JPH08306009A

JPH08306009A - 磁気ヘッドおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH08306009A
Application number: JP13730095A
Authority: JP
Inventors: Tomoo Otsuka; 智雄大塚; Toshio Uehara; 敏夫上原; Masahiro Iizuka; 雅博飯塚; Kenji Shiga; 健治志賀; Takashi Sato; 隆佐藤
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1995-05-10
Filing date: 1995-05-10
Publication date: 1996-11-22

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気ヘッドの摺動面に磁気テープの磁粉が付
着しにくいようにし、磁粉の付着によるヘッド特性の劣
化を抑制する。【構成】シールド板２ａ，２ｂとコア３との間に現れ
る樹脂層５の表面を、イオンエッチングなどの工程で掘
り込み、シールド板２ａ，２ｂおよびコア３の表面Ｓ１
と、樹脂層５の表面Ｓ２との間に段差量Ｄを設定する。
樹脂層５の表面Ｓ２を後退させておくことにより、樹脂
層５と磁気テープとが接触する確率を低下させ、磁粉が
磁気ヘッドの摺動面に付着しにくくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気テープなどの磁気
記録媒体と摺動する摺動面に、コアおよびシールド板を
保持する樹脂層が現れている磁気ヘッドに係り、特に摺
動面に磁粉が付着しにくいようにして記録または再生特
性を向上させた磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図８は、ステレオカセットテーププレー
ヤに用いられる磁気ヘッドを示す斜視図、図９は前記磁
気ヘッドの摺動面Ｈａの中心部分を示す部分拡大斜視図
である。この種の磁気ヘッドＨは、シールドケース１と
シールド板２ａ，２ｂがそれぞれソフトパーマロイ（Ｆ
ｅ−Ｎｉ−Ｍｏ）により形成され、磁気ギャップＧを形
成するコア３がハードパーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｎｂ）
の積層材により形成されている。図９に示すように、前
記シールド板２ａおよびシールド板２ｂ，２ｂは、それ
ぞれの両側面部分に、磁気絶縁のための非磁性材料の磁
気絶縁層４，４，…が形成されている。この絶縁層４
は、例えばＣｕ−Ｎｉ系合金などにより形成されてい
る。

【０００３】前記シールド板２ａ，２ｂおよびコア３
は、エポキシ系の樹脂層５によって、シールドケース１
内に固定されている。磁気ヘッドＨの磁気テープＴ（磁
気記録媒体）との摺動面Ｈａでは、中央のシールド板２
ａとのその両側のコア３とで挟まれた領域（イ）、シー
ルド板２ｂ，２ｂとその両側のコア３とで挟まれた領域
（ロ）、およびシールド板２ａ，２ｂとコア３の周囲と
シールドケース１に形成された窓１ａの周縁とで囲まれ
た領域（ハ）のそれぞれにおいて、樹脂層５が現れてい
る。また図８に示すように、シールドケース１の両側面
には、テープガイド部材６が取り付けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この種の磁気ヘッドで
は、磁気記録媒体との摺動面Ｈａに磁気テープの磁粉が
付着しやすいという欠点がある。磁気テープＴは、ポリ
エステルなどのベースフィルムに磁性層が形成され、こ
の磁性層は、例えばγ−Ｆｅ₂Ｏ₃などの磁粉の微粒子と
バインダーなどにより形成されている。磁気テープＴが
磁気ヘッドＨの摺動面Ｈａを摺動するときに、前記磁粉
とバインダーとが削り取られ、これが摺動面Ｈａに付着
する。特に高温高湿度の環境下では、磁気テープＴのバ
インダが溶融し磁粉がベースフィルムから剥がれやすく
なる。

【０００５】摺動面Ｈａでは、特に、領域（イ）（ロ）
（ハ）に現れている樹脂層５の表面に磁粉が付着しやす
い。すなわち、磁気テープＴが摺動面Ｈａを摺動すると
きに、磁気テープＴのバインダおよび磁粉が樹脂層５の
表面に密着しこれにより磁粉がベースフィルムから剥が
れ、ベースフィルムから剥離した磁粉がそのまま樹脂層
５の表面に付着しやすい。また磁気ヘッドＨの摺動面Ｈ
ａでの樹脂層５が現れている領域以外でも磁気テープか
ら磁粉が剥離されることがあり、この現象は磁気ヘッド
Ｈ以外の例えばキャプスタンの部分でも生じる。これら
の各箇所で剥離された磁粉は、磁気テープＴと共に樹脂
層５が現れている領域に運ばれ、樹脂層５が現れている
領域（イ）（ロ）（ハ）の各部分に磁粉が付着しやすく
なる。

【０００６】図８に示すように、磁気ヘッドＨの摺動面
Ｈａにて磁気ギャップＧが形成されている部分の両側に
溝７，７が形成されているものでは、ハッチングで示す
表面に磁気テープが摺動することになるが、このような
磁気ヘッドでは、溝７と溝７で囲まれた中央の部分に
て、樹脂層５の表面に磁粉が付着しやすくなる。磁気ヘ
ッドの摺動面Ｈａに磁粉が付着すると、磁気ギャップＧ
が形成されている部分と磁気テープとのスペーシングロ
スが大きくなり、記録または再生時のヘッド特性が劣化
し、例えば再生時の周波数特性（Ｆ特）が劣化すること
になる。

【０００７】また、磁気ヘッドＨの摺動面Ｈａの摩耗を
防止し、同時に摺動面Ｈａへの磁粉の付着を防止するた
めに、摺動面Ｈａに耐摩耗性材料の保護膜を形成するこ
とが考えられている。この保護膜は、摺動面Ｈａにて、
シールドケース１、シールド板２ａ，２ｂ、コア３およ
び樹脂層５の表面の全域に形成される。この保護膜を設
けることにより、磁気ヘッドＨの耐摩耗性を向上でき、
併せて摺動面Ｈａでの磁粉の付着を抑制できる。しか
し、保護膜はスペーシングロスとの関係で余り厚くでき
ず、膜厚は５００〜１５００オングストローム程度が上
限である。そのため、保護膜が形成されていても、その
下地となる材質により磁気テープの摺動特性が影響を受
け、保護膜が形成されていたとしても、樹脂層５の部分
で磁粉が付着しやすいという問題が残されたままであ
る。

【０００８】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、保護膜が形成されまたは保護膜が形成されていな
いいずれの場合であっても、摺動面で樹脂層が現れてい
る部分に磁気記録媒体からの磁粉が付着しにくいように
した磁気ヘッドを提供することを目的としている。

【０００９】また本発明は、磁粉が付着しにくい構造の
磁気ヘッドを従来のイオンエッチング技術を利用して製
造できるようにした磁気ヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
は、コアおよびシールド板がシールドケース内で樹脂層
により保持され、磁気記録媒体との摺動面に、前記コア
とシールド板および樹脂層が現れている磁気ヘッドにお
いて、前記摺動面に現れている樹脂層の表面が、コアお
よびシールド板の表面よりもシールドケース内方へ後退
していることを特徴とするものである。なお、シールド
板は、その両側面に磁気絶縁層が形成されているのが一
般的である。

【００１１】上記の樹脂層は、各シールド板とコアとの
間、およびコアまたはシールド板とシールドケースに囲
まれた領域に現れているものであり、摺動面に現れてい
る樹脂層の表面全域が、シールド板とコアおよびシール
ドケースの表面から段差を介して後退したものとなる。

【００１２】また、上記において、少なくともコアとシ
ールド板および樹脂層の表面が保護膜により被覆されて
いることが好ましい。

【００１３】摺動面での磁粉の付着の抑制を効果的とす
るためには、前記保護膜が設けられていないものでは、
コアおよびシールド板の表面と、樹脂層の表面との段差
量が０．４μｍ以上であることが望ましく、保護膜が設
けられているものでは、前記段差量が０．２μｍ以上で
あることが望ましい。なお、前記各段差量は、例えば一
般的な触針式表面粗さ計を使用し、針圧１００ｍｇｆ、
針先２μｍＲの触針を用いて測定した場合である。

【００１４】次に、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
コアおよびシールド板がシールドケース内で樹脂層によ
り保持され、磁気記録媒体との摺動面に、前記コアとシ
ールド板および樹脂層が現れている磁気ヘッドにおい
て、イオンエッチングにより、摺動面に現れている樹脂
層の表面を掘って、樹脂層の表面をコアおよびシールド
板の表面よりもシールドケース内方へ後退させることを
特徴とするものである。

【００１５】上記イオンエッチングは、磁気ヘッドの摺
動面にイオンを当てて樹脂層の表面を削るものであり、
例えば逆スパッタ現象を利用したもの、またはイオンガ
ンを利用したものなどを例示できる。

【００１６】

【作用】本発明の磁気ヘッドでは、磁気テープなどの磁
気記録媒体との摺動面において、シールド板とコアとの
間、およびシールド板およびコアとシールドケースとの
間に現れている樹脂層を、シールド板とコアさらにはシ
ールドケースの表面よりも後退させるように掘り込んで
いる。したがって、摺動面にて磁気記録媒体が樹脂層の
表面と当たる確率が低下し、摺動面にて、磁気記録媒体
と樹脂層とが密着しにくくなり、樹脂層により磁気記録
媒体の磁粉が剥離されることが生じにくくなる。また、
樹脂層が現れている部分以外での磁気ヘッドの面、また
は磁気ヘッド以外の部材により磁気記録媒体から磁粉が
剥離された場合にも、磁粉が樹脂層の現れている部分に
付着しにくくなる。したがって、磁粉の付着によるスペ
ーシングロスの増大を防止でき、周波数特性の劣化など
を防止できるものとなる。

【００１７】また、磁気ヘッドの摺動面に保護膜を形成
することにより、摺動面の摩耗を抑制でき、且つ磁粉の
付着も抑制できる。保護膜は、ＣｒＮ、ＢＮ、ＤＬＣ
（ダイヤモンドライクカーボン）またはＡｌ₂Ｏ₃などの
ように、硬質で磁気記録媒体との摺動特性がよく、さら
に磁気ヘッド表面との密着性のよい材料により形成され
る。

【００１８】上記保護膜は５００〜１５００オングスト
ローム程度の膜厚にて形成されるが、この程度の膜厚の
保護膜は、その下地となる材質の影響を受けやすく、保
護膜が形成されていても、樹脂層の領域での磁粉の付着
を完全に防止することはできない。そこで、保護膜が形
成されている場合において、樹脂層の表面をコアやシー
ルド板の表面よりも後退させておくことにより、樹脂層
の領域にて保護膜の表面に磁粉が付着するのを従来より
も抑制できるものとなる。すなわち、樹脂層の表面を後
退させ、さらに摺動面（少なくともコアとシールド板と
樹脂層の表面）に保護膜を形成することにより、摺動面
での磁粉の付着をさらに有効に抑制でき、同時に摺動面
でのコアやシールド板さらには樹脂層の摩耗を有効に防
止できるようになる。

【００１９】摺動面に上記の保護膜を形成している場合
と保護膜を形成していない場合の双方において、摺動面
での樹脂層の表面と、コアおよびシールド板の表面との
段差量が大きいほど、樹脂層の部分に磁粉が付着しにく
くなる。これは図２に示す実験データでも明らかであ
る。図２は悪条件下での実験データであり、この条件下
では、摺動面に磁粉の付着が確認されるまでの時間が、
２００時間以上であれば実用上問題はない。よって、保
護膜が形成されていない場合には、シールド板およびコ
アの表面と、樹脂層の表面との段差量が０．４μｍ以上
であることが好ましい。またＣｒＮの保護膜が１０００
オングストロームの膜厚にて形成されている場合には、
段差量は０．２μｍ以上であることが好ましい。

【００２０】なお、磁気ヘッドの製造工程では、シール
ドケース内に、コアとシールド板とが樹脂層で固定され
た後に、ヘッド表面が研磨されて摺動面が形成される。
従来の製造工程では、この研磨作業の際に、樹脂層の表
面が、コアおよびシールド板の表面からやや突出するこ
とがあり、逆に樹脂層がやや後退することがあり得る。
従来の磁気ヘッドでの樹脂層表面と、コアおよびシール
ド板の表面との段差量の公差は、最大で０．２μｍ程度
である。すなわち、従来の磁気ヘッドでも、かなり低い
確率ではあるが、樹脂層の表面が、コアおよびシールド
板の表面よりも後退するものが生じる。ただし、前記公
差が最大となったものであっても、樹脂層の表面と、コ
アおよびシールド板の表面との段差は０．２μｍが上限
である。図２から、段差量がこの公差内の磁気ヘッドで
は、摺動面に磁粉が付着しやすいものであることが解
る。本発明の磁気ヘッドは、樹脂層の表面と、コアおよ
びシールド板の表面との段差量が。上記公差範囲以上の
０．２μｍ以上または０．４μｍ以上となるように、樹
脂層を削り、磁粉の付着による弊害を改善したものであ
る。

【００２１】上記磁気ヘッドは、イオンエッチング工程
により形成することが可能である。その工程は、シール
ドケース内に、コアおよびシールド板を樹脂層により固
着し、さらに摺動面を研磨した後に、逆スパッタ現象を
利用し、またはイオンガンを使用して、磁気ヘッドの前
面に対しほぼ均一にイオンを当てる。なおこのとき、原
則的には磁気ヘッドの表面にレジスト膜を形成すること
は不要である。上記のイオンの衝撃により、有機材料で
形成されている樹脂層の表面が、これよりも硬質のシー
ルド板、コアおよびシールドケースよりも、大きく削ら
れ、その結果、樹脂層の表面が、コアおよびシールド板
の表面よりも深くなるように掘り込まれる。

【００２２】樹脂層の表面と、コアおよびシールド板の
表面との段差量は、イオンエッチングの精度により決め
られ、例えばグロー放電などを生じさせる電力とエッチ
ング時間とで制御できる。この精度すなわち段差量の寸
法は５％以内の誤差（公差）にて制御可能である。

【００２３】また、磁気ヘッドの摺動面に保護膜を形成
する場合、従来は摺動面を液体洗浄などにより処理して
いたが、上記のイオンエッチングでは、樹脂層以外の表
面がイオンにより叩かれ、イオン洗浄が行われるため、
他の洗浄工程を用いることなく、保護膜の形成工程に移
行できる。

【００２４】

【実施例】図１は、本発明による磁気ヘッドの主要部を
示す拡大断面図であり、図９のＩ−Ｉ線の断面図（磁気
ギャップＧ付近の縦断面図）である。磁気ヘッドＨの構
造は、シールドケース１とシールド板２ａ，２ｂがそれ
ぞれソフトパーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ）により形成
され、磁気ギャップＧを形成するコア３がハードパーマ
ロイ（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｎｂ）の積層材により形成されてい
る。前記シールド板２ａおよびシールド板２ｂ，２ｂ
は、それぞれの両側面部分に、磁気絶縁のための非磁性
材料の磁気絶縁層４，４，…がそれぞれ形成されてい
る。この絶縁層４は、例えばＣｕ−Ｎｉ系合金などによ
り形成される。

【００２５】前記シールド板２ａ，２ｂおよびコア３
は、エポキシ系の樹脂層５によって、シールドケース１
内に固定されているが、磁気ヘッドＨの磁気テープＴ
（磁気記録媒体）との摺動面では、中央のシールド板２
ａとのその両側のコア３とで挟まれた領域（イ）、シー
ルド板２ｂ，２ｂとその両側のコア３とで挟まれた領域
（ロ）、およびシールド板２ａ，２ｂとコア３の周囲と
シールドケース１に形成された窓１ａの周縁とで囲まれ
た領域（ハ）のそれぞれが、樹脂層５の露出部となって
いる。

【００２６】図１に示すように、この磁気ヘッドでは、
前記（イ）（ロ）（ハ）の領域において、樹脂層５の表
面Ｓ２が、シールド板２ａ，２ｂおよびコア３の表面Ｓ
１よりも段差量Ｄだけシールドケース１の内方へ後退し
ている。その結果、磁気ヘッドＨの摺動面Ｈａにて、磁
気テープＴと樹脂層５の表面Ｓ２とが直接に接触しにく
くなり、磁気テープＴの磁粉およびバインダなどが樹脂
層５の表面Ｓ２に付着しにくくなる。

【００２７】図２は、図８に示すような摺動面に溝７，
７が形成されている磁気ヘッドにおいて前記段差量Ｄ
と、磁粉の付着状態との関係を測定した実験データを示
している。図２において横軸は、段差量Ｄを単位（μ
ｍ）で示し、縦軸は、磁気ヘッドＨの摺動面Ｈａのいず
れかの部分に、磁粉の付着が確認されるまでのテープ走
行時間を示している。

【００２８】上記段差量Ｄの測定には、一般的な触針式
表面粗さ計を使用した。触針の針先は２μｍＲ（半径２
μｍのほぼ球面）で、針圧は１００ｍｇｆとした。図５
は、触針式表面粗さ計により磁気ヘッドＨの摺動面Ｈａ
を測定したときの出力波形を示している。図５での測定
波形では、段差量Ｄの最小値がほぼ０．４μｍで、最大
値がほぼ０．７μｍである。図２の横軸は、個々の磁気
ヘッドでの各段差部の測定値の平均値をとったものであ
る。また段差量Ｄの測定は室温において行なった。

【００２９】磁気テープは市販のγ−Ｆｅ₂Ｏ₃を磁粉と
したものであり、新品のカセットテープを使用した。磁
気ヘッドＨは、後述のイオンエッチング工程を用いて樹
脂層５の表面を掘り込んだものであるが、イオンエッチ
ング工程の制御により、前記掘り込みによる段差量Ｄを
変えたものを複数種類用意した。すなわち、同じ構造の
磁気ヘッドで、前記段差量Ｄを９種類にて変えたものを
２個ずつ製造し、２個のうちの一方にのみ、磁気ヘッド
Ｈの前面の全領域に保護膜としてＣｒＮを１０００オン
グストロームの膜厚にて成膜した。これらの磁気ヘッド
を同種のカセットテーププレーヤに搭載し、磁気テープ
を磁気ヘッドに摺動させて走行させた。環境は、温度６
５℃、相対湿度５０％とした。

【００３０】そして、テープ走行を開始させたのちに摺
動面に磁粉の付着が確認されるまでの時間をプロットし
た。□印は、摺動面に前記保護膜が形成されていないも
の、◇印は、摺動面に前記保護膜が形成されているもの
である。図２では、摺動面にＣｒＮの保護膜が形成され
ている磁気ヘッドと、保護膜が形成されていない磁気ヘ
ッドにおいて、共に前記段差量Ｄが大きくなるにしたが
って、磁粉の付着が確認されるまでに要する時間が長く
なるのが解る。

【００３１】前記実験条件は、最も磁粉が付着しやすい
磁気テープであるγ−Ｆｅ₂Ｏ₃を使用し、また環境も温
度６５℃で相対湿度５０％の悪環境で行なっているが、
この環境下では、磁粉の付着が確認されるまでの時間が
２００時間以上であることが実用上の最低条件である。
摺動面に保護膜が形成されていない磁気ヘッドにおい
て、磁粉の付着が確認されるまでのテープ走行時間が２
００時間以上となる条件は、前記段差量Ｄが０．４μｍ
以上である。さらに好ましくは０．５μｍまたは０．６
μｍ以上であり、段差量Ｄが０．８ないし１．０μｍ以
上であれば、磁粉の付着が確認されるまでのテープ走行
時間を３００時間以上にて安定させることができる。

【００３２】また、磁気ヘッドの摺動面にＣｒＮの保護
膜が１０００オングストロームの膜厚にて形成されてい
る場合には、前記段差量Ｄを０．２μｍ以上とすること
により、磁粉の付着が確認されるまでのテープ走行時間
を２００時間以上にでき、また段差量Ｄを０．３μｍ以
上とすることがさらに好ましく、段差量Ｄを０．８ない
し１．０μｍ以上とすることにより、磁粉の付着が確認
されるまでのテープ走行時間を４００時間以上に安定さ
せることができる。また、図２から、ＣｒＮの保護膜を
成形すると、保護膜が形成されていないものに対し、段
差量Ｄを０．１５μｍ程度大きくしたのと同等の磁粉付
着防止効果を達成できることが解る。

【００３３】次に、図３は横軸に環境温度をとり、縦軸
に磁気ヘッドの摺動面からの樹脂の突出量を示したもの
である。この実験では、磁気ヘッドの摺動面にて、シー
ルド板２ａ，２ｂおよびコア３の表面Ｓ１と樹脂層５の
表面Ｓ２との段差量Ｄが０のものを比較例とし、また前
記段差量Ｄが１μｍのものを実施例とした。この比較例
と実施例は、摺動面に保護膜をコーティングしていない
ものを使用した。

【００３４】上記比較例および実施例の磁気ヘッドを８
０℃、８５℃、９０℃、…のように５℃ごとに高くなる
温度環境下に置き、それぞれの温度環境にて、摺動面か
ら樹脂層５が突出する寸法（μｍ）を測定した。図３で
は、段差量Ｄを０とした比較例の樹脂突出量の測定値を
□印で示し、段差量Ｄを１μｍとしたものを＋印で示し
ている。この実験において、加熱前の比較例および実施
例での段差量Ｄの測定は、室温において、図２に示す測
定結果を求めたときと同様にして行なった。また加熱後
の樹脂突出量の測定は、加熱された比較例と実施例を室
温環境下に戻し、一定時間放置した後に図２に示した測
定と同じ触針式表面粗さ計により行なった。また段差量
Ｄおよび樹脂突出量の測定値は、各樹脂層部分での測定
値の平均値とした。

【００３５】この実験によると、シールド板２ａ，２ｂ
およびコア３の表面Ｓ１と、樹脂層５の表面Ｓ２との段
差量Ｄを設けることによって、高温環境下において摺動
面での樹脂突出を抑制できることが解る。前記段差量Ｄ
が０の磁気ヘッドでは、温度が９０℃以上となると摺動
面から樹脂が突出し始め、１１０℃以上で樹脂突出量が
顕著になる。一方、段差量Ｄを１μｍとした実施例で
は、１３０℃の高温になるまで樹脂の突出が始まらず、
１４０℃以上で樹脂突出量が顕著になることが解る。

【００３６】以上から、段差量Ｄを設けた磁気ヘッド
は、車載用のテーププレーヤのように高温環境下におか
れる装置に使用された場合に、摺動面での樹脂突出を抑
制でき、樹脂突出によるスペーシングロスが生じにくい
ことが解る。

【００３７】さらに図４は、シールド板２ａ，２ｂおよ
びコア３の表面Ｓ１と、樹脂層５の表面Ｓ２とに段差量
Ｄを設けることによる周波数特性（Ｆ特）への影響を調
べた結果を示している。実験試料としては、図８に示す
構造の磁気ヘッドで、摺動面を研磨した新品のもの１０
００個を比較例とした。同じく新品の磁気ヘッドの摺動
面に後述のイオンエッチングを施し、図１に示す段差量
Ｄのねらい値を１μｍとなるように樹脂層５の表面を掘
り込み加工したもの１０００個を実施例とした。

【００３８】上記各磁気ヘッドを同種のテーププレーヤ
に搭載し、常温環境下にてテストテープからの磁気信号
を再生させ、その周波数特性の分布（Ｆ特分布）を測定
した。すなわち、１２．５ｋＨｚの信号の再生出力と３
１５Ｈｚの信号の再生出力との差が、規格値の８．５ｄ
ＢであるものをＦ特の０ｄＢとし、磁気ヘッドで測定し
た１２．５ｋＨｚと３１５Ｈｚの再生出力差と、前記規
格値８．５ｄＢとの差をＦ特として横軸にとったもので
ある。図４では、各Ｆ特のそれぞれの値に分布する比較
例（Ｄ＝０）の個数を右上がりハッチングの棒線で示
し、実施例（Ｄ＝１μｍ）の個数を左上がりのハッチン
グの棒線で示している。

【００３９】図４から、摺動面を研磨しただけの従来の
磁気ヘッド（比較例）では、Ｆ特が劣化しているものの
分布が大きく、これは製造直後の磁気ヘッドにおいて摺
動面から樹脂が突出しているものが多いことを意味して
いる。一方、後述のイオンエッチングにより予め樹脂層
５の表面Ｓ２を掘り込んだものでは、樹脂層が摺動面か
ら突出するものがなく、Ｆ特の分布が安定していること
が解る。

【００４０】次に、図６と図７は、図１に示すような段
差量Ｄを設けた磁気ヘッドの製造方法を示すものであ
る。この磁気ヘッドは、イオンエッチング工程により製
造できる。図６は逆スパッタ現象を利用したもの、図７
はイオンガンを利用したものである。図６に示すもので
は、真空チャンバ１１内に、陰極１２と陽極１３を平行
に対向させ、陰極１２上に磁気ヘッドＨを設置する。磁
気ヘッドＨの摺動面Ｈａは陽極１３に向けられる。真空
チャンバ１１には導入口１４から、アルゴン（Ａｒ）ガ
ス、アルゴンと酸素（Ｏ₂）の混合ガス、またはアルゴ
ンと窒素（Ｎ₂）の混合ガスが導入される。排気口１５
には真空ポンプが接続されて真空チャンバ１１内が所定
の低圧値に設定される。陰極１２は、チャンバ１１と絶
縁体１６により電気的に絶縁される。また、高周波電源
１７のマイナス側が、ブロッキングコンデンサ１８を介
して陰極１２に接続されている。または、陰極１２に高
圧の直流電源のマイナス側が接続される。

【００４１】図６に示す装置では、陽極１３と陰極１２
の間でにグロー放電によるプラズマが生成され、アルゴ
ンなどの正イオンが陰極１２に引かれ、磁気ヘッドＨの
摺動面Ｈａにほぼ均一に当たる。その結果、有機材料の
樹脂層５の表面Ｓ２が、シールド板２ａ，２ｂおよびコ
ア３の表面Ｓ１よりも深くなるように掘り込まれる。

【００４２】図７に示すものはイオンビームスパッタ装
置であり、真空チャンバ２１内に基板２２が設置され、
その上に磁気ヘッドＨが摺動面Ｈａを上向きとして設置
される。排気口２３は排気ポンプに接続され、真空チャ
ンバ２１内が低圧に設定される。正イオン発生室２４で
は、導入口２５からアルゴンガスなどが導入され、熱陰
極２６と陽極２７との間のグロー放電によりプラズマが
生成され、アルゴンなどの正イオンが発生する。この正
イオンは、グリッド２８により加速されて、磁気ヘッド
Ｈの摺動面Ｈａに当たる。このイオンビームが摺動面Ｈ
ａにほぼ均一に照射されると、樹脂層５の表面Ｓ２が掘
り込まれる。

【００４３】図６に示す逆スパッタによるイオンエッチ
ング、および図７に示すイオンビームスパッタによるイ
オンエッチングでは、いずれも磁気ヘッドＨの摺動面Ｈ
ａにイオンが均一に照射され、よって、図９に示す
（イ）（ロ）（ハ）の各領域にて、樹脂層５の表面がほ
ぼ均一にエッチングされて除去される。このときの樹脂
層５の表面の掘り込み量（段差量Ｄ）は、イオン生成で
の電力およびエッチング時間とにより調整でき、段差量
Ｄを、ねらい値の５％以内の誤差にて設定することが可
能である。

【００４４】また、樹脂層５以外の部分、すなわちシー
ルド板２ａ，２ｂとコア３およびシールドケース１の表
面は、上記イオンエッチングの際に異物が除去されて洗
浄される。よってイオンエッチング工程の後に洗浄工程
を別途に設けることなく、そのままＣｒＮなどの保護膜
の生成工程に移行させることも可能である。なお、本発
明での磁気ヘッドは、図８に示すように摺動面に溝７，
７が形成されているものに限られず、溝７，７が形成さ
れていないものであっても実施可能である。

【００４５】

【発明の効果】以上のように、本発明の磁気ヘッドで
は、摺動面に樹脂が現れている領域での磁粉の付着を抑
制でき、磁粉の付着によるスペーシングロスを低下でき
る。また摺動面に保護膜が形成されているものにおいて
も、樹脂の部分で磁粉の付着を有効に防止できる。

【００４６】さらに本発明の磁気ヘッドの製造方法で
は、摺動面での、シールド板およびコアの表面と、樹脂
の表面との段差量を高精度に設定できるものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドのテープ摺動面を示すもの
であり、図９のＩ−Ｉ線の断面に相当する拡大断面図、

【図２】シールド板およびコアの表面と、樹脂表面との
段差量と、磁粉付着時間との関係を示す線図、

【図３】環境温度と、摺動面からの樹脂突出量との関係
を示す線図、

【図４】シールド板およびコアの表面と、樹脂表面との
段差があるものと、ないものとでのＦ特分布の相違を示
す線図、

【図５】触針式表面粗さ計を用いて磁気ヘッドの摺動面
の段差量を測定したときの出力波形図、

【図６】磁気ヘッドの製造工程（樹脂層のエッチング工
程）に使用するスパッタ装置を示す構成図、

【図７】磁気ヘッドの製造工程（樹脂層のエッチング工
程）に使用するイオンガンスパッタ装置を示す構成図、

【図８】磁気ヘッドの外観斜視図、

【図９】図８の磁気ヘッドの摺動面の拡大斜視図、

【符号の説明】

１シールドケース２ａ，２ｂシールド板３コア４磁気絶縁層５樹脂層１１真空チャンバ１２陰極１３陽極２１真空チャンバ２２基板２６熱陰極２７陽極２８グリッドＨ磁気ヘッドＨａ摺動面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者志賀健治東京都大田区雪谷大塚町１番７号アルプス電気株式会社内 (72)発明者佐藤隆東京都大田区雪谷大塚町１番７号アルプス電気株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コアおよびシールド板がシールドケース
内で樹脂層により保持され、磁気記録媒体との摺動面
に、前記コアとシールド板および樹脂層が現れている磁
気ヘッドにおいて、前記摺動面に現れている樹脂層の表
面が、コアおよびシールド板の表面よりもシールドケー
ス内方へ後退していることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】コアおよびシールド板の表面と、樹脂層
の表面との段差量が０．４μｍ以上である請求項１記載
の磁気ヘッド。
【請求項３】少なくともコアとシールド板および樹脂
層の表面が保護膜により被覆されている請求項１記載の
磁気ヘッド。
【請求項４】コアおよびシールド板の表面と、樹脂層
の表面との段差量が０．２μｍ以上である請求項３記載
の磁気ヘッド。
【請求項５】コアおよびシールド板がシールドケース
内で樹脂層により保持され、磁気記録媒体との摺動面
に、前記コアとシールド板および樹脂層が現れている磁
気ヘッドにおいて、イオンエッチングにより、摺動面に
現れている樹脂層の表面を掘って、樹脂層の表面をコア
およびシールド板の表面よりもシールドケース内方へ後
退させることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。