JPH08318453A

JPH08318453A - 生産支援システム

Info

Publication number: JPH08318453A
Application number: JP14825895A
Authority: JP
Inventors: Minoru Harashima; 稔原嶋; Toyoe Ebe; 豊栄江部
Original assignee: Hitachi ULSI Engineering Corp; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi ULSI Engineering Corp; Hitachi Ltd
Priority date: 1995-05-23
Filing date: 1995-05-23
Publication date: 1996-12-03

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明の目的は、短時間に、且つ誤りなく作
業対象ロットケースの選択を可能とするための技術を提
供することにある。【構成】ロットケース１０毎に装着された情報記録媒
体との間で情報のやり取りを可能とする入出力部２１を
設け、この入出力部２１を介して得られた情報に基づい
て、ロットケース格納部２２におけるロットケースを、
作業の優先順位に従って並べ換えることにより、作業対
象ロットケースの的確な選択を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロットケース収納装
置、さらには作業の進捗状況の把握を可能とするための
技術に関し、例えばＬＳＩ（半導体集積回路）の組立て
ラインシステムに適用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】組立てラインシステムの一例としてのＬ
ＳＩ組立てラインシステムでは、組立て途中の中間製品
をロットケースに収納し、このロットケース単位で各種
製造工程間の移動が行われる。ロットケースには、ロッ
ト番号や、完成予定日など、必要事項が記載されたラベ
ル等が張付けられている。ロットケース毎の製造優先順
位は、ランダムに積まれ保管された場所で、ケースに張
付けられたラベル等により、判定されているのが通常で
ある。さらに、人手操作が伴う工程及び装置での処理完
了までにかかる予想時間は、専ら熟練者の経験に頼って
いるのが通常で、生産管理部門においては、それを把握
できていないのが現状である。また、製造・生産ライン
でのトラブル発生時に、当該トラブルに係るラインから
他のラインに切換えて生産を継続するか否かの指示は、
生産指示を出す端末装置や、帳票によって行なわれてお
り、トラブル発生により処理の遅延を招く虞がある。

【０００３】尚、ＬＳＩ組立て技術について記載された
文献の例としては、昭和５９年１１月３０日に、株式会
社オーム社から発行された「ＬＳＩハンドブック（第４
０６頁〜）」がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】生産ラインでは、ロッ
トケースにラベル等が貼り付けられて、各工程及び装置
の作業対象としてロットケース収納部に収納される。ロ
ットケース収納部から目的のロットケースを取出して、
それを製造装置にセットする際には、ロットケースに貼
り付けられたラベルの目視チェックが行われ、そのチェ
ックによって、製造装置へのセット対象が決定される。

【０００５】しかしながら、上記のように目視チェック
によって製造装置へのセット対象を決定する方式では、
特にロットケースが多い場合等には、目的のロットケー
スを選び出すのに時間がかかり、また、作業者の不注意
などにより、目的外のロットケースを誤って選択してし
まうことが考えられる。また、人手操作が伴う工程及び
装置での処理完了までにかかる予想時間は、専ら熟練者
の経験に頼っており、生産管理部門においてそれを把握
することができない。さらに、ラインのトラブル発生時
に、当該トラブルに係るラインから他のラインに切換え
て生産を継続するか否かの指示が適切ではないために、
処理の遅延を招く虞がある。

【０００６】本発明の目的は、短時間に、且つ誤りなく
作業対象ロットケースの選択を可能とするための技術を
提供することにある。

【０００７】本発明の別の目的は、ラインの進捗状況を
容易に把握可能とするための技術を提供することにあ
る。

【０００８】本発明の別の目的は、トラブル発生時に起
因する大幅な処理遅延を回避するための技術を提供する
ことにある。

【０００９】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。

【００１１】すなわち、ロットケース（１０）を格納す
るためのロットケース格納手段（２２）と、ロットケー
スに装着された情報記録媒体から得た情報に基づいて、
ロットケースの優先順位を決定するための処理手段（７
０）とを含んで生産支援システムを形成する。このと
き、上記ロットケースの並べ換え、又は問合わされた優
先順位に対応するロットケースを表示手段（８２）によ
って示すようにする。また、上記ロットケース毎に装着
された情報記録媒体との間で情報のやり取りを可能とす
る入出力手段（２１）を、上記ロットケース格納手段の
近傍に配置することができる。さらに、上記処理手段に
よって決定された優先順位に従って、ロットケースの並
べ換えを行うように構成することができる。

【００１２】上記情報記録媒体から得られた情報に基づ
いて、上記ロットケースの現在位置や、完成までに要す
る時間情報を生産ラインのレイアウト上に表示可能な表
示手段を設けることができる。

【００１３】さらに、トラブルを生じたラインにおける
ロットケースの移動先ラインを表示するための表示手段
を設けることができる。

【００１４】

【作用】上記した手段によれば、処理手段は、上記情報
記録媒体から得られた情報に基づいて、ロットケース毎
の優先順位を決定する。そしてそれに基づいて、ロット
ケースの並べ換え、若しくは該当ロットケースの表示が
行われる。このことが、作業対象ロットケースの選択の
的確化を達成する。

【００１５】また、表示手段は、上記情報記録媒体から
得られた情報に基づいて、上記ロットケースの現在位置
や、完成までに要する時間情報を生産ラインのレイアウ
ト上に表示し、このことが、ラインの進捗状況の把握の
容易化を達成する。

【００１６】

【実施例】図２には本発明の一実施例であるＬＳＩ組立
てラインシステムが示される。

【００１７】図２に示される組立てラインシステムは、
特に制限されないが、ＬＳＩの組立ラインとされ、ＬＳ
Ｉ組立てに関する複数の工程を連結するように形成され
た第１ライン５０、及び第２ライン６０を含む。ＬＳＩ
組立てに関する複数の製造工程として、第１工程〜第ｎ
工程（ｎは、１を越える正の整数）が含まれ、この第１
工程〜第ｎ工程を順に経てＬＳＩの組立てが行われる。
ＬＳＩの組立て工程には、１枚のウェーハ上に形成され
た多数のチップを個々に分割した後、チップをパッケー
ジに搭載し、外部接続用リードとチップのパッド間を結
線し、その後にチップを封止するまでの工程が含まれ
る。

【００１８】上記第１工程〜第ｎ工程には、特に制限さ
れないが、それぞれ１又は複数の製造装置が設けられて
いる。例えば第１工程では、それぞれ第１ライン５０、
及び第２ライン６０のそれぞれにおいて、ダイシング、
ダイボンディング、ワイヤボンディングが行われるよう
になっている。そのために、第１ライン５０、及び第２
ライン６０に対応して、ダイシング装置２５，２６、ダ
イボンディング装置３５，３６、ワイヤボンディング装
置４５，４６が設けられている。

【００１９】ダイシング装置２５，２６では、それぞれ
ウェーハ上に形成された多数のチップ形成領域に沿っ
て、薄いダイヤモンドホイール高速回転により深く切込
まれ、ウェーハが機械的に複数のチップに分割される。
ダイボンディング装置３５，３６においては、それぞれ
上記ダイシング装置２５，２６において分割された個々
のチップがパッケージに搭載される。金、シリコン共晶
合金のろう材によりＬＳＩチップを接着するのが一般的
であるが、チップサイズの大型化につれて、半田や樹脂
を用いたダイボンディングが行われることがある。ワイ
ヤボンディング装置４５，４６では、チップ上のパッド
とパッケージ上の外部リードとが、金線や、アルミニウ
ム線で結線される。

【００２０】尚、第２工程以降においては、チップ目視
検査、洗浄、シール、ヘリウムリークチェック、高温保
存、温度サイクル、遠心加速、電気的特性試験等が行わ
れ、それによってＬＳＩが完成される。

【００２１】上記ダイシング装置２５，２６の近傍に
は、それぞれロットケース格納部２２，２４が配置さ
れ、上記ダイボンディング装置３５，３６の近傍には、
それぞれロットケース格納部３２，３４が配置され、上
記ワイヤボンディング装置４５，４６の近傍には、それ
ぞれロットケース格納部４２，４４が配置される。ま
た、本実施例では、ロットケース毎の情報収集を可能と
するため、ロットケース格納部２２，２４，３２，３
４，４２，４４毎に、その近傍に入出力部が配置２１，
２３，３１，３３，４１，４３されている。この入出力
部２１，２３，３１，３３，４１，４３は、通信線によ
り処理部７０に結合されており、ロットケース毎にそれ
に装着されたメモリカード等の情報記憶媒体に対して、
所定情報の読書きが可能とされる。

【００２２】ロットケース１０は、図２では省略されて
いるが、第１ライン５０又は第２ライン６０のベルトコ
ンベアに載置されて矢印Ｘ方向に搬送可能とされる。例
えば、第１ライン５０においては、ダイシング前のウェ
ーハが入ったロットケースが第１ラインのベルトコンベ
アによって矢印Ｘ方向に搬送されて、ロットケース格納
部２２に格納され、格納されたロットケースの優先順位
に従って、ウェーハがダイシング装置２５にセットされ
る。このダイシング装置２５によって分割された個々の
チップが、再びロットケースに収納されて搬送され、次
のロットケース格納部３２に格納される。そして、この
ロットケース格納部３２に格納されたロットケースの優
先順位に従って、チップがダイボンディング装置３５に
セットされて、個々のチップがパッケージに搭載され
る。さらに、ダイボンディングが終了されると、再びロ
ットケースによる移動が行われ、ロットケース格納部４
２に格納される。このロットケース格納部４２に格納さ
れたロットケースの優先順位に従って、ワイヤボンディ
ングが行われる。尚、第２ラインにおいても、上記第１
ラインの場合と同様に、ロットケースが搬送されて、ダ
イシング、ダイボンディング、ワイヤボンディングの順
位に処理が進められる。

【００２３】図１には、入出力部２１、ロットケース格
納部２２、及びロットケースとの関係が代表的に示され
る。

【００２４】ロットケース１０は、ウェーハ、又はチッ
プを収納するためのロットケース部１１と、このロット
ケース部１１に、遮蔽板１２を介して形成された情報記
録媒体装着部１３とを含む。この情報記録媒体装着部１
３には、情報記録媒体例えばメモリカードが着脱自在に
装着される。装着されたメモリカードは、完成予定日
時、処理日時、処理遅延日時、ロット番号等の記録エリ
アを有し、入出力部２１によって、このメモリカードの
リードライトが可能とされる。メモリカードと入出力部
２１との間の情報のやり取りは、特に制限されないが、
磁気的、光学的、若しくは電気的に行われる。

【００２５】第１ライン５０のベルトコンベアによって
搬送されたロットケースは、ロットケース格納部に２２
に格納されるが、入出力部２１を通過した際に、ロット
ケースに装着された情報記録媒体と入出力部２１との間
で、情報のやり取りが行われる。ここでやり取りされる
情報としては、完成予定日時、処理日時、処理遅延日
時、ロット番号等が挙げられる。入出力部２１により読
込まれた情報は、通信線を介して処理部７０に伝達され
る。処理部７０では、伝達された情報がハードディスク
等の記録媒体に保存される。ベルトコンベアによってロ
ットケースがロットケース格納部２２に到着すると、そ
の到着情報が通信線を介して処理部７０に伝達される。
この到着情報の伝達を合図に、処理部７０では、ロット
ケース格納部２２に今到着したロットケースについての
情報と、ロットケース格納部２２に格納されている未処
理のロットケースについての情報とを比較し、その比較
結果に基づいて、未処理のロットケースについての作業
の優先順位を決定する。例えば、完成予定日についての
情報比較により、ロットケース格納部２２に今到着した
ロットケースにかかる製品の完成予定日が最も早く到来
すると判断した場合には、ロットケース格納部２２に今
到着したロットケースについての処理を最も優先するよ
うに、ロットケースについての優先順位の入換えが行わ
れる。この優先順位情報は、通信線を介して速やかにロ
ットケース格納部２２に伝達される。ロットケース格納
部２２では、優先順位情報に従ってロットケース移動が
行われる。つまり、優先順位が高い順にロットケースの
取出しが容易となるように、ロットケースが移動され
る。この移動は、特に制限されないが、ベルトコンベア
などによって行うことができる。図１において、ロット
ケース格納部２２には、特に制限されないが、８個のロ
ットケースを格納することができる。〜はロットケ
ースの取出しが容易な順を示している。数値が小さいほ
ど、その取出しが容易な場所とされる。例えば、作業の
優先順位が最も高いロットケースは、が付された位置
に配置され、次に優先順位が高いロットケースは、が
付された位置に配置される。そのように作業の優先順位
に従ってロットケースが並べられるので、作業者は、最
も取出しやすいロットケースを処理対象として、それに
収納されているウェーハをダイシング装置２５にセット
するればよい。

【００２６】上記の説明では、ロットケース格納部２２
での並べ換えについて述べたが、同様な処理は、他のロ
ットケース格納部においても行われる。

【００２７】次に、ロットケースの処理進捗状況の把握
について説明する。

【００２８】図２に示されるように、処理部７０には、
ＣＲＴディスプレイ装置などの表示部７２、及びキーボ
ードなどの操作部７１が結合されている。第１工程〜第
ｎ工程における入出力部２１，２２，３１，３２，４
１，４２、及びロットケース格納部２２，２４，３２，
３４，４２，４４と、処理部７０との間での情報のやり
取りにより、処理部７０では、全工程におけるロットケ
ースに関する情報を把握している。このため、処理部７
０では、特定のロットケースについての現在の処理進捗
状況の問合わせに応ずることができる。この問合わせ
は、処理進捗状況の問合わせモードにおいて可能とされ
る。例えば、処理進捗状況の問合わせモードにおいて図
４に示されるように、知りたいロットケース番号を、操
作部７１の操作によって入力すると、入力されたロット
ケース番号が表示部７２に表示されるとともに、そのロ
ットケース番号に対応するロットケースの所在検索が、
処理部７０によって行われ、その検索結果が、図５に示
されるように表示部７２に表示される。すなわち、ロッ
トケースの処理が行なわれているラインのレイアウト図
が表示部７２に表示され、その表示画面上に、目的のロ
ットケースの現在の位置９３が、ラインのレイアウト図
とは異なる色で、点滅表示される。また、そのような検
索結果表示において、９３で示されるように、工程及び
装置での残り処理時間が併せて表示される。この残り処
理時間の表示の内容は、予想最高時間、予想最低時間、
及びその平均時間とされる。処理時間の予想は、過去の
処理時間データに基づいて行われる。

【００２９】次に、トラブル発生時のライン変更指示に
ついて説明する。

【００３０】現在処理を行なっているラインでトラブル
が発生した際には、各工程及び装置単位に未処理のロッ
トケースを、同一の機能を有する他のラインに移行する
ような指示表示が可能とされる。

【００３１】図６において、ボタンスイッチ装置９６
は、１〜８で示されるボタンスイッチが配列されて成
り、ロットケース格納部２２，２４，３２，３４，４
２，４４の近傍に配置される。ボタンスイッチ１〜８は
ロットケースに対応する。現在、第１ライン５０でトラ
ブルが発生した場合、ボタンスイッチ装置９６における
１番のスイッチを押すと、それに対応するロットケース
についての処理状況、及び他のラインでの処理状況等の
情報に基づいて、上記トラブルが発生したラインにおけ
るロットケースを、第１ライン５０以外で処理継続が可
能であるか否かの判別が処理部７０において行われ、そ
の判別結果が、通信回線を介して表示装置９５に表示さ
れる。例えば、上記処理部７０の判別において、第２ラ
イン６０での処理継続が可能であると判断された場合に
は、上記表示装置７０にその旨が表示される。この表示
に基づいて、作業者は、該当ロットケースを第２ライン
６０へ移動する。このように表示装置９０の表示に従っ
て適切なラインに、ロットケースを移動することによっ
て処理継続が可能とされるので、トラブル発生に起因す
る被害を最小限に抑えることができる。

【００３２】上記実施例によれば、以下の作用効果を得
ることができる。

【００３３】（１）ロットケース２２，２４，３２，３
４，４２，４４において、作業の優先順位に従ってロッ
トケースが並べられるので、作業者は、最も取出しやす
いロットケースを処理対象として選択すれば良いから、
短時間に、且つ誤りなく作業対象ロットケースを選択す
ることができる。

【００３４】（２）操作部７１の操作によってロットケ
ース番号を入力すると、入力されたロットケース番号が
表示部７２に表示されるとともに、そのロットケース番
号に対応するロットケースの所在検索が処理部７０によ
って行われ、その検索結果が、表示部７２に表示され
る。すなわち、ロットケースの処理が行なわれているラ
インのレイアウト図が表示部７２に表示され、その表示
画面上に、目的のロットケースの現在の位置９３が、ラ
インのレイアウト図とは異なる色で、点滅表示されるの
で、進捗状況を容易に把握することができる。

【００３５】（３）ロットケース単位に、完成までに要
する時間情報を生産ラインのレイアウト上に表示させる
ことにより、工程及び装置を単位として現在処理を行な
っているロットケースが、あとどれくらいの時間で処理
を完了するを把握することができる。

【００３６】（４）トラブルを生じたラインにおけるロ
ットケースの移動先ラインを表示することにより、生産
ラインにおいてトラブルが起きた際に、同一の機能を有
するラインで処理を継続可能なラインの把握が容易とな
り、ラインにおいてトラブルが発生した場合の大幅な処
理の遅延を回避することができる。

【００３７】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。

【００３８】例えば、上記実施例では、ロットケース格
納部２２において、優先順位に従ってロットケース移動
が行われるようにしたが、そのようなロットケース移動
に代えて、優先順位の表示を行うようにしてもよい。例
えば、図３に示されるように、ボタンスイッチ装置８１
と、それに結合された表示装置８２とを、各ロットケー
ス格納部若しくはその近傍に設ける。優先順位ボタン装
置８１には、特に制限されないが、優先順位１〜９で示
されるボタンスイッチが設けられている。表示装置８２
には、ロットケース格納部におけるロットケース配置位
置に対応して９個のランプ８３が設けられている。表示
装置８２は、通信線を介して処理部７０に結合されてお
り、処理部７０から優先順位情報が伝達されるようにな
っている。例えば作業者がボタンスイッチ装置８１にお
ける１番のボタンを押すと、表示装置８２においては、
現在、ロットケース格納部に格納されているロットケー
スのなかで、最も優先順位の高いロットケースに対応す
るランプが点灯される。同様に、作業者がボタンスイッ
チ装置８１における２番のボタンを押すと、表示装置８
２においては、現在、ロットケース格納部に格納されて
いるロットケースのなかで、２番目に優先順位の高いロ
ットケースに対応するランプが点灯される。作業者は、
点灯したランプに対応するロットケースを取出すように
すれば、優先順位に従ってロットケース移動が行われな
くても、優先順位が高い順にロットケースを取出すこと
ができる。

【００３９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるＬＳＩ
組立てラインシステムに適用した場合について説明した
が、本発明はそれに限定されるものではなく、家電製
品、自動車など、各種製品の生産ラインに適用すること
ができる。

【００４０】本発明は、少なくとも搬送されるロットケ
ースの存在を条件に適用することができる。

【００４１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。

【００４２】すなわち、ロットケース格納部において、
作業の優先順位に従ってロットケースが並べられるの
で、作業者は、最も取出しやすいロットケースを処理対
象として選択すれば良いから、作業者は、短時間に、且
つ誤りなく作業対象ロットケースを選択することができ
る。そして、優先順位の問合わせに対して、該当するロ
ットケースが表示手段で示されることにより、ロットケ
ース選択を、短時間に、且つ、誤りなく行うことができ
る。

【００４３】操作部の操作によってロットケース番号を
入力すると、入力されたロットケース番号が表示部に表
示されるとともに、そのロットケース番号に対応するロ
ットケースの所在検索が、処理部によって行われ、それ
に基づいて、ラインレイアウト上に、目的のロットケー
スの現在の位置が表示されるので、そのような表示によ
り、進捗状況を容易に把握することができる。

【００４４】ロットケース単位に、完成までに要する時
間情報を生産ラインのレイアウト上に表示させることに
より、工程及び装置を単位として現在処理を行なってい
るロットケースが、あとどれくらいの時間で処理を完了
するかを容易に把握することができる。

【００４５】トラブルを生じたラインにおけるロットケ
ースの移動先ラインを表示することにより、生産ライン
においてトラブルが起きた際に、同一の機能を有するラ
インで処理を継続可能なラインの把握が容易となり、ラ
インにおいてトラブルが発生した場合の大幅な処理の遅
延を回避することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるＬＳＩ組立てラインシ
ステムにおける主要部の説明図である。

【図２】上記ＬＳＩ組立てラインシステムの構成例ブロ
ック図である。

【図３】他の実施例ラインシステムにおける優先順位表
示の説明図である。

【図４】上記ＬＳＩ組立てラインシステムにおける処理
進捗状況の問合わせについての初期表示の説明図であ
る。

【図５】上記ＬＳＩ組立てラインシステムにおける処理
進捗状況の問合わせについての処理結果表示の説明図で
ある。

【図６】上記ＬＳＩ組立てラインシステムにおけるトラ
ブル発生時のライン変更指示についての説明図である。

【符号の説明】

１０ロットケース１１ロットケース部１２遮蔽板１３情報記録媒体装着部２１，２３，３１，３３，４１，４３入出力部２２，２４，３２，３４，４２，４４ロットケース格
納部２５，２６ダイシング装置３５，３６ダイボンディング装置４５，４６ワイヤボンディング装置５０第１ライン６０第２ライン７０処理部７１操作部７２表示部８１，９６ボタンスイッチ装置８３ランプ９５表示装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者江部豊栄東京都小平市上水本町５丁目20番１号日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ロットケースを格納するロットケース格
納手段と、上記ロットケースに装着された情報記録媒体
と、上記情報記録媒体から得た情報に基づいてロットケ
ース毎の処理の優先順位を決定する処理手段とを含み、
上記ロットケース格納手段は、上記処理手段によって決
定された優先順位に従って、ロットケースの並べ換えを
行う手段を含んで成ることを特徴とする生産支援システ
ム。
【請求項２】ロットケースを格納するロットケース格
納手段と、上記ロットケースに装着された情報記録媒体
と、上記情報記録媒体から得た情報に基づいて、ロット
ケース毎の処理の優先順位を決定する処理手段と、決定
された優先順位に基づいて、問合わせにかかる優先順位
に対応するロットケースを示す表示手段とを含むことを
特徴とする生産支援システム。
【請求項３】上記ロットケース毎に装着された情報記
録媒体との間で情報のやり取りを可能とする入出力手段
を、上記ロットケース格納手段の近傍に配置して成る請
求項１又は２記載の生産支援システム。
【請求項４】上記情報記録媒体から得られた情報に基
づいて、上記ロットケースの現在位置を生産ラインのレ
イアウト上に表示可能な表示手段を含む請求項１乃至３
のいずれか１項記載の生産支援システム。
【請求項５】上記情報記録媒体から得られた情報に基
づいて、上記ロットケースの現在位置、及び完成までに
要する時間情報を生産ラインのレイアウト上に表示可能
な表示手段を含む請求項１乃至３のいずれか１項記載の
生産支援システム。
【請求項６】上記ロットケース格納部の近傍に配置さ
れ、トラブルを生じたラインにおけるロットケースの移
動先ラインを表示するための表示手段を含む請求項１乃
至５のいずれか１項記載の生産支援システム。