JPH08306990A - 安定型 レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ - Google Patents
安定型 レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダInfo
- Publication number
- JPH08306990A JPH08306990A JP7112715A JP11271595A JPH08306990A JP H08306990 A JPH08306990 A JP H08306990A JP 7112715 A JP7112715 A JP 7112715A JP 11271595 A JP11271595 A JP 11271595A JP H08306990 A JPH08306990 A JP H08306990A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror holder
- mirror
- laser resonator
- heat sink
- semi
- Prior art date
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- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】安定型レーザ共振器の半透過鏡の熱レンズ効果
を防ぎ，光学的操作時の困難性をなくす。 【構成】外側ミラーホルダ１の光路はレーザ光４の断面
形状に合わせた形とし，外側と内側ミラーホルダ１ａ，
１ｂをレーザ光路の妨げとならない範囲で可能な限り半
透過鏡２に接触させる。このため，ミラーホルダに設置
した冷却チャンネル５により，半透過鏡２にレーザ光４
が当たった部分の温度上昇が抑制され，熱レンズ効果を
防ぐことができる。
を防ぎ，光学的操作時の困難性をなくす。 【構成】外側ミラーホルダ１の光路はレーザ光４の断面
形状に合わせた形とし，外側と内側ミラーホルダ１ａ，
１ｂをレーザ光路の妨げとならない範囲で可能な限り半
透過鏡２に接触させる。このため，ミラーホルダに設置
した冷却チャンネル５により，半透過鏡２にレーザ光４
が当たった部分の温度上昇が抑制され，熱レンズ効果を
防ぐことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，ＣＯ2 レーザ，ＣＯレ
ーザ等のうち，特に高出力レーザ装置に適用されるヒー
トシンク付きミラーホルダに関する。
ーザ等のうち，特に高出力レーザ装置に適用されるヒー
トシンク付きミラーホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は，従来の安定型レーザ発振器の模
式図である。安定型レーザ発振器は，レーザ光の一部を
出力し，残りをすべて共振器に戻すために半透過鏡０２
を保有しているが，同半透過鏡０２を固定するためのミ
ラーホルダとして，従来はレーザ光を軸としたときの軸
に対称な円筒型のミラーホルダ０１を用いていた。
式図である。安定型レーザ発振器は，レーザ光の一部を
出力し，残りをすべて共振器に戻すために半透過鏡０２
を保有しているが，同半透過鏡０２を固定するためのミ
ラーホルダとして，従来はレーザ光を軸としたときの軸
に対称な円筒型のミラーホルダ０１を用いていた。
【０００３】図５は円筒型のミラーホルダ０１の断面図
である。同図において，外側ミラーホルダ０１ａと内側
ミラーホルダ０１ｂは，半透過鏡０２を挟んで固定して
いる。半透過鏡０２にレーザ光０４が当たった部分では
熱が発生しやすいが，この現象は大出力レーザ装置の場
合，特に顕著に現れる。このため，外側ミラーホルダ０
１ａの内側に溝を設け，同溝部分にヒートシンクとして
冷却チャンネル０５を設置し，同冷却チャンネル０５に
よって半透過鏡０２の温度上昇を防いでいる。
である。同図において，外側ミラーホルダ０１ａと内側
ミラーホルダ０１ｂは，半透過鏡０２を挟んで固定して
いる。半透過鏡０２にレーザ光０４が当たった部分では
熱が発生しやすいが，この現象は大出力レーザ装置の場
合，特に顕著に現れる。このため，外側ミラーホルダ０
１ａの内側に溝を設け，同溝部分にヒートシンクとして
冷却チャンネル０５を設置し，同冷却チャンネル０５に
よって半透過鏡０２の温度上昇を防いでいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図６に示すように，レ
ーザ光０４はアパーチャ０６を介して放電プラズマ中を
共振している。レーザ光の出力を増大させるために，通
常，アパーチャ０６を図７に示すように放電形状０８に
応じて偏平長穴にすることを行うが，その場合，レーザ
光０４の形状はアパーチャ０６の形によって決まるの
で，その断面も偏平になる。この偏平形状のレーザ光０
４が半透過鏡０２に入射すると，図８に示すように半透
過鏡０２においてレーザ光０４が当たって発熱する部分
も偏平形となるため，前記冷却チャンネル０５から発熱
部までの距離が不均一になる。
ーザ光０４はアパーチャ０６を介して放電プラズマ中を
共振している。レーザ光の出力を増大させるために，通
常，アパーチャ０６を図７に示すように放電形状０８に
応じて偏平長穴にすることを行うが，その場合，レーザ
光０４の形状はアパーチャ０６の形によって決まるの
で，その断面も偏平になる。この偏平形状のレーザ光０
４が半透過鏡０２に入射すると，図８に示すように半透
過鏡０２においてレーザ光０４が当たって発熱する部分
も偏平形となるため，前記冷却チャンネル０５から発熱
部までの距離が不均一になる。
【０００５】その結果，前記半透過鏡０２には温度分布
が生じ，同半透過鏡０２に熱レンズ効果と呼ばれる屈折
率の変化が発生する。半透過鏡０２に熱レンズ効果が起
こると，出力レーザ光０４の平行性がくずれて，レーザ
光を絞る等の光学的操作が困難になる。本発明は上記欠
点を解決することを目的とする。
が生じ，同半透過鏡０２に熱レンズ効果と呼ばれる屈折
率の変化が発生する。半透過鏡０２に熱レンズ効果が起
こると，出力レーザ光０４の平行性がくずれて，レーザ
光を絞る等の光学的操作が困難になる。本発明は上記欠
点を解決することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め，本発明は，安定型レーザ共振器の半透過鏡を固定す
る安定型レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ
において，同ミラーホルダの内孔をレーザ光路の妨げと
ならない範囲で小さくすることを特徴とする。
め，本発明は，安定型レーザ共振器の半透過鏡を固定す
る安定型レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ
において，同ミラーホルダの内孔をレーザ光路の妨げと
ならない範囲で小さくすることを特徴とする。
【０００７】また，前記ミラーホルダにおいて，内孔の
形状が偏平楕円形であることを特徴とする。
形状が偏平楕円形であることを特徴とする。
【０００８】
【作用】半透過鏡にレーザ光が当たって発生した熱が，
ミラーホルダに設置した冷却チャンネルに奪われやすく
なり，前記発熱部の温度上昇が抑制される。その結果，
半透過鏡の温度分布がなくなる。
ミラーホルダに設置した冷却チャンネルに奪われやすく
なり，前記発熱部の温度上昇が抑制される。その結果，
半透過鏡の温度分布がなくなる。
【０００９】
【実施例】以下，本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図３は本発明にかかる安定型共振器の模式図で
ある。レーザ光４の形状は共振器内の放電形状に応じて
長穴のアパーチャ６を用いて偏平楕円光に絞っている。
明する。図３は本発明にかかる安定型共振器の模式図で
ある。レーザ光４の形状は共振器内の放電形状に応じて
長穴のアパーチャ６を用いて偏平楕円光に絞っている。
【００１０】ミラーホルダ１の正面図を図１に，断面図
を図２に示す。ミラーホルダ１の光路は光形状に合わせ
て楕円形になっている。そして，外側ミラーホルダ１ａ
と内側ミラーホルダ１ｂは光路の妨げとならない範囲で
可能な限り半透過鏡２に接触している。このため，半透
過鏡２の発熱部の温度上昇が抑制され，温度分布を防ぐ
ことができる。従って，熱レンズ効果を防ぐことが可能
となる。
を図２に示す。ミラーホルダ１の光路は光形状に合わせ
て楕円形になっている。そして，外側ミラーホルダ１ａ
と内側ミラーホルダ１ｂは光路の妨げとならない範囲で
可能な限り半透過鏡２に接触している。このため，半透
過鏡２の発熱部の温度上昇が抑制され，温度分布を防ぐ
ことができる。従って，熱レンズ効果を防ぐことが可能
となる。
【００１１】
【発明の効果】半透過鏡の発熱部の温度上昇が抑制さ
れ，温度分布を防ぐことができ，熱レンズ効果を防ぐこ
とが可能となるので，光学的操作時の困難性をなくすこ
とができる。これは，発熱部の温度上昇が起こりやすい
高出力レーザにおいて，特に効果がある。
れ，温度分布を防ぐことができ，熱レンズ効果を防ぐこ
とが可能となるので，光学的操作時の困難性をなくすこ
とができる。これは，発熱部の温度上昇が起こりやすい
高出力レーザにおいて，特に効果がある。
【図１】本発明の一実施例にかかるミラーホルダの正面
図。
図。
【図２】本発明の一実施例にかかるミラーホルダの断面
図。
図。
【図３】本発明の一実施例にかかる安定型レーザ共振器
の模式図。
の模式図。
【図４】従来の安定型レーザ共振器の模式図。
【図５】従来のミラーホルダの断面図。
【図６】安定型レーザ共振器の模式図。
【図７】安定型レーザ共振器の横断面模式図。
【図８】従来のミラーホルダの正面図。
１，０１ ミラーホルダ １ａ，０１ａ 外側ミラーホルダ １ｂ，０１ｂ 内側ミラーホルダ ２，０２ 半透過鏡 ４，０４ レーザ光 ５，０５ 冷却チャンネル ０６ 円形アパーチャ ６ 楕円形アパーチャ ７，０７ 全反射鏡 ０８ 放電形状
Claims (2)
- 【請求項１】 安定型レーザ共振器の半透過鏡を固定す
る安定型レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ
において，同ミラーホルダの内孔をレーザ光路の妨げと
ならない範囲で小さくすることを特徴とする安定型レー
ザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ。 - 【請求項２】 内孔の形状が偏平楕円形であることを特
徴とする請求項１に記載の安定型レーザ共振器用ヒート
シンク付きミラーホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7112715A JPH08306990A (ja) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | 安定型 レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7112715A JPH08306990A (ja) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | 安定型 レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08306990A true JPH08306990A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14593710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7112715A Withdrawn JPH08306990A (ja) | 1995-05-11 | 1995-05-11 | 安定型 レーザ共振器用ヒートシンク付きミラーホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08306990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0853357A2 (en) * | 1997-01-08 | 1998-07-15 | TRW Inc. | Face-cooled optic cell for high-power laser |
-
1995
- 1995-05-11 JP JP7112715A patent/JPH08306990A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0853357A2 (en) * | 1997-01-08 | 1998-07-15 | TRW Inc. | Face-cooled optic cell for high-power laser |
| EP0853357A3 (en) * | 1997-01-08 | 1999-08-18 | TRW Inc. | Face-cooled optic cell for high-power laser |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |