JPH0843306A - ガスレーザー及びそれを使用するガス検出 - Google Patents
ガスレーザー及びそれを使用するガス検出Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 チョッパを持たない単体で頑丈な構造の２波
長吸収物質検出用光源を提供する。 【構成】 共振器ミラー又は回折格子（１３）、特にリ
トロー回折格子の正弦的調整により、２つの異なる波長
（Ｌａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 ）で放射するガスレ
ーザー（１）。回折格子構造及び角度位置に関する回折
格子（１３）の数値と、射出ミラー（１２）の射出角度
と、共振器長さ（Ｌ）と、ガスの組成とを適切に規定し
て、共振器長さ（Ｌ）の２つの隣接するインタバルの中
で２つの所望の波長（Ｌａｍｂｄａ1 及びＬａｍｂｄａ
2 ）で放射し且つ２つのインタバルの間の移行部分でレ
ーザー放射は阻止されている。
長吸収物質検出用光源を提供する。 【構成】 共振器ミラー又は回折格子（１３）、特にリ
トロー回折格子の正弦的調整により、２つの異なる波長
（Ｌａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 ）で放射するガスレ
ーザー（１）。回折格子構造及び角度位置に関する回折
格子（１３）の数値と、射出ミラー（１２）の射出角度
と、共振器長さ（Ｌ）と、ガスの組成とを適切に規定し
て、共振器長さ（Ｌ）の２つの隣接するインタバルの中
で２つの所望の波長（Ｌａｍｂｄａ1 及びＬａｍｂｄａ
2 ）で放射し且つ２つのインタバルの間の移行部分でレ
ーザー放射は阻止されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２つの異なる波長の下
で共振器ミラー又は回折格子の正弦的調整により変調放
射するガスレーザーに関する。また、本発明は、２つの
波長の光の吸収率の相違によって物質を検出するための
構造におけるそのようなガスレーザーの使用、並びにそ
れに対応する物質検出用構造にも関する。
で共振器ミラー又は回折格子の正弦的調整により変調放
射するガスレーザーに関する。また、本発明は、２つの
波長の光の吸収率の相違によって物質を検出するための
構造におけるそのようなガスレーザーの使用、並びにそ
れに対応する物質検出用構造にも関する。
【０００２】
【従来の技術】２つの放射波長をもって動作し、且つ圧
電方式で駆動される共振器ミラーの正弦的振動により変
調されるような先に挙げた種類のガス検出用レーザー
は、欧州特許第Ａ０１９６８５６号から知られている。
これは、メタンセルを有するＩＲ−Ｈｅ−Ｎｅレーザー
である。変調は、２つの波長の強さの和が広範囲にわた
り一定のままであるように、１ＫＨｚで起こる。検出に
ついての詳細な記述はない。
電方式で駆動される共振器ミラーの正弦的振動により変
調されるような先に挙げた種類のガス検出用レーザー
は、欧州特許第Ａ０１９６８５６号から知られている。
これは、メタンセルを有するＩＲ−Ｈｅ−Ｎｅレーザー
である。変調は、２つの波長の強さの和が広範囲にわた
り一定のままであるように、１ＫＨｚで起こる。検出に
ついての詳細な記述はない。
【０００３】Ａ．Ｇ．Ｇｅｒａｓｉｍｃｈｕｋ他のＳｏ
ｖ．Ｊ．Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ１２（１）
（１９８２年１月）の１１０〜１１２ページには、２波
長ＣＯ2 レーザーを使用するアンモニア検出が説明され
ている。波長の変調は、方形制御パルスによって圧電方
式で運動するミラーにより起こる。同期検出器が設けら
れている。
ｖ．Ｊ．Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ１２（１）
（１９８２年１月）の１１０〜１１２ページには、２波
長ＣＯ2 レーザーを使用するアンモニア検出が説明され
ている。波長の変調は、方形制御パルスによって圧電方
式で運動するミラーにより起こる。同期検出器が設けら
れている。
【０００４】Ｓｔｅｉｎ他のＡｐｐｌｉｅｄ Ｏｐｔｉ
ｃｓ第２２巻第２１号（１９８３年１１月）の３３７８
〜３３８１ページ、米国特許第４，４７１，２２０号
（Ｅｘｘon）及び米国特許第５，００２，３９１号（Ｍ
ｕｅｔｅｋ）には、アイソトープ選択13ＣＯ2 レーザー
の２つの波長によって燃焼装置の煙道ガス中のＮＨ3 の
検出が記載されている。Ｓｔｅｉｎと米国特許第４，４
７１，２２０号は２つの波長に対して２つの別個のレー
ザーを使用すると共に、２つの機械式チョッパを使用す
る。米国特許第５，００２，３９１号は単一のレーザー
を有し、レーザーのミラー又は回折格子は方形パルスに
よって圧電方式で調整されて、２つの波長の一方をそれ
ぞれ交互に発生させる。同期動作する機械式チョッパは
２つの波長で一対のパルスが過ぎるたびに走査を実行す
る。検出に利用されるのはパイロ電気検出器と、サンプ
ルホールド回路である。
ｃｓ第２２巻第２１号（１９８３年１１月）の３３７８
〜３３８１ページ、米国特許第４，４７１，２２０号
（Ｅｘｘon）及び米国特許第５，００２，３９１号（Ｍ
ｕｅｔｅｋ）には、アイソトープ選択13ＣＯ2 レーザー
の２つの波長によって燃焼装置の煙道ガス中のＮＨ3 の
検出が記載されている。Ｓｔｅｉｎと米国特許第４，４
７１，２２０号は２つの波長に対して２つの別個のレー
ザーを使用すると共に、２つの機械式チョッパを使用す
る。米国特許第５，００２，３９１号は単一のレーザー
を有し、レーザーのミラー又は回折格子は方形パルスに
よって圧電方式で調整されて、２つの波長の一方をそれ
ぞれ交互に発生させる。同期動作する機械式チョッパは
２つの波長で一対のパルスが過ぎるたびに走査を実行す
る。検出に利用されるのはパイロ電気検出器と、サンプ
ルホールド回路である。
【０００５】英国特許第Ａ２１２７５３７号は、圧電方
式で調整される共振器ミラーにより異なる波長で放射す
ることができるレーザー、好ましくは回折格子をもたな
いＣＯ2 レーザーを有するガス検出器を説明している。
測定光路には機械式チョッパと、冷却光検出器と、位相
感知検出器回路とが設けられている。パイロ電気検出器
を有する基準セルは必須の素子である。
式で調整される共振器ミラーにより異なる波長で放射す
ることができるレーザー、好ましくは回折格子をもたな
いＣＯ2 レーザーを有するガス検出器を説明している。
測定光路には機械式チョッパと、冷却光検出器と、位相
感知検出器回路とが設けられている。パイロ電気検出器
を有する基準セルは必須の素子である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、検出
光路中に外部切替え手段、たとえば、チョッパをもた
ず、単純で頑丈な構造と、電子的に適切に処理可能であ
る信号特性とを有し、２波長吸収物質検出用の光源とし
て適している先に挙げた種類のガスレーザーを提供する
ことである。それらのレーザーの特徴を最適に利用する
レーザー物質検出のための全システムについても説明す
る。
光路中に外部切替え手段、たとえば、チョッパをもた
ず、単純で頑丈な構造と、電子的に適切に処理可能であ
る信号特性とを有し、２波長吸収物質検出用の光源とし
て適している先に挙げた種類のガスレーザーを提供する
ことである。それらのレーザーの特徴を最適に利用する
レーザー物質検出のための全システムについても説明す
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題は、先に挙げた
種類のガスレーザーにおいて、回折格子の構造及び角度
位置に関する同調回折格子の数値と、射出ミラーの射出
角度と、共振器長さと、ガス組成とを、レーザーが共振
器長さの２つの隣接するインタバルの中で２つの所望の
波長で放射し且つ２つのインタバルの間の移行部分では
レーザー放射が阻止されるように選択することと、共振
器長さの正弦的変調がこの移行部分に関して対称に起こ
ることによって解決される。
種類のガスレーザーにおいて、回折格子の構造及び角度
位置に関する同調回折格子の数値と、射出ミラーの射出
角度と、共振器長さと、ガス組成とを、レーザーが共振
器長さの２つの隣接するインタバルの中で２つの所望の
波長で放射し且つ２つのインタバルの間の移行部分では
レーザー放射が阻止されるように選択することと、共振
器長さの正弦的変調がこの移行部分に関して対称に起こ
ることによって解決される。
【０００８】有利な実施形態は特許請求の範囲第２項か
ら第５項の対象である。特にガス中の微量ガスの検出、
とりわけ、煙道ガス中のアンモニア検出などの物質検出
のための構造においてそのようなガスレーザーを使用す
ると、そのような構造に求められる利点が得られる。
ら第５項の対象である。特にガス中の微量ガスの検出、
とりわけ、煙道ガス中のアンモニア検出などの物質検出
のための構造においてそのようなガスレーザーを使用す
ると、そのような構造に求められる利点が得られる。
【０００９】特許請求の範囲第８項に記載の本発明によ
る構造は、それ自体は既に知られている構成要素と共
に、それ以前の特許請求の範囲のうち１項に記載のガス
レーザーの適用を意図している。これ以降の特許請求の
範囲による有利な構成は、反射鏡を含む開放構成の測定
区間と；セルを含む校正を目的とする基準区間と；ＮＨ
3 の検出のために測定区間を煙道ガス通路に配置するこ
とと；レーザーの性能を物質濃度に適合させるか又は
塵、煙及びその他の基本効果の吸収、散乱作用に適合さ
せ、それにより、センサダイナミクスを向上させる手
段、たとえば、交換可能又は挿入自在の減衰フィルタと
に関する。
る構造は、それ自体は既に知られている構成要素と共
に、それ以前の特許請求の範囲のうち１項に記載のガス
レーザーの適用を意図している。これ以降の特許請求の
範囲による有利な構成は、反射鏡を含む開放構成の測定
区間と；セルを含む校正を目的とする基準区間と；ＮＨ
3 の検出のために測定区間を煙道ガス通路に配置するこ
とと；レーザーの性能を物質濃度に適合させるか又は
塵、煙及びその他の基本効果の吸収、散乱作用に適合さ
せ、それにより、センサダイナミクスを向上させる手
段、たとえば、交換可能又は挿入自在の減衰フィルタと
に関する。
【００１０】特許請求の範囲第１３項及び第１４項によ
れば、本発明による構造はチョッパ又は校正済セルを通
る基準ビームに対する第３の検出器をもたないで済むと
特に有利である。これにより、機器に要するコストは明
らかに低減され、動作の確実性は向上する。測定検出器
としてはＭＣＴ検出器が好ましい。評価手段の好ましい
構造は基準検出器及び測定検出器のＡＣ結合と、増幅回
路及び積分手段と、アナログ／デジタル変換器及びプロ
グラム可能コンピュータとを含むことになる。
れば、本発明による構造はチョッパ又は校正済セルを通
る基準ビームに対する第３の検出器をもたないで済むと
特に有利である。これにより、機器に要するコストは明
らかに低減され、動作の確実性は向上する。測定検出器
としてはＭＣＴ検出器が好ましい。評価手段の好ましい
構造は基準検出器及び測定検出器のＡＣ結合と、増幅回
路及び積分手段と、アナログ／デジタル変換器及びプロ
グラム可能コンピュータとを含むことになる。
【００１１】その場合、積分手段はガスレーザーが２つ
の波長の一方を放射する時間間隔の大部分にわたって、
検出器が受信した信号を積分することが好ましい。それ
により、雑音の少ない有効信号をきわめて迅速に得るこ
とができる。これは、特に、妨害の少ない信号の推移を
与える正弦変調によって可能になる。その他の電子回路
素子を都合良くレイアウトした場合にセンサダイナミク
スを改善するために、増幅回路の増幅定数を測定検出器
の信号に従って自動的に、たとえば、１０倍、１００倍
及び１０００倍に調整することができる。
の波長の一方を放射する時間間隔の大部分にわたって、
検出器が受信した信号を積分することが好ましい。それ
により、雑音の少ない有効信号をきわめて迅速に得るこ
とができる。これは、特に、妨害の少ない信号の推移を
与える正弦変調によって可能になる。その他の電子回路
素子を都合良くレイアウトした場合にセンサダイナミク
スを改善するために、増幅回路の増幅定数を測定検出器
の信号に従って自動的に、たとえば、１０倍、１００倍
及び１０００倍に調整することができる。
【００１２】もう１つの利点は特許請求の範囲第１９項
の中に記載されている。すなわち、アンモニアの影響を
受けていない基準波長Ｌａｍｂｄａ2 における透過率か
ら排気ガス中の煙濃度を確定することは、コンピュータ
を適切にプログラミングすることによって初めて同時に
可能になるのである。図面を参照して、一実施例により
本発明をさらに詳細に説明する。
の中に記載されている。すなわち、アンモニアの影響を
受けていない基準波長Ｌａｍｂｄａ2 における透過率か
ら排気ガス中の煙濃度を確定することは、コンピュータ
を適切にプログラミングすることによって初めて同時に
可能になるのである。図面を参照して、一実施例により
本発明をさらに詳細に説明する。
【００１３】
【実施例】図１に示すＣＯ2 レーザー１はそれ自体は既
に知られている構成要素から構成されている。長さＬK
のセラミック導波管１１と、間隔ｄ1 にある射出ミラー
１２と、間隔ｄ2 にある回折格子１３とはレーザー共振
器を形成する。共振器の長さＬは圧電調整素子１４によ
って調整自在である。その励起はＨＦ伝送線１５を介し
て実行され、冷却水導管１６が設けられており、その構
造全体が安定したハウジング１７の内部に配置されてい
る。
に知られている構成要素から構成されている。長さＬK
のセラミック導波管１１と、間隔ｄ1 にある射出ミラー
１２と、間隔ｄ2 にある回折格子１３とはレーザー共振
器を形成する。共振器の長さＬは圧電調整素子１４によ
って調整自在である。その励起はＨＦ伝送線１５を介し
て実行され、冷却水導管１６が設けられており、その構
造全体が安定したハウジング１７の内部に配置されてい
る。
【００１４】本発明に重要なのは、それらの構成要素の
選択、寸法規定及び制御である。所望の波長（この場
合、Ｌａｍｂｄａ1 ＝１０８００μｍ及びＬａｍｂｄａ
2 ＝１０７８４μｍ）の波長の選択は、リトロー構造の
回折格子１３によって行われる。回折格子１３は、一般
に格子のラインの本数、すなわち、分解能により、２つ
の所望のラインＬａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 のみ振
動することができるように構成されている（最適ライン
密度は約１５０本／mm、リトロー角度は５４．１°、１
次（すなわち、オートコリメーション時）の反射効率は
約９８％）。
選択、寸法規定及び制御である。所望の波長（この場
合、Ｌａｍｂｄａ1 ＝１０８００μｍ及びＬａｍｂｄａ
2 ＝１０７８４μｍ）の波長の選択は、リトロー構造の
回折格子１３によって行われる。回折格子１３は、一般
に格子のラインの本数、すなわち、分解能により、２つ
の所望のラインＬａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 のみ振
動することができるように構成されている（最適ライン
密度は約１５０本／mm、リトロー角度は５４．１°、１
次（すなわち、オートコリメーション時）の反射効率は
約９８％）。
【００１５】セラミック導波管１１は、一辺の長さが約
２mmであり且つ長さＬK ＝２１８mmである正方形の横断
面を有する（丸形と比べて製造上の利点がある）。最適
の動作を得るために重要であるのは、共振器の全長Ｌ＝
ｄ1＋ＬK＋ｄ2 である。２つのラインが周波数ｆ1と周
波数ｆ2を有する場合、下記の条件にあるとき、双方の
ラインは同時に振動することができる： ｆ1 −ｆ2 ＝Ｎ・ＦＳＲ 式中、Ｎは整数（ライン１とライン２の半波Ｌａｍｂｄ
ａ／２の数の差）であり、ＦＳＲは自由スペクトル範
囲：Ｃ／２Ｌ（Ｃ＝光速、Ｌ＝共振器長さ）である。
２mmであり且つ長さＬK ＝２１８mmである正方形の横断
面を有する（丸形と比べて製造上の利点がある）。最適
の動作を得るために重要であるのは、共振器の全長Ｌ＝
ｄ1＋ＬK＋ｄ2 である。２つのラインが周波数ｆ1と周
波数ｆ2を有する場合、下記の条件にあるとき、双方の
ラインは同時に振動することができる： ｆ1 −ｆ2 ＝Ｎ・ＦＳＲ 式中、Ｎは整数（ライン１とライン２の半波Ｌａｍｂｄ
ａ／２の数の差）であり、ＦＳＲは自由スペクトル範
囲：Ｃ／２Ｌ（Ｃ＝光速、Ｌ＝共振器長さ）である。
【００１６】ＮＨ3 検出の場合、アイソトープ13Ｃを利
用するＣＯ2 レーザーを使用し、そのラインはＲ（１
６），Ｌａｍｂｄａ1 ＝１０．８００μｍ：ｆ1 ＝２７
７５８５００．３６ＭＨｚ及びＲ（１８），Ｌａｍｂｄ
ａ2 ＝１０．７８４μｍ：ｆ2＝２７７９９７６４．１
８ＭＨｚとなっている（米国特許第５，００２，３９１
号を参照）。
用するＣＯ2 レーザーを使用し、そのラインはＲ（１
６），Ｌａｍｂｄａ1 ＝１０．８００μｍ：ｆ1 ＝２７
７５８５００．３６ＭＨｚ及びＲ（１８），Ｌａｍｂｄ
ａ2 ＝１０．７８４μｍ：ｆ2＝２７７９９７６４．１
８ＭＨｚとなっている（米国特許第５，００２，３９１
号を参照）。
【００１７】Ｎ＝１であるときに全長は３．６３mmとな
ることになる。すなわち、全て３．６３mmにより同一の
比をもつことになる。たとえば： １）Ｌ＝3.63mm：６７２の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，６７３
の半波Ｌａｍｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ1 とＬａｍｂｄａ2 の同時放射 ２） i） Ｌ＝（3.63+3.63/2）mm＝5.443mm（厳密には5.4432
mm）：1008.0 の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，1009.5 の半波Ｌ
ａｍｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ1 のみの放射 ii）Ｌ＝5.4432mm＋（Lambda/4 = 2.7μｍ）＝5.4459m
m：1008.5 の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，1010 の半波Ｌａｍ
ｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ2 のみの放射 ３）Ｌ＝2×3.63mm＝7.26mm １３４４の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，１３４６の半波Ｌａｍ
ｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ1 とＬａｍｂｄａ2 の同時放射 Ｌａｍｂｄａ1 とＬａｍｂｄａ2 のレーザー放射を時間
的に連続させることができるように、共振器長さＬはケ
ース２）と同様に選択される。すなわち、 Ｌ＝（ｎ＋１／２）×３．６３mm となる。
ることになる。すなわち、全て３．６３mmにより同一の
比をもつことになる。たとえば： １）Ｌ＝3.63mm：６７２の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，６７３
の半波Ｌａｍｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ1 とＬａｍｂｄａ2 の同時放射 ２） i） Ｌ＝（3.63+3.63/2）mm＝5.443mm（厳密には5.4432
mm）：1008.0 の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，1009.5 の半波Ｌ
ａｍｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ1 のみの放射 ii）Ｌ＝5.4432mm＋（Lambda/4 = 2.7μｍ）＝5.4459m
m：1008.5 の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，1010 の半波Ｌａｍ
ｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ2 のみの放射 ３）Ｌ＝2×3.63mm＝7.26mm １３４４の半波Ｌａｍｂｄａ1 ，１３４６の半波Ｌａｍ
ｂｄａ2 Ｌａｍｂｄａ1 とＬａｍｂｄａ2 の同時放射 Ｌａｍｂｄａ1 とＬａｍｂｄａ2 のレーザー放射を時間
的に連続させることができるように、共振器長さＬはケ
ース２）と同様に選択される。すなわち、 Ｌ＝（ｎ＋１／２）×３．６３mm となる。
【００１８】この場合、共振器長さＬに従って双方のラ
インＬａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 の分離は最大にな
る（図２を参照）。具体的な実施例では、共振器Ｌは２
４８．７±０．２mm（＝６８．５mm・３．６３mm）に調
整されている。
インＬａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 の分離は最大にな
る（図２を参照）。具体的な実施例では、共振器Ｌは２
４８．７±０．２mm（＝６８．５mm・３．６３mm）に調
整されている。
【００１９】交互放射は、回折格子１３をレーザー１の
光軸の方向に直線的に摺動させる圧電調整素子１４を使
用して、ここでは約５μｍである四分の一波長の範囲内
で共振器長さＬを正弦的に変化させることによって得ら
れる（２）i），２）ii） を比較する）。
光軸の方向に直線的に摺動させる圧電調整素子１４を使
用して、ここでは約５μｍである四分の一波長の範囲内
で共振器長さＬを正弦的に変化させることによって得ら
れる（２）i），２）ii） を比較する）。
【００２０】射出ミラー１２の曲率半径はｒ12＝５００
mmとなり、反射率Ｒ12＝９０％である。これはレーザー
媒体の増強（すなわち、ガスの組成、ガス圧など）と、
共振器内部における損失と、ポンプ性能とによって決ま
る。レーザーガスはＨｅと、レーザー活性ガスとしての
13ＣＯ2 と、Ｎ2 及びＸｅとから成る通常通りの混合物
であり、ガス圧は約１２０ｍｂａｒとなり、入射するＨ
Ｆのパワーは４０〜７０Ｗの大きさである。共振器内部
の損失は第１にリトロー回折格子１３（反射、散乱、吸
収）及び導波管１１によって決まり、約３〜５％であ
る。Ｌａｍｂｄａ 1 ＝１０．８００μｍ又はＬａｍｂｄ
ａ2 ＝１０．７８４μｍのときのレーザー出力パワーは
約１．２Ｗになる。
mmとなり、反射率Ｒ12＝９０％である。これはレーザー
媒体の増強（すなわち、ガスの組成、ガス圧など）と、
共振器内部における損失と、ポンプ性能とによって決ま
る。レーザーガスはＨｅと、レーザー活性ガスとしての
13ＣＯ2 と、Ｎ2 及びＸｅとから成る通常通りの混合物
であり、ガス圧は約１２０ｍｂａｒとなり、入射するＨ
Ｆのパワーは４０〜７０Ｗの大きさである。共振器内部
の損失は第１にリトロー回折格子１３（反射、散乱、吸
収）及び導波管１１によって決まり、約３〜５％であ
る。Ｌａｍｂｄａ 1 ＝１０．８００μｍ又はＬａｍｂｄ
ａ2 ＝１０．７８４μｍのときのレーザー出力パワーは
約１．２Ｗになる。
【００２１】図２は、使用される13ＣＯ2 レーザーの典
型的なシグネチャ、すなわち、出力パワーＰout と、共
振器長さＬの変化デルタＬとの関係を示す。
型的なシグネチャ、すなわち、出力パワーＰout と、共
振器長さＬの変化デルタＬとの関係を示す。
【００２２】動作時、圧電調整素子１４にバイアス電圧
（ＵAP）を加え、シグネチャは最小値をとる。この時点
で正弦変調Ｕmod をオンし、その結果、圧電素子の電圧
は上下に変化し、レーザー１はパワー曲線の最大値であ
るＬａｍｂｄａ1 へ移行し、続いてＬａｍｂｄａ2 の最
大値へ移行して行く。その場合、最大値からの偏差は許
容されている。バイアス電圧ＵAPはプログラム可能コン
ピュータ５７により動作点に能動的に安定化される。変
調周波数に対応して、シグネチャの形態に対応する信号
列が得られる。
（ＵAP）を加え、シグネチャは最小値をとる。この時点
で正弦変調Ｕmod をオンし、その結果、圧電素子の電圧
は上下に変化し、レーザー１はパワー曲線の最大値であ
るＬａｍｂｄａ1 へ移行し、続いてＬａｍｂｄａ2 の最
大値へ移行して行く。その場合、最大値からの偏差は許
容されている。バイアス電圧ＵAPはプログラム可能コン
ピュータ５７により動作点に能動的に安定化される。変
調周波数に対応して、シグネチャの形態に対応する信号
列が得られる。
【００２３】図３は、煙道ガス通路３２において煙道ガ
スを検出するＮＨ3 検出器の光学的構造を示す。ビーム
スプリッタ２３では、瞬時レーザーパワーを検出するた
めに、レーザー１から放射されたレーザービームのパワ
ーの約１％をパイロ電気検出器として構成されている基
準検出器Ｄ１に供給する。発光光学系２は、ビーム拡張
のための２つのレンズ２１及び２２を有するテレスコー
プである。レーザービームは遮断窓２５を通って煙道ガ
ス通路３２に流入し、測定区間３を通過して行く。逆反
射体３１はビームを遮断窓４１へと反転させる。煙道ガ
ス通路３２の中に何度か折り返されて位置していても良
く（米国特許第５，００２，３９１号を参照）、あるい
は任意の反射鏡を含んでいても良く、反射鏡を全く含ん
でいなくとも良い長さ約１ｍから２０ｍの測定区間の中
では、レーザービームは固有の減衰を受け、集光レンズ
４の形態をとる受光光学系を経て、ＭＣＴ検出器である
測定検出器Ｄ２に到達する。ＭＣＴ検出器は、約−６０
℃まで熱電冷却され且つ応答時間が非常に短い水銀−カ
ドミウム−テルルから成る特殊フォトレジスタである。
スを検出するＮＨ3 検出器の光学的構造を示す。ビーム
スプリッタ２３では、瞬時レーザーパワーを検出するた
めに、レーザー１から放射されたレーザービームのパワ
ーの約１％をパイロ電気検出器として構成されている基
準検出器Ｄ１に供給する。発光光学系２は、ビーム拡張
のための２つのレンズ２１及び２２を有するテレスコー
プである。レーザービームは遮断窓２５を通って煙道ガ
ス通路３２に流入し、測定区間３を通過して行く。逆反
射体３１はビームを遮断窓４１へと反転させる。煙道ガ
ス通路３２の中に何度か折り返されて位置していても良
く（米国特許第５，００２，３９１号を参照）、あるい
は任意の反射鏡を含んでいても良く、反射鏡を全く含ん
でいなくとも良い長さ約１ｍから２０ｍの測定区間の中
では、レーザービームは固有の減衰を受け、集光レンズ
４の形態をとる受光光学系を経て、ＭＣＴ検出器である
測定検出器Ｄ２に到達する。ＭＣＴ検出器は、約−６０
℃まで熱電冷却され且つ応答時間が非常に短い水銀−カ
ドミウム−テルルから成る特殊フォトレジスタである。
【００２４】基準検出器Ｄ１及び測定検出器Ｄ２からの
信号は評価手段５に供給される。基本濃度が非常に低い
ときに測定を実行するために、検出器を保護するよう
に、レーザービームを挿入自在のフィルタ２４により、
たとえば、２／１０００パワーまで減衰することができ
る。校正を目的として、（Ｄ１及びＤ２）を介する検出
を平衡させる（「零点測定」）ために、レーザービーム
を測定区間３を迂回するように２つの挿入自在の金製ミ
ラー６２，６３を経て測定検出器Ｄ２へ直接に導くこと
ができる。さらに、２つの波長Ｌａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍ
ｂｄａ2 における吸収強さを校正するために、ＮＨ3 含
有量がわかっている校正済セル６１を挿入することも可
能である（「基準測定」）。
信号は評価手段５に供給される。基本濃度が非常に低い
ときに測定を実行するために、検出器を保護するよう
に、レーザービームを挿入自在のフィルタ２４により、
たとえば、２／１０００パワーまで減衰することができ
る。校正を目的として、（Ｄ１及びＤ２）を介する検出
を平衡させる（「零点測定」）ために、レーザービーム
を測定区間３を迂回するように２つの挿入自在の金製ミ
ラー６２，６３を経て測定検出器Ｄ２へ直接に導くこと
ができる。さらに、２つの波長Ｌａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍ
ｂｄａ2 における吸収強さを校正するために、ＮＨ3 含
有量がわかっている校正済セル６１を挿入することも可
能である（「基準測定」）。
【００２５】図４は、そのような状況で測定検出器で発
生する測定信号を示す。Ｌａｍｂｄａ1 からＬａｍｂｄ
ａ2 へ、また、Ｌａｍｂｄａ2 からＬａｍｂｄａ1 への
レーザー放射の移行時には、図２に関して説明したシグ
ネチャに基づいて、それぞれ零点に達する。時点ｔ1 及
びｔ2 は積分時間の限界をそれぞれ示しているが、その
点については以下に説明する。変調電圧Ｕmod がシグネ
チャの最大値（図２）を幾分か越えると、信号推移の中
央で凹部分が起こる。検出器Ｄ１，Ｄ２はＡＣ結合に基
づいて、あるオフセット分だけずれた零位置を有してお
り、そのためにオフセット調整部５３，５３Ｒが設けら
れている（下記の説明を参照）ことが記載されている。
生する測定信号を示す。Ｌａｍｂｄａ1 からＬａｍｂｄ
ａ2 へ、また、Ｌａｍｂｄａ2 からＬａｍｂｄａ1 への
レーザー放射の移行時には、図２に関して説明したシグ
ネチャに基づいて、それぞれ零点に達する。時点ｔ1 及
びｔ2 は積分時間の限界をそれぞれ示しているが、その
点については以下に説明する。変調電圧Ｕmod がシグネ
チャの最大値（図２）を幾分か越えると、信号推移の中
央で凹部分が起こる。検出器Ｄ１，Ｄ２はＡＣ結合に基
づいて、あるオフセット分だけずれた零位置を有してお
り、そのためにオフセット調整部５３，５３Ｒが設けら
れている（下記の説明を参照）ことが記載されている。
【００２６】図５は、光学的構造の主な素子−図１及び
図３と同じ部分は同じ図中符号により指示されている−
と、他の回路素子とを含めた評価回路５のブロック線図
である。
図３と同じ部分は同じ図中符号により指示されている−
と、他の回路素子とを含めた評価回路５のブロック線図
である。
【００２７】評価回路は、２つの検出器Ｄ１，Ｄ２の各
々について、交流結合部５１，５１Ｒと、増幅器５２，
５２Ｒと、オフセット調整部５３，５３Ｒと、積分手段
５５，５５Ｒとを含む。測定検出器Ｄ２の後の、積分手
段５５のすぐ前には、たとえば、１０倍、１００倍、１
０００倍の切替え段を有するプログラムに基づき調整自
在の増幅回路５４が配置されている。検出器側でダイナ
ミクス範囲が非常に広い場合、積分手段５５と、測定信
号及び基準信号に対して利用される後続のアナログ／デ
ジタル変換器５６とを著しく単純な構成にすることがで
きる。
々について、交流結合部５１，５１Ｒと、増幅器５２，
５２Ｒと、オフセット調整部５３，５３Ｒと、積分手段
５５，５５Ｒとを含む。測定検出器Ｄ２の後の、積分手
段５５のすぐ前には、たとえば、１０倍、１００倍、１
０００倍の切替え段を有するプログラムに基づき調整自
在の増幅回路５４が配置されている。検出器側でダイナ
ミクス範囲が非常に広い場合、積分手段５５と、測定信
号及び基準信号に対して利用される後続のアナログ／デ
ジタル変換器５６とを著しく単純な構成にすることがで
きる。
【００２８】プログラム可能コンピュータ５７は測定光
路３のＬａｍｂｄａ1 及びＬａｍｂｄａ2 のデジタル化
信号と、基準検出器Ｄ１からのＬａｍｂｄａ1 及びＬａ
ｍｂｄａ2 のデジタル化信号とを周知の方式で評価し、
濃度データを生成する。
路３のＬａｍｂｄａ1 及びＬａｍｂｄａ2 のデジタル化
信号と、基準検出器Ｄ１からのＬａｍｂｄａ1 及びＬａ
ｍｂｄａ2 のデジタル化信号とを周知の方式で評価し、
濃度データを生成する。
【００２９】入力した又は外部に記憶させてあるアンモ
ニア吸収率に関わるルックアップテーブル５７１によっ
て、ＮＨ3 濃度のデータを任意の単位で得られる。この
場合、煙道ガス通路３２内の、圧力、温度又は他の値、
たとえば、二酸化炭素濃度に関わる１つ又は複数のセン
サ７から収集したデータを共に考慮に入れることができ
るので、アンモニアの絶対濃度のデータが得られる。デ
ータ出力を目的として、たとえば、モニタ８が設けられ
ている。
ニア吸収率に関わるルックアップテーブル５７１によっ
て、ＮＨ3 濃度のデータを任意の単位で得られる。この
場合、煙道ガス通路３２内の、圧力、温度又は他の値、
たとえば、二酸化炭素濃度に関わる１つ又は複数のセン
サ７から収集したデータを共に考慮に入れることができ
るので、アンモニアの絶対濃度のデータが得られる。デ
ータ出力を目的として、たとえば、モニタ８が設けられ
ている。
【００３０】プログラム可能コンピュータ５７は圧電調
整手段１４及びオフセット調整部５３，５３Ｒと、調整
自在の増幅回路５４及び積分手段５５，５５Ｒの時間的
プロセスとを介してレーザー変調をも制御し、必要に応
じてその他のタスクを処理するためにコンピュータをプ
ログラムし且つ接続点を介して接続することができる。
整手段１４及びオフセット調整部５３，５３Ｒと、調整
自在の増幅回路５４及び積分手段５５，５５Ｒの時間的
プロセスとを介してレーザー変調をも制御し、必要に応
じてその他のタスクを処理するためにコンピュータをプ
ログラムし且つ接続点を介して接続することができる。
【００３１】レーザー放射は測定区間３を通過した後に
測定検出器Ｄ２に到達し、その放射のごく一部はビーム
スプリッタ２３により基準検出器Ｄ１へ直接導かれる。
Ｄ１及びＤ２の検出器信号を増幅し、必要とされる検出
器のバイアス電流によってＤＣオフセット信号を発生す
るため、ＡＣ結合する。交流結合５１，５１Ｒにより、
信号形状と信号振幅に従ってＯＶラインは揺動する。測
定／基準信号は積分によって評価されるので、信号をＯ
Ｖレベルに結び付けることが不可欠である。これはオフ
セット調整部５３，５３Ｒにおいてサンプルホールドに
よって実行される。すなわち、変調信号が零点を通過し
たとき、信号最小値が得られる。この値のＯＶへの偏向
を累積し、次の測定サイクルに際して、次の最小値で新
たな測定が起こるまで、測定信号に加算する。この方式
によって測定値の単極信号位置が得られるので、符号切
替えなしに積分を実行できる（「自動オフセット調
整」）。
測定検出器Ｄ２に到達し、その放射のごく一部はビーム
スプリッタ２３により基準検出器Ｄ１へ直接導かれる。
Ｄ１及びＤ２の検出器信号を増幅し、必要とされる検出
器のバイアス電流によってＤＣオフセット信号を発生す
るため、ＡＣ結合する。交流結合５１，５１Ｒにより、
信号形状と信号振幅に従ってＯＶラインは揺動する。測
定／基準信号は積分によって評価されるので、信号をＯ
Ｖレベルに結び付けることが不可欠である。これはオフ
セット調整部５３，５３Ｒにおいてサンプルホールドに
よって実行される。すなわち、変調信号が零点を通過し
たとき、信号最小値が得られる。この値のＯＶへの偏向
を累積し、次の測定サイクルに際して、次の最小値で新
たな測定が起こるまで、測定信号に加算する。この方式
によって測定値の単極信号位置が得られるので、符号切
替えなしに積分を実行できる（「自動オフセット調
整」）。
【００３２】システムの稼動中、レーザー１の動作点
（ＵAP）と変調電圧Ｕmod は自動的に確定される。設計
されている構成により、レーザー１は２つの所望のライ
ンＬａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 でのみ放射すること
が保証されているので、波長を制御するためのスペクト
ルアナライザは不要である。
（ＵAP）と変調電圧Ｕmod は自動的に確定される。設計
されている構成により、レーザー１は２つの所望のライ
ンＬａｍｂｄａ1 ，Ｌａｍｂｄａ2 でのみ放射すること
が保証されているので、波長を制御するためのスペクト
ルアナライザは不要である。
【００３３】そのために、コンピュータ５７によって次
のことが実行される。 １．圧電調整素子１４を動作する ２．基準検出器Ｄ１におけるシグネチャを受信し且つ記
憶する（最小値及び最大値） ３．Ａ1／Ａ2の面積比を介するＬａｍｂｄａ1 とＬａｍ
ｂｄａ2 の異なるパワー（図２を参照）を考慮する ４．動作点（ＵAP）と変調電圧Ｕmod を確定する。
のことが実行される。 １．圧電調整素子１４を動作する ２．基準検出器Ｄ１におけるシグネチャを受信し且つ記
憶する（最小値及び最大値） ３．Ａ1／Ａ2の面積比を介するＬａｍｂｄａ1 とＬａｍ
ｂｄａ2 の異なるパワー（図２を参照）を考慮する ４．動作点（ＵAP）と変調電圧Ｕmod を確定する。
【００３４】波長Ｌａｍｂｄａ2 で測定される、アンモ
ニアの影響を受けた光の減衰、すなわち、透過率を利用
して、測定区間３における煙密度を確定することができ
る。これは、排気ガス／煙の流れの成分それ自体と、煙
の吸光率とがわかっている場合には、厳密に可能であ
る。その場合、散乱が少なく、長い測定距離で煙密度を
とらえることができる赤外線中の大きな波長を使用する
と有利である。この追加測定がコンピュータ５７の適切
なプログラミングによってのみ得られると特に有利であ
る。
ニアの影響を受けた光の減衰、すなわち、透過率を利用
して、測定区間３における煙密度を確定することができ
る。これは、排気ガス／煙の流れの成分それ自体と、煙
の吸光率とがわかっている場合には、厳密に可能であ
る。その場合、散乱が少なく、長い測定距離で煙密度を
とらえることができる赤外線中の大きな波長を使用する
と有利である。この追加測定がコンピュータ５７の適切
なプログラミングによってのみ得られると特に有利であ
る。
【００３５】本発明を具体的な一実施例について説明し
たが、これは限定を意味するものではなく、数多くの変
形が可能である。重要なのは、本発明による構成によっ
て、レーザー１のシグネチャがレーザー強さの許容しう
る零点通過をもたらすので、物質検出構造の中にチョッ
パ又はそれに類似する追加の光変調器を配置する必要を
なくすことができるという点である。方形変調とは異な
り、レーザー光の正弦変調は検出器Ｄ１及びＤ２と、評
価回路５とによって忠実な形状で、フーリエ変換時又は
周波数シフト時の損失もなく処理できる。これにより、
信号の積分が可能になり、それに伴って信号獲得のため
のレーザーエネルギーの有効利用が可能である。これに
対し、サンプルホールド信号処理を伴う方形変調はレー
ザーパルスの大部分を考慮しないようにしなければなら
ない。同様に、ＮＨ3 含有量を校正した基準セルは常に
固有の検出器により測定されるわけではない。この基準
セルを時に応じて校正を目的として挿入し、そこで、既
存の測定検出器Ｄ２を利用すれば十分である。
たが、これは限定を意味するものではなく、数多くの変
形が可能である。重要なのは、本発明による構成によっ
て、レーザー１のシグネチャがレーザー強さの許容しう
る零点通過をもたらすので、物質検出構造の中にチョッ
パ又はそれに類似する追加の光変調器を配置する必要を
なくすことができるという点である。方形変調とは異な
り、レーザー光の正弦変調は検出器Ｄ１及びＤ２と、評
価回路５とによって忠実な形状で、フーリエ変換時又は
周波数シフト時の損失もなく処理できる。これにより、
信号の積分が可能になり、それに伴って信号獲得のため
のレーザーエネルギーの有効利用が可能である。これに
対し、サンプルホールド信号処理を伴う方形変調はレー
ザーパルスの大部分を考慮しないようにしなければなら
ない。同様に、ＮＨ3 含有量を校正した基準セルは常に
固有の検出器により測定されるわけではない。この基準
セルを時に応じて校正を目的として挿入し、そこで、既
存の測定検出器Ｄ２を利用すれば十分である。
【図１】 本発明によるレーザー（実施例）の概略的に
示す図。
示す図。
【図２】 本発明によるレーザーのシグネチャを示す
図。
図。
【図３】 物質検出のための構造の光学的構成の一実施
例を概略的に示す図。
例を概略的に示す図。
【図４】 図３に示す構造の測定検出器における信号の
推移を示す図。
推移を示す図。
【図５】 本発明による物質検出のための構造の回路の
ブロック線図。
ブロック線図。
１…ＣＯ2 レーザー、２…発光光学系、３…測定区間、
４…集光レンズ、５…評価手段、１２…射出ミラー、１
３…回折格子、１４…圧電調整素子、２４…フィルタ、
３１…逆反射体、３２…煙道ガス通路、５１，５１Ｒ…
交流結合部、５２，５２Ｒ…増幅器、５３，５３Ｒ…オ
フセット調整部、５４…調整自在の増幅回路、５５，５
５Ｒ…積分手段、５６…アナログ／デジタル変換器、５
７…プログラム可能コンピュータ、６１…校正済みセ
ル、Ｄ１…基準検出器、Ｄ２…測定検出器。
４…集光レンズ、５…評価手段、１２…射出ミラー、１
３…回折格子、１４…圧電調整素子、２４…フィルタ、
３１…逆反射体、３２…煙道ガス通路、５１，５１Ｒ…
交流結合部、５２，５２Ｒ…増幅器、５３，５３Ｒ…オ
フセット調整部、５４…調整自在の増幅回路、５５，５
５Ｒ…積分手段、５６…アナログ／デジタル変換器、５
７…プログラム可能コンピュータ、６１…校正済みセ
ル、Ｄ１…基準検出器、Ｄ２…測定検出器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アレグザンダー・ヒンツ ドイツ連邦共和国 89551 ケーニヒスブ ロン・アイヒハルデンシュトラーセ・８
Claims (19)
- 【請求項１】 ２つの異なる波長（Ｌａｍｂｄａ1，Ｌ
ａｍｂｄａ2）の下で共振器ミラー又は回折格子（１
３）の正弦的調整により放射するガスレーザーにおい
て、回折格子構造及び角度位置に関する回折格子（１
３）の数値と、射出ミラー（１２）の射出角度と、共振
器長さ（Ｌ）と、ガスの組成とを適切に規定することに
より、レーザーは共振器長さ（Ｌ）の２つの隣接するイ
ンタバルの中で２つの所望の波長（Ｌａｍｂｄａ1及び
Ｌａｍｂｄａ2）で放射し且つ２つのインタバルの間の
移行部分でレーザー放射は阻止されており、共振器長さ
（Ｌ）の正弦的変調はこの移行部分に関してほぼ対称形
に起こることを特徴とするガスレーザー。 - 【請求項２】 ガスレーザーはリトロー構造の回折格子
を有するＣＯ2 レーザーであることを特徴とする請求項
１記載のガスレーザー。 - 【請求項３】 ｎを整数とし且つレーザー（１）が発射
する２つの波長（Ｌａｍｂｄａ1，Ｌａｍｂｄａ2）に対
して同時に共振が発生される最短の長さをＬO とすると
き、共振器長さ（Ｌ）はＬ＝（ｎ＋１／２）・ＬO に従
って確定されていることを特徴とする請求項１又は２記
載のガスレーザー。 - 【請求項４】 ガスレーザーにはアイソトープ13Ｃが入
っており、波長Ｌａｍｂｄａ1＝１０８００μｍを有す
るラインＲ（１６）及び波長Ｌａｍｂｄａ2＝１０７８
４μｍを有するラインＲ（１８）でガスレーザーは発光
することを特徴とする請求項２又は３記載のガスレーザ
ー。 - 【請求項５】 回折格子（１３）を共振器軸の方向に直
線的に摺動させるための圧電調整素子（１４）が設けら
れており、それにより、発射波長（Ｌａｍｂｄａ1，Ｌ
ａｍｂｄａ2）が確定されることを特徴とする請求項１
から４の少なくとも１項に記載のガスレーザー。 - 【請求項６】 ２つの波長（Ｌａｍｂｄａ1，Ｌａｍｂ
ｄａ2）をもつ光の吸収率の相違によって物質を検出す
る構造における請求項１から５の少なくとも１項に記載
のガスレーザー（１）の使用。 - 【請求項７】 ガス中の痕跡気体、特に煙道ガス中のＮ
Ｈ3 の検出を特徴とする請求項６記載のガスレーザー
（１）の使用。 - 【請求項８】 ２波長レーザー光源（１）を有し、 変調手段（１４）及び基準検出手段（Ｄ１）と、 発光光学系（２）と、 検出すべき物質を含有する測定区間（３）と、 受光光学系（４）及び測定検出器（Ｄ２）と、 ２つの波長（Ｌａｍｂｄａ1，Ｌａｍｂｄａ2）における
測定区間中の光吸収率を確定し、そこから測定区間
（３）における検出すべき物質の濃度を確定する評価手
段（５）とを有する物質検出のための構造において、２
波長レーザー光源（１）は特許請求の範囲第１項から第
５項の少なくとも１項に記載のレーザーであることを特
徴とする構造。 - 【請求項９】 測定区間（３）は開放しており且つ反射
鏡（３１）を収納していることを特徴とする請求項８記
載の構造。 - 【請求項１０】 校正を目的として、検出すべき物質の
濃度がわかっているセル（６１）を有する基準区間を光
路中に挿入することができることを特徴とする請求項８
又は９記載の構造。 - 【請求項１１】 測定区間（３）は煙道ガス通路（３
２）の中に位置しており、検出すべき物質はＮＨ3 であ
ることを特徴とする請求項９又は１０記載の構造。 - 【請求項１２】 検出すべき物質又は基礎物質の濃度に
適合させるために測定区間（３）に入射するレーザーの
出力を調整する手段（２４）が設けられていることを特
徴とする請求項８から１１の少なくとも１項に記載の構
造。 - 【請求項１３】 チョッパは設けられていないことを特
徴とする請求項８から１２の少なくとも１項に記載の構
造。 - 【請求項１４】 検出すべき物質の濃度がわかっている
基準セルを通過するビームに対して第３の検出器は設け
られていないことを特徴とする請求項８から１３の少な
くとも１項に記載の構造。 - 【請求項１５】 測定検出器（Ｄ２）はＭＣＴ検出器で
あることを特徴とする請求項８から１４の少なくとも１
項に記載の構造。 - 【請求項１６】 評価手段（５）は基準検出器（Ｄ１）
及び測定検出器（Ｄ２）の交流カップラ（５１，５１
Ｒ）と、増幅回路（５２，５２Ｒ，５４）と、積分手段
（５５，５５Ｒ）と、アナログ／デジタル変換器（５
６）と、プログラム可能コンピュータ（５７）とを含む
ことを特徴とする請求項８から１５の少なくとも１項に
記載の構造。 - 【請求項１７】 積分手段（５５，５５Ｒ）は、ガスレ
ーザー（１）が１つの波長（Ｌａｍｂｄａ1，Ｌａｍｂ
ｄａ2）で発射する期間の大半の部分（ｔ1 −ｔ2） に
わたって、測定検出器（Ｄ２）により受信された信号を
積分することを特徴とする請求項１６記載の構造。 - 【請求項１８】 増幅回路（５４）の増幅係数は測定検
出器（Ｄ２）の信号に従って自動的に調整されることを
特徴とする請求項１６又は１７記載の構造。 - 【請求項１９】 評価手段（５）は、アンモニアを吸収
しない波長（Ｌａｍｂｄａ2） で収集された吸収データ
からさらに測定区間（３）の煙密度に関わる測定値を確
定して、出力することを特徴とする請求項８から１８の
少なくとも１項に記載の構造。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4402054.6 | 1994-01-25 | ||
| DE4402054A DE4402054A1 (de) | 1994-01-25 | 1994-01-25 | Gaslaser und Gasnachweis damit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843306A true JPH0843306A (ja) | 1996-02-16 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7027763A Pending JPH0843306A (ja) | 1994-01-25 | 1995-01-25 | ガスレーザー及びそれを使用するガス検出 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5544186A (ja) |
| EP (1) | EP0677733B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0843306A (ja) |
| CA (1) | CA2140995A1 (ja) |
| DE (2) | DE4402054A1 (ja) |
| DK (1) | DK0677733T3 (ja) |
Cited By (3)
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| JP2006226727A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Hamamatsu Photonics Kk | 吸収計測装置 |
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| JP2014516405A (ja) * | 2011-03-25 | 2014-07-10 | ユニバーシティ オブ ヴァージニア パテント ファウンデーション | 分光装置に適合可能なセルデザイン |
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| US8437000B2 (en) | 2010-06-29 | 2013-05-07 | Honeywell International Inc. | Multiple wavelength cavity ring down gas sensor |
| US8269972B2 (en) | 2010-06-29 | 2012-09-18 | Honeywell International Inc. | Beam intensity detection in a cavity ring down sensor |
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- 1994-01-25 DE DE4402054A patent/DE4402054A1/de not_active Ceased
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