JPH0843632A - 受動光減衰器および光信号伝送システムの製造方法 - Google Patents

受動光減衰器および光信号伝送システムの製造方法

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JPH0843632A
JPH0843632A JP7197890A JP19789095A JPH0843632A JP H0843632 A JPH0843632 A JP H0843632A JP 7197890 A JP7197890 A JP 7197890A JP 19789095 A JP19789095 A JP 19789095A JP H0843632 A JPH0843632 A JP H0843632A
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JP
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optical
fiber
waveguide
attenuator
radiation
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JP7197890A
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Inventor
David J Digiovanni
ジョン ディジョヴァンニ デイヴィッド
Katherine T Nelson
テレサ ネルソン キャサリン
Jay R Simpson
リチャード シンプソン ジェイ
Kenneth L Walker
リー ウォーカー ケネス
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AT&T Corp
Original Assignee
AT&T Corp
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    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/264—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting
    • G02B6/266—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting the optical element being an attenuator
    • G—PHYSICS
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/241—Light guide terminations
    • G02B6/243—Light guide terminations as light absorbers

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 必要とする損失量を生じさせるために光導波
路のいかなる点にも挿入することができ、光ファイバー
のための実質的に反射のない成端を提供するために使用
できる受動光信号減衰エレメントを提供する。 【解決手段】 本発明による受動光減衰装置は、コアお
よびクラッドを有する導波路の一部分を含む。この導波
路部分は、光の放射を受け取り、その長さに沿って光放
射の少なくとも０．２dB／m を吸収するようになってい
る。本発明の第１の特徴によれば、導波路はその長さに
沿って実質的に均一に約１ないし１０００dB／m の間の
吸収を行うように構成されている。減衰は１００mWより
も小さい光パワーで一定のままである。導波路は溶融シ
リカファイバーから形成され、この溶融シリカファイバ
ーは所定の波長における所定の吸収度合いを提供するた
めに有効な濃度においてＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｃ
ｕ，Ｔｉ，ＭｎおよびＶからなるクラスから選ばれた金
属イオンでドープされた領域を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバー信号の
伝送に係り、特に、高損失光導波路セクションを使用し
た光減衰器に関する。
【０００２】
【従来の技術】通信のために光伝送システムを使用する
利点は良く知られている。低い誘電率を有するクラッド
材料により同軸上に取り巻かれた実質的に透明なコアを
有する誘電体ファイバーからなる光導波路は、長い距離
を経て光通信システムに光信号を導き、伝送するために
使用することができる。一般に、繊維の長さに沿う吸収
および拡散による光損失を最小にするための大きな注意
が払われているので、光繊維材料の一端に加えられた光
は、その材料の反対側の端に効率良く伝送される。この
ため一般に、低減衰光導波路は、希土類元素をドープし
たファイバーから形成される。しかしながら、光信号中
のパワーの量を減少させるための光減衰器を使用する必
要がある多くの状況が存在する。
【０００３】光伝送システムについて、通常２つの出力
特性が示される。例えば、伝送されるデータの量の単位
としてMbit／s における伝送レート、および所定の最低
の伝送品質を推測するためにエミッターと受信機との間
に配置することのできる最大減衰量を示すシステムレン
ジである。しかし、実際には更なる情報が必要とされ
る。受信器は、所定範囲の光入力レベルの中でのみ最適
に機能することが可能である。放射容量が低すぎる場
合、またレベルが高すぎる場合は、伝送品質は悪くな
る。
【０００４】光伝送システムにおける経路減衰は、ファ
イバーの長さおよびファイバーの減衰係数の関数であ
る。また、エミッター出力および受信器の感度は許容差
を有し、エージングを示す。このため、経路減衰を受信
器の最適な機能範囲に選ぶための減衰器が必要とされ
る。例えば、米国特許第５，１８７，６１０号に開示さ
れているものは、光増幅器の雑音特性を改善するための
技術であり、同時に、出力信号電力、利得、および圧縮
についての増幅器の設計基準に合致するものである。こ
れらの利益は、光増幅エレメントを事後増幅光減衰／損
失エレメントと組合わせることにより、および高い利
得、従って事後増幅損失エレメントにより実質的に補償
される大きな出力信号電力を得るために、光増幅器をポ
ンピングすることにより得ることができる。損失エレメ
ントによる補償は、エレメントの組合わせが設計基準に
合致する出力信号電力を生成することを可能にする。
【０００５】米国特許第５，１８７，６１０号は、シス
テムに事後増幅損失を生じさせるための手段としての役
割を果たすことのできる従来のパッシブ光減衰器のいく
つかの例を示している。この米国特許に示唆された損失
導入技術は、所望の量の損失を生じさせるために、２つ
のファイバー間の故意のミスアライメントを有し、光波
信号に湾曲または曲がりの半径の関数としての制御可能
な量の損失を生じさせるために、光ファイバーまたは誘
電体導波路の湾曲部または曲がりを提供するファイバー
間カップラーを使用する。これらの損失をもたらす技術
のそれぞれにおいて、必要とされる減衰を得るために、
ファイバーギャップまたは湾曲部に対する正確な調節が
必要である。
【０００６】また、ファイバー光減衰器は有害な反射を
取り除くために、スターカップラーのような装置の使用
されていない光ファイバーの端部のための成端としても
使用される。当業者に容易に理解できるように、光スタ
ーカップラーは複数の入力光ファイバー、連結領域およ
び複数の出力光ファイバーからなる装置である。光スタ
ーカップラーは、典型的には各入力ファイバーにおいて
受信した光パワーの１部分を全ての出力ファイバーに伝
送するように動作し、複数の端子が互いに通信できるよ
うにする光バスを具現化するために特に有用である。
【０００７】典型的な、標準在庫のスターカプラーは８
×８デバイスであり、例えば、８個の入力ファイバーお
よび８個の出力ファイバーを含む。しかし、典型的なア
プリケーションにおいては、全ての入力ファイバーが光
信号を受信するのではなく、全ての出力ファイバーが離
れた場所に光信号を伝送するために他のファイバーに接
続されているわけではない。例えば、４×４カプラーを
作るためには、８個の入力ファイバーの内の４個が使用
されず、８個の出力ファイバーの内の４個が使用されな
い。出力信号を伝えるこれらの使用されていないファイ
バーは、使用されないファイバーの端部におけるファイ
バーと空気との間の屈折率の不整合に起因する望ましく
ない反射を引き起こす。
【０００８】典型的には、ガラスファイバーと空気との
境界における屈折率の不整合は、光信号の４％の反射と
なる。従って、４個の使用されない入力ファイバーおよ
び４個の使用されない出力ファイバーを持つ８×８スタ
ーカプラーにより形成される４×４カプラーにおいて、
使用されているすなわち接続されている入力ファイバー
のそれぞれに届く光信号は、連結領域により８個全ての
出力ファイバーに分配される。使用されている出力ファ
イバーに分配される放射は、コネクターアッセンブリー
により離れた場所に伝送するために、他のファイバーに
伝えられる。４個の使用されていない出力ファイバーの
端部において、反射が起きる。反射された放射は、連結
領域により、全ての入力ファイバーに分配される。そし
て使用されていない入力ファイバーの端部のガラスと空
気との境界において、再反射が起きる。この反射された
放射は、連結領域により出力ファイバーに送り返され
る。使用されていないファイバーの端部におけるガラス
と空気の境界は、光カプラーのような装置において複数
の反射を生じさせるので、様々な無反射成端装置が提案
されてきた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】例えば、米国特許第
４，９９８，７９５号において、長い光ファイバーを含
む成端装置が開示されている。ファイバーの前側の端部
にはコネクタープラグと噛み合うフェルールが取り付け
られており、コネクタープラグは成端されるべきファイ
バーの端部に取り付けられている。ファイバーの後ろ側
の端部は所定の角度で押し潰されており、屈折率が一致
する不透明な接着材料の中に挿入されている。ファイバ
ーと接着材料との境界には実質的には反射がないので、
ファイバー長を伝播する実質的に全ての放射は、屈折率
が一致する不透明な接着材料の中に伝送され、そこでこ
の放射は吸収される。上記の米国特許に開示された装置
は、実質的に反射のない成端を達成するように見える
が、この複雑な構造は、いくつかの労働集約的な処理工
程を必要とし、時間がたつにつれて性能が低下する可能
性がある。
【００１０】以上のことに鑑みると、制御された減衰の
度合いを柔軟に提供でき、必要とする損失量を生じさせ
るために光路のいかなる点にも挿入することができ、光
ファイバーのための実質的に反射のない成端を提供する
ために使用できる受動光信号減衰エレメントを提供でき
れば有利である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明による受動光減衰
装置は、コアおよびクラッドを有する導波路の一部分を
含む。この導波路部分は、光の放射を受け取り、その長
さに沿って光放射の少なくとも０．２dB／m を吸収する
ようになっている。本発明の第１の特徴によれば、導波
路はその長さに沿って実質的に均一に約１ないし１００
０dB／m の間の吸収を行うように構成されている。減衰
は１００mWよりも小さい光パワーで一定のままである。
導波路は溶融シリカファイバーから形成され、この溶融
シリカファイバーは所定の波長における所定の吸収度合
いを提供するために有効な濃度においてＦｅ，Ｎｉ，Ｃ
ｏ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ｔｉ，ＭｎおよびＶからなるクラスか
ら選ばれた金属イオンでドープされた領域を有する。
【００１２】本発明の一実施形態においては、このドー
プされた領域はファイバーのコアである。他の実施形態
においては、このドープされた領域はファイバーのコア
を取り巻くリング層である。
【００１３】低損失の信号搬送導波路への接続を容易に
するために、本発明の光減衰器は、導波路セクションを
連結するための手段を設け、光信号をそこから受け取る
ことを可能とすることもできる。
【００１４】本発明の導波路セクションにより得られる
減衰の度合いは、アプリケーションにより決まる。例え
ば、もし望むのであれば、導波路が所定の波長において
実質的に全ての入力放射を吸収するように構成すること
もできる。したがって、使用されていないスターカプラ
ーまたは同様の装置の信号搬送ファイバーのための無反
射成端装置を提供するために使用することができる。
【００１５】光信号伝送路を決めるための少なくとも１
つの光導波路を有する光信号伝送システムを製造する方
法は、コアおよびクラッドを有する光導波路セクション
を提供するステップと、光放射を受け取り、受け取った
光放射の少なくとも０．２dB／m を吸収するように適合
された吸収領域を決定するステップとからなる。光の放
射は導波路セクションの全長にわたって吸収され、所定
の光パワー以下で実質的に一定になる減衰を提供する。
この方法はさらに、光導波路セクションの第１の端部を
少なくとも１つの光導波路の対応する終端に結合するス
テップを含む。
【００１６】単一の導波路が光伝送路を決める場合、実
質的に反射のない高損失成端が、本発明の方法を使用し
て製造することができる。また、必要な減衰の度合い
が、光導波路セクションのそれぞれの端部を第１および
第２の光導波路の対応する端部に結合することにより、
２つの導波路の間に得ることができる。本発明の一実施
形態において、少なくとも１つの光導波路および光導波
路セクションは光ファイバーであり、結合ステップはそ
れぞれの光ファイバーの溶融接合である。
【００１７】
【発明の実施の形態】上述したように、本発明の目的は
光ファイバーのための無反射成端を提供するための成端
アッセンブリにおいて、または光信号路を決定するファ
イバーの２つのセクション間に制御された度合いの減衰
を生じさせるためのカップリングアッセンブリにおいて
使用することができる減衰エレメントを提供することで
ある。これらのアプリケーションのそれぞれについて、
遷移元素（例えば、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ｔ
ｉ，Ｍｎ，Ｖ）でドープされたファイバーのセクション
が、必要な度合いの損失／減衰を得るために使用され
る。
【００１８】もちろん、非常に低い光損失を持つドープ
された溶融シリカガラスの製造は、約６００ないし１６
００nmの範囲の波長において通信システムの正常な動作
に必要とされる減衰レベル（＜２０dB／km）に達するた
めに、仮想的には遷移元素を入れないで行われなければ
ならないことが良く知られている。しかし本発明者たち
によって実現された本発明の重要な点は、適切な濃度の
遷移金属イオンでドープされたファイバーセクション
が、動作波長において正確に制御された度合いの減衰を
得るために使用することができることである。
【００１９】図１は８ないし１２ミクロンのコア領域１
２および１２５ミクロンの厚さのクラッド層１４を有す
る減衰ファイバーエレメント１０の一実施形態を示す。
図１の実施形態において、コア領域１２はＧｅおよび前
述した遷移イオン金属の内の１つのような屈折率を大き
くする元素でドープされている。ドープされた溶融シリ
カガラスを形成するための技術は、この技術分野におい
て良く知られており、その詳細な説明は省略する。しか
し使用することのできる技術のより詳しい説明が米国特
許第４，７８７，９２７号に示されている。
【００２０】図１に示された実施例のファイバーセクシ
ョンにより得られる正確なレベルの減衰は少なくとも１
部において選択された遷移金属の濃度および吸収損失特
性に依存する。Peter Schultz著の論文「“Optical Abs
orption of the TransitionElements in Vitreous Sili
ca”, published in 57 Journal of the AmericanCeram
ic Society 309-313 (July 1974)」において、炎加水分
解により作った溶融シリカ中の遷移元素についての実際
の吸収率スペクトルが示されている。Schultz氏は、８
００nmから１０００nmの範囲においてバナジウムが最も
強い吸収体であり、溶融シリカ中のたった１９ppba Vが
８００nmにおいて２０dB／kmの損失を生じさせるために
必要であり、１３００nmを越える波長においては、クロ
ムが最も強い程度の吸収を示すことをレポートしてい
る。
【００２１】遷移金属でドープした光ファイバーを形成
することが、本発明による減衰光エレメントを得るため
の１つの方法であるが、望ましい吸収特性を有するファ
イバーを製造するために他の方法も使用することができ
る。例えば、Ｇｅでドープされたファイバーに水素をし
みこませるような事後処理技術を使用することにより満
足な結果が得られる。水素はファイバーに浸透し、Ｇｅ
と熱的または光分解的に反応して吸収性領域を形成す
る。適切な減衰特性を持つファイバーを製造するために
使用できる代替的な事後処理技術は、ファイバーセクシ
ョンをガンマ線で照射することである。また、水素反応
は遷移金属の酸化状態を変えるために使用でき、したが
って、吸収の度合いを変えることができる。そして所定
のファイバーがある範囲の減衰レベルを提供するように
作られる。
【００２２】図２Ａにおいて、本発明の他の一実施形態
による減衰ファイバーエレメントが示されている。図２
Ａに示す実施形態において、ファイバーエレメント２０
は、Ｇｅでドープされたコア領域２２および遷移金属で
ドープされた吸収性リング層２６を規定するクラッド層
２４を含む。この実施形態によれば、短い波長λ1の光
信号はリング層２６を通らず、したがって損失は小さ
い。反対に長い波長のλ 2の光信号はリング層２６を通
り、大きな損失を生じる。
【００２３】図２Ｂに示されているように、ファイバー
セクション２２にはテーパーの付けられた領域２８があ
り、短い波長の信号をリング層２６により減衰させるこ
とが可能である。テーパーが付けられた領域２８より前
では、モードフィールドはリング層２６にオーバーラッ
プしていない。テーパーにおいては、モードフィールド
は大きくなり、テーパーにオーバーラップし、損失領域
を作る。多くの様々な実質的に反射のない受動的な減衰
および成端装置は、本発明の減衰ファイバーエレメント
を使用することにより製造することができる。例えば、
存在している光路中に挿入するために適切な減衰装置
は、存在する光路を構成するファイバーの光学特性に対
応する光学特性を有するファイバーのそれぞれの接続用
セクションに、損失ファイバーセクションの両端を溶融
接合することにより作ることができる。これらの接続部
は、光ファイバーの対応する端部に挿入位置で溶融接合
または他の結合が成される。本発明による実質的に反射
のない成端装置は、例えば使用されていないファイバー
に溶融接合された損失の多いファイバのセクションを含
むことができる。結合アッセンブリを使用する他の成端
装置の構造が図３に示されている。
【００２４】成端装置３０は差し込み型の溝が付けられ
た結合リング３２と一体となっており、使用されていな
いファイバーまたは他のファイバーが終端されるべき図
示されていない適切な差し込みコネクターにコネクタソ
ケットの手段により接続される。成端装置３０は、図１
に示した実施例による遷移金属をドープしたコアを有す
る長いファイバー３４を含む。実質的に全ての光放射の
伝播がその中で吸収されるように、長いファイバー３４
の遷移金属のドーピングの程度が選択される。
【００２５】長いファイバー３４は前の部分３６および
後ろの部分３８を有する。長いファイバー３４の前の部
分３６は結合リング（差し込み型コネクタプラグ）３２
に取り付けられる。長いファイバー３４の後ろの部分３
８はファイバーの前の部分３６が挿入される穴４４を有
するセラミックのフェルール４２を支持するハウジング
４０内に受け入れられる。フェルールの先端４６は、使
用されていないファイバーの自由端と関連づけられた図
示されていない反対側の差し込みコネクターの部分を構
成する図示されていない同様のフェルールとの物理的接
触のために研磨される。
【００２６】なお、当然のことであるが、本発明による
減衰光ファイバーエレメントを１つ以上のファイバー端
部に結合するためにいかなる適切な装置も使用すること
ができ、一般にアプリケーションにしたがって特定の結
合のタイプが選択される。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、制御された減衰の度合
いを柔軟に提供でき、必要とする損失量を生じさせるた
めに光路のいかなる点にも挿入することができ、光ファ
イバーのための実質的に反射のない成端を提供するため
に使用可能な受動光信号減衰エレメントを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による減衰導波路セクショ
ンの断面図。
【図２】Ａは、本発明の他の一実施形態による減衰導波
路の断面図で、Ｂは、Ａの実施形態においてテーパー領
域を使用した構造の断面図。
【図３】本発明の一実施形態による減衰導波路エレメン
トを使用する成端装置の一例を示す図。
【符号の説明】
１０ 減衰ファイバーエレメント １２，２２ コア領域 １４，２４ クラッド層 ２０ ファイバーエレメント ２６ リング層 ２８ テーパー領域 ３０ 成端装置 ３２ 差し込み型溝付き結合リング ３４ 長いファイバー ３６ 前の部分 ３８ 後ろの部分 ４０ ハウジング ４２ フェルール ４４ 穴 ４６ 先端
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キャサリン テレサ ネルソン アメリカ合衆国，07933 ニュージャージ ー， ジレット，ロング ヒル ロード 843 (72)発明者 ジェイ リチャード シンプソン アメリカ合衆国，07023 ニュージャージ ー， ファンウッド，ロビン ロード ８ (72)発明者 ケネス リー ウォーカー アメリカ合衆国，07974 ニュージャージ ー， ニュー プロヴィデンス，セントラ ル アヴェニュー 1003

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 コアおよびクラッドを有し、光放射を受
    け取り、前記受け取った光放射の少なくとも０．２dB／
    m を吸収するように設けられた吸収領域を規定する光導
    波路を含み、 前記光放射は、前記導波路の長さに沿って吸収され、所
    定の光パワー以下で実質的に一定に保たれる減衰を供給
    することを特徴とする受動光減衰器。
  2. 【請求項２】 前記吸収領域が、ある長さを持ち、その
    長さに沿って前記光放射を実質的に均一に吸収するよう
    に設けられたことを特徴とする請求項１記載の光減衰
    器。
  3. 【請求項３】 前記吸収領域が、約０．２ないし１００
    ０dB／m の範囲を吸収するように動作可能であることを
    特徴とする請求項１記載の光減衰器。
  4. 【請求項４】 前記吸収領域が、１００dB／m よりも多
    く吸収するように動作可能であることを特徴とする請求
    項３記載の光減衰器。
  5. 【請求項５】 前記導波路が溶融シリカファイバーから
    なり、 前記吸収領域がＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ｍｎ，
    ＴｉおよびＶからなる群から選択された金属イオンでド
    ープされた前記ファイバーの一部であり、その濃度は、
    所定の波長において予め定められた程度の吸収を与える
    ことを特徴とする請求項１記載の光減衰器。
  6. 【請求項６】 前記導波路が光ファイバーから光信号を
    受け取ることを可能にするように、導波路を低損失光フ
    ァイバーに結合する手段をさらに有することを特徴とす
    る請求項１記載の光減衰器。
  7. 【請求項７】 前記結合手段は、低損失ファイバーに対
    応する光学特性を有する少なくとも１つの接続部を含
    み、この接続部は前記導波路に溶融接合されていること
    を特徴とする請求項６記載の光減衰器。
  8. 【請求項８】 前記吸収領域は、水素ガスを溶融シリカ
    ファイバー中のドーパントに反応させることにより形成
    されることを特徴とする請求項１記載の光減衰器。
  9. 【請求項９】 前記吸収領域は、溶融シリカファイバー
    にガンマ線を照射することによって形成されることを特
    徴とする請求項１記載の光減衰器。
  10. 【請求項１０】 前記減衰は、１００mWよりも小さい光
    パワーにおいて実質的に一定であることを特徴とする請
    求項１記載の光減衰器。
  11. 【請求項１１】 低損失ファイバーよりも単位長当たり
    の高い吸収率を有する低損失光ファイバーに接続可能な
    減衰ファイバーのセクションと、 前記ファイバーセクションが低損失光ファイバーからの
    光信号を受信可能となるように前記ファイバーセクショ
    ンを低損失光ファイバーに結合するための手段とを含む
    低損失光ファイバーにより運ばれる光信号のパワーを減
    少させるための受動光減衰器。
  12. 【請求項１２】 前記ファイバーセクションはコアを有
    し、遷移金属でドープされた少なくとも１つの領域を含
    むことを特徴とする請求項１１記載の光減衰器。
  13. 【請求項１３】 前記ファイバーセクションが、前記低
    損失ファイバーにより運ばれる実質的に全ての光放射を
    吸収することを特徴とする請求項１１記載の光減衰器。
  14. 【請求項１４】 コアおよびクラッドを有する光導波路
    セクションを提供するステップと、 光放射を受信し、前記受信された光放射の少なくとも
    ０．２dB／m を吸収する吸収領域を決定するステップ
    と、 前記光導波路の第１の端部を少なくとも１つの光導波路
    の対応する終端に結合するステップとからなり、 前記光放射は、前記導波路セクションの長さに沿って吸
    収され、予め定められた光パワー以下において実質的に
    一定に保たれる減衰を提供することを特徴とする光信号
    伝送路を規定するための少なくとも１つの光導波路を有
    する光信号伝送システムの製造方法。
  15. 【請求項１５】 光信号伝送路は、第１および第２の光
    導波路により決定され、 前記結合ステップは、前記光導波路セクションの各端部
    を第１および第２の光導波路の対応する端部に結合する
    ステップであることを特徴とする請求項１４記載の方
    法。
  16. 【請求項１６】 少なくとも１つの光導波路および前記
    光導波路セクションは光ファイバーであり、 前記結合ステップは、前記光ファイバーを一緒に溶融接
    合するステップであることを特徴とする請求項１４記載
    の方法。
JP7197890A 1994-07-13 1995-07-12 受動光減衰器および光信号伝送システムの製造方法 Pending JPH0843632A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/274,597 US5572618A (en) 1994-07-13 1994-07-13 Optical attenuator
US274597 1994-07-13

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