JPH0845770A - Manufacture of multilayer electronic component - Google Patents

Manufacture of multilayer electronic component

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JPH0845770A
JPH0845770A JP6197737A JP19773794A JPH0845770A JP H0845770 A JPH0845770 A JP H0845770A JP 6197737 A JP6197737 A JP 6197737A JP 19773794 A JP19773794 A JP 19773794A JP H0845770 A JPH0845770 A JP H0845770A
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JP
Japan
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paste
laminated body
laminate
conductive paste
laminated
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Application number
JP6197737A
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Japanese (ja)
Inventor
Shunji Murai
俊二 村井
Takeshi Mori
猛 森
Yoshio Koizumi
善夫 小泉
Osamu Fujii
理 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To prevent aggregation of metal of inner electrodes at the time of baking, and prevent deterioration of characteristics. CONSTITUTION:A multilayer electronic component is manufactured by the following: a process for forming a laminate 23 wherein unbaked ceramic layers 21, 27 and inner electrode layers 25, 26 of conductive paste are alternately laminated and bonded with pressure, a process for baking the laminate 23, a process for coating the end portion of the laminate 23 wherein the inner electrodes 25, 26 are exposed with conductive paste, and a process wherein outer electrodes 2, 2 are formed by baking the conductive paste on the end portion of the laminate. In this case, paste 24 for pushing use whose shrinkage factor at the time of baking is equal to or larger than that of the laminate 23 is spread on the surface of an overlapping part of the inner electrodes 25, 26 via the ceramic layer 21 of the unbaked laminate 23. The laminate 23 and the paste 24 are baked at the same time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は積層セラミックコンデン
サや積層セラミックインダクタ等の積層電子部品の製造
方法に関し、特に、内部電極における導体材料の凝縮に
よる特性の劣化が起り難い積層電子部品とその製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component such as a laminated ceramic capacitor or a laminated ceramic inductor, and more particularly to a laminated electronic component in which deterioration of characteristics due to condensation of a conductor material in an internal electrode does not easily occur and a method for manufacturing the same. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】積層電子部品としては、積層セラミック
コンデンサと積層セラミックインダクタがその代表的な
ものであるが、さらにこれらを組み合わせたLC部品等
の複合素子も多く開発されている。積層電子部品の代表
的な例である積層セラミックコンデンサは、層状の内部
電極がセラミック層を介して多数積み重ねられ、内部電
極がセラミック層の積層体の端面に交互に引き出されて
いる。そして、これらの内部電極が引き出された積層体
の端面に外部電極が形成されている。
2. Description of the Related Art Monolithic ceramic capacitors and monolithic ceramic inductors are typical examples of laminated electronic components, and many composite elements such as LC components have been developed by combining them. A multilayer ceramic capacitor, which is a typical example of a multilayer electronic component, has a large number of layered internal electrodes stacked with ceramic layers interposed therebetween, and the internal electrodes are alternately drawn out to the end faces of the ceramic layer laminate. Then, external electrodes are formed on the end faces of the stacked body from which these internal electrodes are drawn out.

【0003】このような積層セラミックコンデンサの一
般的な製造方法は、例えば、誘電体セラミック粉末を有
機バインダーに分散させたセラミックスラリーをシート
状に成形してセラミックグリーンシートを作り、スクリ
ーン印刷法等により、このセラミックグリーンシートの
上に導電ペーストで内部電極パータンを印刷する。そし
て、この内部電極パターンが印刷されたセラミックグリ
ーンシートを積層し、さらにその両側に内部電極パター
ンが印刷されてないセラミックグリーンシートを複数枚
積み重ねる。こうして得られた積層体を内部電極が端面
に露出するようにしてチップ状に切断し、これを焼成す
る。そして、この焼結された積層体を研磨することで、
その端面に内部電極を露出させ、この端部に導電ペース
トを塗布し、これを焼き付けて外部電極を形成すること
により、積層チップコンデンサが完成する。
A general method for manufacturing such a monolithic ceramic capacitor is, for example, by forming a ceramic slurry in which a dielectric ceramic powder is dispersed in an organic binder into a sheet shape to form a ceramic green sheet, and by a screen printing method or the like. The internal electrode pattern is printed on this ceramic green sheet with a conductive paste. Then, the ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are printed are stacked, and further, a plurality of ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are not printed are stacked on both sides thereof. The laminate thus obtained is cut into chips so that the internal electrodes are exposed at the end faces, and the chips are fired. Then, by polishing the sintered laminated body,
An internal electrode is exposed on the end face, a conductive paste is applied to this end, and this is baked to form an external electrode, thereby completing the multilayer chip capacitor.

【0004】また、他の積層セラミックコンデンサの製
造方法として、セラミックの積層体を焼成する前に、そ
の端部に予め導電ペーストを塗布し、その後セラミック
の積層体を焼成すると同時に、導電ペーストを焼き付け
るという製造方法もある。さらに、積層体を得る方法
も、セラミックグリーンシートを使用する、いわゆるシ
ート法の他に、セラミックペーストと導電ペーストとを
交互に印刷していく、いわゆる印刷法も採用されてい
る。
As another method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, before firing a ceramic laminated body, a conductive paste is applied to the end portion thereof in advance, and then the ceramic laminated body is fired and the conductive paste is baked at the same time. There is also a manufacturing method. Further, as a method for obtaining a laminated body, a so-called printing method in which a ceramic paste and a conductive paste are alternately printed is adopted in addition to a so-called sheet method in which a ceramic green sheet is used.

【0005】このような積層セラミックコンデンサに代
表される積層電子部品は、小型化と共に、大容量化や高
インダクタンス化等が要求されている。この要求に応え
るため、最近の積層電子部品では、セラミック層を出来
るだけ薄くし、限られた厚みの中でより多くの層を積層
可能としている。しかし、積層数が多くなると、内部電
極の厚みにより、積層体内部でセラミック層を介して内
部電極が重なりあっている部分とそれ以外のマージン部
分との積層厚の差が大きくなる。また、焼成時における
内部電極に含まれる金属とセラミック層のセラミックと
の熱収縮率や熱膨張係数等の違いにより、内部応力が大
きくなり、歪が大きくなる。そこで、このような問題を
解消するためには、内部電極の厚みも出来る限り薄くす
る必要がある。
The multilayer electronic component represented by such a multilayer ceramic capacitor is required to have a large capacity and a high inductance as well as a small size. In order to meet this demand, in the recent laminated electronic components, the ceramic layer is made as thin as possible, and more layers can be laminated within a limited thickness. However, as the number of stacked layers increases, the difference in the stacked thickness between the portion where the internal electrodes overlap with each other via the ceramic layer inside the stacked body and the margin portion other than that increases due to the thickness of the internal electrodes. In addition, internal stress and strain increase due to differences in the thermal contraction rate and thermal expansion coefficient between the metal contained in the internal electrode and the ceramic of the ceramic layer during firing. Therefore, in order to solve such a problem, it is necessary to make the thickness of the internal electrode as thin as possible.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとしている課題】しかし、内部電極
を薄くすると、焼成後の内部電極が島状に途切れて、静
電容量が低下したり、電気抵抗が増大する等の特性の劣
化を来す。これは、内部電極が薄いと、内部電極を構成
する金属が凝集し、部分的に固まる一方で、金属組織が
粗となったり欠乏する部分が出来るため、実質的な内部
電極の対向面積が減少したり、導体の途切れによる抵抗
増大となるものである。本発明は、前記従来の問題点を
解決するもので、焼成時の内部電極の金属の凝集を防止
し得る積層電子部品の製造方法を提供する。
However, when the internal electrodes are made thin, the internal electrodes after firing are discontinuous in an island shape, resulting in deterioration of characteristics such as a decrease in capacitance and an increase in electrical resistance. . This is because when the internal electrode is thin, the metal forming the internal electrode aggregates and partially hardens, while the metal structure becomes rough or lacks, so the effective area of the internal electrode decreases. Resistance or increase in resistance due to disconnection of the conductor. The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and provides a method for manufacturing a laminated electronic component capable of preventing the aggregation of the metal of the internal electrode during firing.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、未焼成の積層体の内部電極が重なり合
っている部分の表面に、押付用ペーストを塗布し、積層
体を焼成するときにこの押付用ペーストを同時に焼成す
ることにより、同ペーストの焼成時の収縮を利用し、積
層体を締め付け、これにより内部電極における金属の凝
集を防止することとした。
According to the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a pressing paste is applied to the surface of a portion of an unfired laminate where internal electrodes are overlapped, and the laminate is fired. By simultaneously firing the pressing paste at the same time, the shrinkage of the paste during firing was used to tighten the laminate, thereby preventing metal aggregation in the internal electrodes.

【0008】すなわち、本発明による積層電子部品の製
造方法は、未焼成のセラミック層と導電ペーストによる
内部電極とを交互に積層し、圧着して積層体を得る工程
と、この積層体を焼成する工程と、内部電極が露出した
積層体の端部に導体ペーストを塗布する工程と、この導
電ペーストを積層体の端部に焼き付けて外部電極を形成
する工程とにより、積層電子部品を製造するに当り、未
焼成の積層体のセラミック層を介して内部電極が重なり
あっている部分の表面に、焼成時の収縮率が同積層体と
同等以上の材料の押付用ペーストを塗布し、その後積層
体と前記押付ペーストとを同時焼成することを特徴とす
る。
That is, in the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, a step of alternately laminating unfired ceramic layers and internal electrodes made of a conductive paste and press-bonding to obtain a laminated body, and firing the laminated body. In order to manufacture a laminated electronic component, a step, a step of applying a conductor paste to the end portion of the laminated body where the internal electrodes are exposed, and a step of baking the conductive paste on the end portion of the laminated body to form an external electrode, In this case, a pressing paste of a material having a shrinkage factor at the time of firing equal to or higher than that of the laminated body is applied to the surface of the portion where the internal electrodes overlap with each other through the ceramic layer of the unfired laminated body, and then the laminated body. And the pressing paste are simultaneously fired.

【0009】ここで、押付用ペーストとして導電ペース
トを使用した場合、焼成後の押付用ペーストは絶縁膜で
覆われる。この押付用ペーストは積層体を囲むように塗
布するのがよい。また、押付用ペーストとして導電ペー
ストを使用し、その導電ペーストを積層体の全体を覆う
よう塗布し、焼成した後、少なくとも内部電極が露出し
た積層体の端部を除いて形成された導体膜の中間部を除
去し、その両端部分を外部電極として分離することもで
きる。
When a conductive paste is used as the pressing paste, the pressing paste after firing is covered with an insulating film. The pressing paste is preferably applied so as to surround the laminated body. Further, a conductive paste is used as the pressing paste, the conductive paste is applied so as to cover the entire laminated body, and after firing, at least the internal electrodes of the conductor film formed except for the end portion of the laminated body exposed. It is also possible to remove the intermediate portion and separate the both end portions as external electrodes.

【0010】さらに、押付用ペーストを積層体の全体を
覆うよう塗布し、焼成した後、形成された膜を除去し、
その後積層体の端部に導電ペーストを塗布し、焼き付け
て外部電極を形成してもよい。この場合に、押付用ペー
ストとして絶縁ペーストを使用した場合は、焼成の後、
少なくとも内部電極が露出した積層体の端部から形成さ
れた膜を除去すればよい。他方、押付用ペーストとして
導電ペーストを使用した場合は、焼成の後、形成された
導体膜を、外部電極が短絡しない程度に除去する必要が
ある。
Further, a pressing paste is applied so as to cover the entire laminated body and baked, and then the formed film is removed.
After that, an external electrode may be formed by applying a conductive paste to the end of the laminate and baking it. In this case, when using the insulating paste as the pressing paste, after firing,
At least the film formed from the end of the stacked body where the internal electrode is exposed may be removed. On the other hand, when a conductive paste is used as the pressing paste, it is necessary to remove the formed conductor film after firing so that the external electrodes are not short-circuited.

【0011】[0011]

【作用】本件発明者らは、積層セラミックコンデンサ等
の積層セラミック電子部品を製造する場合に、未焼成の
積層体の端部に外部電極を形成するための導電ペースト
を塗布せずに焼成したのと、未焼成の積層体の端部に予
め外部電極を形成するための導電ペーストを塗布し、こ
れを同時焼成したのとでは、後者の方が内部電極におけ
る金属の凝集が少ないことを見い出した。これは、未焼
成の積層体の外表面に導電ペーストを塗布し、これを積
層体と同時焼成すると、塗布された導電ペーストが焼成
される際に、積層体を締め付け、積層体の膨らみを抑え
るため、内部電極の金属が凝集しようとするのが抑えら
れ、内部電極における金属の凝集が防止されることによ
るものと考られる。
When the present inventors manufacture a monolithic ceramic electronic component such as a monolithic ceramic capacitor, they are fired without applying the conductive paste for forming the external electrodes to the ends of the non-fired laminate. Then, it was found that the conductive paste for forming the external electrode was applied to the end portion of the unfired laminated body in advance, and this was co-fired, and that the latter had less metal aggregation in the internal electrode. . This is because when a conductive paste is applied to the outer surface of an unfired laminate and this is co-fired with the laminate, when the applied conductive paste is fired, the laminate is tightened and swelling of the laminate is suppressed. Therefore, it is considered that the metal of the internal electrode is prevented from aggregating and the metal of the internal electrode is prevented from aggregating.

【0012】そこで本発明による積層電子部品の製造方
法では、未焼成の積層体のセラミック層を介して内部電
極が重なりあっている部分の表面に、焼成時の収縮率が
同積層体と同等以上の材料の押付用ペーストを塗布し、
その後積層体と前記ペーストとを同時焼成することによ
り、焼成時の積層体の膨らみを抑え、これにより内部電
極における金属の凝集を防止し、均一な導体層とするこ
とができたものである。
Therefore, in the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, the shrinkage factor during firing is equal to or higher than that of the laminated body on the surface of the portion where the internal electrodes overlap with each other through the ceramic layer of the unfired laminated body. Apply the pressing paste of the material of
Thereafter, the laminate and the paste are co-fired to suppress the bulging of the laminate at the time of firing, thereby preventing the metal from agglomerating in the internal electrodes and forming a uniform conductor layer.

【0013】押付用ペーストとしては、外部電極を形成
するのに使用される導電ペーストがあげられるが、その
焼成により形成された導体膜が回路等を短絡しないよう
に、その導体膜は絶縁膜で覆う。また、押付用ペースト
として導電ペーストを使用した場合は、その導電ペース
トを積層体の全体を覆うよう塗布し、焼成した後、少な
くとも内部電極が露出した積層体の端部を除いて形成さ
れた導体膜の中間部を除去し、その両端部分を外部電極
として分離すれば、外部電極の形成も同時に行える。
An example of the pressing paste is a conductive paste used to form an external electrode. The conductor film is an insulating film so that the conductor film formed by firing does not short circuit. cover. When a conductive paste is used as the pressing paste, the conductive paste is applied so as to cover the entire laminated body, and after firing, a conductor formed except at least the end portion of the laminated body where the internal electrodes are exposed. The outer electrode can be formed at the same time by removing the intermediate portion of the film and separating both end portions thereof as the outer electrodes.

【0014】押付用ペーストとしては、導電ペーストの
他にセラミックペースト等で絶縁ペーストであって、積
層体を構成するセラミックより焼成時の収縮率の高いも
のを使用することができる。この場合は、押付用ペース
トを積層体の全体を覆うよう塗布し、焼成し後、形成さ
れた膜を少なくとも内部電極が露出した積層体の端部か
ら除去し、その除去した跡に外部電極を形成してもよ
い。セラミック層を介して内部電極が重なり有っている
部分を囲むよう積層体の周囲に押付用ペーストを設ける
と、焼成時の積層体の膨らみを確実に抑えることができ
る。その点では、積層体の全表面に押付用ペーストを塗
布するとさらにその効果が大きい。
As the pressing paste, in addition to the conductive paste, an insulating paste such as a ceramic paste, which has a higher shrinkage rate at the time of firing than the ceramic forming the laminate, can be used. In this case, the pressing paste is applied so as to cover the entire laminated body, and after firing, the formed film is removed from at least the end portion of the laminated body where the internal electrode is exposed, and the external electrode is attached to the removed trace. You may form. When the pressing paste is provided around the laminated body so as to surround the portion where the internal electrodes overlap with each other through the ceramic layer, the bulging of the laminated body during firing can be surely suppressed. In that respect, the effect is further enhanced when the pressing paste is applied to the entire surface of the laminate.

【0015】[0015]

【実施例】次ぎに、本発明の実施例について、積層セラ
ミックコンデンサを製造する場合を例に、具体的に説明
する。例えば、図5に示すように、誘電体セラミック粉
末を有機バインダーに分散させたセラミックスラリーを
シート状に成形してセラミックグリーンシート11、1
1…を作り、スクリーン印刷法等により、このセラミッ
クグリーンシート11、11…の上に導電ペーストで内
部電極パターン15、16を印刷する。そして、この内
部電極パターン15、16が印刷されたセラミックグリ
ーンシート11、11…を、図5に示すように積層し、
さらにその両側に内部電極パターンが印刷されてないセ
ラミックグリーンシート17、17を複数枚積み重ね
る。
[Embodiments] Next, embodiments of the present invention will be specifically described by taking a case of manufacturing a monolithic ceramic capacitor as an example. For example, as shown in FIG. 5, a ceramic slurry in which a dielectric ceramic powder is dispersed in an organic binder is molded into a sheet shape to form a ceramic green sheet 11 or 1.
1 are formed, and the internal electrode patterns 15 and 16 are printed on the ceramic green sheets 11, 11 ... With a conductive paste by a screen printing method or the like. Then, the ceramic green sheets 11, 11 ... With the internal electrode patterns 15, 16 printed are laminated as shown in FIG.
Further, a plurality of ceramic green sheets 17, 17 on which internal electrode patterns are not printed are stacked on both sides thereof.

【0016】こうして得られた積層体を内部電極パター
ンが端面に露出するようにしてチップ状に切断し、図1
(a)に示すような未焼結の積層体23が得られる。図
1(a)において、21、27は、前記セラミックグリ
ーンシート11、17により形成されたセラミック層を
示しており、25、26は、前記内部電極パターン1
5、16により形成された内部電極を示している。
The laminate thus obtained is cut into chips so that the internal electrode patterns are exposed at the end faces, and
An unsintered laminate 23 as shown in (a) is obtained. In FIG. 1A, reference numerals 21 and 27 denote ceramic layers formed by the ceramic green sheets 11 and 17, and 25 and 26 denote the internal electrode patterns 1.
5 shows the internal electrodes formed by 5 and 16.

【0017】次に、積層体23の端部に外部電極2、2
を形成するための導電ペースト22、22を塗布する。
さらに、この積層体23の中間部に、同積層体23を囲
むように押付用ペースト24を塗布する。この押付用ペ
ースト24は、積層体23を構成するセラミック層2
1、27よりも焼成時の収縮率の大きなペーストであ
り、例えば、前記導電ペースト22、22と同じものを
使用できる。押付用ペースト24として外部電極2、2
を形成するための導電ペースト22、22と同じものを
使用すれば、押付用ペースト24と導電ペースト22、
22を同時に塗布することができる。
Next, the external electrodes 2, 2 are attached to the end portions of the laminated body 23.
Conductive pastes 22 and 22 for forming are applied.
Further, a pressing paste 24 is applied to an intermediate portion of the laminated body 23 so as to surround the laminated body 23. The pressing paste 24 is used for the ceramic layer 2 which constitutes the laminated body 23.
It is a paste having a larger shrinkage rate during firing than 1, 27, and, for example, the same paste as the conductive pastes 22, 22 can be used. The external electrodes 2, 2 as the pressing paste 24
If the same conductive pastes 22 and 22 for forming are used, the pressing paste 24 and the conductive paste 22,
22 can be applied simultaneously.

【0018】次に、前記導電ペースト22、22と押付
用ペースト24と共にこの積層体23を焼成する。この
とき、押付用ペースト24が収縮することにより、積層
体23の積層方向への膨らみが抑えられ、セラミック層
21、27の間の内部電極25、26に積層方向の圧力
が加えられることにより、内部電極25、26における
金属の凝集が防止される。
Next, the laminated body 23 is fired together with the conductive pastes 22 and 22 and the pressing paste 24. At this time, contraction of the pressing paste 24 suppresses expansion of the laminate 23 in the lamination direction, and pressure in the lamination direction is applied to the internal electrodes 25 and 26 between the ceramic layers 21 and 27. Agglomeration of metal in the internal electrodes 25, 26 is prevented.

【0019】最後に、前記押付用ペースト24の焼成に
より形成された導体膜4を覆うように樹脂等を塗布し、
焼き付けて絶縁膜8を設けることにより、図1(b)で
示すような積層チップコンデンサが完成する。同図にお
いて、3は焼成済みの積層体、5、6は焼成済みの内部
電極、2、2は焼成済みの外部電極である。
Finally, a resin or the like is applied so as to cover the conductor film 4 formed by firing the pressing paste 24,
By providing the insulating film 8 by baking, a multilayer chip capacitor as shown in FIG. 1B is completed. In the figure, 3 is a fired laminate, 5 and 6 are fired internal electrodes, and 2 and 2 are fired external electrodes.

【0020】なお、押付用ペースト24としては、前記
のような導電ペーストの他に、セラミックペースト等の
絶縁ペーストであって、積層体を構成するセラミックよ
り焼成時の収縮率が同等以上のものを使用することもで
きる。この場合は、焼成により絶縁膜が形成されるた
め、その上にさらに絶縁膜を設ける必要はない。
As the pressing paste 24, in addition to the above-mentioned conductive paste, an insulating paste such as a ceramic paste having a shrinkage rate equal to or higher than that of the ceramic constituting the laminated body when firing is used. It can also be used. In this case, since the insulating film is formed by firing, it is not necessary to further provide the insulating film thereon.

【0021】次に、図2に示す実施例について説明する
と、この実施例では、図2(a)に示すように、一部内
部電極パターン15、16を印刷したセラミックグリー
ンシート11、17を積層し、裁断してなる未焼成の積
層体23の中央部の側面のみに押付用ペースト24、2
4を塗布し、これを積層体23と同時焼成するものであ
る。押付用ペースト24として導電ペーストを用いた場
合、焼成することにより形成された導体膜4を絶縁膜8
で覆うことは、前記の実施例と同様である。押付ペース
トは、このように未焼成の積層体23の積層方向に沿っ
てその側面にのみ塗布し、同時焼成しても同様の作用が
得られる。
Next, the embodiment shown in FIG. 2 will be described. In this embodiment, as shown in FIG. 2A, the ceramic green sheets 11 and 17 on which the internal electrode patterns 15 and 16 are partially printed are laminated. Then, the pressing paste 24, 2 is applied only to the side surface of the central portion of the unfired laminated body 23 formed by cutting.
4 is applied, and this is co-fired with the laminated body 23. When a conductive paste is used as the pressing paste 24, the conductive film 4 formed by firing is replaced with the insulating film 8.
Covering with is the same as in the previous embodiment. Even if the pressing paste is applied to only the side surface of the unfired laminated body 23 along the laminating direction and co-firing, the same effect can be obtained.

【0022】次に、図3に示す実施例について説明する
と、この実施例では、押付用ペースト24として外部電
極2、2を形成するための導電ペーストを用い、図3
(a)に示すように、一部内部電極パターン15、16
を印刷したセラミックグリーンシート11、17を積層
し、裁断してなる未焼成の積層体23の全表面に押付用
ペースト24を塗布し、これを積層体23と同時焼成す
る。その後、図3(b)に示すように、押付用ペースト
24の焼成により形成された導体膜の中間部を研磨や化
学的エッチング等により除去し、導体膜を外部電極2、
2として両端側に分離する。これにより、図3(b)に
示すような積層セラミックコンデンサが完成する。
Next, the embodiment shown in FIG. 3 will be described. In this embodiment, a conductive paste for forming the external electrodes 2 and 2 is used as the pressing paste 24, and FIG.
As shown in (a), some internal electrode patterns 15, 16
The ceramic green sheets 11 and 17 printed with are laminated and cut, and the pressing paste 24 is applied to the entire surface of the unfired laminated body 23, which is co-fired with the laminated body 23. After that, as shown in FIG. 3B, the intermediate portion of the conductor film formed by firing the pressing paste 24 is removed by polishing, chemical etching, or the like, and the conductor film is removed by the external electrode 2.
Separated as 2 at both ends. As a result, a monolithic ceramic capacitor as shown in FIG. 3B is completed.

【0023】この実施例では、押付用ペースト24を積
層体23の全面に塗布するので、塗布工程が容易に行わ
れるが、最終的に導体膜の除去工程を必要とする。ま
た、押付用ペースト24を積層体23の全面に塗布する
ので、焼成時に積層体の膨らみを防止する効果が高い。
In this embodiment, since the pressing paste 24 is applied to the entire surface of the laminated body 23, the applying process is easily performed, but a conductor film removing process is finally required. Moreover, since the pressing paste 24 is applied to the entire surface of the laminate 23, the effect of preventing the laminate from bulging during firing is high.

【0024】次に、図4に示す実施例について説明する
と、この実施例では、押付用ペースト24として導電ペ
ースト或は絶縁ペーストの何れを用いてもよいが、図4
(a)に示すように未焼成の積層体23の全表面に押付
用ペースト24を塗布し、これを積層体23と同時焼成
する。その後、図4(c)に示すように、押付用ペース
ト24の焼成により形成された膜を研磨や化学的エッチ
ング等により全て除去し、その後内部電極5、6が露出
した端部に外部電極2、2を形成する。特に、図示の例
では、まず、焼成済みの積層体3の端面に導電ペースト
を塗布し、これを焼付けて図4(b)に示すような下地
導体膜9、9を形成し、さらにこの下地導体膜9、9を
含む積層体3の端部に導電ペーストを塗布し、これを焼
付けて外部電極2、2を形成する。これにより、図4
(c)に示すような積層セラミックコンデンサが完成す
る。
Next, the embodiment shown in FIG. 4 will be described. In this embodiment, either a conductive paste or an insulating paste may be used as the pressing paste 24.
As shown in (a), the pressing paste 24 is applied to the entire surface of the unfired laminate 23, and this is simultaneously fired with the laminate 23. Thereafter, as shown in FIG. 4C, the film formed by firing the pressing paste 24 is entirely removed by polishing, chemical etching, or the like, and then the external electrode 2 is formed at the end where the internal electrodes 5 and 6 are exposed. 2 is formed. In particular, in the illustrated example, first, a conductive paste is applied to the end surface of the fired laminated body 3 and baked to form the base conductor films 9 and 9 as shown in FIG. A conductive paste is applied to the end portion of the laminated body 3 including the conductor films 9 and 9 and baked to form the external electrodes 2 and 2. As a result, FIG.
A monolithic ceramic capacitor as shown in (c) is completed.

【0025】この実施例では、押付用ペースト24を積
層体23の全面に塗布するので、塗布工程が容易に行わ
れ、さらにその後の膜の除去も積層体3の全面にわたっ
て行われるので、除去工程も容易に行われる。但し、最
終的に外部電極2、2を形成する工程を必要とする。な
お、押付用ペースト24として、絶縁ペーストを使用し
た場合、焼成により形成された膜を積層体3の両端部の
み除去し、その両端部に導電ペーストを塗布し、焼き付
けて外部電極2、2を形成してもよい。
In this embodiment, since the pressing paste 24 is applied to the entire surface of the laminated body 23, the applying step is easily performed, and the subsequent film removal is also performed on the entire surface of the laminated body 3. Therefore, the removing step is performed. Is also easily done. However, a step of finally forming the external electrodes 2 and 2 is required. When an insulating paste is used as the pressing paste 24, the film formed by firing is removed only at both ends of the laminate 3, and a conductive paste is applied to both ends of the film to bake the external electrodes 2 and 2. You may form.

【0026】なお、前述の実施例は、何れも積層セラミ
ックコンデンサを製造する方法であったが、本発明は積
層セラミックインダクタや積層セラミックLC部品等、
内部電極を有する未焼成の積層体を焼成して製造される
他の積層電子部品にも同様にして適用されることは明か
である。
Although the above-described embodiments were all methods for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, the present invention is applicable to monolithic ceramic inductors, monolithic ceramic LC parts, etc.
It is obvious that the same applies to other laminated electronic components manufactured by firing an unfired laminate having internal electrodes.

【0027】次に、本発明の具体例について説明する。 (実施例1)BaTiO3 を主成分とした誘電体セラミ
ック材料粉末にポリビニルブチラール、分散剤、可塑剤
及びトルエンとエタノールの1:1の混合溶剤を加え、
これらをボールミルで混合し、スラリーを得た。得られ
たスラリーをロールコータによりポリエチレンテレフタ
レートフィルム(PETフィルム)からなるベースフィ
ルム上に塗布し、厚さ約10μmのセラミックグリーン
シートを作製した。
Next, a specific example of the present invention will be described. Example 1 Polyvinyl butyral, a dispersant, a plasticizer, and a 1: 1 mixed solvent of toluene and ethanol were added to a dielectric ceramic material powder containing BaTiO 3 as a main component,
These were mixed with a ball mill to obtain a slurry. The obtained slurry was applied on a base film made of a polyethylene terephthalate film (PET film) by a roll coater to prepare a ceramic green sheet having a thickness of about 10 μm.

【0028】このセラミックグリーンシートを所定の寸
法に裁断し、この裁断されたセラミックグリーンシート
上に導体成分としてNi粉末を含む導電ペーストをスク
リーン印刷により塗布し、厚さ約2μmの内部電極パタ
ーンを形成した。この内部電極パターンを印刷したシー
トを複数枚積み重ね、さらに、その両側に内部電極パタ
ーンを印刷してないセラミックグリーンシートを積層
し、この積層体を加熱、加圧して圧着し、得られた積層
体を所定寸法に切断してチップ状にした。
This ceramic green sheet is cut into a predetermined size, and a conductive paste containing Ni powder as a conductor component is applied on the cut ceramic green sheet by screen printing to form an internal electrode pattern having a thickness of about 2 μm. did. A plurality of sheets obtained by printing the internal electrode pattern are stacked, further ceramic green sheets having no internal electrode pattern printed are laminated on both sides of the sheet, and the laminated body is heated, pressed and pressure-bonded to obtain a laminated body. Was cut into a predetermined size into chips.

【0029】Ni粉末を含む導電ペーストを前記セラミ
ック積層体の両端部に塗布すると共に、この導電ペース
トを両端部の間の中間部の周囲に帯状に塗布し、乾燥し
た。その後、この導電ペーストを塗布した積層体を、H
2 が2%含まれたN2 ガス雰囲気中で、1180℃の温
度で焼成した。その後、前記導電ペーストにより形成さ
れた中間部の導体膜を覆うよう樹脂ペーストを塗布し、
これを焼付けて絶縁膜を形成した。また、積層体の端部
に塗布した導電ペーストにより形成された外部電極にN
iメッキと半田メッキとを各々2〜3μmの厚さに形成
した。これにより、図1(b)に示すような積層セラミ
ックコンデンサを得た。この積層セラミックコンデンサ
の100個の静電容量の平均値は1.04μFであっ
た。
A conductive paste containing Ni powder was applied to both ends of the ceramic laminate, and the conductive paste was applied in a strip shape around the intermediate portion between the ends and dried. After that, the laminated body coated with this conductive paste is
It was fired at a temperature of 1180 ° C. in an N 2 gas atmosphere containing 2% of 2. After that, a resin paste is applied so as to cover the conductor film of the intermediate portion formed by the conductive paste,
This was baked to form an insulating film. In addition, the external electrode formed by the conductive paste applied to the end portion of the laminated body has N
The i-plating and the solder-plating were each formed to have a thickness of 2 to 3 μm. As a result, a monolithic ceramic capacitor as shown in FIG. 1 (b) was obtained. The average value of the capacitance of 100 capacitors of this laminated ceramic capacitor was 1.04 μF.

【0030】(実施例2)前記実施例1において、積層
体の中間部に導電ペーストを帯状に塗布したのに代え
て、同様にして積層体のセラミック層を形成する誘電体
セラミックペーストを使用し、最後に絶縁膜を形成しな
かったこと以外は、実施例1と同様にして積層セラミッ
クコンデンサを製造した。この積層セラミックコンデン
サ100個の静電容量の平均値は1.03μFであっ
た。
(Example 2) Instead of applying the conductive paste in a strip shape to the intermediate portion of the laminated body in Example 1, a dielectric ceramic paste for forming a ceramic layer of the laminated body is used in the same manner. A multilayer ceramic capacitor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the insulating film was not formed at the end. The average value of the electrostatic capacitance of 100 laminated ceramic capacitors was 1.03 μF.

【0031】(実施例3)前記実施例1において、積層
体の中間部に導電ペーストを帯状に塗布したのに代え
て、同様にして積層体のセラミック層を形成する誘電体
セラミックペーストより焼成時の収縮率の高いセラミッ
クペーストを使用し、最後に絶縁膜を形成しなかったこ
と以外は、実施例1と同様にして積層セラミックコンデ
ンサを製造した。この積層セラミックコンデンサ100
個の静電容量の平均値は1.05μFであった。
(Embodiment 3) In the same manner as in Embodiment 1, instead of applying the conductive paste in a strip shape to the intermediate portion of the laminated body, a dielectric ceramic paste for forming a ceramic layer of the laminated body is similarly fired. A multilayer ceramic capacitor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the ceramic paste having a high shrinkage ratio was used and no insulating film was finally formed. This multilayer ceramic capacitor 100
The average value of the individual capacitances was 1.05 μF.

【0032】(実施例4)前記実施例1において、積層
体の中間部に導電ペーストを帯状に塗布したのに代え
て、積層体の全表面に導電ペーストを塗布し、焼成した
後、積層体の両端の外部電極部分を除いて中間部分の導
体膜をエッチングにより除去し、それ以外は、実施例1
と同様にして積層セラミックコンデンサを製造した。こ
の積層セラミックコンデンサ100個の静電容量の平均
値は1.05μFであった。
(Embodiment 4) Instead of applying the conductive paste in a strip shape to the intermediate portion of the laminate in the above Embodiment 1, the conductive paste is applied to the entire surface of the laminate and baked, and then the laminate Except for the external electrode portions on both ends of the conductor film, the conductor film in the middle portion is removed by etching.
A multilayer ceramic capacitor was manufactured in the same manner as in. The average value of the electrostatic capacitance of 100 laminated ceramic capacitors was 1.05 μF.

【0033】(比較例)前記実施例1において、積層体
に導電ペーストを塗布せずにそのまま焼成し、その後焼
成後の積層体の端部に導電ペーストを塗布し、焼き付け
て外部電極を形成したこと以外は、実施例1と同様にし
て積層セラミックコンデンサを製造した。この積層セラ
ミックコンデンサ100個の静電容量の平均値は0.9
2μFであった。
(Comparative Example) In Example 1, the laminated body was baked as it was without applying the conductive paste, and then the conductive paste was applied to the end portion of the laminated body after baking and baked to form the external electrodes. A monolithic ceramic capacitor was manufactured in the same manner as in Example 1 except for the above. The average value of the electrostatic capacitance of 100 of these laminated ceramic capacitors is 0.9.
It was 2 μF.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の積層電子部
品では、焼成時の積層体の膨らみを抑え、これにより内
部電極における金属の凝集を防止し、均一な導体層とす
ることができるので、所望の特性を有し、且つ特性の安
定した積層電子部品が得られるという効果を奏する。
As described above, in the laminated electronic component of the present invention, it is possible to suppress the bulging of the laminated body during firing, thereby preventing the metal from aggregating in the internal electrodes and forming a uniform conductor layer. Thus, it is possible to obtain a laminated electronic component having desired characteristics and stable characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例による積層セラミックコンデン
サの製造方法を示す一部断面斜視図である。
FIG. 1 is a partial cross-sectional perspective view showing a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例による積層セラミックコン
デンサの製造方法を示す一部断面斜視図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view showing a method of manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to another embodiment of the present invention.

【図3】本発明のさらに他の実施例による積層セラミッ
クコンデンサの製造方法を示す一部断面斜視図である。
FIG. 3 is a partial cross-sectional perspective view showing a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to still another embodiment of the present invention.

【図4】本発明のさらに他の実施例による積層セラミッ
クコンデンサの製造方法を示す一部断面斜視図である。
FIG. 4 is a partial cross-sectional perspective view showing a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to still another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施例により積層セラミックコンデン
サを製造する際のシートの積層順の例を示す分解斜視図
である。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing an example of a stacking order of sheets when manufacturing a monolithic ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 外部電極 3 焼成済の積層体 4 押付用ペーストにより形成された膜 5 焼成済の内部電極 6 焼成済の内部電極 8 絶縁膜 21 セラミック層 22 導電ペースト 23 未焼成の積層体 24 押付用ペースト 25 未焼成の内部電極 26 未焼成の内部電極 27 セラミック層 2 External Electrodes 3 Baked Laminated Body 4 Film Formed by Pressing Paste 5 Baked Internal Electrodes 6 Baked Internal Electrodes 8 Insulating Film 21 Ceramic Layer 22 Conductive Paste 23 Unfired Laminated Body 24 Pressing Paste 25 Unsintered internal electrode 26 Unsintered internal electrode 27 Ceramic layer

フロントページの続き (72)発明者 藤井 理 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内Front page continuation (72) Inventor Osamu Fujii 6-16-20 Ueno Taito-ku, Tokyo Inside Taiyo Induction Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 未焼成のセラミック層と導電ペーストに
よる内部電極とを交互に積層し、圧着して積層体を得る
工程と、この積層体を焼成する工程と、内部電極パター
ンが露出した積層体の端部に導体ペーストを塗布する工
程と、この導電ペーストを積層体の端部に焼き付けて外
部電極を形成する工程とを有する積層電子部品の製造方
法において、未焼成の積層体のセラミック層を介して内
部電極が重なりあっている部分の表面に、焼成時の収縮
率が同積層体と同等以上の材料の押付用ペーストを塗布
し、その後積層体と前記押付用ペーストとを同時焼成す
ることを特徴とする積層電子部品の製造方法。
1. A step of alternately stacking unfired ceramic layers and internal electrodes made of a conductive paste and press-bonding to obtain a laminated body, a step of firing the laminated body, and a laminated body in which an internal electrode pattern is exposed. In the method for manufacturing a laminated electronic component, which comprises a step of applying a conductor paste to an end of the laminated body and a step of baking the conductive paste on an end of a laminated body to form an external electrode, a ceramic layer of an unfired laminated body is formed. Applying a pressing paste of a material having a shrinkage rate at the same time as that of the same laminated body or more on the surface of the portion where the internal electrodes are overlapped with each other, and then simultaneously firing the laminated body and the pressing paste. A method for manufacturing a laminated electronic component, comprising:
【請求項2】 前記押付用ペーストは導電ペーストであ
って、焼成後に絶縁膜で覆われることを特徴とする前記
請求項1に記載の積層電子部品の製造方法。
2. The method of manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, wherein the pressing paste is a conductive paste and is covered with an insulating film after firing.
【請求項3】 前記押付用ペーストは積層体を囲むよう
に塗布されることを特徴とする前記請求項1または2に
記載の積層電子部品の製造方法。
3. The method for manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, wherein the pressing paste is applied so as to surround the laminated body.
【請求項4】 前記押付用ペーストは外部電極を形成す
るのに使用されるのと同じ導電ペーストであって、その
導電ペーストが積層体の全体を覆うよう塗布され、焼成
された後、少なくとも内部電極が露出した積層体の端部
を除いて形成された導体膜の中間部が除去され、外部電
極として分離されることを特徴とする前記請求項1に記
載の積層電子部品の製造方法。
4. The pressing paste is the same conductive paste as used to form an external electrode, the conductive paste being applied to cover the entire laminate and baked, and then at least the inside. The method for producing a laminated electronic component according to claim 1, wherein an intermediate portion of the conductor film formed except the end portion of the laminated body where the electrode is exposed is removed and separated as an external electrode.
【請求項5】 前記押付用ペーストが積層体の全体を覆
うよう塗布され、焼成された後、形成された膜が少なく
とも内部電極が露出した積層体の端部から除去され、そ
の除去された跡に外部電極が形成されることを特徴とす
る前記請求項1に記載の積層電子部品の製造方法。
5. The pressing paste is applied so as to cover the entire laminated body and baked, and then the formed film is removed from at least the end portion of the laminated body where the internal electrodes are exposed. The method for manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, wherein an external electrode is formed on the substrate.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100493560B1 (en) * 2002-10-10 2005-06-10 (주) 네스 Electric energy storage device
JP2018182107A (en) * 2017-04-14 2018-11-15 太陽誘電株式会社 Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof

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