JPS5948729A - 光ビ−ム偏向機構 - Google Patents
光ビ−ム偏向機構Info
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- JPS5948729A JPS5948729A JP57160467A JP16046782A JPS5948729A JP S5948729 A JPS5948729 A JP S5948729A JP 57160467 A JP57160467 A JP 57160467A JP 16046782 A JP16046782 A JP 16046782A JP S5948729 A JPS5948729 A JP S5948729A
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- Japan
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- dust
- mirror
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔利用分野〕
本発明は、回転支持された多数の反射面を有する多面鏡
を回転させることによりレーザビーム等の光ビームを偏
向させる光ビーム偏向機構（こ関するものである。
を回転させることによりレーザビーム等の光ビームを偏
向させる光ビーム偏向機構（こ関するものである。
光ビーム偏向機構は、例えば光源より出射された光ビー
ムを、多面鏡の回転ζこ応して入反射角度を変化させ目
的の方向へ偏向する機構である。
ムを、多面鏡の回転ζこ応して入反射角度を変化させ目
的の方向へ偏向する機構である。
この光ビーム偏向機構は、超精密加工により仕上けられ
た高精度の光を反射する主要部である多面鏡が取付けら
れている。多面鏡の各面は、而倒れ角度精度・分割角度
精度・面精度・反射率等が厳しく決められている。これ
らにより、レーザプリンタ等では走査直線性、走査ピッ
チムラ、レーザパワー、レーザスポット形状等が左右さ
れるのである。元ビーム偏向機構では、このような高精
度の多面鏡を高速で回転させなければならず、高速回転
中に多面鏡が多面体であるが由に多面鏡の鏡面部分ζこ
空気中の塵かイ・１着し、せっかく高精度（こ仕−１−
けられた鏡面を悪くしてしまうことがある。
た高精度の光を反射する主要部である多面鏡が取付けら
れている。多面鏡の各面は、而倒れ角度精度・分割角度
精度・面精度・反射率等が厳しく決められている。これ
らにより、レーザプリンタ等では走査直線性、走査ピッ
チムラ、レーザパワー、レーザスポット形状等が左右さ
れるのである。元ビーム偏向機構では、このような高精
度の多面鏡を高速で回転させなければならず、高速回転
中に多面鏡が多面体であるが由に多面鏡の鏡面部分ζこ
空気中の塵かイ・１着し、せっかく高精度（こ仕−１−
けられた鏡面を悪くしてしまうことがある。
鏡面への塵の付着Ｃ」多面鏡の回転時間か長くなる（こ
つれ増加し鏡面への反射率を著しく低下させる。
つれ増加し鏡面への反射率を著しく低下させる。
そればかりか同−鏡面内の反射率や各鏡面の反射率にム
ラか牛したり、光ヒームの散乱か起るよう（こなる。こ
うなると、偏向された後の光ヒームは、＋１着した塵（
こより、パワーが減少したり、焦点を結はなくなり、レ
ーザプリンタ等では印字品位か低下したり甚だしいとき
には印字不能（こなってしまう。そのため、回転多面鏡
を用いた光ヒーム偏向機構では通常、空気中の塵か多面
鏡の鏡面部分に付着しないよう（こ多面鏡を防塵部材で
覆い塵を含む外部の空気が多面鏡の周辺に侵入しないよ
うにしている。
ラか牛したり、光ヒームの散乱か起るよう（こなる。こ
うなると、偏向された後の光ヒームは、＋１着した塵（
こより、パワーが減少したり、焦点を結はなくなり、レ
ーザプリンタ等では印字品位か低下したり甚だしいとき
には印字不能（こなってしまう。そのため、回転多面鏡
を用いた光ヒーム偏向機構では通常、空気中の塵か多面
鏡の鏡面部分に付着しないよう（こ多面鏡を防塵部材で
覆い塵を含む外部の空気が多面鏡の周辺に侵入しないよ
うにしている。
しかしながら、゛防塵部材で多面鏡を覆い外部空気を遮
断することは、空気中の塵が鏡面部分（こ４４着するの
を防止するの（こは良い。しかし、多面鏡を回転、支持
している軸受として、潤滑剤を封入している軸受を使用
している場合、潤滑剤か多面鏡の鏡面を汚染する問題を
引起こすことがある。
断することは、空気中の塵が鏡面部分（こ４４着するの
を防止するの（こは良い。しかし、多面鏡を回転、支持
している軸受として、潤滑剤を封入している軸受を使用
している場合、潤滑剤か多面鏡の鏡面を汚染する問題を
引起こすことがある。
つまり、多面鏡を芭った防塵部材等の中で回転させると
、多面鏡の回転（こより渦を生し、防塵部材内の圧力が
中心部で最も低く、中心部から離れるほど高＜ ｆｆる
。特に中心部では負圧となる。そのため、中心部（こけ
多面鏡を回転さぜる回転ｌＩｌ＋を回転支持する軸受が
あり、このｄｉｂ受か防塵部イ」内部と外部空気との境
となっている。外部空気の圧力は大気圧であるので、こ
の軸受を境（こして圧力は防塵部材内部（多面鏡側）が
低（防塵部材外部か高くなること（こなる。
、多面鏡の回転（こより渦を生し、防塵部材内の圧力が
中心部で最も低く、中心部から離れるほど高＜ ｆｆる
。特に中心部では負圧となる。そのため、中心部（こけ
多面鏡を回転さぜる回転ｌＩｌ＋を回転支持する軸受が
あり、このｄｉｂ受か防塵部イ」内部と外部空気との境
となっている。外部空気の圧力は大気圧であるので、こ
の軸受を境（こして圧力は防塵部材内部（多面鏡側）が
低（防塵部材外部か高くなること（こなる。
この軸受を項番こした防塵部材内部と外部との圧力差は
、多面鏡の回転数によって変化し、回転数が高くなるほ
どその差か大きくなる。そこて１ｔＱｔ＋受（こ潤滑剤
が封入されているものを使用すると、この圧力差によっ
て潤滑剤が圧力の低い方つまり防塵部材内部に漏れ出す
。−変温滑剤が漏れ出すと、防塵部材内部は外部と遮断
されており空気の流通がないために、終始多面鏡は潤滑
剤を含む空気（こ晒されること（こなる。
、多面鏡の回転数によって変化し、回転数が高くなるほ
どその差か大きくなる。そこて１ｔＱｔ＋受（こ潤滑剤
が封入されているものを使用すると、この圧力差によっ
て潤滑剤が圧力の低い方つまり防塵部材内部に漏れ出す
。−変温滑剤が漏れ出すと、防塵部材内部は外部と遮断
されており空気の流通がないために、終始多面鏡は潤滑
剤を含む空気（こ晒されること（こなる。
これでは、多面鏡の鏡面の状態か段々悪化し、前記した
塵の１７１着した場合と同様（こ偏向時（こ光ビーノ・
に悪影響を力えてしまう。軸受の潤滑剤による多面鏡の
鏡面汚染は、潤滑剤を使用する軸受を使用するかきり発
生する問題であり、空気中の塵へ の鏡面への付着防止よりもやっかいである。
塵の１７１着した場合と同様（こ偏向時（こ光ビーノ・
に悪影響を力えてしまう。軸受の潤滑剤による多面鏡の
鏡面汚染は、潤滑剤を使用する軸受を使用するかきり発
生する問題であり、空気中の塵へ の鏡面への付着防止よりもやっかいである。
本発明は、例えは潤滑剤が封入された軸受を用いた光ヒ
ーム偏向機構（こおいても、軸受の潤滑剤による多面鏡
の鏡面汚染を防止できる光ビーノ・偏向機構を提供する
ものである。つまり、多面鏡を回転支持する回転軸側（
こ：ｉ月Ｊる圧力を、外部の例えは大気圧と同等もしく
はそれ以」二とし、回転軸側からの潤滑剤等の鏡面を汚
染する物質の侵入を防止することを目的としている。
ーム偏向機構（こおいても、軸受の潤滑剤による多面鏡
の鏡面汚染を防止できる光ビーノ・偏向機構を提供する
ものである。つまり、多面鏡を回転支持する回転軸側（
こ：ｉ月Ｊる圧力を、外部の例えは大気圧と同等もしく
はそれ以」二とし、回転軸側からの潤滑剤等の鏡面を汚
染する物質の侵入を防止することを目的としている。
以下、図面（こ従って本発明を説明する。第１図発明の
光ヒーム偏向機横を説明する。
光ヒーム偏向機横を説明する。
図中１は多面鏡で、通常８面ないしは１２而等の鏡面を
有しており、回転軸２に精度よく取４・ｊけられた回転
台３とバラン′ス調整部材４により堅固（こ固定されて
いる○ 回転軸２は下部防塵部材５に固定されたｔｌＱｌｔ受６
゜７に回転可能に支持されている。」−記下部防塵部利
５１こ（１回転軸２を回転するためのモータステータユ
ニｙ ｌ□ ］ ０が取付けられている。また回転軸２
はモータステータユニット】０と対向して、モータロー
タユニット９が固定されている。従って、モータロ−タ
ユニット 昇（こより、モータロータユニット９が回転されると、
回転軸２が回転し、多面鏡］が回転するのである。多面
鏡ｌは超精密加工（こより高精度（こ什−にけられた多
数の鏡面を有しており、この鏡面の状態（こより光ビー
ム偏向機構の性能を左右するので、多面鏡ｌは、空気中
の塵等から鏡面を保護するため（こ−に部防塵部材１１
と下部防塵部材５ｉこよって覆れ列部の空気から遮断さ
れている。上部防塵部材】】１こは無反射コーティング
かなされたガラス板１２が取付けられた窓１３があり、
この窓１３のカラス板１２を通して光ヒームが多面＠１
に矢印ａの様に入射し、多面鏡ｌにより矢印すの様に偏
向され、再び窓１３よりガラス板Ｉ２を通過して光ビー
ムか出射されるのである。
有しており、回転軸２に精度よく取４・ｊけられた回転
台３とバラン′ス調整部材４により堅固（こ固定されて
いる○ 回転軸２は下部防塵部材５に固定されたｔｌＱｌｔ受６
゜７に回転可能に支持されている。」−記下部防塵部利
５１こ（１回転軸２を回転するためのモータステータユ
ニｙ ｌ□ ］ ０が取付けられている。また回転軸２
はモータステータユニット】０と対向して、モータロー
タユニット９が固定されている。従って、モータロ−タ
ユニット 昇（こより、モータロータユニット９が回転されると、
回転軸２が回転し、多面鏡］が回転するのである。多面
鏡ｌは超精密加工（こより高精度（こ什−にけられた多
数の鏡面を有しており、この鏡面の状態（こより光ビー
ム偏向機構の性能を左右するので、多面鏡ｌは、空気中
の塵等から鏡面を保護するため（こ−に部防塵部材１１
と下部防塵部材５ｉこよって覆れ列部の空気から遮断さ
れている。上部防塵部材】】１こは無反射コーティング
かなされたガラス板１２が取付けられた窓１３があり、
この窓１３のカラス板１２を通して光ヒームが多面＠１
に矢印ａの様に入射し、多面鏡ｌにより矢印すの様に偏
向され、再び窓１３よりガラス板Ｉ２を通過して光ビー
ムか出射されるのである。
この光ビーム偏向機構で（Ｊ、光ヒームを偏向させる場
合（こ多面鏡１を回転させるわけであるが、多面鏡■が
上下の防塵部行目１，５１こより密閉状態で、多面鏡１
の上面及び底面１ ’１ がそれそＩ −２ れ対向す゛る上下の防塵部材１１，５の内壁部（こ近接
している七、多面鏡１の回転により−に下部塵部材１１
．５内部の空気か渦を成し遠心力が働く方向矢印ｃ、ｄ
の方向（こ流れる。そのため、上下防塵部材１１，５の
内部の圧力は中心部が最も低く（９圧）なり矢印ｃ、ｄ
の方向に行く（こ従って高くなってしまう。この時、軸
受６の両端面６．．６−２付近の圧力を調べると、軸受
６は下部防塵部材５の中心部に位置し軸受６の内側端面
６−１は負圧であり、軸受６の外側端面６−２は大気圧
になっている。っまり、軸受６を境ｊこして圧力が異り
内γ１（３が低く外部が高くなっている。このよう（こ
軸受６の両端面（こ圧力差かあると、軸受６の内部に封
入されている潤滑剤が圧力の低い方へ漏れ出したり、潤
滑剤を通過した潤滑剤を含む空気が圧力の低い方へ侵入
してくる。これは先にも述へた通りである。
合（こ多面鏡１を回転させるわけであるが、多面鏡■が
上下の防塵部行目１，５１こより密閉状態で、多面鏡１
の上面及び底面１ ’１ がそれそＩ −２ れ対向す゛る上下の防塵部材１１，５の内壁部（こ近接
している七、多面鏡１の回転により−に下部塵部材１１
．５内部の空気か渦を成し遠心力が働く方向矢印ｃ、ｄ
の方向（こ流れる。そのため、上下防塵部材１１，５の
内部の圧力は中心部が最も低く（９圧）なり矢印ｃ、ｄ
の方向に行く（こ従って高くなってしまう。この時、軸
受６の両端面６．．６−２付近の圧力を調べると、軸受
６は下部防塵部材５の中心部に位置し軸受６の内側端面
６−１は負圧であり、軸受６の外側端面６−２は大気圧
になっている。っまり、軸受６を境ｊこして圧力が異り
内γ１（３が低く外部が高くなっている。このよう（こ
軸受６の両端面（こ圧力差かあると、軸受６の内部に封
入されている潤滑剤が圧力の低い方へ漏れ出したり、潤
滑剤を通過した潤滑剤を含む空気が圧力の低い方へ侵入
してくる。これは先にも述へた通りである。
本発明は第２図（こ示す如く、防塵部材を構成している
。この防塵部利は、上下防塵部材ＩＩと多面鏡］の上面
１−１との間隔Ｌ１ より下部防塵部材５と多面鏡１の
底面ｌ−２との間隔Ｌ２が充分大きくなるよう（こ構成
している。第２図（こ示ず構成とすることで多面鏡１の
回転時（こ、中心部から多面鏡ｌの外周方向（こ向って
高くなる圧力差を、上部防塵部（］ｌ】と多面鏡ｌの上
面じ１との間で生ずる圧力差ｌこ比較して、下部防塵部
材５と多面鏡ｌの底面Ｉ−２との間で生ずる圧力差を充
分ｌこ小さくなる。即ち、Ｊ、の間隔が狭いことがら、
多面鏡１の上面の中心部と外周部との圧力差が大きくな
る。しかし、１１ の間隔より充分間隔工、を犬き３し
乍゛？、録５”＋７）Ｋ’ｌ＋−パ°３け６１力“は・
中心部と外周部とては非常（こ小さい。そのため、軸受
６の防塵部材の内部６ と、外部６−２との圧１ 力差が生じず、軸受６内の潤滑剤が防塵部材の内部に侵
入することはなくなる。また、上述の構成（こ加え、回
転！Ｉ！１ｌ１２（こ保持された多面鏡ｌの」二面１、
と対向する上部防塵部材１１の中心部に、空気の出入可
能な空気１１１４を設けている。空気口１４を設けるこ
とで、多面鏡ｌの回転（こより、上部防塵部材１１と多
面鏡ｌの」二面１−１との間て生する圧力差番こよる負
圧を利用し、空気口１４より外部空気を矢印ｅのように
吸込む。この時、夕１部空気に含まれている塵等を吸込
まぬよう空気［］１４（こはフィルタ一部材１５が取付
けられている０空気口］４より吸込まれた空気は、矢印
ｆのように下部防塵部材５の方へ押し込まれ下部防塵部
４Ｊ’ ５＋］近の圧力を高くする。その結果、下部防
塵部材５の中心部つまり軸受６付近の圧力か負圧（こな
らなくなり、軸受６を境（こした上下防塵部材１１，５
内部６−１と外部６−２との圧力差が逆転し、内部６−
側の圧力の方が外部６−２側の圧力よりも高くム゛る。
。この防塵部利は、上下防塵部材ＩＩと多面鏡］の上面
１−１との間隔Ｌ１ より下部防塵部材５と多面鏡１の
底面ｌ−２との間隔Ｌ２が充分大きくなるよう（こ構成
している。第２図（こ示ず構成とすることで多面鏡１の
回転時（こ、中心部から多面鏡ｌの外周方向（こ向って
高くなる圧力差を、上部防塵部（］ｌ】と多面鏡ｌの上
面じ１との間で生ずる圧力差ｌこ比較して、下部防塵部
材５と多面鏡ｌの底面Ｉ−２との間で生ずる圧力差を充
分ｌこ小さくなる。即ち、Ｊ、の間隔が狭いことがら、
多面鏡１の上面の中心部と外周部との圧力差が大きくな
る。しかし、１１ の間隔より充分間隔工、を犬き３し
乍゛？、録５”＋７）Ｋ’ｌ＋−パ°３け６１力“は・
中心部と外周部とては非常（こ小さい。そのため、軸受
６の防塵部材の内部６ と、外部６−２との圧１ 力差が生じず、軸受６内の潤滑剤が防塵部材の内部に侵
入することはなくなる。また、上述の構成（こ加え、回
転！Ｉ！１ｌ１２（こ保持された多面鏡ｌの」二面１、
と対向する上部防塵部材１１の中心部に、空気の出入可
能な空気１１１４を設けている。空気口１４を設けるこ
とで、多面鏡ｌの回転（こより、上部防塵部材１１と多
面鏡ｌの」二面１−１との間て生する圧力差番こよる負
圧を利用し、空気口１４より外部空気を矢印ｅのように
吸込む。この時、夕１部空気に含まれている塵等を吸込
まぬよう空気［］１４（こはフィルタ一部材１５が取付
けられている０空気口］４より吸込まれた空気は、矢印
ｆのように下部防塵部材５の方へ押し込まれ下部防塵部
４Ｊ’ ５＋］近の圧力を高くする。その結果、下部防
塵部材５の中心部つまり軸受６付近の圧力か負圧（こな
らなくなり、軸受６を境（こした上下防塵部材１１，５
内部６−１と外部６−２との圧力差が逆転し、内部６−
側の圧力の方が外部６−２側の圧力よりも高くム゛る。
従って、軸受６から上下防塵音１１材１１，５の内部ぺ
の潤滑剤の漏れ出しがなくなり、潤１１を削ｔこよる多
面鏡ｌの汚染を防上することができる。
の潤滑剤の漏れ出しがなくなり、潤１１を削ｔこよる多
面鏡ｌの汚染を防上することができる。
第３図は、多面鏡ｌが回転する時（こ多面鏡Ｉの上部１
と同上面］ 、ｉこ対向する上部防塵部４ｇ１＋１ との間（こ生ずる中心部から多面鏡１の外周方向（こ向
って高くなる圧力差を、さら（こ大きくなるようにした
光ビーム偏向機構の略断面図である。
と同上面］ 、ｉこ対向する上部防塵部４ｇ１＋１ との間（こ生ずる中心部から多面鏡１の外周方向（こ向
って高くなる圧力差を、さら（こ大きくなるようにした
光ビーム偏向機構の略断面図である。
つまり、多面鏡ｌの−に部（こ設けられた、バランス調
整部材４（こ、空気を矢印ｇ方向へ送り出す羽根１６を
設けている。第４図はバランス調整部刊４（こ設けられ
た羽根］６の詳細を示す、光ヒーム偏向機構の主要部で
ある多面鏡１の斜視図である。
整部材４（こ、空気を矢印ｇ方向へ送り出す羽根１６を
設けている。第４図はバランス調整部刊４（こ設けられ
た羽根］６の詳細を示す、光ヒーム偏向機構の主要部で
ある多面鏡１の斜視図である。
図（こ示ず如く、多面鏡１を堅固に押え込むバランス調
整部材４は、バランス調整時に図示していないバランス
おもりを数例けるための等角度間隔に位置する四部１７
と、等角度間隔番こ位置する円弧状の羽根１６を形成し
ている。この羽根１６は円弧状番こ形成しなくても直線
状に形成してもよい。
整部材４は、バランス調整時に図示していないバランス
おもりを数例けるための等角度間隔に位置する四部１７
と、等角度間隔番こ位置する円弧状の羽根１６を形成し
ている。この羽根１６は円弧状番こ形成しなくても直線
状に形成してもよい。
羽４１６は、上部防塵部材ｌ］と多面鏡１の上ｉＴ１−
１との間の空気を多面鏡１の外周方向に矢印ｇのよう（
こ押出すのを助長し空気口１４°からより多くの外部空
気を吸込む。そして吸込んだ空気により軸受６の端面６
＋付近の圧力が高くなり、その圧力は軸受６の端面６−
２刊近の大気圧よりもかなり高くなる。そのため軸受６
から−に下防塵部４１’ｌｌ。
１との間の空気を多面鏡１の外周方向に矢印ｇのよう（
こ押出すのを助長し空気口１４°からより多くの外部空
気を吸込む。そして吸込んだ空気により軸受６の端面６
＋付近の圧力が高くなり、その圧力は軸受６の端面６−
２刊近の大気圧よりもかなり高くなる。そのため軸受６
から−に下防塵部４１’ｌｌ。
５内部への潤／′ｉ’を剤の漏れ出しをさら（・こ防止
できる。
できる。
更に第５図の光と−１、偏向機構は、軸受６を境（こし
て上下防塵γ１１（材ＩＩ、５の外部の圧力を負圧（こ
することにより、内部６＋と外部６−２との圧力差を増
加したものである。
て上下防塵γ１１（材ＩＩ、５の外部の圧力を負圧（こ
することにより、内部６＋と外部６−２との圧力差を増
加したものである。
これは、モータロータユニｙ ｌ□ ９ ｉこ羽根１８
を、下部防塵部材５にモータロータユニット９まてを覆
う筒１９を設りて構成している。そこでモータロータユ
ニット９の回転時、羽根］８（こより、軸受６の端面６
−２付近の空気を矢印）］の様（こ吸出し、１１＋受６
の６−２部付近を負圧とする。これ番こより軸受６を境
にした一ヒ下防塵部材１１，５の外部の圧力は、内部の
圧力よりも低くなり、軸受６から上下防塵部材１１，５
内部への潤滑剤の漏れ出しをさら（こ防＋Ｌでき、軸受
６の潤滑剤による多面鏡１の汚染をｆ、ｆ ＜すことか
てきる。
を、下部防塵部材５にモータロータユニット９まてを覆
う筒１９を設りて構成している。そこでモータロータユ
ニット９の回転時、羽根］８（こより、軸受６の端面６
−２付近の空気を矢印）］の様（こ吸出し、１１＋受６
の６−２部付近を負圧とする。これ番こより軸受６を境
にした一ヒ下防塵部材１１，５の外部の圧力は、内部の
圧力よりも低くなり、軸受６から上下防塵部材１１，５
内部への潤滑剤の漏れ出しをさら（こ防＋Ｌでき、軸受
６の潤滑剤による多面鏡１の汚染をｆ、ｆ ＜すことか
てきる。
もし、上述した本発明の如く防塵部材の構成としなけれ
（Ｊ、潤滑剤ζこよる多面鏡１の鏡面汚染が心配され、
潤滑剤を使用する一般的ｉ； １１ｆ１１受６（７）た
とえば玉１１ｉ受か使用できない。そのため、非常に高
価な空気軸受等の特殊な軸受を使用しなければならない
。しかも静圧空気軸受を使用する場合に（Ｊ、清浄空気
を軸受内に圧送する清浄空気供給装置が、動圧空気軸受
を使用する場合（こは軸受が動作可能な状態になるまで
の間、回転軸を回転保持する回転軸保持装置かそれぞれ
必要となり複雑でかなりのコスト高となる。それ（こ対
し、本発明の防塵部（詞の構成とすることで光ビーム偏
向機構の＋１ｑｌｔ受６（７）は非常（こ安価なこく一
般的な軸受が使用でき、特殊な軸受やその軸受を保持す
るための周辺装置を必要としないのでコストを低くする
ことかできる。
（Ｊ、潤滑剤ζこよる多面鏡１の鏡面汚染が心配され、
潤滑剤を使用する一般的ｉ； １１ｆ１１受６（７）た
とえば玉１１ｉ受か使用できない。そのため、非常に高
価な空気軸受等の特殊な軸受を使用しなければならない
。しかも静圧空気軸受を使用する場合に（Ｊ、清浄空気
を軸受内に圧送する清浄空気供給装置が、動圧空気軸受
を使用する場合（こは軸受が動作可能な状態になるまで
の間、回転軸を回転保持する回転軸保持装置かそれぞれ
必要となり複雑でかなりのコスト高となる。それ（こ対
し、本発明の防塵部（詞の構成とすることで光ビーム偏
向機構の＋１ｑｌｔ受６（７）は非常（こ安価なこく一
般的な軸受が使用でき、特殊な軸受やその軸受を保持す
るための周辺装置を必要としないのでコストを低くする
ことかできる。
又、第３図、第５図の光ビーム偏向機構では、多面鏡ｌ
が回転する１丁！ｉに自然番こ生ずる防頭部材内部の圧
力差を、回転体（こ羽根１６又は１８を設けるという非
常に筒中な手段番こより、強性的に高め第２図の光ビー
ノ・偏向機構（こおける軸受内の潤滑剤（こよる多面鏡
の鏡面汚染防止の安全性をさら（こ高めることかできる
。
が回転する１丁！ｉに自然番こ生ずる防頭部材内部の圧
力差を、回転体（こ羽根１６又は１８を設けるという非
常に筒中な手段番こより、強性的に高め第２図の光ビー
ノ・偏向機構（こおける軸受内の潤滑剤（こよる多面鏡
の鏡面汚染防止の安全性をさら（こ高めることかできる
。
以上説明した様（こ本発明によれ（′Ａ１多而多面鏡塵
部材で覆うことで、多面鏡の回転により中心部か外周部
に比へて負圧（こなること（こよる障害を阻止できる。
部材で覆うことで、多面鏡の回転により中心部か外周部
に比へて負圧（こなること（こよる障害を阻止できる。
特（こ、多面鏡を回転支持する回転軸の軸受を介して漏
れる潤滑剤等の侵入を防止し、多面鏡の鏡面への汚染を
防ＩＩ−できる。
れる潤滑剤等の侵入を防止し、多面鏡の鏡面への汚染を
防ＩＩ−できる。
第１図は本発明にかかる防塵部材を備えた光ビーム偏向
機構の一例を示す断面図、第２図は本発明の一具体例を
示す光ビーノ・偏向機構の断面商、第３図は本発明の他
の具体例を示す光ビーム偏向機構の断面図、第４図は第
３図の多面鏡の回転バランス調整部材４の詳細を示す斜
視図、第５図は本発明の他の具体例を示す光ビーム偏向
機構の断面図である。 Ｉ：多面鏡、Ｉ、、］−２：多而鏡の上面及び底面、２
：回転軸、４：ハランス調整部（］、５ 下部防塵部材
、６（７）：軸受、１１：上部防塵部材。 】２：ノノラス板、１３：窓、１４゛空気１］、１５：
フィルタ一部材、１６゛羽根。
機構の一例を示す断面図、第２図は本発明の一具体例を
示す光ビーノ・偏向機構の断面商、第３図は本発明の他
の具体例を示す光ビーム偏向機構の断面図、第４図は第
３図の多面鏡の回転バランス調整部材４の詳細を示す斜
視図、第５図は本発明の他の具体例を示す光ビーム偏向
機構の断面図である。 Ｉ：多面鏡、Ｉ、、］−２：多而鏡の上面及び底面、２
：回転軸、４：ハランス調整部（］、５ 下部防塵部材
、６（７）：軸受、１１：上部防塵部材。 】２：ノノラス板、１３：窓、１４゛空気１］、１５：
フィルタ一部材、１６゛羽根。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、入射光を反射するための多面鏡を回転軸上（こ保持
し、該多面鏡の鏡面に塵埃の付着するのを防ｔｆニする
ために上記光を入射する透光部分を設けた防塵部材で上
記多面鏡を覆って構成した光間隙より大きく設定したこ
とを特徴とする光ビーム偏向機構。 ２ 多面鏡の上部中心部と対向する防塵部材に空気口を
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光
ビーム偏向機構。 ３ 多面鏡の上部（こ中心部の空気を外周部に押し出す
多面鏡の回転に応じて回転する羽根を設けたことを特徴
とする特許請求の範囲第２項記載の光ビーム偏向機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57160467A JPS5948729A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 光ビ−ム偏向機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57160467A JPS5948729A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 光ビ−ム偏向機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948729A true JPS5948729A (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=15715572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57160467A Pending JPS5948729A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 光ビ−ム偏向機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948729A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330821U (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-29 | ||
| WO2024102254A1 (en) * | 2022-11-07 | 2024-05-16 | Innovusion, Inc. | Optical scanner noise reduction with improved air flow |
-
1982
- 1982-09-13 JP JP57160467A patent/JPS5948729A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330821U (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-29 | ||
| JPH0714974Y2 (ja) * | 1986-08-12 | 1995-04-10 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置 |
| WO2024102254A1 (en) * | 2022-11-07 | 2024-05-16 | Innovusion, Inc. | Optical scanner noise reduction with improved air flow |
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