JPH08340048A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH08340048A
JPH08340048A JP16923195A JP16923195A JPH08340048A JP H08340048 A JPH08340048 A JP H08340048A JP 16923195 A JP16923195 A JP 16923195A JP 16923195 A JP16923195 A JP 16923195A JP H08340048 A JPH08340048 A JP H08340048A
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JP
Japan
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logic
dummy
flip
dummy gate
integrated circuit
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JP16923195A
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Tatsuhiro Aida
辰洋 会田
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 通常回路の負荷を増大させることなくしかも
半導体基板上にほぼ均等にダミーゲートを分散配置しう
る配置配線設計方法を実現する。この結果、CMOS論
理回路をその基本素子とする論理集積回路装置等の高速
動作を保持しつつその論理修正を容易にし、設計変更に
要する期間を短縮する。 【構成】 CMOS論理回路をその基本素子としかつス
タンダードセル方式を用いて構成される論理集積回路装
置等において、設計変更等に供されるダミーゲートの入
力端子を、診断用のスキャンパスを構成するフリップフ
ロップFF1〜FFn−1のスキャン出力端子SOに結
合するとともに、これらのダミーゲートに他の所定数の
ダミーゲートを結合してダミーゲートブロックDGB1
〜DGBn−1を構成する。これにより、ダミーゲート
を、半導体基板上にダミーゲートブロック単位で分散配
置できるとともに、ダミーゲートが使用されないまま残
った場合でも、論理集積回路装置の通常動作に与える影
響をなくする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体装置に関し、例
えば、CMOS(相補型MOS)論理回路をその基本素
子としかつスタンダードセル方式を用いて構成される論
理集積回路装置等に利用して特に有効な技術に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】Pチャンネル及びNチャンネルMOSF
ET(金属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この
明細書では、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果
トランジスタの総称とする)が組み合わされてなるCM
OS論理回路がある。また、使用頻度の高い標準的な論
理ゲートやRAM(ランダムアクセスメモリ)モジュー
ル等の素子及び素子間配線等に関する配置を予めセルと
して設計・登録しておきユーザ仕様に合わせて組み合わ
せることで、半導体装置の効率的な設計・開発を実現し
うるいわゆるスタンダードセル方式があり、このような
スタンダードセル方式を用いて構成されかつCMOS論
理回路を基本素子として構成される論理集積回路装置が
ある。スタンダードセル方式を採る論理集積回路装置で
は、当初不要な各種論理ゲート及びフリップフロップ等
を予めダミーゲートとして半導体基板上に追加配置して
おき、設計変更時等に使用するいわゆるQTAT(Qu
ick Turn Around Time)方式が一
般的となっている。
【0003】一方、近年、論理集積回路装置は高集積化
・大規模化の一途にあるが、高集積化・大規模化が進ん
だ論理集積回路装置の配置配線設計をコンピュータを利
用し効率的に実現する自動配置配線設計システムが開発
されている。また、論理集積回路装置は、クロック信号
に従って同期動作し、各種論理ゲートが組み合わされて
なる組合せ回路と複数段のフリップフロップからなる順
序回路とを備えるが、高集積化・大規模化が進んだ論理
集積回路装置の試験・診断を効率化する一つの方法とし
て、順序回路を構成するフリップフロップを順次シリア
ル結合して一連の試験データをシリアル入出力するいわ
ゆるスキャンパス方式がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】周知のように、CMO
S論理回路を構成するPチャンネル及びNチャンネルM
OSFETは、入力レベルがハイレベル又はロウレベル
に確定されるときそのいずれか一方がオフ状態となり、
直流的な動作電流を流さない。しかし、入力端子が開放
状態とされその入力容量が中間レベルにチャージされる
と、Pチャンネル及びNチャンネルMOSFETが同時
にオン状態となり、貫通電流が流れる。このため、上記
論理集積回路装置等に設けられるダミーゲートの入力端
子は、開放状態とはできず、いずれかのノードに結合し
ておく必要がある。従来の論理集積回路装置等におい
て、ダミーゲートの入力端子は、通常の組合せ回路又は
順序回路を構成する論理ゲート又はフリップフロップ等
の出力端子に結合され、あるいはダミーゲートだけで閉
じた配線経路を構成する方法が採られる。
【0005】ところが、前者の方法では、ダミーゲート
が使用されないまま残ったとき、通常回路を構成する論
理ゲートやフリップフロップ等に対する負荷が大きくな
り、論理集積回路装置等の高速動作が制限される。ま
た、後者の方法では、特に自動配置配線設計システムに
よる自動配置配線設計が行われるとき、ダミーゲートが
半導体基板の特定の位置にまとめて配置されることがあ
るため、設計変更時に比較的長い配線が必要となり、場
合によっては論理修正が困難となる。
【0006】この発明の目的は、通常回路の負荷を増大
させることなくしかも半導体基板上にほぼ均等にダミー
ゲートを分散配置しうる配置配線設計方法を提供するこ
とにある。この発明の他の目的は、CMOS論理回路を
基本素子しかつスタンダードセル方式を用いて構成され
る論理集積回路装置等の高速動作を保持しつつその論理
修正を容易にし、設計変更に要する期間を短縮すること
にある。
【0007】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、CMOS論理回路をその基本
素子としかつスタンダードセル方式を用いて構成される
論理集積回路装置等において、設計変更等に供されるダ
ミーゲートの入力端子を、診断用のスキャンパスを構成
するフリップフロップのスキャン出力端子に結合すると
ともに、これらのダミーゲートに他の所定数のダミーゲ
ートを結合してダミーゲートブロックを構成する。
【0009】
【作用】上記手段によれば、ダミーゲートを、スキャン
パスを構成するフリップフロップに合わせて半導体基板
上にダミーゲートブロック単位で分散配置できるととも
に、ダミーゲートが使用されないまま残った場合でも、
論理集積回路装置の通常動作に与える影響をなくすこと
ができる。この結果、通常回路の負荷を増大させること
なくしかも半導体基板上にほぼ均等にダミーゲートを分
散配置しうる配置配線設計方法を実現できるため、論理
集積回路装置等の高速動作を保持しつつその論理修正を
容易にし、設計変更に要する期間を短縮することができ
る。
【0010】
【実施例】図1には、この発明が適用された論理集積回
路装置の一実施例の部分的な回路図が示されている。ま
た、図2には、図1の論理集積回路装置に含まれるダミ
ーゲートブロックDGB1の一実施例の回路図が示さ
れ、図3には、図1の論理集積回路装置の一実施例の基
板配置図が示されている。これらの図をもとに、この実
施例の論理集積回路装置の構成及び動作の概要とダミー
ゲートの構成及び配置方法ならびにその特徴について説
明する。なお、この実施例の論理集積回路装置は、スタ
ンダードセル方式を採る。また、図1及び図2の各回路
素子ならびに各ブロックを構成する回路素子は、公知の
CMOS集積回路の製造技術により、単結晶シリコンの
ような1個の半導体基板上に形成される。さらに、ダミ
ーゲートブロックDGB1〜DGBn−1の構成に関す
る具体的説明は図2のダミーゲートブロックDGB1を
例に進められるが、他のダミーゲートブロックDGB2
〜DGBn−1については同様な構成とされるため、類
推されたい。
【0011】図1において、この実施例の論理集積回路
装置は、特に制限されないが、順序回路を構成するn個
のフリップフロップFF1〜FFnと、これらのフリッ
プフロップの間にそれぞれ設けられるn−1個の組合せ
回路CC1〜CCn−1とを備える。このうち、フリッ
プフロップFF1〜FFnのクロック入力端子CKに
は、所定のクロック信号CPが共通に供給され、そのデ
ータ入力端子Dには、内部信号D1あるいは対応する組
合せ回路CC1〜CCn−1の出力信号がそれぞれ供給
される。また、各フリップフロップFF1〜FFn−1
の非反転出力信号Q及び反転出力信号QBは、対応する
組合せ回路CC1〜CCn−1にそれぞれ供給され、フ
リップフロップFFnの非反転出力信号Q及び反転出力
信号QBは内部信号Qn及びQBnとして図示されない
後段回路に供給される。なお、論理集積回路装置は、特
に制限されないが、図示されないランダムアクセスメモ
リモジュールRAM及びリードオンリメモリモジュール
ROMを備える。
【0012】ここで、組合せ回路CC1〜CCn−1
は、複数のCMOS論理ゲートが組み合わされてなり、
対応する前段のフリップフロップの非反転出力信号Q及
び反転出力信号QBあるいはその他の論理信号に従って
対応する後段のフリップフロップのセット又はリセット
条件を設定する。また、フリップフロップFF1〜FF
nは、やはりCMOS回路からなり、クロック信号CP
の立ち上がり又は立ち下がりエッジにおける内部信号D
1あるいは組合せ回路CC1〜CCn−1の出力信号の
論理レベルに応じて選択的にセット又はリセット状態と
される。これにより、この実施例の論理集積回路装置
は、クロック信号CPに従って同期動作し、所定の論理
演算機能又はシーケンス制御機能を実現しうるものとな
る。
【0013】一方、この実施例の論理集積回路装置はス
キャンパス方式を採り、順序回路を構成するフリップフ
ロップFF1のFFnは、そのシリアル入力端子SI及
びシリアル出力端子SOを介して順次シリアル結合され
る。すなわち、第1段のフリップフロップFF1のシリ
アル入力端子SIは試験入力端子Tinに結合され、そ
のシリアル出力端子SOは、次段のフリップフロップF
F2のシリアル入力端子SIに結合される。同様に、第
2段ないし第n−1段のフリップフロップFF2〜FF
n−1のシリアル出力端子SOは、対応する次段のフリ
ップフロップFF3〜FFnのシリアル入力端子SIに
結合され、最終段のフリップフロップFFnのシリアル
出力端子SOは試験出力端子Toutに結合される。
【0014】これにより、フリップフロップFF1〜F
Fnは、外部の試験装置から試験入力端子Tinを介し
てシリアル入力される試験データをクロック信号CPに
従って順次シフトしながら取り込み、この試験データに
応じた所定の試験動作を実行できるとともに、クロック
信号CPに従ってそのセット又はリセット状態をシフト
し、試験出力端子Toutからシリアルに出力すること
ができる。この結果、この実施例の論理集積回路装置が
高集積化・大規模化され複雑な論理構成を有するにもか
かわらず、その動作機能の正常性を容易に確認すること
ができ、これによって論理集積回路装置の試験・診断を
効率化できるものとなる。
【0015】この実施例において、論理集積回路装置
は、さらに、フリップフロップFF1〜FFnからなる
スキャンパスつまりは各フリップフロップのシリアル出
力端子SOに結合されるn−1個のダミーゲートブロッ
クDGB1〜DGBn−1を備える。ここで、ダミーゲ
ートブロックDGB1〜DGBn−1は、特に制限され
ないが、図2のダミーゲートブロックDGB1に代表し
て示されるように、例えばダミー用の2個のインバータ
DV1及びDV2ならびにフリップフロップDF1及び
DF2と1個のナンド(NAND)ゲートDNA1を含
む。このうち、インバータDV1の入力端子は、ダミー
ゲートブロックDGB1の入力端子として対応するフリ
ップフロップFF1のシリアル出力端子SOに結合さ
れ、その出力端子は、インバータDV2の入力端子に結
合されるとともにナンドゲートDNA1の一方の入力端
子に結合される。インバータDV2の出力端子は、フリ
ップフロップDF1のデータ入力端子Dに結合される。
また、ナンドゲートDNA1の他方の入力端子は、電源
電圧VCCに結合され、その出力端子は、フリップフロ
ップDF2のデータ入力端子Dに結合される。フリップ
フロップFF1及びFF2のクロック入力端子CKは、
ともに電源電圧VCC結合される。
【0016】このように、インバータDV1及びDV
2,フリップフロップDF1及びDF2ならびにナンド
ゲートDNA1等からなるダミーゲートブロックDGB
1〜DGBn−1は、実質的に意味のある論理機能を持
つものではないが、各ダミーゲートブロックを構成する
論理素子は、設計変更等にともなう論理修正時に適当な
組み合わせで使用しうるダミーゲートとなる。また、こ
れらのダミーゲートは、通常回路つまり順序回路となる
フリップフロップFF1〜FFnあるいは組合せ回路C
C1〜CCn−1を構成する論理素子と同様CMOS論
理回路からなり、その入力端子が開放状態とされること
によって貫通電流を流すが、上記のように実質的な論理
機能を持たないながらも互いに結合されることでその入
力レベルがハイレベル又はロウレベルに確定され、貫通
電流は流れない。なお、スキャンパスを構成するフリッ
プフロップFF1〜FFn−1から見た場合、ダミーゲ
ートブロックDGB1〜DGBn−1が結合されること
でそのシリアル出力端子SOに対する負荷が増大する
が、通常回路に対する負荷は増大せず、スキャンパスの
使用目的が試験・診断に限定されることもあいまって、
論理集積回路装置の通常動作がダミーゲートの追加によ
って影響を受けることはない。
【0017】ところで、この実施例の論理集積回路装置
の配置配線設計は、コンピュータによる自動配置配線設
計システムを利用して自動的に行われる。また、この実
施例の論理集積回路装置は、前述のように、スタンダー
ドセル方式を採り、各種論理ゲート及びフリップフロッ
プ等の論理素子は、その素子及び素子間配線等に関する
配置がセルとして予め設計・登録される。論理集積回路
装置の半導体基板SUB上には、特に制限されないが、
図3に例示されるように、マクロセル化されたランダム
アクセスメモリモジュールRAM及びリードオンリメモ
リモジュールROMとともに、所定数の論理セルからな
る複数のセル列CGが所定の間隔をおいて列状に形成さ
れ、これらのセル列CGを構成する論理セルは、自動配
置配線設計システムに与えられる論理条件に沿って自動
的に使用される。
【0018】言い換えるならば、この実施例の論理集積
回路装置の順序回路を構成するフリップフロップFF1
〜FFnならびに組合せ回路CC1〜CCnは、図1の
論理条件に沿ってその構成素子となるセルが選択され、
所定のアルゴリズムをもって図3に例示された形でレイ
アウトされる。このとき、ダミーゲートブロックDGB
1〜DGBn−1は、同様なアルゴリズムをもって対応
するフリップフロップFF1〜FFn−1にそれぞれ近
接して配置され、半導体基板SUB上にほぼ均等に分散
配置される。この結果、設計変更等にともなう論理修正
は、分散配置されたダミーゲートブロックのうち最も近
接するものを選択して効率良くしかも比較的短い配線長
をもって実現できるため、論理集積回路装置等の論理修
正を容易にし、その設計変更に要する期間を短縮するこ
とができるものとなる。
【0019】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1)CMOS論理回路をその基本素子としかつスタン
ダードセル方式を用いて構成される論理集積回路装置等
において、設計変更等に供されるダミーゲートの入力端
子を、診断用のスキャンパスを構成するフリップフロッ
プのスキャン出力端子に結合するとともに、これらのダ
ミーゲートに他の所定数のダミーゲートを結合してダミ
ーゲートブロックを構成することで、ダミーゲートを、
スキャンパスを構成するフリップフロップに合わせて半
導体基板上にダミーゲートブロック単位で分散配置する
ことができるという効果が得られる。
【0020】(2)上記(1)項において、ダミーゲー
トが使用されないまま残された場合でも、通常回路の負
荷を増大させず、論理集積回路装置の通常動作がダミー
ゲートにより受ける影響をなくすことができるという効
果が得られる。 (3)上記(1)項及び(2)項により、通常回路の負
荷を増大させることなくしかも半導体基板上にほぼ均等
にダミーゲートを分散配置しうる配置配線設計方法を実
現することができるという効果が得られる。 (4)上記(1)項ないし(3)項により、CMOS論
理回路を基本素子とする論理集積回路装置等の高速動作
を保持しつつその論理修正を容易にし、設計変更に要す
る期間を短縮することができるという効果が得られる。
【0021】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、論理集積回路装置を構成するフリッ
プフロップFF1〜FFnは、そのすべてがスキャンパ
スに関与する必要はなく、ダミーゲートブロックもすべ
てのフリップフロップに対応して設けられることを必須
条件とはしない。また、ダミーゲートは、ダミーゲート
ブロックとしてブロック化される必要はないし、論理集
積回路装置の論理構成ならびにその試験形態も任意に設
定できる。図2において、ダミーゲートブロックDGB
1に代表されるダミーゲートブロックは、任意数のダミ
ーゲートを含むことができるし、その種類及び接続形態
も任意である。図3において、半導体基板SUBの形状
は、この実施例による制約を受けない。また、論理集積
回路装置は、ランダムアクセスメモリモジュールRAM
及びリードオンリメモリモジュールROMを備えること
を必須条件とはしないし、これらのモジュールやセル列
CGの配置形態も任意に設定することができる。
【0022】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるCM
OS論理回路を基本素子とする論理集積回路装置に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、例えば、CMOS論理回路と同様に貫通電流を
流すおそれのある他の論理回路を基本素子とする論理集
積回路装置や各種集積回路装置にも適用できる。この発
明は、少なくともダミーゲートの配置配線設計がコンピ
ュータにより自動的に行われかつスキャンパスを備える
半導体装置ならびにその配置配線設計方法に広く適用で
きる。
【0023】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものにより得られる効果を簡単に説明すれば、下記
の通りである。すなわち、CMOS論理回路をその基本
素子としかつスタンダードセル方式を用いて構成される
論理集積回路装置等において、設計変更等に供されるダ
ミーゲートの入力端子を、診断用のスキャンパスを構成
するフリップフロップのスキャン出力端子に結合すると
ともに、これらのダミーゲートに他の所定数のダミーゲ
ートを結合してダミーゲートブロックを構成すること
で、ダミーゲートを、スキャンパスを構成するフリップ
フロップに合わせて半導体基板上にダミーゲートブロッ
ク単位で分散配置できるとともに、ダミーゲートが使用
されないまま残った場合でも、論理集積回路装置の通常
動作に与える影響をなくすことができる。この結果、通
常回路の負荷を増大させることなくしかも半導体基板上
にほぼ均等にダミーゲートを分散配置しうる配置配線設
計方法を実現できるため、論理集積回路装置等の高速動
作を保持しつつその論理修正を容易にし、設計変更に要
する期間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用された論理集積回路装置の一実
施例を示す部分的な回路ブロック図である。
【図2】図1の論理集積回路装置に含まれるダミーゲー
トブロックの一実施例を示す回路図である。
【図3】図1の論理集積回路装置の一実施例を示す基板
配置図である。
【符号の説明】
FF1〜FFn……フリップフロップ、CC1〜CCn
−1……組合せ回路、DGB1〜DGBn−1……ダミ
ーゲートブロック、Tin……試験入力端子、Tout
……試験出力端子、CP……クロック信号。DF1〜D
F2……ダミー用フリップフロップ、DV1〜DV2…
…ダミー用インバータ、DNA……ダミー用ナンド(N
AND)ゲート。SUB……半導体基板、CG……セル
列、RAM……ランダムアクセスメモリモジュール、R
OM……リードオンリメモリモジュール。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 その入力端子が診断用のスキャンパスに
    結合されるダミーゲートを具備することを特徴とする半
    導体装置。
  2. 【請求項2】 上記スキャンパスは、そのスキャン入力
    端子及びスキャン出力端子が順次シリアル結合される複
    数のフリップフロップからなるものであり、上記ダミー
    ゲートのそれぞれの入力端子は、対応する上記フリップ
    フロップのスキャン出力端子に結合されるものであっ
    て、上記ダミーゲートのそれぞれは、互いに所定の組み
    合わせで結合される他の複数のダミーゲートとともにダ
    ミーゲートブロックをそれぞれ構成するものであり、上
    記ダミーゲートブロックのそれぞれは、対応する上記フ
    リップフロップに近接してかつ半導体基板面に分散して
    配置されるものであることを特徴とする請求項1の半導
    体装置。
  3. 【請求項3】 上記半導体装置は、CMOS論理回路を
    その基本素子として構成されかつスタンダードセル方式
    を用いて構成される論理集積回路装置であることを特徴
    とする請求項1又は請求項2の半導体装置。
JP16923195A 1995-06-12 1995-06-12 半導体装置 Pending JPH08340048A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008147331A (ja) * 2006-12-08 2008-06-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路及び半導体集積回路の修正方法
US9871122B2 (en) 2015-11-27 2018-01-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of fabricating a semiconductor device

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