JPH0827316B2

JPH0827316B2 - マイクロ波電力検出装置

Info

Publication number: JPH0827316B2
Application number: JP4309514A
Authority: JP
Inventors: 昌弘平間; 正己越村
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1992-10-23
Filing date: 1992-10-23
Publication date: 1996-03-21
Anticipated expiration: 2011-03-21
Also published as: JPH06138159A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子レンジのようなマイ
クロ波加熱装置において被加熱体の加熱状況又は仕上り
状況を検出するに適したマイクロ波センサを用いたマイ
クロ波電力検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子レンジにはマイクロ波加熱による冷
凍食品の解凍機能、冷えた食品の温め機能等各種機能が
装備されている。電子レンジではこの種の食品の加熱状
況又は仕上り状況をセンサにより検出してマイクロ波を
発生するマグネトロンの出力を自動的に制御している。
従来、食品の冷凍状態から解凍状態までの温度変化を追
跡し、解凍サイクルの終りを検出する電子レンジが開示
されている（特開昭６４−５０３８５）。この電子レン
ジはマイクロ波を吸収して発熱する検出器とその温度を
測定する素子とその温度から電子レンジの作動を制御す
る計算及び制御装置を備える。検出器は電子レンジ内の
処理すべき製品の近傍に配置され、計算及び制御装置は
時間の関数としての検出器の温度上昇を表わす曲線を求
め、この曲線の二次導関数の値を計算することにより製
品の解凍サイクルの終りを決定し、また二次導関数の値
が所定値よりも小さくなる解凍サイクルの終了時に電子
レンジの作動を制御する。

【０００３】また、複数の順次の解凍作業において各解
凍作業の終了を一定の感度で検出できる検出器を備えた
別の電子レンジが開示されている（特開昭６４−５０３
８４）。この電子レンジもマイクロ波検出器と温度測定
素子と計算及び制御装置とを備える。この電子レンジで
は、検出器がマイクロ波を透過するが、マイクロ波の吸
収により発熱した検出器の外部への熱放散を防止する熱
絶縁体を含んでいる。この熱絶縁体により外部との熱交
換が減少して温度上昇が増加するので、検出器は各解凍
作業を感度を低下させることなく検出できる。またこの
検出器は外部に対する熱交換面積が大きくかつその厚さ
が薄く形成される。このため検出器は外部との熱交換が
促進され、各解凍作業後に初期特性を急速に回復する熱
的ラグの小さいものになる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】特開昭６４−５０３８
５号公報に示される電子レンジでは、製品が氷の状態か
ら水の状態に移行すると、製品は徐々により多くのマイ
クロ波電力を吸収して徐々に加熱され、検出器に吸収さ
れるエネルギは徐々に減少する。ここで、時間の関数と
して検出器の温度上昇を示す曲線の勾配（一次導関数）
を測定した場合に、この勾配がやや減少し二次導関数の
絶対値が所定値よりも大きくなったとき、電子レンジ内
の製品は解凍し始める。またこの勾配が緩やかになり、
二次導関数の絶対値が所定値よりも小さくなったとき、
製品は解凍を終了する。上記電子レンジはこの二次導関
数の変化から解凍状態を決定している。しかし、この解
凍状態の決定方法によれば二次導関数の変化をもたらす
のは、検出器に吸収されるマイクロ波電力の変化のみで
なくてはならない。

【０００５】一方、一般に熱容量Ｃを持つ被加熱物質、
例えばマイクロ波センサがマイクロ波電力Ｅを受けたと
きのｔ時間後の温度上昇値θは外部への熱放散が全くな
い、完全な断熱状態において、次の式（２）で表わされ
る。この関係は図７に示される。なお、θはマイクロ波
電力Ｅを受ける前の温度θ ₀ からマイクロ波電力Ｅをｔ
時間受けた後の温度θ _t までの温度上昇値である。 θ ＝Ｅ・ｔ／Ｃ（２）しかしながら、実際の被加熱物質では、マイクロ波電力
を受けたときに外部への熱放散を無視することができな
い。この場合、被加熱物質が熱放散定数δを持つ場合、
微小時間ｄｔにこの物質が受取るエネルギＥ・ｄｔは次
の式（３）で表わされる。Ｅ・ｄｔ＝Ｃ・ｄθ ＋ δ・θ・ｄｔ（３）ただし、ｄθは微小時間に上昇した温度、Ｃ・ｄθは微
小時間に物質に蓄えられた熱エネルギ、δ・θ・ｄｔは
微小時間に周囲に放散した熱エネルギである。上記式
（３）から温度上昇値θは電力Ｅが一定のとき次の式
（４）で表わされる。この関係は図８に示される。 θ ＝（Ｅ／δ）・｛１−ｅｘｐ（−ｔ／τ）｝（４）ただし、τは熱時定数であって、Ｃ＝τ・δの関係があ
る。図７及び図８から明らかなように、温度上昇値θが
大きくなるに従って、式（１）と式（２）との差が増大
する。

【０００６】さて、上記式（４）から特開昭６４−５０
３８５号公報に述べられた一次導関数（ｄθ／ｄｔ）及
び二次導関数（ｄ²θ／ｄｔ²）を求めると、次の式
（５）及び式（６）がそれぞれ得られる。これらの関係
は図９及び図１０に示される。ｄθ／ｄｔ＝（Ｅ／δ／τ）・ｅｘｐ（−ｔ／τ）（５）ｄ²θ／ｄｔ²＝（−Ｅ／δ／τ²）・ｅｘｐ（−ｔ／τ）（６）図１０及び式（６）から二次導関数（ｄ²θ／ｄｔ²）は
時間ｔが零から無限大（０〜∞）の範囲において、（−
Ｅ／δ／τ²）から０へと変化することを示しており、
熱放散を考慮すると時間に対しエネルギが変化しない場
合でも二次導関数の変化がもたらされる。このことは特
開昭６４−５０３８５号公報の電子レンジの解凍状態の
決定方法が温度上昇値θが大きくなった状態では、正確
でないことを示唆している。即ち、上記電子レンジでは
検出器に吸収されるマイクロ波電力の変化のみで二次導
関数の変化をみて、この二次導関数の変化から解凍状態
を決定しているが、実際にはマイクロ波センサの熱放散
を考慮する必要がある。

【０００７】また、特開昭６４−５０３８４号公報に示
される電子レンジでは、上述したように熱絶縁体を用
い、かつ熱放散し易い構造を採用している。熱絶縁体
はマイクロ波が照射されている間は熱放散を減少させ、
熱放散し易い構造はマイクロ波が照射されない間は熱
放散を大きくし速やかに初期状態に復帰させ、かつ繰返
し加熱する場合の熱の累積による熱破壊の防止をはかっ
ている。しかし、上記とは相反するものであり、そ
れぞれ十分に満足することは不可能である。更に、検出
器の外部への熱放散を考慮する場合には、この放散され
る熱量は周囲の温度により左右される。即ち、周囲の温
度が高いときには放散される熱量は少なく、低いときは
多い。例えば電子レンジではその使用状況によってその
加熱室が高温になった場合には検出誤差が大きくなる。
従来の単一の検出器では周囲の温度は画一的に捉えてい
たため、なお正確にマイクロ波電力を検出できない不具
合があった。

【０００８】本発明の目的は、マイクロ波センサの熱放
散を必ずしも減少させる必要がなく、この熱放散を考慮
して、マイクロ波センサの周囲の温度変化に影響されず
により正確にマイクロ波電力を検出できる装置を提供す
ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】図１に示すように、本発
明は、マイクロ波加熱室１７にマイクロ波センサ１０と
温度センサ５０が並んで設置される。マイクロ波センサ
１０はマイクロ波を吸収して発熱する電波吸収体１２と
この吸収体１２の温度を検出する第１サーミスタ素子１
１とを有する。温度センサ５０は電波吸収体１２の周囲
の温度を検出する第２サーミスタ素子５１を有する。電
波吸収体１２はマイクロ波加熱室１７を形成する金属壁
１５に設けられた取付孔１５ａに第１金属体２８を介し
て電波吸収体１２の一方の面１２ａを加熱室内に向けて
取付けられ、電波吸収体１２の他方の面１２ｂにサーミ
スタ素子１１の感温部１１ａがマイクロ波を受けないよ
うに接着され、第２サーミスタ素子５１が金属壁１５の
背面に第２金属体２９を介して取付けられる。

【００１０】コントローラ３０はマイクロ波センサ１０
及び温度センサ５０の各検出出力に基づいて下記式
（１）によりマイクロ波電力の値を時間の関数として計
算する。Ｅ＝Ｃ・ｄθ／ｄｔ＋ δ・θ （１）ただし、Ｅは前記電波吸収体が吸収したマイクロ波電
力、θ＝（θ _t1 −θ ₀₁ ）−（θ _t2 −θ ₀₂ ）であって、θ
₀₁ は前記電波吸収体がマイクロ波電力Ｅを吸収する前の
前記第１サーミスタ素子の検出温度、θ _t1 は前記電波吸
収体がマイクロ波電力Ｅをｔ時間吸収した後の前記第１
サーミスタ素子の検出温度、θ ₀₂ は前記電波吸収体がマ
イクロ波電力Ｅを吸収する前の前記第２サーミスタ素子
の検出温度、θ _t2 は前記電波吸収体がマイクロ波電力Ｅ
をｔ時間吸収した後の前記第２サーミスタ素子の検出温
度、Ｃは前記マイクロ波センサの熱容量、δは前記マイ
クロ波センサの熱放散定数である。

【００１１】

【作用】マイクロ波センサ１０にマイクロ波が到来する
と、電波吸収体１２がこれを吸収して発熱する。温度セ
ンサ５０を構成するサーミスタ素子５１は金属壁１５に
伝わってくる熱により電気抵抗値が変化する。この熱は
被加熱物又は電波吸収体１２のいずれか一方又は双方か
ら発せられる熱である。一方、マイクロ波センサ１０を
構成するサーミスタ素子１１はその周囲の熱に加えてマ
イクロ波電力量に相応した電波吸収体１２の発熱により
電気抵抗値が変化する。コントローラ３０は、電波吸収
体１２がマイクロ波電力を吸収する前の第１サーミスタ
素子１１の検出温度θ ₀₁ から電波吸収体１２がマイクロ
波電力をｔ時間吸収した後の第１サーミスタ素子１１の
検出温度θ _t1 までの温度上昇値（θ _t1 −θ ₀₁ ）から、電
波吸収体１２がマイクロ波電力を吸収する前の第２サー
ミスタ素子５１の検出温度θ ₀₂ から電波吸収体１２がマ
イクロ波電力をｔ時間吸収した後の第２サーミスタ素子
５１の検出温度θ _t2 までの温度上昇値（θ _t2 −θ ₀₂ ）を
減算して、マイクロ波電力の吸収による発熱分だけを求
める。コントローラ３０に予め式（１）の関係とマイク
ロ波センサ１０に固有の熱容量Ｃ及び熱放散定数δの各
値を記憶させておき、上記θ＝（θ _t1 −θ ₀₁ ）−（θ _t2
−θ ₀₂ ）を前記式（１）に代入すれば、マイクロ波セン
サ１０の熱放散と、周囲の温度変化を考慮して被加熱物
が受けるマイクロ波電力量をより正確に求めることがで
きる。

【００１２】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳し
く説明する。図１に示すように、電子レンジ１３の前面
には扉１４が開閉可能に設けられる。電子レンジ１３の
加熱室１７の天井部にはマイクロ波センサ１０と温度セ
ンサ５０が並設される。マイクロ波センサ１０は天井部
の金属壁１５に設けられた取付孔１５ａに第１金属体２
８を介して電波吸収体１２の一方の面１２ａを加熱室内
に向けて取付けられ、第２サーミスタ素子５１が金属壁
１５の背面に第２金属体２９を介して取付けられる。こ
れによりこのマイクロ波センサ１０はマイクロ波が照射
されない間は熱放散し易い構造となる。マイクロ波セン
サ１０はマイクロ波を吸収して発熱する電波吸収体１２
とこの吸収体１２の温度を検出する第１サーミスタ素子
１１とを有する。温度センサ５０は電波吸収体１２の周
囲の温度を検出する第２サーミスタ素子５１を有する。

【００１３】加熱室１７の奥部には２４５０ＭＨｚのマ
イクロ波を発生するマグネトロン１８が、またその背後
にはブロアファン１９及びファンモータ２０がそれぞれ
設けられる。サーミスタ素子１１及び５１のリード１１
ｃ，５１ｃはマグネトロン１８からのマイクロ波を受け
ない位置に設けられる。加熱室１７の底部には容器２１
を載せてモータ２３により回転するターンテーブル２２
が設けられる。ファンモータ２０の近傍には吸気口２４
が、また加熱室１７の天井部には排気口２６がそれぞれ
設けられる。電子レンジ１３にはＣＰＵ及びメモリを含
むコントローラ３０が設けられる。このメモリには前述
した式（１）の関係と前述したマイクロ波センサ１０の
熱放散定数δ及び熱時定数τの各値が記憶される。マイ
クロ波センサ１０及び温度センサ５０の検出出力はコン
トローラ３０に接続される。電波吸収体１２の発熱によ
る温度上昇値（θ _t1 −θ ₀₁ ）がサーミスタ素子１１の電
気信号として、また金属体２９を介して伝わる熱による
温度上昇値（θ _t2 −θ ₀₂ ）がサーミスタ素子５１の電気
信号としてそれぞれコントローラ３０に入力する。この
金属体２９を介して伝わる熱としては、電子レンジ１３
内の被加熱物の放散熱による金属壁１５の発熱と、図１
の符号Ｔに示すような吸収体１２から金属体２８を介し
て伝わる金属壁１５の発熱がある。またコントローラ３
０の制御出力はマグネトロン１８、モータ２０及び２３
にそれぞれ接続される。なお、θ ₀₁ は電波吸収体１２が
マイクロ波電力Ｅを吸収する前のサーミスタ素子１１の
検出温度、θ _t1 は電波吸収体１２がマイクロ波電力Ｅを
ｔ時間吸収した後のサーミスタ素子１１の検出温度、θ
₀₂ は電波吸収体１２がマイクロ波電力Ｅを吸収する前の
サーミスタ素子５１の検出温度、θ _t2 は電波吸収体１２
がマイクロ波電力Ｅをｔ時間吸収した後のサーミスタ素
子５１の検出温度である。

【００１４】図２はマイクロ波センサ１０の製造工程を
示す。予め直径が１０〜３０ｍｍ、厚さが０．５〜５ｍ
ｍの円板状の電波吸収体１２を用意する。厚さが０．２
〜１ｍｍで、電波吸収体１２の外径より４〜６ｍｍ小さ
な孔径の孔２８ｄが中央に形成され、周縁に３個のねじ
挿通孔２８ｅが形成され、かつ電波吸収体１２の外径よ
り５〜２０ｍｍ大きな外径の円板２８ｂを用意する。ま
た厚さが０．２〜１ｍｍで、電波吸収体１２の外径より
４〜６ｍｍ小さな孔径の孔２８ｃが中央に形成され、か
つ電波吸収体１２を丁度よく収容する円筒体２８ａを用
意する。円筒体２８ａ及び円板２８ｂはそれぞれ同一の
金属材料からなり、例えばアルミニウム、鉄、銅、ステ
ンレス、真鍮等の金属材料から選ばれる。電波吸収体１
２はＳｉＣの焼結体からなる。

【００１５】先ず円板２８ｂの上に電波吸収体１２を置
き、この吸収体１２の上から円筒体２８ａを被せて、円
筒体２８ａを円板２８ｂにスポット溶接２８ｆする。こ
れにより電波吸収体１２が円筒体２８ａと円板２８ｂと
により保持される。円筒体２８ａと円板２８ｂとは本発
明の第１金属体２８を構成する。次いで円筒体２８ａの
孔２８ｃから露出した電波吸収体１２の上面１２ｂの中
央にリード付きサーミスタ素子１１の感温部１１ａ（図
１）が接触するようにサーミスタ素子１１を有機或いは
無機材料で被覆して固定する。この例ではエポキシ樹脂
１０ａで固定する。図示しないが、サーミスタ素子１１
のリード１１ｃには絶縁カバーを設けることが好まし
い。サーミスタ素子を固定するエポキシ樹脂以外の有機
材料としては、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、ポリ
イミド樹脂等がある。また無機材料による固定方法とし
ては、シリカとアルミナを主成分とする材料を水と混ぜ
てペースト状にし、このペーストでサーミスタ素子をモ
ールドした後、水分を８０℃程度で蒸発させ、１５０℃
程度で熱処理する方法がある。マイクロ波センサ１０は
金属体２８のフランジ部に相当する円板２８ｂのねじ挿
通孔２８ｅと金属壁１５の通孔１５ａにねじ１５ｃを挿
通しナット１５ｄを螺合することにより金属壁１５に取
付けられる。

【００１６】図３はマイクロ波センサ１０の別の製造工
程を示す。図３において図２の符号と同一の符号は同一
構成部品を示す。この例ではスポット溶接で円筒体２８
ａと円板２８ｂを一体化する代わりに、円筒体２８ａの
下端の３箇所に爪２８ｇを設け、円板２８ｂに爪２８ｇ
が挿通される通孔２８ｈを形成し、爪２８ｇを通孔２８
ｈに挿通した後、折り曲げることにより一体化する。

【００１７】図４は温度センサ５０の製造工程を示す。
予め厚さが０．２〜１ｍｍで、直径が６〜２０ｍｍの円
板２９ｂを用意する。また厚さが３〜５ｍｍで、外径が
４〜１０ｍｍの円筒体２９ａを用意する。先ずリード５
１ｃの付いた第２サーミスタ素子５１の感温部５１ａを
筒体２９ａの内底部に接触させた状態でエポキシ樹脂５
０ａを筒体２９ａ内に充填し固定する。次いでこの筒体
２９ａの外底部を円板２９ｂにスポット溶接２９ｃす
る。温度センサ５０は円板２９ｂの底面をスポット溶接
することにより金属壁１５の背面に取付けられる。筒体
２９ａ及び円板２９ｂはマイクロ波センサ１０の円筒体
２８ａ及び円板２８ｂと同一材料からなる。筒体２９ａ
と円板２９ｂとは本発明の第２金属体２９を構成する。

【００１８】サーミスタ素子１１及び５１の感温部１１
ａ及び５１ａはそれぞれＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉを主成分とす
る金属酸化物の焼結体からなりその両端にリード１１ｃ
及び５１ｃをはんだ付けして作られる。両サーミスタ素
子１１，５１の２５℃における抵抗値はそれぞれ１００
ｋΩであって、Ｂ定数はそれぞれ３９６５Ｋである。図
１に示すように、電波吸収体１２の一方の面１２ａはマ
イクロ波吸収面であり、その他方の面１２ｂは上述した
ように、サーミスタ素子１１の感温部１１ａが固着され
る。サーミスタ素子１１、電波吸収体１２及びエポキシ
樹脂１０ａを含むマイクロ波センサ１０の熱放散定数δ
は６ｍＷ／℃であり、その熱時定数τは４０秒である。

【００１９】次に、このように構成された電子レンジを
用いて、ターンテーブル２２上には何も被加熱物を載せ
ない状態でマイクロ波電力検出試験を行った。加熱室１
７に照射されたマイクロ波電力量を調べるためにコント
ローラ３０に記録装置２７を接続した。＜試験Ａ＞最初にマイクロ波出力は２００Ｗ相当のレン
ジ弱の状態に設定してコントローラ３０によりマグネト
ロン１８からマイクロ波を加熱室１７に照射した。な
お、比較のため温度センサをコントローラ３０に接続し
ない状態でも同様にマイクロ波を照射した。コントロー
ラ３０が計算した電力量を記録装置２７により記録し
た。その結果を図５に示す。温度センサ５０を用いない
で、即ち温度補正しない場合には時間の経過とともに電
力量が微増するのに対して、温度センサ５０を用いて温
度補正した場合には、照射時間の長短によらず電力量が
一定であった。＜試験Ｂ＞次にマイクロ波出力を１５０Ｗ、２００Ｗ、
２５０Ｗ及び３００Ｗの４段階に切換え、それぞれにつ
いてコントローラ３０が計算した電力量を記録装置２７
により記録した。その結果を図６に示す。図６から明ら
かなように、温度センサにより温度補正した場合には、
マイクロ波出力を変え、照射時間が長くなっても、電力
量は一定であった。これらのことから、周囲温度の補正
を行うことによりマイクロ波電力をより正確に検出でき
ることが判った。

【００２０】なお、本発明のマイクロ波センサ１０及び
温度センサ５０により、本出願人が提案した特願平３−
３５７０５８号のマイクロ波検出器に示されるマグネト
ロン制御用のブリッジ回路を構成してもよい。

【００２１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、マイク
ロ波センサによりマイクロ波の吸収に伴う熱エネルギを
検出し、かつ温度センサにより周囲の温度補正をするよ
うに構成したので、正確に電力量を検出することができ
る。特に前記式（１）の関係及びマイクロ波センサの熱
放散定数δとその熱時定数τを予めコントローラに入力
しておき、このδとτでマイクロ波センサの熱放散を考
慮するようにして、マイクロ波センサによりマイクロ波
の吸収に伴う熱エネルギを検出すれば、マイクロ波セン
サに熱放散を防止する熱絶縁体を設けずに済む。また、
コントローラが時間の経過に従ってマイクロ波電力を求
めるため、その変化に基づきマイクロ波源の出力を制御
すれば、被加熱物を所望の解凍状態又は加熱状態に的確
に処理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明実施例のマイクロ波電力検出装置の構成
図。

【図２】そのマイクロ波センサの組立状況を示す斜視
図。

【図３】別のマイクロ波センサの組立状況を示す斜視
図。

【図４】その温度センサの組立状況を示す斜視図。

【図５】温度補正した場合としない場合の被加熱物のな
いときに検出装置が検出した電力量の変化を示す図。

【図６】マイクロ波出力を４段階に変え、被加熱物のな
いときに検出装置が検出した電力量の変化を示す図。

【図７】断熱状態において物質がマイクロ波電力を受け
たときの温度変化図。

【図８】熱放散がある状態において物質がマイクロ波電
力を受けたときの温度変化図。

【図９】このときの時間に対する温度の一次導関数を示
す図。

【図１０】このときの時間に対する温度の二次導関数を
示す図。

【符号の説明】

１０マイクロ波センサ１１，５１サーミスタ素子１１ａ，５１ａ感温部１１ｃ，５１ｃリード１２電波吸収体１２ａ電波吸収体の一方の面１２ｂ電波吸収体の他方の面１５金属壁１５ａ取付孔２８，２９金属体２８ｂフランジ部３０コントローラ５０温度センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マイクロ波加熱室(17)に設置され、マイ
クロ波を吸収して発熱する電波吸収体(12)と前記吸収体
(12)の温度を検出する第１サーミスタ素子(11)とを有す
るマイクロ波センサ(10)と、前記マイクロ波加熱室(17)に前記マイクロ波センサ(10)
と並んで設置され、前記電波吸収体(12)の周囲の温度を
検出する第２サーミスタ素子(51)を有する温度センサ(5
0)と、前記マイクロ波センサ(10)及び前記温度センサ(50)の各
検出出力に基づいてマイクロ波電力の値を求めるコント
ローラ(30)とを備えたマイクロ波電力検出装置であっ
て、前記電波吸収体(12)が前記マイクロ波加熱室(17)を形成
する金属壁(15)に設けられた取付孔(15a)に第１金属体
(28)を介して前記電波吸収体(12)の一方の面(12a)を前
記加熱室内に向けて取付けられ、前記電波吸収体(12)の他方の面(12b)に前記サーミスタ
素子(11)の感温部(11a)がマイクロ波を受けないように
接着され、前記第２サーミスタ素子(51)が前記金属壁(15)の背面に
第２金属体(29)を介して取付けられ、前記コントローラ(30)は、下記式（１）によりマイクロ
波電力の値を時間の関数として計算することを特徴とす
るマイクロ波電力検出装置。Ｅ＝Ｃ・ｄθ／ｄｔ＋ δ・θ （１）ただし、Ｅは前記電波吸収体が吸収したマイクロ波電
力、θ＝（θ _t1 −θ ₀₁ ）−（θ _t2 −θ ₀₂ ）であって、θ
₀₁ は前記電波吸収体がマイクロ波電力Ｅを吸収する前の
前記第１サーミスタ素子の検出温度、θ _t1 は前記電波吸
収体がマイクロ波電力Ｅをｔ時間吸収した後の前記第１
サーミスタ素子の検出温度、θ ₀₂ は前記電波吸収体がマ
イクロ波電力Ｅを吸収する前の前記第２サーミスタ素子
の検出温度、θ _t2 は前記電波吸収体がマイクロ波電力Ｅ
をｔ時間吸収した後の前記第２サーミスタ素子の検出温
度、Ｃは前記マイクロ波センサの熱容量、δは前記マイ
クロ波センサの熱放散定数である。
【請求項２】電波吸収体(12)は少なくとも第１サーミ
スタ素子(11)の感温部(11a)より広い面積を有する平板
状に形成され、第１金属体(28)は少なくとも前記電波吸
収体(12)のマイクロ波吸収面である一方の面(12a)を露
出して保持しかつ前記取付孔(15a)の孔周縁に取付けら
れるフランジ部(28b)を有する請求項１記載のマイクロ
波電力検出装置。