JPH0828417B2 - ウェハ移替方法 - Google Patents
ウェハ移替方法Info
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- JPH0828417B2 JPH0828417B2 JP62288743A JP28874387A JPH0828417B2 JP H0828417 B2 JPH0828417 B2 JP H0828417B2 JP 62288743 A JP62288743 A JP 62288743A JP 28874387 A JP28874387 A JP 28874387A JP H0828417 B2 JPH0828417 B2 JP H0828417B2
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- chuck
- wafer
- carrier
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェハ移替方法に関する。
［従来の技術及び問題点］ 周知の如く、半導体装置はインゴットから切出され、
表面加工処理がなされたウェハへの熱酸化処理、不純物
の拡散処理、膜堆積処理、エッチング処理等の多数の工
程を経て製造されている。例えば、膜堆積処理工程をお
いては前工程の処理が完了した複数枚のウェハを収納し
たキャリアを複数用意し、これらキャリア内のウェハを
膜堆積処理用の石英ボートに移替を行なった後、この石
英ボートを熱処理炉内に搬送し、炉内を所定の温度に保
持しながら各種の反応ガスを供給してボートに立てられ
た各ウェハ表面に所定の膜を堆積する方法が採用されて
いる。
表面加工処理がなされたウェハへの熱酸化処理、不純物
の拡散処理、膜堆積処理、エッチング処理等の多数の工
程を経て製造されている。例えば、膜堆積処理工程をお
いては前工程の処理が完了した複数枚のウェハを収納し
たキャリアを複数用意し、これらキャリア内のウェハを
膜堆積処理用の石英ボートに移替を行なった後、この石
英ボートを熱処理炉内に搬送し、炉内を所定の温度に保
持しながら各種の反応ガスを供給してボートに立てられ
た各ウェハ表面に所定の膜を堆積する方法が採用されて
いる。
上述したキャリア内のウェハを石英ボートに移替を行
なうには、従来より次のような方法が採用されている。
まず、複数枚のウェハが収納されたキャリアの下方に該
キャリアの溝と同ピッチの溝加工がなされた上下動自在
な押上板を有する突上げ機構を配置し、かつ該キャリア
の上方に該キャリアの溝と同ピッチの溝加工がなされた
開閉自在で上下動自在なウェハチャックを配置した後、
前記突上げ機構の押上板を上昇させてキャリア内の全て
のウェハを開いたウェハチャックを通してその上方に押
し上げる。つづいて、ウェハチャックを閉じた後、押上
板を下降させて該押上板の溝に差込まれた全てのウェハ
を一括してウェハチャックの溝に係合させる。次いで、
ウェハチャックを石英ボートの上方に移動させ、更に下
降させて該チャック内の各ウェハを該ボートの溝に夫々
立かけて移替を行なう。こうしたウェハ移替方法は、例
えば特公昭61-4186号公報、実開昭61-205141号公報、実
開昭61-33443号公報、特開昭62-69634号公報、特開昭61
-224430号公報に開示されている。
なうには、従来より次のような方法が採用されている。
まず、複数枚のウェハが収納されたキャリアの下方に該
キャリアの溝と同ピッチの溝加工がなされた上下動自在
な押上板を有する突上げ機構を配置し、かつ該キャリア
の上方に該キャリアの溝と同ピッチの溝加工がなされた
開閉自在で上下動自在なウェハチャックを配置した後、
前記突上げ機構の押上板を上昇させてキャリア内の全て
のウェハを開いたウェハチャックを通してその上方に押
し上げる。つづいて、ウェハチャックを閉じた後、押上
板を下降させて該押上板の溝に差込まれた全てのウェハ
を一括してウェハチャックの溝に係合させる。次いで、
ウェハチャックを石英ボートの上方に移動させ、更に下
降させて該チャック内の各ウェハを該ボートの溝に夫々
立かけて移替を行なう。こうしたウェハ移替方法は、例
えば特公昭61-4186号公報、実開昭61-205141号公報、実
開昭61-33443号公報、特開昭62-69634号公報、特開昭61
-224430号公報に開示されている。
しかしながら、上述した移替方法ではキャリア内の複
数枚のウェハを一括してウェハチャックに係合させ、該
チャックにより石英ボートに移替を行なうため、ユーザ
等の要望に応じてキャリアに収納されたウェハのピッチ
と異なるピッチ（例えばハーフピッチ;3/32インチピッ
チ、倍ピッチ;3/8インチピッチ等）で石英ボートに移替
を行なうことができないという問題があった。
数枚のウェハを一括してウェハチャックに係合させ、該
チャックにより石英ボートに移替を行なうため、ユーザ
等の要望に応じてキャリアに収納されたウェハのピッチ
と異なるピッチ（例えばハーフピッチ;3/32インチピッ
チ、倍ピッチ;3/8インチピッチ等）で石英ボートに移替
を行なうことができないという問題があった。
上記問題を回避するために、例えば倍ピッチの石英ボ
ートにウェハの移替を行なう場合、倍ピッチの溝を有す
るキャリア及び倍ピッチの溝が複数形成された押上板を
用いることが考えられる。しかしながら、かかる移替方
法では石英ボートのピッチに合せて専用のキャリア、押
上板を必要とし、部品の増加や交換作業の繁雑化による
ランニングコストの上昇、キャリアの溝ピッチを標準ピ
ッチ（3/16インチピッチ）と異ならせることによるキャ
リアの前段階での整合性の悪化を招く等の問題があっ
た。
ートにウェハの移替を行なう場合、倍ピッチの溝を有す
るキャリア及び倍ピッチの溝が複数形成された押上板を
用いることが考えられる。しかしながら、かかる移替方
法では石英ボートのピッチに合せて専用のキャリア、押
上板を必要とし、部品の増加や交換作業の繁雑化による
ランニングコストの上昇、キャリアの溝ピッチを標準ピ
ッチ（3/16インチピッチ）と異ならせることによるキャ
リアの前段階での整合性の悪化を招く等の問題があっ
た。
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされ
たもので、キャリア内に収納されたウェハのピッチに関
係なく任意のピッチでウェハを石英ボートに移替できる
ウェハ移替方法を提供しようとするものである。
たもので、キャリア内に収納されたウェハのピッチに関
係なく任意のピッチでウェハを石英ボートに移替できる
ウェハ移替方法を提供しようとするものである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上下動可能な複数枚の押上板によりキャリ
ア内の複数枚のウェハを、該キャリアの溝ピッチと異な
るピッチの溝を有する開閉自在なウェハチャックを通し
てその上方に押し上げる工程と、前記ウェハチャックを
前記キャリアの溝ピッチと前記チャックの溝ピッチの差
に相当する距離だけ移動させた後、該チャックを閉じ、
チャックの溝に合致する押上板を下降させて該押上板の
ウェハをチャックの溝に係合させる工程と、前記チャッ
クの移動、別の押上板の下降を繰返して複数枚の押上板
で押し上げられたウェハの全てをウェハチャックの溝に
係合させる工程と、前記チャックの溝の全てにウェハを
係合させた後、該チャックをボートの上方に移動させ、
該ウェハチャックを下降させてウェハチャック内の各ウ
ェハを該ボートの溝に夫々立てかける工程とを具備した
ことを特徴とするウェハ移替方法である。
ア内の複数枚のウェハを、該キャリアの溝ピッチと異な
るピッチの溝を有する開閉自在なウェハチャックを通し
てその上方に押し上げる工程と、前記ウェハチャックを
前記キャリアの溝ピッチと前記チャックの溝ピッチの差
に相当する距離だけ移動させた後、該チャックを閉じ、
チャックの溝に合致する押上板を下降させて該押上板の
ウェハをチャックの溝に係合させる工程と、前記チャッ
クの移動、別の押上板の下降を繰返して複数枚の押上板
で押し上げられたウェハの全てをウェハチャックの溝に
係合させる工程と、前記チャックの溝の全てにウェハを
係合させた後、該チャックをボートの上方に移動させ、
該ウェハチャックを下降させてウェハチャック内の各ウ
ェハを該ボートの溝に夫々立てかける工程とを具備した
ことを特徴とするウェハ移替方法である。
［作用］ 本発明によれば、上下動可能な複数枚の押上板により
キャリア内の複数枚のウェハを、該キャリアの溝ピッチ
と異なるピッチの溝を有する開閉自在なウェハチャック
を通してその上方に押し上げ、前記ウェハチャックを前
記キャリアの溝ピッチと前記チャックの溝ピッチの差に
相当する距離だけ移動させた後、該チャックを閉じ、チ
ャックの溝に合致する押上板を下降させて該押上板のウ
ェハをチャックの溝に係合させ、更に前記チャックの移
動、別の押上板の下降を繰返して複数枚の押上板で押し
上げられたウェハの全てをウェハチャックの溝に係合さ
せ、ひきつづき前記チャックの溝の全てにウェハを係合
させ、該チャックをボートの上方に移動させ、該ウェハ
チャックを下降させてウェハチャック内の各ウェハを該
ボートの溝に夫々立てかけることによって、キャリア内
に収納されたウェハのピッチに関係なく任意のピッチで
ウェハを石英ボートに移替できる。
キャリア内の複数枚のウェハを、該キャリアの溝ピッチ
と異なるピッチの溝を有する開閉自在なウェハチャック
を通してその上方に押し上げ、前記ウェハチャックを前
記キャリアの溝ピッチと前記チャックの溝ピッチの差に
相当する距離だけ移動させた後、該チャックを閉じ、チ
ャックの溝に合致する押上板を下降させて該押上板のウ
ェハをチャックの溝に係合させ、更に前記チャックの移
動、別の押上板の下降を繰返して複数枚の押上板で押し
上げられたウェハの全てをウェハチャックの溝に係合さ
せ、ひきつづき前記チャックの溝の全てにウェハを係合
させ、該チャックをボートの上方に移動させ、該ウェハ
チャックを下降させてウェハチャック内の各ウェハを該
ボートの溝に夫々立てかけることによって、キャリア内
に収納されたウェハのピッチに関係なく任意のピッチで
ウェハを石英ボートに移替できる。
［発明の実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第１図中の１は、ボックス形のハウジングである。こ
のハウジング１上には、キャリアステージ２及びボート
ステージ３が同一線上に位置するように設けられてい
る。また、前記ハウジング１側壁には並置して操作パネ
ル４が設けられている。
のハウジング１上には、キャリアステージ２及びボート
ステージ３が同一線上に位置するように設けられてい
る。また、前記ハウジング１側壁には並置して操作パネ
ル４が設けられている。
前記キャリアステージ２には、後述する突き上げ機構
の押上板出没用穴５が載置されるべきキャリアに対応し
て開口されている。この穴５内には、第２図に示すよう
に突上げ機構６が前記キャリアステージ２に載置される
べきキャリアに対応して複数設けられている。なお、第
２図中では突上げ機構６を一つのみ示し、他のものを省
略した。前記突き上げ機構６は、上下動する複数、例え
ば25本のピストン７を有するシリンダ８と、前記各ピス
トン７の上端に夫々取着され、各ピストン７の上下動作
により前記キャリアステージ２の穴５を通して出没され
る円弧状の溝を有する複数の押上板９とから構成されて
いる。
の押上板出没用穴５が載置されるべきキャリアに対応し
て開口されている。この穴５内には、第２図に示すよう
に突上げ機構６が前記キャリアステージ２に載置される
べきキャリアに対応して複数設けられている。なお、第
２図中では突上げ機構６を一つのみ示し、他のものを省
略した。前記突き上げ機構６は、上下動する複数、例え
ば25本のピストン７を有するシリンダ８と、前記各ピス
トン７の上端に夫々取着され、各ピストン７の上下動作
により前記キャリアステージ２の穴５を通して出没され
る円弧状の溝を有する複数の押上板９とから構成されて
いる。
前記キャリアステージ２及びボートステージ３より手
前側の前記ハウジング１には、長穴10が開孔されてい
る。この長穴10の下方には、同第２図に示すように２本
のガイド軸11a、11bが互いに平行となるように配設され
ている。これたガイド軸11a、11b上には、摺動テーブル
12が載置されている。このテーブル12上には、係合板13
が立設され、かつ該係合板13には前記ガイド軸11a、11b
と平行に配置されたボールネジ14が螺合されている。こ
のボールネジ14の一端は、支持板15に軸支され、かつ他
端はパルスモータ16に連結されている。このモータ16
は、モータ駆動回路17に接続され、かつ該駆動回路17は
前記操作パネル４に設けられた制御機構18に接続されて
いる。つまり、前記制御機構18から所定の信号を駆動回
路17に出力することによりパルスモータ16が駆動し、該
モータ16と連結されたボールネジ14が回転する。ボール
ネジ14の回転により、該ボールネジ14に係合板13を介し
て係合された摺動テーブル12が２本のガイドレール11
a、11bに沿って移動する。
前側の前記ハウジング１には、長穴10が開孔されてい
る。この長穴10の下方には、同第２図に示すように２本
のガイド軸11a、11bが互いに平行となるように配設され
ている。これたガイド軸11a、11b上には、摺動テーブル
12が載置されている。このテーブル12上には、係合板13
が立設され、かつ該係合板13には前記ガイド軸11a、11b
と平行に配置されたボールネジ14が螺合されている。こ
のボールネジ14の一端は、支持板15に軸支され、かつ他
端はパルスモータ16に連結されている。このモータ16
は、モータ駆動回路17に接続され、かつ該駆動回路17は
前記操作パネル４に設けられた制御機構18に接続されて
いる。つまり、前記制御機構18から所定の信号を駆動回
路17に出力することによりパルスモータ16が駆動し、該
モータ16と連結されたボールネジ14が回転する。ボール
ネジ14の回転により、該ボールネジ14に係合板13を介し
て係合された摺動テーブル12が２本のガイドレール11
a、11bに沿って移動する。
前記テーブル12上には、上下動する一対のピストン19
a、19bを有するシリンダ20が設けられている。これらピ
ストン19a、19bの上端には、チャック駆動機構21が設け
られている。この駆動機構21は、本体22と、この本体22
から水平方向に延びる前進・後退が自在な４本の作動軸
23a〜23dと、該本体22内に挿入された前記各作動軸23a
〜23dの後端に設けられ、各作動軸23a、23bと23c、23d
を互いに反対方向に駆動する歯車系（図示せず）と、こ
の歯車系を回転されるモータ（図示せず）とから構成さ
れている。前記チャック駆動機構21には、ウェハチャッ
ク24が取付けられている。このウェハチャック24は、互
いに平行して対向配置された一対の開閉板25a、25bを備
えている。前記本体22に近い側に位置する一方の開閉板
25aは、前記４本の作動軸23a〜23d中の同一方向に動作
する２本（例えば23a、23b）の先端に支持されている。
また、他方の開閉板25bは前記一方の開閉板25aを貫通し
同一方向に動作する残り２本の作動軸23c、23dの先端に
支持されている。前記各開閉板25a、25bの中央付近から
下端に亙る内面には、夫々ウェハを保持する保持部26
a、26bが取付けられており、かつこれら保持部26a、26b
の内面には上端から下端に延びる複数の爪が例えばキャ
リアのピッチ（3/16インチピッチ）の倍ピッチ（3/8イ
ンチピッチ）で形成されている。こうしたチャック駆動
機構21において、該駆動機構21のモータを作動すると本
体22に近い側のウェハチャック24の開閉板25aを支持す
る２本の作動軸23a、23bが後退し、他方の開閉板25bを
支持する２本の作動軸23c、23dが前進して一対の開閉板
25a、25bが開かれる。また、夫々の開閉板25a、25bを支
持する作動軸23a、23bと23c、23dを前記と反対方向に動
作させると、一対の開閉板25a、25bが閉じられる。な
お、前記シリンダ８、20及びチャック駆動機構21は前記
ボールネジ14を回転させるパルスモータ16と共に前記操
作パネル４に設けられた制御機構18からのプログラミン
グ信号により必要なタイミングで動作される。
a、19bを有するシリンダ20が設けられている。これらピ
ストン19a、19bの上端には、チャック駆動機構21が設け
られている。この駆動機構21は、本体22と、この本体22
から水平方向に延びる前進・後退が自在な４本の作動軸
23a〜23dと、該本体22内に挿入された前記各作動軸23a
〜23dの後端に設けられ、各作動軸23a、23bと23c、23d
を互いに反対方向に駆動する歯車系（図示せず）と、こ
の歯車系を回転されるモータ（図示せず）とから構成さ
れている。前記チャック駆動機構21には、ウェハチャッ
ク24が取付けられている。このウェハチャック24は、互
いに平行して対向配置された一対の開閉板25a、25bを備
えている。前記本体22に近い側に位置する一方の開閉板
25aは、前記４本の作動軸23a〜23d中の同一方向に動作
する２本（例えば23a、23b）の先端に支持されている。
また、他方の開閉板25bは前記一方の開閉板25aを貫通し
同一方向に動作する残り２本の作動軸23c、23dの先端に
支持されている。前記各開閉板25a、25bの中央付近から
下端に亙る内面には、夫々ウェハを保持する保持部26
a、26bが取付けられており、かつこれら保持部26a、26b
の内面には上端から下端に延びる複数の爪が例えばキャ
リアのピッチ（3/16インチピッチ）の倍ピッチ（3/8イ
ンチピッチ）で形成されている。こうしたチャック駆動
機構21において、該駆動機構21のモータを作動すると本
体22に近い側のウェハチャック24の開閉板25aを支持す
る２本の作動軸23a、23bが後退し、他方の開閉板25bを
支持する２本の作動軸23c、23dが前進して一対の開閉板
25a、25bが開かれる。また、夫々の開閉板25a、25bを支
持する作動軸23a、23bと23c、23dを前記と反対方向に動
作させると、一対の開閉板25a、25bが閉じられる。な
お、前記シリンダ８、20及びチャック駆動機構21は前記
ボールネジ14を回転させるパルスモータ16と共に前記操
作パネル４に設けられた制御機構18からのプログラミン
グ信号により必要なタイミングで動作される。
次に、前述した第１図、第２図及び第３図〜第８図を
参照してウェハ移替方法を説明する。
参照してウェハ移替方法を説明する。
（Ｉ） まず、第１図及び第８図に示すようにハウジン
グ１のキャリアステージ２上に25枚のウェハ27が標準ピ
ッチ（3/16インチピッチ）で収納された例えば４個のキ
ャリア281〜284を各突上げ機構６の直上に夫々位置する
ように設置する。また、複数（例えば50個）の溝が倍ピ
ッチ（3/8インチピッチ）で切り込まれた石英ボート29
を図示しない搬送装置によりハウジング１のボートステ
ージ３上に設置する。
グ１のキャリアステージ２上に25枚のウェハ27が標準ピ
ッチ（3/16インチピッチ）で収納された例えば４個のキ
ャリア281〜284を各突上げ機構６の直上に夫々位置する
ように設置する。また、複数（例えば50個）の溝が倍ピ
ッチ（3/8インチピッチ）で切り込まれた石英ボート29
を図示しない搬送装置によりハウジング１のボートステ
ージ３上に設置する。
（II） 次いで、制御機構18から駆動回路17に所定の信
号を出力してパルスモータ16を所定時間回転し、該モー
タ16に連結されたボールネジ14を回転させる。これによ
り、ボールネジ14に係合板13を介して係合された摺動テ
ーブル12がガイド軸11a、11bに沿って移動され、該テー
ブル12にシリンダ20及びチャック駆動機構21を介して支
持固定されたウェハチャック24を１番目のキャリア281
の直上に位置される（第３図（Ａ）及び第４図図示）。
なお、第４図は第３図（Ａ）のＸ−Ｘ矢視図である。
号を出力してパルスモータ16を所定時間回転し、該モー
タ16に連結されたボールネジ14を回転させる。これによ
り、ボールネジ14に係合板13を介して係合された摺動テ
ーブル12がガイド軸11a、11bに沿って移動され、該テー
ブル12にシリンダ20及びチャック駆動機構21を介して支
持固定されたウェハチャック24を１番目のキャリア281
の直上に位置される（第３図（Ａ）及び第４図図示）。
なお、第４図は第３図（Ａ）のＸ−Ｘ矢視図である。
次いで、突き上げ機構６のシリンダ８を駆動して左端
から13本のピストン７を上昇させ、各ピストン７先端に
取着した押上板９を上昇させる。これにより各押上板９
はキャリアステージ２の穴５を通り、それら上部の円弧
状の溝内でキャリア281内に収納した13枚のウェハ27を
夫々受け止め、各ウェハ27を各押上板９と共に開状態の
ウェハチャック24を通してその上方に移行させる（第３
図（Ｂ）及び第５図図示）。なお、第５図は第３図
（Ｂ）のＸ−Ｘ矢視図である。
から13本のピストン７を上昇させ、各ピストン７先端に
取着した押上板９を上昇させる。これにより各押上板９
はキャリアステージ２の穴５を通り、それら上部の円弧
状の溝内でキャリア281内に収納した13枚のウェハ27を
夫々受け止め、各ウェハ27を各押上板９と共に開状態の
ウェハチャック24を通してその上方に移行させる（第３
図（Ｂ）及び第５図図示）。なお、第５図は第３図
（Ｂ）のＸ−Ｘ矢視図である。
次いで、チャック駆動機構21のモータを回転して、ウ
ェハチャック24における該駆動機構21に近い側の開閉板
25aを支持する２本の作動軸23a、23bを前進させ、他方
の開閉板25bを支持する２本の作動軸23c、23dを後退さ
せて一対の開閉板25a、25bを閉じる（第３図（Ｃ）図
示）。つづいて、突き上げ機構６のシリンダ８を駆動し
て左端のピストン７を下降させ、該ピストン７先端に取
着した押上板９を下降させる。押上板９が、ウェハチャ
ック24の閉状態の開閉板25a、25b間を下降する際に、該
押上板９に受け止められたウェハ27は開閉板25a、25bの
保持部26a、26bに形成された左端の爪間の溝に係合され
る（第３図（Ｄ）及び第６図図示）。なお、第６図は第
３図（Ｄ）のＸ−Ｘ矢視図である。
ェハチャック24における該駆動機構21に近い側の開閉板
25aを支持する２本の作動軸23a、23bを前進させ、他方
の開閉板25bを支持する２本の作動軸23c、23dを後退さ
せて一対の開閉板25a、25bを閉じる（第３図（Ｃ）図
示）。つづいて、突き上げ機構６のシリンダ８を駆動し
て左端のピストン７を下降させ、該ピストン７先端に取
着した押上板９を下降させる。押上板９が、ウェハチャ
ック24の閉状態の開閉板25a、25b間を下降する際に、該
押上板９に受け止められたウェハ27は開閉板25a、25bの
保持部26a、26bに形成された左端の爪間の溝に係合され
る（第３図（Ｄ）及び第６図図示）。なお、第６図は第
３図（Ｄ）のＸ−Ｘ矢視図である。
次いで、制御機構18から駆動回路17に所定の信号を出
力してパルスモータ16を所定時間回転し、該モータ16に
連結されたボールネジ14を回転させることにより、ウェ
ハチャック24を第６図の左方向（矢印方向）にキャリア
281の溝ピッチ（3/16インチピッチ）とチャック24の爪
間の溝ピッチ（3/8インチピッチ）の差に相当する距離
（3/16インチピッチ）だけ移動させて左から２番目の押
上板９に受け止められたウェハ27がウェハチャック24の
左端から２番目の爪間の溝に合致させるようにする。つ
づいて、突き上げ機構６のシリンダ８を駆動して左端か
ら２番目のピストン７を下降させ、該ピストン７先端に
取着した押上板９をウェハチャック24の閉状態の開閉板
25a、25b間を下降させてその押上板９に受け止められた
ウェハ27を開閉板25a、25bの保持部26a、26bに形成され
た左端から２番目の爪間の溝に係合させる。この後、同
様なウェハチャック24の左方向への3/16インチピッチ分
の距離の移動、３番目以降の押上板９の下降を繰返すこ
とによって、第７図に示すように13枚のウェハ27をウェ
ハチャック24に形成されたキャリア281の溝ピッチの倍
ピッチで爪間の溝に係合させる。
力してパルスモータ16を所定時間回転し、該モータ16に
連結されたボールネジ14を回転させることにより、ウェ
ハチャック24を第６図の左方向（矢印方向）にキャリア
281の溝ピッチ（3/16インチピッチ）とチャック24の爪
間の溝ピッチ（3/8インチピッチ）の差に相当する距離
（3/16インチピッチ）だけ移動させて左から２番目の押
上板９に受け止められたウェハ27がウェハチャック24の
左端から２番目の爪間の溝に合致させるようにする。つ
づいて、突き上げ機構６のシリンダ８を駆動して左端か
ら２番目のピストン７を下降させ、該ピストン７先端に
取着した押上板９をウェハチャック24の閉状態の開閉板
25a、25b間を下降させてその押上板９に受け止められた
ウェハ27を開閉板25a、25bの保持部26a、26bに形成され
た左端から２番目の爪間の溝に係合させる。この後、同
様なウェハチャック24の左方向への3/16インチピッチ分
の距離の移動、３番目以降の押上板９の下降を繰返すこ
とによって、第７図に示すように13枚のウェハ27をウェ
ハチャック24に形成されたキャリア281の溝ピッチの倍
ピッチで爪間の溝に係合させる。
（III） 次いで、摺動テーブル12上のシリンダ20を駆
動してピストン19a、19bを上昇させてチャック駆動機構
21に支持されたウェハチャック24を所定の位置まで持ち
上げる。つづいて、制御機構18から駆動回路17に所定の
信号を出力してパルスモータ16を所定時間回転し、該モ
ータ16に連結されたボールネジ14を回転させることによ
りボールネジ14に係合板13を介して係合された摺動テー
ブル12がガイド軸11a、11bに沿って移動させ、該テーブ
ル12にシリンダ20及びチャック駆動機構21等を介して支
持固定されたウェハチャック24を前記石英ボート29の前
段側の直上に位置させる。この後、シリンダ20を駆動し
てピストン19a、19bを下降させてキャリア駆動機構21に
支持されたウェハチャック24を石英ボート29内の位置ま
で下降させる。これにより、該チャック24に保持された
13枚のウェハを該石英ボート29の倍ピッチ（3/8インチ
ピッチ）で下降された溝に係合されて移替がなされる
（第７図図示）。
動してピストン19a、19bを上昇させてチャック駆動機構
21に支持されたウェハチャック24を所定の位置まで持ち
上げる。つづいて、制御機構18から駆動回路17に所定の
信号を出力してパルスモータ16を所定時間回転し、該モ
ータ16に連結されたボールネジ14を回転させることによ
りボールネジ14に係合板13を介して係合された摺動テー
ブル12がガイド軸11a、11bに沿って移動させ、該テーブ
ル12にシリンダ20及びチャック駆動機構21等を介して支
持固定されたウェハチャック24を前記石英ボート29の前
段側の直上に位置させる。この後、シリンダ20を駆動し
てピストン19a、19bを下降させてキャリア駆動機構21に
支持されたウェハチャック24を石英ボート29内の位置ま
で下降させる。これにより、該チャック24に保持された
13枚のウェハを該石英ボート29の倍ピッチ（3/8インチ
ピッチ）で下降された溝に係合されて移替がなされる
（第７図図示）。
（IV） 次いで、１番目のキャリア281内の13枚のウェ
ハの移替動作が終了した後、シリンダ20のピストン19
a、19bによるウェハチャック24の上昇、パルスモータ16
の回転によるテーブル12の移動、ウェハチャック24の前
記１番目のキャリア281上への移動、シリンダ20のピス
トン19a、19bによるウェハチャック24の下降を行なって
１番目のキャリア281内に残存した12枚のウェハ27の移
替の準備を行なう。つづいて、前記（II）と同様な工程
によりキャリア281内の12枚のウェハ27をウェハチャッ
ク24の倍ピッチの爪間の溝に係合させる。この後、前記
（III）と同様な工程によりウェハチャック24の上昇、
水平方向への移動、下降により該チャック24に倍ピッチ
（3/8インチピッチ）で保持された12枚のウェハを石英
ボート29の既に移替がなされた領域の右側の溝に係合さ
せて移替を行なう。
ハの移替動作が終了した後、シリンダ20のピストン19
a、19bによるウェハチャック24の上昇、パルスモータ16
の回転によるテーブル12の移動、ウェハチャック24の前
記１番目のキャリア281上への移動、シリンダ20のピス
トン19a、19bによるウェハチャック24の下降を行なって
１番目のキャリア281内に残存した12枚のウェハ27の移
替の準備を行なう。つづいて、前記（II）と同様な工程
によりキャリア281内の12枚のウェハ27をウェハチャッ
ク24の倍ピッチの爪間の溝に係合させる。この後、前記
（III）と同様な工程によりウェハチャック24の上昇、
水平方向への移動、下降により該チャック24に倍ピッチ
（3/8インチピッチ）で保持された12枚のウェハを石英
ボート29の既に移替がなされた領域の右側の溝に係合さ
せて移替を行なう。
（Ｖ） 次いで、２番目のキャリア282に収納されたウ
ェハ27に対しても同様な操作を行なうことによって、２
個のキャリア281、282内に収納された50枚のウェハ27を
全て石英ボート29の倍ピッチ（3/8インチピッチ）で加
工された溝に係合させて移替を行なう。
ェハ27に対しても同様な操作を行なうことによって、２
個のキャリア281、282内に収納された50枚のウェハ27を
全て石英ボート29の倍ピッチ（3/8インチピッチ）で加
工された溝に係合させて移替を行なう。
従って、本発明の方法によれば標準ピッチ（3/16イン
チピッチ）で溝加工されたキャリアから該キャリアの溝
ピッチと異なるピッチ（例えば倍ピッチ:3/8インチピッ
チ）で溝加工された石英ボートへの移替を行なうことが
できる。その結果、石英ボートのピッチに合せて専用の
キャリアや押上板を必要とせず、部品点数の増加の解
消、交換作業の短縮化によって移替効率を著しく向上で
きる。また、標準ピッチのキャリアを使用できるため、
キャリアの前段階での整合性も良好となり、トータル的
な移替操作を円滑に行なうことができる。
チピッチ）で溝加工されたキャリアから該キャリアの溝
ピッチと異なるピッチ（例えば倍ピッチ:3/8インチピッ
チ）で溝加工された石英ボートへの移替を行なうことが
できる。その結果、石英ボートのピッチに合せて専用の
キャリアや押上板を必要とせず、部品点数の増加の解
消、交換作業の短縮化によって移替効率を著しく向上で
きる。また、標準ピッチのキャリアを使用できるため、
キャリアの前段階での整合性も良好となり、トータル的
な移替操作を円滑に行なうことができる。
なお、上記実施例では倍ピッチの溝が爪間に13個形成
された保持部を有する２枚の開閉板からなるウェハチャ
ックを用いて、１つのキャリア内に収納された25枚のウ
ェハを13枚のと12枚のウェハに別けて石英ボートへの移
替を行なったが、倍ピッチの溝が爪間に25個形成された
保持部を有する２枚の開閉板からなるウェハチャックを
用いて、１つのキャリア内に収納された25枚のウェハ全
てを１回の操作で石英ボートに移替てもよい。
された保持部を有する２枚の開閉板からなるウェハチャ
ックを用いて、１つのキャリア内に収納された25枚のウ
ェハを13枚のと12枚のウェハに別けて石英ボートへの移
替を行なったが、倍ピッチの溝が爪間に25個形成された
保持部を有する２枚の開閉板からなるウェハチャックを
用いて、１つのキャリア内に収納された25枚のウェハ全
てを１回の操作で石英ボートに移替てもよい。
また、上記実施例では倍ピッチの溝を有する石英ボー
トへの移替を説明したが、これに限定されない。例え
ば、ハーフピッチ（3/22インチピッチ）、３倍ピッチ
（3/4インチピッチ）の溝が加工された石英ボートへの
移替も容易に行なうことができる。かかるハーフピッチ
の石英ボートへの移替を第９図を参照して簡単に説明す
ると、まずハーフピッチの溝が爪間に形成されたウェハ
チャック24′を用意し、突上げ機構６のシリンダ８の各
ピストン７を上昇させて、該ピストン７上端の押上板９
によりキャリア28′内の25枚全てのウェハ27を会状態の
ウェハチャック24′を通して上方に持上げる。つづい
て、左端の押上板７を下降させて該押上板７に受止めら
れたウェハをウェハチャック24′の爪間の溝に係合させ
る。ひきつづき、ウェハチャック24′を同第９図の右方
向（矢印方向）にキャリア28′の溝ピッチ（3/16インチ
ピッチ）とチャック24′の爪間の溝ピッチ（3/32インチ
ピッチ）の差に相当する距離（3/32インチピッチ）だけ
移動させて左から２番目の押上板９に受け止められたウ
ェハ27がウェハチャック24′の左端から２番目の爪間の
溝に合致させるようにする。更に、突き上げ機構６のシ
リンダ８を駆動して左端から２番目のピストン７を下降
させ、該ピストン７先端に取着した押上板９をウェハチ
ャック24′の左端から２番目の爪間の溝に係合させる。
この後、同様にウェハチャック24′の右方向への3/32イ
ンチピッチ分の距離の移動、３番目以降の押上板９の下
降を繰返すことによって、25枚のウェハ27をウェハチャ
ック24′の爪間にハーフピッチで形成された溝に係合さ
せる。次いで、２番目のキャリア側にウェハチャックを
移動させて同様な操作を行なうことにより溝間にハーフ
ピッチで形成された50個の溝にウェハを係合させた後、
前記実施例の（III）の工程に従ってハーフピッチで溝
加工された石英ボートに移替を行なう。
トへの移替を説明したが、これに限定されない。例え
ば、ハーフピッチ（3/22インチピッチ）、３倍ピッチ
（3/4インチピッチ）の溝が加工された石英ボートへの
移替も容易に行なうことができる。かかるハーフピッチ
の石英ボートへの移替を第９図を参照して簡単に説明す
ると、まずハーフピッチの溝が爪間に形成されたウェハ
チャック24′を用意し、突上げ機構６のシリンダ８の各
ピストン７を上昇させて、該ピストン７上端の押上板９
によりキャリア28′内の25枚全てのウェハ27を会状態の
ウェハチャック24′を通して上方に持上げる。つづい
て、左端の押上板７を下降させて該押上板７に受止めら
れたウェハをウェハチャック24′の爪間の溝に係合させ
る。ひきつづき、ウェハチャック24′を同第９図の右方
向（矢印方向）にキャリア28′の溝ピッチ（3/16インチ
ピッチ）とチャック24′の爪間の溝ピッチ（3/32インチ
ピッチ）の差に相当する距離（3/32インチピッチ）だけ
移動させて左から２番目の押上板９に受け止められたウ
ェハ27がウェハチャック24′の左端から２番目の爪間の
溝に合致させるようにする。更に、突き上げ機構６のシ
リンダ８を駆動して左端から２番目のピストン７を下降
させ、該ピストン７先端に取着した押上板９をウェハチ
ャック24′の左端から２番目の爪間の溝に係合させる。
この後、同様にウェハチャック24′の右方向への3/32イ
ンチピッチ分の距離の移動、３番目以降の押上板９の下
降を繰返すことによって、25枚のウェハ27をウェハチャ
ック24′の爪間にハーフピッチで形成された溝に係合さ
せる。次いで、２番目のキャリア側にウェハチャックを
移動させて同様な操作を行なうことにより溝間にハーフ
ピッチで形成された50個の溝にウェハを係合させた後、
前記実施例の（III）の工程に従ってハーフピッチで溝
加工された石英ボートに移替を行なう。
［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明のウェハ移替方法によれば
標準ピッチ（3/16インチピッチ）で溝加工されたキャリ
アから該キャリアの溝ピッチと異なるピッチ（例えば倍
ピッチ:3/8インチピッチ）で溝加工された石英ボートへ
の移替を行なうことができ、ひいては石英ボートのピッ
チに合せて専用のキャリアや押上板を必要とせず、部品
点数の増加の解消、交換作業の短縮化によって移替効率
を著しく向上でき、更に標準ピッチのキャリアの使用に
よりその前段階での整合性が良好となってトータル的な
移替操作を円滑に行なうことができる等顕著な効果を有
する。
標準ピッチ（3/16インチピッチ）で溝加工されたキャリ
アから該キャリアの溝ピッチと異なるピッチ（例えば倍
ピッチ:3/8インチピッチ）で溝加工された石英ボートへ
の移替を行なうことができ、ひいては石英ボートのピッ
チに合せて専用のキャリアや押上板を必要とせず、部品
点数の増加の解消、交換作業の短縮化によって移替効率
を著しく向上でき、更に標準ピッチのキャリアの使用に
よりその前段階での整合性が良好となってトータル的な
移替操作を円滑に行なうことができる等顕著な効果を有
する。
第１図は本発明のウェハ移替方法に使用したウェハ移替
装置の一形態を示す斜視図、第２図は第１図の移替装置
の要部を示す斜視図、第３図（Ａ）〜（Ｄ）はウェハの
移替の途中工程を示す概略図、第４図は第３図（Ａ）の
Ｘ−Ｘ矢視図、第５図は第３図（Ｂ）の Ｘ−Ｘ矢視
図、第６図は第３図（Ｄ）のＸ−Ｘ矢視図、第７図はキ
ャリア内の13枚のウェハをウェハチャックに係合させた
状態を示す概略図、第８図はウェハチャックにより石英
ボートにウェハの移替を行なう状態を示す概略図、第９
図は本発明の他の実施例を示す概略図である。 １……ハウジング、２……キャリアステージ、３……ボ
ートステージ、６……突き上げ機構、９……押上板、12
……摺動テーブル、16……パルスモータ、21……チャッ
ク駆動機構、23a〜23d……作動軸、24、24′……ウェハ
チャック、25a、25b……開閉板、26a、26b……保持部、
27……ウェハ、281〜284、28′……キャリア、29……石
英ボート。
装置の一形態を示す斜視図、第２図は第１図の移替装置
の要部を示す斜視図、第３図（Ａ）〜（Ｄ）はウェハの
移替の途中工程を示す概略図、第４図は第３図（Ａ）の
Ｘ−Ｘ矢視図、第５図は第３図（Ｂ）の Ｘ−Ｘ矢視
図、第６図は第３図（Ｄ）のＸ−Ｘ矢視図、第７図はキ
ャリア内の13枚のウェハをウェハチャックに係合させた
状態を示す概略図、第８図はウェハチャックにより石英
ボートにウェハの移替を行なう状態を示す概略図、第９
図は本発明の他の実施例を示す概略図である。 １……ハウジング、２……キャリアステージ、３……ボ
ートステージ、６……突き上げ機構、９……押上板、12
……摺動テーブル、16……パルスモータ、21……チャッ
ク駆動機構、23a〜23d……作動軸、24、24′……ウェハ
チャック、25a、25b……開閉板、26a、26b……保持部、
27……ウェハ、281〜284、28′……キャリア、29……石
英ボート。
Claims (1)
- 【請求項１】上下動可能な複数枚の押上板によりキャリ
ア内の複数枚のウェハを、該キャリアの溝ピッチと異な
るピッチの溝を有する開閉自在なウェハチャックを通し
てその上方に押し上げる工程と、前記ウェハチャックを
前記キャリアの溝ピッチと前記チャックの溝ピッチの差
に相当する距離だけ移動させた後、該チャックを閉じ、
チャックの溝に合致する押上板を下降させて該押上板の
ウェハをチャックの溝に係合させる工程と、前記チャッ
クの移動、別の押上板の下降を繰返して複数枚の押上板
で押し上げられたウェハの全てをウェハチャックの溝に
係合させる工程と、前記チャックの溝の全てにウェハを
係合させた後、該チャックをボートの上方に移動させ、
該ウェハチャックを下降させてウェハチャック内の各ウ
ェハを該ボートの溝に夫々立てかける工程とを具備した
ことを特徴とするウェハ移替方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288743A JPH0828417B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | ウェハ移替方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288743A JPH0828417B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | ウェハ移替方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129437A JPH01129437A (ja) | 1989-05-22 |
| JPH0828417B2 true JPH0828417B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=17734122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62288743A Expired - Lifetime JPH0828417B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | ウェハ移替方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0828417B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2558593B2 (ja) * | 1993-03-03 | 1996-11-27 | 高橋 清 | ウエハ入替え装置 |
| CN113649297A (zh) * | 2021-08-23 | 2021-11-16 | 深圳市优界科技有限公司 | 一种高精度晶圆分选机 |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP62288743A patent/JPH0828417B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01129437A (ja) | 1989-05-22 |
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