JPH08334718A - ビーム走査装置 - Google Patents
ビーム走査装置Info
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- JPH08334718A JPH08334718A JP8134136A JP13413696A JPH08334718A JP H08334718 A JPH08334718 A JP H08334718A JP 8134136 A JP8134136 A JP 8134136A JP 13413696 A JP13413696 A JP 13413696A JP H08334718 A JPH08334718 A JP H08334718A
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- hollow shield
- shield
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
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- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部環境から受けるビーム偏向装置の影響を
減らす。 【解決手段】 ビーム走査装置は、ビーム入口開口とビ
ーム出口開口とを有する中空の遮蔽体の中に取り付けら
れたビーム偏向装置を持つ。ビーム出口開口は窓により
封鎖され、偏向されたビームはこの窓を通って中空遮蔽
体から出る。旋回モーターが中空遮蔽体、ビーム偏向装
置及び窓を旋回軸まわりに回転させる。液圧システムが
窓の周囲を歪まない状態に維持する。
減らす。 【解決手段】 ビーム走査装置は、ビーム入口開口とビ
ーム出口開口とを有する中空の遮蔽体の中に取り付けら
れたビーム偏向装置を持つ。ビーム出口開口は窓により
封鎖され、偏向されたビームはこの窓を通って中空遮蔽
体から出る。旋回モーターが中空遮蔽体、ビーム偏向装
置及び窓を旋回軸まわりに回転させる。液圧システムが
窓の周囲を歪まない状態に維持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は一般にビーム走査装置に
関し、特にドラム型レーザーイメージセッターにおいて
使用する高速ビーム走査装置に関する。
関し、特にドラム型レーザーイメージセッターにおいて
使用する高速ビーム走査装置に関する。
【０００２】
【従来技術及びその課題】高解像度ドラム型レーザーイ
メージセッターは、揺らぎ（ｗｏｂｂｌｅ）が少なく、
ノイズが小さくかつ光学的収差が最小の第１面の旋回鏡
を必要とする。電子画像の市場はより早い走査速度を要
求するため、走査速度の上昇に伴い種々の問題が生ず
る。第１に、スピナーの４５゜面の固有の性質が速度の
上昇の際に風の影響及び騒音を大きくする。風の影響は
空気軸受の揺らぎを強制する要因であり、また可聴騒音
は高速回転速度における作業環境に関係する。更に、旋
回鏡の表面を横切る周囲空気のポンプ作用のいかなる増
加も腐食及び化学的劣化の両者を加速させる。これは、
高度に汚染された領域において特に真である。
メージセッターは、揺らぎ（ｗｏｂｂｌｅ）が少なく、
ノイズが小さくかつ光学的収差が最小の第１面の旋回鏡
を必要とする。電子画像の市場はより早い走査速度を要
求するため、走査速度の上昇に伴い種々の問題が生ず
る。第１に、スピナーの４５゜面の固有の性質が速度の
上昇の際に風の影響及び騒音を大きくする。風の影響は
空気軸受の揺らぎを強制する要因であり、また可聴騒音
は高速回転速度における作業環境に関係する。更に、旋
回鏡の表面を横切る周囲空気のポンプ作用のいかなる増
加も腐食及び化学的劣化の両者を加速させる。これは、
高度に汚染された領域において特に真である。
【０００３】改良された高速ビーム走査装置を提供する
ことが本発明の一般的な目的である。
ことが本発明の一般的な目的である。
【０００４】高速回転しているビーム偏向装置に組み合
わせられた音響騒音を減らすことが本発明の特別な目的
である。
わせられた音響騒音を減らすことが本発明の特別な目的
である。
【０００５】高速回転ビーム偏向装置の風による影響を
減らすことが本発明の別の目的である。
減らすことが本発明の別の目的である。
【０００６】回転しているビーム偏向装置の外部の環境
条件により生ずる回転中のビーム偏向装置に及ぼす有害
な影響を減らすことが本発明の更に別の目的である。
条件により生ずる回転中のビーム偏向装置に及ぼす有害
な影響を減らすことが本発明の更に別の目的である。
【０００７】ビームの入口開口及び出口開口を有する中
空の遮蔽体内に回転偏向装置を取り囲むことが本発明の
更なる目的である。
空の遮蔽体内に回転偏向装置を取り囲むことが本発明の
更なる目的である。
【０００８】平らな窓により出口開口を環境から封鎖す
ることが本発明の更に別の目的である。
ることが本発明の更に別の目的である。
【０００９】中空遮蔽体の回転中における平窓の縁の歪
を防ぐことが本発明のなお別の目的である。
を防ぐことが本発明のなお別の目的である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、ビームの入口
開口と出口開口とを有する中空の遮蔽体内に取り付けら
れたビーム偏向装置を有するビーム走査装置を備える。
ビーム出口開口は窓により密閉され、偏向されたビーム
はこれを通って中空遮蔽体から出る。ビーム偏向装置と
中空遮蔽体とは旋回モーターにより回転軸まわりに一緒
に回転させられる。液圧システムが窓の周囲を歪まない
状態に維持する。
開口と出口開口とを有する中空の遮蔽体内に取り付けら
れたビーム偏向装置を有するビーム走査装置を備える。
ビーム出口開口は窓により密閉され、偏向されたビーム
はこれを通って中空遮蔽体から出る。ビーム偏向装置と
中空遮蔽体とは旋回モーターにより回転軸まわりに一緒
に回転させられる。液圧システムが窓の周囲を歪まない
状態に維持する。
【００１１】
【実施例】さて、図面、特にその図１を参照すれば、本
発明により構成されたビーム走査装置が示され、かつ一
般に番号１０で示される。ビーム走査装置１０は、鏡の
ようなビーム偏向装置を旋回軸１６まわりに回転させる
旋回モーター１２を備える。ビーム偏向装置１４は、同
様に旋回モーター１２により回転させられる中空の遮蔽
体１８内に囲まれる。
発明により構成されたビーム走査装置が示され、かつ一
般に番号１０で示される。ビーム走査装置１０は、鏡の
ようなビーム偏向装置を旋回軸１６まわりに回転させる
旋回モーター１２を備える。ビーム偏向装置１４は、同
様に旋回モーター１２により回転させられる中空の遮蔽
体１８内に囲まれる。
【００１２】中空遮蔽体１８は、ビーム入口開口２０及
びビーム出口開口２２を持つ。出口開口２２は窓２４の
手段により周囲環境から遮断され、この窓は中空遮蔽体
１８の内側に固定される窓枠２６に固定される。作動液
で満たされた中空容器又は「Ｏリング」２８が、窓枠２
６の一部分と中空遮蔽体１８の内面３０と間に位置決め
される。
びビーム出口開口２２を持つ。出口開口２２は窓２４の
手段により周囲環境から遮断され、この窓は中空遮蔽体
１８の内側に固定される窓枠２６に固定される。作動液
で満たされた中空容器又は「Ｏリング」２８が、窓枠２
６の一部分と中空遮蔽体１８の内面３０と間に位置決め
される。
【００１３】さて、図２及び３を参照すれば、図２は静
止、又は非回転状態のビーム走査装置１０を示す。出口
開口の窓２４が光学用接着剤３２によりその窓枠２６に
固定される。窓枠２６はＲＴＶのようなエラストマー３
４により中空遮蔽体１８にしなやかに取り付けられる。
作動液充満の中空容器又は「Ｏリング」２８が、窓枠２
６に形成された環状の溝３６内に置かれる。
止、又は非回転状態のビーム走査装置１０を示す。出口
開口の窓２４が光学用接着剤３２によりその窓枠２６に
固定される。窓枠２６はＲＴＶのようなエラストマー３
４により中空遮蔽体１８にしなやかに取り付けられる。
作動液充満の中空容器又は「Ｏリング」２８が、窓枠２
６に形成された環状の溝３６内に置かれる。
【００１４】さて、図３を参照すれば、この図面は、動
的又は回転している状態のビーム走査装置を誇張した形
式で図示する。回転力がビーム出口開口２２の周囲の縁
３８を引き離すことを図３より見ることができる。ビー
ム出口開口のこの「魚の口」のため、ビーム出口開口２
４は、点線で示された静止状態から実線で示された動的
又は回転状態に変化することができる。図２の静止状態
及び図３に示された窓の点線の状態において、平窓は光
学的には屈折力がない。図３に示された回転状態におい
ては、窓は「膨れ出て」屈折力を有するがが、この屈折
力は走査システム（図示せず）における焦点調整により
補償することができる。
的又は回転している状態のビーム走査装置を誇張した形
式で図示する。回転力がビーム出口開口２２の周囲の縁
３８を引き離すことを図３より見ることができる。ビー
ム出口開口のこの「魚の口」のため、ビーム出口開口２
４は、点線で示された静止状態から実線で示された動的
又は回転状態に変化することができる。図２の静止状態
及び図３に示された窓の点線の状態において、平窓は光
学的には屈折力がない。図３に示された回転状態におい
ては、窓は「膨れ出て」屈折力を有するがが、この屈折
力は走査システム（図示せず）における焦点調整により
補償することができる。
【００１５】光学的な非点収差、トリコーン（ｔｒｉｃ
ｏｒｎ）及びコマ収差の導入を避けるために、窓２４の
周囲の総ての点は、一様に変位しなければならない。し
かし、中空遮蔽体及び窓が回転すると不均一な力が発生
する。周辺まわりの力の分布は、窓２４の周囲の総ての
点に等しい変位を与えるように整合させられる。力の分
布のこの整合は、回転軸１６からの距離が大きくなると
作動液充満の容器２８の面積を大きくするように回転軸
１６からのその半径方向距離の関数として作動液充満の
容器２８の面積を変えることにより達成される。作動液
充満の容器２８の形状は、図４に示された角度θに従っ
て変化する。従って、図４に示されるように、作動液充
満の器２８の上下の部分４０は左右の部分４２より大き
な面積を持つ。
ｏｒｎ）及びコマ収差の導入を避けるために、窓２４の
周囲の総ての点は、一様に変位しなければならない。し
かし、中空遮蔽体及び窓が回転すると不均一な力が発生
する。周辺まわりの力の分布は、窓２４の周囲の総ての
点に等しい変位を与えるように整合させられる。力の分
布のこの整合は、回転軸１６からの距離が大きくなると
作動液充満の容器２８の面積を大きくするように回転軸
１６からのその半径方向距離の関数として作動液充満の
容器２８の面積を変えることにより達成される。作動液
充満の容器２８の形状は、図４に示された角度θに従っ
て変化する。従って、図４に示されるように、作動液充
満の器２８の上下の部分４０は左右の部分４２より大き
な面積を持つ。
【００１６】図５を参照すれば、容器又は「Ｏリング」
２８は、作動油のような作動液４４を収容する。容器２
８は、半径Ｒ1とＲ2とが等しいように中空遮蔽体１８の
内面の湾曲と一致するように曲げられる。
２８は、作動油のような作動液４４を収容する。容器２
８は、半径Ｒ1とＲ2とが等しいように中空遮蔽体１８の
内面の湾曲と一致するように曲げられる。
【００１７】図６を見ると、出口開口２４は旋回軸１６
に関し傾けられる。ビーム偏向装置１４の４５゜からの
傾斜がビーム走査装置からの反射の戻りを防ぐ。この配
置においては、窓は図６に示されるように５゜傾けられ
る。
に関し傾けられる。ビーム偏向装置１４の４５゜からの
傾斜がビーム走査装置からの反射の戻りを防ぐ。この配
置においては、窓は図６に示されるように５゜傾けられ
る。
【００１８】ビーム走査装置の以上の説明より、窓２４
が回転している中空遮蔽体に対して外部環境に関する環
境シールを提供することが認められるであろう。入口開
口２０も図６に図式的に示された窓４６により封鎖され
ることが好ましい。
が回転している中空遮蔽体に対して外部環境に関する環
境シールを提供することが認められるであろう。入口開
口２０も図６に図式的に示された窓４６により封鎖され
ることが好ましい。
【００１９】本発明の諸目的をなお達成しつつ上述の諸
構成要素において多くの変更を行うことができる。例え
ば、中空遮蔽体は中空の円筒体として示されたが、対応
した入口開口と出口開口とを有する球状の遮蔽体を使用
することができる。更に、出口開口の幾何学的形状を、
対応する形状を有する窓のある円形又は非円形とするこ
とができる。窓２４は平窓として図示され、かつこれは
その相対的な低費用のため好ましいとしたが、図５に示
された面積変動と比較して、一様な面積を有し作動液充
満の容器２８の形状に相当する調整により、非平面の窓
を使用することができる。
構成要素において多くの変更を行うことができる。例え
ば、中空遮蔽体は中空の円筒体として示されたが、対応
した入口開口と出口開口とを有する球状の遮蔽体を使用
することができる。更に、出口開口の幾何学的形状を、
対応する形状を有する窓のある円形又は非円形とするこ
とができる。窓２４は平窓として図示され、かつこれは
その相対的な低費用のため好ましいとしたが、図５に示
された面積変動と比較して、一様な面積を有し作動液充
満の容器２８の形状に相当する調整により、非平面の窓
を使用することができる。
【００２０】本発明の好ましい実施例を詳細に説明した
が、以下の実施態様に定められた本発明の精神から離れ
ることなく多くの変更をなし得ることは、熟練技術者に
明らかであろう。
が、以下の実施態様に定められた本発明の精神から離れ
ることなく多くの変更をなし得ることは、熟練技術者に
明らかであろう。
【００２１】本発明の実施態様は以下の通りである。
【００２２】１．ａ）ビーム偏向用手段、 ｂ）ビーム偏向用手段を取り囲む中空遮蔽体であって、
中空遮蔽体へのビームの進入を許し、ビーム偏向用手段
への投射とこれによる偏向を許す入口開口手段と中空手
段からの偏向ビームの流出を許す出口開口手段とを有す
る前記中空遮蔽体、 ｃ）前記出口開口手段を環境から封鎖する窓手段であっ
て、周囲を有する前記窓手段、 ｄ）前記ビーム偏向用手段、前記中空遮蔽体及び前記窓
手段を旋回軸まわりに一緒に回転させる回転手段、及び ｅ）窓手段の周囲を歪まない状態に維持するための液圧
手段を備えたビーム走査装置。
中空遮蔽体へのビームの進入を許し、ビーム偏向用手段
への投射とこれによる偏向を許す入口開口手段と中空手
段からの偏向ビームの流出を許す出口開口手段とを有す
る前記中空遮蔽体、 ｃ）前記出口開口手段を環境から封鎖する窓手段であっ
て、周囲を有する前記窓手段、 ｄ）前記ビーム偏向用手段、前記中空遮蔽体及び前記窓
手段を旋回軸まわりに一緒に回転させる回転手段、及び ｅ）窓手段の周囲を歪まない状態に維持するための液圧
手段を備えたビーム走査装置。
【００２３】２．前記窓手段が平らな光学要素を有する
実施態様１の装置。
実施態様１の装置。
【００２４】３．前記平らな光学要素が円形の周囲を有
する実施態様２の装置。
する実施態様２の装置。
【００２５】４．前記平らな光学要素の平面が前記旋回
軸と平行である実施態様２の装置。
軸と平行である実施態様２の装置。
【００２６】５．前記平らな光学要素の平面が前記旋回
軸と平行でない実施態様２の装置。
軸と平行でない実施態様２の装置。
【００２７】６．前記液圧手段が窓手段の回転により作
られた不均一な力の関数である変動面積を有する実施態
様１の装置。
られた不均一な力の関数である変動面積を有する実施態
様１の装置。
【００２８】７．前記中空遮蔽体が前記旋回軸に沿った
少なくも１個の一様半径の湾曲を有する中空形状である
実施態様６の装置。
少なくも１個の一様半径の湾曲を有する中空形状である
実施態様６の装置。
【００２９】８．前記中空遮蔽体が円筒の形状を有する
実施態様７の装置。
実施態様７の装置。
【００３０】９．前記中空遮蔽体が球の形状を有する実
施態様７の装置。
施態様７の装置。
【００３１】１０．前記出口開口手段が非円形の周囲を
有し、かつ液圧手段が相当する非円形の形状を有する中
空体を定める囲繞手段及び前記囲繞手段の中空部を満た
している作動液を備える実施態様６の装置。
有し、かつ液圧手段が相当する非円形の形状を有する中
空体を定める囲繞手段及び前記囲繞手段の中空部を満た
している作動液を備える実施態様６の装置。
【００３２】１１．前記囲繞手段が、旋回軸に関する湾
曲であって一様な半径の湾曲を有する実施態様１０の装
置。
曲であって一様な半径の湾曲を有する実施態様１０の装
置。
【００３３】１２．前記出口開口手段が非円形の周囲を
有し、更に液圧手段は相当する非円形の形を持った中空
部を定めるための囲繞手段を有し、前記囲繞手段は旋回
軸に沿った中空遮蔽体の中空円筒の形の湾曲の半径と等
しい半径を有する湾曲で旋回軸に関する湾曲及び前記囲
繞手段の中空部を満たしている作動液を有する実施態様
８の装置。
有し、更に液圧手段は相当する非円形の形を持った中空
部を定めるための囲繞手段を有し、前記囲繞手段は旋回
軸に沿った中空遮蔽体の中空円筒の形の湾曲の半径と等
しい半径を有する湾曲で旋回軸に関する湾曲及び前記囲
繞手段の中空部を満たしている作動液を有する実施態様
８の装置。
【００３４】１３．前記出口開口手段が円形の周囲を有
し、かつ液圧手段は相当する円形の形を有する中空部を
定める囲繞手段及び前記囲繞手段の中空部を満たしてい
る作動液を備える実施態様８の装置。
し、かつ液圧手段は相当する円形の形を有する中空部を
定める囲繞手段及び前記囲繞手段の中空部を満たしてい
る作動液を備える実施態様８の装置。
【００３５】１４．前記囲繞手段が、旋回軸に関する湾
曲であって一様な半径を有する湾曲を有する実施態様１
３の装置。
曲であって一様な半径を有する湾曲を有する実施態様１
３の装置。
【００３６】１５．前記出口開口手段が円形の周囲を有
し、更に液圧手段は相当する円形の形を持った中空部を
定めるための囲繞手段を有し、前記囲繞手段が、旋回軸
に関する湾曲であって旋回軸に沿った中空遮蔽体の中空
円筒の形の湾曲の半径と等しい半径を有する湾曲及び前
記囲繞手段の中空部を満たしている作動液を有する実施
態様８の装置。
し、更に液圧手段は相当する円形の形を持った中空部を
定めるための囲繞手段を有し、前記囲繞手段が、旋回軸
に関する湾曲であって旋回軸に沿った中空遮蔽体の中空
円筒の形の湾曲の半径と等しい半径を有する湾曲及び前
記囲繞手段の中空部を満たしている作動液を有する実施
態様８の装置。
【００３７】１６．前記入口開口手段が円形の周囲を有
する実施態様１の装置。
する実施態様１の装置。
【００３８】１７．前記ビーム偏向用手段が鏡を備える
実施態様１の装置。
実施態様１の装置。
【００３９】１８．前記鏡が平面鏡である実施態様１７
の装置。
の装置。
【００４０】１９．平面鏡が旋回軸と４５゜で交差する
実施態様１８の装置。
実施態様１８の装置。
【００４１】２０．平面鏡が旋回軸と４５゜よりも大き
な角度で交差する実施態様１８の装置。
な角度で交差する実施態様１８の装置。
【００４２】２１．ビーム偏向用の鏡、 ビーム偏向用の鏡を取り囲む円筒形中空遮蔽体であっ
て、ビーム入口開口と周囲を有するビーム出口開口手段
とを有する中空遮蔽体、円筒状中空遮蔽体の内面に取り
付けられた窓であって、円筒状中空遮蔽体の出口開口を
覆っている窓、出口開口の周囲のまわりに置かれかつ円
筒状中空遮蔽体の内面に関して保持される作動液充満の
容器であって、前記窓に機械的に組み合わせられた作動
液充満の容器、鏡と遮蔽体とを旋回軸まわりで一緒に回
転させ得るように、ビーム偏向用の鏡と円筒状中空遮蔽
体とに機械的に連結された回転軸を有するモーター手段
を備えたビーム走査装置。
て、ビーム入口開口と周囲を有するビーム出口開口手段
とを有する中空遮蔽体、円筒状中空遮蔽体の内面に取り
付けられた窓であって、円筒状中空遮蔽体の出口開口を
覆っている窓、出口開口の周囲のまわりに置かれかつ円
筒状中空遮蔽体の内面に関して保持される作動液充満の
容器であって、前記窓に機械的に組み合わせられた作動
液充満の容器、鏡と遮蔽体とを旋回軸まわりで一緒に回
転させ得るように、ビーム偏向用の鏡と円筒状中空遮蔽
体とに機械的に連結された回転軸を有するモーター手段
を備えたビーム走査装置。
【図１】ビーム偏向装置、入口開口と出口開口とを有す
る中空遮蔽体、出口開口を封鎖している窓及び旋回用モ
ーターを有するビーム走査装置の分解斜視図である。
る中空遮蔽体、出口開口を封鎖している窓及び旋回用モ
ーターを有するビーム走査装置の分解斜視図である。
【図２】図１の線２−２に沿って得られた断面図であっ
て、走査装置の断面部分の静止又は非回転時の状態を示
す。
て、走査装置の断面部分の静止又は非回転時の状態を示
す。
【図３】図２と同様の図面であるが、走査装置の断面部
分の動的又は回転時の状態を図解の目的で構成要素の移
動を誇張して示す。
分の動的又は回転時の状態を図解の目的で構成要素の移
動を誇張して示す。
【図４】作動液で満たされた中空容器の平面図である。
【図５】図４の線５−５に沿って得られた断面図であ
り、ビーム走査装置の旋回軸に関する作動液で満たされ
た中空容器の湾曲を示す。
り、ビーム走査装置の旋回軸に関する作動液で満たされ
た中空容器の湾曲を示す。
【図６】窓がビーム走査装置の旋回軸に関して４５゜傾
けられたときのビーム偏向装置と窓の線図的な図面であ
る。
けられたときのビーム偏向装置と窓の線図的な図面であ
る。
１０ ビーム走査装置 １２ モーター １４ ビーム偏向装置 １８ 中空遮蔽体 ２０ ビーム入口開口 ２２ ビーム出口開口 ２４ 窓手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 595022371 200 ＢＡＬＬＡＲＤＶＡＬＥ ＳＴＲＥ ＥＴ，ＷＥＬＭＩＮＧＴＯＮ，ＭＡＳＳＡ ＣＨＵＳＥＴＴＳ 01887，Ｕ．Ｓ．Ａ.
Claims (2)
- 【請求項１】 ａ）ビーム偏向用手段、 ｂ）ビーム偏向用手段を取り囲む中空遮蔽体であって、
中空遮蔽体へのビームの進入を許し、ビーム偏向用手段
への投射とこれによる偏向を許す入口開口手段と中空手
段からの偏向ビームの流出を許す出口開口手段とを有す
る前記中空遮蔽体、 ｃ）前記出口開口手段を環境から封鎖する窓手段であっ
て、周囲を有する前記窓手段、 ｄ）前記ビーム偏向用手段、前記中空遮蔽体及び前記窓
手段を旋回軸まわりに一緒に回転させる回転手段、及び ｅ）窓手段の周囲を歪まない状態に維持するための液圧
手段を備えたビーム走査装置。 - 【請求項２】 ビーム偏向用の鏡、 ビーム偏向用の鏡を取り囲む円筒形中空遮蔽体であっ
て、ビーム入口開口と周囲を有するビーム出口開口手段
とを有する中空遮蔽体、 円筒状中空遮蔽体の内面に取り付けられた窓であって、
円筒状中空遮蔽体の出口開口を覆っている窓、 出口開口の周囲のまわりに置かれかつ円筒状中空遮蔽体
の内面に関して保持される作動液充満の容器であって、
前記窓に機械的に組み合わせられた作動液充満の容器、 鏡と遮蔽体とを旋回軸まわりで一緒に回転させ得るよう
に、ビーム偏向用の鏡と円筒状中空遮蔽体とに機械的に
連結された回転軸を有するモーター手段を備えたビーム
走査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/434,963 US5600477A (en) | 1995-05-04 | 1995-05-04 | Beam scanner |
| US434963 | 1995-05-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08334718A true JPH08334718A (ja) | 1996-12-17 |
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