JPH08335734A - 放電励起エキシマレーザ装置 - Google Patents
放電励起エキシマレーザ装置Info
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- JPH08335734A JPH08335734A JP16469295A JP16469295A JPH08335734A JP H08335734 A JPH08335734 A JP H08335734A JP 16469295 A JP16469295 A JP 16469295A JP 16469295 A JP16469295 A JP 16469295A JP H08335734 A JPH08335734 A JP H08335734A
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- excimer laser
- laser device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 集塵手段内の一部の不良が全体の動作不良を
起こすことがなく安定な動作が可能な放電励起エキシマ
レーザ装置を提供する。 【構成】 各放電極4を、電流導入端子6に弾性を有す
る金属板11を介して電気的に接続し、電食、腐蝕によ
り一部の放電極4が短絡した場合、短絡した放電極4と
電流導入端子6との電気的な接続を金属板11の弾性に
より断つようにしたものである。これにより、他の放電
極4の動作には影響を与えず、一部の放電極4の断線後
でも安定したレーザの動作が可能となる。
起こすことがなく安定な動作が可能な放電励起エキシマ
レーザ装置を提供する。 【構成】 各放電極4を、電流導入端子6に弾性を有す
る金属板11を介して電気的に接続し、電食、腐蝕によ
り一部の放電極4が短絡した場合、短絡した放電極4と
電流導入端子6との電気的な接続を金属板11の弾性に
より断つようにしたものである。これにより、他の放電
極4の動作には影響を与えず、一部の放電極4の断線後
でも安定したレーザの動作が可能となる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、放電により発生するダ
ストを除去する手段を有する放電励起エキシマレーザに
関するものである。
ストを除去する手段を有する放電励起エキシマレーザに
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の放電励起エキシマレーザ装置につ
いては、特開平6−132582号公報および米国特許
明細書5027366号等に詳細に開示されている。こ
のような従来の放電励起エキシマレーザ装置について図
10、図11を参照して説明する。
いては、特開平6−132582号公報および米国特許
明細書5027366号等に詳細に開示されている。こ
のような従来の放電励起エキシマレーザ装置について図
10、図11を参照して説明する。
【0003】図10に示す放電励起エキシマレーザ装置
は、レーザ管31、ガス導入口32、ガス排出口33、
放電極34、集塵電極35、電流導入端子36、集塵手
段ケース37、安定化抵抗38、高電圧電源39、放電
極支持板41を有し、これらを図10、11に示す如く
配置することにより構成している。
は、レーザ管31、ガス導入口32、ガス排出口33、
放電極34、集塵電極35、電流導入端子36、集塵手
段ケース37、安定化抵抗38、高電圧電源39、放電
極支持板41を有し、これらを図10、11に示す如く
配置することにより構成している。
【0004】即ち、図10に示すように、集塵電極35
はアース電位に保たれ、放電極34は、放電極支持板4
1により電流導入端子36と電気的に接続されており、
高電圧に維持されるようになっている。
はアース電位に保たれ、放電極34は、放電極支持板4
1により電流導入端子36と電気的に接続されており、
高電圧に維持されるようになっている。
【0005】この放電励起エキシマレーザ装置において
は、レーザ発振時に発生したダストは、レーザガスとと
もにレーザ管31からガス導入口32に導入され、放電
極34によって負に帯電する。その後、放電極34と集
塵電極35に沿って移動する間に、集塵電極35に捕捉
されダストが除去されたクリーンなレーザガスのみがガ
ス排出口33より再びレーザ管31内に戻される。
は、レーザ発振時に発生したダストは、レーザガスとと
もにレーザ管31からガス導入口32に導入され、放電
極34によって負に帯電する。その後、放電極34と集
塵電極35に沿って移動する間に、集塵電極35に捕捉
されダストが除去されたクリーンなレーザガスのみがガ
ス排出口33より再びレーザ管31内に戻される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の放電励起エキシマレーザ装置では、一般にコロナ放
電を安定に発生するために放電極34として直径1mm
以下の細いワイヤが用いられており、複数の放電極34
の中で、一箇所でも電食、腐蝕等により製作上弱い部分
が断線を起こすと、放電極34と集塵電極35が短絡し
てしまいこの放電励起エキシマレーザ装置全体が動作不
良になるという問題がある。
来の放電励起エキシマレーザ装置では、一般にコロナ放
電を安定に発生するために放電極34として直径1mm
以下の細いワイヤが用いられており、複数の放電極34
の中で、一箇所でも電食、腐蝕等により製作上弱い部分
が断線を起こすと、放電極34と集塵電極35が短絡し
てしまいこの放電励起エキシマレーザ装置全体が動作不
良になるという問題がある。
【0007】本発明の目的は、複数個の放電極の一部の
断線が生じても、全体が動作不良となることのない短絡
通電阻止手段を有する放電励起エキシマレーザ装置を提
供することにある。
断線が生じても、全体が動作不良となることのない短絡
通電阻止手段を有する放電励起エキシマレーザ装置を提
供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
放電により発生したダストを帯電させる複数個の放電極
と、この複数個の放電極により帯電させたダストを集塵
する集塵電極と、前記複数個の放電極に高電圧を印加す
る電流導入端子及び高電圧電源と、レーザガスの導入
口、排出口を有する集塵手段とを備えた放電励起エキシ
マレーザ装置において、前記複数個の放電極の各々に、
各放電極と集塵電極との短絡時において高電圧電源との
電気的な接触を断つ短絡通電阻止手段を接続したことを
特徴とするものである。
放電により発生したダストを帯電させる複数個の放電極
と、この複数個の放電極により帯電させたダストを集塵
する集塵電極と、前記複数個の放電極に高電圧を印加す
る電流導入端子及び高電圧電源と、レーザガスの導入
口、排出口を有する集塵手段とを備えた放電励起エキシ
マレーザ装置において、前記複数個の放電極の各々に、
各放電極と集塵電極との短絡時において高電圧電源との
電気的な接触を断つ短絡通電阻止手段を接続したことを
特徴とするものである。
【0009】請求項2記載の発明は、前記短絡通電阻止
手段を、前記複数個の放電極と電流導入端子とを、弾性
を有する金属素材を介して電気的に接続する構成とした
ものである。
手段を、前記複数個の放電極と電流導入端子とを、弾性
を有する金属素材を介して電気的に接続する構成とした
ものである。
【0010】請求項3記載の発明は、前記短絡通電阻止
手段を、前記複数個の放電極と電流導入端子とを過電流
が流れると溶ける金属素材により電気的に接続した構成
としてものである。
手段を、前記複数個の放電極と電流導入端子とを過電流
が流れると溶ける金属素材により電気的に接続した構成
としてものである。
【0011】請求項4記載の発明は、請求項1乃至3の
いずれかに記載の放電励起エキシマレーザ装置におい
て、前記レーザガスの排出口にダストを集塵するフィル
ターを配置したことを特徴とするものである。
いずれかに記載の放電励起エキシマレーザ装置におい
て、前記レーザガスの排出口にダストを集塵するフィル
ターを配置したことを特徴とするものである。
【0012】請求項5記載の発明は、請求項1乃至4の
いずれかに記載の放電励起エキシマレーザ装置におい
て、前記レーザガスの排出口を通過したレーザガスをこ
の装置に設けた窓部及びファン用ベアリング部へ導くガ
ス排出路を設けたことを特徴とするものである。
いずれかに記載の放電励起エキシマレーザ装置におい
て、前記レーザガスの排出口を通過したレーザガスをこ
の装置に設けた窓部及びファン用ベアリング部へ導くガ
ス排出路を設けたことを特徴とするものである。
【0013】請求項6記載の発明は、請求項1記載の放
電励起エキシマレーザ装置において、前記複数個の放電
極と集塵電極間を流れるガスの流れに対し、前記複数個
の放電極を垂直に配置したことを特徴とするものであ
る。
電励起エキシマレーザ装置において、前記複数個の放電
極と集塵電極間を流れるガスの流れに対し、前記複数個
の放電極を垂直に配置したことを特徴とするものであ
る。
【0014】
【作用】以下に本発明の作用を説明する。
【0015】請求項1記載の発明の上記構成によれば、
複数個の放電極の内一部が短絡した場合、前記短絡通電
阻止手段により、短絡した放電極と電流導入端子との電
気的な接続が断たれるために、他の放電極の動作に影響
を与えることなく安定したレーザ励起動作を維持でき
る。
複数個の放電極の内一部が短絡した場合、前記短絡通電
阻止手段により、短絡した放電極と電流導入端子との電
気的な接続が断たれるために、他の放電極の動作に影響
を与えることなく安定したレーザ励起動作を維持でき
る。
【0016】請求項2記載の発明の上記構成によれば、
前記短絡通電阻止手段を、前記複数個の放電極と電流導
入端子とを、弾性を有する金属素材を介して電気的に接
続する構成としたので、複数個の放電極の内一部が短絡
した場合、前記金属素材の弾性により、短絡した放電極
と電流導入端子との電気的な接続が断たれることにな
り、他の放電極の動作に影響を与えることなく安定した
レーザ励起動作を維持できる。
前記短絡通電阻止手段を、前記複数個の放電極と電流導
入端子とを、弾性を有する金属素材を介して電気的に接
続する構成としたので、複数個の放電極の内一部が短絡
した場合、前記金属素材の弾性により、短絡した放電極
と電流導入端子との電気的な接続が断たれることにな
り、他の放電極の動作に影響を与えることなく安定した
レーザ励起動作を維持できる。
【0017】請求項3記載の発明の上記構成によれば、
前記短絡通電阻止手段を、前記複数個の放電極と電流導
入端子とを過電流が流れると溶ける金属素材により電気
的に接続したので、複数個の放電極の内一部が短絡した
場合、この放電極に流れる過電流により対応する金属素
材が溶け、これにより、短絡した放電極に電流が流れな
くなり、他の放電極の動作に影響を与えることなく安定
したレーザ励起動作を維持できる。
前記短絡通電阻止手段を、前記複数個の放電極と電流導
入端子とを過電流が流れると溶ける金属素材により電気
的に接続したので、複数個の放電極の内一部が短絡した
場合、この放電極に流れる過電流により対応する金属素
材が溶け、これにより、短絡した放電極に電流が流れな
くなり、他の放電極の動作に影響を与えることなく安定
したレーザ励起動作を維持できる。
【0018】請求項4記載の発明の上記構成によれば、
請求項1乃至3のいずれかに記載の放電励起エキシマレ
ーザ装置において、前記レーザガスの排出口にダストを
集塵するフィルターを配置したので、ダスト除去性能の
向上を図ることができる。
請求項1乃至3のいずれかに記載の放電励起エキシマレ
ーザ装置において、前記レーザガスの排出口にダストを
集塵するフィルターを配置したので、ダスト除去性能の
向上を図ることができる。
【0019】請求項5記載の発明の上記構成によれば、
請求項1乃至4のいずれかに記載の放電励起エキシマレ
ーザ装置において、前記レーザガスの排出口を通過した
レーザガスをこの装置に設けた窓部及びファン用ベアリ
ング部へ導くガス排出路を設けたので、窓部及びファン
用ベアリング部をクリーンなレーザガスで満たすことが
でき、これらの汚染を防止できる。
請求項1乃至4のいずれかに記載の放電励起エキシマレ
ーザ装置において、前記レーザガスの排出口を通過した
レーザガスをこの装置に設けた窓部及びファン用ベアリ
ング部へ導くガス排出路を設けたので、窓部及びファン
用ベアリング部をクリーンなレーザガスで満たすことが
でき、これらの汚染を防止できる。
【0020】請求項6記載の発明の上記構成によれば、
請求項1記載の放電励起エキシマレーザ装置において、
前記複数個の放電極と集塵電極間を流れるガスの流れに
対し、前記複数個の放電極を垂直に配置したので、断線
した放電極を通過するレーザガスが必ず正常な放電極を
通過することになり、この結果、断線した放電極を通過
するダストが捕捉されずに再びレーザ管へ戻ることを防
ぐことができる。
請求項1記載の放電励起エキシマレーザ装置において、
前記複数個の放電極と集塵電極間を流れるガスの流れに
対し、前記複数個の放電極を垂直に配置したので、断線
した放電極を通過するレーザガスが必ず正常な放電極を
通過することになり、この結果、断線した放電極を通過
するダストが捕捉されずに再びレーザ管へ戻ることを防
ぐことができる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【0022】図1、図2は、本発明の放電励起エキシマ
レーザ装置の第1の実施例の構成を示す縦断面及び横断
面であり、図3、図4は、本実施例の放電励起エキシマ
レーザ装置の動作を説明するための説明図である。
レーザ装置の第1の実施例の構成を示す縦断面及び横断
面であり、図3、図4は、本実施例の放電励起エキシマ
レーザ装置の動作を説明するための説明図である。
【0023】図1、2に示す放電励起エキシマレーザ装
置は、集塵手段を構成するレーザ管1、ガス導入口2、
ガス排出口3、放電極4、集塵電極5、電流導入端子
6、集塵手段ケース7、安定化抵抗8、高電圧電源9、
放電極支持絶縁体10、弾性を有する短絡通電阻止手段
としての金属板11、金属板支持絶縁体12から構成し
ている。
置は、集塵手段を構成するレーザ管1、ガス導入口2、
ガス排出口3、放電極4、集塵電極5、電流導入端子
6、集塵手段ケース7、安定化抵抗8、高電圧電源9、
放電極支持絶縁体10、弾性を有する短絡通電阻止手段
としての金属板11、金属板支持絶縁体12から構成し
ている。
【0024】放電極4の一端は、放電極支持絶縁体10
により支持され、他の一端は弾性を有する金属板11に
接続されている。この金属板11は、金属板支持絶縁体
12により支持され、放電極4の張力により電流導入端
子6と接触しており、これにより、放電極4と電流導入
端子6とは電気的に接続されている。
により支持され、他の一端は弾性を有する金属板11に
接続されている。この金属板11は、金属板支持絶縁体
12により支持され、放電極4の張力により電流導入端
子6と接触しており、これにより、放電極4と電流導入
端子6とは電気的に接続されている。
【0025】この放電励起エキシマレーザ装置において
は、正常な状態では、図3に示すように、すべての放電
極4は、電流導入端子6に弾性を有する金属板11によ
り電気的に接続されているが、電食、腐蝕により一部の
放電極4が断線した場合、図4に示すように、放電極4
と電流導入端子6の電気的な接続が弾性を有する金属板
11の弾性により断たれる。このため、他の放電極4の
動作には影響を与えず、一部の放電極4の断線後でも安
定した集塵動作を維持できる。
は、正常な状態では、図3に示すように、すべての放電
極4は、電流導入端子6に弾性を有する金属板11によ
り電気的に接続されているが、電食、腐蝕により一部の
放電極4が断線した場合、図4に示すように、放電極4
と電流導入端子6の電気的な接続が弾性を有する金属板
11の弾性により断たれる。このため、他の放電極4の
動作には影響を与えず、一部の放電極4の断線後でも安
定した集塵動作を維持できる。
【0026】図5は、本発明の第2の実施例の放電励起
エキシマレーザ装置の縦断面図を示すものである。図5
に示す放電励起エキシマレーザ装置は、レーザ管1、ガ
ス導入口2、ガス排出口3、放電極4、集塵電極5、電
流導入端子6、集塵手段ケース7、安定化抵抗8、高電
圧電源9、放電極支持絶縁体10、過電流が流れると溶
融する所要数のヒューズ13から構成される。
エキシマレーザ装置の縦断面図を示すものである。図5
に示す放電励起エキシマレーザ装置は、レーザ管1、ガ
ス導入口2、ガス排出口3、放電極4、集塵電極5、電
流導入端子6、集塵手段ケース7、安定化抵抗8、高電
圧電源9、放電極支持絶縁体10、過電流が流れると溶
融する所要数のヒューズ13から構成される。
【0027】放電極4の両端は、一対の放電極支持絶縁
体10により支持されており、また、各放電極4の片側
は、各々対応するヒューズ13を介して電流導入端子6
と電気的に接続されている。
体10により支持されており、また、各放電極4の片側
は、各々対応するヒューズ13を介して電流導入端子6
と電気的に接続されている。
【0028】この放電励起エキシマレーザ装置において
は、正常な状態では、すべての放電極4は、電流導入端
子6にヒューズ13を介して電気的に接続されている
が、電食、腐蝕により一部の放電極4が断線した場合、
断線した放電極4と集塵電極5が接触し過電流が流れ
る。このため、断線した放電極4と直列に接続されてい
るヒューズ13は過電流により溶融し、断線した放電極
4と電流導入端子6との電気的な接続が断たれる。この
後、断線した放電極4には、電流が流れず、他の放電極
4の動作には影響を与えず、一部の放電極4の断線後で
も安定した集塵動作を維持できる。
は、正常な状態では、すべての放電極4は、電流導入端
子6にヒューズ13を介して電気的に接続されている
が、電食、腐蝕により一部の放電極4が断線した場合、
断線した放電極4と集塵電極5が接触し過電流が流れ
る。このため、断線した放電極4と直列に接続されてい
るヒューズ13は過電流により溶融し、断線した放電極
4と電流導入端子6との電気的な接続が断たれる。この
後、断線した放電極4には、電流が流れず、他の放電極
4の動作には影響を与えず、一部の放電極4の断線後で
も安定した集塵動作を維持できる。
【0029】図6は、本発明の第3の実施例である放電
励起エキシマレーザ装置の縦断面を示す図である。図6
において、この放電励起エキシマレーザ装置は、レーザ
管1、ガス導入口2、ガス排出口3、放電極4、集塵電
極5、電流導入端子6、集塵手段ケース7、安定化抵抗
8、高電圧電源9、放電極支持絶縁体10、弾性を有す
る金属板11、金属板支持絶縁体12、前記ガス排出口
3に配置したメッシュ状のフィルタ14から構成され
る。
励起エキシマレーザ装置の縦断面を示す図である。図6
において、この放電励起エキシマレーザ装置は、レーザ
管1、ガス導入口2、ガス排出口3、放電極4、集塵電
極5、電流導入端子6、集塵手段ケース7、安定化抵抗
8、高電圧電源9、放電極支持絶縁体10、弾性を有す
る金属板11、金属板支持絶縁体12、前記ガス排出口
3に配置したメッシュ状のフィルタ14から構成され
る。
【0030】放電極4の一端は、放電極支持絶縁体10
により支持され、他の一端は弾性を有する金属板11に
接続されている。弾性を有する金属板11は、金属板支
持絶縁体12により支持され、放電極4の張力より電流
導入端子6と接触しており、放電極4と電流導入端子6
は電気的に接続されている。
により支持され、他の一端は弾性を有する金属板11に
接続されている。弾性を有する金属板11は、金属板支
持絶縁体12により支持され、放電極4の張力より電流
導入端子6と接触しており、放電極4と電流導入端子6
は電気的に接続されている。
【0031】このような構成であれば、図1に示す第1
の実施例の場合と同様な作用を発揮するとともに集塵電
極5により除去できないダストをフィルター14により
除去することが可能となり、ダスト除去の性能向上が計
れるとともに、断線した放電極4を通過するダストが再
びレーザ管1に戻ることを防ぐことができる。
の実施例の場合と同様な作用を発揮するとともに集塵電
極5により除去できないダストをフィルター14により
除去することが可能となり、ダスト除去の性能向上が計
れるとともに、断線した放電極4を通過するダストが再
びレーザ管1に戻ることを防ぐことができる。
【0032】図7は、本発明の第4の実施例である放電
励起エキシマレーザ装置の縦断面を示す図である。図7
に示す放電励起エキシマレーザ装置は、レーザ管1、ガ
ス導入口2、ガス排出口3、放電極4、集塵電極5、電
流導入端子6、集塵手段ケース7、安定化抵抗8、高電
圧電源9、放電極支持絶縁体10、弾性を有する金属板
11、金属板支持絶縁体12、フィルタ14を備えると
ともに、レーザ管1の内部に一対のベアリング部16に
より回転可能に支持され、かつ、モータ17によりカッ
プリング部18を介して駆動されるクロスフローファン
15を配置し、さらに、レーザ管1の内部に設けたガス
排出路20を通じてフィルタ14から排出したレーザガ
スをベアリング部16、レーザ管1の壁面に設けた窓部
19に導くようになっている。
励起エキシマレーザ装置の縦断面を示す図である。図7
に示す放電励起エキシマレーザ装置は、レーザ管1、ガ
ス導入口2、ガス排出口3、放電極4、集塵電極5、電
流導入端子6、集塵手段ケース7、安定化抵抗8、高電
圧電源9、放電極支持絶縁体10、弾性を有する金属板
11、金属板支持絶縁体12、フィルタ14を備えると
ともに、レーザ管1の内部に一対のベアリング部16に
より回転可能に支持され、かつ、モータ17によりカッ
プリング部18を介して駆動されるクロスフローファン
15を配置し、さらに、レーザ管1の内部に設けたガス
排出路20を通じてフィルタ14から排出したレーザガ
スをベアリング部16、レーザ管1の壁面に設けた窓部
19に導くようになっている。
【0033】前記放電極4の一端は、放電極支持絶縁体
10により支持され、他の一端は弾性を有する金属板1
1に接続されている。弾性を有する金属板11は、金属
板支持絶縁体12により支持され、放電極4の張力より
電流導入端子6と接触しており、放電極4と電流導入端
子6は電気的に接続されている。
10により支持され、他の一端は弾性を有する金属板1
1に接続されている。弾性を有する金属板11は、金属
板支持絶縁体12により支持され、放電極4の張力より
電流導入端子6と接触しており、放電極4と電流導入端
子6は電気的に接続されている。
【0034】更に、ガス排出口3には、メッシュ状のフ
ィルタ14が挿入され、フィルタ14から排出したレー
ザガスは、ベアリング部16、窓部19に導入される。
ィルタ14が挿入され、フィルタ14から排出したレー
ザガスは、ベアリング部16、窓部19に導入される。
【0035】このような構成であれば、図1に示す第1
の実施例の場合と同様な作用を発揮するとともに、集塵
電極5により除去できないダストをフィルター14によ
り除去することが可能となってダスト除去の性能向上が
図れる。また、前記ベアリング部16、窓部19には、
集塵電極5及びフィルター14によりダストが除去され
たクリーンなレーザガスが送られることになり、窓部1
9及びベアリング部19のダストによる汚染が抑制さ
れ、放電励起エキシマレーザの長寿命化を図ることが可
能となる。
の実施例の場合と同様な作用を発揮するとともに、集塵
電極5により除去できないダストをフィルター14によ
り除去することが可能となってダスト除去の性能向上が
図れる。また、前記ベアリング部16、窓部19には、
集塵電極5及びフィルター14によりダストが除去され
たクリーンなレーザガスが送られることになり、窓部1
9及びベアリング部19のダストによる汚染が抑制さ
れ、放電励起エキシマレーザの長寿命化を図ることが可
能となる。
【0036】図8、図9は、本発明の第5の実施例であ
る放電励起エキシマレーザ装置の横断面及び縦断面を示
す図である。
る放電励起エキシマレーザ装置の横断面及び縦断面を示
す図である。
【0037】図8、図9に示す放電励起エキシマレーザ
装置は、レーザ管1、ガス導入口2、ガス排出口3、複
数の放電極4、集塵電極5、電流導入端子6、集塵手段
ケース7、安定化抵抗8、高電圧電源9、放電極支持絶
縁体10、弾性を有する金属板11、金属板支持絶縁体
12から構成される。
装置は、レーザ管1、ガス導入口2、ガス排出口3、複
数の放電極4、集塵電極5、電流導入端子6、集塵手段
ケース7、安定化抵抗8、高電圧電源9、放電極支持絶
縁体10、弾性を有する金属板11、金属板支持絶縁体
12から構成される。
【0038】前記放電極4の一端は、放電極支持絶縁体
10により支持され、他の一端は弾性を有する金属板1
1に接続されている。弾性を有する金属板11は、金属
板支持絶縁体12により支持され、放電極4の張力より
電流導入端子6と接触しており、放電極4と電流導入端
子6は電気的に接続されている。更に、複数個の放電極
4は、ガスの流れに対して垂直に配置されている。
10により支持され、他の一端は弾性を有する金属板1
1に接続されている。弾性を有する金属板11は、金属
板支持絶縁体12により支持され、放電極4の張力より
電流導入端子6と接触しており、放電極4と電流導入端
子6は電気的に接続されている。更に、複数個の放電極
4は、ガスの流れに対して垂直に配置されている。
【0039】このような構成であれば、一部の放電極4
の断線が他の放電極4の動作に影響を与えることが無い
とともに、ダストを含むレーザガスは、必ず正常な放電
極4と集塵電極7の間を通過することになる。このた
め、断線した放電極4を通過するダストが捕捉されずに
再びレーザ管1に戻ることを防ぐことができる。
の断線が他の放電極4の動作に影響を与えることが無い
とともに、ダストを含むレーザガスは、必ず正常な放電
極4と集塵電極7の間を通過することになる。このた
め、断線した放電極4を通過するダストが捕捉されずに
再びレーザ管1に戻ることを防ぐことができる。
【0040】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、集塵手段
内の一部放電極の不良が全体の動作不良を起こすことが
なく安定な動作が可能な放電励起エキシマレーザ装置を
提供できる。
内の一部放電極の不良が全体の動作不良を起こすことが
なく安定な動作が可能な放電励起エキシマレーザ装置を
提供できる。
【0041】請求項2記載の発明によれば、複数個の放
電極の内一部が短絡した場合でも金属素材の動作で他の
放電極の動作に影響を与えることなく安定したレーザ励
起動作を維持できる放電励起エキシマレーザ装置を提供
できる。
電極の内一部が短絡した場合でも金属素材の動作で他の
放電極の動作に影響を与えることなく安定したレーザ励
起動作を維持できる放電励起エキシマレーザ装置を提供
できる。
【0042】請求項3記載の発明によれば、複数個の放
電極の内一部が短絡した場合でも前記金属素材の溶融に
より他の放電極の動作に影響を与えることなく安定した
レーザ励起動作を維持できる放電励起エキシマレーザ装
置を提供できる。
電極の内一部が短絡した場合でも前記金属素材の溶融に
より他の放電極の動作に影響を与えることなく安定した
レーザ励起動作を維持できる放電励起エキシマレーザ装
置を提供できる。
【0043】請求項4記載の発明によれば、ダスト除去
性能の一層の向上を図ることができる放電励起エキシマ
レーザ装置を提供できる。
性能の一層の向上を図ることができる放電励起エキシマ
レーザ装置を提供できる。
【0044】請求項5記載の発明によれば、窓部及びフ
ァン用ベアリング部をクリーンなレーザガスで満たすこ
とができ、これらの汚染を防止できる放電励起エキシマ
レーザ装置を提供できる。
ァン用ベアリング部をクリーンなレーザガスで満たすこ
とができ、これらの汚染を防止できる放電励起エキシマ
レーザ装置を提供できる。
【0045】請求項6記載の発明によれば、一部の放電
極に断線があっても、ダストを含むレーザガスを必ず正
常な放電極と集塵電極との間を通過させてダストを除去
することができる。
極に断線があっても、ダストを含むレーザガスを必ず正
常な放電極と集塵電極との間を通過させてダストを除去
することができる。
【図1】本発明の第1の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の縦断面図である。
レーザ装置の縦断面図である。
【図2】本発明の第1の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の横断面図である。
レーザ装置の横断面図である。
【図3】本発明の第1の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の作用を説明するための説明図である。
レーザ装置の作用を説明するための説明図である。
【図4】本発明の第1の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の作用を説明するための説明図である。
レーザ装置の作用を説明するための説明図である。
【図5】本発明の第2の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の縦断面図である。
レーザ装置の縦断面図である。
【図6】本発明の第3の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の縦断面図である。
レーザ装置の縦断面図である。
【図7】本発明の第4の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の縦断面図である。
レーザ装置の縦断面図である。
【図8】本発明の第5の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の横断面である。
レーザ装置の横断面である。
【図9】本発明の第5の実施例である放電励起エキシマ
レーザ装置の縦断面である。
レーザ装置の縦断面である。
【図10】従来の放電励起エキシマレーザ装置を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図11】従来の放電励起エキシマレーザ装置の横断面
図である。
図である。
1 レーザ管 2 ガス導入口 3 ガス排出口 4 放電極 5 集塵電極 6 電流導入端子 7 集塵手段ケース 8 安定化抵抗 9 高電圧電源 10 放電極支持絶縁体 11 弾性を有する金属板 12 金属板支持板 13 ヒューズ 14 フィルタ 15 クロスフローファン 16 ベアリング部 17 モータ 18 カップリング部 19 窓部 20 ガス排出路
Claims (6)
- 【請求項1】 放電により発生したダストを帯電させる
複数個の放電極と、この複数個の放電極により帯電させ
たダストを集塵する集塵電極と、前記複数個の放電極に
高電圧を印加する電流導入端子及び高電圧電源と、レー
ザガスの導入口、排出口を有する集塵手段とを備えた放
電励起エキシマレーザ装置において、 前記複数個の放電極の各々に、各放電極と集塵電極との
短絡時において高電圧電源との電気的な接触を断つ短絡
通電阻止手段を接続したことを特徴とする放電励起エキ
シマレーザ装置。 - 【請求項2】 前記短絡通電阻止手段は、前記複数個の
放電極と電流導入端子とを、弾性を有する金属素材を介
して電気的に接続した構成であることを特徴とする請求
項1記載の放電励起エキシマレーザ装置。 - 【請求項3】 前記短絡通電阻止手段は、前記複数個の
放電極と電流導入端子とを過電流が流れると溶ける金属
素材により電気的に接続した構成であることを特徴とす
る請求項1記載の放電励起エキシマレーザ装置。 - 【請求項4】 前記レーザガスの排出口にダストを集塵
するフィルターを配置したことを特徴とする請求項1乃
至3のいずれかに記載の放電励起エキシマレーザ装置。 - 【請求項5】 前記レーザガスの排出口を通過したレー
ザガスをこの装置に設けた窓部及びファン用ベアリング
部へ導くガス排出路を設けたことを特徴とする請求項1
乃至4のいずれかに記載の放電励起エキシマレーザ装
置。 - 【請求項6】 前記複数個の放電極と集塵電極間を流れ
るガスの流れに対し、前記複数個の放電極を垂直に配置
したことを特徴とする請求項1記載の放電励起エキシマ
レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16469295A JPH08335734A (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16469295A JPH08335734A (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08335734A true JPH08335734A (ja) | 1996-12-17 |
Family
ID=15798055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16469295A Pending JPH08335734A (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08335734A (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4529655Y1 (ja) * | 1966-06-13 | 1970-11-13 | ||
JPS59173148A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-01 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 電気集じん装置 |
JPS6320961B2 (ja) * | 1980-01-24 | 1988-05-02 | Takasago Thermal Engineering | |
JPH0356154A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | 空気清浄機 |
JPH0699097A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-12 | Hitachi Ltd | 電気集塵式空気清浄機 |
JPH06188482A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-07-08 | Komatsu Ltd | ガスレーザ装置 |
JPH06233947A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Daikin Ind Ltd | 電気集塵エレメントの印加極板 |
-
1995
- 1995-06-07 JP JP16469295A patent/JPH08335734A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4529655Y1 (ja) * | 1966-06-13 | 1970-11-13 | ||
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