JPH0844050A - 遮光性画素、及びそれを用いた光学フィルター - Google Patents
遮光性画素、及びそれを用いた光学フィルターInfo
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- JPH0844050A JPH0844050A JP17818394A JP17818394A JPH0844050A JP H0844050 A JPH0844050 A JP H0844050A JP 17818394 A JP17818394 A JP 17818394A JP 17818394 A JP17818394 A JP 17818394A JP H0844050 A JPH0844050 A JP H0844050A
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Abstract
度の遮光性画素、及びそれを有する光学フィルターを提
供することにある。 【構成】 膜厚が1.25μm以上で、かつ、光学濃
度が2.8以上の遮光性画素。
Description
透明基板は、表示装置に使用するカラーフィルターのブ
ラックマトリックス、特にカラー液晶表示装置等に使用
するカラーフィルターのブラックマトリックス等に好適
に用いられる。
たり赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各画素の間
隙には、表示コントラスト向上等の目的でブラックマト
リックスを形成している。その方法として、クロム等の
金属膜をブラックマトリックスとして用いる方法や遮光
性顔料等を分散させた感光性樹脂を用いる方法等が知ら
れている。
光反射率が高く、表示品質が低下する、(2)環境問題
が生ずる(エッチング液等の処理等)、(3)薄膜トラ
ンジスタ(TFT)基板側にブラックマトリックスを形
成した場合は、導電性が高いため、回路のショート等の
問題が有り、感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリ
ックスが注目されている。
クマトリックスにおいて、クロム等の金属膜によるブラ
ックマトリックスと同程度の濃度のブラックマトリック
スを得るには膜厚を厚くする必要が有り、その結果、
(1)ブラックマトリックス形成後にR、GあるいはB
の顔料分散液の塗布や、転写シートを用いた転写時に気
泡を巻き込む、(2)MIM方式の様に、カラーフィル
ターと基板間に透明電極を作成する場合は、厚い遮光性
画素が電極間に存在することになり電圧制御が難しくな
る、(3)TFT基板側にブラックマトリックスを形成
した場合は、そのマトリックスの段差で液晶の配向に乱
れを発生させる、等の問題が発生していた。
は、色材含有樹脂組成物からなり、薄膜で、高濃度の遮
光性画素、及びそれを有する光学フィルターを提供する
ことにある。本発明の第2の目的は、感光性転写シート
を用いた転写方式によるカラーフィルター作成方法にお
いて、ブラックマトリックスを最初に形成し、次いで
R、G、B等の画素を形成する方法を提供することにあ
る。
例えば、(1)色材含有樹脂組成物からなり、膜厚が
1.25μm以上で、かつ、光学濃度が2.8以上の遮
光性画素を透明基板上に形成する工程、(2)該遮光性
画素を熱処理する工程、を含むことを特徴とする、色材
含有樹脂組成物からなり、膜厚が1.25μm以下で、
かつ、光学濃度が2.8以上の遮光性画素の形成方法に
より形成された遮光性画素により達成された。本発明の
第2の目的は、(1)透明基板上に、色材含有樹脂組成
物からなり、膜厚が1.25μm以下で、かつ、光学濃
度が2.8以上の遮光性画素を形成する工程、(2)該
透明基板の透明部分の一部に光の3原色の一の波長を透
過もしくは吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素を
形成する工程、(3)該透明基板の透明部分の一部に
(2)とは異なる光の3原色の一の波長を透過もしくは
吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素を形成する工
程、を含むことを特徴とする光学フィルターの形成方法
により達成された。以下、本発明を詳細に説明する。
着方式および印刷方式で形成することができる。特にパ
ターン精度、工程簡略の面で感光性遮光性樹脂組成物を
用いたフォトリソ方式が好ましい。その場合、少なくと
も、 透明基板上に、感光性遮光性樹脂組成物層を設ける工
程(スピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテ
ンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、
エクストルーダー等を用いて塗布し、乾燥させ遮光性感
光性樹脂層を基板上に設ける塗布方式や、仮支持体上に
少なくとも遮光性感光性樹脂組成物層を設けた遮光性感
光性転写材料を用いて基板上に転写する層転写方式が用
いられる。特に、工程面で層転写方式が好ましい。具体
的な転写材料としては特願平2−400047、特願平
3−9292、特願平3−120223、特願平3−1
53227、特願平4−64870に記載の転写材料が
用いられる。)、 パターン露光、 現像、 により遮光性画素が形成される。さらに遮光性画素のシ
ワや突起発生等の防止のため上記の現像後に紫外線照射
を行ってもよい。
物は、少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダー、
(2)光重合開始剤、(3)エチレン性不飽和二重結合
を有する付加重合性モノマー、(4)少なくとも一種の
着色剤、を有する遮光性感光性樹脂組成物が好ましい。
ダーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、
例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34
327号、特公昭58−12577号、特公昭54−2
5957号、特開昭59−53836号、特開昭59−
71048号の各公報に記載されているようなメタクリ
ル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合
体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エ
ステル化マレイン酸共重合体等があり、また側鎖にカル
ボン酸基を有するセルローズ誘導体が挙げられる。この
他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加した
ものも有用である。特に好ましくは米国特許第4139
391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレート
と(メタ)アクリル酸の共重合体やベンジル(メタ)ア
クリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多
元共重合体を挙げることができる。以上のものは水不溶
性のバインダーを挙げたが、水溶性ポリマーとして、ポ
リビニルピロリドンやポリエチレンオキシド、ポリビニ
ルアルコール等を挙げることができる。
強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範
囲でアルカリ不溶のポリマーを添加することができる。
これらのポリマーとしてはアルコール可溶性ナイロンあ
るいはエポキシ樹脂が挙げられる。バインダーの遮光性
感光性樹脂組成物固形分中の固形分含有量は10〜95
重量%で、より好ましくは20〜90重量%である。1
0重量%未満では感光性樹脂層の粘着性が高すぎ、95
重量%を越えると形成される画像の強度及び光感度の点
で劣る。
は、米国特許第2367660号公報に開示されている
ビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448
828号公報に記載されているアシロインエーテル化合
物、米国特許第2722512号公報に記載のα−炭化
水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第
3046127号及び同第2951758号の各公報に
記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号
公報に記載のトリアリールイミダゾール二量体とp−ア
ミノケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に
記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−
トリアジン化合物、米国特許第4239850号公報に
記載されているトリハロメチル−s−トリアジン化合
物、米国特許第4212976号公報に記載されている
トリハロメチルオキサジアゾール化合物等が挙げられ
る。特に好ましくはトリハロメチル−s−トリアジン、
トリハロメチルオキサジアゾール、トリアリールイミダ
ゾール二量体である。光重合開始剤の光重合性組成物固
形分中の固形分含有量は0.5〜20重量%で、より好
ましくは1〜15重量%である。0.5重量%未満では
光感度や画像の強度が低く、20重量%を越えても性能
への良好な効果が認められない。
結合を有する付加重合性モノマーとしては、分子中に少
なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基をも
ち沸点が常圧で100℃以上の化合物である。例えばポ
リエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリ
プロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェ
ノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリ
レートや単官能メタクリレート。ポリエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペン
チルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アク
リロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アク
リロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリ
セリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドよプロ
ピレンオキシドを付加反応した後で(メタ)アクリレー
ト化したもの。特公昭48−41708号、特公昭50
−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記
載されているウレタンアクリレート類。特開昭48−6
4183号、特公昭49−43191号、特公昭52−
30490号の各公報に記載されているポリエステルア
クリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反
応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アク
リレートやメタクリレートを挙げることができる。より
好ましくはトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリ
レート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレ
ートを挙げることができる。エチレン性不飽和二重結合
を有する付加重合性モノマーの遮光性感光性樹脂組成物
固形分中の固形分含有量は5〜50重量%で、より好ま
しくは10〜40重量%である。5重量%未満では光感
度や画像の強度が低く、50重量%を越えると感光性樹
脂層の粘着性が過剰になり好ましくない。
剤としては、赤色、緑色、青色、黄色、紫色、マゼンタ
色、シアン色、黒色の顔料、及び/又は染料が用いられ
るが、これらの好ましい具体例としては、カーミン6B
(C.I.12490)、フタロシアニングリーン
(C.I.74260)、フタロシアニンブルー(C.
I.74160)、三菱カーボンブラックMA−10
0、ペリレンブラック(BASF K0084、K00
86)、シアニンブラック、#1201リオノールイエ
ロー(C.I.21090)、リオノールイエローGR
O(C.I.21090)、シムラ−ファーストイエロ
ー8GF(C.I.21105)、ベンジジンイエロー
4T−564D(C.I.21095)、シムラ−ファ
ーストレッド4015(C.I.12355)、リオノ
ールレッド7B4401(C.I.15850)、ファ
ーストゲンブルーTGR−L(C.I.74160)、
リオノールブルーSM(C.I.26150)、三菱カ
ーボンブラックMA−100、三菱カーボンブラック#
40、ビクトリアピュアブルー(C.I.4259
5)、オーラミンO(C.I.41000)、カロチン
ブリリアントフラビン(C.I.ベーシック13)、ロ
ーダミン6GCP(C.I.45160)、ローダミン
B(C.I.45170)、サフラニンOK70:10
0(C.I.50240)、エリオグラウシンX(C.
I.42080)、ファーストブラックHB(C.I.
26150)、C.I.ピグメント・レッド97、C.
I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・
レッド149、C.I.ピグメント・レッド168、
C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメン
ト・レッド180、C.I.ピグメント・レッド19
2、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグ
メント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン3
6、C.I.ピグメント・ブルー15:1、C.I.ピ
グメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブル
ー15:6、C.I.ピグメント・ブルー22、C.
I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピグメント・ブ
ルー64、C.I.ピグメントイエロー139、C.
I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントバイ
オレット23等を挙げることができる。この他金属粉、
白色顔料、蛍光顔料なども用いられる。これらの着色剤
の一種、あるいは2種以上を混合して色相的に黒色にな
るように用いる。着色剤の遮光性感光性樹脂組成物固形
分中の固形分含有量は1〜50重量%であることが好ま
しい。
加することが好ましい。その例としては、ハイドロキノ
ン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−ク
レゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベン
ゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−
ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メ
チル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベ
ンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
に応じて公知の添加剤、例えば可塑剤、界面活性剤等を
添加することができる。
れた遮光膜の厚さは1.25μmを超え8μm以下の範
囲が好ましく、特に好ましくは1.25μmを超え4μ
m以下である。8μmを越えると現像性悪化等の問題が
発生する。現像後の画素の膜厚が1.25μmを超えて
いるので、現像後に熱処理を行い、膜厚を1.25μm
以下にする工程を加える。この熱処理は、目標の膜厚に
より条件が異なるが、少なくとも280℃以上の温度で
の熱処理が必要となる。熱処理温度が280℃未満の場
合、膜厚の低下効果が十分得られない。熱処理工程は、
コンベクションオーブン、ホットプレート等の公知の方
法が用いられ、熱処理を窒素ガス等の不活性ガス雰囲気
下で行ってもよい。
は、ブラックマトリックス形成後のR、G、Bの顔料分
散液塗布や感光性転写シートの転写時に気泡を巻き込
み、白ぬけ欠陥が発生する問題やMIM方式の様なカラ
ーフィルターと基板間に透明電極を作成する場合は、厚
い遮光性画素が電極間に存在することになり電圧制御が
難しくなる問題が発生する。
つ、光学濃度が2.8以上の遮光性画素は、遮光膜中の
遮光性顔料濃度を高くすることによっても作成すること
ができる。但し、感光性遮光性樹脂組成物を用いて作成
する場合には、現像性の悪化が生じて現像時間が長くな
る場合がある。
しくは吸収する感光性着色組成物を用いて、光の3原色
の少なくとも一の波長を透過もしくは吸収する画素を形
成するには、従来のフォトリソ方式や電着方式あるいは
印刷方式を用いることができる。特にパターン精度、工
程簡略の面で色材含有感光性樹脂組成物を用いたフォト
リソ方式が好ましい。その場合、仮支持体上に少なくと
も色材含有感光性樹脂組成物層を設けた感光性転写材料
を用いて基板上に転写する層転写方式が好ましい。転写
材料の例としては、特開平4−208940、特開平5
−80503、特開平5−173320、特開平5−7
2724の各公報の実施例に記載の転写材料が挙げられ
る。具体的には仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性
樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けた感光性
転写材料で、各層間の密着力は任意に設定可能である。
塑性樹脂層と申分の無い剥離性を有し、化学的および熱
的に安定であって、また可撓性の物質で構成されるべき
であり、具体的にはテフロン、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等薄いシートもしくはこれらの積層物が好ましい。仮
支持体の厚みは5μm〜300μmが適当であり、好ま
しくは20μm〜150μmである。
写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚
染することがある。この現象を防止するためには、これ
らの熱可塑性樹脂の内、アルカリ水溶液に溶解するもの
が好ましい。アルカリ水溶液に溶解するものであれば、
後の処理により容易に除去することが可能だからであ
る。
な軟化点が80℃以下であることが好ましい。軟化点が
80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、
エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、ス
チレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化
物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重
合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、
(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)ア
クリル酸エステル共重合体などのケン化物、から少なく
とも1つ選ばれるのが好ましいが、さらに「プラスチッ
ク性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラ
スチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、196
8年10月25日発行)による軟化点が約80℃以下の
有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用す
ることができる。また軟化点が80℃以上の有機高分子
物質においてもその有機高分子物質中に該高分子物質と
相溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を
80℃以下に下げることも可能である。また、これらの
有機高分子物質中に仮支持体との接着力を調節するため
に実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で各種のポリ
マーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離
型剤、等を加えることが可能である。
レングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチル
フタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニル
フォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを
挙げることができる。
しい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが5μm
以下であると1μm以上の下地の凹凸を完全に吸収する
ことが不可能であるためである。上限については、現像
性、製造適性から約100μm以下、好ましくは約50
μm以下である。
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭46−
2121号や特公昭56−40824号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂さらにこれらの2種以上の組み合わせが挙げら
れる。
とポリビニルピロリドンの組み合わせである。ポリビニ
ルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好まし
く、ポリビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の1
重量%〜75重量%が好ましく、より好ましくは1重量
%〜60重量%、更に好ましくは10重量%〜50重量
%である。1重量%未満では、感光性樹脂層との十分な
密着が得られず、75重量%を越えると、酸素遮断能が
低下する。
μm、特に0.5〜2μmである。約0.1μm未満だ
と酸素の透過性が高すぎ、約5μmを越えると、現像時
または中間層除去時に時間がかかりすぎる。
軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性で
あることが好ましい。公知の光重合性組成物を用いた層
の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部は、熱可
塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添加によっ
て更に改質することができる。
ては公知の、例えば特開平3−282404号公報第2
0頁、7行〜第32頁、10行に記載されている感光性
樹脂がすべて使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹
脂とバインダーかなる感光性樹脂層、光重合性組成物、
アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成
物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中
でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光重合
性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバイン
ダーを基本構成要素として含む。
液により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能な
ものが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の
観点からアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。
を添加することができる。すべての顔料は感光性樹脂層
中に均一に分散されており、好ましくは5μm以下の粒
径、特に好ましくは1μm以下の粒径を有していなけれ
ばならない。カラーフィルターの作成に当たっては、
0.5μm以下の粒径のものが好ましい。
ある。ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42
595)、オーラミン(C.I.41000)、ファッ
ト・ブラックHB(C.I.26150)、モノライト
・エローGT(C.I.ピグメントエロー12)、パー
マネント・エローGR(C.I.ピグメント・エロー1
7)、パーマネント・エローHR(C.I.ピグメント
・エロー83)、パーマネント・カーミンFBB(C.
I.ピグメント・レッド146)、ホスターバームレッ
ドESB(C.I.ピグメント・バイオレット19)、
パーマネント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レ
ッド11)ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグ
メント・レッド81)モナストラル・ファースト・ブル
ー(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・
ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラッ
ク1)及びカーボン。さらにカラーフィルターを形成す
るのに適当な顔料としては、C.I.ピグメント・レッ
ド97、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.
ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッ
ド168、C.I.ピグメント・レッド177、C.
I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・
レッド192、C.I.ピグメント・レッド215、
C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント
・グリーン36、C.I.ピグメント・ブルー15:
1、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピ
グメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブル
ー22、C.I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピ
グメント・ブルー64を挙げることができる。
汚染や損傷から保護するために薄い被覆シートを設ける
ことが好ましい。被覆シートは仮支持体と同じかまたは
類似の材料からなっても良いが、感光性樹脂組成物層か
ら容易に分離されねばならない。被覆シート材料として
は例えばシリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテ
トラフルオルエチレンシートが適当である。被覆シート
の厚みは約5〜100μmであるのが好ましい。特に好
ましくは10〜30μm厚のポリエチレンまたはポリプ
ロピレンフィルムである。
持体上に熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することによ
り熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱
可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶
液を塗布し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶
解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被覆
シート上に感光性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上に
熱可塑性樹脂層及び中間層を有するシートの両方のシー
トを中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合
わせることまたは、別の被覆シートとして、熱可塑性樹
脂層を有する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層
を、被覆シート上の感光性樹脂層及び中間層からなるシ
ートの中間層とを貼り合わせることにより有利に製造さ
れる。
感光性樹脂層を張り合わせた後で仮支持体を剥そうとす
ると、フイルムと人体が帯電して不快な電撃シヨツクを
受けることがあり、更に、この帯電のために周囲からゴ
ミを吸い寄せて引き続く露光工程で未露光部が生じ、ピ
ンホールの原因となることがある。帯電を防止するた
め、仮支持体の少なくとも一方の面に導電性層を設けて
その表面電気抵抗を1013Ω以下としたか、あるいは仮
支持体自体に導電性を付与してその表面電気抵抗を10
13Ω以下としたものを用いることが好ましい。
説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるもので
はない。
仮支持体の上に下記の処方H1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設け
た。 熱可塑性樹脂層処方H1: ・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =55/28.8/11.7/4.5、重量平均分子量=90000) 15重量部 ・ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 ・テトレエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 ・p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 ・ベンゾフェノン 1.0重量部 ・メチルエチルケトン 30重量部
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が1.6μ
m厚の中間層を設けた。 中間層処方B1: ・ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 130重量部 ・ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製PVP、K−90) 60重量部 ・弗素系界面活性剤(旭硝子(株)社製サーフロンS−131) 10重量部 ・蒸留水 3350重量部
枚の仮支持体の上に、それぞれ表1の処方を有する、遮
光層用、赤色(R層用)、緑色(G層用)及び青色(B
層用)の4色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚
が遮光層2μm、R、G、B層1μmの着色感光性樹脂
層を形成した。
レン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、赤色、青
色、緑色および遮光性感光性転写材料を作成した。
でカラーフィルターを作成した。遮光性感光性転写材料
の被覆シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基
板(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラミネータ
(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8kg/cm
2)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続いて仮支持
体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去
した。次に所定のフォトマスクを介して露光し、1%炭
酸ナトリウム水溶液で現像して不要部を除去し、ガラス
基板上に膜厚2.0μmで、光学濃度3.0の遮光性画
素パターンを形成した。その後、両面から1000mj/c
m2のエネルギーの紫外線露光を行った。さらに、350
℃のコンベクションオーブンで1時間加熱処理を行い、
その結果、膜厚1.0μmで、光学濃度3.0の遮光性
画像を得た。
ガラス基板上に、赤色感光性転写材料を上記と同様にし
て貼り合わせ、剥離、露光、現像を行ない、赤色画素パ
ターンを形成した。その後、赤色画素パターンを十分に
硬化させるために220℃のコンベクションオーブンで
20分間加熱処理を行った。同様な工程を緑色、青色感
光性転写材料で繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフ
ィルターを形成した。これらの工程において、赤色感光
性転写材料の転写以後の工程で転写時に気泡のまきこみ
もなく、良好な転写性を示した。またMIM方式の液晶
表示装置を作成した場合、遮光性画素も含めたカラーフ
ィルター層が1μm以下なので電圧制御が容易であっ
た。
外は実施例1と同様に行った。得られたカラーフィルタ
ーは赤色感光性転写材料の転写以後の工程で転写時に気
泡のまきこみもなく、良好な転写性を示し、白ぬけ欠陥
の無いカラーフィルターが得られた。
乾燥後の膜厚が2μmとなるように塗布し、所定のフォ
トマスクを介して露光し、1%炭酸ナトリウム水溶液で
現像して不要部を除去し、ガラス基板上に膜厚2.0μ
mで、光学濃度3.0の遮光性画素パターンを形成し
た。その後、両面から1000mj/cm2のエネルギーの紫
外線露光を行った。さらに、350℃のコンベクション
オーブンで1時間加熱処理を行い、その結果、膜厚1.
0μmで、光学濃度3.0の遮光性画像を得た。その
後、実施例1と同様にR、G、B画素を形成し、透明ガ
ラス基板上にカラーフィルターを形成した。これらの工
程において、赤色感光性転写材料の転写以後の工程で着
色感光性転写材料の転写時に気泡のまきこみもなく、良
好な転写性を示した。またMIM方式の液晶表示装置を
作成した場合、遮光性画素も含めたカラーフィルター層
が1μm以下なので電圧制御が容易であった。
した処方の液を用い、印刷法で直接透明ガラス基板に乾
燥後の膜厚が2μmとなるようにパターン印刷し、ガラ
ス基板上に膜厚2.0μmで、光学濃度3.0の遮光性
画素パターンを形成した。その後、さらに、350℃の
コンベクションオーブンで1時間加熱処理を行い、その
結果、膜厚1.0μmで、光学濃度3.0の遮光性画像
を得た。その後、実施例1と同様にR、G、B画素を形
成し、透明ガラス基板上にカラーフィルターを形成し
た。これらの工程において、赤色感光性転写材料の転写
以後の工程で着色感光性転写材料の転写時に気泡のまき
こみもなく、良好な転写性を示した。またMIM方式の
液晶表示装置を作成した場合、遮光性画素も含めたカラ
ーフィルター層が1μm以下なので電圧制御が容易であ
った。
実施例1のR層用の感光性溶液を直接遮光性画像の形成
された基板に乾燥後の膜厚が1μmとなるように塗布
し、露光、現像を行ない、赤色画素パターンを形成し
た。その後、赤色画素パターンを十分に硬化させるため
に220℃のコンベクションオーブンで20分間加熱処
理を行った。その後、実施例1のG、B層用感光性溶液
を同様に塗布−露光−現像−熱処理の工程を行い、透明
ガラス基板上にカラーフィルターを形成した。これらの
工程において、赤色感光性転写材料の転写以後の工程で
着色感光性溶液の塗布時に気泡のまきこみもなく、良好
な塗布性を示した。またMIM方式の液晶表示装置を作
成した場合、遮光性画素も含めたカラーフィルター層が
1μm以下なので電圧制御が容易であった。
実施例1のR層用の感光性溶液から光重合開始剤を除去
した溶液を用い、遮光性画素の形成された基板に乾燥後
の膜厚が1μmとなるようにパターン印刷し、赤色画素
パターンを形成した。その後、赤色画素パターンを十分
に硬化させるために220℃のコンベクションオーブン
で20分間加熱処理を行った。その後、実施例1のG、
B層用感光性溶液から光重合開始剤を除去した溶液をを
同様にパターン印刷−熱処理の工程を行い、透明ガラス
基板上にカラーフィルターを形成した。これらの工程に
おいて、赤色感光性転写材料の転写以後の工程で着色溶
液の印刷時に気泡のまきこみもなく、良好な印刷性を示
した。またMIM方式の液晶表示装置を作成した場合、
遮光性画素も含めたカラーフィルター層が1μm以下な
ので電圧制御が容易であった。
た処方を用いて、実施例1と同様な層構成の遮光性感光
性転写材料を作成した。この場合の遮光性感光性樹脂層
の乾燥膜厚は1.0μmとした。
遮光性画像を形成した。この場合、パターン露光後の現
像時間は150秒と長いものの、得られた遮光性画像
は、膜厚1.0μm、光学濃度3.1を有していたの
で、実施例1で実施した350℃での熱処理は行う必要
が無かった。その後、実施例1と同様にカラーフィルタ
ーを作成したところ、得られたカラーフィルターは実施
例1と同様な結果が得られた。
いて、実施例1の遮光性感光性転写材料を用い、実施例
1と同じ工程でTFT基板上に遮光性画像を形成した。
得られた遮光性画像の厚みは1.0μmと薄いので、液
晶表示パネルにした場合に配向乱れは生じなかった。
20℃1時間とした以外は実施例1、3および4と同様
に行った。その結果、上記熱処理では光学濃度は3.0
あるものの、厚みが1.5μmと厚く、続くR、G、B
画素の形成工程で気泡の混入による白ぬけ欠陥が発生し
た。また、MIM方式の液晶表示装置を作成した場合、
遮光性画素も含めたカラーフィルター層が1μm以上な
ので電圧制御が困難であった。
1時間行った以外は実施例12と同様に行った。その結
果、得られた遮光性画像の厚みは1.5μmと厚く、液
晶表示パネルにした場合に遮光性画像に起因する段差が
大きく、配向乱れが生じた。
たカラーフィルターは、気泡の混入に起因する欠陥がな
く、更に、MIM方式の液晶表示装置を作成した場合、
遮光性画素も含めたカラーフィルター層が1μm以下な
ので電圧制御が容易である。
Claims (5)
- 【請求項1】 色材含有樹脂組成物からなり、膜厚が
1.25μm以下で、かつ、光学濃度が2.8以上の遮
光性画素。 - 【請求項2】 (1)色材含有樹脂組成物からなり、膜
厚が1.25μm以上で、かつ、光学濃度が2.8以上
の遮光性画素を透明基板上に形成する工程、(2)該画
素を熱処理する工程、を含むことを特徴とする、色材含
有樹脂組成物からなり、膜厚が1.25μm以下で、か
つ、光学濃度が2.8以上の遮光性画素の形成方法。 - 【請求項3】 透明基板上に、それぞれ異なる光の3原
色の一の波長を透過もしくは吸収する少なくとも2種の
画素及び色材含有樹脂組成物からなる遮光性画素を有す
る光学フィルターにおいて、該遮光性画素の膜厚が1.
25μm以下で、かつ、光学濃度が2.8以上であるこ
とを特徴とする光学フィルター。 - 【請求項4】 (1)透明基板上に、色材含有樹脂組成
物からなり、膜厚が1.25μm以下で、かつ、光学濃
度が2.8以上の遮光性画素を形成する工程、(2)該
透明基板の透明部分の一部に光の3原色の一の波長を透
過もしくは吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素を
形成する工程、(3)該透明基板の透明部分の一部に
(2)とは異なる光の3原色の一の波長を透過もしくは
吸収する色材含有樹脂組成物からなる画素を形成する工
程、を含むことを特徴とする光学フィルターの形成方
法。 - 【請求項5】 請求項4の(2)及び/又は(3)の工
程において、光の3原色の一の波長を透過もしくは吸収
する色材含有感光性樹脂組成物層を有する転写シートを
用いることを特徴とする光学フィルターの形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17818394A JP3409925B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 遮光性画素、及びそれを用いた光学フィルター |
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JP17818394A JP3409925B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 遮光性画素、及びそれを用いた光学フィルター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0844050A true JPH0844050A (ja) | 1996-02-16 |
JP3409925B2 JP3409925B2 (ja) | 2003-05-26 |
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JP (1) | JP3409925B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP2003057431A (ja) * | 2001-08-16 | 2003-02-26 | Sumitomo Chem Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
-
1994
- 1994-07-29 JP JP17818394A patent/JP3409925B2/ja not_active Expired - Fee Related
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