JP2779896B2 - Manufacturing method of laminated electronic components - Google Patents

Manufacturing method of laminated electronic components

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JP2779896B2
JP2779896B2 JP6074132A JP7413294A JP2779896B2 JP 2779896 B2 JP2779896 B2 JP 2779896B2 JP 6074132 A JP6074132 A JP 6074132A JP 7413294 A JP7413294 A JP 7413294A JP 2779896 B2 JP2779896 B2 JP 2779896B2
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green sheet
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は複数層のセラミック層と
複数層の導電体膜とを交互に積層してなる積層電子部
品、特に積層セラミックコンデンサの製造方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer electronic component comprising a plurality of ceramic layers and a plurality of conductor films alternately stacked, and more particularly to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2は従来の積層セラミックコンデンサ
の一例の断面図である。同図に示すように、この積層セ
ラミックコンデンサは交互に積層した複数層の誘電体層
10と複数層の内部電極11とから構成されている。複
数層の内部電極11のうちで最外に位置する内部電極1
1の外側には一対の保護層12,12が各々積層形成さ
れている。そして、複数層の内部電極11の端部は一対
の外部電極13,13によって交互に電気的に接続され
ている。
2. Description of the Related Art FIG. 2 is a sectional view of an example of a conventional multilayer ceramic capacitor. As shown in FIG. 1, the multilayer ceramic capacitor includes a plurality of dielectric layers 10 and a plurality of internal electrodes 11 alternately stacked. Outermost internal electrode 1 among multiple layers of internal electrodes 11
A pair of protective layers 12 and 12 are respectively formed on the outer side of 1. The ends of the internal electrodes 11 in a plurality of layers are electrically connected alternately by a pair of external electrodes 13.

【0003】ここで、誘電体層10は、例えばチタン酸
バリウムなどの誘電体材料を主成分としたセラミックか
らなる。また、内部電極11は、銀、銀−パラジウム、
パラジウム、白金またはニッケルなどの金属粉を主成分
とした導電性ペーストを焼成して形成した金属膜からな
る。また、保護層12は、誘電体層10と同一組成のセ
ラミックからなる。更に、外部電極13は、内部電極1
1と同一組成の導電性材料からなる。
Here, the dielectric layer 10 is made of a ceramic mainly composed of a dielectric material such as barium titanate. The internal electrode 11 is made of silver, silver-palladium,
It is made of a metal film formed by firing a conductive paste mainly containing a metal powder such as palladium, platinum or nickel. The protective layer 12 is made of ceramic having the same composition as the dielectric layer 10. Further, the external electrode 13 is
1 is made of a conductive material having the same composition.

【0004】次に、この従来の積層セラミックコンデン
サの製造方法の一例について説明する。
Next, an example of a method for manufacturing the conventional multilayer ceramic capacitor will be described.

【0005】まず、チタン酸バリウム等のセラミック粉
末に有機バインダーと有機溶剤等を加えて混練し、チタ
ン酸バリウム粉末を主成分とするスラリーを作成する。
そして、このスラリーを、走行するポリエチレンテレフ
タレート(以下、PETという。)フィルム上にドクタ
ーブレード法で膜状に塗布し、この膜状のスラリーをそ
のままPETフィルム上で乾燥させ、チタン酸バリウム
粉末を主成分とするセラミックグリーンシートを得る。
First, an organic binder, an organic solvent, and the like are added to ceramic powder such as barium titanate and kneaded to prepare a slurry containing barium titanate powder as a main component.
The slurry is applied to a running polyethylene terephthalate (PET) film in a film form by a doctor blade method, and the film-form slurry is dried on a PET film as it is to obtain a barium titanate powder. A ceramic green sheet as a component is obtained.

【0006】次に、このセラミックグリーンシート上に
導電性ペースト膜をスクリーン印刷法により所定パター
ンで印刷・形成する。そして、この導電性ペースト膜を
形成したセラミックグリーンシートを複数枚、導電性ペ
ースト膜がセラミックグリーンシートを挟んで対向する
ように積層する。更に、この積層した複数枚のセラミッ
クグリーンシートの上下面に、導電性ペーストを印刷し
てないセラミックグリーンシートを数枚ずつ積層する。
そして、上下方向から大きな圧力を加えてこれらのセラ
ミックグリーンシート全体を圧着させる。
Next, a conductive paste film is printed and formed in a predetermined pattern on the ceramic green sheet by a screen printing method. Then, a plurality of ceramic green sheets on which the conductive paste films are formed are stacked so that the conductive paste films face each other with the ceramic green sheets interposed therebetween. Further, several ceramic green sheets on which the conductive paste is not printed are stacked on the upper and lower surfaces of the plurality of stacked ceramic green sheets.
Then, a large pressure is applied from above and below to press the entirety of these ceramic green sheets.

【0007】次に、積層状態にあるこれらのセラミック
グリーンシートを小さなサイコロ状に切断して積層体チ
ップとし、この積層体チップを1200〜1400℃で
焼成する。この焼成により、導電性ペースト膜は焼結し
て金属性の膜からなる内部電極となり、内部電極に挟ま
れた部分のセラミックグリーンシートは焼結してセラミ
ックシートからなる誘電体層となり、最外の内部電極の
外側に位置するセラミックグリーンシートは焼結してセ
ラミックシートからなる保護層となる。
Next, these ceramic green sheets in a laminated state are cut into small dice to form a laminated chip, and the laminated chip is fired at 1200 to 1400 ° C. By this firing, the conductive paste film is sintered to become an internal electrode made of a metal film, and the ceramic green sheet sandwiched between the internal electrodes is sintered to become a dielectric layer made of a ceramic sheet, The ceramic green sheet located outside the internal electrode is sintered to form a protective layer made of the ceramic sheet.

【0008】次に、この焼成された積層体チップの両端
面に導電性ペーストを焼き付けて外部電極とし、この外
部電極によって内部電極を交互に電気的に接続させて積
層セラミックコンデンサを完成させる。
Next, a conductive paste is baked on both end surfaces of the fired multilayer chip to form external electrodes, and the internal electrodes are alternately electrically connected by the external electrodes to complete a multilayer ceramic capacitor.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の積層セラミックコンデンサの製造方法において、積
層体チップを焼成させた場合、内部電極用の導電性ペー
スト膜の焼成収縮率と保護層用のセラミックグリーンシ
ートの焼成収縮率とがかなり異なるので、不均一な内部
応力を生じ、形成された積層体チップの保護層と内部電
極とが、図2に部分Aで示すように、局部的に剥離(以
下、「デラミネーション」という。)し、電気的特性に
バラツキを生じさせてしまうことがあった。
In the above-mentioned conventional method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, when the multilayer chip is fired, the firing shrinkage of the conductive paste film for the internal electrode and the ceramic shrinkage for the protective layer are reduced. Since the firing shrinkage of the green sheet is considerably different, uneven internal stress is generated, and the protective layer and the internal electrode of the formed laminated chip are locally peeled off as shown by the portion A in FIG. Hereinafter, this will be referred to as “delamination”), which may cause variations in electrical characteristics.

【0010】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、内部応力を均一にした、内部電
極と保護層との間でデラミネーションを生じさせないよ
うにした積層セラミックコンデンサの製造方法、ひいて
は電気的特性にバラツキの少ない積層電子部品の製造方
法を得ることを目的とするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has a multilayer ceramic capacitor in which internal stress is made uniform and delamination is not caused between an internal electrode and a protective layer. It is an object of the present invention to obtain a method of manufacturing a multilayer electronic component having less variation in electrical characteristics.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の積層電子部品の製造方法は、交互に積層さ
れているセラミックグリーンシートと導電性ペースト
膜、及び該導電性ペースト膜のうちで最外に位置する一
対の導電性ペースト膜の外側に積層されている一対の保
護層用セラミックグリーンシートとからなる積層体チッ
プを形成し、この積層体チップを焼成して焼結させ、こ
の積層体チップの端部に導電性ペーストを焼き付けて外
部電極を形成し、焼結した前記導電性ペースト膜からな
る内部電極を該外部電極によって交互に電気的に接続さ
せてなる積層電子部品の製造方法において、前記保護層
用セラミックグリーンシートとして、前記セラミックグ
リーンシートの焼成収縮率よりも前記導電性ペースト膜
の焼成収縮率に近い焼成収縮率を有するセラミックグリ
ーンシートを用いた。
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention comprises the steps of: alternately laminating a ceramic green sheet and a conductive paste film; A laminated chip composed of a pair of ceramic green sheets for a protective layer laminated outside a pair of conductive paste films located at the outermost position is formed, and the laminated chip is fired and sintered. Manufacture of a laminated electronic component in which an external electrode is formed by baking a conductive paste on an end portion of a multilayer chip and internal electrodes made of the sintered conductive paste film are alternately electrically connected by the external electrode. In the method, as the ceramic green sheet for the protective layer, a firing rate closer to a firing shrinkage rate of the conductive paste film than a firing shrinkage rate of the ceramic green sheet is used. Using a ceramic green sheet having a shrinkage.

【0012】ここで、誘電体層の材料としては、例え
ば、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタ
ン酸鉛等の誘電体を主成分としたセラミックを使用する
ことができる。また、内部電極の材料としては、銀、銀
−パラジウム、白金またはニッケルなどを主成分とする
導電性ペーストを焼成した膜状のものを使用することが
できる。
Here, as a material of the dielectric layer, for example, a ceramic mainly composed of a dielectric such as barium titanate, strontium titanate, and lead titanate can be used. Further, as a material of the internal electrode, a film-like material obtained by firing a conductive paste containing silver, silver-palladium, platinum, nickel, or the like as a main component can be used.

【0013】 保護層用セラミックグリーンシートの焼
成収縮率を導電性ペースト膜の焼成収縮率に近付ける方
法としては、例えば保護層用セラミックグリーンシート
に誘電体用セラミックグリーンシートよりも金属及び/
または金属酸化物を多く含有させて、シート組成を誘電
体用セラミックグリーンシートと異なるようにする方法
を挙げることができる。なお、ここで、保護層用セラミ
ックグリーンシートの焼成収縮率を導電性ペースト膜の
焼成収縮率に近付けるのは、デラミネーション、クラッ
ク等を防止するためであり、従って、焼成収縮率は焼成
の際の経時的な収縮率を意味する。
As a method of making the firing shrinkage of the ceramic green sheet for the protective layer closer to the firing shrinkage of the conductive paste film, for example, the ceramic green sheet for the protective layer is made of a metal and / or a metal which is less than the ceramic green sheet for the dielectric.
Alternatively, a method of adding a large amount of a metal oxide to make the sheet composition different from that of the ceramic green sheet for a dielectric can be used. Here, the protective layer ceramic
The firing shrinkage of the black green sheet
Delamination, cracking, etc.
Therefore, the firing shrinkage ratio is
Means the rate of shrinkage over time.

【0014】保護層用セラミックグリーンシート中に含
有される金属および/または金属酸化物としては、前記
導電性ペースト膜の主成分金属と同じ金属および/また
はその金属の酸化物が、所望の特性の積層電子部品を製
造する上で、好ましい。
As the metal and / or metal oxide contained in the ceramic green sheet for the protective layer, the same metal as the main component metal of the conductive paste film and / or an oxide of the metal may have desired characteristics. It is preferable in manufacturing a laminated electronic component.

【0015】[0015]

【作用】請求項1〜3記載の発明によれば、積層体チッ
プを焼成した場合、保護層用セラミックグリーンシート
が内部電極用の導電性ペースト膜の収縮率に近い状態で
収縮するので、保護層用セラミックグリーンシートの収
縮によって積層電子部品の内部に大きな応力が不均一に
かからず、積層電子部品の内部が比較的均一に焼結す
る。
According to the first to third aspects of the present invention, when the laminated chip is fired, the ceramic green sheet for the protective layer shrinks in a state close to the shrinkage rate of the conductive paste film for the internal electrode. A large stress is not unevenly applied to the inside of the multilayer electronic component due to the shrinkage of the layer ceramic green sheet, and the inside of the multilayer electronic component sinters relatively uniformly.

【0016】また、請求項2記載の発明によれば、更
に、別組成のシートを用意するだけでよいので、保護層
用セラミックグリーンシートの焼成収縮率を変えるため
の別途の工程を設ける必要がない。
According to the second aspect of the present invention, it is only necessary to prepare a sheet having a different composition. Therefore, it is necessary to provide a separate step for changing the firing shrinkage of the ceramic green sheet for the protective layer. Absent.

【0017】また、請求項3記載の発明によれば、更
に、積層セラミックコンデンサについて焼成の際におけ
る導電性ペースト膜と保護層用セラミックグリーンシー
トとの間の収縮量の差が小さくなるので、不均一な内部
応力が生じず、デラミネーションが生じない。
According to the third aspect of the present invention, the difference in the amount of shrinkage between the conductive paste film and the ceramic green sheet for the protective layer during firing of the multilayer ceramic capacitor is further reduced. No uniform internal stress occurs and no delamination occurs.

【0018】[0018]

【実施例】【Example】

実施例1〜4および比較例1〜4 チタン酸バリウム粉末、ポリビニルブチラール、エタノ
ール、水及びリン酸エステル系分散剤を表1に示す割合
で秤量し、これらをボールミルに入れて約24時間混合
し、チタン酸バリウム粉末を主成分とするスラリーを作
成した。
Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 Barium titanate powder, polyvinyl butyral, ethanol, water and a phosphate dispersant were weighed at the ratio shown in Table 1, and these were put in a ball mill and mixed for about 24 hours. Then, a slurry containing barium titanate powder as a main component was prepared.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【0020】次に、走行するPETフィルム上に、この
スラリーを、ドクターブレード法で、所定の厚さに膜状
に塗布し、更に、この膜状に塗布したスラリーをPET
フィルムの走行中に乾燥させ、所定の大きさに裁断し、
チタン酸バリウムを主成分とする誘電体層用セラミック
グリーンシートを形成した。
Next, the slurry is applied to a running PET film by a doctor blade method to a predetermined thickness in the form of a film.
Dry while running the film, cut to a predetermined size,
A ceramic green sheet for a dielectric layer containing barium titanate as a main component was formed.

【0021】次に、この誘電体層用セラミックグリーン
シート上に、ニッケル、エチルセルロース及びブチルカ
ルビトールを表2に示す割合で含有する導電性ペースト
を、スクリーン印刷法により、所定パターンで印刷し
て、内部電極用の導電性ペースト膜を形成した。
Next, a conductive paste containing nickel, ethylcellulose and butyl carbitol at a ratio shown in Table 2 is printed in a predetermined pattern on the ceramic green sheet for a dielectric layer by a screen printing method. A conductive paste film for an internal electrode was formed.

【0022】[0022]

【表2】 [Table 2]

【0023】また、チタン酸バリウム粉末、ニッケル粉
末、ポリビニルブチラール、エタノール及びリン酸エス
テル系分散剤を表3に示す割合で秤量し、これらをボー
ルミルに入れて約24時間混合し、得られたスラリーを
誘電体用セラミックグリーンシート作成の場合と同様に
して、保護層用セラミックグリーンシートを作成した。
この保護層用セラミックグリーンシートには、チタン酸
バリウム100重量部に対し、ニッケル粉末が1〜40
重量部の範囲で誘電体層用セラミックグリーンシートよ
りも多く含有している。
Further, barium titanate powder, nickel powder, polyvinyl butyral, ethanol and a phosphate dispersant were weighed in the proportions shown in Table 3, and they were placed in a ball mill and mixed for about 24 hours to obtain a slurry. Was prepared in the same manner as in the preparation of the ceramic green sheet for the dielectric.
This protective layer ceramic green sheet contains nickel powder in an amount of 1 to 40 with respect to 100 parts by weight of barium titanate.
In the range of parts by weight, it is contained more than the ceramic green sheet for the dielectric layer.

【0024】[0024]

【表3】 [Table 3]

【0025】次に、内部電極用の導電性ペースト膜を印
刷した誘電体層用セラミックグリーンシートを数層から
数十層積層し、更にその上下面に保護層用セラミックグ
リーンシートを数層積層し、上下方向から大きな圧力を
加えてこれらのセラミックグリーンシート全体を圧着さ
せた。そして、積層・圧着させたこれらのセラミックグ
リーンシートを切断して、小さなサイコロ状の積層体チ
ップを形成した。
Next, several to several tens of ceramic green sheets for dielectric layers on which conductive paste films for internal electrodes are printed are laminated, and several ceramic green sheets for protective layers are laminated on the upper and lower surfaces. A large pressure was applied from above and below to press the entirety of these ceramic green sheets. These laminated and pressed ceramic green sheets were cut to form small dice-like laminated chips.

【0026】次に、この積層体チップを1200〜14
00℃で焼成した。この焼成により導電性ペースト膜は
焼結して金属性の膜からなる内部電極となり、内部電極
に挟まれた部分のセラミックグリーンシートは焼結して
セラミックシートからなる誘電体層となり、最外の内部
電極の外側に位置するセラミックグリーンシートは焼結
してセラミックシートからなる保護層となった。
Next, the laminated chips are put into
Fired at 00 ° C. By this firing, the conductive paste film is sintered to become an internal electrode made of a metallic film, and the ceramic green sheet sandwiched between the internal electrodes is sintered to become a dielectric layer made of a ceramic sheet, The ceramic green sheet located outside the internal electrode was sintered to form a protective layer made of the ceramic sheet.

【0027】ここで、保護層用セラミックグリーンシー
ト中に含有されていたニッケル粉末は、焼成が酸化性雰
囲気で行われた場合は酸化ニッケルになり、還元性雰囲
気で行われた場合は金属状態のニッケルのままで存在す
ることになる。
Here, the nickel powder contained in the ceramic green sheet for the protective layer becomes nickel oxide when firing is performed in an oxidizing atmosphere, and becomes metallic when firing is performed in a reducing atmosphere. It will be present as nickel.

【0028】次に、この焼成された積層体チップの両端
面にニッケル粉末を主成分とする導電性ペーストを焼き
付けて一対の外部電極とし、この外部電極によって内部
電極を交互に電気的に接続させ、図1に示すような積層
セラミックコンデンサを完成させた。
Next, a conductive paste containing nickel powder as a main component is baked on both end surfaces of the fired laminated chip to form a pair of external electrodes, and the internal electrodes are electrically connected alternately by the external electrodes. Thus, a multilayer ceramic capacitor as shown in FIG. 1 was completed.

【0029】この積層セラミックコンデンサは、同図に
示すように、複数層の誘電体層20と複数層の内部電極
21とが交互に積層され、複数層の内部電極21のうち
で、最外の内部電極21の外側には、一対の保護層2
2,22が積層され、複数層の内部電極21の端部は一
対の外部電極23,23によって交互に電気的に接続さ
れている。
In this multilayer ceramic capacitor, as shown in the figure, a plurality of dielectric layers 20 and a plurality of internal electrodes 21 are alternately laminated, and the outermost one of the plurality of internal electrodes 21 is formed. Outside the internal electrode 21, a pair of protective layers 2
2 and 22 are laminated, and the ends of the internal electrodes 21 of a plurality of layers are electrically connected alternately by a pair of external electrodes 23 and 23.

【0030】得られたこの積層セラミックコンデンサに
ついて、保護層用セラミックグリーンシート中に含有さ
れているニッケル(Ni)粉末の重量(チタン酸バリウ
ム100重量部に対する重量部)と、デラミネーション
の発生率(%) および外部電極23,23間の絶縁抵抗
(MΩ)との関係を調べたところ、表4に示す通りとな
った。
With respect to the obtained multilayer ceramic capacitor, the weight of nickel (Ni) powder (parts by weight based on 100 parts by weight of barium titanate) contained in the ceramic green sheet for the protective layer, and the rate of delamination ( %) And the insulation resistance (MΩ) between the external electrodes 23, 23, the results were as shown in Table 4.

【0031】[0031]

【表4】 [Table 4]

【0032】以上の結果から、保護層用セラミックグリ
ーンシート中にニッケル粉末がチタン酸バリウム粉末1
00重量部に対して5重量部以上、誘電体層20より多
く含有していると、デラミネーションの発生率が0%に
なることがわかった。ただし、保護層セラミックグリー
ンシート中に含有しているニッケル粉末の量がチタン酸
バリウム粉末100重量部に対して40重量部以上、誘
電体層用セラミックグリーンシートより多いと、外部電
極23,23間の絶縁抵抗が大幅に低下して、コンデン
サとして使用できなくなってしまった。
From the above results, it was found that the nickel powder contained barium titanate powder 1 in the ceramic green sheet for the protective layer.
It has been found that when the content is more than 5 parts by weight and more than the dielectric layer 20 with respect to 00 parts by weight, the occurrence rate of delamination becomes 0%. However, if the amount of the nickel powder contained in the protective layer ceramic green sheet is at least 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the barium titanate powder and is larger than that of the dielectric layer ceramic green sheet, the distance between the external electrodes 23 is reduced. Greatly reduced the insulation resistance, making it unusable as a capacitor.

【0033】従って、保護層用セラミックグリーンシー
ト中に誘電体層用セラミックグリーンシートより多く含
有するニッケル粉末の重量は、チタン酸バリウム粉末1
00重量部に対して、5〜35重量部の範囲、すなわち
実施例1〜4の範囲が好ましい。
Accordingly, the weight of the nickel powder contained in the ceramic green sheet for the protective layer more than that of the ceramic green sheet for the dielectric layer is as follows.
The range of 5 to 35 parts by weight, that is, the range of Examples 1 to 4 is preferable with respect to 00 parts by weight.

【0034】実施例5〜9 保護層用セラミックグリーンシート中に、表5に示す種
類の金属粉を、チタン酸バリウム100重量部に対して
10重量部、誘電体層用セラミックグリーンシートより
も多く含有している以外は、実施例1〜4と同様にし
て、積層セラミックコンデンサを製造し、この積層セラ
ミックコンデンサについて、デラミネーションの発生率
(%) と外部電極間の絶縁抵抗(MΩ)を検査したとこ
ろ、表5に示す通りとなった。
Examples 5 to 9 In the ceramic green sheet for the protective layer, 10 parts by weight of metal powder of the type shown in Table 5 was added to 100 parts by weight of barium titanate, more than the ceramic green sheet for the dielectric layer. A multilayer ceramic capacitor was manufactured in the same manner as in Examples 1 to 4 except that the multilayer ceramic capacitor was contained.
(%) And the insulation resistance (MΩ) between the external electrodes were as shown in Table 5.

【0035】[0035]

【表5】 [Table 5]

【0036】以上の結果から、保護層用セラミックグリ
ーンシート中にニッケル以外の金属粉を含有させても同
様の効果が得られることがわかった。
From the above results, it was found that the same effect can be obtained even when a metal powder other than nickel is contained in the ceramic green sheet for the protective layer.

【0037】実施例10〜12 保護層用セラミックグリーンシート中に、表6に示す2
種以上の金属粉を、チタン酸バリウム100重量部に対
して10重量部、誘電体層用セラミックグリーンシート
よりも多く含有させた以外は、実施例1〜4と同様にし
て、積層セラミックコンデンサを製造し、この積層セラ
ミックコンデンサについて、デラミネーションの発生率
(%) と外部電極間の絶縁抵抗(MΩ)を検査したとこ
ろ、表6に示す通りとなった。
Examples 10 to 12 In the ceramic green sheet for the protective layer, 2 shown in Table 6
A multilayer ceramic capacitor was prepared in the same manner as in Examples 1 to 4, except that at least 10 kinds of metal powders were contained in 100 parts by weight of barium titanate, more than the ceramic green sheet for a dielectric layer. Manufacture and delamination rate of this multilayer ceramic capacitor
(%) And the insulation resistance (MΩ) between the external electrodes were inspected.

【0038】[0038]

【表6】 [Table 6]

【0039】以上の結果から、保護層用セラミックグリ
ーンシート中に2種以上の金属粉を含有させても同様の
効果が得られることがわかった。
From the above results, it was found that the same effect can be obtained even when two or more kinds of metal powders are contained in the ceramic green sheet for the protective layer.

【0040】[0040]

【発明の効果】請求項1〜3記載の発明によれば、積層
体チップを焼成した場合、保護層用セラミックグリーン
シートが内部電極用の導電性ペースト膜の収縮率に近い
状態で収縮するので、保護層用セラミックグリーンシー
トの収縮によって積層電子部品の内部に大きな応力が不
均一にかからず、積層電子部品の内部が比較的均一に焼
結する。従って、内部応力が比較的均一な、電気的特性
にバラツキの少ない積層電子部品を得ることができる。
また、積層数の多い積層電子部品を得ることができる。
According to the first to third aspects of the present invention, when the laminated chip is fired, the ceramic green sheet for the protective layer contracts in a state close to the contraction rate of the conductive paste film for the internal electrode. In addition, a large stress is not unevenly applied to the inside of the multilayer electronic component due to the shrinkage of the ceramic green sheet for the protective layer, and the inside of the multilayer electronic component sinters relatively uniformly. Therefore, it is possible to obtain a multilayer electronic component having relatively uniform internal stress and little variation in electrical characteristics.
Further, a laminated electronic component having a large number of laminated layers can be obtained.

【0041】また、請求項2記載の発明によれば、更
に、別組成のシートを用意するだけでよいので、保護層
用セラミックグリーンシートの焼成収縮率を変えるため
の別途の工程を設ける必要がなく、従って、請求項1記
載の積層電子部品を容易に実現できる。
According to the second aspect of the present invention, since it is only necessary to prepare a sheet having a different composition, it is necessary to provide a separate step for changing the firing shrinkage of the ceramic green sheet for the protective layer. Therefore, the laminated electronic component according to claim 1 can be easily realized.

【0042】また、請求項3記載の発明によれば、更
に、積層セラミックコンデンサについてデラミネーショ
ンを防止できるので、積層セラミックコンデンサの歩留
りを向上させ、コストダウンを図ることができる。
Further, according to the third aspect of the present invention, since delamination of the multilayer ceramic capacitor can be prevented, the yield of the multilayer ceramic capacitor can be improved and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は本発明に係る積層セラミックコンデンサ
の製造方法によって製造された積層セラミックコンデン
サの一例の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of an example of a multilayer ceramic capacitor manufactured by a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention.

【図2】図2は従来の積層セラミックコンデンサの製造
方法によって製造された積層セラミックコンデンサの一
例の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of an example of a multilayer ceramic capacitor manufactured by a conventional method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 誘電体層 21 内部電極 22 保護層 23 外部電極 Reference Signs List 20 dielectric layer 21 internal electrode 22 protective layer 23 external electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01G 4/12 364 H01G 4/12 346──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01G 4/12 364 H01G 4/12 346

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 交互に積層されているセラミックグリー
ンシートと導電性ペースト膜、及び該導電性ペースト膜
のうちで最外に位置する一対の導電性ペースト膜の外側
に積層されている一対の保護層用セラミックグリーンシ
ートとからなる積層体チップを形成し、この積層体チッ
プを焼成して焼結させ、この積層体チップの端部に導電
性ペーストを焼き付けて外部電極を形成し、焼結した前
記導電性ペースト膜からなる内部電極を該外部電極によ
って交互に電気的に接続させてなる積層電子部品の製造
方法において、 前記保護層用セラミックグリーンシートとして、前記セ
ラミックグリーンシートの焼成収縮率よりも前記導電性
ペースト膜の焼成収縮率に近い焼成収縮率を有するセラ
ミックグリーンシートを用いたことを特徴とする積層電
子部品の製造方法。
1. A ceramic green sheet and a conductive paste film alternately laminated, and a pair of protection layers laminated outside a pair of outermost conductive paste films among the conductive paste films. A laminated chip composed of a ceramic green sheet for a layer was formed, the laminated chip was fired and sintered, and a conductive paste was baked on the end of the laminated chip to form an external electrode, which was then sintered. In the method for manufacturing a laminated electronic component in which internal electrodes made of the conductive paste film are electrically connected alternately by the external electrodes, the ceramic green sheet for the protective layer may be more than a firing shrinkage rate of the ceramic green sheet. A laminated electronic device using a ceramic green sheet having a firing shrinkage ratio close to the firing shrinkage ratio of the conductive paste film. Method of manufacturing the goods.
【請求項2】 前記保護層用セラミックグリーンシート
は、前記セラミックグリーンシートと異なる組成のもの
からなることを特徴とする請求項1記載の積層電子部品
の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the ceramic green sheet for the protective layer has a composition different from that of the ceramic green sheet.
【請求項3】 前記積層電子部品が積層セラミックコン
デンサであることを特徴とする請求項1又は2記載の積
層電子部品の製造方法。
3. The method for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 1, wherein the multilayer electronic component is a multilayer ceramic capacitor.
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