JPH0830801A - 図形処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 分割された図形に対して多角形化を用いず図
形の縮小が行なえる図形の縮小処理方法を提供する。 【構成】 図形ファイル１を図形の上下どちらの辺でソ
ートされているか判別する図形判別ステップ２で判別す
る。図形判別ステップ２での図形の判別結果に応じて図
形ファイル１を下辺ソート図形群処理ステップ３か上辺
ソート図形群処理ステップ４で図形処理を行なう。処理
した結果を図形ファイル５として出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩのレイアウト設計
におけるマスクパターンの図形演算処理などの、図形処
理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、ＬＳＩのマスクパターンデータを
レチクル板上に描画するには、マスクパターンデータと
して作成された様々な図形を、計算機上で各種の図形処
理を施し、その出力をマスク描画装置を用いてレチクル
板上に描画することにより作成する。計算機上で各種の
図形処理を行なう際、扱うデータ量が膨大である為、効
率良く図形処理を行なう必要がある。

【０００３】この図形処理の一手法としてスキャンライ
ン法がある。これは、図形の下方に位置する辺を基準と
して、図形群の下方にある辺より順番に昇順に図形を並
べ、走査線を下方から上方に移動させて、走査線と下方
に位置する基準となる辺が接した際に、接したから辺を
含む図形の処理を行ない、順次操作線を上方に移動さ
せ、各図形処理を行なった図形の上方に位置する辺と走
査線が接した時点で、図形処理を行なった図形を出力す
る方法である。

【０００４】このスキャンライン法を用いた図形処理方
法では、図形処理後出力される図形群の基準となる辺は
上方になる為、図形の基準となる辺を図形の下方に位置
する辺に変更し、昇順に並べ直す為ソートを行なう必要
がある。

【０００５】以下、図面を参照しながら、上記した従来
の図形処理方法の一例として、図形の下方に位置する辺
を基準として昇順にソートした図形の図形処理方法につ
いて説明する。

【０００６】図６は上記した従来の図形処理方法の構成
図を示すものである。図６において、６０は図形処理を
行なう図形群を収納した図形ファイル、６１は図形ファ
イル６０中の図形群を図形の下方に位置する辺を基準と
して昇順でソートする図形ソートステップ、６２は図形
の下方に位置する辺を基準として昇順でソートされたデ
ータの演算処理や拡大縮小処理を行なう図形処理ステッ
プ、６３は図形処理ステップ６２で図形処理を行なった
結果出力される図形群を収めた図形ファイルである。

【０００７】以上のように構成された図形処理方法につ
いて、以下にその動作を説明する。まず最初に図形ファ
イル６０を図形ソートステップ６１に入力し、図形ソー
トステップ６１は、図形ファイル６０に含まれる図形群
を図形の下方に位置する辺を基準として図形を昇順にソ
ートして図形処理ステップ６２に出力する。図形処理ス
テップ６２に入力された図形群は、図形処理ステップ６
２にて図形の下方に位置する辺の順番に昇順に図形処理
ステップ６２に取り込まれ、各種の演算処理や拡大縮小
処理を施され、図形の上方の辺を確認した時点で図形フ
ァイル６３に出力される。よって図形ファイル６３は、
図形の上方に位置する辺を基準として昇順にソートされ
た図形群で構成されている。再度、図形ファイル６３の
図形群を図形処理する際には、図形ソートステップ６１
にて図形の下方に位置する辺を基準として図形を昇順に
ソートした後、図形処理ステップ６２にて図形処理が施
される。

【０００８】なお、上記従来例では、図形処理ステップ
６２で扱う図形群を下方に位置する辺を基準に昇順でソ
ートされているデータとして説明したが、図形処理ステ
ップ６２で扱う図形群が、上方に位置する辺を基準で降
順にソートされているデータであった場合でも、図形処
理ステップ６２から出力される図形ファイルは、図形の
下方に位置する辺を基準にソートされて出力されるた
め、図形ソートステップ６１と同様に、図形群を図形の
上方に位置する辺を基準として降順でソートする図形ソ
ートステップが必要となる。

【０００９】また、従来の図形処理方法の内、図形縮小
処理の一例について、以下に説明する。

【００１０】図７は従来のマスクパターン作成時の図形
縮小処理を示すものである。図７において、７１は縮小
処理の対象となる分割図形データ、７２は分割図形デー
タ７１中の互いに接触した複数の図形を１つに連結する
図形連結ステップ、７３は図形連結ステップ７２により
生成された多角形を含む多角形データ、７４は多角形デ
ータ７３に縮小処理を実行する図形縮小ステップ、７５
は図形縮小ステップ７４の縮小処理により生成された縮
小多角形データ、７６は縮小多角形データ７５を矩形や
台形に分割して出力する図形分割ステップ、７７は図形
分割ステップ７６により生成された縮小分割図形データ
である。

【００１１】分割図形データ７１は、例えば図８（ａ）
に示すような図形であり、矩形や台形により構成されて
いる。縮小処理は図８（ａ）に示すような図形の外形に
対して実行する必要がある為、分割図形データ７１は、
図形連結ステップ７２によって図８（ｂ）に示すような
多角形データ７３に変換される。

【００１２】多角形データ７３は、図形縮小ステップ７
４によって縮小処理が実行され、図８（ｃ）に示すよう
な縮小多角形データ７５に変換される。

【００１３】マスクパターンには矩形や台形以外の図形
を含むことができないので、縮小多角形データ７５は、
図形分割ステップ７６によって、図８（ｄ）に示すよう
な矩形や台形の集合で構成される縮小分割図形データ７
７に変換され、マスクパターンを作成することが可能な
図形データが得られる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成の図形処理方法では、図形処理ステップで扱
える図形群の図形の基準とする位置が、常に、上方の辺
か下方の辺の何れか一方であり、図形処理ステップから
出力される図形群に含まれる図形は、図形処理で扱う図
形の基準となる位置の反対の位置を基準としてソートさ
れた図形群が出力されるので、図形処理ステップの前処
理、あるいは後処理として、図形処理ステップで扱える
図形の基準となる辺の位置の順番で、図形群をソートす
る図形ソートステップが必要となり、図形処理を行なう
際に常に図形ソートを行なわなければならないという問
題を有していた。

【００１５】また、図形縮小処理についても、分割図形
を一旦多角形図形に連結する必要がある為、本来不必要
な図形連結ステップや図形分割ステップが発生し、縮小
処理の効率が悪くなるとともに、上記の不必要なステッ
プから出力されたデータを記憶するための装置も必要に
なるという問題点を有していた。加えて、ＬＳＩのマス
クパターンには他の図形と互いに接している図形が多く
存在する為、図形連結ステップには多くの工数を必要と
するという問題点を有していた。

【００１６】そこで、本発明は工数の多い多角形化を行
わずに縮小処理を行うという点に新たに着目して、上記
した補間図形を導入することにより得られたものであ
る。

【００１７】従って本発明は上記従来の問題点を解決す
るもので、図形処理を行なう際に図形ソートを必要とし
ない図形処理方法を提供し、また、図形の縮小処理を行
なう際に、分割された図形に対して多角形化を行うこと
なく図形の縮小が実現できる図形の縮小処理方法を提供
するものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の図形処理方法は、図形処理の対象となる図
形群が図形の上辺でソートされたもの（以下、上辺ソー
ト図形群という）か図形の下辺でソートされたもの（以
下、下辺ソート図形群）かを判別する図形判別ステップ
と、図形の上辺でソートされた図形の処理を行なう上辺
ソート図形群処理ステップと、図形の下辺でソートされ
た図形の処理を行なう下辺ソート図形群処理ステップを
備えたものである。

【００１９】また、図形縮小方法は、処理対象の図形群
に含まれる互いに接触している図形間に補間図形を生成
する補間図形生成ステップと、前記処理対象の図形を縮
小幅だけ縮小する図形縮小ステップと、前記補間図形を
特定方向に前記縮小幅だけ縮小する補間図形縮小ステッ
プを備えたものである。

【００２０】

【作用】本発明は、上記した構成により、図形処理を行
なう際に、図形処理の対象となる図形群が図形の上辺で
ソートされている場合と下辺でソートされている場合
で、それぞれ別に図形処理を行なうことにより、図形ソ
ートを行なわず図形処理を行なうものである。

【００２１】また、図形の縮小処理を行う際には、互い
に接する図形の縮小処理の場合、生成された補間図形
が、図形の縮小によって発生した図形間のすき間を埋め
ることにより、図形の接続状態を保ったまま縮小処理を
実行することが可能となり、他の図形と接していない図
形の縮小処理の場合は、そのまま個々の図形を縮小処理
するので、任意の図形に対し、正確な縮小処理結果が得
られるものである。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。

【００２３】（実施例１）図１は本発明の第１の実施例
における図形処理方法の構成図である。

【００２４】図１において、１は図形処理の対象となる
図形群を含む図形ファイルであり、２は図形処理の対象
となる図形群に含まれる図形の基準となる辺が図形の上
方の辺か下方の辺かを判別する図形判別ステップであ
り、３は図形の下方に位置する辺を基準として昇順でソ
ートされた図形群の演算処理や拡大縮小処理を行なう下
辺ソート図形群処理ステップ、４は図形の上方に位置す
る辺を基準として昇順でソートされた図形群の演算処理
や拡大縮小処理を行なう上辺ソート図形群処理ステッ
プ、５は図形処理を行なった後出力される図形群を含む
図形ファイルである。

【００２５】以上のように構成された図形処理方法につ
いて、図１を用いてその動作を説明する。

【００２６】まず最初に、図形ファイル１に含まれる図
形群が図形の最も下方に位置する辺を基準にして昇順に
ソートしている場合、図形ファイル１に含まれる図形群
を図形判別ステップ２に入力し、図形判別ステップ２
は、図形ファイル１に含まれる図形の基準となる辺が図
形の上方の辺か下方の辺かを判別し、図形ファイル１に
含まれる図形群が図形の最も下方に位置する辺を基準に
して昇順にソートした図形群であるため、図形ファイル
１を下辺ソート図形群処理ステップ３に送る。図形ファ
イル１を入力した下辺ソート図形群処理ステップ３は、
図形ファイル１に含まれる図形群に対し、走査線を下方
から上方に移動させ、図形ファイル１に含まれる昇順に
ソートされた図形の下辺と走査線が接した時点で、走査
線と接した下辺を含む図形の図形処理を行ない、順次、
操作線を上方に移動させ、走査線と接触した下辺を含む
図形の図形処理を繰り返す。図形処理を行なわれた後の
図形は、図形処理を行なった図形の上方に位置する辺
と、下方から上方に移動する走査線が接した時点で、下
辺ソート図形群処理ステップ３から出力し、図形ファイ
ル５に収める。下辺ソート図形群処理ステップ３から出
力された図形ファイル１に含まれる図形は、下辺ソート
図形群処理ステップ３にて、走査線が図形の上辺と接し
た時点で出力されるため、図形の上方に位置する辺を基
準として昇順にソートされた図形として出力される。

【００２７】次に、図形ファイル１に含まれる図形が図
形の最も上方に位置する辺を基準にして昇順にソートし
ている場合、図形ファイル１に含まれる図形群を図形判
別ステップ２に入力し、図形判別ステップ２は、図形フ
ァイル１に含まれる図形の基準となる辺が図形の上方の
辺か下方の辺かを判別し、図形群ファイル１に含まれる
図形群が図形の最も上方に位置する辺を基準にして昇順
にソートした図形群であるため、図形ファイル１を上辺
ソート図形群処理ステップ４に送る。図形ファイル１を
入力した上辺ソート図形群処理ステップ４は、図形ファ
イル１に含まれる図形群に対し、走査線を上方から下方
に移動させ、図形ファイル１に含まれる降順にソートさ
れた図形の上辺と走査線が接した時点で、走査線と接し
た上辺を含む図形の図形処理を行ない、順次、操作線を
下方に移動させ、走査線と接触した上辺を含む図形の図
形処理を繰り返す。図形処理を行なわれた後の図形は、
図形処理を行なった図形の下方に位置する辺と、上方か
ら下方に移動する走査線が接した時点で、上辺ソート図
形群処理ステップ４から出力し、図形ファイル５に収め
る。上辺ソート図形群処理ステップ４から出力された図
形ファイル５に含まれる図形は、上辺ソート図形群処理
ステップ４にて、走査線が図形の下辺と接した時点で出
力されるため、図形の下方に位置する辺を基準として降
順にソートされた図形として出力される。

【００２８】以上のように本実施例によれば、図形処理
の対象となる図形ファイル１に含まれる図形の基準とな
る辺が図形の上方の辺か下方の辺かを判別する図形判別
ステップ２と、図形判別ステップ２で図形の基準となる
辺を判別した結果、図形ファイル１に含まれる図形が図
形の下方に位置する辺を基準として昇順でソートされた
図形群である場合に、図形処理を行なう下辺ソート図形
群処理ステップ３と、図形判別ステップ２で図形の基準
となる辺を判別した結果、図形ファイル１に含まれる図
形が図形の上方に位置する辺を基準として昇順でソート
された図形群である場合に、図形処理を行なう上辺ソー
ト図形群処理ステップ４を設けることにより、図形処理
の対象となる図形ファイルに含まれる図形の基準となる
辺が図形の上方の辺であっても下方の辺であっても、図
形ソートを行なう必要のない図形処理方法を実現するこ
とができる。

【００２９】（実施例２）図２は本発明の第１の実施例
における図形縮小方法を示すものである。図２におい
て、２１は縮小処理の対象となる分割図形データ、２２
は互いに接する図形間に補間図形を生成させる補間図形
生成ステップ、２３は分割図形データ２１に縮小処理を
実行する図形縮小ステップ、２４は補間図形に縮小処理
を実行する補間図形縮小ステップ、２５は上記の構成に
より出力された縮小分割図形データである。

【００３０】図３は本発明の第１の実施例における図形
縮小方法の流れを示すフローチャートである。図３にお
いて、ステップ３０は縮小処理の対象となる図形群を図
形の最も下方に位置する辺を基準にして昇順にソート
し、ステップ３１は走査線を最も下方にある未処理の辺
の位置に移動し、ステップ３２は走査線が図形の下方に
位置する辺と重なっているのかを判断し、ステップ３３
は図形情報をを保存し、ステップ３４は登録した図形が
他の図形と接するかを判断し、ステップ３５は補間図形
を生成し、ステップ３６は図形を縮小して出力し、ステ
ップ３７は出力した図形の下方に補間図形があるかどう
かを判断し、ステップ３８は補間図形を縮小して出力
し、ステップ３９は図形群を全て処理したかどうかを判
断する。

【００３１】以上のように構成された図形縮小方法につ
いて、以下図２及び図３及び図４及び図５を用いてその
動作を説明する。なお、図４、図５中でｆは図形、ｓは
辺を示している。

【００３２】まず最初に、ステップ３０によって処理対
象の分割図形データ２１は図形の最も下方に位置する辺
を基準にして昇順にソートされる。次にステップ３１に
よって走査線がｓ１の位置に移動する。ステップ３２に
より、ｓ１はｆ１の下方に位置する辺であるという判断
がなされるので、ｆ１の情報はステップ３３によって保
存される。次にステップ３４によって、ｆ１が他の図形
と接するかどうかの判定が行われる。ｆ１は現時点では
他の図形と接していないので、補間図形は生成されな
い。次にステップ３９により、データが終了かどうかの
判定が行われ、処理はステップ３１に移る。

【００３３】次に、ステップ３１によって走査線はｓ４
（ｆ２の下辺）の位置に移動する。ステップ３２によ
り、ｓ４はｆ２の下方に位置する辺であるという判断が
なされるので、ｆ２の情報はステップ３３によって保存
される。ここで、ｆ２はｆ１と接しているという判定が
ステップ３４によってなされるので、ステップ３５によ
って図４ｂに示すような補間図形ｆ３が生成される。補
間図形は、図形接触部分の端点にある２つの頂点を結ぶ
線分の両側に縮小量だけの幅を持たせた形状とする。補
間図形の端の形状は上記の頂点の角度に合わせて作成す
る。ステップ３４、３５は補間図形生成ステップ２２に
対応している。次にステップ３９により、データが終了
かどうかの判定が行われ、処理はステップ３１に移る。

【００３４】次に、ステップ３１によって走査線はｓ４
（ｆ１の上辺）の位置に重なる。ステップ３２により、
ｓ４はｆ１の上方に位置する辺であるという判定がなさ
れるので、ｆ１はステップ３６によって縮小され、出力
される。ｆ１の縮小図形は、ｆ１の各辺（ｓ１、ｓ２、
ｓ３、ｓ４）を縮小幅だけｆ１の内側に並行移動し、移
動した各辺の交点検索を行うことにより得られる。ステ
ップ３６は図形縮小ステップ２３に対応している。次に
ステップ３７により、ｆ１の下方には補間図形は存在し
ないという判定がなされるので、ステップ３９により、
次のデータの処理に移る。

【００３５】次に、ステップ３１によって走査線はｓ７
に移動する。ｓ７はｆ２の上方に位置する辺であるの
で、ｆ２はステップ３６によって縮小され、出力され
る。ｆ２の縮小図形は、ｆ２の各辺（ｓ４、ｓ５、ｓ
６、ｓ７）を縮小幅だけｆ２の内側に並行移動し、移動
した各辺の交点検索を行うことにより得られる。ここ
で、ステップ３７により、ｆ２の下方には補間図形ｆ３
が存在するという判定がなされるので、ｆ３はステップ
３８によって縮小され、出力される。この際、ｆ３は上
下方向には縮小されず、左右方向のみに縮小され、出力
される。ステップ３７、３８は補間図形縮小ステップ２
４に対応している。最後にステップ３９により、データ
は全て処理され、出力されたという判定がなされるの
で、縮小処理は終了し、縮小分割図形データ２５が得ら
れる。

【００３６】以上のように本実施例によれば、分割図形
に対して多角形化を行うことなく縮小処理を実行するこ
とが出来るので、従来行っていた図形連結ステップや図
形分割ステップが不要となり、少ない工数で高速に縮小
図形を得ることができる。

【００３７】なお、本実施例では、他の図形と接してい
る図形全てに補間図形を生成させる為、縮小処理の際に
結局消滅してしまう補間図形の処理が余分に必要とな
る。この場合は、予め図形間の接触区間の長さを調べ、
接触区間の長さが縮小量の２倍より長い図形間にだけ補
間図形を生成することにより、縮小処理の際に消滅する
補間図形を生成させずに済むため、工数の削減が実現さ
れる。

【００３８】また、処理対象となる分割図形は垂直な分
割線で分割されていてもよい。この場合は、補間図形の
縮小方向を左右方向から上下方向に変更する必要があ
る。水平な分割線により分割した図形数と、垂直な分割
線により分割した図形数を比較し、分割後の図形数がよ
り少なくなる分割線を用いることにより、処理すべき図
形数を減少させることができる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明の図形処理方法によ
れば、図形処理を行なう際に、図形処理の対象となる図
形群のソートを行ない図形群の並び換えをする必要がな
くなるので、高速な図形処理方法を提供することができ
る。

【００４０】また、図形縮小方法に関しては、分割図形
に対して多角形化を行うことなく図形縮小処理を実行す
ることができるので、少ない工数で高速に縮小図形を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における図形処理方法の
構成図

【図２】本発明の第２の実施例における図形縮小方法の
構成図

【図３】同実施例における図形縮小方法の流れを示すフ
ローチャート

【図４】同実施例における動作説明のためのマスクパタ
ーンを示す図

【図５】同実施例における動作説明のためのマスクパタ
ーンと補間図形を示す図

【図６】従来の図形処理方法の構成図

【図７】従来の図形縮小方法の構成図

【図８】従来の図形縮小方法における動作説明のための
マスクパターンを示す図

【符号の説明】

１ 図形ファイル ２ 図形判別ステップ ３ 下辺ソート図形群処理ステップ ４ 上辺ソート図形群処理ステップ ５ 図形ファイル ２１ 分割図形データ ２２ 補間図形生成ステップ ２３ 図形縮小ステップ ２４ 補間図形縮小ステップ ２５ 縮小分割図形データ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】図形の最も下方に位置する辺を基準にして
   昇順にソートされた図形群（以下、上辺ソート図形
   群）、または図形の最も上方に位置する辺を基準にして
   昇順にソートされた図形群（以下、下辺ソート図形群）
   を用いた図形処理方法であって、処理の対象となる図形
   群を入力する図形入力ステップと、前記入力された図形
   群が、上辺ソート図形群か下辺ソート図形群かを判別す
   る図形判別ステップと、前記図形判別ステップで、前記
   入力された図形群が上辺ソート図形群と判別された場
   合、前記入力された図形群の演算処理を行い出力する上
   辺ソート図形群処理ステップと、前記図形判別ステップ
   で、前記入力された図形群が下辺ソート図形群と判別さ
   れた場合、前記入力された図形群の演算処理を行い出力
   する下辺ソート図形群処理ステップとを備えた図形処理
   方法。
2. 【請求項２】上辺ソート図形群処理ステップが、入力さ
   れた図形群を降順に検索し図形処理を行なうことを特徴
   とする請求項１記載の図形処理方法。
3. 【請求項３】入力された図形群を昇順にソートする図形
   ソートステップを備え、図形判別ステップが、前記図形
   ソートステップから出力される昇順にソートされた図形
   群を入力とすることを特徴とする請求項１または２記載
   の図形処理方法。
4. 【請求項４】上辺ソート図形群処理ステップおよび下辺
   ソート図形群処理ステップにて扱う図形が、４頂点およ
   び３頂点であることを特徴とする請求項１〜３何れかに
   記載の図形処理方法。
5. 【請求項５】水平な分割線で４頂点以下の図形に分割さ
   れている図形群の縮小処理方法であって、前記図形群に
   含まれる互いに接触している図形間に補間図形を生成す
   る補間図形生成ステップと、前記図形群の図形を縮小幅
   だけ縮小する図形縮小ステップと、前記補間図形を特定
   方向に前記縮小幅だけ縮小する補間図形縮小ステップと
   を備えた図形縮小方法。
6. 【請求項６】補間図形生成ステップは、図形群に含まれ
   る図形どうしの接触区間の長さが、縮小幅の２倍以下で
   ある図形間には補間図形を生成しないことを特徴とする
   請求項５記載の図形縮小方法。
7. 【請求項７】図形縮小ステップ、および補間図形縮小ス
   テップが、図形群および補間図形の各辺を、縮小幅だ
   け、前記図形群に含まれる図形の内側に並行移動し、移
   動した前記各辺の交点検索を行うことにより縮小図形を
   得ることを特徴とする請求項６記載の図形縮小方法。