JP3141600B2 - レーザー発振装置 - Google Patents
レーザー発振装置Info
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Description
り、特に、レーザー光発生用ロッドを効率よく冷却する
技術に関するものである。
ーザーにおいては、大出力化を図るために、離間した位
置で対向するリヤミラー及び出力ミラーの間に、複数の
レーザー光発生用ロッド(以下、ロッドと略す)を同一
光軸線上にカスケードに配列することが行なわれる。
ー光発生用ロッド)1の側方には、励起光を発生させる
アークランプ等の適宜数の励起ランプ2が配され、該励
起ランプ2の回りには、励起光を反射してロッド1に集
中照射するための反射筒3が配されている。そして、複
数のロッド1に、それぞれ励起光を当てることによって
レーザー光を発生させるとともに、前述の離間した位置
で対向するリヤミラー及び出力ミラーの間で往復させ、
発振状態とするものである。なお、図5において、符号
4はロッドホルダー、5は電極、6はランプホルダーで
ある。
ギーによって、ロッド1が加熱されてその温度が高くな
るために、熱膨張差の発生や内部応力による屈折率の変
化等に基づいて、光学的に凸レンズの性質を持つ熱レン
ズ効果と呼ばれる現象が起こり易い。このため、ロッド
1の間のレーザー光のパスと光軸線との平行状態が崩
れ、ロッド1の内部の発振に寄与する体積、レーザー体
積が減少する傾向を示して、発振効率が低下し易くな
る。
振装置にあって、ロッド1を低温状態に保持するために
は、ロッド1の回りに冷却水を流す等によってロッド1
を冷却することが望ましいが、カスケード配列されるロ
ッド間隔の増大を防止するように、ロッドホルダー4の
突出量を抑制しながら冷却水の供給を行なう必要がある
等の課題が残されている。
たもので、ロッドを効率良く冷却してレーザー発振特
性を安定させること、装置全体の小型化を可能とする
こと等を目的としている。
ために以下の提案をしている。レーザー光発生用ロッド
の端部がロッド用エンドプレートの貫通穴にロッドホル
ダーを介して挿入状態に取り付けられ、レーザー光発生
用ロッドの回りに環状冷却流路を形成するフローチュー
ブが配されるレーザー発振装置であって、ロッド用エン
ドプレートに貫通穴と連通状態に配される冷却水供給路
と、ロッドホルダーの外周部に形成され冷却水供給路に
接続させる環状凹部と、同じくロッドホルダーの外周部
に形成され前記環状凹部を環状冷却通路に接続させる接
続流路とを具備する構成を採用している。そして、これ
らの構成に、ロッドホルダーの接続流路が螺旋状に複数
並列に配される技術が付加される。
冷却水供給路から貫通穴に供給される。ロッドホルダー
の環状凹部において冷却水の周方向の均圧化が図られた
後、冷却水は接続流路を経由してロッドとフローチュー
ブとの環状冷却流路に送り込まれてロッドの冷却がなさ
れる。接続流路が螺旋状とされることによって冷却水が
螺旋状となり、ロッドと冷却水との接触性が高められ、
温度の均一化が図られる。
施例について、図1ないし図4に基づいて説明する。各
図において、符号11はケーシング、12はロッド用エ
ンドプレート、13はランプ用エンドプレート、14は
ロッドホルダー、15はフローチューブ、16は環状冷
却流路、17はサポート部材、18は締結手段、19は
ロッド押えスリーブ、20は押えリング、21は圧接リ
ング、22はシール部材、23は窪部である。
金属材料やセラミックス材料等によって形成され、その
内部に1本のロッド1と2個の励起ランプ2とを囲んで
発振用キャビテイを形成し、内面に光線の反射率を高め
るための金コーテイング等を施すか、あるいは反射率の
高い薄板を一体に貼付する等によって、図5例の反射筒
3の機能を有する反射面が形成される。
シング11と同様の材料等によって形成され、ケーシン
グ11の端部にロッド1の近傍開口を閉寒するように締
結手段18によって取り付けられる。そして、ロッド用
エンドプレート12には、中心部にロッド1及びそのロ
ッドホルダー14を挿入するための貫通穴12aが明け
られる。
シング11と同様の材料等によって形成され、ケーシン
グ11の端部に励起ランプ2のランプホルダー6を突出
させた状態で、その近傍開口を閉塞するように締結手段
18によって取り付けられる。
うに、フローチューブ15とロッド押えスリーブ19と
の間に介在状態に配され、ロッド1の端部外周を支持し
て位置の設定と固定とを行なうものであり、ロッド1に
外嵌め状態とされる内向フランジ部14aと、ロッド押
えスリーブ19が挿入されるテーパー穴14bと、ロッ
ド押えスリーブ19が螺合されるねじ部14cと、フロ
ーチューブ15の開口近傍の内周部に圧接させられるガ
イド部14dと、貫通穴12aと対向配置させられる環
状凹部14eと、該環状凹部14eの内方位置に配され
環状凹部14eを環状冷却流路16に接続状態とするた
めの接続流路14fと、環状凹部14eの外方位置に一
体形成される外向フランジ部14gとを有している。
ー14のロッド用エンドプレート12への取り付けによ
ってロッド1の回りに環状冷却流路16を形成するもの
である。
示すように、ロッド用エンドプレート12に対して一体
に配設され、その内部に貫通穴12aと連通状態の冷却
水供給路17aが形成される。
され、図2に示すように、ロッド用エンドプレート12
及びランプ用エンドプレート13の複数箇所に配され、
ケーシング11への固定を行なうものである。
すように、ロッドホルダー14のねじ部14cへの螺合
によって、先端部でシール部材22をロッド1と内部フ
ランジ14aとに密接状態に押し付けてシール性を得る
ようにしている。
方開口近傍のねじ部12bへの螺合によって、シール部
材22を貫通穴12aの内面と外向フランジ部14gと
に押し付けてシール性を得るとともに、、環状冷却流路
16の支持を行なうようにしている。
4の貫通穴12aへの挿入時に拡径されることにより、
ロッドホルダー14の芯出しと貫通穴12aの内壁を経
由する漏洩路の形成の抑制とを行なうようにしている。
4fについて説明する。図3例は、接続流路14fが螺
旋状に傾斜した複数のガイドフィン14hの間に形成さ
れるもの、図4例は、接続流路14fが鍔部14iに螺
旋状に明けられた複数の小孔によって形成されるものを
示している。
への冷却水の供給について説明する。なお、図1等にあ
っては、冷却水供給路17a等が往路分しか記載されて
いないが、ロッド1の他端部にも同様のもの、つまり、
排水用途のものが設けられる。
よってロッド用エンドプレート12の貫通穴12aとロ
ッドホルダー14の環状凹部14eとの環状空間に冷却
水が送り込まれると、周方向に導かれることによって冷
却水の周方向の均圧化が図られる。そして、冷却水は、
環状凹部14eから接続流路14fを経由して複数並列
状態で環状冷却流路16に送り出されるが、接続流路1
4fが螺旋状であることにより、環状冷却流路16の内
部でも螺旋状に流れ、ロッド1と冷却水との接触性が高
められるとともに、螺旋回転によってロッド1の周方向
の温度の均一化が図られることになる。
14f、環状冷却流路16を挿通することにより、ロッ
ド用エンドプレート12、ロッドホルダー14等の冷却
も行なわれることになる。
びロッド用エンドプレート12の両側部にV溝状の窪部
23が形成されて、ケーシング11及びロッド用エンド
プレート12を一体化したユニットを90度向きを変え
て直列配置するようにしているが、図1例にあっては、
ロッドホルダー14の突出程度がロッド用エンドプレー
ト12の面に合わせて設定されており、ランプホルダー
6の突出部分を考慮してカスケード配列することが可能
となる。
ば、以下のような効果を奏する。 (1) ロッドの端部がロッド用エンドプレートの貫通
穴にロッドホルダーを介して取り付けられ、ロッドの回
りに環状冷却流路が形成されるとともに、ロッド用エン
ドプレートに冷却水供給路が配され、ロッドホルダーの
外周部に環状凹部及び接続流路が形成されるものである
から、ロッドホルダーの外径寸法の増大を抑制しなが
ら、冷却水を環状冷却流路に周方向の均圧化を図りなが
ら送り込むことができる。 (2) 接続流路が螺旋状に配されることにより、ロッ
ドの回りに冷却水の螺旋流を生じさせて、ロッドをむら
なく冷却してロッド内部の温度差の発生を抑制し、安定
したレーザー発振を行なうことができる。 (3) ロッドホルダーやロッド用エンドプレート等の
冷却を行なうことにより、ロッド取り付け箇所の熱変形
を低減することができる。 (4) ロッドホルダーと貫通穴とを利用して冷却水を
供給することにより、冷却に係る箇所の寸法を増加を抑
制し、冷却効果と相まって装置全体の小型化を達成する
ことができる。
す一部を省略した正断面図である。
す側面図である。
面図である。
す正面図である。
ランプホルダーの部分の従来例を示す正断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザー光発生用ロッドの端部がロッド
用エンドプレートの貫通穴にロッドホルダーを介して挿
入状態に取り付けられ、レーザー光発生用ロッドの回り
に環状冷却流路を形成するフローチューブが配されるレ
ーザー発振装置であって、 ロッド用エンドプレートに貫通穴と連通状態に配される
冷却水供給路と、 ロッドホルダーの外周部に形成され冷却水供給路に接続
させる環状凹部と、 同じくロッドホルダーの外周部に形成され前記環状凹部
を環状冷却通路に接続させる接続流路と、 を具備することを特徴とするレーザー発振装置。 - 【請求項2】 ロッドホルダーの接続流路が螺旋状に複
数並列に配されることを特徴とする請求項1記載のレー
ザー発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2305193A JP3141600B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | レーザー発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2305193A JP3141600B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | レーザー発振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06237030A JPH06237030A (ja) | 1994-08-23 |
JP3141600B2 true JP3141600B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=12099651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2305193A Expired - Fee Related JP3141600B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | レーザー発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3141600B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187813A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-30 | Toshiba Corp | 固体レーザ発振器 |
JP2002009371A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザキャビティ |
-
1993
- 1993-02-10 JP JP2305193A patent/JP3141600B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06237030A (ja) | 1994-08-23 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222 Year of fee payment: 9 |
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