JPH0845695A

JPH0845695A - 軟ｘ線を利用した除電装置

Info

Publication number: JPH0845695A
Application number: JP18163994A
Authority: JP
Inventors: Kenkichi Izumi; 健吉和泉; Isao Sugano; 功菅野; Masayoshi Ishikawa; 昌義石川
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK; Shishido Electrostatic Ltd
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK; Shishido Electrostatic Ltd
Priority date: 1994-08-02
Filing date: 1994-08-02
Publication date: 1996-02-16
Anticipated expiration: 2020-09-21
Also published as: JP3696904B2

Abstract

(57)【要約】【目的】照射窓７の汚れによる軟Ｘ線量の減少を防止
すると共に、軟Ｘ線により生成された空気イオンを帯電
体に効果的に作用させて除電性能を高める。【構成】該除電装置は、軟Ｘ線照射装置２の外面に沿
って設けられた空気流通路３と、エアフィルタ１２を介
して該空気流通路３に強制的に空気を供給する送風ファ
ン１０とを備える。空気流通路３は、供給された空気が
軟Ｘ線照射装置２の照射窓７を覆って流れ込むように形
成する。該照射窓７の前方に、照射窓７に流れ込んだ空
気が軟Ｘ線の照射方向と同一方向に噴出される空気噴出
口１４を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラスチック、セラミ
ックス、金属等に帯電した静電気を軟Ｘ線を利用して除
電する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラスチック、セラミックス、金属等に
帯電した静電気を除電する装置としては、コロナ放電式
の除電装置が知られている。かかる除電装置では、放電
電極に電圧を印加することによって該放電電極に正，負
の空気イオンを生成し、生成された空気イオンを送風フ
ァン等を用いて帯電体に向けて吹き付けることにより該
帯電体の電荷を中和するようにしたものである。

【０００３】ところが、このようなコロナ放電式の除電
装置においては、帯電体が放電電極から離れた位置にあ
ると、放電電極で生成された空気イオンが帯電体まで十
分に届かず、除電効果が極端に低くなってしまうという
不都合があった。

【０００４】このような不都合を解消するために、軟Ｘ
線の空気イオン化能力を利用した除電装置が提案されて
いる。かかる除電装置は軟Ｘ線照射装置を備えたもの
で、該装置の軟Ｘ線照射部から帯電体に向けて軟Ｘ線を
照射することにより、該軟Ｘ線が帯電体に到達した位置
で該軟Ｘ線による空気イオンの生成がなされ、該空気イ
オンによって帯電体の電荷を中和するようにしたもので
ある。

【０００５】かかる除電装置においては、軟Ｘ線が帯電
体に到達した位置で空気イオンが生成されるため、帯電
体が軟Ｘ線照射部から離れた位置にあっても良好な除電
効果を得ることができる。

【０００６】しかしながら、このように軟Ｘ線を利用し
た除電装置においては、放射線源による汚染を防止する
等の理由から非常に弱いＸ線が用いられるため、前記軟
Ｘ線照射部に空気中の塵埃等が付着して汚れてくると、
この汚れによって軟Ｘ線の大部分が吸収されてしまい、
除電に有効に利用できる軟Ｘ線量が減少して除電性能が
低下するという不都合があった。また、上述した空気イ
オンは帯電体と軟Ｘ線照射部との間で生成されるが、該
帯電体の除電に関与するのは主に軟Ｘ線により帯電体近
傍で生成される空気イオンであるため、該帯電体の手前
側の空間で生成された空気イオンを有効に利用すること
ができないという不都合があった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる不都合
を解消するためになされたものであり、軟Ｘ線照射部の
汚れによる軟Ｘ線量の減少を良好に防止して除電性能を
高めることができる軟Ｘ線を利用した除電装置を提供す
ることを目的とする。

【０００８】また、本発明は、軟Ｘ線照射部の汚れによ
る軟Ｘ線量の減少を良好に防止することができるととも
に、軟Ｘ線により生成されたガスイオンを帯電体に有効
に作用させて除電性能をより高めることができる軟Ｘ線
を利用した除電装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、帯電体に向けて軟Ｘ線を照射する軟Ｘ
線照射部を有する軟Ｘ線照射装置を備え、前記軟Ｘ線に
より生成された正，負のガスイオンによって該帯電体に
帯電した電荷を中和するようにした除電装置において、
前記軟Ｘ線照射部を覆うようなガスの流れを形成するガ
ス流形成手段を備えたことを特徴とする。

【００１０】また、本発明は、前記ガス流形成手段が、
前記軟Ｘ線照射装置の周囲に設けられたガス流通路と、
該ガス流通路に強制的にガスを供給するガス供給手段と
を備え、該ガス流通路は、前記ガス供給手段によって供
給されたガスが前記軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むよう
に形成され、該軟Ｘ線照射部の前方には、該軟Ｘ線照射
部に流れ込んだガスが前記軟Ｘ線照射部から照射される
軟Ｘ線の照射方向に向けて噴出されるガス噴出口が該ガ
ス流通路に連通して形成されていることを特徴とする。

【００１１】前記ガス流通路と前記ガス供給手段との間
には、フィルタを設けるのが好ましい。この場合、該フ
ィルタによる供給ガスの圧力損失が大きいときには、前
記ガス供給手段によって前記ガス流通路に圧縮ガスを供
給するとよい。

【００１２】さらに、本発明は、前記ガス流通路の内部
圧力を検知する圧力検知手段と、該圧力検知手段により
検知される前記ガス流通路の内部圧力が所定値より低下
した時、前記軟Ｘ線照射装置への通電を停止する通電停
止手段とを備えたことを特徴とする。

【００１３】さらに、本発明は、前記ガス噴出口の開口
面積を調整する開口面積調整手段と、該ガス噴出口の開
口面積に応じて前記ガス供給手段による前記ガス流通路
へのガス供給量を調整するガス供給量調整手段とを備え
たことを特徴とする。

【００１４】この場合、前記ガス噴出口の開口面積を検
知する開口面積検知手段を備え、前記ガス供給量調整手
段が、該開口面積検知手段により検知される前記ガス噴
出口の開口面積に応じて前記ガス供給手段によるガス流
通路へのガス供給量を制御するのが好ましい。

【００１５】さらに、本発明は、前記ガス噴出口から噴
出されるガスの噴出方向を変化させる噴出方向可変手段
を備えたことを特徴とする。

【００１６】さらに、本発明は、前記噴出方向可変手段
は、ガスの噴出方向を該噴出方向に対して直交する方向
に変化させることを特徴とする。

【００１７】さらに、本発明は、ガスの噴出方向を該噴
出方向に対して直交する方向に変化させつつ該ガス噴出
口を周方向に回動させることを特徴とする。

【００１８】さらに、本発明は、前記帯電体の表面の所
定箇所に複数個配置されて該帯電体の表面電位を検知す
る表面電位検知手段と、該表面電位検知手段により検知
される帯電体の表面電位に応じて前記噴出方向可変手段
を制御する噴出方向制御手段とを備え、該噴出方向制御
手段は、前記複数の表面電位検知手段の内で最も高い表
面電位が検知された帯電体の表面に向けてガスが噴出さ
れるように前記噴出方向可変手段を制御することを特徴
とする。

【００１９】

【作用】本発明によれば、軟Ｘ線照射部に塵埃等が付着
しようとしても該軟Ｘ線照射部を覆うように流れるガス
によって吹き飛ばされるので、従来のように該軟Ｘ線照
射部の汚れによって軟Ｘ線が吸収されるのが良好に回避
される。従って、軟Ｘ線照射部から照射された該軟Ｘ線
が帯電体に到達した位置で良好なガスイオンの生成がな
されて帯電体が良好に除電される。

【００２０】ガス供給手段によってガス流通路に供給さ
れたガスを軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むようにすると
共に、該流れ込んだガスをガス噴出口から軟Ｘ線の照射
方向に向けて噴出させるようにすると、軟Ｘ線照射部に
流れ込んだガスによって該軟Ｘ線照射部に付着しようと
する塵埃等が吹き飛ばされ、更には、該塵埃等を吹き飛
ばした後にガス噴出口から噴出されたガス流によって、
帯電体と軟Ｘ線照射部との間の空間で生成されたガスイ
オンが帯電体まで移送されるので、該空間で生成された
ガスイオンを該帯電体に有効に作用させることが可能と
なる。

【００２１】ガス流通路とガス供給手段との間にフィル
タを設けた場合には、軟Ｘ線照射部に清浄なガスを吹き
付けることができるので、該軟Ｘ線照射部に塵埃等が付
着するのをより効果的に防止することが可能となる。こ
の場合、該フィルタによる供給ガスの圧力損失が大きい
と、ガス噴出口から噴出されるガスの噴出圧力が低下す
るので、ガス流通路に所定の圧力の圧縮ガスを供給して
該噴出圧力を調整する。

【００２２】ところで、何らかの原因でガス供給手段か
らガス流通路内にガスが供給されなくなると、ガス流通
路内の圧力は低下して外部の圧力と同一になり、外部の
空気等がガス噴出口からガス流通路内に浸入してくる。
この場合、装置の設置環境によっては外部の空気等に可
燃性の溶剤ガスや粉体が含まれていることがあるので、
軟Ｘ線照射装置への通電が継続されていると好ましくな
い。そこで、前記ガス流通路の内部圧力を圧力検知手段
によって検知して、該内部圧力が所定値より低下した時
に、通電停止手段によって軟Ｘ線照射装置への通電を停
止する。

【００２３】また、開口面積調整手段でガス噴出口の開
口面積を調整することによって、帯電体に対するガスの
吹きつけ範囲を調整する。この場合、ガス供給手段によ
ってガス流通路に供給されるガス供給量が一定である
と、該開口面積の大小によってガス噴出口から噴出され
るガスの噴出圧力が異なり、ガス流の到達距離にばらつ
きが生じる。このため、ガス供給量調整手段で該開口面
積に応じてガス流通路へのガス供給量を調整することに
よって、開口面積の大小にかかわらずガスの噴出圧力を
一定にする。この場合、ガス噴出口の開口面積を検知す
る開口面積検知手段を備えて、ガス供給量調整手段が、
該開口面積検知手段により検知される該開口面積に応じ
てガス供給手段によるガス流通路へのガス供給量を制御
することによって、該開口面積に応じたガス供給量の調
整を自動的に行うことが可能となる。

【００２４】さらに、噴出方向可変手段によってガスの
噴出方向を例えば該噴出方向と直交する方向に変化させ
ることにより、帯電体に対するガスの吹き付け範囲を広
くすることが可能となる。この場合、ガスの噴出方向を
該噴出方向と直交する方向に変化させつつ該ガス噴出口
を周方向に回動させるようにすると、帯電体に対するガ
スの吹き付け範囲をさらに広くすることが可能となる。

【００２５】さらに、帯電体の表面の複数個所に表面電
位検知手段を配置し、噴出方向制御手段によって、該複
数の表面電位検知手段の内で最も高い表面電位が検知さ
れた帯電体の表面に向けてガスが噴出されるように前記
噴出方向可変手段を制御することによって、帯電体の表
面電位が高い箇所を局部的に効率よく除電することが可
能となる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１〜図３を参照し
て説明する。図１は本発明の実施の一例である軟Ｘ線を
利用した除電装置の説明的断面図、図２は該除電装置と
従来の除電装置との相違を説明するために用いる実験装
置の概略図、図３は本発明の他の実施例を説明するため
の説明的断面図である。

【００２７】かかる除電装置は、図１に示すように、そ
の基本的構成として、帯電体１に向けて軟Ｘ線を照射す
る軟Ｘ線照射装置２と、該軟Ｘ線照射装置２を包囲して
該軟Ｘ線照射装置２との間に空気流通路３を形成する外
箱４とを備える。

【００２８】軟Ｘ線照射装置２は、円筒状のケース５
と、該ケース５内に設けられた軟Ｘ線管６とを備える。
該ケース５の前端部（左端部）には、軟Ｘ線管６から照
射される軟Ｘ線の照射窓７が形成されている。軟Ｘ線管
６は、高電圧ケーブル８を介して外部電源９に接続され
ている。

【００２９】外箱４は、略円筒状に形成されてその内部
に軟Ｘ線照射装置２が略同心に配置されている。配置に
際しては、外箱４と軟Ｘ線照射装置２の前後端部及び外
周部との間に空気流通路３が形成されるようにして配置
する。外箱４内の軟Ｘ線照射装置２の後端側には、送風
ファン１０が設けられている。

【００３０】該送風ファン１０は、上述した外部電源９
に低電圧ケーブル１１を介して接続されている。該送風
ファン１０の前後には、それぞれエアフィルタ１２及び
プレフィルタ１３が送風ファン１０を挟むようにして配
置されている。送風ファン１０が駆動されることによ
り、外部の空気がプレフィルタ１３を介して外箱４内に
吸引され、吸引された空気はエアフィルタ１２を通って
清浄化された後、空気流通路３に供給される。そして空
気流通路３に供給された清浄な空気は、外箱４の前端壁
部４ａと軟Ｘ線照射装置２の照射窓７との間に流れ込ん
で合流し、これにより、照射窓７の表面を覆うような空
気の流れが形成される。また、外箱４の前端壁部４ａに
は、該前端壁部４ａと照射窓７との間に流れ込んだ空気
が照射窓７から照射される軟Ｘ線の照射方向と同一方向
に噴出される空気噴出口１４が形成されている。

【００３１】かかる除電装置においては、空気流通路３
に供給された清浄な空気を外箱４の前端壁部４ａと照射
窓７との間に流れ込ませて照射窓７の表面を覆うような
空気の流れを形成しているので、照射窓７の表面に空気
中の塵埃等が付着しようとしても、該空気の流れによっ
て吹き飛ばされる。このため、照射窓７の表面に該塵埃
等による汚れが発生するのが良好に防止され、従来のよ
うに照射窓７の汚れによって軟Ｘ線が吸収されることな
く、該軟Ｘ線の線量が良好に維持される。

【００３２】また、該塵埃等を吹き飛ばした後の空気流
は、空気噴出口１４から軟Ｘ線の照射方向と同一方向に
噴出されるので、帯電体１と照射窓７との間の空間で生
成された空気イオンが該空気流によって帯電体１まで移
送される。

【００３３】上記記載から明らかなように、本実施例の
除電装置においては、従来のように照射窓７の汚れによ
って軟Ｘ線が吸収されることなく、照射窓７から照射さ
れる軟Ｘ線の線量が良好に維持されるため、軟Ｘ線が帯
電体に到達した位置で良好な正，負の空気イオンの生成
がなされ、しかも、空気噴出口１４から噴出された空気
流によって帯電体１と照射窓７との間の空間で生成され
た空気イオンが帯電体１まで移送されるので、該帯電体
１に対しては、軟Ｘ線が該帯電体１に到達した位置で良
好に生成された空気イオンに加えて、帯電体１の手前側
の空間で生成された空気イオンを有効に作用させること
ができる。従って、これらの空気イオンによって帯電体
１の電荷が良好に中和されて帯電体１の除電が効果的に
行われ、除電装置の除電性能を大幅に向上させることが
できる。

【００３４】次に、本実施例の除電装置と従来の除電装
置との相違を明確にするために図２を参照してさらに詳
述する。図２において符号１５は、１５０ｍｍ×１５０
ｍｍの帯電プレート１６（静電容量２０ｐＦ±２ｐＦ）
を有する帯電プレートモニターであり、帯電プレート１
６から１ｍ離間した位置には本実施例の除電装置の空気
噴出口１４が対向配置されている。ここで、空気噴出口
１４から吹き出される空気の噴出量を２．５ｍ³／ｍｉ
ｎとする。

【００３５】そして、帯電プレート１６に＋５ｋＶ（又
は−５ｋＶ）の電圧を印加して帯電させ、この状態で軟
Ｘ線照射装置２から軟Ｘ線を帯電プレート１６に向けて
照射すると共に、送風ファン１０により空気噴出口１４
から空気流を噴出させて帯電プレート１６に吹き付け、
帯電プレート１６の電圧が＋５００Ｖ（又は−５００
Ｖ）に減衰するまでに要する時間（ｓｅｃ）を測定し
た。また、従来の除電装置については、送風ファン１０
を停止して帯電プレート１６への軟Ｘ線の照射のみで代
用して測定を行った。

【００３６】測定の結果、従来の除電装置では、＋５ｋ
Ｖから＋５００Ｖに減衰するまでの時間が７ｓｅｃ、−
５ｋＶから−５００Ｖに減衰するまでの時間が８ｓｅｃ
であった。これに対し、本実施例の除電装置では、＋５
ｋＶから＋５００Ｖに減衰するまでの時間が５ｓｅｃ、
−５ｋＶから−５００Ｖに減衰するまでの時間が５ｓｅ
ｃとなり除電性能が大幅に向上した。

【００３７】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変
更可能である。例えば、上記実施例で、エアフィルタ１
２を設けて清浄な空気を空気流通路３内に供給している
が、空気のクリーン度がそれほど要求されない場合に
は、該エアフィルタ１２を省略してもよい。

【００３８】また、エアフィルタ１２として塵埃等の除
去性能が高いＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタを用
いる場合には、これらのフィルタは圧力損失が大きいた
め、空気噴出口１４から噴出される空気の噴出圧が低下
して該空気が帯電体１に届かない虞れがある。従って、
この場合は、図３に示すように、送風ファン１０による
空気の供給に代えて、外箱４の後端部に空気圧縮機１７
から所定の圧力の圧縮空気を供給して空気噴出口１４か
ら噴出される空気の噴出圧を調整する。

【００３９】さらに、図４は、外箱４に導管１８の一端
を空気流通路３に連通させて接続し、該導管１８の他端
に圧力スイッチ１９を取り付けたものである。圧力スイ
ッチ１９と外部電源９との間にはリード線２０が介在さ
れている。そして、圧力スイッチ１９は、空気流通路３
内の圧力が設定値より低下した時に、リード線２０を介
して外部電源９を停止して軟Ｘ線照射装置２への通電を
停止する。

【００４０】このようにすると、外部の空気に可燃性の
溶剤ガスや粉体が含まれている環境で使用するのに適し
た装置となる。

【００４１】すなわち、何らかの原因で送風ファン１０
（又は空気圧縮機１７）から空気流通路３内に空気が供
給されなくなると、空気流通路３内の圧力が低下して外
部の圧力と同一になる。この場合、可燃性の溶剤ガスや
粉体が含まれた外部の空気が空気噴出口１４から空気流
通路３内に浸入してくる。このような場合に、前記設定
値を外部の圧力に設定することにより、圧力スイッチ１
９がリード線２０を介して外部電源９を停止し、軟Ｘ線
照射装置２への通電を停止する。

【００４２】次に、空気噴出口１４の変形例を図５を参
照して説明する。図５は、外箱４の前端部に、空気噴出
口１４に代えて、複数のシャッタ羽根２１から構成され
る絞りシャッタ装置２２を取り付けたものである。シャ
ッタ羽根２１は、１０ｋｅＶまでの軟Ｘ線を遮蔽する材
質からなる。絞りシャッタ装置２２は、その開口部が空
気噴出口２３とされている。空気流通路３に供給された
空気が照射窓７の表面を覆うような流れが形成した後、
該空気噴出口２３から軟Ｘ線の照射方向に空気が噴出さ
れる。また、絞りシャッタ装置２２は、図示しない駆動
手段によって空気噴出口２３の絞り、すなわち開口面積
が調整されるようになっており、該駆動手段は駆動ケー
ブル２４を介して外部電源９に接続されている。

【００４３】そして、駆動手段で空気噴出口２３の開口
面積を調整することによって、該帯電体１に対する空気
の吹きつけ範囲を調整する。これにより、帯電体１と照
射窓７との間で生成された空気イオンを帯電体１に作用
させる範囲を帯電体１の大きさ等に応じて調整すること
ができる。この時、送風ファン１０（又は空気圧縮機１
７）によって空気流通路３に供給される空気供給量が一
定であると、該開口面積の大小によって空気噴出口２３
から噴出される空気の噴出圧力が異なり、空気流の到達
距離にばらつきが生じる。このため、該開口面積に応じ
て空気流通路３への空気供給量を調整して該開口面積の
大小にかかわらず空気噴出口２３から噴出される空気の
噴出圧力を一定にする必要がある。

【００４４】そこで、空気噴出口２３の開口面積を絞り
シャッタ装置２２に内蔵された図示しない開口面積検知
センサで検知して、該検知信号を外部電源９に内蔵され
た空気供給量調整手段２５に出力し、該空気供給量調整
手段２５が該検知信号に応じて送風ファン１０（又は空
気圧縮機１７）への駆動電流を制御する。これにより、
空気噴出口２３の開口面積に応じて送風ファン１０（又
は空気圧縮機１７）から空気流通路３に供給される空気
供給量が自動的に調整されて空気噴出口２３から噴出さ
れる空気の噴出圧力が一定にされる。

【００４５】また、図６は空気噴出口１４の他の変形例
を示すものである。図６は、外箱４の前端部に、空気噴
出口１４に代えて、ルーバ装置２６を取り付けたもので
ある。

【００４６】ルーバ装置２６は、外箱４の前端部外周部
に回動可能に装着された回動リング２７と、該回動リン
グ２７の径方向に沿って等間隔で横架された複数のルー
バ羽根２８とを備える。回転リング２７は、１０ｋｅＶ
までの軟Ｘ線を遮蔽する材質からなり、図示しない駆動
手段によって±１８０°の回転駆動がなされる。この回
転駆動はルーバ羽根２８と一体となってなされる。ルー
バ羽根２８は、軟Ｘ線を透過可能な材質からなり、各ル
ーバ羽根２８の間が空気噴出口２９とされている。空気
流通路３に供給された空気は、照射窓７の表面を覆うよ
うな流れを形成した後、該空気噴出口２３から軟Ｘ線の
照射方向に噴出される。また、各ルーバ羽根２８は、回
転リング２７と同様に図示しない駆動手段によって図６
において矢印ａ，ｂ方向に揺動される。該ルーバ羽根２
８の揺動により空気噴出口２９から噴出される空気の噴
出方向が外箱４の軸線に対して直交する方向に変化しつ
つ回転リング２７の回転により周方向に変化することに
より、帯電体１に対する空気の吹きけ範囲、すなわち帯
電体１と照射窓７との間で生成された空気イオンを帯電
体１に作用させる範囲を広くしている。尚、図６におい
て符号３０は、回転リング２７及びルーバ羽根２８の駆
動手段と外部電源９との間に介在される接続ケーブルで
ある。

【００４７】さらに、図７及び図８に示すように、回転
リング２７の回転角度及びルーバ羽根２８の揺動角度を
制御して帯電体１の表面の所定の位置に空気を吹き付け
ることにより、該帯電体１の所定の位置を局部的に除電
することができる。図７は連続搬送される樹脂フィルム
１ａ（帯電体）の上方に図６に示す除電装置を配置した
状態の平面図、図８は図７の左側面図である。

【００４８】すなわち、図７に示すように、該除電装置
は、空気噴出口２９を該樹脂フィルム１ａの表面に向け
て配置されている。該除電装置より上流側（右側）の樹
脂フィルム１ａの表面には、樹脂フィルム１ａの表面電
位を測定する表面電位計センサ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ
が該樹脂フィルム１ａの幅方向に等間隔で配置されてい
る。各表面電位計センサ３１ａ，３１ｂ，３１ｃによっ
て検知された電位は電位比較演算手段３２によって比較
演算されて最も高い電位の位置が決定され、該位置信号
に基づいてルーバ制御手段３３がルーバ装置２６の回転
リング２７の回転角度及びルーバ羽根２８の揺動角度を
制御して、空気噴出口２９を樹脂フィルム１ａの最も高
い電位が検知された表面電位計センサ（本実施例では３
１ａ）の位置に相当する部分に向ける（図８参照）。こ
れにより、樹脂フィルム１ａの最も高い電位の部位に帯
電体１と照射窓７との間で生成された空気イオンを局部
的に効率よく作用させることができる。尚、この場合、
帯電体の表面電位の大小に応じて空気圧縮機１７（又は
送風ファン１０）の駆動電流を制御して空気噴出量を調
整することも勿論可能である。

【００４９】さらに、図９は、間欠的に搬送される円形
のプラスチック成形品１ｂ（帯電体）の上方に図６に示
す除電装置を配置した状態を示す平面図である。

【００５０】この場合、除電装置は、樹脂フィルム１ａ
の場合と同様に、空気噴出口２９を該プラスチック成形
品１ｂの表面に向けて配置される。また、該除電装置よ
り上流側（右側）のプラスチック成形品１ｂの表面に
は、周方向に等間隔で４か所、中央部に１か所の合計５
個の表面電位計センサ３４ａ〜３４ｅが配置される。各
表面電位計センサ３４ａ〜３４ｅによって検知された電
位は、上記同様に、電位比較演算手段３２によって比較
演算されて最も高い電位の位置が決定され、該位置信号
に基づいてルーバ制御手段３３がルーバ装置２６の回転
リング２７の回転角度及びルーバ羽根２８の揺動角度を
制御して、空気噴出口２９をプラスチック成形品１ｂの
最も高い電位が検知された表面電位計センサ（本実施例
では３４ａ）の位置に相当する部分に向ける。

【００５１】尚、以上の実施例ではガスとして最も一般
的な空気の場合について説明したが、空気の他に窒素ガ
スやヘリウム等の不活性ガス等を用いることができる。
また、帯電体は空気中に存在し、送風ガスに窒素ガスを
用いる場合のように、雰囲気のガスと異なるガスを送風
に用いることもできる。

【００５２】

【発明の効果】上記の説明から明らかなように、本発明
によれば、軟Ｘ線照射部の汚れによって軟Ｘ線が吸収さ
れることなく該軟Ｘ線の線量が良好に維持されるので、
帯電体の静電気を良好に除電することができる除電性能
の高い装置を提供することができる。

【００５３】また、ガス供給手段によってガス流通路に
供給されたガスを軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むように
すると共に、該流れ込んだガスをガス噴出口から軟Ｘ線
の照射方向に噴出させるようにした場合には、帯電体に
対して、該軟Ｘ線が帯電体に到達した位置で良好に生成
されたガスイオンの他に、従来、帯電体の除電に効果が
少なかった軟Ｘ線照射部近傍で生成された高密度なガス
イオンを有効に作用させることができるので、帯電体の
除電がより効果的に行われて除電装置の除電性能を大幅
に向上させることができる。

【００５４】さらに、ガス流通路とガス供給手段との間
にフィルタを設けた場合には、軟Ｘ線照射部に清浄なガ
スを吹き付けることができるので、該軟Ｘ線照射部に塵
埃等による汚れが発生するのを効果的に防止することが
できる。該フィルタによる供給ガスの圧力損失が大きい
場合には、ガス流通路に所定の圧力の圧縮ガスを供給す
ることにより、ガス噴出口から噴出されるガスの噴出圧
の低下を防止することができる。

【００５５】さらに、ガス流通路の内部圧力を検知する
圧力検知手段と、該圧力検知手段により検知されるガス
流通路の内部圧力が所定値より低下した時、軟Ｘ線照射
装置への通電を停止する通電停止手段とを備えることに
よって、外部の空気等に可燃性の溶剤ガスや粉体が含ま
れている環境で使用するのに適した装置を提供すること
ができる。

【００５６】さらに、開口面積調整手段でガス噴出口の
開口面積を調整すると共に、ガス供給量調整手段で該開
口面積に応じてガス流通路へのガス供給量を調整するこ
とによって、開口面積の大小にかかわらずガスの噴出圧
力を一定に維持した状態で帯電体に対するガスの吹きつ
け範囲を調整できるので、帯電体と軟Ｘ線照射部との間
で生成されたガスイオンを帯電体に作用させる範囲の調
整を帯電体の大きさ等に応じて良好に行うことができ
る。この場合、ガス噴出口の開口面積を検知する開口面
積検知手段を備えて、ガス供給量調整手段が、該開口面
積検知手段により検知される該開口面積に応じてガス供
給量を制御することによって、該開口面積に応じたガス
供給量の調整の自動化が図れる。

【００５７】さらに、噴出方向可変手段によってガスの
噴出方向を該噴出方向と直交する方向に変化させること
により、帯電体に対するガスの吹き付け範囲を広くする
ことができるので、該帯電体の広い範囲に正負のガスイ
オンを良好に作用させることができる。この場合、ガス
の噴出方向を該噴出方向と直交する方向に変化させつつ
該ガス噴出口を周方向に回動させるようにすると、該帯
電体のより広い範囲に正負のガスイオンを良好に作用さ
せることができる。

【００５８】さらに、帯電体の表面の複数個所に表面電
位検知手段を配置し、噴出方向制御手段によって、該複
数の表面電位検知手段の内で最も高い表面電位が検知さ
れる前記帯電体の表面に向けてガスが噴出されるように
前記噴出方向可変手段を制御することによって、帯電体
の表面電位が高い箇所を局所的に効率よく除電すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一例である軟Ｘ線を利用した除
電装置の説明的断面図である。

【図２】本実施例の装置と従来の装置との比較を説明す
るために用いる実験装置の概略図である。

【図３】本発明の他の実施例を説明するための説明的断
面図である。

【図４】本発明の他の実施例を説明するための説明的断
面図である。

【図５】空気噴出口の変形例を説明するための説明的断
面図である。

【図６】空気噴出口の他の変形例を説明するための説明
的断面図である。

【図７】図６に示す装置の好適な使用例を説明するため
の平面図である。

【図８】図７の左側面図である。

【図９】図６に示す装置の他の好適な使用例を説明する
ための平面図である。

【符号の説明】

１…帯電体、２…軟Ｘ線照射装置、３…空気流通路、４
…外箱、７…照射窓、１０…送風ファン、１２…エアフ
ィルタ、１４，２３，２９…空気噴出口、１７…空気圧
縮機、１９…圧力スイッチ、２２…絞りシャッタ装置、
２５…空気供給量調整手段、２６…ルーバ装置、２８…
ルーバ羽根、２７…回転リング、３１ａ〜３１ｃ，３４
ａ〜３４ｅ……表面電位計センサ、３２…電位比較演算
手段、３３…ルーバ制御手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者菅野功神奈川県横浜市鶴見区元宮１−10−８シシド静電気株式会社横浜工場内 (72)発明者石川昌義静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】帯電体に軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射部を
有する軟Ｘ線照射装置を備え、前記軟Ｘ線により生成さ
れた正，負のガスイオンによって該帯電体に帯電した電
荷を中和するようにした除電装置において、前記軟Ｘ線照射部を覆うようなガスの流れを形成するガ
ス流形成手段を備えたことを特徴とする軟Ｘ線を利用し
た除電装置。
【請求項２】前記ガス流形成手段は、前記軟Ｘ線照射装
置の周囲に設けられたガス流通路と、該ガス流通路に強
制的にガスを供給するガス供給手段とを備え、該ガス流
通路は、前記ガス供給手段によって供給されたガスが前
記軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むように形成され、該軟
Ｘ線照射部の前方には、該軟Ｘ線照射部に流れ込んだガ
スが前記軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線の照射方向
に向けて噴出されるガス噴出口が該ガス流通路に連通し
て形成されていることを特徴とする請求項１記載の軟Ｘ
線を利用した除電装置。
【請求項３】前記ガス流通路と前記ガス供給手段との間
には、フィルタが介在されていることを特徴とする請求
項２記載の軟Ｘ線を利用した除電装置。
【請求項４】前記ガス供給手段によって前記ガス流通路
に供給されるガスが圧縮ガスであることを特徴とする請
求項３記載の軟Ｘ線を利用した除電装置。
【請求項５】前記ガス流通路の内部圧力を検知する圧力
検知手段と、該圧力検知手段により検知される前記ガス
流通路の内部圧力が所定値より低下した時、前記軟Ｘ線
照射装置への通電を停止する通電停止手段とを備えたこ
とを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の軟
Ｘ線を利用した除電装置。
【請求項６】前記ガス噴出口の開口面積を調整する開口
面積調整手段と、該ガス噴出口の開口面積に応じて前記
ガス供給手段による前記ガス流通路へのガス供給量を調
整するガス供給量調整手段とを備えたことを特徴とする
請求項２〜５のいずれか一項に記載の軟Ｘ線を利用した
除電装置。
【請求項７】前記ガス噴出口の開口面積を検知する開口
面積検知手段を備え、前記ガス供給量調整手段は、該開
口面積検知手段により検知される前記ガス噴出口の開口
面積に応じて前記ガス供給手段によるガス流通路へのガ
ス供給量を制御することを特徴とする請求項６記載の軟
Ｘ線を利用した除電装置。
【請求項８】前記ガス噴出口から噴出されるガスの噴出
方向を変化させる噴出方向可変手段を備えたことを特徴
とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の軟Ｘ線を利
用した除電装置。
【請求項９】前記噴出方向可変手段は、ガスの噴出方向
を該噴出方向に対して直交する方向に変化させることを
特徴とする請求項８記載の軟Ｘ線を利用した除電装置。
【請求項１０】前記噴出方向可変手段は、ガスの噴出方
向を該噴出方向に対して直交する方向に変化させつつ前
記ガス噴出口を周方向に回動させることを特徴とする請
求項８記載の軟Ｘ線を利用した除電装置。
【請求項１１】前記帯電体の表面の複数の箇所に配置さ
れて該帯電体の表面電位を検知する表面電位検知手段
と、該表面電位検知手段により検知される帯電体の表面
電位に応じて前記噴出方向可変手段を制御する噴出方向
制御手段とを備え、該噴出方向制御手段は、前記複数の
表面電位検知手段の内で最も高い表面電位が検知された
前記帯電体の表面に向けてガスが噴出されるように前記
噴出方向可変手段を制御することを特徴とする請求項８
〜１０のいずれか一項に記載の軟Ｘ線を利用した除電装
置。