JPH08297029A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

Info

Publication number
JPH08297029A
JPH08297029A JP7129487A JP12948795A JPH08297029A JP H08297029 A JPH08297029 A JP H08297029A JP 7129487 A JP7129487 A JP 7129487A JP 12948795 A JP12948795 A JP 12948795A JP H08297029 A JPH08297029 A JP H08297029A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrating body
piezoelectric elements
vibrating
piezoelectric
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7129487A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiro Ebara
原 和 博 江
Katsumi Fujimoto
本 克 己 藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP7129487A priority Critical patent/JPH08297029A/ja
Publication of JPH08297029A publication Critical patent/JPH08297029A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単に製造することができ、かつ高感度で回
転角速度を検出することができる振動ジャイロを得る。 【構成】 振動ジャイロ10は、たとえば正3角柱状の
振動体12を含む。振動体12の2つの側面に、圧電素
子14,16を形成する。圧電素子14,16は、分割
部分14a,14bおよび分割部分16a,16bを有
する。圧電層18の一方面に電極20を形成し、他方面
に2分割された電極22a,22bを形成することによ
り、圧電素子14を形成する。同様に、圧電層24の一
方面に電極26を形成し、他方面に2分割された電極2
8a,28bを形成することにより、圧電素子16を形
成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、振動体の屈曲振動を利用して回転角速度
を検出するための振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】図7は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図であり、図8はその断面図である。振動ジャイロ
1は、たとえば正3角柱状の振動体2を含む。振動体2
の3つの側面には、それぞれ圧電素子3a,3bおよび
3cが形成される。圧電素子3a,3b,3cは、圧電
セラミックなどで形成された圧電層の両面に電極を形成
したものである。そして、これらの圧電素子の一方の電
極が振動体2に接着される。
【0003】圧電素子3a,3bには、図9に示すよう
に、それぞれ抵抗4a,4bが接続される。これらの抵
抗4a,4bと圧電素子3cとの間には、発振回路5が
接続される。発振回路5の信号が圧電素子3a,3bに
与えられ、圧電素子3cの出力信号が発振回路5に帰還
される。この発振回路5の信号によって、振動体2は、
圧電素子3c形成面に直交する方向に屈曲振動する。
【0004】さらに、圧電素子3a,3bは、差動回路
6に接続される。差動回路6は検波回路7に接続され、
さらに検波回路7は平滑回路8に接続される。振動ジャ
イロ1に回転角速度が加わっていない場合、圧電素子3
a,3bの屈曲状態は同じであり、これらの圧電素子3
a,3bからは同じ信号が出力される。したがって、差
動回路6の出力信号は0である。振動ジャイロ1が振動
体2の軸を中心として回転すると、コリオリ力によって
振動体2の振動方向が変わる。そのため、圧電素子3
a,3bの屈曲状態に差が生じ、これらの圧電素子3
a,3bから異なる信号が出力される。これらの信号の
差が、差動回路6から出力される。そして、差動回路6
の出力信号が検波回路7で検波され、さらに平滑回路8
で平滑される。平滑回路8の出力信号は、振動体2の振
動方向の変化に対応した信号である。つまり、平滑回路
8の出力信号は、コリオリ力に対応した信号である。し
たがって、平滑回路8の出力信号を測定することによ
り、振動ジャイロ1に加わった回転角速度を検出するこ
とができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロ1では、振動体2の3つの側面に圧電
素子3a,3b,3cを接着する必要がある。そのた
め、振動体2の向きを変えて圧電素子を接着したり、ま
たは3方向から圧電素子を接着する必要があり、製造が
困難である。そこで、図10に示すように、振動体2の
2つの側面に圧電素子3a,3bを形成することが考え
られる。この振動ジャイロ1では、発振回路5の信号が
圧電素子3a,3bに印加されるとともに、圧電素子3
a,3bの出力信号が発振回路5に帰還される。それに
よって、振動体2が自励振駆動される。この振動ジャイ
ロ1では、振動体2の向きを変えたりせずに、振動体2
に圧電素子3a,3bを接着することができる。
【0006】このような振動ジャイロ1では、振動体2
を固定した状態で2つの圧電素子を接着することができ
るため、製造が簡単である。しかしながら、2つの圧電
素子3a,3bが駆動用および帰還用として共用されて
いるため、駆動回路が複雑となる。また、このような駆
動方式では、振動体2がその共振範囲外で振動してしま
うため、高感度で回転角速度を検出することが困難であ
る。
【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、簡
単に製造することができ、かつ高感度で回転角速度を検
出することができる振動ジャイロを提供することであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体、および振動体の側面に形成される2つの圧電素子を
含み、圧電素子はそれぞれ2つの部分に分割された、振
動ジャイロである。この振動ジャイロにおいて、振動体
が3角柱状に形成される場合、2つの圧電素子は振動体
の2つの側面に形成される。
【0009】
【作用】振動体に2つの圧電素子が形成されるため、振
動体の向きを変えることなく圧電素子を接着することが
できる。また、それぞれの圧電素子は2分割されている
ため、一方の分割部分に駆動信号を入力し、他方の分割
部分を帰還用として用いることにより、共振範囲内で振
動体を振動させることができる。
【0010】
【発明の効果】この発明によれば、振動体の向きを変え
たりすることなく、圧電素子を接着することができ、簡
単に振動ジャイロを製造することができる。また、振動
体を共振範囲内で振動させることができるため、高感度
で回転角速度を検出することができる。
【0011】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0012】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図2はその断面図である。振動ジャイロ10は、た
とえば正3角柱状の振動体12を含む。振動体12は、
たとえばエリンバ,鉄−ニッケル合金,石英,ガラス,
水晶,セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる
材料で形成される。振動体12の2つの側面には、それ
ぞれ圧電素子14,16が形成される。圧電素子14
は、振動体12の軸に沿って2分割される。したがっ
て、圧電素子14は、2つの分割部分14a,14bを
含む。同様に、圧電素子16は、振動体12の軸に沿っ
て2分割される。したがって、圧電素子16は、2つの
分割部分16a,16bを含む。
【0013】圧電素子14は、たとえば圧電セラミック
などからなる圧電層18を含む。圧電層18の一方面上
には、電極20が形成される。また、圧電層18の他方
面上には、分割された電極22a,22bが形成され
る。そして、一方の電極20が、振動体12に接着され
る。この圧電素子14では、分割された電極22a,2
2bが、分割部分14a,14bを形成する。同様に、
圧電素子16は、たとえば圧電セラミックなどからなる
圧電層24を含む。圧電層24の一方面上には、電極2
6が形成される。また、圧電層24の他方面上には、分
割された電極28a,28bが形成される。そして、一
方の電極26が、振動体12に接着される。この圧電素
子16では、分割された電極28a,28bが、分割部
分16a,16bを形成する。
【0014】この振動ジャイロ10を使用する場合、図
3に示すように、圧電素子14,16の分割部分14
a,16aに抵抗30a,30bが接続される。これら
の抵抗30a,30bと圧電素子14,16の分割部分
14b,16bとの間に、発振回路32が接続される。
発振回路32の信号は、圧電素子14,16の分割部分
14a,16aに与えられる。また、圧電素子14,1
6の分割部分14b,16bの出力信号が、発振回路3
2に帰還される。この回路によって振動体12は自励振
駆動され、振動体12は、圧電素子の形成されていない
面に直交する方向に屈曲振動する。
【0015】また、圧電素子14,16の分割部分14
a,16aは、差動回路34の入力端に接続される。差
動回路34は検波回路36に接続され、さらに検波回路
36は平滑回路38に接続される。振動ジャイロ10に
回転角速度が加わっていない場合、振動体12は、圧電
素子の形成されていない面に直交する方向に屈曲振動し
ている。このとき、圧電素子14,16の分割部分14
a,16aに与えられる駆動信号は同じであるため、差
動回路34から駆動信号成分は出力されない。また、圧
電素子14,16の屈曲状態は同じであるため、これら
の圧電素子14,16に発生する電荷も同じである。し
たがって、差動回路34の出力信号は0である。
【0016】振動ジャイロ10が振動体12の軸を中心
として回転すると、コリオリ力によって振動体12の振
動方向が変わる。振動体12の振動方向が変わると、圧
電素子14,16の振動状態が変わり、これらの圧電素
子14,16に異なる電荷が発生する。したがって、差
動回路34には異なる信号が入力され、それらの信号の
差が差動回路34から出力される。このとき、圧電素子
14,16は、振動体12の無回転時の振動方向に対し
て対称となるように配置されているため、コリオリ力に
よる振動方向の変化により、圧電素子14,16からは
逆極性の信号が出力される。したがって、差動回路34
で信号の差をとることにより、回転角速度に対応した大
きい信号を得ることができる。
【0017】差動回路34の出力信号は検波回路36で
検波され、さらに平滑回路38で平滑される。平滑回路
38の出力信号は、振動体12の振動状態の変化に対応
している。つまり、平滑回路38の出力信号は、コリオ
リ力に対応した信号となる。したがって、平滑回路38
の出力信号を測定することにより、振動ジャイロ10に
加わった回転角速度を検出することができる。
【0018】この振動ジャイロ10では、振動体12の
2つの側面に2つの圧電素子14,16が接着されてい
るため、これらの圧電素子14,16を接着するとき
に、振動体12の向きを変えたりする必要がない。その
ため、振動ジャイロ10の製造が簡単である。また、圧
電素子14,16がそれぞれ2つの分割部分14a,1
4b,16a,16bに分割されているため、駆動信号
入力用と帰還用のために別の分割部分を用いることがで
きる。そのため、振動体12を共振範囲内で励振するこ
とができ、高感度で回転角速度を検出することができ
る。
【0019】なお、図4に示すように、圧電素子14,
16の分割部分14b,16bを差動回路34に接続す
ることもできる。この場合、分割部分14b,16bが
短絡しないように、これらの分割部分14b,16bに
抵抗40a,40bが接続される。このような回路を用
いても、図3に示す実施例と同様にして、回転角速度を
検出することができる。
【0020】また、図5に示すように、圧電素子14,
16を振動体12の長手方向に2分割してもよい。この
場合、圧電素子14,16の大きいほうの分割部分14
a,16aが駆動信号入力用および検出用として用いら
れる。そして、圧電素子14,16の小さいほうの分割
部分14b,16bが、帰還用として用いられる。この
ように、圧電素子14,16の分割方向は、必要に応じ
て変更可能である。また、圧電素子14,16の分割部
分14a,14b,16a,16bを形成するために
は、片方の電極だけでなく、圧電素子14,16の圧電
層およびその両面の電極を2分割してもよい。つまり、
圧電素子14a,14b,16a,16bを、それぞれ
別の圧電素子で形成してもよい。さらに、振動体12の
形状としては、正3角柱状に限らず、図6に示すような
円柱状であってもよい。このような振動体12を用いた
場合でも、2つの圧電素子を2分割することによって、
上述の効果を得ることができる。もちろん、正3角柱状
以外の角柱状の振動体を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】図1に示す振動ジャイロの断面図である。
【図3】図1および図2に示す振動ジャイロを使用する
ための回路を示すブロック図である。
【図4】図1および図2に示す振動ジャイロを使用する
ための別の回路を示すブロック図である。
【図5】この発明の他の実施例を示す平面図である。
【図6】この発明のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。
【図7】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
【図8】図7に示す従来の振動ジャイロの断面図であ
る。
【図9】図7および図8に示す従来の振動ジャイロを使
用するための回路を示すブロック図である。
【図10】従来の振動ジャイロの他の例とそれを使用す
るための回路を示す図解図である。
【符号の説明】
10 振動ジャイロ 12 振動体 14 圧電素子 14a,14b 圧電素子14の分割部分 16 圧電素子 16a,16b 圧電素子16の分割部分 32 発振回路 34 差動回路 36 検波回路 38 平滑回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 柱状の振動体、および前記振動体の側面
    に形成される2つの圧電素子を含み、 前記圧電素子はそれぞれ2つの部分に分割された、振動
    ジャイロ。
  2. 【請求項2】 前記振動体は3角柱状に形成され、前記
    2つの圧電素子は前記振動体の2つの側面に形成され
    る、請求項1に記載の振動ジャイロ。
JP7129487A 1995-04-27 1995-04-27 振動ジャイロ Pending JPH08297029A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7129487A JPH08297029A (ja) 1995-04-27 1995-04-27 振動ジャイロ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7129487A JPH08297029A (ja) 1995-04-27 1995-04-27 振動ジャイロ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08297029A true JPH08297029A (ja) 1996-11-12

Family

ID=15010701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7129487A Pending JPH08297029A (ja) 1995-04-27 1995-04-27 振動ジャイロ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08297029A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3973742B2 (ja) 振動型ジャイロスコープ
JPH11281372A (ja) 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
EP0597338B1 (en) Vibrating gyroscope
JPH063455B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH07306048A (ja) 圧電振動子
JPH08152328A (ja) 角速度センサ及びその使用方法
US6201341B1 (en) Vibrator for detecting angular velocities about two axes and vibrating gyroscope having the same
KR100210707B1 (ko) 진동 자이로스코프
JPH08297029A (ja) 振動ジャイロ
JPH08233582A (ja) 振動ジャイロ
JPH08247770A (ja) 振動ジャイロ
JP3371609B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH0821735A (ja) 圧電振動子の駆動検出回路
JPH07174570A (ja) 振動ジャイロ
JPH06201387A (ja) 振動ジャイロ
JP2536151B2 (ja) 振動ジャイロ
JPH04118515A (ja) 角速度検出器および加速度検出器
JPH06281465A (ja) 弾性表面波ジャイロスコープ
JPH06117862A (ja) 振動子
JPH09113280A (ja) 振動ジャイロ
JPH08247771A (ja) 振動ジャイロ
JPH08160064A (ja) 半導体角速度センサとその製造方法
JPH10206162A (ja) 振動ジャイロセンサー
JPH07332989A (ja) 振動ジャイロの駆動回路
JPH03122518A (ja) 振動ジャイロ