JPH08320212A - オゾナイザの放電ギャップ調整方法 - Google Patents

オゾナイザの放電ギャップ調整方法

Info

Publication number
JPH08320212A
JPH08320212A JP7126786A JP12678695A JPH08320212A JP H08320212 A JPH08320212 A JP H08320212A JP 7126786 A JP7126786 A JP 7126786A JP 12678695 A JP12678695 A JP 12678695A JP H08320212 A JPH08320212 A JP H08320212A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge gap
discharge
ozonizer
gas
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7126786A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Okita
田 裕 二 沖
Koichi Yasuoka
岡 康 一 安
Takaaki Murata
田 隆 昭 村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba FA Systems Engineering Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP7126786A priority Critical patent/JPH08320212A/ja
Publication of JPH08320212A publication Critical patent/JPH08320212A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放電電極の端部付近以外の放電ギャップ値の
計測を可能にし、電極の全ての部分にわたって均一な放
電ギャップ値を得ることを可能にする。 【構成】 上側平板1及び下側平板2を有するオゾナイ
ザの気体取入口側にレーザ9が設置され、気体放出口側
にレーザセンサ10が設置される。レーザ9から投光さ
れるレーザ光は、平板1,2にぶつかる部分は遮蔽され
るが、その間の部分は放電ギャップ6を通過してレーザ
センサ10により受光される。したがって、レーザセン
サ10により放電ギャップ値Gを計測できる。この計測
により、平板1,2間の端部付近ばかりでなく、それ以
外の部分における放電ギャップについても均一な調整を
行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、オゾナイザの放電電極
間の放電ギャップを調整する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】オゾンは強い酸化力を有する気体であ
り、漂白作用や殺菌作用を持っている。オゾナイザは、
このオゾンを発生させる装置であり、病院や学校など種
々の施設において使用されている。
【0003】図7は、このようなオゾナイザの概略構成
を示す斜視図である。このオゾナイザの放電電極は、平
行平板型と呼ばれるものであり、互に対向して配置され
た一対の平板1,2により形成されている。上側の平板
1はステンレス等の金属により形成されており、電極線
3が接続されている。また、下側の平板2はガラスやア
ルミナ等の誘電体により形成されており、その下面には
電極線4が接続された薄い金属板5が取付けられてい
る。
【0004】平板1,2間にはセラミック又はテフロン
等の絶縁材により形成された一対のスペーサ7,7が介
挿されており、これにより放電ギャップ6が確保されて
いる。この放電ギャップ6は、図7では大きく図示され
ているが、その値Gは実際には1ミリ以下の小さなもの
である。電極線3,4は、図示を省略した交流電源装置
に接続されており、平板1,2間に1kHz〜2kHz
程度の交流電圧が印加されるようになっている。
【0005】そして、図7の手前側が気体取入口、向う
側が気体放出口となっており、気体取入口から矢印のよ
うに流入した乾燥空気O2 は放電ギャップ6を通過中に
オゾン化され、気体放出口からオゾンガスO3 として矢
印のように放出されるようになっている。
【0006】ところで、オゾンを効率よく発生させるた
めには、放電ギャップ6の値Gが全ての部分においてで
きるだけ均一であることが望ましい。もし、この値Gが
不均一である場合、値Gが小さな部分に放電が集中して
局所的に温度が上昇してしまい、その結果、オゾン収率
が低下することになる。したがって、オゾナイザの組立
時には、この値Gを均一にするための調整作業が重要と
なる。従来、この調整は、作業員が木ハンマ等で平板
1,2を叩きながら、経験と勘に頼りながら、各部分の
値Gを微妙に変化させることにより行なっていた。
【0007】図8は、円筒型放電電極を有するオゾナイ
ザの概略構成を示す縦断面図である。この図において、
一対の外側円筒1a及び内側円筒2aは互に対向して配
置されており、内側円筒2aの内面には金属膜5aが貼
設されている。これらの円筒1a,2aは図7における
平板1,2と同様の材質のものであり、それぞれに電極
線3a,4aが接続されている。
【0008】そして、これら円筒1a,2aの両端部に
は、セラミック又はテフロン等の絶縁材により形成され
た一対のスペーサ7a,7aが介挿されている。図10
は、このスペーサ7aの形状を示す斜視図である。この
図に示すように、スペーサ7aは、ドーナツ状の鍔部7
a1と、その内周面より延びる4つのギャップ支持脚7a2
を有している。この支持脚7a2の端部の爪部により放電
ギャップ6aが確保されている。
【0009】この放電ギャップ6aの値Gを均一にする
ための調整作業も作業員の経験と勘に基いて行われてい
るが、円筒1aの両端面はスペーサ7の鍔部7a1により
覆われている。そのため、値Gの計測は、計測可能な部
分のギャップ値にスペーサ7aの厚みを加えて算出する
という間接的な計測にならざるを得ず、正確な値を求め
ることができなかった。
【0010】そこで、図10のスペーサ7aに代えて、
図11に示すようにコイル状に巻回されたリング8を用
いる構成も提案されている。この構成を図9に示す。こ
の構成によれば、スペーサ8を介挿して円筒1a,2a
を組立てた後、両端面において、放電ギャップ6aの値
Gをゲージにより直接的に計測することができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のよう
に、放電ギャップにゲージを当てて計測を行う方法で
は、正確な放電ギャップ値を求めることはできず、全て
の部分にわたって均一な放電ギャップ値を求めることが
できない。
【0012】すなわち、図7の平行平板型放電電極の場
合、平板1,2の中央部付近は、それ自身の重量により
たわみが生じているはずであるが、ゲージにより計測で
きるのは、端部付近における放電ギャップ値のみであ
り、この中央部付近の放電ギャップ値を計測することは
できない。
【0013】また、図8及び図9の円筒型放電電極の場
合、図7の場合のような重量によるたわみは殆んど生じ
ないが、円筒1a,2aを正確に同心上に配置するため
には端部付近以外の放電ギャップ値を計測する必要があ
る。しかし、この場合も、図8及び図9から明らかなよ
うに、端部付近以外のギャップ値を計測することはでき
ない。
【0014】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、放電電極の端部付近以外の放電ギャップ値の計測
を可能にし、電極の全ての部分にわたって均一な放電ギ
ャップ値を得ることが可能なオゾナイザの放電ギャップ
調整方法を提供することを目的としている。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、請求項1記載の発明は、互に対向して配
置された一対の放電電極の間にスペーサを設けて放電ギ
ャップを形成し、気体取入口から取入れた気体をこの放
電ギャップに通すことによりオゾン化し、オゾン化した
気体を気体放出口より放出するオゾナイザにおいて、前
記気体取入口又は気体放出口のうちの一方の側に設置し
た投光手段から直線光を投光させると共に、これを他方
の側に設置した受光手段に受光させることにより前記放
電ギャップの値を計測し、この計測に基いて前記放電ギ
ャップの寸法調整を行うこと、を特徴とするものであ
る。
【0016】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、前記投光手段及び受光手段はレーザ及びレ
ーザのセンサであること、を特徴とするものである。
【0017】請求項3記載の発明は、請求項1又は2記
載の発明において、前記放電電極は、互に平行な平面を
有する一対の平板により形成されるものであること、を
特徴とするものである。
【0018】請求項4記載の発明は、請求項1又は2記
載の発明において、前記放電電極は、一対の外側円筒及
び内側円筒により形成されるものであり、前記スペーサ
は、前記気体取入口及び気体放出出口付近の双方に取付
けられる一対のものであって、前記外側円筒の端面に当
接するドーナツ状鍔部と、この鍔部の内周面から前記放
電ギャップへ向かって延びる複数のギャップ支持脚と、
により形成されていると共に、この鍔部の内径は前記外
側円筒の内径より大きなものであり、前記投光手段及び
受光手段による投光及び受光を、前記複数のギャップ支
持脚により遮蔽されない位置にて行なわせること、を特
徴とするものである。
【0019】請求項5記載の発明は、請求項4記載の発
明において、前記オゾナイザが、前記放電電極を複数個
有する多管型オゾナイザであること、を特徴とするもの
である。
【0020】
【作用】放電電極における放電は全体として均一に発生
させる必要があるため、気体取入口から気体放出口に至
るまで放電ギャップの値は一定となっている。したがっ
て、気体取入口から投光した直線光は、その幅が変化す
ることなく気体放出口側で受光されるはずであるから、
変化していた場合には、その変化がなくなるように、一
対の放電電極の相互間の位置関係を微調整すればよい。
このように、直線光を利用した計測により、放電電極の
端部付近以外の位置における放電ギャップについても、
その寸法調整を行うことが可能になる。
【0021】直線光の投光及び受光を行う投光手段及び
受光手段としては、通常、レーザ及びレーザセンサが好
ましい。但し、これらのものに限定されるわけではな
い。
【0022】そして、上記の調整方法は、平行平板型放
電電極又は円筒型放電電極のいずれに対しても適用する
ことができる。ただし、円筒型放電極の場合、従来と同
様のスペーサを用いたのでは、このスペーサが上記投光
及び受光を阻害してしまうことになる。そのため、スペ
ーサを構成するドーナツ状鍔部の内径を外側円筒の内径
より大きくし、さらに、ギャップは支持脚により遮蔽さ
れない位置にて上記投光及び受光を行うようにする。
【0023】また、上記調整方法は、円筒型放電極を複
数個有する多管型オゾナイザに対しても適用することが
できる。
【0024】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1乃至図6に基き
説明する。但し、図7乃至図9と同様の構成要素には同
一符号を付して重複した説明を省略する。
【0025】図1は請求項1,2,3記載の発明の実施
例についての説明図である。この図において、手前側の
気体取入口付近には投光手段としてのレーザ9が設置さ
れ、向う側の気体放出口付近には受光手段としてのレー
ザセンサ10が設置されている。
【0026】放電ギャップ6の調整作業を行う場合は、
まず、レーザ9から縦長のレーザ光を投光させる。この
レーザ光は、平板1,2及び金属板5に当たる部分が遮
られるが、その他の部分はレーザセンサ10により受光
される。したがって、図示するように、平板1の影部分
と、平板2及び金属板5の影との間に挟まれた受光部分
の幅を放電ギャップ値Gとして計測することができる。
そして、この計測に基いて、平板1,2の相対的位置を
微小距離だけ変化させ、全ての部分にわたって放電ギャ
ップ値Gが均一になるように微調整作業を行う。
【0027】この場合、レーザセンサ10により計測さ
れる放電ギャップ値Gは、気体取入口から気体放出口に
至るまでの間における最小値であり、また、この最小値
となっている部分がどこであるかについては特定するこ
とができない。しかし、端部付近における既知のギャッ
プ値に、レーザセンサ10へ映し出されたギャップ値G
を近づけるように調整することができるので、端部付近
以外のギャップ値については全く計測することができな
かった従来方法に比べれば、はるかに精度の良好な調整
作業を行うことができる。
【0028】なお、図1のような平行平板型の放電電極
の場合は、本発明に係る調整作業によっても依然とし
て、中央部付近のたわみの影響を受けることになる。そ
こで、中央部付近に、スペーサ7と同材質のボスを介挿
させたり、あるいは、平板1,2を吊り下げた状態と
し、レーザ光を上下方向に投光させるなどして、中央部
付近にたわみが生じないようにして計測することも有効
である。
【0029】図2は請求項1,2,4記載の発明の実施
例についての説明図である。図1の平行平板型放電電極
の場合に比べて、この図2の円筒型放電電極は中央部付
近にたわみを殆んど生じないので、請求項1記載の発明
の適用例としてはより好ましいものとなっている。
【0030】図2では円筒1a,2aの端部付近の構造
の図示を省略してあるが、この両端部には図3に示すよ
うに1対のスペーサ11,11が介挿されている。図4
は、このスペーサ11の形状を示す斜視図である。スペ
ーサ11は、ドーナツ状の鍔部111 と、その内周面よ
り延びる4つのギャップ支持脚112 とを有しており、
図10のスペーサ7aと類似の形状をしている。しか
し、図3に示したように、鍔部111 の内径D2 φは外
周円筒1aの内径D1 φよりも大きくなっている。した
がって、図3の左方からレーザ9より投光されたレーザ
光は、スペーサ11に遮蔽されることなく放電ギャップ
6aを通過し、右方のレーザセンサ10により受光され
る。
【0031】ただし、レーザ光の投光位置がギャップ支
持脚112 と重なってしまうと、レーザ光は受光されな
くなってしまう。そこで、レーザ光を投光する場合に
は、図5に示すように、投光位置が互に隣接するギャッ
プ支持脚112 ,112 の中間にくるように注意する必
要がある。
【0032】上記のように、レーザ9及びレーザセンサ
10を用い、さらに、スペーサ11の形状を工夫するこ
とによって、円筒1a,2a間の放電ギャップ値を容易
且つ正確に計測することができるので、放電ギャップの
調整作業を効率良く、しかも良好な精度で行うことがで
きる。
【0033】図6は請求項5記載の発明の実施例につい
ての説明図である。この実施例におけるオゾナイザは、
多量のオゾンを発生させることができる多管型オゾナイ
ザと呼ばれるもので、図3に示した単管型オゾナイザ1
a,2aの組立体を管体12の内部に複数個収納したも
のである。
【0034】この場合の放電ギャップ値の計測及び調整
作業は上記と同様に行なえば良いが、大きな高さのレー
ザ9及びレーザセンサ10を用いることとすれば、数個
の放電ギャップ値の計測及び調整を同時に行うことがで
き、作業効率を上げることができる。なお、単体のレー
ザ9及びレーザセンサ10では高さが足りない場合は、
これらを縦方向につなげることにより必要な高さを得る
ことができる。
【0035】上記各実施例では、投光手段及び受光手段
として、最も一般的なレーザ及びレーザセンサを使用し
た場合について説明したが、これのみに限定されるわけ
ではなく、直線光の投光及び受光が可能なものであれば
他の装置を使用してもよい。
【0036】また、上記各実施例では、オゾナイザの気
体取入口の側に投光手段であるレーザ9を設置し、気体
放出口の側に受光手段であるレーザセンサ10を設置し
た例を示したが、もちろん、これは互に逆に設置するこ
ととしてもよい。
【0037】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、気体取
入口又は気体放出口のうちの一方の側に設置した投光手
段から直線光を投光させると共に、これを他方の側に設
置した受光手段に受光させることにより放電ギャップの
値を計測し、この計測に基いて放電ギャップの寸法調整
を行う構成としたので、放電電極の端部付近以外の放電
ギャップ値の計測を可能にし、電極の全ての部分わたっ
て均一な放電ギャップ値を得ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1,2,3記載の発明の実施例について
の説明図。
【図2】請求項1,2,4記載の発明の実施例について
の説明図。
【図3】図2における円筒型放電電極の構造を示す縦断
面図。
【図4】図4におけるスペーサの形状を示す斜視図。
【図5】図2におけるレーザからのレーザ光の投光位置
を示す説明図。
【図6】請求項5記載の発明の実施例についての説明
図。
【図7】平行平板型オゾナイザの構成を示す斜視図。
【図8】円筒型オゾナイザの従来構成を示す縦断面図。
【図9】円筒型オゾナイザの他の従来構成を示す斜視
図。
【図10】図8におけるスペーサの形状を示す斜視図。
【図11】図9においてスペーサとして用いられるコイ
ル状リングの形状を示す説明図。
【符号の説明】
1,2 上側平板及び下側平板(一対の放電電極) 1a,2a 外側円筒及び内側円筒(一対の放電極) 6 放電ギャップ 7,11 スペーサ 9 レーザ(発光手段) 10 レーザセンサ(受光手段) G 放電ギャップ値
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安 岡 康 一 神奈川県川崎市川崎区浮島町2番1号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 村 田 隆 昭 神奈川県川崎市川崎区浮島町2番1号 株 式会社東芝浜川崎工場内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】互に対向して配置された一対の放電電極の
    間にスペーサを設けて放電ギャップを形成し、気体取入
    口から取入れた気体をこの放電ギャップに通すことによ
    りオゾン化し、オゾン化した気体を気体放出口より放出
    するオゾナイザにおいて、 前記気体取入口又は気体放出口のうちの一方の側に設置
    した投光手段から直線光を投光させると共に、これを他
    方の側に設置した受光手段に受光させることにより前記
    放電ギャップの値を計測し、この計測に基いて前記放電
    ギャップの寸法調整を行うこと、 を特徴とするオゾナイザの放電ギャップ調整方法。
  2. 【請求項2】請求項1記載のオゾナイザの放電ギャップ
    調整方法において、 前記投光手段及び受光手段はレーザ及びレーザのセンサ
    であること、 を特徴とするオゾナイザの放電ギャップ調整方法。
  3. 【請求項3】請求項1又は2記載のオゾナイザの放電ギ
    ャップ調整方法において、 前記放電電極は、互に平行な平面を有する一対の平板に
    より形成されるものであること、 を特徴とするオゾナイザの放電ギャップ調整方法。
  4. 【請求項4】請求項1又は2記載のオゾナイザの放電ギ
    ャップ調整方法において、 前記放電電極は、一対の外側円筒及び内側円筒により形
    成されるものであり、 前記スペーサは、前記気体取入口及び気体放出口付近の
    双方に取付けられる一対のものであって、前記外側円筒
    の端面に当接するドーナツ状鍔部と、この鍔部の内周面
    から前記放電ギャップへ向かって延びる複数のギャップ
    支持脚と、により形成されていると共に、この鍔部の内
    径は前記外側円筒の内径より大きなものであり、 前記投光手段及び受光手段による投光及び受光を、前記
    複数のギャップ支持脚により遮蔽されない位置にて行な
    わせること、 を特徴とするオゾナイザの放電ギャップ調整方法。
  5. 【請求項5】請求項4記載のオゾナイザの放電ギャップ
    調整方法において、 前記オゾナイザが、前記放電電極を複数個有する多管型
    オゾナイザであること、 を特徴とするオゾナイザの放電ギャップ調整方法。
JP7126786A 1995-05-25 1995-05-25 オゾナイザの放電ギャップ調整方法 Pending JPH08320212A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7126786A JPH08320212A (ja) 1995-05-25 1995-05-25 オゾナイザの放電ギャップ調整方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7126786A JPH08320212A (ja) 1995-05-25 1995-05-25 オゾナイザの放電ギャップ調整方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08320212A true JPH08320212A (ja) 1996-12-03

Family

ID=14943907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7126786A Pending JPH08320212A (ja) 1995-05-25 1995-05-25 オゾナイザの放電ギャップ調整方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08320212A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014024510A1 (ja) * 2012-08-09 2014-02-13 株式会社東芝 オゾン発生装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014024510A1 (ja) * 2012-08-09 2014-02-13 株式会社東芝 オゾン発生装置
US9309118B2 (en) 2012-08-09 2016-04-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Ozone generating apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62161550A (ja) 除湿空気を用いた静電印刷機および静電画像処理法
DE58906394D1 (de) Vorrichtung zur Überwachung des Betriebes der Brennerplatte eines Flächenbrenners.
JPH08320212A (ja) オゾナイザの放電ギャップ調整方法
JPS6379387A (ja) 炭酸ガス・レーザー
JP2000205966A (ja) 真空紫外レ―ザの波長測定装置
JPH04348213A (ja) 表面にビームを集束するための集束装置
JPH0566170A (ja) 電離真空計
JPH08271301A (ja) 粉粒体の流量測定装置
JP3039841B2 (ja) 鋼板の磁気歪検出装置
JPH09126705A (ja) ロールラインのロール平行度測定装置
JPH0752611Y2 (ja) シート状物質の特性測定装置
JPH0238070A (ja) 静電記録ヘッド
JPH0616009B2 (ja) 塵埃測定装置
JP4206047B2 (ja) オゾン発生管およびそれを備えるオゾン発生装置
JP3360560B2 (ja) 赤外線厚さ計の赤外線光源
JPS60105960A (ja) 電磁超音波トランスデユ−サ
JPH0321004Y2 (ja)
JPS6183906A (ja) 平形材の厚さ測定装置
JP5346170B2 (ja) オゾン発生装置およびその電極ユニットの設定方法
JP2017148697A (ja) 集束音場形成装置
SU905770A1 (ru) Устройство дл магнито-акустического контрол тонкостенных труб
SU1004851A1 (ru) Емкостный измерительный преобразователь
JPH0727941Y2 (ja) 高頻度人工呼吸器用流量センサ
JPH01251764A (ja) エキシマレーザ装置
RU2046753C1 (ru) Генератор озона

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees