
MXPA03003063A (es) 2000-10-16 2004-02-12 3M Innovative Properties Co Metodo para elaborar particulas de agregado ceramico.
US6620027B2 (en) 2001-01-09 2003-09-16 Applied Materials Inc. Method and apparatus for hard pad polishing
US6736154B2 (en) 2001-01-26 2004-05-18 American Air Liquide, Inc. Pressure vessel systems and methods for dispensing liquid chemical compositions
US6582487B2 (en) 2001-03-20 2003-06-24 3M Innovative Properties Company Discrete particles that include a polymeric material and articles formed therefrom
US6605128B2 (en) 2001-03-20 2003-08-12 3M Innovative Properties Company Abrasive article having projections attached to a major surface thereof
US20030017797A1 (en) * 2001-03-28 2003-01-23 Kendall Philip E. Dual cured abrasive articles
US6802877B2 (en) 2001-04-20 2004-10-12 Thomas J. Drury Polyvinyl acetal composition roller brush with abrasive outer surface
US6811470B2 (en) 2001-07-16 2004-11-02 Applied Materials Inc. Methods and compositions for chemical mechanical polishing shallow trench isolation substrates
US6677239B2 (en) 2001-08-24 2004-01-13 Applied Materials Inc. Methods and compositions for chemical mechanical polishing
US6620215B2 (en) * 2001-12-21 2003-09-16 Dynea Canada, Ltd. Abrasive composition containing organic particles for chemical mechanical planarization
US6846232B2 (en) 2001-12-28 2005-01-25 3M Innovative Properties Company Backing and abrasive product made with the backing and method of making and using the backing and abrasive product
US6949128B2 (en) * 2001-12-28 2005-09-27 3M Innovative Properties Company Method of making an abrasive product
US6613113B2 (en) 2001-12-28 2003-09-02 3M Innovative Properties Company Abrasive product and method of making the same
US6841480B2 (en) * 2002-02-04 2005-01-11 Infineon Technologies Ag Polyelectrolyte dispensing polishing pad, production thereof and method of polishing a substrate
US7199056B2 (en) * 2002-02-08 2007-04-03 Applied Materials, Inc. Low cost and low dishing slurry for polysilicon CMP
US7235296B2 (en) 2002-03-05 2007-06-26 3M Innovative Properties Co. Formulations for coated diamond abrasive slurries
JP3463999B1 (ja) * 2002-05-16 2003-11-05 三井金属鉱業株式会社 セリウム系研摩材の製造方法
US7063597B2 (en) 2002-10-25 2006-06-20 Applied Materials Polishing processes for shallow trench isolation substrates
GB0225913D0 (en) * 2002-11-06 2002-12-11 3M Innovative Properties Co Abrasive articles
AT500083B1 (de) * 2003-09-08 2009-12-15 Kaindl Decor Gmbh Dekorlaminat und verfahren zu dessen herstellung
US7195658B2 (en) * 2003-10-17 2007-03-27 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Antiloading compositions and methods of selecting same
BRPI0416947A (pt) * 2003-11-26 2007-02-13 3M Innovative Properties Co método para abradar uma superfìcie de uma peça de trabalho
US20060088976A1 (en) * 2004-10-22 2006-04-27 Applied Materials, Inc. Methods and compositions for chemical mechanical polishing substrates
US7591865B2 (en) * 2005-01-28 2009-09-22 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method of forming structured abrasive article
US8287611B2 (en) * 2005-01-28 2012-10-16 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles and methods for making same
US7179159B2 (en) * 2005-05-02 2007-02-20 Applied Materials, Inc. Materials for chemical mechanical polishing
US8435098B2 (en) * 2006-01-27 2013-05-07 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article with cured backsize layer
JP5474566B2 (ja) * 2007-01-23 2014-04-16 サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド 凝集塊を含む研磨布紙製品
US8323072B1 (en) 2007-03-21 2012-12-04 3M Innovative Properties Company Method of polishing transparent armor
KR101659078B1 (ko) * 2009-09-02 2016-09-22 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 절삭 휠용 조성물 및 이를 이용한 절삭 휠
DK2512402T3 (en) * 2009-12-15 2015-04-20 Corticalis As DEBRIDATION PASTA
CA2797270A1 (en) * 2010-04-28 2011-11-10 Cyalume Technologies, Inc. Thermal signaling or making device
CN103087676B (zh) * 2013-01-29 2014-07-30 淄博理研泰山涂附磨具有限公司 一种耐磨磨粒的烧结方法
CN105813808B (zh) 2013-12-09 2018-10-09 3M创新有限公司 砾岩磨料颗粒、含有砾岩磨料颗粒的磨料制品及其制备方法
EP2942376B2 (de) * 2014-05-07 2019-07-03 STO SE & Co. KGaA Dispersionsfarbe und Verfahren zur Herstellung
US9873180B2 (en) 2014-10-17 2018-01-23 Applied Materials, Inc. CMP pad construction with composite material properties using additive manufacturing processes
US10875153B2 (en) 2014-10-17 2020-12-29 Applied Materials, Inc. Advanced polishing pad materials and formulations
JP6545261B2 (ja) 2014-10-17 2019-07-17 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated 付加製造プロセスを使用する、複合材料特性を有するcmpパッド構造
US11745302B2 (en) 2014-10-17 2023-09-05 Applied Materials, Inc. Methods and precursor formulations for forming advanced polishing pads by use of an additive manufacturing process
CN108290267B (zh) 2015-10-30 2021-04-20 应用材料公司 形成具有期望ζ电位的抛光制品的设备与方法
US10593574B2 (en) 2015-11-06 2020-03-17 Applied Materials, Inc. Techniques for combining CMP process tracking data with 3D printed CMP consumables
US10391605B2 (en) 2016-01-19 2019-08-27 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for forming porous advanced polishing pads using an additive manufacturing process
KR20180072243A (ko) * 2016-12-21 2018-06-29 엠.씨.케이 (주) 연마체 수지 조성물 및 이에 의해 제조된 패드
US11471999B2 (en) 2017-07-26 2022-10-18 Applied Materials, Inc. Integrated abrasive polishing pads and manufacturing methods
WO2019032286A1 (en) 2017-08-07 2019-02-14 Applied Materials, Inc. ABRASIVE DISTRIBUTION POLISHING PADS AND METHODS OF MAKING SAME
CN112654655A (zh) 2018-09-04 2021-04-13 应用材料公司 先进抛光垫配方
US11878389B2 (en) 2021-02-10 2024-01-23 Applied Materials, Inc. Structures formed using an additive manufacturing process for regenerating surface texture in situ

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2322156A (en) * 1941-12-30 1943-06-15 Behr Manning Corp Coated abrasive
US2534805A (en) * 1947-03-10 1950-12-19 Behr Manning Corp Coated abrasive articles and backings for such articles
US2676892A (en) * 1953-11-13 1954-04-27 Kanium Corp Method for making unicellular spherulized clay particles and articles and composition thereof
US2806772A (en) * 1954-09-15 1957-09-17 Electro Refractories & Abrasiv Abrasive bodies
DE1694594C3 (de) * 1960-01-11 1975-05-28 Minnesota Mining And Manufacturing Co., Saint Paul, Minn. (V.St.A.) Reinigungs- und Polierkörper
JPS4823595B1 (ja) * 1969-06-17 1973-07-14
US3689346A (en) * 1970-09-29 1972-09-05 Rowland Dev Corp Method for producing retroreflective material
GB1482839A (en) * 1974-10-29 1977-08-17 Sanyo Trading Co Vulcanisable rubber compositions and vulcanised rubber prepared therefrom
US4318766A (en) * 1975-09-02 1982-03-09 Minnesota Mining And Manufacturing Company Process of using photocopolymerizable compositions based on epoxy and hydroxyl-containing organic materials
US4576850A (en) * 1978-07-20 1986-03-18 Minnesota Mining And Manufacturing Company Shaped plastic articles having replicated microstructure surfaces
US4588419A (en) * 1980-10-08 1986-05-13 Carborundum Abrasives Company Resin systems for high energy electron curable resin coated webs
EP0109581A3 (en) * 1982-11-22 1985-04-24 Allied Corporation A system for locating information fields on a display and for generating field descriptors with information related to each of the display fields
US4642126A (en) * 1985-02-11 1987-02-10 Norton Company Coated abrasives with rapidly curable adhesives and controllable curvature
US4652275A (en) * 1985-08-07 1987-03-24 Minnesota Mining And Manufacturing Company Erodable agglomerates and abrasive products containing the same
US4773920B1 (en) * 1985-12-16 1995-05-02 Minnesota Mining & Mfg Coated abrasive suitable for use as a lapping material.
US4644703A (en) * 1986-03-13 1987-02-24 Norton Company Plural layered coated abrasive
US4751138A (en) * 1986-08-11 1988-06-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated abrasive having radiation curable binder
US4735632A (en) * 1987-04-02 1988-04-05 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated abrasive binder containing ternary photoinitiator system
US4871370A (en) * 1987-06-18 1989-10-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Agriculture Stable crystalline cellulose III polymorphs
US4952612A (en) * 1987-08-28 1990-08-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Energy-induced curable compositions
US4950696A (en) * 1987-08-28 1990-08-21 Minnesota Mining And Manufacturing Company Energy-induced dual curable compositions
US4871376A (en) * 1987-12-14 1989-10-03 Minnesota Mining And Manufacturing Company Resin systems for coated products; and method
JP2707264B2 (ja) * 1987-12-28 1998-01-28 ハイ・コントロール・リミテッド 研磨シートおよびその製造方法
US4985340A (en) * 1988-06-01 1991-01-15 Minnesota Mining And Manufacturing Company Energy curable compositions: two component curing agents
US4927431A (en) * 1988-09-08 1990-05-22 Minnesota Mining And Manufacturing Company Binder for coated abrasives
US5000761A (en) * 1988-10-26 1991-03-19 Ferro Corporation Gel producing pad and improved method for surfacing and polishing lenses
EP0366051B1 (en) * 1988-10-26 1993-03-10 Ferro Corporation Novel gel producing pad and improved method for surfacing and polishing lenses
US4903440A (en) * 1988-11-23 1990-02-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive product having binder comprising an aminoplast resin
US4933373A (en) * 1989-04-06 1990-06-12 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive wheels
US5014468A (en) * 1989-05-05 1991-05-14 Norton Company Patterned coated abrasive for fine surface finishing
US5011513A (en) * 1989-05-31 1991-04-30 Norton Company Single step, radiation curable ophthalmic fining pad
US5152917B1 (en) * 1991-02-06 1998-01-13 Minnesota Mining & Mfg Structured abrasive article
US5256170A (en) * 1992-01-22 1993-10-26 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated abrasive article and method of making same
AU679005B2 (en) * 1992-12-17 1997-06-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Reduced viscosity slurries, abrasive articles made therefrom, and methods of making said articles

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002371203A (ja) * 2001-03-30 2002-12-26 Degussa Ag 有機ケイ素ナノ−/マイクロハイブリッドシステムまたはマイクロハイブリッドシステム、これらの系を含有する組成物の製造方法、これらの組成物、これらの使用、耐引っかき性および耐磨耗性被覆の製造方法、これらの被覆およびこれらの被覆を有する物品
JPWO2004041477A1 (ja) * 2002-11-06 2006-03-02 株式会社野村鍍金 真空用部材の表面処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5470368A (en) 1995-11-28
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EP0674565A1 (en) 1995-10-04
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JP3649442B2 (ja) 2005-05-18
CA2151932A1 (en) 1994-06-23
WO1994013434A1 (en) 1994-06-23

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