JPH08330175A - Ceramic electronic device and its manufacture - Google Patents

Ceramic electronic device and its manufacture

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JPH08330175A
JPH08330175A JP15991795A JP15991795A JPH08330175A JP H08330175 A JPH08330175 A JP H08330175A JP 15991795 A JP15991795 A JP 15991795A JP 15991795 A JP15991795 A JP 15991795A JP H08330175 A JPH08330175 A JP H08330175A
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JP
Japan
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base metal
metal film
internal electrode
ceramic
pattern
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP15991795A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiyoshi Nakagawa
潔 中川
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To provide a ceramic electronic device, and its manufacture, excellent in the reliability of connection between inner and outer electrodes in which delamination can be prevented by removing the binder surely. CONSTITUTION: An element 3 is applied at the opposite end faces 3a, 3b, where the end parts 2a of inner electrodes 2 are exposed, with a pattern of base metal film 5 where forming parts 7 are mixed with non-forming parts 8. It is then heat-treated in order to remove the binder and an outer electrode 4 conducted with the inner electrode 2 at least through the base metal film 5, is disposed on the plane applied with the base metal film 5. The ratio (opening rate) of the part 7 where the base metal film 5 is formed to the total area of base metal film pattern including both parts 7, 8 is set at 50% or less.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本願発明は、セラミック電子部品
及びその製造方法に関し、詳しくは、積層セラミックコ
ンデンサや積層LC複合部品などのような、セラミック
中に内部電極を配設してなるセラミック電子部品及びそ
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic electronic component and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a ceramic electronic component such as a laminated ceramic capacitor or a laminated LC composite component in which internal electrodes are arranged in a ceramic. And a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、代表的なセラミック電子部品の一つである積層セラ
ミックコンデンサは、図4に示すように、セラミック1
中に複数の内部電極2を配設してなる素子(コンデンサ
素子)3の両端側に、内部電極2と導通する外部電極4
を配設することにより形成されている。
2. Description of the Related Art For example, a monolithic ceramic capacitor, which is one of the typical ceramic electronic components, has a ceramic 1
An external electrode 4 which is electrically connected to the internal electrode 2 is provided at both ends of an element (capacitor element) 3 having a plurality of internal electrodes 2 arranged therein.
It is formed by arranging.

【0003】そして、このような積層セラミックコンデ
ンサには、例えば、Ni、Cuなどの卑金属からなる内
部電極を、非還元性誘電体セラミック(焼成工程におい
て銅やニッケルなどの卑金属電極材料が酸化されないよ
うな酸素分圧の低い中性または還元性の雰囲気下で焼成
しても還元されて半導体化することがなく、誘電体材料
として使用するのに十分な比抵抗と誘電特性を有するセ
ラミック材料)中に配設してなるものがある。
In such a monolithic ceramic capacitor, for example, an internal electrode made of a base metal such as Ni or Cu is used as a non-reducing dielectric ceramic (a base metal electrode material such as copper or nickel is not oxidized in the firing process. A ceramic material that has sufficient resistivity and dielectric properties to be used as a dielectric material without being reduced to a semiconductor even when fired in a neutral or reducing atmosphere with a low oxygen partial pressure) There is one that is arranged in.

【0004】ところで、このような卑金属からなる内部
電極を有する積層セラミックコンデンサにおいては、内
部電極2を構成する卑金属(例えばNi)と外部電極4
を構成する電極材料(例えばAg−Pd)とが合金しな
い場合、接続信頼性を向上させる目的で、外部電極4の
下地層として、膜厚が5〜10μm程度のNi膜5(図
4)を付与することが考えられている。なお、このNi
膜(下地層)5は、例えば、図5に示すように、プレー
ト6上に薄くのばしたNiペースト5aに、焼成前の素
子3をディッピングすることにより付与されている。
By the way, in the monolithic ceramic capacitor having the internal electrode made of such a base metal, the base metal (for example, Ni) constituting the internal electrode 2 and the external electrode 4 are used.
In the case where the electrode material (eg Ag-Pd) forming the above does not alloy, a Ni film 5 (FIG. 4) having a film thickness of about 5 to 10 μm is formed as a base layer of the external electrode 4 for the purpose of improving connection reliability. It is considered to be given. In addition, this Ni
The film (base layer) 5 is applied, for example, by dipping the element 3 before firing on a Ni paste 5a spread on a plate 6 as shown in FIG.

【0005】そして、このNiペースト5aを付着させ
た素子3を所定の条件で熱処理して、脱バインダー(脱
脂)及び本焼成を行った後、外部電極ペースト(例えば
Ag−Pdペースト)を塗布、焼付けすることにより図
4に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサ
を形成している。
Then, the element 3 to which the Ni paste 5a is attached is heat-treated under predetermined conditions to perform debinding (degreasing) and main firing, and then an external electrode paste (eg Ag-Pd paste) is applied, By baking, a monolithic ceramic capacitor having a structure as shown in FIG. 4 is formed.

【0006】しかし、上記のように、内部電極と外部電
極の接続信頼性を向上させるためにNi膜などの下地層
を配設した積層セラミックコンデンサにおいては、素子
の焼成工程において効率よく脱バインダーを行うことが
できないためデラミネーションを引き起こす場合があ
る。すなわち、脱バインダーは、素子を所定の温度に加
熱することによりバインダーを分解、燃焼させることに
より行われるものであり、Ni膜などの下地層が形成さ
れていない場合には、脱バインダー工程で発生する蒸発
ガス、分解ガスあるいは燃焼ガスなどの相当部分が、内
部電極に沿って端面側から外部に放出されるが、端面全
体にNi膜などの下地層が形成されている場合には、蒸
発ガス、分解ガスあるいは燃焼ガスなどが端面から逃げ
出すことができなくなり、デラミネーションを発生させ
る原因となる。
However, as described above, in a monolithic ceramic capacitor in which a base layer such as a Ni film is provided in order to improve the connection reliability between the internal electrode and the external electrode, the binder is efficiently removed in the firing process of the element. Since it cannot be done, it may cause delamination. That is, the debindering is performed by decomposing and burning the binder by heating the element to a predetermined temperature. When the underlayer such as the Ni film is not formed, it is generated in the debindering step. A considerable portion of evaporative gas, decomposed gas, combustion gas, etc. is discharged from the end face side to the outside along the internal electrode. However, when a base layer such as a Ni film is formed on the entire end face, the evaporative gas However, decomposed gas or combustion gas cannot escape from the end face, which causes delamination.

【0007】なお、Ni膜を形成した場合とNi膜を形
成していない場合のデラミネーション発生率に関して
は、例えば、Ni膜を形成していない場合には、デラミ
ネーションの発生率が0%(試料数500個)であるの
に対して、Ni膜を形成した場合には、デラミネーショ
ンの発生率が5.4%(試料数500個)に上昇すると
いう実験結果を得ている。なお、この結果は、外径寸法
が、長さ1.6mm×幅0.8mm×厚さ0.8mmで、内部
電極が40層の積層セラミックコンデンサについてのも
のである。
Regarding the delamination occurrence rate when the Ni film is formed and when the Ni film is not formed, for example, when the Ni film is not formed, the delamination occurrence rate is 0% ( While the number of samples is 500), when the Ni film is formed, the experimental result shows that the occurrence rate of delamination is increased to 5.4% (the number of samples is 500). The results are for a monolithic ceramic capacitor having outer diameter dimensions of 1.6 mm in length × 0.8 mm in width × 0.8 mm in thickness and 40 layers of internal electrodes.

【0008】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、脱バインダーを確実に行い、デラミネーションの
発生を防止することが可能で、かつ、内部電極と外部電
極の接続信頼性に優れたセラミック電子部品の製造方法
及びセラミック電子部品を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems, is capable of reliably debinding and preventing the occurrence of delamination, and has excellent connection reliability between internal electrodes and external electrodes. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic electronic component and a ceramic electronic component.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明のセラミック電子部品の製造方法は、セラ
ミック中に卑金属からなる内部電極が配設された素子
の、前記内部電極の端部が露出した端面に、前記内部電
極と導通する外部電極を配設してなるセラミック電子部
品の製造方法において、前記内部電極の端部が露出した
素子の端面に、卑金属膜を、その形成部と非形成部が混
在するパターンとなるように付与する工程と、熱処理を
行ってバインダーを除去した後、前記卑金属膜が付与さ
れた面に、少なくとも前記卑金属膜を介して前記内部電
極と導通する外部電極を配設する工程とを具備すること
を特徴としている。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention is directed to an end portion of the internal electrode of an element in which an internal electrode made of a base metal is provided in the ceramic. In the method of manufacturing a ceramic electronic component, wherein an external electrode electrically connected to the internal electrode is provided on the exposed end face, a base metal film is formed on the end face of the element where the end of the internal electrode is exposed, and a formation portion thereof. A step of applying a non-formed portion so as to form a mixed pattern, and after removing the binder by performing a heat treatment, the surface provided with the base metal film is electrically connected to the internal electrode through at least the base metal film. And a step of disposing electrodes.

【0010】また、本願発明のセラミック電子部品は、
セラミック中に卑金属からなる内部電極が配設された素
子と、前記素子の、前記内部電極の端部が露出した端面
に配設された、形成部と非形成部が混在するパターンを
有する卑金属膜と、前記卑金属膜が配設された前記素子
の端面に配設された、少なくとも前記卑金属膜を介して
前記内部電極と導通する外部電極とを具備してなること
を特徴としている。
Further, the ceramic electronic component of the present invention is
An element in which an internal electrode made of a base metal is arranged in a ceramic, and a base metal film having a pattern in which a formed portion and a non-formed portion are mixedly arranged on an end surface of the element where an end portion of the internal electrode is exposed. And an external electrode disposed on an end surface of the element having the base metal film disposed therein and electrically connected to the internal electrode through at least the base metal film.

【0011】また、前記形成部と非形成部の両方を含む
卑金属膜パターンの面積全体に対する非形成部の割合
(開口率)が50%未満であることを特徴としている。
Further, the ratio (aperture ratio) of the non-formed portion to the entire area of the base metal film pattern including both the formed portion and the non-formed portion is less than 50%.

【0012】[0012]

【作用】内部電極の端部が露出した素子の端面に、卑金
属膜を、その形成部と非形成部が混在するパターンとな
るように付与した場合、脱バインダー工程において、バ
インダーの分解ガスや燃焼ガスが、内部電極に沿って素
子の端面に達した後、卑金属膜の非形成部から外部に放
出されるため、迅速かつ確実に脱バインダーを行うこと
が可能になり、デラミネーションの発生を防止すること
ができるようになる。また、脱バインダー後に、卑金属
膜が付与された面に、外部電極を設けることにより、外
部電極を主として卑金属膜を介して内部電極と確実に導
通させることが可能になり、外部電極と内部電極の電気
的接続の信頼性を確保することが可能になる。
When the base metal film is applied to the end surface of the element where the end portion of the internal electrode is exposed so as to have a pattern in which the formation portion and the non-formation portion are mixed, in the binder removal step, binder decomposition gas and combustion After the gas reaches the end face of the element along the internal electrode, it is released from the part where the base metal film is not formed, so that debinding can be performed quickly and reliably, and delamination can be prevented. You will be able to. Further, after the binder is removed, by providing the external electrode on the surface provided with the base metal film, the external electrode can be surely brought into conduction with the internal electrode mainly through the base metal film. It becomes possible to secure the reliability of the electrical connection.

【0013】なお、本願発明のセラミック電子部品の製
造方法において、卑金属膜を、その形成部と非形成部が
混在するパターンとなるように付与する方法としては、
例えば、剛性材料あるいは弾性材料からなる平板上に卑
金属ペーストを所定のパターンに印刷(塗布)し、これ
に素子の所定の面を押し付ける方法などにより形成する
ことが可能である。
In the method of manufacturing a ceramic electronic component of the present invention, a method of applying the base metal film so as to form a pattern in which the formed portion and the non-formed portion are mixed is as follows:
For example, it can be formed by printing (applying) a base metal paste in a predetermined pattern on a flat plate made of a rigid material or an elastic material, and pressing a predetermined surface of the element thereon.

【0014】また、本願発明において、卑金属膜の形成
部と非形成部が混在するパターンとは、格子状のパター
ンや、水玉模様状に卑金属膜が形成されていない部分が
点在しているパターンなど種々のパターンを例示するこ
とが可能であり、具体的なパターンには特別の制約はな
い。
In the present invention, the pattern in which the base metal film forming portion and the non-forming portion are mixed is a pattern in which a base metal film is not formed in a grid pattern or a polka dot pattern. It is possible to exemplify various patterns, etc., and there are no particular restrictions on specific patterns.

【0015】また、本願発明のセラミック電子部品は、
素子の端面に、形成部と非形成部が混在するパターンを
有する卑金属膜を形成し、その上に外部電極を配設した
構造を有しているため、その製造工程において、脱バイ
ンダーが阻害されるようなことがなく、デラミネーショ
ンの発生や、内部電極と外部電極の接続不良の発生を確
実に抑制、防止することが可能になる。
Further, the ceramic electronic component of the present invention is
On the end face of the element, a base metal film having a pattern in which formation parts and non-formation parts coexist is formed, and since it has a structure in which external electrodes are arranged on it, debinding is prevented in the manufacturing process. It is possible to reliably suppress and prevent the occurrence of delamination and the defective connection between the internal electrode and the external electrode.

【0016】なお、卑金属膜パターンの面積全体に対す
る卑金属膜の非形成部の割合(開口率)は50%未満で
あることが好ましいが、これは、開口率を50%以上に
した場合、内部電極と外部電極の接続信頼性が低下し、
所望の静電容量を得ることができなくなったり、等価直
列抵抗が大きくなったりすることによる。
It is preferable that the ratio of the non-formation portion of the base metal film to the entire area of the base metal film pattern (aperture ratio) is less than 50%. And the connection reliability between the external electrode and
This is because the desired capacitance cannot be obtained or the equivalent series resistance increases.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本願発明の実施例を示してその特徴と
するところをさらに詳しく説明する。
EXAMPLES The features of the present invention will be described below in more detail with reference to the examples.

【0018】なお、この実施例では、図1に示すよう
に、チタン酸バリウム(BaTiO3)系のセラミック
1中に、Niからなる複数の内部電極2を配設してなる
素子(コンデンサ素子)3の両端側に、内部電極2と導
通する外部電極4を配設してなる積層セラミックコンデ
ンサを製造する場合を例にとって説明する。
In this embodiment, as shown in FIG. 1, a barium titanate (BaTiO 3 ) based ceramic 1 is provided with a plurality of internal electrodes 2 made of Ni (capacitor element). An example of manufacturing a laminated ceramic capacitor in which external electrodes 4 that are electrically connected to the internal electrodes 2 are provided on both ends of the capacitor 3 will be described.

【0019】この実施例においては、まず、内部電極用
のNiペーストを塗布したセラミックグリーンシート
と、Niペーストを塗布していない上下の外層用のセラ
ミックグリーンシートを積層、圧着し、これを所定の位
置で切断することにより、図2に示すように、両端面3
a,3bに内部電極2の端部2aが露出した未焼成の素
子3を得た。
In this embodiment, first, the ceramic green sheets coated with the Ni paste for the internal electrodes and the upper and lower ceramic green sheets not coated with the Ni paste are stacked and pressure-bonded to each other, and the predetermined size is applied. By cutting at the position, as shown in FIG.
An unfired element 3 was obtained in which the end portions 2a of the internal electrodes 2 were exposed at a and 3b.

【0020】それから、図3に示すように、内部電極2
の端部2aが露出した素子3の両端面3a,3bに、N
iペースト5aを約45°の傾斜を有する格子状のパタ
ーンに付与した。
Then, as shown in FIG.
On both end faces 3a, 3b of the element 3 where the end 2a of the
The i paste 5a was applied in a grid pattern having an inclination of about 45 °.

【0021】なお、特に図示しないが、この実施例で
は、以下の方法により、Niペースト5aを素子3の両
端面3a,3bに付与した。まず、平板上にスクリーン
印刷によりNiペーストを格子状に印刷(塗布)し、こ
れに素子3の一方の端面3aを押し付けてNiペースト
5aを付与し、これを乾燥させた。それから、再び平板
状にスクリーン印刷により格子状にNiペーストを印刷
し、素子3の他方の端面3bを押し付けてNiペースト
5aを付与した。なお、素子3の両端面3a,3bに所
定のパターンのNiペーストを付与する方法は、上記の
方法に限られるものではなく、例えば、弾力性のある材
料からなる平板上に所定のパターンの溝を形成し、この
溝にペーストを充填した後、平板に素子を押し付ける方
法などによっても容易に所定のパターンのNiペースト
を付与することが可能であり、さらにその他の方法を用
いることが可能である。
Although not shown in particular, in this embodiment, the Ni paste 5a was applied to both end surfaces 3a and 3b of the element 3 by the following method. First, Ni paste was printed (applied) in a grid pattern on a flat plate by screen printing, and one end surface 3a of the element 3 was pressed against this to apply Ni paste 5a, and this was dried. Then, the Ni paste was again printed on the flat plate by screen printing in a grid pattern, and the other end surface 3b of the element 3 was pressed to apply the Ni paste 5a. The method of applying the Ni paste having a predetermined pattern to both end surfaces 3a and 3b of the element 3 is not limited to the above method, and for example, a groove having a predetermined pattern may be formed on a flat plate made of an elastic material. It is possible to easily apply the Ni paste having a predetermined pattern by, for example, a method of forming an element, filling the groove with the paste, and then pressing the element on a flat plate, and other methods can be used. .

【0022】それから、このNi膜5を付与した素子3
を所定の条件で熱処理して脱バインダーを行うととも
に、内部電極及びNi膜(卑金属膜)の焼付け、及びセ
ラミックの焼結を行った。
Then, the element 3 provided with this Ni film 5 was formed.
Was heat-treated under a predetermined condition to remove the binder, the internal electrodes and the Ni film (base metal film) were baked, and the ceramic was sintered.

【0023】このようにして、図3に示すように、両端
面3a,3bに格子状にNi膜(卑金属膜)5が形成さ
れた素子3を得た。
Thus, as shown in FIG. 3, an element 3 having Ni films (base metal film) 5 formed in a lattice pattern on both end faces 3a and 3b was obtained.

【0024】それから、素子3の両端面(Ni膜(卑金
属膜)5が付与された面)3a,3bに、Ag−Pdペ
ーストを塗布、焼付けすることによりAg−Pdからな
る外部電極4を形成した。
Then, the external electrodes 4 made of Ag-Pd are formed by coating and baking Ag-Pd paste on both end surfaces 3a, 3b of the element 3 (surfaces provided with the Ni film (base metal film) 5). did.

【0025】なお、上記実施例の方法により製造した積
層セラミックコンデンサにおける、Ni膜の開口率と、
デラミネーション発生率及びコンタクト不良発生率(す
なわち内部電極と外部電極の接続が不十分になって所望
の静電容量が得られなくなる不良の発生率)の関係を表
1に示す。
The opening ratio of the Ni film in the monolithic ceramic capacitor manufactured by the method of the above embodiment,
Table 1 shows the relationship between the delamination occurrence rate and the contact failure occurrence rate (that is, the failure occurrence rate in which the desired capacitance cannot be obtained due to insufficient connection between the internal electrode and the external electrode).

【0026】[0026]

【表1】 [Table 1]

【0027】なお、表1のNo.1は、図3に示すところ
の格子(すなわち形成部)7の幅Aが0.15mm、隙間
(非形成部)8の幅Bが0.10mmで、開口率が16%
の場合、No.2は、格子(すなわち形成部)7の幅Aが
0.15mm、隙間(非形成部)8の幅Bが0.15mm
で、開口率が25%の場合を示している。
No. 1 in Table 1 shows that the width A of the lattice (that is, the forming portion) 7 shown in FIG. 3 is 0.15 mm, and the width B of the gap (non-forming portion) 8 is 0.10 mm. Aperture ratio is 16%
In the case of No. 2, the width A of the lattice (that is, the forming portion) 7 is 0.15 mm, and the width B of the gap (non-forming portion) 8 is 0.15 mm.
Shows the case where the aperture ratio is 25%.

【0028】表1より、開口率が50〜80%のNo.3
(比較例)の場合、コンタクト不良の発生率が20%で
あり、開口率100%(Ni膜なし)のNo.4(比較
例)の場合、コンタクト不良発生率が80%であるのに
対して、開口率が16%及び25%のNo.1及びNo.2
(いずれも本願発明の範囲内の実施例)の場合、デラミ
ネーション及びコンタクト不良の発生率がいずれも0%
となっていることがわかる。
From Table 1, No. 3 having an aperture ratio of 50-80%
In the case of (Comparative Example), the occurrence rate of contact failure is 20%, whereas in the case of No. 4 (Comparative Example) with an aperture ratio of 100% (no Ni film), the contact failure occurrence rate is 80%. No. 1 and No. 2 with aperture ratios of 16% and 25%
In the case of (all examples within the scope of the present invention), the occurrence rates of delamination and contact failure are both 0%.
You can see that.

【0029】なお、上記実施例では、積層セラミックコ
ンデンサを例にとって説明したが、本願発明は、積層セ
ラミックコンデンサに限らず、積層LC複合部品など
の、セラミック中に内部電極を配設してなる種々のセラ
ミック電子部品及びその製造方法に適用することが可能
であり、その場合にも上記実施例と同様の効果を得るこ
とができる。
In the above embodiments, the multilayer ceramic capacitor has been described as an example, but the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and various internal electrodes are provided in the ceramic such as a multilayer LC composite component. The present invention can be applied to the ceramic electronic component and the manufacturing method thereof, and in that case, the same effect as that of the above embodiment can be obtained.

【0030】本願発明は、さらにその他の点についても
上記実施例に限定されるものではなく、卑金属膜を構成
する材料の種類、セラミック電子部品を構成するセラミ
ックの種類、内部電極及び外部電極を構成する材料の種
類、バインダーの種類、脱バインダーやセラミック焼成
工程などにおける温度条件や雰囲気条件などに関し、発
明の要旨の範囲内において種々の応用、変形を加えるこ
とが可能である。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment in other points as well, and the kind of material forming the base metal film, the kind of ceramic forming the ceramic electronic component, the internal electrode and the external electrode are formed. Various applications and modifications can be made within the scope of the invention with respect to the types of materials to be used, the types of binders, the temperature conditions and the atmospheric conditions in the binder removal and ceramic firing processes, and the like.

【0031】[0031]

【発明の効果】上述のように、本願発明のセラミック電
子部品の製造方法おいては、内部電極の端部が露出した
素子の端面に、形成部と非形成部が混在するパターンの
卑金属膜を付与し、熱処理を行ってバインダーを除去し
た後、卑金属膜が付与された面に、主として卑金属膜を
介して内部電極と導通する外部電極を配設するようにし
ているので、迅速かつ確実に脱バインダーを行うことが
可能になり、デラミネーションの発生や、内部電極と外
部電極との接続不良の発生を抑制、防止して、信頼性の
高いセラミック電子部品を得ることができる。
As described above, in the method for manufacturing a ceramic electronic component of the present invention, the base metal film having a pattern in which the forming portion and the non-forming portion are mixed is formed on the end surface of the element where the end portion of the internal electrode is exposed. After applying and heat-treating the binder to remove the binder, an external electrode that conducts to the internal electrode mainly through the base metal film is arranged on the surface on which the base metal film is applied, so that the removal is quick and reliable. It becomes possible to use a binder, and it is possible to obtain a highly reliable ceramic electronic component by suppressing and preventing the occurrence of delamination and the defective connection between the internal electrode and the external electrode.

【0032】また、本願発明のセラミック電子部品は、
素子の端面に、形成部と非形成部が混在するパターンを
有する卑金属膜を形成し、その上に外部電極を配設した
構造を有しているため、その製造工程において、脱バイ
ンダーが阻害されるようなことがなく、デラミネーショ
ンの発生や、内部電極と外部電極の接続不良の発生を確
実に抑制、防止することができる。
Further, the ceramic electronic component of the present invention is
On the end face of the element, a base metal film having a pattern in which formation parts and non-formation parts coexist is formed, and since it has a structure in which external electrodes are arranged on it, debinding is prevented in the manufacturing process. It is possible to reliably suppress and prevent delamination and poor connection between the internal electrode and the external electrode.

【0033】さらに、形成部と非形成部の両方を含む卑
金属膜パターンの面積全体に対する卑金属膜の非形成部
の割合(開口率)を50%未満とすることにより、脱バ
インダーを妨げることなく、内部電極と外部電極を確実
に接続することが可能になり、本願発明をさらに実効あ
らしめることができる。
Further, the ratio (opening ratio) of the non-formation portion of the base metal film to the entire area of the base metal film pattern including both the formation portion and the non-formation portion is set to less than 50% so that debinding is prevented. The internal electrode and the external electrode can be reliably connected, and the present invention can be further effectively realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願発明の一実施例にかかるセラミック電子部
品を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図2】本願発明の一実施例にかかるセラミック電子部
品の製造方法の一工程において形成された素子を示す図
である。
FIG. 2 is a diagram showing an element formed in one step of a method for manufacturing a ceramic electronic component according to an example of the present invention.

【図3】本願発明の一実施例にかかるセラミック電子部
品の製造方法の一工程において形成された素子の端面
に、卑金属膜パターンを形成した状態を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a state in which a base metal film pattern is formed on an end face of an element formed in one step of a method for manufacturing a ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図4】従来のセラミック電子部品を示す断面図であ
る。
FIG. 4 is a sectional view showing a conventional ceramic electronic component.

【図5】従来のセラミック電子部品の製造方法を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing a conventional method for manufacturing a ceramic electronic component.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミック 2 内部電極 2a 内部電極の端部 3 素子(コンデンサ素子) 3a,3b コンデンサ素子の両端面 4 外部電極 5 卑金属膜 5a Niペースト 7 卑金属膜の形成部 8 卑金属膜の非形成部 A 格子(形成部)の幅 B 隙間(非形成部)の幅 1 Ceramic 2 Internal Electrode 2a End of Internal Electrode 3 Element (Capacitor Element) 3a, 3b Both End Surfaces of Capacitor Element 4 External Electrode 5 Base Metal Film 5a Ni Paste 7 Base Metal Film Forming Area 8 Base Metal Film Non-Forming Area A Lattice ( Width of forming area B Width of gap (non-forming area)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミック中に卑金属からなる内部電極
が配設された素子の、前記内部電極の端部が露出した端
面に、前記内部電極と導通する外部電極を配設してなる
セラミック電子部品の製造方法において、 前記内部電極の端部が露出した素子の端面に、卑金属膜
を、その形成部と非形成部が混在するパターンとなるよ
うに付与する工程と、 熱処理を行ってバインダーを除去した後、前記卑金属膜
が付与された面に、少なくとも前記卑金属膜を介して前
記内部電極と導通する外部電極を配設する工程とを具備
することを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
1. A ceramic electronic component comprising an element in which an internal electrode made of a base metal is provided in a ceramic, and an external electrode electrically connected to the internal electrode is provided on an end face of the internal electrode where an end portion is exposed. In the manufacturing method, the step of applying a base metal film to the end surface of the element where the end portions of the internal electrodes are exposed so as to form a pattern in which the formation portion and the non-formation portion are mixed, and the binder is removed by performing heat treatment. And a step of arranging an external electrode that is electrically connected to the internal electrode through at least the base metal film on the surface provided with the base metal film.
【請求項2】 セラミック中に卑金属からなる内部電極
が配設された素子と、 前記素子の、前記内部電極の端部が露出した端面に配設
された、形成部と非形成部が混在するパターンを有する
卑金属膜と、 前記卑金属膜が配設された前記素子の端面に配設され
た、少なくとも前記卑金属膜を介して前記内部電極と導
通する外部電極とを具備することを特徴とするセラミッ
ク電子部品。
2. An element in which an internal electrode made of a base metal is provided in a ceramic, and a forming portion and a non-forming portion provided in an end surface of the element where the end portion of the internal electrode is exposed are mixed. A ceramic, comprising: a base metal film having a pattern; and an external electrode, which is provided on an end face of the element on which the base metal film is provided, and which is electrically connected to the internal electrode through at least the base metal film. Electronic components.
【請求項3】 前記形成部と非形成部の両方を含む卑金
属膜パターンの面積全体に対する非形成部の割合(開口
率)が50%未満であることを特徴とする請求項2記載
のセラミック電子部品。
3. The ceramic electron according to claim 2, wherein a ratio (aperture ratio) of the non-formation portion to the entire area of the base metal film pattern including both the formation portion and the non-formation portion is less than 50%. parts.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009088420A (en) * 2007-10-03 2009-04-23 Taiyo Yuden Co Ltd Multilayer ceramic capacitor
JP2012119616A (en) * 2010-12-03 2012-06-21 Tdk Corp Manufacturing method of electronic component and electronic component

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