JPH0831531A - 電子装置の試験ソケット用接点案内・保持モジュール及び電子装置の試験ソケット - Google Patents

電子装置の試験ソケット用接点案内・保持モジュール及び電子装置の試験ソケット

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JPH0831531A
JPH0831531A JP7067510A JP6751095A JPH0831531A JP H0831531 A JPH0831531 A JP H0831531A JP 7067510 A JP7067510 A JP 7067510A JP 6751095 A JP6751095 A JP 6751095A JP H0831531 A JPH0831531 A JP H0831531A
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teeth
ribs
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JP7067510A
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Inventor
Kurt H Petersen
クルト・ハーロフ・ペーターゼン
Juan P Rios
ジュアン・パブロ・リオス
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3M Co
Original Assignee
Minnesota Mining and Manufacturing Co
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0475Sockets for IC's or transistors for TAB IC's

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 経済的に製造でき、端子間の隔壁を比較的厚
くすることのできる電子装置の試験ソケット用接点案内
・保持モジュールを提供する。 【構成】 第1接点支持構造体122と第2接点支持構
造体124にギヤ状の歯を設ける。接点126,128
の端子142を、両接点支持構造体122,124の噛
み合った歯の間で千鳥配置する。一方の接点支持構造体
の歯が他方の接点支持構造体の谷を部分的に満たすよう
にして、接点142を収容して案内するポケットを各歯
間の谷に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に、密集したコン
タクトパッドを有するテープ自動ボンディング(TA
B)の非常に大規模な集積回路(IC)のバーンイン電
気試験に使用される試験ソケットに関する。
【0002】
【従来の技術】TAB型ICデバイスすなわち導線なし
のチップキャリヤのリードの数が多くなると、各接点を
TAB型試験パッドに対して確実に電気的接触させるの
に十分な強い力で圧接させるために、ソケットの構造面
で独特の問題が生じる。全接点の力は累積的なものであ
り、ソケットの強度はこれに耐えるものでなければなら
ない。ソケットには、TAB型ICデバイスを電子試験
装置の外側部分に接続するために十分な本数の接点を設
けなければならない。さらに、TAB型ICデバイスを
正確な位置に重ね合わせ、熱膨張により変形しても接触
状態が維持されるように接点の配置とたわみを調節し、
一連の熱サイクルの間中、確実に電気接続させるのに十
分な高レベルの力を発生させる手段をソケットに設けな
ければならない。
【0003】そのようなバーンイン試験ソケットの一例
が、本発明の譲受人に譲渡され参考としてここに取り込
まれた米国特許第4,986,760号に示されている。
このソケットは、接点のボデーの接触端を千鳥配置する
コーム状の接点支持部材を有している。接点支持部材
は、接点の先端を案内するとともにある接点を他の接点
から電気的に絶縁する薄く成形されたリブを隣合う接点
間に有している。この従来のソケットの接点支持部材
は、接点のボデーが、TAB型ICデバイスと接触する
先端から交互に反対方向に延び出すような構造を有して
いる。この構造には、正方形や長方形のTAB型ICデ
バイスの4辺で接触させるために、接点を直角に数本の
列に並べなければならないという困難が伴う。接点のボ
デーの半分は直角パターンの中心に向かって延びている
ので、ある列の接点のボデーは、所望の直角パターンの
コーナーにおいて、他の列の接点のボデーと重なって干
渉し合う。その結果、直角パターンのコーナーでは何本
かの接点を取り除かなければならない。
【0004】さらに、上記特許のソケットの構造は、薄
く成形したリブを隣合う接点間に設けなければならない
という点において、制限されている。新出のTABデバ
イスにより接点の間隔を減少する必要が生じると、接点
間のこの分離リブはあまりにも薄くなって確実に成形す
ることが不可能となり、接点の先端を所望の位置に案内
して保持するのに十分な強度が備わらなくなる。
【0005】
【発明の要旨】TAB型ICデバイス用の従来の試験ソ
ケットに伴う欠点を克服するために、本発明によれば以
下の構造の試験ソケットが提供される。本発明に係る試
験ソケットは、突出したテーパー状のリブと隣合うリブ
間の谷とにより形成される直線的なギヤ状歯を含む第1
接点支持構造体と、第1接点構造体内に配置された、突
出した先端を有する接点とを備えている。接点は、隣合
うそれら接点の先端の一方が隣合うリブ間の谷の中に入
り、他方は第1接点支持構造体の突出したリブと位置を
合わせて配置されている。さらに本発明に係る試験ソケ
ットは、突出したテーパー状のリブと隣合うリブ間の谷
とにより形成される直線的なギヤ状歯を含む第2接点支
持構造体を備えている。第1接点支持構造体と第2接点
支持構造体の各歯が噛み合った状態で、一方の接点支持
構造体のリブが他方の接点支持構造体のリブ間の谷の中
に部分的に入り込み、接点の先端を収容するとともに収
容されたその先端を案内するポケットが、第1接点支持
構造体の谷と第2接点支持構造体の谷とに形成されてい
る。2つの接点支持構造体の歯がリブ間の谷からテーパ
ー状に形成されていて平坦な端部で終結し、この歯の平
坦な端部と歯間の谷とにより接点の先端用のポケットが
形成されることが好ましい。
【0006】
【実施例】以下に、添付図面に示した本発明に係る実施
例について詳細に説明する。なお、各図中、同じ符号は
同じ部分を示している。
【0007】米国特許第4,986,760号に係るソケ
ット10は、ベース11と蓋すなわちカバー12とを有
している。蓋12は、協働する耳部13,14とヒンジ
ピン15によりベース11にヒンジで取り付けられてい
る。スプリング16が蓋12を通常の起立位置に付勢す
る。蓋12は、ピボット式の爪17により閉じたラッチ
位置に保持される。爪17は、ピン19によりベースの
反対側で耳部18に対して回動し、ねじりばね(図示せ
ず)により図1,2,5に示すように蓋12の左側エッジ
のリップを覆うラッチ位置に付勢される。
【0008】ベース11は、金属もしくはガラス強化ポ
リスルホン等の絶縁材料よりなる、機械加工もしくは成
形されたフレーム25を有している。フレームは、そこ
に形成された耳部14,18と、上面26と底面27と
を有している。図3に示されるように、フレーム25
は、間隔を開けて対称に配置された開口部31,32,3
3,34に取り囲まれた中央の長方形の開口部30を有
しており、それら開口部の間には細くて厚い荷重支持ビ
ーム35が形成されている。各ビーム35は、中央に配
置された位置決め手段として突出部36を有している。
ビーム35の上面と開口部31,32,33,34の端部
は、その全体を参照符号40で示したくし状接点部材を
受けるためにわずかにくぼんでいる。さらにフレーム2
5には開口部30のコーナー位置に位置決めタワー41
が直立して設けられている。各タワー41は、ベースカ
バープレート50(図4)の開口部内に配置される6角
形のベースと、それよりも小さな略正方形で、対角線上
にスロット42が形成された上部と、タワー41を垂直
方向に貫通する開口部44とを有している。
【0009】図2,5に最も良く示すように、スロット
42は、参照符号20で示すキャリヤのピン(図示せ
ず)を受けるために形成されている。これらスロット
は、キャリヤをフレーム25と正確に位置決めするため
に配置されている。あるいは、キャリヤ20のいくつか
に、位置決めピンを受ける穴を設けてもよい。この場合
には、そのような位置決めピンを開口部44に取り付け
ることができる。キャリヤ20を正しい方向性で配置す
るためにピン45が配置されている。ピン45はベース
フレーム25に取り付けられており、キャリヤの縁部の
エッジのくぼみに受けられるようになっている。フレー
ム25のその他の開口部は、ベースカバープレート50
をくし状接点部材40を覆ってフレーム25に固定する
とともにフレーム25を試験装置のプリント回路板に固
定するために使用されるプリント回路板取り付けスクリ
ューを入れるために形成されている。
【0010】カバープレート50は、上面26に載り、
図4に示すようにくし状接点部材40の上部が貫通する
開口部51を有している。但し、プレート50はくし状
接点部材40の端部のタブと係合し、それらがビーム3
5から持ち上がるのを阻止している。プレート50は、
位置決めピン45を受ける3つの穴52と、中央開口部
53と、タワーを受ける穴と、アセンブリ締結具を受け
る穴とを有している。
【0011】くし状接点部材40は、図6,7,8により
明瞭に示している。部材40は、コーム55と複数本の
接点とを有している。図に示す接点は、3つの異なる形
状を有しており、参照符号56,57,58で識別されて
いる(図7)。接点56,57,58は、ピン60,61,
62がそれぞれ異なる位置に配置されているという点を
除けば、同様の全体形状を有している。
【0012】コーム55は、好ましくは強度の大きな高
分子の電気絶縁材料より、機械加工もしくは成形されて
おり、中央に配置された上側の壁64を備えている。壁
64は、両端を有し、その両端間においてコーム55の
略長手方向に延びている。壁64は、互いに離れた垂下
脚部65,66により形成される上部、両側部、及びベ
ースを有している。脚部65,66は、棚部67,68を
形成する反対方向外側に突出した足部を有しており、棚
部67,68の上面と底面は、接点56,57,58に対
する係留手段を形成している。壁64は、互いに離れた
薄い隔壁すなわちガセット69によりベース11から両
側で支持されており、棚部67,68は、同様に並んだ
隔壁70,71をその上面と底面それぞれに有してい
る。この隔壁70,71の間に接点56,57,58が配
置されている。壁64の両端にはタブ72が配置されて
おり、このタブ72は、上記のようにベースカバープレ
ート50と接触できるように延びている。脚部65,6
6は互いに分かれており、ビーム35を受けるのに十分
大きな溝がそれらの間に形成されている。脚部65,6
6の側面に沿って互いに離れて配置されているのが円筒
形の突出部75である。これら突出部は互いに平行であ
り、ビーム35の両面と線接触して支持コーム55をビ
ーム35に対して正確に配置する。コーム55のベース
の中心には、コーム55をビーム35に対して長手方向
に配置するための突出部36を受けるくぼみ76が形成
されている。
【0013】各接点56,57,58は、TAB型デバイ
スすなわちキャリヤ上のコンタクトパッドに圧接する接
触端80と、接触端80が移動可能な中間ボデー部81
と、電子試験装置の一部であるプリント回路板と接続す
る接続端をなすピン60,61,62とを有している。接
触端80は、コーム55の壁64に対して接触端80を
実質的に直線運動させ得る中間部81の第1弧状可撓部
83に接続した直線部82を有している。第1可撓部8
3は、コーム55の壁64に対して接触端80を移動さ
せ得る反対側に湾曲した第2弧状可撓部84につながっ
ている。接触端が図7に示す通常の湾曲していない位置
から図5に示す湾曲した位置まで完全に直線方向に運動
するように、好ましくは約0.002インチ(0.05m
m)水平移動するように端80と壁64の形状が定めら
れており、TAB型デバイスすなわちキャリヤの試験パ
ッドに適当なワイパー作用をしてパッドに堆積している
虞れのある酸化物を取り除くようになっている。さらに
中間部81は、接点をコーム55に係留する手段をなす
接点係留部分を有している。この中間ボデー部81の係
留部分は、互いに離れた一対の片持ち式のビーム86,
87を有しており、その一方は足部すなわち棚部67も
しくは68の上面と係合し、他方87はその棚部の底部
と係合している。ビーム86には、棚部の上部と機械的
に係合し、互いに離れた2つの隔壁69,70,71間に
おいて接点をコームに対して固着させやすくするかかり
88が形成されている。ピン60,61,62により、接
点をプリント回路板やソケットあるいは他の接点等電子
装置の一部に接続する手段が形成されている。
【0014】図5に示すように、TAB型デバイスすな
わちキャリヤのパッドを接点の接触端80の方へ垂直方
向直線状に力強く移動させ、接点56,57,58と十分
に電気的接触させる手段が蓋12に設けられている。蓋
12は、長方形の中央開口部91と、開口部91を取り
囲む上面の円形のくぼみ92とを有する長方形のフレー
ム90を備えている。フレームのくぼみ92内の互いに
間隔の開いた穴にスプリング94が収納されている。フ
レーム90は、耳部13を支持するとともに、爪17を
受けるリップを備えている。くぼみ92内に配置されて
いて長方形の開口部91を貫通しているのは、垂下リブ
96を有する円形のプレート95である。各リブ96
は、所定平面内の平坦な面において終結しており、TA
B型デバイスすなわちキャリヤにおける、パッドと相対
する表面に接触している。プレート95の反対側の面に
は、複数の弧状の傾斜面すなわちカム面98が形成され
ている。プレート95の傾斜面98の上方に配置されて
いるのは、平坦なディスク形状をなすアクチュエータ部
材100である。アクチュエータ部材100は、一方の
エッジから径方向外側に延びるレバー101と、そこに
固定されたノブ102とを有している。ディスク100
は、傾斜面98の上方に配置された中央開口部104
と、互いに間隔の開いたスロット105とを有してい
る。各スロット105は、アクチュエータディスク10
0の回転時に、傾斜面98と係合してプレート95を垂
直移動させる一対の円筒形ローラ109を収納してい
る。アクチュエータ100の上方への移動を阻止するた
めにフレーム90の上方には上プレート110が取り付
けられている。従って、アクチュエータ100の回転移
動は、傾斜面を通じ、スプリング94のばね力を受けな
がら、プレート95の垂直移動に変換される。上プレー
ト110はプリント回路板締結用スクリューによりベー
スすなわちフレーム90に固定されており、両者は互い
に確実に保持されている。
【0015】プレート95の垂直移動により、TAB型
デバイスすなわちキャリヤは、ビーム35上でコーム5
5内に支持されている接点56,57,58の接触端に対
して移動する。コーム55を中央部で取り付けているこ
とにより、コーム55がビーム35の中央突出部36か
ら長手方向に伸びることは制限され、ビーム35の一切
の運動はその同じ中心点36に対して長手方向に生じ
る。接点56,57,58の接触端80は図示するように
実質的に垂直方向に移動するので、接点56,57,58
によるTAB型デバイスの座屈やその他のたわみは抑制
される。
【0016】以上ソケット10に関して説明した。この
ソケット10は、TAB型ICデバイスの試験において
非常に有用であることが証明されているが、いくつかの
欠点も持っている。例えば、図7に最も良く示されてい
るように、接点56,57,58は接触端80の位置から
反対方向に延びている。これは、直角配列のコーナー部
では接触端80が互いにそれほど近くには接近できない
ことを意味する。このことは、図1に非常にはっきりと
示されている。さらに、将来において接点の間隔を縮め
ることは隔壁69,70の厚さが成形が不可能なほどの
薄さにまで小さくなるので、困難であろう。
【0017】図9,10,11に、上記のようなソケット
10内で都合良く使用できる、その全体を参照符号12
0で示した本発明に係る接点案内・保持モジュールを表
している。モジュールは、その中に配置された接点12
6,128を保持できるように協働する互いに等しい2
つの接点支持構造体122,124を有している。
【0018】各接点支持構造体122,124は、ほぼ
平坦なベース130と、ベース130の中心に沿って走
行していて接点126,128の一端を保持する、溝の
付いた稜線状隆起132と、ラックギヤと同質のギヤ状
歯136を含む直立壁134と、直立壁134のギヤ状
歯136と同様の歯140を有する、ベース130の平
坦拡大端138とを備えている。
【0019】接点126,128は、スプリング部14
4,146に接続する延伸した端子142を有してい
る。このスプリング部144,146が、端子142を
TAB型ICデバイスに対応させ、端子142とICと
を確実に十分に電気的接触させるのに必要な上向きの力
をもたらす。接点126,128は、それらのベース1
48,150がスプリング部146からそれぞれ反対方
向に延びているという点において、2タイプのものから
なっている。
【0020】図11に最も良く示されているように、ギ
ヤ状歯136,140は、その間の谷から延びた突出部
として形成されている。この谷は、上方から見ると略長
方形をなしており、歯136,140は、切頭の平坦な
端部154で終結するテーパー面152を有している。
【0021】端子142が歯136間の谷内に歯136
の端部154に対して千鳥配置されるように、接点12
6,128は接点支持構造体122内に並べられてい
る。他方の接点支持構造体124を第1の接点支持構造
体122に取り付けると、各接点支持構造体122,1
24の壁すなわち歯136と拡大端138が図11に示
すように互いに係合した状態で、接点支持構造体12
2,124のテーパー面152が接触する。
【0022】歯136,140は突出部間の谷内を完全
には満たしておらず、残った部分にポケット156が形
成され、端子142は、ポケットに保持・案内されると
ともにその長手方向に沿って出し入れ可能になってい
る。接点の端子142は、接点126,128のスプリ
ング部144,146により突出位置の方へ付勢されて
いる。
【0023】図12は、歯160,162が図11の歯
136のような二段階傾斜構造ではなく連続的なテーパ
ー側面164,166を有する、本発明に係る変形例を
示している。この構造によりポケット168の形状は先
に図示したものよりも三角形に近くなるが、ポケット1
68は必要に応じて接点の端子142を適切に案内す
る。図12より、歯の形状は多様に変形できることが分
かる。
【0024】図10に示すような4つのモジュール12
0を図1〜8に示すものと同様のソケット内の(上記開
口部31〜34と同様の)くぼみの中に据え付け、長方
形のICに対応する長方形のグリッドを形成することが
できる。本発明に係るモジュール120の大きな利点
は、接点のベース148,150がすべて端子142の
位置から一方向に延びているので、図1〜8に関して記
載したような従来の接点構造を使用する場合よりも、長
方形のコーナーにおいてモジュール120を互いに接近
させることができるということである。
【0025】以上、単一の部材に2つの機能を持たせて
いるので経済的に製造でき、かつ接点の端子を千鳥配置
して接点を分ける部分を比較的厚くできるために非常に
頑丈で成形容易な試験ソケット用接点案内・保持モジュ
ールに関して説明した。さらに、接点の端子をモジュー
ルの片側から延ばすことにより、端子を同じタイプの別
のモジュールにかなり接近させることができる。
【0026】本発明をただ1つの実施例に関して記載し
たが、当該技術分野において通常の知識を有する者であ
れば、本発明に多くの変形をなすことができることが明
らかであろう。例えば、図1〜8に関して説明したソケ
ット10はモジュール120を使用できるタイプのソケ
ットの一例を示しているに過ぎず、その他のソケットで
も多くのものから本発明の効果が得られる。TABタイ
プのデバイスではなくリード線付で使用されるソケット
でも、デバイスのリード線を接点の先端に対して圧接さ
せる手段がソケットのカバーに設けられていれば、本発
明により利益を得ることができる。ソケットに使用でき
るモジュールの数や並べ方は限定されておらず、それら
は、ソケットに収容されるデバイスの形状のみに左右さ
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の技術に係るソケットの平面図である。
【図2】 図1のソケットの側面図であり、キャリヤ装
置がソケット内に挿入されていてくし状接点部材が取り
外された状態を示している。
【図3】 図1のソケットのベースの平面図であり、ベ
ースカバープレートを取り外した状態で4つのくし状接
点部材中3つを示している。
【図4】 図1のソケットに使用されるベースフレーム
カバープレートの平面図である。
【図5】 図1の5−5線断面図である。
【図6】 図1のソケットのくし状接点部材の拡大平面
図である。
【図7】 図6のソケットのくし状接点部材の横断面図
である。
【図8】 図6のソケットのコームの部分縦断面斜視図
である。
【図9】 本発明に係る接点支持構造体を、数本の接点
とともに示す斜視図である。
【図10】 図9の接点支持構造体を含む接点案内・保
持モジュールの斜視図である。
【図11】 図10の接点案内・保持モジュールの部分
平面図である。
【図12】 本発明の変形例に係る接点案内・保持モジ
ュールの部分平面図である。
【符号の説明】
10 ソケット 11,13
0 ベース 12 蓋 13,14,
18 耳部 15 ヒンジピン 16,94
スプリング 17 ピボット爪 19,60,
61,62 ピン 20 キャリヤ 25 ベー
スフレーム 26 上面 27 底面 30,31,32,33,34,44,51 開口部 35 ビーム 36,75
突出部 40 くし状接点部材 41 位置
決めタワー 42,105 スロット 45 位置
決めピン 50 ベースカバープレート 52 穴 53,91,104 中央開口部 55 コー
ム 56,57,58,126,128 接点 64 上側
の壁 65,66 垂下脚部 67,68
棚部 69,70,71 隔壁 72 タブ 76,92 くぼみ 80 接触
端 81 中間部 82 直線
部 83 第1可撓部 84 第2
可撓部 86,87 片持ちビーム 88 かか
り 90 フレーム 95 プレ
ート 96 リブ 98 傾斜
面 100 アクチュエータ部材 101 レ
バー 102 ノブ 109 ロ
ーラ 110 上プレート 120 接
点案内・保持モジュール 122,124 接点支持構造体 132 稜
線状隆起 134 直立壁 136,1
40,160,162 歯 138 ベースの端部 142 端
子 144,146 スプリング部 148,1
50 接点のベース 152,164,166 テーパー面 154 端
部 156,168 ポケット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジュアン・パブロ・リオス アメリカ合衆国55144−1000ミネソタ州セ ント・ポール、スリーエム・センター(番 地の表示なし)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 突出したテーパー状のリブと隣合う該リ
    ブ間の谷とにより形成される直線的なギヤ状歯(13
    6)を有する第1接点支持構造体(122)と、 上記第1接点支持構造体(122)内に配置された、突
    出した先端(142)を有する接点(126,128)
    とを備え、 上記接点(126,128)は、隣合う該接点(126,
    128)の先端の一方が隣合う上記リブ間の谷内に入れ
    られ他方が上記第1接点支持構造体(122)の突出し
    たリブと位置を揃えて配置されており、 さらに、突出したテーパー状のリブと隣合う該リブ間の
    谷とにより形成される直線的なギヤ状歯(140)を有
    する第2接点支持構造体(124)を備え、 上記第1接点支持構造体(122)と上記第2接点支持
    構造体(124)の各歯が噛み合った状態で、一方の上
    記接点支持構造体のリブが他方の上記接点支持構造体の
    リブ間の谷の中に部分的に入り込み、上記接点の先端
    (142)を収容するとともに収容された該先端(14
    2)を案内するポケット(156)が、上記第1接点支
    持構造体(122)の谷と上記第2接点支持構造体(1
    24)の谷とに形成されたことを特徴とする電子装置の
    試験ソケット用接点案内・保持モジュール。
  2. 【請求項2】 上記第1接点支持構造体(122)の歯
    (136)と上記第2接点支持構造体(124)の歯
    は、該歯間の谷からテーパー状に形成され平坦な表面で
    終結していることを特徴とする請求項1記載の接点案内
    ・保持モジュール。
  3. 【請求項3】 上記第1接点支持構造体(122)と上
    記第2接点支持構造体(124)は同一であり、該第1
    接点支持構造体と該第2接点支持構造体との間に上記接
    点を保持するように噛み合うことを特徴とする請求項1
    記載の接点案内・保持モジュール。
  4. 【請求項4】 長方形に並んだ接触面を有する電子装置
    の電子試験用試験ソケットにして、 上記電子装置の接触面に対応するように長方形状に並ん
    だ4つの接点案内・保持モジュール(120)を有し、 上記各接点案内・保持モジュールは、 突出したテーパー状のリブと隣合う該リブ間の谷とによ
    り形成される直線的なギヤ状歯(136)を有する第1
    接点支持構造体(122)と、 上記第1接点支持構造体(122)内に配置された、突
    出した先端(142)を有する接点(126,128)
    とを備え、 上記接点(126,128)は、隣合う該接点(126,
    128)の先端の一方が隣合う上記リブ間の谷内に入れ
    られ他方が上記第1接点支持構造体(122)の突出し
    たリブと位置を揃えて配置されており、 さらに、上記各接点案内・保持モジュール(120)
    は、突出したテーパー状のリブと隣合う該リブ間の谷と
    により形成される直線的なギヤ状歯(140)を有する
    第2接点支持構造体(124)を備え、 上記第1接点支持構造体(122)と上記第2接点支持
    構造体(124)の各歯が噛み合った状態で、一方の上
    記接点支持構造体のリブが他方の上記接点支持構造体の
    リブ間の谷の中に部分的に入り込み、上記接点の先端
    (142)を収容するとともに収容された該先端(14
    2)を案内するポケット(156)が、上記第1接点支
    持構造体(122)の谷と上記第2接点支持構造体(1
    24)の谷とに形成されたことを特徴とする試験ソケッ
    ト。
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