JPH08321374A - ヒーターの保護膜形成方法 - Google Patents
ヒーターの保護膜形成方法Info
- Publication number
- JPH08321374A JPH08321374A JP15081495A JP15081495A JPH08321374A JP H08321374 A JPH08321374 A JP H08321374A JP 15081495 A JP15081495 A JP 15081495A JP 15081495 A JP15081495 A JP 15081495A JP H08321374 A JPH08321374 A JP H08321374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- base material
- ceramic
- forming
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヒーター基材の蒸発や酸化が起こらないよう
にして劣化を防止し、耐久性を向上させることのできる
ヒーターの保護膜形成方法を提供する。 【構成】 ヒーター基材に、電気泳動法によりセラミッ
クス粒子を電着し、焼結してセラミックス膜を形成する
ことを特徴とするヒーターの保護膜形成方法。ヒーター
基材は、カンタル、白金合金、モリブデン、タングステ
ンのいずれかが好ましい。セラミックス粒子は、アルミ
ナ微細粉末が好ましい。焼結は、1500℃〜1650℃で行う
ことが好ましい。
にして劣化を防止し、耐久性を向上させることのできる
ヒーターの保護膜形成方法を提供する。 【構成】 ヒーター基材に、電気泳動法によりセラミッ
クス粒子を電着し、焼結してセラミックス膜を形成する
ことを特徴とするヒーターの保護膜形成方法。ヒーター
基材は、カンタル、白金合金、モリブデン、タングステ
ンのいずれかが好ましい。セラミックス粒子は、アルミ
ナ微細粉末が好ましい。焼結は、1500℃〜1650℃で行う
ことが好ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発熱体の保護方法に係
り、特にヒーターの保護膜形成方法に関する。
り、特にヒーターの保護膜形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にカンタル、白金合金、モリブデ
ン、タングステンなどのヒーター線基材は、むき出しの
状態で使用される。このようにヒーター線基材がむき出
しの状態で大気中にて長時間高温で使用されると、蒸発
や酸化が起こり易くなって劣化し、耐久性が低下する。
ン、タングステンなどのヒーター線基材は、むき出しの
状態で使用される。このようにヒーター線基材がむき出
しの状態で大気中にて長時間高温で使用されると、蒸発
や酸化が起こり易くなって劣化し、耐久性が低下する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、ヒー
ター基材の蒸発や酸化が起こらないようにして、劣化を
防止し、耐久性を向上させることのできるヒーターの保
護膜形成方法を提供しようとするものである。
ター基材の蒸発や酸化が起こらないようにして、劣化を
防止し、耐久性を向上させることのできるヒーターの保
護膜形成方法を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のヒーターの保護膜形成方法は、ヒーター基材
に、電気泳動法によりセラミックス粒子を電着し、焼結
してセラミックス膜を形成することを特徴とするもので
ある。上記ヒーター基材は、カンタル、白金合金、モリ
ブデン、タングステンのいずれかの線材であることが好
ましい。上記セラミックス粒子はアルミナ微細粉末であ
ることが好ましい。セラミックス粒子電着は１Ｖ乃至35
Ｖの電圧で 0.5分間乃至15分間行うのが好ましい。上記
焼結は、1500℃〜1650℃で行なわれることが好ましい。
の本発明のヒーターの保護膜形成方法は、ヒーター基材
に、電気泳動法によりセラミックス粒子を電着し、焼結
してセラミックス膜を形成することを特徴とするもので
ある。上記ヒーター基材は、カンタル、白金合金、モリ
ブデン、タングステンのいずれかの線材であることが好
ましい。上記セラミックス粒子はアルミナ微細粉末であ
ることが好ましい。セラミックス粒子電着は１Ｖ乃至35
Ｖの電圧で 0.5分間乃至15分間行うのが好ましい。上記
焼結は、1500℃〜1650℃で行なわれることが好ましい。
【０００５】
【作用】上記のように本発明のヒーターの保護膜形成方
法は、ヒーター基材に電気泳動法によりセラミックス粒
子を電着し、焼結してセラミックス膜を形成するので、
このセラミックス膜は広い範囲にわたり非常に緻密で、
均一な厚さである。従って、ヒーター基材の保護膜とな
り、ヒーターを高温で長時間使用しても、ヒーター金属
が蒸発したり、大気中の酸素によって酸化されることが
なく、劣化することがないので、耐久性が向上する。電
着時の電圧を１Ｖ乃至35Ｖとしたのは、35Ｖを超える
と、（μｍオーダーの）膜厚の制御が困難という問題が
あり、１Ｖ未満では成膜速度が遅く、膜の強度が弱いと
いう問題がある。また成膜時間が 0.5分間未満だと成膜
が遅いという問題があり、15分を超えると乾燥中に膜の
割れ（クラック）が発生するという問題がある。また、
焼結は1500℃〜1650℃の間が好ましく、超えるとヒータ
ー自身が劣化する、未満だとアルミナが焼結しないとい
う問題が生じる。
法は、ヒーター基材に電気泳動法によりセラミックス粒
子を電着し、焼結してセラミックス膜を形成するので、
このセラミックス膜は広い範囲にわたり非常に緻密で、
均一な厚さである。従って、ヒーター基材の保護膜とな
り、ヒーターを高温で長時間使用しても、ヒーター金属
が蒸発したり、大気中の酸素によって酸化されることが
なく、劣化することがないので、耐久性が向上する。電
着時の電圧を１Ｖ乃至35Ｖとしたのは、35Ｖを超える
と、（μｍオーダーの）膜厚の制御が困難という問題が
あり、１Ｖ未満では成膜速度が遅く、膜の強度が弱いと
いう問題がある。また成膜時間が 0.5分間未満だと成膜
が遅いという問題があり、15分を超えると乾燥中に膜の
割れ（クラック）が発生するという問題がある。また、
焼結は1500℃〜1650℃の間が好ましく、超えるとヒータ
ー自身が劣化する、未満だとアルミナが焼結しないとい
う問題が生じる。
【０００６】
【実施例】本発明のヒーターの保護膜形成方法の一実施
例を説明する。先ず保護膜形成方法を実施するための電
気泳動電着装置を図１及び図２によって説明すると、１
は成膜原料である水溶液系又は非水溶液系の懸濁液２を
入れるガラス容器で、底に撹拌用のスターラー３が設け
られている。このガラス容器１内にステンレス製の中空
円筒のカソード４が同心に配され、このカソード４の上
端に樹脂製のホルダー５が嵌着され、このホルダー５の
中心に明けた穴６に直径 1.5mmのＣｕ線よりなるアノー
ド７が挿通されて、前記カソード４の中心に配され、こ
のアノード７とカソード４とがＤＣ電源（35Ｖ、 3.5
Ａ）８に接続されている。このように構成された電気泳
動電着装置９に於けるガラス容器１内に水溶液系の懸濁
液２として、アルミナ粉末（ 0.3μｍ）20ｇ、純水54
ｇ、エタノール43ｇ、Ａｌ（ＮＯ3 ）3 ２ｇ、Ｍｇ（Ｎ
Ｏ3 ）2 １ｇよりなる懸濁液２を充填し、中空円筒のカ
ソード４の内側で懸濁液２中に直径１mmのＰｔ−Ｒｈ30
％線を浸漬し、0.15Ａ、10ＶのＤＣを通電し、５分間か
けて懸濁液２の構成原料であるアルミナ粉末をＰｔ−Ｒ
ｈ30％線に電着し、然る後懸濁液２中よりＰｔ−Ｒｈ30
％線を引き上げて、1500℃〜1650℃で焼結し、Ｐｔ−Ｒ
ｈ30％線に厚さ 400μｍのアルミナ保護膜を形成した。
例を説明する。先ず保護膜形成方法を実施するための電
気泳動電着装置を図１及び図２によって説明すると、１
は成膜原料である水溶液系又は非水溶液系の懸濁液２を
入れるガラス容器で、底に撹拌用のスターラー３が設け
られている。このガラス容器１内にステンレス製の中空
円筒のカソード４が同心に配され、このカソード４の上
端に樹脂製のホルダー５が嵌着され、このホルダー５の
中心に明けた穴６に直径 1.5mmのＣｕ線よりなるアノー
ド７が挿通されて、前記カソード４の中心に配され、こ
のアノード７とカソード４とがＤＣ電源（35Ｖ、 3.5
Ａ）８に接続されている。このように構成された電気泳
動電着装置９に於けるガラス容器１内に水溶液系の懸濁
液２として、アルミナ粉末（ 0.3μｍ）20ｇ、純水54
ｇ、エタノール43ｇ、Ａｌ（ＮＯ3 ）3 ２ｇ、Ｍｇ（Ｎ
Ｏ3 ）2 １ｇよりなる懸濁液２を充填し、中空円筒のカ
ソード４の内側で懸濁液２中に直径１mmのＰｔ−Ｒｈ30
％線を浸漬し、0.15Ａ、10ＶのＤＣを通電し、５分間か
けて懸濁液２の構成原料であるアルミナ粉末をＰｔ−Ｒ
ｈ30％線に電着し、然る後懸濁液２中よりＰｔ−Ｒｈ30
％線を引き上げて、1500℃〜1650℃で焼結し、Ｐｔ−Ｒ
ｈ30％線に厚さ 400μｍのアルミナ保護膜を形成した。
【０００７】次に他の実施例について説明する。前記と
同様に構成された電気泳動電着装置９に於けるガラス容
器１内に非水溶液系（有機溶媒系）の懸濁液２として、
アルミナ粉末（ 0.3μｍ）20ｇ、アセチルアセトン
（２、４ペンタンジオン） 100ml、沃素60mgよりなる懸
濁液２を充填し、中空円筒のカソード４の内側で懸濁液
２中に直径 0.3mmのカンタル線を浸漬し、0.02Ａ、30Ｖ
のＤＣを通電し、 1.5分間かけて懸濁液２の構成原料で
あるアルミナ粉末をカンタル線に電着し、然る後懸濁液
２中よりカンタル線を引き上げて1500℃〜1650℃で焼結
し、カンタル線に厚さ 300μｍのアルミナ保護膜を形成
した。このようにして形成した上記２つの実施例に於け
るアルミナ保護膜を検査した処、線材の全長、全周面に
わたって非常に緻密で且つ厚さが均一であった。また、
割れや剥がれも無く、品質良好であった。然して、これ
らアルミナ保護膜を有する線材を、1500℃〜1650℃で３
時間、ヒーター線として試験した処、ヒーター金属であ
るＰｔ−Ｒｈ30％やカンタルが蒸発したり、酸化するこ
とがなくて、全く劣化することがなく、耐久性に優れて
いた。
同様に構成された電気泳動電着装置９に於けるガラス容
器１内に非水溶液系（有機溶媒系）の懸濁液２として、
アルミナ粉末（ 0.3μｍ）20ｇ、アセチルアセトン
（２、４ペンタンジオン） 100ml、沃素60mgよりなる懸
濁液２を充填し、中空円筒のカソード４の内側で懸濁液
２中に直径 0.3mmのカンタル線を浸漬し、0.02Ａ、30Ｖ
のＤＣを通電し、 1.5分間かけて懸濁液２の構成原料で
あるアルミナ粉末をカンタル線に電着し、然る後懸濁液
２中よりカンタル線を引き上げて1500℃〜1650℃で焼結
し、カンタル線に厚さ 300μｍのアルミナ保護膜を形成
した。このようにして形成した上記２つの実施例に於け
るアルミナ保護膜を検査した処、線材の全長、全周面に
わたって非常に緻密で且つ厚さが均一であった。また、
割れや剥がれも無く、品質良好であった。然して、これ
らアルミナ保護膜を有する線材を、1500℃〜1650℃で３
時間、ヒーター線として試験した処、ヒーター金属であ
るＰｔ−Ｒｈ30％やカンタルが蒸発したり、酸化するこ
とがなくて、全く劣化することがなく、耐久性に優れて
いた。
【０００８】
【発明の効果】以上の通り本発明のヒーターの保護膜形
成方法によれば、ヒーター基材に、広い範囲にわたって
非常に緻密で均一な厚さのセラミックス保護膜が形成さ
れるので、ヒーターを高温で長時間使用しても、ヒータ
ー金属が蒸発したり、酸化したりすることがなくなっ
て、劣化が防止され、耐久性が向上する。
成方法によれば、ヒーター基材に、広い範囲にわたって
非常に緻密で均一な厚さのセラミックス保護膜が形成さ
れるので、ヒーターを高温で長時間使用しても、ヒータ
ー金属が蒸発したり、酸化したりすることがなくなっ
て、劣化が防止され、耐久性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のヒーターの保護膜形成方法を実施する
ための電気泳動装置の分解斜視図である。
ための電気泳動装置の分解斜視図である。
【図２】組立てた電気泳動電着装置の縦断面図である。
１ ガラス容器 ２ 成膜原料である懸濁液 ３ スターラー ４ カソード ５ ホルダー ６ 穴 ７ アノード ８ ＤＣ電源 ９ 電気泳動電着装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年２月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【実施例】本発明のヒーターの保護膜形成方法の一実施
例を説明する。先ず保護膜形成方法を実施するための電
気泳動電着装置を図１及び図２によって説明すると、１
は成膜原料である水溶液系又は非水溶液系の懸濁液２を
入れるガラス容器で、底に撹拌用のスターラー３が設け
られている。このガラス容器１内にステンレス製の中空
円筒のアノード４が同心に配され、このアノード４の上
端に樹脂製のホルダー５が嵌着され、このホルダー５の
中心に明けた穴６に直径 1.5mmのＣｕ線よりなるカソー
ド７が挿通されて、前記カソード４の中心に配され、こ
のカソード７とアノード４とがＤＣ電源（35Ｖ、 3.5
Ａ）８に接続されている。このように構成された電気泳
動電着装置９に於けるガラス容器１内に水溶液系の懸濁
液２として、アルミナ粉末（ 0.3μｍ）20ｇ、純水54
ｇ、エタノール43ｇ、Ａｌ（ＮＯ3 ）3 ２ｇ、Ｍｇ（Ｎ
Ｏ3 ）2 １ｇよりなる懸濁液２を充填し、中空円筒のカ
ソード４の内側で懸濁液２中に直径１mmのＰｔ−Ｒｈ30
％線を浸漬し、0.15Ａ、10ＶのＤＣを通電し、５分間か
けて懸濁液２の構成原料であるアルミナ粉末をＰｔ−Ｒ
ｈ30％線に電着し、然る後懸濁液２中よりＰｔ−Ｒｈ30
％線を引き上げて、1500℃〜1650℃で焼結し、Ｐｔ−Ｒ
ｈ30％線に厚さ 400μｍのアルミナ保護膜を形成した。
例を説明する。先ず保護膜形成方法を実施するための電
気泳動電着装置を図１及び図２によって説明すると、１
は成膜原料である水溶液系又は非水溶液系の懸濁液２を
入れるガラス容器で、底に撹拌用のスターラー３が設け
られている。このガラス容器１内にステンレス製の中空
円筒のアノード４が同心に配され、このアノード４の上
端に樹脂製のホルダー５が嵌着され、このホルダー５の
中心に明けた穴６に直径 1.5mmのＣｕ線よりなるカソー
ド７が挿通されて、前記カソード４の中心に配され、こ
のカソード７とアノード４とがＤＣ電源（35Ｖ、 3.5
Ａ）８に接続されている。このように構成された電気泳
動電着装置９に於けるガラス容器１内に水溶液系の懸濁
液２として、アルミナ粉末（ 0.3μｍ）20ｇ、純水54
ｇ、エタノール43ｇ、Ａｌ（ＮＯ3 ）3 ２ｇ、Ｍｇ（Ｎ
Ｏ3 ）2 １ｇよりなる懸濁液２を充填し、中空円筒のカ
ソード４の内側で懸濁液２中に直径１mmのＰｔ−Ｒｈ30
％線を浸漬し、0.15Ａ、10ＶのＤＣを通電し、５分間か
けて懸濁液２の構成原料であるアルミナ粉末をＰｔ−Ｒ
ｈ30％線に電着し、然る後懸濁液２中よりＰｔ−Ｒｈ30
％線を引き上げて、1500℃〜1650℃で焼結し、Ｐｔ−Ｒ
ｈ30％線に厚さ 400μｍのアルミナ保護膜を形成した。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １ ガラス容器 ２ 成膜原料である懸濁液 ３ スターラー ４ アノード ５ ホルダー ６ 穴 ７ カソード ８ ＤＣ電源 ９ 電気泳動電着装置
Claims (5)
- 【請求項１】 ヒーター基材に、電気泳動法によりセラ
ミックス粒子を電着し、焼結してセラミックス膜を形成
することを特徴とするヒーターの保護膜形成方法。 - 【請求項２】 ヒーター基材が、カンタル、白金合金、
モリブデン、タングステンのいずれかの線材であること
を特徴とする請求項１記載のヒーターの保護膜形成方
法。 - 【請求項３】 セラミックス粒子がアルミナ微細粉末で
あることを特徴とする請求項１又は２記載のヒーターの
保護膜形成方法。 - 【請求項４】 セラミックス粒子電着時の電着条件が１
乃至35Ｖの電圧で0.5乃至15分間電着することを特徴と
する請求項１〜３のいずれかに記載のヒーターの保護膜
形成方法。 - 【請求項５】 焼結を1500℃〜1650℃で行うことを特徴
とする請求項１〜４のいずれかに記載のヒーターの保護
膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15081495A JPH08321374A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | ヒーターの保護膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15081495A JPH08321374A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | ヒーターの保護膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08321374A true JPH08321374A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=15505006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15081495A Pending JPH08321374A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | ヒーターの保護膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08321374A (ja) |
-
1995
- 1995-05-25 JP JP15081495A patent/JPH08321374A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4960494A (en) | Ceramic/metal composite material | |
| Bach et al. | Effective insulation of scanning tunneling microscopy tips for electrochemical studies using an electropainting method | |
| GB1479563A (en) | Methods of anodizing articles | |
| JPS61227927A (ja) | ガラス体の製造方法および装置 | |
| US3222265A (en) | Electrolysis method and apparatus employing a novel diaphragm | |
| KR20060041944A (ko) | 유리의 전기가열방법 및 장치 | |
| US4285784A (en) | Process of electroplating a platinum-rhodium alloy coating | |
| JPH08321374A (ja) | ヒーターの保護膜形成方法 | |
| Matousek et al. | Coupled in situ electrodeposition-electrothermal atomic absorption spectrometry: a new approach in quantitative matrix free analysis | |
| US4353938A (en) | Coating powder with valve-metal | |
| Ras et al. | Electrodeposition of PbO2 and Bi–PbO2 on Ebonex | |
| JPS6376228A (ja) | 酸化陰極線の製造方法 | |
| Diaz et al. | An improved fabrication technique for porous silicon | |
| US2956937A (en) | Electrophoretic insulating coating | |
| GB976527A (en) | Improvements relating to the manufacture of insulated wire | |
| De Boer et al. | Electro‐Deposition of a thin layer of powdered substances | |
| US3935516A (en) | Capacitor with glass metal conductive layer | |
| US3859426A (en) | Method of purifying refractory oxides of aluminum and zirconium | |
| JP3848378B2 (ja) | セラミック繊維の製造方法及び金属酸化物繊維の製造方法 | |
| GB346179A (en) | Improvements in and relating to fused-in conductors for electric discharge vessels and the like | |
| JPH10139464A (ja) | 光ファイバ加工用小型電気炉の製造方法 | |
| EP0468948A2 (de) | Anode einer elektrochemischen Sensoranordnung und Verfahren zur deren Herstellung | |
| US20040108199A1 (en) | Device for electrodepositing metallic, prosthetic, molded, dental components | |
| JPH0622095B2 (ja) | ダ−クヒ−タの製造方法 | |
| RU56400U1 (ru) | Составной анод с продленным сроком эксплуатации |