JPH08290307A - 複合硬質層表面被覆切削工具 - Google Patents
複合硬質層表面被覆切削工具Info
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- JPH08290307A JPH08290307A JP12068995A JP12068995A JPH08290307A JP H08290307 A JPH08290307 A JP H08290307A JP 12068995 A JP12068995 A JP 12068995A JP 12068995 A JP12068995 A JP 12068995A JP H08290307 A JPH08290307 A JP H08290307A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐欠損性に優れた複合硬質層被覆切削工具を
提供する。 【構成】基体表面に、少なくとも１層のチタンの炭化物
層を含むチタン化合物層からなる内層と、酸化アルミニ
ウムからなる外層とで構成された複合硬質層を被覆して
なる切削工具において、前記内層に含まれる少なくとも
１層のチタンの炭化物層は、Ｘ線回折によるピークが
（１１１）＞（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れ
るチタンの炭化物層であり、かつ前記酸化アルミニウム
外層は、κ型あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニ
ウム層である複合硬質層表面被覆切削工具。
提供する。 【構成】基体表面に、少なくとも１層のチタンの炭化物
層を含むチタン化合物層からなる内層と、酸化アルミニ
ウムからなる外層とで構成された複合硬質層を被覆して
なる切削工具において、前記内層に含まれる少なくとも
１層のチタンの炭化物層は、Ｘ線回折によるピークが
（１１１）＞（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れ
るチタンの炭化物層であり、かつ前記酸化アルミニウム
外層は、κ型あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニ
ウム層である複合硬質層表面被覆切削工具。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、超硬合金基体または
サーメット基体の表面に、（１１１）＞（２００）＞
（２２０）の高さ順序でＸ線回折によるピークが現れる
チタンの炭化物層を少なくとも１層含むチタン化合物層
からなる内層と、κ型酸化アルミニウム層あるいはκ型
の比率が多いα型とκ型の混合（以下、α＋κ（κ＞
α）と記す）型酸化アルミニウム層からなる外層とで構
成された複合硬質層を化学蒸着法により形成してなる複
合硬質層表面被覆切削工具に関するものである。
サーメット基体の表面に、（１１１）＞（２００）＞
（２２０）の高さ順序でＸ線回折によるピークが現れる
チタンの炭化物層を少なくとも１層含むチタン化合物層
からなる内層と、κ型酸化アルミニウム層あるいはκ型
の比率が多いα型とκ型の混合（以下、α＋κ（κ＞
α）と記す）型酸化アルミニウム層からなる外層とで構
成された複合硬質層を化学蒸着法により形成してなる複
合硬質層表面被覆切削工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超硬合金基体またはサーメット基
体の表面に、化学蒸着法により、チタン炭化物からなる
単層またはチタンの炭化物層を含みさらにチタンの窒化
物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のうちの１種
または２種以上を含む複層を内層とし、この内層の外側
に酸化アルミニウム層を外層として形成した複合硬質層
を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工具は知られて
おり、この複合硬質層表面被覆切削工具は鋼や鋳鉄など
の連続切削や断続切削に用いられていることも良く知ら
れている。
体の表面に、化学蒸着法により、チタン炭化物からなる
単層またはチタンの炭化物層を含みさらにチタンの窒化
物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のうちの１種
または２種以上を含む複層を内層とし、この内層の外側
に酸化アルミニウム層を外層として形成した複合硬質層
を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工具は知られて
おり、この複合硬質層表面被覆切削工具は鋼や鋳鉄など
の連続切削や断続切削に用いられていることも良く知ら
れている。
【０００３】前記外層となる酸化アルミニウム層は、α
型の比率が多いα型とκ型の混合（以下、α＋κ（α＞
κ）と記す）型酸化アルミニウム層であることも知られ
ており、この酸化アルミニウム層は化学的に安定で耐す
くい面摩耗性に優れているが、基体に対する密着性およ
び靭性に劣るために、超硬合金基体またはサーメット基
体の表面にチタンの炭化物層からなる単層またはチタン
の炭化物層を含む複層を内層として被覆し、この内層の
上に酸化アルミニウム層を被覆して複合硬質層を形成
し、耐摩耗性および靭性を付与するとともに密着性を向
上させている。
型の比率が多いα型とκ型の混合（以下、α＋κ（α＞
κ）と記す）型酸化アルミニウム層であることも知られ
ており、この酸化アルミニウム層は化学的に安定で耐す
くい面摩耗性に優れているが、基体に対する密着性およ
び靭性に劣るために、超硬合金基体またはサーメット基
体の表面にチタンの炭化物層からなる単層またはチタン
の炭化物層を含む複層を内層として被覆し、この内層の
上に酸化アルミニウム層を被覆して複合硬質層を形成
し、耐摩耗性および靭性を付与するとともに密着性を向
上させている。
【０００４】前記内層に含まれるチタンの炭化物層は、
通常、反応ガスとして、ＴｉＣｌ4、ＣＨ4 を使用し、
キャリアガスとしてＨ2 を使用し、これらガスを反応炉
に導入すると共に、炉内を３０〜１００Ｔｏｒｒの圧力
に保持しつつ、９００〜１２００℃に加熱することによ
り形成される。この様にして得られたチタンの炭化物層
のＸ線回折によるピークは、（２００）＞（１１１）＞
（２２０）または（２２０）＞（２００）＞（１１１）
の高さ順序を示すことも知られている。
通常、反応ガスとして、ＴｉＣｌ4、ＣＨ4 を使用し、
キャリアガスとしてＨ2 を使用し、これらガスを反応炉
に導入すると共に、炉内を３０〜１００Ｔｏｒｒの圧力
に保持しつつ、９００〜１２００℃に加熱することによ
り形成される。この様にして得られたチタンの炭化物層
のＸ線回折によるピークは、（２００）＞（１１１）＞
（２２０）または（２２０）＞（２００）＞（１１１）
の高さ順序を示すことも知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、切削工
程の省力化および短縮化に対する要求は強く、これに伴
ない、より一段と苛酷な条件下での高速フライス切削が
行われるる傾向にあり、かかる苛酷な条件下で高速フラ
イス切削を行うと、切削中に刃先が短時間で欠損し、比
較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
程の省力化および短縮化に対する要求は強く、これに伴
ない、より一段と苛酷な条件下での高速フライス切削が
行われるる傾向にあり、かかる苛酷な条件下で高速フラ
イス切削を行うと、切削中に刃先が短時間で欠損し、比
較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、か
かる観点から、従来よりも一層耐欠損性に優れ、したが
って使用寿命の長いチタン化合物層を内層とし、その内
層の外側に酸化アルミニウム層を外層として形成した複
合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工具を
開発すべく研究を行っていたところ、基体表面に、少な
くとも１層のチタンの炭化物層を含むチタン化合物層か
らなる内層と、酸化アルミニウム層からなる外層とで構
成された複合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被覆
切削工具において、前記チタン化合物内層に含まれるチ
タンの炭化物層のＸ線回折によるピークが（１１１）＞
（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れるチタンの炭
化物層であり、外層がκ型あるいはα＋κ（κ＞α）型
酸化アルミニウム層であると、従来よりも一層耐欠損性
に優れ、したがって使用寿命が向上するという研究結果
が得られたのである。
かる観点から、従来よりも一層耐欠損性に優れ、したが
って使用寿命の長いチタン化合物層を内層とし、その内
層の外側に酸化アルミニウム層を外層として形成した複
合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工具を
開発すべく研究を行っていたところ、基体表面に、少な
くとも１層のチタンの炭化物層を含むチタン化合物層か
らなる内層と、酸化アルミニウム層からなる外層とで構
成された複合硬質層を被覆してなる複合硬質層表面被覆
切削工具において、前記チタン化合物内層に含まれるチ
タンの炭化物層のＸ線回折によるピークが（１１１）＞
（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れるチタンの炭
化物層であり、外層がκ型あるいはα＋κ（κ＞α）型
酸化アルミニウム層であると、従来よりも一層耐欠損性
に優れ、したがって使用寿命が向上するという研究結果
が得られたのである。
【０００７】この発明は、かかる研究結果にもとずいて
なされたものであって、（１）基体表面に、少なくとも
１層のチタンの炭化物層を含むチタン化合物層からなる
内層と、酸化アルミニウムからなる外層とで構成された
複合硬質層を被覆してなる切削工具において、前記内層
に含まれる少なくとも１層のチタンの炭化物層は、Ｘ線
回折によるピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れるチタンの炭化物層であり、かつ
前記酸化アルミニウム外層は、κ型あるいはα＋κ（κ
＞α）型酸化アルミニウム層である複合硬質層表面被覆
切削工具、に特徴を有するものである。
なされたものであって、（１）基体表面に、少なくとも
１層のチタンの炭化物層を含むチタン化合物層からなる
内層と、酸化アルミニウムからなる外層とで構成された
複合硬質層を被覆してなる切削工具において、前記内層
に含まれる少なくとも１層のチタンの炭化物層は、Ｘ線
回折によるピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れるチタンの炭化物層であり、かつ
前記酸化アルミニウム外層は、κ型あるいはα＋κ（κ
＞α）型酸化アルミニウム層である複合硬質層表面被覆
切削工具、に特徴を有するものである。
【０００８】また、前記複合硬質層表面被覆切削工具の
κ型あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニウム外層
の表面に、さらにチタンの窒化物層を被覆すると、チタ
ンの窒化物層は黄金色を有するので製品としての美観が
優れている。したがって、この発明は、前記（１）記載
の複合硬質層表面被覆切削工具の表面に、さらに、チタ
ンの窒化物層を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工
具、に特徴を有するものである。
κ型あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニウム外層
の表面に、さらにチタンの窒化物層を被覆すると、チタ
ンの窒化物層は黄金色を有するので製品としての美観が
優れている。したがって、この発明は、前記（１）記載
の複合硬質層表面被覆切削工具の表面に、さらに、チタ
ンの窒化物層を被覆してなる複合硬質層表面被覆切削工
具、に特徴を有するものである。
【０００９】この発明のＸ線回折によるピークが（１１
１）＞（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れるチタ
ンの炭化物層は、化学蒸着装置内の反応ガスをＣＨ4 と
ＴｉＣｌ4 の容量％比率を２．０未満（１≦ＣＨ4 ／Ｔ
ｉＣｌ4 ＜２．０）とし、反応温度を９５０〜１０００
℃未満に設定するか、または反応ガスをＣＨ4 とＴｉＣ
ｌ4 の容量％比率を２．０以上（ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4 ≧
２．０）とし、反応温度を１０００〜１０５０℃未満に
設定することにより得られる。
１）＞（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れるチタ
ンの炭化物層は、化学蒸着装置内の反応ガスをＣＨ4 と
ＴｉＣｌ4 の容量％比率を２．０未満（１≦ＣＨ4 ／Ｔ
ｉＣｌ4 ＜２．０）とし、反応温度を９５０〜１０００
℃未満に設定するか、または反応ガスをＣＨ4 とＴｉＣ
ｌ4 の容量％比率を２．０以上（ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4 ≧
２．０）とし、反応温度を１０００〜１０５０℃未満に
設定することにより得られる。
【００１０】この様にして得られたチタンの炭化物層は
（１１１）＞（２００）＞（２２０）の順序で配向する
ことで、その層が基体または下の層と密着する力が強く
なり、界面からの剥離が起きにくくなって、耐欠損性が
向上するものと考えられる。この内層に含まれるＸ線回
折によるピークが（１１１）＞（２００）＞（２２０）
の高さ順序で現れるチタンの炭化物層の厚さは、平均層
厚で０．５〜１０μｍの範囲内にあることが好ましい。
（１１１）＞（２００）＞（２２０）の順序で配向する
ことで、その層が基体または下の層と密着する力が強く
なり、界面からの剥離が起きにくくなって、耐欠損性が
向上するものと考えられる。この内層に含まれるＸ線回
折によるピークが（１１１）＞（２００）＞（２２０）
の高さ順序で現れるチタンの炭化物層の厚さは、平均層
厚で０．５〜１０μｍの範囲内にあることが好ましい。
【００１１】また、通常のＣＯ2 、ＡｌＣｌ3 およびＨ
2 からなる混合ガスを用い、温度：８００〜１０５０℃
で反応させるとα＋κ（α＞κ）型酸化アルミニウム層
が得られるが、前記混合ガスにＨ2 Ｓを添加すると、κ
型あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニウム層が得
られる。したがって、この発明のκ型あるいはα＋κ
（κ＞α）型酸化アルミニウム外層は、反応ガスとし
て、ＣＯ2 、ＡｌＣｌ3 、Ｈ2 およびＨ2 Ｓからなる混
合ガスを用い、温度：８００〜１０５０℃で反応させる
ことにより得られ、このκ型あるいはα＋κ（κ＞α）
型酸化アルミニウム外層の厚さも平均層厚で０．５〜１
０μｍの範囲内にあることが好ましい。
2 からなる混合ガスを用い、温度：８００〜１０５０℃
で反応させるとα＋κ（α＞κ）型酸化アルミニウム層
が得られるが、前記混合ガスにＨ2 Ｓを添加すると、κ
型あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニウム層が得
られる。したがって、この発明のκ型あるいはα＋κ
（κ＞α）型酸化アルミニウム外層は、反応ガスとし
て、ＣＯ2 、ＡｌＣｌ3 、Ｈ2 およびＨ2 Ｓからなる混
合ガスを用い、温度：８００〜１０５０℃で反応させる
ことにより得られ、このκ型あるいはα＋κ（κ＞α）
型酸化アルミニウム外層の厚さも平均層厚で０．５〜１
０μｍの範囲内にあることが好ましい。
【００１２】
実施例１ 通常の粉末冶金法により製造した９４％ＷＣ−６％Ｃｏ
（ＩＳＯ分類Ｋ１０相当）からなる成分組成を有しかつ
ＩＳＯ規格ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１（但し、副切刃角１
１）に定めた形状の超硬合金製切削工具を用意した。こ
の超硬合金製切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、
温度：１０００℃、圧力：１００torr、反応ガス組成：
４％ＴｉＣｌ4 −８％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／Ｔｉ
Ｃｌ4＝２．０）、の条件で６時間化学蒸着して平均層
厚：８．５μｍのＴｉＣ層からなる内層を形成し、この
ＴｉＣ層をＸ線回折測定したところ、ピークが（１１
１）＞（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れた。
（ＩＳＯ分類Ｋ１０相当）からなる成分組成を有しかつ
ＩＳＯ規格ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１（但し、副切刃角１
１）に定めた形状の超硬合金製切削工具を用意した。こ
の超硬合金製切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、
温度：１０００℃、圧力：１００torr、反応ガス組成：
４％ＴｉＣｌ4 −８％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／Ｔｉ
Ｃｌ4＝２．０）、の条件で６時間化学蒸着して平均層
厚：８．５μｍのＴｉＣ層からなる内層を形成し、この
ＴｉＣ層をＸ線回折測定したところ、ピークが（１１
１）＞（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れた。
【００１３】このＸ線回折ピークが（１１１）＞（２０
０）＞（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層からなる
内層の上に、さらに、温度：１０００℃、圧力：５０to
rr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０
％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で０．５時間反応ガスを流
し、平均層厚：０．７μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3 層からなる
外層を形成し、本発明被覆切削工具１を作製した。
０）＞（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層からなる
内層の上に、さらに、温度：１０００℃、圧力：５０to
rr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０
％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で０．５時間反応ガスを流
し、平均層厚：０．７μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3 層からなる
外層を形成し、本発明被覆切削工具１を作製した。
【００１４】従来例１ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の化学蒸
着装置に装入し、温度：１１００℃、圧力：１００tor
r、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −４％ＣＨ4 −残り
Ｈ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝１．０）、の条件で４．５
時間化学蒸着して平均層厚：８．４μｍのＴｉＣ層から
なる内層を形成し、このＴｉＣ層をＸ線回折測定したと
ころ、ピークが（２２０）＞（２００）＞（１１１）の
高さ順序で現れた。
着装置に装入し、温度：１１００℃、圧力：１００tor
r、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −４％ＣＨ4 −残り
Ｈ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝１．０）、の条件で４．５
時間化学蒸着して平均層厚：８．４μｍのＴｉＣ層から
なる内層を形成し、このＴｉＣ層をＸ線回折測定したと
ころ、ピークが（２２０）＞（２００）＞（１１１）の
高さ順序で現れた。
【００１５】このＸ線回折ピークが（２２０）＞（２０
０）＞（１１１）の高さ順序で現れたＴｉＣ層からなる
内層の上に、さらに、温度：１０５０℃、圧力：５０to
rr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残
りＨ2 、の条件で１．５時間反応ガスを流し、平均層
厚：０．７μｍのα＋κ（α＞κ）型Ａｌ2 Ｏ3 層から
なる外層を形成し、従来被覆切削工具１を作製した。
０）＞（１１１）の高さ順序で現れたＴｉＣ層からなる
内層の上に、さらに、温度：１０５０℃、圧力：５０to
rr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残
りＨ2 、の条件で１．５時間反応ガスを流し、平均層
厚：０．７μｍのα＋κ（α＞κ）型Ａｌ2 Ｏ3 層から
なる外層を形成し、従来被覆切削工具１を作製した。
【００１６】実施例２ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の化学蒸
着装置に装入し、温度：１０５０℃、圧力：１００tor
r、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −２％Ｎ2 −５％Ｃ
Ｈ4 −残り％Ｈ2 、の条件で０．５時間化学蒸着し、平
均層厚：０．５μｍのＴｉＣＮ層を形成した。
着装置に装入し、温度：１０５０℃、圧力：１００tor
r、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −２％Ｎ2 −５％Ｃ
Ｈ4 −残り％Ｈ2 、の条件で０．５時間化学蒸着し、平
均層厚：０．５μｍのＴｉＣＮ層を形成した。
【００１７】このＴｉＣＮ層の上に、温度：１０００
℃、圧力：３００torr、反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4
−６％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝３．
０）、の条件で１時間化学蒸着して平均層厚：０．５μ
ｍのＴｉＣ層を形成し、このＴｉＣ層をＸ線回折測定し
たところ、ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れた。
℃、圧力：３００torr、反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4
−６％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝３．
０）、の条件で１時間化学蒸着して平均層厚：０．５μ
ｍのＴｉＣ層を形成し、このＴｉＣ層をＸ線回折測定し
たところ、ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れた。
【００１８】前記平均層厚：０．５μｍのＴｉＣＮ層お
よびＸ線回折ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れる平均層厚：０．５μｍのＴｉＣ
層からなる複層を内層とし、この内層の上に、さらに、
温度：１０００℃、圧力：５０torr、反応ガス組成：６
％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、
の条件で５時間反応ガスを流し、平均層厚：７．８μｍ
のα＋κ（κ＞α）型Ａｌ2 Ｏ3 層からなる外層を形成
し、本発明被覆切削工具２を作製した。
よびＸ線回折ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れる平均層厚：０．５μｍのＴｉＣ
層からなる複層を内層とし、この内層の上に、さらに、
温度：１０００℃、圧力：５０torr、反応ガス組成：６
％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、
の条件で５時間反応ガスを流し、平均層厚：７．８μｍ
のα＋κ（κ＞α）型Ａｌ2 Ｏ3 層からなる外層を形成
し、本発明被覆切削工具２を作製した。
【００１９】従来例２ 実施例２で作製した超硬合金製切削工具表面の平均層
厚：０．５μｍのＴｉＣＮ層の上に、温度：１０００
℃、圧力：１００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4
−２％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝０．
５）、の条件で０．５時間化学蒸着して平均層厚：０．
７μｍのＴｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折
測定したところ、Ｘ線回折ピークが（２００）＞（１１
１）＞（２２０）の高さ順序で現れた。
厚：０．５μｍのＴｉＣＮ層の上に、温度：１０００
℃、圧力：１００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4
−２％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝０．
５）、の条件で０．５時間化学蒸着して平均層厚：０．
７μｍのＴｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折
測定したところ、Ｘ線回折ピークが（２００）＞（１１
１）＞（２２０）の高さ順序で現れた。
【００２０】前記平均層厚：０．５μｍのＴｉＣＮ層お
よびＸ線回折ピークが（２００）＞（１１１）＞（２２
０）の高さ順序で現れる平均層厚：０．５μｍのＴｉＣ
層からなる複層を内層とし、この内層の上に、さらに、
温度：１０５０℃、圧力：５０torr、反応ガス組成：６
％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で１１
時間反応ガスを流し、平均層厚：７．７μｍのα＋κ
（α＞κ）型Ａｌ2 Ｏ3 層からなる外層を形成し、従来
被覆切削工具２を作製した。
よびＸ線回折ピークが（２００）＞（１１１）＞（２２
０）の高さ順序で現れる平均層厚：０．５μｍのＴｉＣ
層からなる複層を内層とし、この内層の上に、さらに、
温度：１０５０℃、圧力：５０torr、反応ガス組成：６
％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で１１
時間反応ガスを流し、平均層厚：７．７μｍのα＋κ
（α＞κ）型Ａｌ2 Ｏ3 層からなる外層を形成し、従来
被覆切削工具２を作製した。
【００２１】実施例３ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の化学蒸
着装置に装入し、温度：１０００℃、圧力：７６０tor
r、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −２％Ｎ2 −２％Ｃ
Ｈ4 −残り％Ｈ2 、の条件で１．５時間化学蒸着し、平
均層厚：０．８μｍのＴｉＣＮ層を形成した。
着装置に装入し、温度：１０００℃、圧力：７６０tor
r、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −２％Ｎ2 −２％Ｃ
Ｈ4 −残り％Ｈ2 、の条件で１．５時間化学蒸着し、平
均層厚：０．８μｍのＴｉＣＮ層を形成した。
【００２２】このＴｉＣＮ層の上に、温度：９８０℃、
圧力：１００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −６
％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝１．５）、
の条件で３時間化学蒸着して平均層厚：１．５μｍのＴ
ｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折測定したと
ころ、Ｘ線回折ピークが（１１１）＞（２００）＞（２
２０）の高さ順序で現れた。
圧力：１００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −６
％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝１．５）、
の条件で３時間化学蒸着して平均層厚：１．５μｍのＴ
ｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折測定したと
ころ、Ｘ線回折ピークが（１１１）＞（２００）＞（２
２０）の高さ順序で現れた。
【００２３】このＸ線回折ピークが（１１１）＞（２０
０）＞（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層の上に、
さらに、温度：９８０℃、圧力：１００torr、反応ガス
組成：４％ＴｉＣｌ4 −１．５％Ｎ2 −６％ＣＨ4 −
０．５％ＣＯ2−残り％Ｈ2 、の条件で０．５時間化学
蒸着し、平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形成し
た。
０）＞（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層の上に、
さらに、温度：９８０℃、圧力：１００torr、反応ガス
組成：４％ＴｉＣｌ4 −１．５％Ｎ2 −６％ＣＨ4 −
０．５％ＣＯ2−残り％Ｈ2 、の条件で０．５時間化学
蒸着し、平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形成し
た。
【００２４】このようにして形成された平均層厚：０．
８μｍのＴｉＣＮ層、Ｘ線回折ピークが（１１１）＞
（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れた平均層厚：
１．５μｍのＴｉＣ層および平均層厚：０．１μｍのＴ
ｉＣＮＯ層からなる複層を内層とし、この内層の上に、
さらに、温度：１０００℃、圧力：５０torr、反応ガス
組成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残
りＨ2 、の条件で１．５時間反応ガスを流し、平均層
厚：１．８μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3 からなる外層を形成し
た。
８μｍのＴｉＣＮ層、Ｘ線回折ピークが（１１１）＞
（２００）＞（２２０）の高さ順序で現れた平均層厚：
１．５μｍのＴｉＣ層および平均層厚：０．１μｍのＴ
ｉＣＮＯ層からなる複層を内層とし、この内層の上に、
さらに、温度：１０００℃、圧力：５０torr、反応ガス
組成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残
りＨ2 、の条件で１．５時間反応ガスを流し、平均層
厚：１．８μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3 からなる外層を形成し
た。
【００２５】このκ−Ａｌ2 Ｏ3 からなる外層の上に、
温度：１０００℃、圧力：５００torr、反応ガス組成：
４％ＴｉＣｌ4 −７０％Ｎ2 −残り％Ｈ2 、の条件で
１．０時間反応ガスを流しながら平均層厚：０．５μｍ
のＴｉＮ層を形成することにより本発明被覆切削工具３
を作製した。
温度：１０００℃、圧力：５００torr、反応ガス組成：
４％ＴｉＣｌ4 −７０％Ｎ2 −残り％Ｈ2 、の条件で
１．０時間反応ガスを流しながら平均層厚：０．５μｍ
のＴｉＮ層を形成することにより本発明被覆切削工具３
を作製した。
【００２６】従来例３ 実施例３で作製した超硬合金製切削工具表面の平均層
厚：０．８μｍのＴｉＣＮ層の上に、温度：９８０℃、
圧力：３００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −１
％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝０．２
５）、の条件で２．０時間化学蒸着し、Ｘ線回折測定ピ
ークが（２００）＞（１１１）＞（２２０）の高さ順序
で現れる平均層厚：１．３μｍのＴｉＣ層を形成し、さ
らにこのＸ線回折ピークが（２００）＞（１１１）＞
（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層の上に実施例３
と同じ条件で平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形
成した。このようにして形成された平均層厚：０．８μ
ｍのＴｉＣＮ層、Ｘ線回折測定ピークが（２００）＞
（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れる平均層厚：
１．３μｍのＴｉＣ層および平均層厚：０．１μｍのＴ
ｉＣＮＯ層からなる複層を内層とし、この内層の上に、
さらに、温度：１０５０℃、圧力：５０torr、反応ガス
組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条
件で３．０時間反応ガスを流し、平均層厚：１．９μｍ
のα＋κ（α＞κ）型Ａｌ2 Ｏ3 層からなる外層を形成
し、この外層の上に実施例３と同様にして平均層厚：
０．５μｍのＴｉＮ層を形成することにより従来被覆切
削工具３を作製した。
厚：０．８μｍのＴｉＣＮ層の上に、温度：９８０℃、
圧力：３００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −１
％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝０．２
５）、の条件で２．０時間化学蒸着し、Ｘ線回折測定ピ
ークが（２００）＞（１１１）＞（２２０）の高さ順序
で現れる平均層厚：１．３μｍのＴｉＣ層を形成し、さ
らにこのＸ線回折ピークが（２００）＞（１１１）＞
（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層の上に実施例３
と同じ条件で平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形
成した。このようにして形成された平均層厚：０．８μ
ｍのＴｉＣＮ層、Ｘ線回折測定ピークが（２００）＞
（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れる平均層厚：
１．３μｍのＴｉＣ層および平均層厚：０．１μｍのＴ
ｉＣＮＯ層からなる複層を内層とし、この内層の上に、
さらに、温度：１０５０℃、圧力：５０torr、反応ガス
組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条
件で３．０時間反応ガスを流し、平均層厚：１．９μｍ
のα＋κ（α＞κ）型Ａｌ2 Ｏ3 層からなる外層を形成
し、この外層の上に実施例３と同様にして平均層厚：
０．５μｍのＴｉＮ層を形成することにより従来被覆切
削工具３を作製した。
【００２７】実施例４ 実施例１で用意した超硬合金製切削工具を通常の化学蒸
着装置に装入し、温度：１０００℃、圧力：５０torr、
反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０％Ｎ2 −残り％Ｈ
2 、の条件で０．５時間化学蒸着し、平均層厚：０．６
μｍのＴｉＮ層を形成した。
着装置に装入し、温度：１０００℃、圧力：５０torr、
反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０％Ｎ2 −残り％Ｈ
2 、の条件で０．５時間化学蒸着し、平均層厚：０．６
μｍのＴｉＮ層を形成した。
【００２８】このＴｉＮ層の上に、温度：１０００℃、
圧力：２００torr、反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −１
０％Ｎ2 −１０％ＣＨ4 −残り％Ｈ2 、の条件で２時間
化学蒸着し、平均層厚：０．９μｍのＴｉＣＮ層を形成
した。
圧力：２００torr、反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4 −１
０％Ｎ2 −１０％ＣＨ4 −残り％Ｈ2 、の条件で２時間
化学蒸着し、平均層厚：０．９μｍのＴｉＣＮ層を形成
した。
【００２９】このＴｉＣＮ層の上に、温度：１０２０
℃、圧力：１５０torr、反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4
−１０％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4 ＝
５）、の条件で３時間化学蒸着して平均層厚：１．５μ
ｍのＴｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折測定
したところ、ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れた。
℃、圧力：１５０torr、反応ガス組成：２％ＴｉＣｌ4
−１０％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4 ＝
５）、の条件で３時間化学蒸着して平均層厚：１．５μ
ｍのＴｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折測定
したところ、ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２
０）の高さ順序で現れた。
【００３０】このようにして形成された平均層厚：０．
６μｍのＴｉＮ層、平均層厚：０．９μｍのＴｉＣＮ層
およびＸ線回折ピークが（１１１）＞（２００）＞（２
２０）の高さ順序で現れた平均層厚：１．５μｍのＴｉ
Ｃ層からなる複層を内層とし、この内層の上に、さら
に、温度：１０００℃、圧力：５０torr、反応ガス組
成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残り
Ｈ2 、の条件で３．０時間反応ガスを流し、平均層厚：
４．１μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3 からなる外層を形成した。
６μｍのＴｉＮ層、平均層厚：０．９μｍのＴｉＣＮ層
およびＸ線回折ピークが（１１１）＞（２００）＞（２
２０）の高さ順序で現れた平均層厚：１．５μｍのＴｉ
Ｃ層からなる複層を内層とし、この内層の上に、さら
に、温度：１０００℃、圧力：５０torr、反応ガス組
成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残り
Ｈ2 、の条件で３．０時間反応ガスを流し、平均層厚：
４．１μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3 からなる外層を形成した。
【００３１】この外層の上に、温度：１０５０℃、圧
力：１００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０
％Ｎ2 −残り％Ｈ2 、の条件で１時間反応ガスを流しな
がら平均層厚：１μｍのＴｉＮ層を形成することにより
本発明被覆切削工具４を作製した。
力：１００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０
％Ｎ2 −残り％Ｈ2 、の条件で１時間反応ガスを流しな
がら平均層厚：１μｍのＴｉＮ層を形成することにより
本発明被覆切削工具４を作製した。
【００３２】従来例４ 実施例４で作製した超硬合金製切削工具表面に、実施例
４と同じ条件で平均層厚：０．６μｍのＴｉＮ層を形成
し、そのＴｉＮ層の上に実施例４と同じ条件で平均層
厚：１．０μｍのＴｉＣＮ層を形成し、このＴｉＣＮ層
の上に、温度：１０２０℃、圧力：４００torr、反応ガ
ス組成：２％ＴｉＣｌ4 −３％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ
4 ／ＴｉＣｌ4＝１．５）、の条件で２．０時間化学蒸
着して平均層厚：１．５μｍ、Ｘ線回折測定ピークが
（２００）＞（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れ
るＴｉＣ層を形成した。
４と同じ条件で平均層厚：０．６μｍのＴｉＮ層を形成
し、そのＴｉＮ層の上に実施例４と同じ条件で平均層
厚：１．０μｍのＴｉＣＮ層を形成し、このＴｉＣＮ層
の上に、温度：１０２０℃、圧力：４００torr、反応ガ
ス組成：２％ＴｉＣｌ4 −３％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ
4 ／ＴｉＣｌ4＝１．５）、の条件で２．０時間化学蒸
着して平均層厚：１．５μｍ、Ｘ線回折測定ピークが
（２００）＞（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れ
るＴｉＣ層を形成した。
【００３３】このようにして形成された平均層厚：０．
６μｍのＴｉＮ層、平均層厚：１．０μｍのＴｉＣＮ層
およびＸ線回折ピークが（２００）＞（１１１）＞（２
２０）の高さ順序で現れた平均層厚：１．５μｍＴｉＣ
層からなる複層の上に、さらに、温度：１０５０℃、圧
力：５０torr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％
ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で６．５時間反応ガスを流
し、平均層厚：４．３μｍのα＋κ（α＞κ）型Ａｌ2
Ｏ3 層からなる外層を形成し、この外層の上に実施例４
と同様にして平均層厚：１μｍのＴｉＮ層を形成するこ
とにより従来被覆切削工具４を作製した。
６μｍのＴｉＮ層、平均層厚：１．０μｍのＴｉＣＮ層
およびＸ線回折ピークが（２００）＞（１１１）＞（２
２０）の高さ順序で現れた平均層厚：１．５μｍＴｉＣ
層からなる複層の上に、さらに、温度：１０５０℃、圧
力：５０torr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％
ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で６．５時間反応ガスを流
し、平均層厚：４．３μｍのα＋κ（α＞κ）型Ａｌ2
Ｏ3 層からなる外層を形成し、この外層の上に実施例４
と同様にして平均層厚：１μｍのＴｉＮ層を形成するこ
とにより従来被覆切削工具４を作製した。
【００３４】実施例５ 通常の粉末冶金法により製造した６０％ＴｉＣＮ−１０
％ＷＣ−１０％ＴａＣ−８％Ｍｏ2 Ｃ−４％Ｎｉ−８％
Ｃｏからなる成分組成を有しかつＩＳＯ規格ＳＥＥＮ４
２ＡＦＴＮ１（但し、副切刃角１１）に定めた形状のサ
ーメット製切削工具を用意した。このサーメット製切削
工具を通常の化学蒸着装置に装入し、温度：９６０℃、
圧力：５００torr、反応ガス組成：８％ＴｉＣｌ4 −４
％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝０．５）、
の条件で４時間化学蒸着して平均層厚：２．０μｍのＴ
ｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折測定したと
ころ、ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２０）の
高さ順序で現れた。
％ＷＣ−１０％ＴａＣ−８％Ｍｏ2 Ｃ−４％Ｎｉ−８％
Ｃｏからなる成分組成を有しかつＩＳＯ規格ＳＥＥＮ４
２ＡＦＴＮ１（但し、副切刃角１１）に定めた形状のサ
ーメット製切削工具を用意した。このサーメット製切削
工具を通常の化学蒸着装置に装入し、温度：９６０℃、
圧力：５００torr、反応ガス組成：８％ＴｉＣｌ4 −４
％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ4＝０．５）、
の条件で４時間化学蒸着して平均層厚：２．０μｍのＴ
ｉＣ層を形成した。このＴｉＣ層をＸ線回折測定したと
ころ、ピークが（１１１）＞（２００）＞（２２０）の
高さ順序で現れた。
【００３５】このＸ線回折ピークが（１１１）＞（２０
０）＞（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層の上に、
さらに、温度：１０００℃、圧力：１００torr、反応ガ
ス組成：５％ＴｉＣｌ4 −１０％Ｎ2 −１５％ＣＨ4 −
５％ＣＯ2 −残り％Ｈ2 、の条件で０．５時間化学蒸着
し、平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形成した。
０）＞（２２０）の高さ順序で現れたＴｉＣ層の上に、
さらに、温度：１０００℃、圧力：１００torr、反応ガ
ス組成：５％ＴｉＣｌ4 −１０％Ｎ2 −１５％ＣＨ4 −
５％ＣＯ2 −残り％Ｈ2 、の条件で０．５時間化学蒸着
し、平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形成した。
【００３６】このＸ線回折ピークが（１１１）＞（２０
０）＞（２２０）の高さ順序で現れた平均層厚：２．０
μｍのＴｉＣ層および平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮ
Ｏ層からなる内層の上に、さらに温度：１０００℃、圧
力：５０torr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ
2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で２．０時間反
応ガスを流し、平均層厚：２．２μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3
からなる外層を形成した。
０）＞（２２０）の高さ順序で現れた平均層厚：２．０
μｍのＴｉＣ層および平均層厚：０．１μｍのＴｉＣＮ
Ｏ層からなる内層の上に、さらに温度：１０００℃、圧
力：５０torr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１％Ｈ
2 Ｓ−１０％ＣＯ2 −残りＨ2 、の条件で２．０時間反
応ガスを流し、平均層厚：２．２μｍのκ−Ａｌ2 Ｏ3
からなる外層を形成した。
【００３７】この外層の上に、温度：１０００℃、圧
力：２００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０
％Ｎ2 −残り％Ｈ2 、の条件で１．５時間反応ガスを流
しながら平均層厚：０．５μｍのＴｉＮ層を形成するこ
とにより本発明被覆切削工具５を作製した。
力：２００torr、反応ガス組成：４％ＴｉＣｌ4 −７０
％Ｎ2 −残り％Ｈ2 、の条件で１．５時間反応ガスを流
しながら平均層厚：０．５μｍのＴｉＮ層を形成するこ
とにより本発明被覆切削工具５を作製した。
【００３８】従来例５ 実施例５で作製したサーメット製切削工具表面に、温
度：９００℃、圧力：２００torr、反応ガス組成：８％
ＴｉＣｌ4 −４％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ
4＝０．５）、の条件で５．５時間化学蒸着して平均層
厚：２．２μｍ、Ｘ線回折測定ピークが（２００）＞
（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れるＴｉＣ層を
形成した。
度：９００℃、圧力：２００torr、反応ガス組成：８％
ＴｉＣｌ4 −４％ＣＨ4 −残りＨ2 （ＣＨ4 ／ＴｉＣｌ
4＝０．５）、の条件で５．５時間化学蒸着して平均層
厚：２．２μｍ、Ｘ線回折測定ピークが（２００）＞
（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れるＴｉＣ層を
形成した。
【００３９】このＸ線回折ピークが（２００）＞（１１
１）＞（２２０）の高さ順序で現れた平均層厚：２．２
μｍのＴｉＣ層の上に実施例５と同じ条件で平均層厚：
０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形成し、Ｘ線回折ピークが
（２００）＞（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れ
た平均層厚：２．２μｍのＴｉＣ層および平均層厚：
０．１μｍのＴｉＣＮＯ層からなる内層を形成し、この
内層の上に、さらに、温度：１０５０℃、圧力：５０to
rr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残
りＨ2 、の条件で３．５時間反応ガスを流し、平均層
厚：２．１μｍのα＋κ（α：κ＝２：８）型Ａｌ2 Ｏ
3 層からなる外層を形成し、この外層の上に実施例５と
同様にして平均層厚：０．５μｍのＴｉＮ層を形成する
ことにより従来被覆切削工具５を作製した。
１）＞（２２０）の高さ順序で現れた平均層厚：２．２
μｍのＴｉＣ層の上に実施例５と同じ条件で平均層厚：
０．１μｍのＴｉＣＮＯ層を形成し、Ｘ線回折ピークが
（２００）＞（１１１）＞（２２０）の高さ順序で現れ
た平均層厚：２．２μｍのＴｉＣ層および平均層厚：
０．１μｍのＴｉＣＮＯ層からなる内層を形成し、この
内層の上に、さらに、温度：１０５０℃、圧力：５０to
rr、反応ガス組成：６％ＡｌＣｌ3 −１０％ＣＯ2 −残
りＨ2 、の条件で３．５時間反応ガスを流し、平均層
厚：２．１μｍのα＋κ（α：κ＝２：８）型Ａｌ2 Ｏ
3 層からなる外層を形成し、この外層の上に実施例５と
同様にして平均層厚：０．５μｍのＴｉＮ層を形成する
ことにより従来被覆切削工具５を作製した。
【００４０】得られた本発明被覆切削工具１〜４および
従来被覆切削工具１〜４について、 被削材 ：Ｆ３００（硬さ：ＨＢ１８０）の角材 切削速度：３００ｍ／min １刃当りの送り：０．３０mm／刃 切込み ：２．５mm 切削時間：３０min 切削油 ：有り の条件で、それぞれ１０個の被覆切削工具について、鋳
鉄の高速フライス切削を行い、欠損発生率（欠損発生被
覆切削工具数／フライス切削試験工具数：１０）を測定
し、その結果を表１に示した。
従来被覆切削工具１〜４について、 被削材 ：Ｆ３００（硬さ：ＨＢ１８０）の角材 切削速度：３００ｍ／min １刃当りの送り：０．３０mm／刃 切込み ：２．５mm 切削時間：３０min 切削油 ：有り の条件で、それぞれ１０個の被覆切削工具について、鋳
鉄の高速フライス切削を行い、欠損発生率（欠損発生被
覆切削工具数／フライス切削試験工具数：１０）を測定
し、その結果を表１に示した。
【００４１】さらに、本発明被覆切削工具５および従来
被覆切削工具５について、 被削材 ：Ｆ３００（硬さ：ＨＢ１８０）の角材 切削速度：４００ｍ／min １刃当りの送り：０．２０mm／刃 切込み ：２．５mm 切削時間：３０min 切削油 ：有り の条件で、それぞれ１０個の被覆切削工具について、鋳
鉄の高速フライス切削を行い、欠損発生率（欠損発生被
覆切削工具数／フライス切削試験工具数：１０）を測定
し、その結果を表１に示した。
被覆切削工具５について、 被削材 ：Ｆ３００（硬さ：ＨＢ１８０）の角材 切削速度：４００ｍ／min １刃当りの送り：０．２０mm／刃 切込み ：２．５mm 切削時間：３０min 切削油 ：有り の条件で、それぞれ１０個の被覆切削工具について、鋳
鉄の高速フライス切削を行い、欠損発生率（欠損発生被
覆切削工具数／フライス切削試験工具数：１０）を測定
し、その結果を表１に示した。
【００４２】
【表１】
【００４３】
【発明の効果】表１に示される結果から明らかなよう
に、Ｘ線回折によるピークが（１１１）＞（２００）＞
（２２０）の高さ順序で現れるＴｉＣ層を含む層を内層
としかつκ型あるいはα＋κ（κ＞α）型Ａｌ2 Ｏ3 層
を外層とする本発明被覆切削工具１〜５は、Ｘ線回折に
よるピークが（２００）＞（１１１）＞（２２０）また
は（２２０）＞（２００）＞（１１１）の高さ順序で現
れるＴｉＣ層を含む層を内層としかつα＋κ（α＞κ）
型Ａｌ2 Ｏ3 層を外層とする従来被覆切削工具１〜５に
比べて、いずれも耐欠損性に優れていることが分かる。
したがって、この発明の複合硬質層被覆切削工具は、従
来の複合硬質層被覆切削工具よりも一層優れた耐欠損性
を有しており、この発明の複合硬質層被覆切削工具を用
いることにより切削工具交換回数などを減らすことがで
き、産業の発展に大いに貢献しうるものである。
に、Ｘ線回折によるピークが（１１１）＞（２００）＞
（２２０）の高さ順序で現れるＴｉＣ層を含む層を内層
としかつκ型あるいはα＋κ（κ＞α）型Ａｌ2 Ｏ3 層
を外層とする本発明被覆切削工具１〜５は、Ｘ線回折に
よるピークが（２００）＞（１１１）＞（２２０）また
は（２２０）＞（２００）＞（１１１）の高さ順序で現
れるＴｉＣ層を含む層を内層としかつα＋κ（α＞κ）
型Ａｌ2 Ｏ3 層を外層とする従来被覆切削工具１〜５に
比べて、いずれも耐欠損性に優れていることが分かる。
したがって、この発明の複合硬質層被覆切削工具は、従
来の複合硬質層被覆切削工具よりも一層優れた耐欠損性
を有しており、この発明の複合硬質層被覆切削工具を用
いることにより切削工具交換回数などを減らすことがで
き、産業の発展に大いに貢献しうるものである。
Claims (2)
- 【請求項１】 基体表面に、少なくとも１層のチタンの
炭化物層を含むチタン化合物層で構成された内層と、酸
化アルミニウム層からなる外層とで構成された複合硬質
層を被覆してなる切削工具において、 前記内層に含まれるチタンの炭化物層は、Ｘ線回折によ
るピークが（１１１）＞（２００）＞（２２０）の高さ
順序で現れるチタンの炭化物層であり、 かつ前記外層の酸化アルミニウム層は、κ型酸化アルミ
ニウム層あるいはκ型の比率が多いα型とκ型の混合
（以下、α＋κ（κ＞α）と記す）型酸化アルミニウム
層であることを特徴とする複合硬質層表面被覆切削工
具。 - 【請求項２】 請求項１記載のκ型酸化アルミニウム層
あるいはα＋κ（κ＞α）型酸化アルミニウム層の外層
の表面に、さらにチタンの窒化物層を被覆してなること
を特徴とする複合硬質層表面被覆切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12068995A JPH08290307A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 複合硬質層表面被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12068995A JPH08290307A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 複合硬質層表面被覆切削工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08290307A true JPH08290307A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14792527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12068995A Pending JPH08290307A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | 複合硬質層表面被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08290307A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10219452A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-18 | Hitachi Tool Eng Co Ltd | 多層被覆超硬合金 |
| JPH10219451A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-18 | Hitachi Tool Eng Co Ltd | 多層被覆超硬合金 |
| JP2015182169A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| WO2018124111A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 京セラ株式会社 | 切削インサート |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP12068995A patent/JPH08290307A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10219452A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-18 | Hitachi Tool Eng Co Ltd | 多層被覆超硬合金 |
| JPH10219451A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-18 | Hitachi Tool Eng Co Ltd | 多層被覆超硬合金 |
| JP2015182169A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| WO2018124111A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 京セラ株式会社 | 切削インサート |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030121 |